JPH06252465A - Coating for piezoelectric solid state motor laminated body - Google Patents

Coating for piezoelectric solid state motor laminated body

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JPH06252465A
JPH06252465A JP5033502A JP3350293A JPH06252465A JP H06252465 A JPH06252465 A JP H06252465A JP 5033502 A JP5033502 A JP 5033502A JP 3350293 A JP3350293 A JP 3350293A JP H06252465 A JPH06252465 A JP H06252465A
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state motor
solid state
piezoelectric
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キュー ダム チュオン
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  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

PURPOSE: To enlarge the operation temperature range of a laminate, to increase durability, to increase outputs and to prolong a life by surrounding the assembly of the laminate, electrodes and silicon adhesive in a cylindrical form which a protection housing. CONSTITUTION: Silicon adhesive is sandwiched between the laminate 102 and the housing 104. Silicon adhesive has low viscosity so that it easily flows into a crevasse viewed in the laminate 102 or around the complicated form parts of the electrodes 108 and 108' and the laminate 102 is completely capsuled, and it is formed of ceramic particles containing a plurality of alumina particles. The alumina particles have high heat conduction characteristics and increase the heat conductivity of the capsuled material. The particle sizes of the alumina particles are effective to be substantially similar to the particle size of a piezoelectric element. Thus, the alumina particles are satisfactorily and physically brought into contact with a piezoelectric material and much heat generated in the laminate 102 is transmitted to the inner part of the wall of the housing 104. Then, heat is radiated.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、一般に、ソリッドステ
ートモータアクチュエータのカプセル化構造に係り、よ
り詳細には、圧電ソリッドステートモータ積層体をカプ
セル化する方法に係る。
FIELD OF THE INVENTION The present invention relates generally to solid state motor actuator encapsulation structures, and more particularly to a method of encapsulating a piezoelectric solid state motor stack.

【0002】[0002]

【従来の技術】大量生産されるソリッドステートモータ
積層体、即ちアクチュエータは、圧電円盤をメタルホイ
ル電極と交互配置(インターリーブ)したものを使用し
て製造される。交互にバイアスされた電極に電位を加え
ることにより各々の圧電円盤が膨張され、即ち軸方向に
歪まされる。積層された円盤の加算的なそりは一般的に
液圧系によって増幅されて、有用な動作を遂行する。
2. Description of the Related Art Mass-produced solid-state motor laminates, that is, actuators, are manufactured using piezoelectric discs interleaved with metal foil electrodes. Each piezoelectric disk is expanded, ie axially distorted, by applying a potential to the alternately biased electrodes. The additive sled of stacked disks is typically amplified by a hydraulic system to perform useful movements.

【0003】電気膨張材料のアクティブなエレメントを
有する従来のエレクトロメカニカルアクチュエータの一
例が、グレンドンMベンソン氏の米国特許第3,50
1,099号及び第3,635,016号に見られる。
ベンソン氏の特許は、動作増幅構造体と、圧電積層体を
製造する方法の両方を開示している。セラミック材料の
シートを圧延し、圧密化しそしてパンチして、セラミッ
ク円盤を形成する。清掃プロセスの後に、これらのセラ
ミック円盤の間に交互に1組の連続する円盤電極を配置
して円盤を積層させる。これらの積層体は加圧冷間溶接
プロセスを受け、その後、2つの電極グループに共通電
極を接続した後に、高温圧力ボンディングプロセスを受
ける。これら積層体は、直流電圧を印加することにより
極性が定められ、次いで、プラスチックの絶縁カバーで
カプセル化された後に、トランスジューサのハウジング
内に最終的に取り付けられる。
One example of a conventional electromechanical actuator having active elements of electro-expanding material is US Pat. No. 3,50, to Glendon M. Benson.
See 1,099 and 3,635,016.
The Benson patent discloses both a motion amplification structure and a method of making a piezoelectric stack. A sheet of ceramic material is rolled, consolidated and punched to form a ceramic disc. After the cleaning process, alternating sets of successive disc electrodes are placed between these ceramic discs to stack the discs. These stacks are subjected to a pressure cold welding process, followed by a high temperature pressure bonding process after connecting the common electrodes to the two electrode groups. The stacks are poled by applying a DC voltage, then encapsulated with a plastic insulating cover and then finally mounted in the transducer housing.

【0004】圧電積層体を製造する場合には種々の環境
設計要件が重要となる。これらファクターの中で、デバ
イスの作動温度範囲と外部の機械的なストレスが最も重
要である。
Various environmental design requirements are important when manufacturing piezoelectric laminates. Of these factors, the operating temperature range of the device and external mechanical stress are the most important.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】従来の積層体は、積層
体ハウジングの外部で測定して約75℃の最高作動温度
に制限される。積層体自体により発生する熱は周囲温度
との兼ね合いとなる。例えば、積層体の1つの用途は、
エンジンのバルブを動作することである。収容された積
層体が一般に取り付けられるエンジンでは、典型的に、
非常に高い熱が発生される。積層体の温度は、測定した
エンジン温度よりも40ないし50℃は高い温度に到達
する。
Conventional laminates are limited to a maximum operating temperature of about 75 ° C. measured outside the laminate housing. The heat generated by the laminate itself is a balance with the ambient temperature. For example, one use for laminates is
To operate the valve of the engine. In engines where the contained stacks are commonly attached, typically:
Very high heat is generated. The temperature of the stack reaches a temperature which is 40 to 50 ° C. higher than the measured engine temperature.

【0006】一方、従来の積層体では、構造上の欠陥が
あると、作動中及び/又は設置中に剪断ストレスやねじ
れストレスが積層体に加えられるために、一般に積層体
に故障を招く。積層体の構造故障とは、一般に、セラミ
ック円盤が疲労によってクラックを生じることに起因す
るものである。円盤と電極との間の分離もしばしば問題
となる。
On the other hand, in the conventional laminated body, if there is a structural defect, shearing stress or twisting stress is applied to the laminated body during operation and / or installation, so that the laminated body generally causes a failure. Structural failure of the laminate is generally due to fatigue cracking of the ceramic disc. Separation between the disc and the electrodes is also often a problem.

