JPH06252470A - Laser oscillator - Google Patents
Laser oscillatorInfo
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- JPH06252470A JPH06252470A JP3190993A JP3190993A JPH06252470A JP H06252470 A JPH06252470 A JP H06252470A JP 3190993 A JP3190993 A JP 3190993A JP 3190993 A JP3190993 A JP 3190993A JP H06252470 A JPH06252470 A JP H06252470A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この発明はレーザ発振器に係り、
更に詳細には主放電以外の放電を検出できるようにした
レーザ発振器に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laser oscillator,
More specifically, it relates to a laser oscillator capable of detecting a discharge other than a main discharge.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来のガスレーザ発振器の一例として、
直交型レーザ発振器を例にとれば、ガス流に対して直交
した方向へ相対向した離隔位置に電極対が設けられてい
る。そして、一方の通常高圧側電極は、他方の通常グラ
ンド側電極対以外の発振器構成部材に対して充分な絶縁
距離を有しているため、主放電以外の放電は起きないよ
うになっている。2. Description of the Related Art As an example of a conventional gas laser oscillator,
Taking an orthogonal laser oscillator as an example, electrode pairs are provided at spaced apart positions facing each other in a direction orthogonal to the gas flow. Since one normal high-voltage side electrode has a sufficient insulation distance from the oscillator constituent members other than the other normal ground-side electrode pair, discharge other than main discharge does not occur.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来のレーザ発振器において、チャンバーのエアーリーク
や長期停止の後などには、放電電圧があがり、主放電以
外の放電が起る可能性がある。この主放電以外の放電が
起きると、この部分の電極やフレームに極部的な温度上
昇が起り、電極の破損につながるという問題がある。ま
た、主放電以外の放電が起きると、レーザ出力の低下を
招き、レーザ加工の品質を著しく劣化させるという問題
がある。By the way, in the above-mentioned conventional laser oscillator, the discharge voltage may rise and a discharge other than the main discharge may occur after an air leak in the chamber or after a long stop. When a discharge other than this main discharge occurs, there is a problem in that the electrodes and the frame in this portion are locally increased in temperature, leading to damage to the electrodes. In addition, when a discharge other than the main discharge occurs, there is a problem that the laser output is lowered and the quality of laser processing is significantly deteriorated.
【０００４】この発明の目的は、上記問題点を改善する
ために、主放電以外の放電を検出し、電極外の放電を未
然に防ぎ、レーザ発振器の高寿命化と信頼性を高めるよ
うにしたレーザ発振器を提供することにある。In order to solve the above problems, an object of the present invention is to detect discharges other than the main discharge, prevent discharges outside the electrodes, and improve the life and reliability of the laser oscillator. It is to provide a laser oscillator.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明は、ガスレーザ発振器において、発振器内
の放電電極の近傍に主放電以外の放電を検出する検出用
電極を配備してレーザ発振器を構成した。In order to achieve the above object, the present invention provides a gas laser oscillator in which a detection electrode for detecting a discharge other than a main discharge is provided near the discharge electrode in the oscillator. Configured.
【０００６】[0006]
【作用】この発明のレーザ発振器を採用することによ
り、発振器内の放電電極の近傍に主放電以外の放電を検
出する検出用電極を配備してあるから、主放電以外の放
電が起きると検出用電極で検出される。したがって、主
放電以外の放電を未然に防ぐことにより、レーザ発振器
の高寿命化と信頼性が高められる。By employing the laser oscillator of the present invention, the detection electrode for detecting a discharge other than the main discharge is provided in the vicinity of the discharge electrode in the oscillator. It is detected by the electrodes. Therefore, by preventing discharges other than the main discharge in advance, the life and reliability of the laser oscillator can be extended.
【０００７】[0007]
【実施例】以下、この発明の実施例を図面に基づいて詳
細に説明する。Embodiments of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings.
【０００８】図１を参照するに、レーザ発振器１におけ
るチャンバー３内の上部は例えば高圧側誘電体電極５が
設けられていると共に、この高圧側誘電体電極５に対向
してチャンバー３内の下部にはグランド側誘電体電極７
が設けられている。この高圧側誘電体電極５とグランド
側誘電体電極７とは例えば距離Ｌ1 だけ離隔して設けら
れている。Referring to FIG. 1, a high voltage side dielectric electrode 5 is provided in the upper part of the chamber 3 of the laser oscillator 1, and the lower part of the chamber 3 faces the high voltage side dielectric electrode 5. The ground side dielectric electrode 7
Is provided. The high voltage side dielectric electrode 5 and the ground side dielectric electrode 7 are provided, for example, separated by a distance L 1 .