【0007】上記した幾つかの問題を最小限に抑える試
みとして、円盤/電極積層体とハウジングとの間に圧電
積層体の絶縁材が導入されている。
In an attempt to minimize some of the above mentioned problems, piezoelectric laminate insulation has been introduced between the disc / electrode stack and the housing.

【0008】コーマクGオネイル氏の米国特許第4,0
11,474号には、作動中のブレークダウンを回避す
るように積層体の絶縁を改良するための多数の方法が開
示されている。ここでは、圧電積層体と絶縁材料とを接
触維持することにより弧絡が回避されるとしている。オ
ネイル氏は、その第1の実施例において、オイルのよう
な加圧された絶縁流体を圧電積層体のハウジングに導入
することを教示している。この流体は、印加電圧を加え
た際に積層体が半径方向に収縮し又は軸方向に膨張する
間に流体と積層体とを接触状態に維持するために加圧さ
れる。
Komak G. Onail US Pat. No. 4,0
No. 11,474, a number of methods are disclosed for improving the insulation of the stack to avoid breakdown during operation. Here, it is stated that arc contact is avoided by maintaining contact between the piezoelectric laminate and the insulating material. Onell teaches in its first embodiment to introduce a pressurized insulating fluid, such as oil, into the housing of the piezoelectric stack. The fluid is pressurized to maintain the fluid in contact with the stack while the stack contracts radially or expands axially when an applied voltage is applied.

【0009】オネイル氏は、その第2の実施例におい
て、積層体に固体ポリウレタンコーティングを施してい
る。このコーティングは、加圧絶縁流体により積層体と
接触状態に保持され、作動中の分離と、それに伴う弧絡
を防止する。
In his second embodiment, Oneil applied a solid polyurethane coating to the laminate. The coating is held in contact with the stack by a pressurized insulating fluid to prevent separation during operation and the associated arcing.

【0010】オネイル氏の第3の実施例では、コーティ
ングが施された積層体のまわりにフィラメント又はテー
プを巻き付けることにより積層体と固体絶縁コーティン
グとが接触状態に維持される。このテープは、コーティ
ングに予め負荷を掛けてコーティングが積層体から分離
しないよう防止するためにコーティングのまわりに巻き
付けられる。このテープは、積層体の作動中にポリウレ
タンコーティングの膨張を加味するために間隔を置いて
巻き付けられる。
In a third embodiment by Onail, the laminate and the solid insulating coating are kept in contact by wrapping a filament or tape around the coated laminate. The tape is wrapped around the coating to preload the coating and prevent it from separating from the laminate. This tape is wrapped at intervals to accommodate the expansion of the polyurethane coating during operation of the laminate.

【0011】[0011]

【問題を解決するための手段】本発明は、従来のカプセ
ル化技術の改良に関する。積層体の動作温度範囲の拡
大、耐久性の増大、出力の増加及び寿命の延長といった
効果が、本発明によって達成される。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention is an improvement over conventional encapsulation techniques. The effects of expanding the operating temperature range of the laminate, increasing durability, increasing output and extending life are achieved by the present invention.

【0012】本発明の1つの特徴においては、圧電ソリ
ッドステートモータが提供される。このソリッドステー
トモータは、積層体に組み立てられた複数の圧電エレメ
ントを備えている。各エレメントは2つの対向する平ら
な表面を有している。複数の電極の各々は、上記積層体
の2つの隣接するエレメントの平らな表面に接触する平
らな区分を有している。上記圧電エレメントにはシリコ
ーン接着剤が付着される。このシリコーン接着剤には複
数のアルミナ粒子が配置される。保護ハウジングは、上
記積層体、電極及びシリコーン接着剤の組合体を円筒状
に包囲する。
In one aspect of the invention, a piezoelectric solid state motor is provided. This solid state motor comprises a plurality of piezoelectric elements assembled in a stack. Each element has two opposing flat surfaces. Each of the plurality of electrodes has a flat section that contacts the flat surfaces of two adjacent elements of the stack. A silicone adhesive is attached to the piezoelectric element. A plurality of alumina particles are arranged on the silicone adhesive. The protective housing cylindrically surrounds the combination of the laminate, electrodes and silicone adhesive.

【0013】本発明の別の特徴においては、圧電ソリッ
ドステートモータをカプセル化する方法が提供される。
この方法は次の段階を含む。即ち、熱特性をもつ粘性の
低いシリコーン接着剤で積層体をカプセル化する。その
シリコーン接着剤を第1の温度で第1の所定時間中硬化
して、シリコーン接着剤を固定する。その後、シリコー
ン接着剤を第2の温度で第2の所定時間中硬化して、圧
電エレメントとシリコーン接着剤との間に更に接着を確
立する。
In another aspect of the invention, a method of encapsulating a piezoelectric solid state motor is provided.
The method includes the following steps. That is, the laminate is encapsulated with a low viscosity silicone adhesive having thermal properties. The silicone adhesive is cured at a first temperature for a first predetermined time to fix the silicone adhesive. Thereafter, the silicone adhesive is cured at a second temperature for a second predetermined time to further establish adhesion between the piezoelectric element and the silicone adhesive.

【0014】[0014]

【実施例】以下、添付図面を参照して、本発明を詳細に
説明する。一般に、圧電積層体をカプセル化する本発明
の方法は、高品質、高耐久性のソリッドステートモータ
積層体を形成するための自動製造工程用に設計されたも
のである。本発明の方法の圧電カプセル化段階は、慎重
な清掃及び検査作業を用いて高速応答性と大きな駆動力
をもつ積層体を形成する技術を向上させる。
The present invention will be described in detail below with reference to the accompanying drawings. In general, the method of the present invention for encapsulating a piezoelectric stack is designed for an automated manufacturing process to form high quality, durable solid state motor stacks. The piezoelectric encapsulation step of the method of the present invention improves the technique of forming a laminate with fast response and high driving force using careful cleaning and inspection operations.