【０００９】また、相対向した高圧側誘電体電極５、グ
ランド側誘電体電極７と直交した方向（図１において左
右方向）にはレーザガスが流れているものである。そし
て、高圧側誘電体電極５と接地９とには電線１１が接続
されていると共に、この電線１１の途中には高圧側誘電
体電極５側より直列でスイッチ１３、交流電源１５が設
けられている。Further, the laser gas flows in a direction orthogonal to the high-voltage side dielectric electrode 5 and the ground-side dielectric electrode 7 facing each other (left-right direction in FIG. 1). An electric wire 11 is connected to the high-voltage side dielectric electrode 5 and the ground 9, and a switch 13 and an AC power supply 15 are provided in series in the electric wire 11 from the high-voltage side dielectric electrode 5 side. There is.
【００１０】前記ガス流の下流側において高圧側誘電体
電極５から距離Ｌ2 だけ離れた位置に、検出用電極１７
が配置されている。この検出用電極１７は導体又は誘電
体で被覆された導体であれば材質を限定する必要がな
く、また形状についてもワイヤ状、パイプ状、平板状あ
るいはピン状など必要に応じ自由に選択できる。また、
配置位置は図１に示されているように、ガスの下流側が
一番効果的であるが、ガスの上流側でも、両サイドに配
置しても構わない。A detection electrode 17 is provided at a position separated from the high-voltage side dielectric electrode 5 by a distance L 2 on the downstream side of the gas flow.
Are arranged. There is no need to limit the material of the detection electrode 17 as long as it is a conductor or a conductor covered with a dielectric, and the shape can be freely selected such as a wire shape, a pipe shape, a flat plate shape, or a pin shape. Also,
As shown in FIG. 1, the arrangement position is most effective on the downstream side of the gas, but it may be arranged on the upstream side of the gas or on both sides.
【００１１】前記検出用電極１７は高圧側誘電体電極５
から距離Ｌ2 だけ離れて配置されているが、この距離Ｌ
2 は高圧側誘電体電極５とグランド側誘電体電極７との
距離Ｌ1 よりも大きく（Ｌ2 ＞Ｌ1 ）、チャンバー３と
高圧側誘電体電極５までの最短距離Ｌ3 よりも小さくす
るのが望ましい。しかも、この距離Ｌ2 は通常起る主放
電への影響がなく、エアーリーク、不純ガスのレーザガ
スへの混入結果放電が異常となった際に、高圧側誘電体
電極５からチャンバー（グランド）へ放電電流が流れる
より先に電流が流れる距離である。The detection electrode 17 is a high voltage side dielectric electrode 5
It is located a distance L 2 from the
2 is larger than the distance L 1 between the high-voltage side dielectric electrode 5 and the ground-side dielectric electrode 7 (L 2 > L 1 ) and smaller than the shortest distance L 3 between the chamber 3 and the high-voltage side dielectric electrode 5. Is desirable. Moreover, this distance L 2 has no influence on the main discharge that normally occurs, and when the discharge becomes abnormal as a result of air leak or mixing of the impure gas into the laser gas, the high voltage side dielectric electrode 5 moves to the chamber (ground). It is the distance that the current flows before the discharge current flows.
【００１２】前記検出用電極１７には図１に示されてい
るような主放電以外の放電により流れる電流を検出する
抵抗を用いた検出回路１９が接続されている。この検出
回路１９には抵抗を用いたもの以外に、ＣＴ（カレント
トランス）を用いたものでも構わないものである。この
検出回路１９は前記スイッチ１３に接続されている。検
出回路１９は検出用電極１７にかかる電圧または流れる
電流が一定値を越えるとき検出信号伝送部２１に信号を
出力する。To the detection electrode 17, a detection circuit 19 using a resistor for detecting a current flowing by a discharge other than the main discharge as shown in FIG. 1 is connected. The detection circuit 19 may use a CT (current transformer) other than the one using a resistor. The detection circuit 19 is connected to the switch 13. The detection circuit 19 outputs a signal to the detection signal transmission unit 21 when the voltage applied to the detection electrode 17 or the flowing current exceeds a certain value.
【００１３】上記構成により、高圧側誘電体電極５とグ
ランド側誘電体電極７との間で図１に示されているよう
に主放電が行なわれる。そして、チャンバー３のエアー
リークや長期停止の後などには放電電圧があがり、主放
電以外の放電が起きると、検出用電極１７で検出し、検
出回路１９を経てスイッチ１３がオフとなって交流電源
１５がオフとなりアラームが発せられる。With the above structure, main discharge is performed between the high voltage side dielectric electrode 5 and the ground side dielectric electrode 7 as shown in FIG. Then, when the discharge voltage rises after an air leak in the chamber 3 or after a long stop, and a discharge other than the main discharge occurs, it is detected by the detection electrode 17, the switch 13 is turned off via the detection circuit 19, and the AC The power supply 15 is turned off and an alarm is issued.
【００１４】したがって、主放電以外の放電が検出用電
極１７により検出されるので、主放電以外の放電を検出
し、電極外の放電を検出し、電極外の放電を未然に防ぐ
ことにより、レーザ発振器の高寿命化と信頼性を高める
ことができる。また、検出信号伝送部２１により交流電
源１５からの出力電力を低下させるよう制御を行なって
もよい。Therefore, since the discharge other than the main discharge is detected by the detection electrode 17, the discharge other than the main discharge is detected, the discharge outside the electrode is detected, and the discharge outside the electrode is prevented in advance. It is possible to extend the life and reliability of the oscillator. Further, the detection signal transmission unit 21 may be controlled to reduce the output power from the AC power supply 15.
【００１５】なお、この発明は、前述した実施例に限定
されることなく、適宜な変更を行なうことにより、その
他の態様で実施し得るものである。本実施例では交流電
源を用いた例で説明してあるが、直流電源であっても対
応可能である。この場合には、誘電体がない直流放電電
極が使用されるものである。The present invention is not limited to the above-described embodiments, but can be implemented in other modes by making appropriate changes. In the present embodiment, an example using an AC power supply is described, but a DC power supply can also be used. In this case, a DC discharge electrode without a dielectric is used.
【００１６】[0016]
【発明の効果】以上のごとき実施例の説明より理解され
るように、この発明によれば、特許請求の範囲に記載さ
れたとおりの構成であるから、発振器内の放電電極の近
傍に主放電以外の放電を検出する検出用電源を配備して
あるから、主放電以外の放電が起きると検出用電極で検
出される。而して、主放電以外の放電を未然に防ぐこと
により、レーザ発振器の高寿命化と信頼性を高めること
ができる。As can be understood from the above description of the embodiments, according to the present invention, since the structure is as described in the claims, the main discharge is generated in the vicinity of the discharge electrode in the oscillator. Since a detection power source for detecting discharges other than the above is provided, when a discharge other than the main discharge occurs, it is detected by the detection electrode. Thus, by preventing discharges other than the main discharge in advance, it is possible to extend the life and reliability of the laser oscillator.
【図１】この発明を実施する一実施例の構成説明図であ
る。FIG. 1 is a structural explanatory view of an embodiment for carrying out the present invention.
１ レーザ発振器 ３ チャンバー ５ 高圧側誘電体電極 ７ グランド側誘電体電極 ９ 接地 １５ 交流電源 １７ 検出用電極 １９ 検出回路 ２１ 検出信号伝送部 1 Laser Oscillator 3 Chamber 5 Dielectric Electrode on High Voltage Side 7 Dielectric Electrode on Ground Side 9 Grounding 15 AC Power Supply 17 Detection Electrode 19 Detection Circuit 21 Detection Signal Transmission Section
Claims (1)
放電電極の近傍に主放電以外の放電を検出する検出用電
極を配備してなることを特徴とするレーザ発振器。1. A gas laser oscillator, wherein a detection electrode for detecting a discharge other than a main discharge is provided in the vicinity of the discharge electrode in the oscillator.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3190993A JPH06252470A (en) | 1993-02-22 | 1993-02-22 | Laser oscillator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3190993A JPH06252470A (en) | 1993-02-22 | 1993-02-22 | Laser oscillator |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06252470A true JPH06252470A (en) | 1994-09-09 |
Family
ID=12344121
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3190993A Pending JPH06252470A (en) | 1993-02-22 | 1993-02-22 | Laser oscillator |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06252470A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003031878A (en) * | 2001-07-18 | 2003-01-31 | Amada Eng Center Co Ltd | Method of detecting out-of-electrode discharge in gas laser oscillator and gas laser oscillator equipped with out-of-electrode discharge detecting means |
| JP2010251411A (en) * | 2009-04-13 | 2010-11-04 | Mitsubishi Electric Corp | Gas laser oscillator |
-
1993
- 1993-02-22 JP JP3190993A patent/JPH06252470A/en active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003031878A (en) * | 2001-07-18 | 2003-01-31 | Amada Eng Center Co Ltd | Method of detecting out-of-electrode discharge in gas laser oscillator and gas laser oscillator equipped with out-of-electrode discharge detecting means |
| JP4610133B2 (en) * | 2001-07-18 | 2011-01-12 | 株式会社アマダエンジニアリングセンター | Method for detecting discharge outside electrode in gas laser oscillator |
| JP2010251411A (en) * | 2009-04-13 | 2010-11-04 | Mitsubishi Electric Corp | Gas laser oscillator |
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