【0015】本発明は、圧電ソリッドステートモータ積
層体のカプセル化構造と、このような積層構造体をカプ
セル化する方法とに関する。しかしながら、例えば、ソ
リッドステートモータ積層体と、電気膨張アクチュエー
タという用語は、同義語である。本明細書全体にわた
り、圧電ソリッドステートモータ積層体を一般に「積層
体(スタック)」と称する。
The present invention relates to an encapsulation structure for a piezoelectric solid state motor laminate and a method for encapsulating such a laminate structure. However, for example, the terms solid state motor stack and electro-expansion actuator are synonymous. Piezoelectric solid-state motor laminates are generally referred to as "laminates" throughout this specification.

【0016】本発明は、上記した従来技術の欠点を克服
するだけでなく、以下に述べる特徴及び効果も提供す
る。
The present invention not only overcomes the above-mentioned drawbacks of the prior art, but also provides the features and advantages described below.

【0017】図1は、本発明による収容されたソリッド
ステートモータ積層体100を示している。電極/セラ
ミックエレメント積層体102はハウジング104の中
央に配置されている。この積層体102は、複数の圧電
エレメント103を備えている。これらのエレメント1
03は種々の幾何学形状をとることができる。好ましい
実施例では、エレメント103は実質的に円形状であ
る。従って、エレメント103を円盤(ディスク)とも
称する。各円盤は、互いに実質的に平行に形成された2
つの対向する表面を有するのが好ましい。これらの円盤
には、2組の電極108、108’が交互にインターリ
ーブされている。
FIG. 1 illustrates a housed solid state motor stack 100 according to the present invention. The electrode / ceramic element laminate 102 is arranged in the center of the housing 104. The laminated body 102 includes a plurality of piezoelectric elements 103. These elements 1
03 can take various geometric shapes. In the preferred embodiment, the element 103 is substantially circular. Therefore, the element 103 is also referred to as a disk. Each disk is formed substantially parallel to each other 2
It is preferred to have two opposing surfaces. Two sets of electrodes 108, 108 'are alternately interleaved on these disks.

【0018】各電極108、108’の基本的な構造を
図2について説明する。各個々の電極108、108’
は、平らな区分220と細長い区分222とを含んでい
る。各電極の平らな区分220は、2つの隣接する円盤
の平らな表面の実質的な部分に接触するようになってい
る。
The basic structure of each electrode 108, 108 'will be described with reference to FIG. Each individual electrode 108, 108 '
Includes a flat section 220 and an elongated section 222. The flat section 220 of each electrode is adapted to contact a substantial portion of the flat surface of two adjacent discs.

【0019】電極108、108’は、公知の技術を用
いて切断又は型抜き成形されたメタルホイルである。こ
れらの電極は、黄銅のような銅合金やそれと同等の既知
のもので形成される。
The electrodes 108, 108 'are metal foils that have been cut or stamped and formed using known techniques. These electrodes are formed of a copper alloy such as brass or a known equivalent material.

【0020】ハウジング104は硬化スチールで形成さ
れ、円筒形状をしていて、積層体を収容するための中空
円筒空洞を有している。ハウジング104の上端には2
つのスルーポート106、106’が設けられており、
電極108、108’をハウジングから取り出せるよう
になっている。各電極は、コネクタ109、109’に
よって一緒に束ねられる。
The housing 104 is made of hardened steel and has a cylindrical shape and has a hollow cylindrical cavity for accommodating the laminate. 2 on top of housing 104
Two through ports 106, 106 'are provided,
The electrodes 108, 108 'can be taken out from the housing. Each electrode is bundled together by connectors 109, 109 '.

【0021】又、ハウジング104は、積層体及びハウ
ジングを、例えばエンジンの頭部に取り付けるのに使用
される1組のネジ110も備えている。ハウジング10
4は台状領域112を有する。図1の上から見たとき
に、この台状領域112は六角形断面を有している。こ
の六角形状は図示されていないが、圧電ソリッドステー
トモータハウジングをエンジンの頭部に締め付けたり緩
めたりするのに使用される。
The housing 104 also includes a set of screws 110 used to attach the stack and housing to, for example, the head of an engine. Housing 10
4 has a trapezoidal region 112. When viewed from above in FIG. 1, this trapezoidal region 112 has a hexagonal cross section. This hexagonal shape, not shown, is used to tighten and loosen the piezoelectric solid state motor housing on the engine head.

【0022】シリコーンのカプセル化材料は、積層体と
ハウジングとの間の空洞及び隣接電極間のギャップを満
たすように注入される。更に、ハウジング104の端面
114と、最後のセラミックエレメント115の露出面
は、積層体ハウジング104の端にダイヤフラム116
を容易に適切に整列させるために同時に研磨されねばな
らない。次いで、ダイヤフラム116は表面114にレ
ーザ溶接される。これにより、積層体の端(即ち、エレ
メント115の端面)をダイヤフラム116に接触させ
ることができる。
The silicone encapsulant is injected to fill the cavity between the stack and the housing and the gap between adjacent electrodes. Further, the end surface 114 of the housing 104 and the exposed surface of the last ceramic element 115 are attached to the end of the laminate housing 104 by a diaphragm 116.
Must be simultaneously polished to facilitate proper alignment. The diaphragm 116 is then laser welded to the surface 114. As a result, the end of the stack (that is, the end surface of the element 115) can be brought into contact with the diaphragm 116.

【0023】ダイヤフラム116は、厚さが約0.1m
mのステンレススチールで形成されるのが好ましい。こ
のスチールのダイヤフラムは、積層体を外部の汚染から
保護するように働く。更に、ダイヤフラムは、電極/エ
レメント積層体がハウジング内で回転しないよう防止す
るが、これは薄くて且つフレキシブルであるので、ほと
んど束縛なく積層体を軸方向に動かすことができる。ダ
イヤフラム及びハウジングは、好ましくは硬度が約30
ロックウェルCである。
The diaphragm 116 has a thickness of about 0.1 m.
It is preferably formed of m stainless steel. This steel diaphragm acts to protect the laminate from external contamination. In addition, the diaphragm prevents the electrode / element stack from rotating in the housing, but it is thin and flexible, allowing the stack to move axially with little constraint. The diaphragm and housing preferably have a hardness of about 30.
It is Rockwell C.

【0024】積層体がエンジンの頭部に設置されるとき
には、ダイヤフラム116に対して通常はピストンが当
接される。設置の間に、積層体はエンジンの頭部にねじ
込まれ、ダイヤフラム116はハウジングにストレスを
伝達する。もしダイヤフラムがなければ、末端のセラミ
ックエレメントとピストンとの間の摩擦により積層体が
回転される。積層体が回転すると、エレメントに剪断力
及び分離力が及ぶことになり、シリコーンのカプセル化
材料が破裂することになる。このような構造欠陥は、積
層体の動作に不利な影響を及ぼす。
When the stack is installed on the head of an engine, a piston is typically abutted against diaphragm 116. During installation, the stack is screwed onto the head of the engine and the diaphragm 116 transfers stress to the housing. Without the diaphragm, friction between the distal ceramic element and the piston causes the stack to rotate. As the laminate rotates, the elements are subjected to shear and separation forces, which will rupture the silicone encapsulant. Such structural defects adversely affect the operation of the stack.

【0025】118と示されたハウジングの区分は、積
層体を安住させるための固定台を形成する。約1000
Vの駆動電圧を電極108、108’に印加すると、積
層体は、この固定台118に対抗して軸方向に膨張し、
ダイヤフラム116を外方に動かして、動作を生じさせ
る。それ故、ダイヤフラム116に対抗してほぼ全ての
軸方向変位が生じ、区分118に隣接する端には軸方向
変位がほとんど生じない。
The section of the housing designated 118 forms the anchorage for the stack to rest on. About 1000
When a driving voltage of V is applied to the electrodes 108 and 108 ′, the laminated body expands axially against the fixed base 118,
The diaphragm 116 is moved outward to produce the motion. Therefore, almost all of the axial displacement occurs against the diaphragm 116, with little axial displacement at the end adjacent the section 118.

【0026】図3は、図1の圧電ソリッドステートモー
タ積層体及びハウジングのA−A線に沿った断面図であ
る。シリコーン接着剤は、積層体とハウジングとの間に
サンドイッチされて示されている。好ましい実施例で
は、シリコーン接着剤は、ドウコーニング社により製品
番号Q3−6632として製造されたものである。この
シリコーン接着剤は、積層体内や電極の複雑な形状部の
まわりに見られるクレバスに容易に流れ込んで積層体の
完全なカプセル化を確保するように低い粘性であるのが
効果的である。25℃におけるシリコーン接着剤の粘性
は5700cpsであり、比重は2.14である。シリ
コーン接着剤は、複数の酸化アルミニウム(アルミナ)
粒子より成る。これらのアルミナ粒子は高い熱伝導特性
を有し、カプセル化材料の熱伝導率を増加する。又、ア
ルミナ粒子の粒子サイズは、圧電材料の粒子サイズと実
質的に同じであるのが効果的である。例えば、アルミナ
粒子の粒子サイズは約1ないし5ミクロンであり、圧電
材料の粒子サイズは4ないし5ミクロンである。それ
故、アルミナ粒子は圧電材料に良好に物理的接触し、こ
れにより、積層体で発生された熱の多くがハウジング壁
の内部へ伝導されて放熱されると共に、圧電材料に対す
るカプセル化材料の接着も促進される。
FIG. 3 is a sectional view taken along the line AA of the piezoelectric solid state motor laminate and the housing of FIG. The silicone adhesive is shown sandwiched between the laminate and the housing. In the preferred embodiment, the silicone adhesive was manufactured by Dow Corning, Inc. under product number Q3-6632. The silicone adhesive is effectively low in viscosity so that it easily flows into the crevasse found in the laminate and around the complex features of the electrode to ensure complete encapsulation of the laminate. The viscosity of the silicone adhesive at 25 ° C. is 5700 cps and the specific gravity is 2.14. Silicone adhesive is made of multiple aluminum oxide (alumina)
Composed of particles. These alumina particles have high thermal conductivity properties, increasing the thermal conductivity of the encapsulating material. Further, it is effective that the particle size of the alumina particles is substantially the same as the particle size of the piezoelectric material. For example, the particle size of the alumina particles is about 1-5 microns and the particle size of the piezoelectric material is 4-5 microns. Therefore, the alumina particles make good physical contact with the piezoelectric material, which causes most of the heat generated in the stack to be conducted and dissipated into the interior of the housing wall, as well as the adhesion of the encapsulating material to the piezoelectric material. Is also promoted.

【0027】一般的な積層体カプセル化プロセス300
が図4及び5に示されている。ブロック302に示すよ
うに、積層体は清掃プロセスを受ける。一実施例におい
て、従来のグリットブラスト技術により組み立てられた
積層体の外面から過剰な光沢や汚染物が除去される。積
層体はメタノールバス内で超音波洗浄される。きれいに
なった積層体は、次いで、ブロック304において熱で
乾燥される。加熱プロセスにより揮発性の汚染物が除去
される。この加熱プロセスは、約−98kPaの圧力を
用いた真空オーブンのようなデシケータ内において10
0℃の温度で2時間積層体を加熱することより成る。次
いで、積層体は、ブロック306に示すように室温で冷
却される。
General Laminate Encapsulation Process 300
Are shown in FIGS. As shown in block 302, the stack undergoes a cleaning process. In one embodiment, excess gloss and contaminants are removed from the exterior surface of a laminate assembled by conventional grit blasting techniques. The laminate is ultrasonically cleaned in a methanol bath. The cleaned laminate is then heat dried at block 304. The heating process removes volatile contaminants. This heating process is performed in a desiccator such as a vacuum oven using a pressure of about -98 kPa for 10
It consists of heating the laminate at a temperature of 0 ° C. for 2 hours. The stack is then cooled at room temperature as shown in block 306.

【0028】ブロック306に続いて、ハウジングの内
壁に離型材が塗布される。この離型材は、シリコーンの
カプセル化材料がハウジングの内壁に付着するのを禁止
するものである。従って、離型材は、積層体が動作され
たときにそれと一緒にカプセル化材料が動けるようにす
る。更に、この離型材は、温度の変化と共にカプセル化
材料が膨張/収縮できるようにし、カプセル化材料への
ダメージを回避する。好ましい実施例においては、離型
材は、ミラー・ステファーソン社により部品番号MS−
145として製造されているフルオロカーボン懸濁離型
材である。
Following block 306, a mold release material is applied to the inner wall of the housing. The release material inhibits the silicone encapsulation material from adhering to the inner wall of the housing. Thus, the release material allows the encapsulating material to move with the laminate as it is operated. In addition, the release material allows the encapsulant to expand / contract with changes in temperature, avoiding damage to the encapsulant. In a preferred embodiment, the mold release material is part number MS- by Miller Steferson.
145 is a fluorocarbon suspension release agent manufactured as 145.

【0029】次いで、積層体は、ブロック310におい
て、変更された整列固定具によりハウジング内で整列さ
れる。この整列固定具は、底部/端部区分を含む円筒状
ケースを含んでいなければならない。図1に示すよう
に、アクチュエータの一端は、電気リードを通せるよう
に2つの開口を有している。更に、この整列固定具ケー
スの内径は、適切なカプセル化を行えるようにするため
に積層体の外径よりも若干大きくなければならない。次
いで、ブロック312に示すように、整列固定具のベー
スにある穴にストッパを挿入し、電気リードのまわりを
シールしなければならない。整列固定具ケース及びポー
トストッパの組成は、本発明にとって厳密なものではな
いことに注意されたい。しかしながら、それらの組成
は、積層体の汚染又は化学反応が生じないものでなけれ
ばならない。
The stack is then aligned in the housing at block 310 with the modified alignment fixture. The alignment fixture must include a cylindrical case that includes a bottom / end section. As shown in FIG. 1, one end of the actuator has two openings to allow passage of electrical leads. Further, the inside diameter of the align fixture case must be slightly larger than the outside diameter of the stack to allow proper encapsulation. A stopper must then be inserted into the hole in the base of the alignment fixture to seal around the electrical leads, as shown in block 312. Note that the composition of the align fixture case and port stopper is not critical to the invention. However, their composition must be such that there is no contamination or chemical reaction of the laminate.

【0030】ブロック314において、準備した整列固
定具が、真空チャンバ内に配置された空気ポッティング
固定具に配置される。次いで、空気ポッティング固定具
により積層体に小さな軸方向の負荷を加え、整列固定具
を取り外す。この小さな軸方向の負荷は、約445ない
し1112.5ニュートンの範囲の力である。
At block 314, the prepared alignment fixture is placed in an air potting fixture located in the vacuum chamber. The air potting fixture then applies a small axial load to the stack and the alignment fixture is removed. This small axial load is a force in the range of about 445 to 1112.5 Newtons.

【0031】整列固定具が取り外された後に、ブロック
320において、大きな軸方向の負荷が積層体に加えら
れる。積層体を圧縮するのに使用するこの負荷により、
円盤の不規則な表面に対して黄銅電極を成形することが
できる。従って、次々の円盤の間には本質的にほとんど
スペースが形成されず、スチフネスが増大される。好ま
しい実施例において、この力はほぼ8900ニュートン
に等しい。次いで、ブロック322に示すように、チャ
ンバがシールされる。その後、ブロック324に示すよ
うに、チャンバに真空が形成される。この真空は充分な
量の空気を引き抜き、真空が解放されたときに積層体内
に残された空所をエラストマーが満たすようにする。好
ましくは、−100kPaの真空が引かれる。
After the alignment fixture is removed, at block 320, a large axial load is applied to the stack. With this load used to compress the laminate,
Brass electrodes can be formed on the irregular surface of a disk. Therefore, essentially no space is formed between successive disks, increasing stiffness. In the preferred embodiment, this force is approximately equal to 8900 Newtons. The chamber is then sealed, as shown in block 322. A vacuum is then created in the chamber, as shown in block 324. This vacuum draws a sufficient amount of air so that the elastomer fills the voids left in the laminate when the vacuum is released. Preferably, a vacuum of -100 kPa is drawn.

【0032】次いで、接着剤の付与について詳細に説明
する。シリコーン接着剤は、製造者からA成分及びB成
分として供給される。シリコーン接着剤は、製造者の示
唆する指示に基づいて1:1の重量比で混合される。完
全に混ぜ合わされると、その混合物は、見掛け上均一な
灰色となる。均一な生成物混合を確保するためには、A
及びB成分は各々完全に混合してから両者を混ぜ合わせ
るようにしなければならない。成分A及びBが完全に混
合されると、それにより生じるエラストマーの空気抜き
をしなければならない。エラストマーは、従来の技術に
よって空気抜きされる。
Next, the application of the adhesive will be described in detail. Silicone adhesives are supplied by the manufacturer as component A and component B. The silicone adhesive is mixed in a 1: 1 weight ratio based on the manufacturer's suggested instructions. When mixed thoroughly, the mixture will appear gray in appearance. To ensure a uniform product mix, A
The components B and B must be thoroughly mixed before they are mixed together. When components A and B are thoroughly mixed, the resulting elastomer must be deflated. The elastomer is deflated by conventional techniques.

【0033】ブロック328において、エラストマー混
合物をガラス管を通してデシケータに注入すると共に、
積層体とケースの内壁との間のスペースに注入する。ブ
ロック330において、チャンバ内の真空を解放し、積
層体に残っている空所をシリコーンエラストマーで満た
すようにする。従って、真空が解放されると、エラスト
マーが積層体の空所を満たし、積層体のスチフネス特性
を向上させる。
At block 328, the elastomer mixture is injected into the desiccator through a glass tube, and
Pouring into the space between the stack and the inner wall of the case. At block 330, the vacuum in the chamber is released and the remaining voids in the laminate are filled with silicone elastomer. Thus, when the vacuum is released, the elastomer fills the voids in the laminate and improves the stiffness properties of the laminate.

【0034】次いで、ブロック332においてエラスト
マーを硬化する。好ましい実施例では、第1の硬化段階
が100℃で約2時間行われる。この第1の硬化段階
で、カプセル化材料が固定し、固いゴム材のような見掛
けになる。その後、第2の硬化段階が約145ないし1
50℃で約4時間行われる。この第2の段階は、圧電材
料に対するシリコーンのカプセル化材料の接着を確立す
る。更に、シランのような結合材を用いて、カプセル化
材料の付着特性が更に促進される。
The elastomer is then cured at block 332. In the preferred embodiment, the first curing step is conducted at 100 ° C. for about 2 hours. During this first curing stage, the encapsulating material is fixed and has the appearance of a hard rubber material. Then, the second curing stage is about 145-1.
It is carried out at 50 ° C. for about 4 hours. This second step establishes the adhesion of the silicone encapsulant to the piezoelectric material. In addition, a binder such as silane is used to further enhance the adhesive properties of the encapsulating material.

【0035】ブロック336において、軸方向の負荷が
積層体から解放される。その後、積層体は、ブロック3
34において、室温で1時間冷却される。
At block 336, axial loads are released from the stack. After that, the laminate is in block 3
At 34, it is cooled to room temperature for 1 hour.

【0036】エラストマーは、電極及び圧電円盤を充分
にカバーして弧絡を防ぐように付与される。更に、エラ
ストマーは、積層体をハウジングから電気的に分離す
る。
The elastomer is applied so as to sufficiently cover the electrodes and the piezoelectric disc to prevent arcing. Further, the elastomer electrically isolates the laminate from the housing.

【0037】ブロック338において、積層体は、真空
チャンバ内部の空気固定具から取り外される。シリコー
ンのカプセル化材料のコーティングは、ブロック340
に示すようにトリミングされる。このトリミングによ
り、組み立てられた積層体の端面が露出され、動作中に
積層体からダイヤフラム部材へ並進運動を直接伝達でき
るようになる。さもなくば、エラストマーのトリミング
しない端部コーティングは、従順な層として働く。
At block 338, the stack is removed from the air fixture inside the vacuum chamber. The coating of silicone encapsulant is block 340.
Trimmed as shown in. This trimming exposes the end faces of the assembled stack, allowing direct translation of translational motion from the stack to the diaphragm member during operation. Otherwise, the untrimmed end coating of elastomer acts as a compliant layer.

【0038】ブロック342は、極性定めのプロセスを
表している。この極性定めのプロセスは、室温にある積
層体に電圧信号を印加することより成る。例えば、この
電圧信号は、0ボルトから800ボルトまで上方に傾斜
され、次いで、800ボルトから0ボルトまで下方に傾
斜される。この極性決め技術は従来のものであり、セラ
ミック材料に基づくものである。
Block 342 represents the polarisation process. This poling process consists of applying a voltage signal to the stack at room temperature. For example, the voltage signal is ramped up from 0 volts to 800 volts and then ramped down from 800 volts to 0 volts. This poling technique is conventional and based on ceramic materials.

【0039】ブロック344に示すように、ハウジング
の端面及び圧電円盤の露出面は、スチールのダイヤフラ
ムを積層体ハウジング組立体の端に容易に適切に整列さ
せるように同時に研磨される。次いで、ダイヤフラム
は、ブロック346で示すようにハウジングの端面にレ
ーザ溶接される。ダイヤフラムは、好ましくは、ステン
レススチールで作られ、その厚みは約0.25mmであ
る。スチールのダイヤフラムは、積層体を外部の汚染か
ら保護するように機能する。更に、ダイヤフラムは、電
極円盤/積層体がハウジング内で回転しないように防止
する。
As shown in block 344, the end face of the housing and the exposed face of the piezoelectric disk are simultaneously ground to facilitate proper alignment of the steel diaphragm with the end of the laminate housing assembly. The diaphragm is then laser welded to the end face of the housing as shown at block 346. The diaphragm is preferably made of stainless steel and its thickness is about 0.25 mm. The steel diaphragm functions to protect the laminate from external contamination. In addition, the diaphragm prevents the electrode disc / stack from rotating within the housing.

【0040】本発明の操作の一例を以下に述べる。圧電
アクチュエータの主たる機能は動作(アクチュエーショ
ン)を与えることである。これは、圧電円盤各々に高い
電位を加えることにより達成される。電気エネルギーを
受けるのに応答して、各円盤は軸方向に「伸び」即ち膨
張する一方、半径方向に「収縮」即ち縮まる。積層体の
個々の円盤が膨張するときには、積層体130も同様に
膨張する。更に、円盤から電気エネルギーを除去する
と、円盤はその元の形態に復帰する。圧電材料のこの膨
張特性により、セラミックは、動作を必要とする多数の
用途にとって望ましいものとなる。
An example of the operation of the present invention will be described below. The main function of the piezoelectric actuator is to give an actuation. This is achieved by applying a high potential to each of the piezoelectric discs. In response to receiving electrical energy, each disk “stretches” or expands axially, while “shrinks” or contracts radially. When the individual disks of the stack expand, so does stack 130. Further, removal of electrical energy from the disc causes the disc to return to its original form. This expansion property of piezoelectric materials makes ceramics desirable for many applications requiring operation.

【0041】上記したように、シリコーン接着剤は優れ
た物理的特性を発揮し、これは以下のものを含むがこれ
に限定されるものではない。シリコーン接着剤の低い粘
性は圧電円盤への良好な接着をもたらす。更に、この低
い粘性は、積層体のクレバスに接着剤を充填させて良好
なスチフネスを与えることができるようにする。従っ
て、この良好なスチフネス特性によりアクチュエータを
大きく変位させることができる。アルミナ粒子は、良好
な熱伝導特性を発揮し、熱が重要な種々の用途に積層体
を使用できるようにする。更に、カプセル化材料は積層
体を外部の衝撃から保護し、積層体を過酷な条件に使用
できるようにする。これらの全てにより、優れた信頼性
をもつアクチュエータが得られる。
As noted above, silicone adhesives exhibit excellent physical properties, including but not limited to: The low viscosity of silicone adhesives results in good adhesion to piezoelectric discs. In addition, this low viscosity allows the crevasses of the laminate to be filled with adhesive to give good stiffness. Therefore, the actuator can be largely displaced by this good stiffness characteristic. Alumina particles exhibit good thermal conductivity properties, allowing the laminate to be used in a variety of heat-critical applications. Further, the encapsulating material protects the laminate from external impacts and allows the laminate to be used in harsh conditions. All of these result in an actuator with excellent reliability.

【0042】シリコーン接着剤に関連した優れた物理特
性に加えて、多くの組み立て特性も向上される。又、接
着剤は、積層体に対してプライマー(下塗り)なしの接
着を果たす。更に、接着剤の1回の塗布しか必要でない
ので、アクチュエータを迅速に製造することができる。
In addition to the excellent physical properties associated with silicone adhesives, many assembly properties are also improved. The adhesive also adheres to the laminate without a primer (undercoat). Furthermore, the actuator can be manufactured quickly, since only one application of adhesive is required.

【0043】本発明の他の特徴、目的及び効果は、上記
説明、添付図面及び特許請求の範囲から明らかとなろ
う。
Other features, objects and advantages of the invention will be apparent from the above description, the accompanying drawings and the claims.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明により収容されカプセル化された圧電ソ
リッドステートモータ積層体を示す側面断面図である。
1 is a side cross-sectional view showing a piezoelectric solid state motor laminate housed and encapsulated according to the present invention.

【図2】平らな区分及び細長い区分をもつ電極を示す図
である。
FIG. 2 shows an electrode with flat and elongated sections.

【図3】図1の収容された圧電積層体のA−A線に沿っ
た上面断面図である。
FIG. 3 is a cross-sectional top view taken along line AA of the housed piezoelectric laminate of FIG.

【図4】本発明による圧電積層体のカプセル化にエラス
トマーを適用する方法の基本的な段階を示すフローチャ
ートである。
FIG. 4 is a flow chart showing the basic steps of a method of applying an elastomer to the encapsulation of a piezoelectric laminate according to the present invention.

【図5】本発明による圧電積層体のカプセル化にエラス
トマーを適用する方法の基本的な段階を示すフローチャ
ートである。
FIG. 5 is a flow chart showing the basic steps of a method of applying an elastomer for encapsulating a piezoelectric laminate according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

100 ソリッドステートモータ積層体 102 電極/セラミックエレメントの積層体 103 圧電エレメント 104 ハウジング 108、108’ 電極 109、109’ コネクタ 110 ネジ 112 台領域 116 ダイヤフラム 114 表面 118 固定台 100 Solid State Motor Laminate 102 Electrode / Ceramic Element Laminate 103 Piezoelectric Element 104 Housing 108, 108 'Electrode 109, 109' Connector 110 Screw 112 Unit Area 116 Diaphragm 114 Surface 118 Fixing Base

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 カーティス シー ケリー アメリカ合衆国 イリノイ州 61571 ワ シントン バーチウッド ドライヴ 914 ─────────────────────────────────────────────────── ————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−

Claims (17)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 積層体に組み立てられた複数の圧電エレ
メントであって、2つの対向する平らな表面を各々有し
ている圧電エレメントと、 上記積層体の2つの隣接エレメントの上記平らな表面に
接触する平らな区分を各々有する複数の電極と、 上記圧電エレメントに付着されるシリコーン接着剤と、 上記シリコーン接着剤中に配置された複数のセラミック
粒子であって、その粒子サイズが上記圧電エレメントの
粒子サイズに実質的に等しいようなセラミック粒子と、 上記積層体、電極及びシリコーン接着剤の組合体を円筒
状に包囲する保護ハウジングとを備えたことを特徴とす
る圧電ソリッドステートモータ。
1. A plurality of piezoelectric elements assembled in a stack, each piezoelectric element having two opposing flat surfaces, and said flat surface of two adjacent elements of said stack. A plurality of electrodes each having a flat section in contact, a silicone adhesive adhered to the piezoelectric element, and a plurality of ceramic particles disposed in the silicone adhesive, the particle size of which is that of the piezoelectric element. A piezoelectric solid-state motor comprising: ceramic particles having a particle size substantially equal to each other; and a protective housing that cylindrically surrounds the combination of the laminate, the electrode, and the silicone adhesive.
【請求項2】 上記シリコーン接着剤は最初は粘性の低
い液体であり、上記積層体の周囲及びその全体にわたっ
て分布されて、上記積層体とハウジングとの間のエリア
を満たし、その後、上記シリコーン接着剤が硬化されて
上記圧電エレメントに接着する請求項1に記載のソリッ
ドステートモータ。
2. The silicone adhesive is initially a low viscosity liquid and is distributed around and throughout the laminate to fill the area between the laminate and the housing and then the silicone adhesive. The solid state motor according to claim 1, wherein the agent is hardened and adheres to the piezoelectric element.
【請求項3】 上記アルミナ粒子の粒子サイズは上記圧
電エレメントの粒子サイズに実質的に等しい請求項2に
記載のソリッドステートモータ。
3. The solid state motor of claim 2, wherein the particle size of the alumina particles is substantially equal to the particle size of the piezoelectric element.
【請求項4】 各々の上記電極は、上記積層体から外方
に延びるように上記平らな区分と共に形成された細長い
区分を備えている請求項1に記載のソリッドステートモ
ータ。
4. The solid state motor of claim 1, wherein each said electrode comprises an elongated section formed with said flat section so as to extend outwardly from said stack.
【請求項5】 上記圧電エレメント及び上記電極の平ら
な区分は実質的に円形状を有し、そして上記細長い区分
は上記平らな区分の周囲から外方に延び、所定の複数の
電極の細長い区分が一緒に固定される請求項4に記載の
ソリッドステートモータ。
5. The piezoelectric element and the flat section of the electrode have a substantially circular shape, and the elongate section extends outwardly from the periphery of the flat section, the elongate section of a given plurality of electrodes. The solid state motor of claim 4, wherein the are fixed together.
【請求項6】 上記エレメントの2つの対向する平らな
表面は、互いに実質的に平行に形成される請求項5に記
載のソリッドステートモータ。
6. The solid state motor of claim 5, wherein the two opposing flat surfaces of the element are formed substantially parallel to each other.
【請求項7】 上記細長い区分は、上記平らな区分の周
囲から実質的に直角に外方に延びる請求項6に記載のソ
リッドステートモータ。
7. The solid state motor of claim 6, wherein the elongated section extends outwardly from the periphery of the flat section at a substantially right angle.
【請求項8】 上記セラミック粒子の組成はアルミナを
含む請求項2に記載のソリッドステートモータ。
8. The solid state motor according to claim 2, wherein the composition of the ceramic particles includes alumina.
【請求項9】 上記アルミナ粒子の粒子サイズは約1な
いし5ミクロンであり、上記圧電エレメントの粒子サイ
ズは約4ないし5ミクロンである請求項8に記載のソリ
ッドステートモータ。
9. The solid state motor of claim 8 wherein said alumina particles have a particle size of about 1-5 microns and said piezoelectric element has a particle size of about 4-5 microns.
【請求項10】 複数のエレメントを電極と交互配列し
て積層体に組み立てたものを有する圧電ソリッドステー
トモータをカプセル化する方法において、 上記積層体を、熱特性をもつ粘性の低いシリコーン接着
剤でカプセル化し、 上記シリコーン接着剤を第1の温度で第1の所定の時間
中硬化して、上記シリコーン接着剤を固定させ、そして
その後に、 上記シリコーン接着剤を第2の温度で第2の所定の時間
中硬化して、上記圧電エレメントと上記シリコーン接着
剤との間に更に接着を確立する、 という段階を備えたことを特徴とする方法。
10. A method of encapsulating a piezoelectric solid-state motor having a plurality of elements alternately assembled with electrodes and assembled in a laminated body, wherein the laminated body is made of a low-viscosity silicone adhesive having thermal characteristics. Encapsulating, curing the silicone adhesive at a first temperature for a first predetermined time to fix the silicone adhesive, and thereafter, curing the silicone adhesive at a second temperature at a second predetermined time. Curing for a period of time to establish further adhesion between the piezoelectric element and the silicone adhesive.
【請求項11】 上記カプセル化する段階は、更に、上
記シリコーン接着剤に複数のセラミック粒子を添加する
段階を含んでおり、上記セラミック粒子の粒子サイズは
上記圧電エレメントの粒子サイズに実質的に等しい請求
項10に記載の方法。
11. The encapsulating step further comprises adding a plurality of ceramic particles to the silicone adhesive, the particle size of the ceramic particles being substantially equal to the particle size of the piezoelectric element. The method according to claim 10.
【請求項12】 上記シリコーン接着剤は110℃の上
記第1温度で2時間の上記第1所定時間中硬化される請
求項11に記載の方法。
12. The method of claim 11, wherein the silicone adhesive is cured at the first temperature of 110 ° C. for the first predetermined time of 2 hours.
【請求項13】 上記シリコーン接着剤は約145−1
50℃の上記第2温度で4時間の上記第1所定時間中硬
化される請求項11に記載の方法。
13. The silicone adhesive is about 145-1.
The method of claim 11, wherein the method is cured at the second temperature of 50 ° C. for the first predetermined time of 4 hours.
【請求項14】 上記カプセル化する段階は、更に、 上記積層体をグリットブラストして砕片を除去し、 上記積層体を清掃して不所望な汚染物を除去し、そして
真空状態のもとで上記積層体にシリコーン接着剤を塗布
するという段階を備えている請求項13に記載の方法。
14. The encapsulating step further comprises grit blasting the laminate to remove debris, cleaning the laminate to remove unwanted contaminants, and under vacuum. 14. The method of claim 13, comprising the step of applying a silicone adhesive to the laminate.
【請求項15】 上記カプセル化しそして硬化する段階
は、上記積層体に所定の大きさの力を掛けながら実行さ
れる請求項14に記載の方法。
15. The method of claim 14, wherein the encapsulating and curing steps are performed while applying a predetermined amount of force to the laminate.
【請求項16】 上記積層体を保護ハウジング内に整列
する段階を備えた請求項15に記載の方法。
16. The method of claim 15 including the step of aligning the stack in a protective housing.
【請求項17】 上記カプセル化段階では、上記積層体
と上記ハウジングとの間のエリアにシリコーン接着剤を
充填する請求項16に記載の方法。
17. The method according to claim 16, wherein in the encapsulating step, the area between the laminate and the housing is filled with silicone adhesive.
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