JPH06251316A - Manufacture of magnetic head - Google Patents
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- JPH06251316A JPH06251316A JP6337193A JP6337193A JPH06251316A JP H06251316 A JPH06251316 A JP H06251316A JP 6337193 A JP6337193 A JP 6337193A JP 6337193 A JP6337193 A JP 6337193A JP H06251316 A JPH06251316 A JP H06251316A
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- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、フロッピーディスク・
ドライブ磁気ヘッド装置に搭載される磁気ヘッドの製造
方法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to a floppy disk,
The present invention relates to a method of manufacturing a magnetic head mounted in a drive magnetic head device.
【0002】[0002]
【従来の技術】円盤状のフロッピーディスクは、取扱い
が比較的簡単で、しかも大容量の信号を記録できること
から、各種コンピューター,ワードプロセッサー等の外
部記憶装置として非常に広い範囲で使用されている。2. Description of the Related Art Since a disk-shaped floppy disk is relatively easy to handle and can record a large capacity of signals, it is widely used as an external storage device for various computers, word processors and the like.
【0003】上記フロッピーディスクに情報の記録再生
を行う際には、当然のことながら、該フロッピーディス
クを回転させ、磁気ヘッドをフロッピーディスクに接触
させて情報の記録再生を行う。ところが、フロッピーデ
ィスクは可撓性を有するため、回転により振動し易く、
磁気ヘッドがフロッピーディスクに安定,確実に接触す
ることができない。そこで、該フロッピーディスクを磁
気ヘッドによって挟み込むように構成されたフロッピー
ディスク・ドライブ用磁気ヘッド装置を用いて、磁気ヘ
ッドがフロッピーディスクに安定,確実に接触するよう
にしている。すなわち、上記フロッピーディスク・ドラ
イブ用磁気ヘッド装置においては、平坦な媒体対向面を
有するスライダーによって磁気ヘッドコアを支持させて
磁気ヘッドを構成し、これをジンバル等のバネ部材を介
して支持体に支持させて荷重をかけながらフロッピーデ
ィスクを挟みこむように支持することで磁気ヘッドとフ
ロッピーディスクの安定,確実な接触を達成している。When recording / reproducing information on / from the floppy disk, as a matter of course, the floppy disk is rotated and the magnetic head is brought into contact with the floppy disk to record / reproduce information. However, since the floppy disk has flexibility, it easily vibrates due to rotation,
The magnetic head cannot make stable and reliable contact with the floppy disk. Therefore, a magnetic head device for a floppy disk drive, which is constructed so that the floppy disk is sandwiched by magnetic heads, is used so that the magnetic head is brought into stable and reliable contact with the floppy disk. That is, in the above-mentioned magnetic head device for a floppy disk drive, a magnetic head core is supported by a slider having a flat medium facing surface to form a magnetic head, and the magnetic head is supported by a support through a spring member such as a gimbal. By supporting the floppy disk so as to sandwich it while applying a load, stable and reliable contact between the magnetic head and the floppy disk is achieved.
【0004】上記磁気ヘッドは、例えば図12に示され
るような形状をしている。該磁気ヘッドは、図中に示す
ように、磁気ヘッドコア11が2つのスライダー部材1
2,13によって挟み込まれた形状となされており、そ
の一方のスライダー部材12の媒体対向面12aには、
エアグルーブである溝部12bが形成されている。ま
た、それぞれの媒体対向面11a,12a,13aには
研磨加工が施され、且つその背面にはコイル巻装用の溝
部14が形成され、図示しないコイルが巻装されてい
る。なお、溝部14の間隙には、後にジンバルとの固着
部として使用される脚部15が形成される。The magnetic head has a shape as shown in FIG. 12, for example. As shown in the figure, the magnetic head includes a slider member 1 having two magnetic head cores 11.
It is formed so as to be sandwiched by 2 and 13, and the medium facing surface 12a of one slider member 12 is
A groove portion 12b which is an air groove is formed. Each medium facing surface 11a, 12a, 13a is ground, and a groove 14 for coil winding is formed on the back surface thereof, and a coil (not shown) is wound. In addition, in the gap of the groove portion 14, a leg portion 15 which will be used later as a fixing portion to the gimbal is formed.
【0005】このような磁気ヘッドは、次のようにして
製造される。先ず、磁気ギャップを有する磁気ヘッドコ
アを2つのスライダー部材によって挟み込むように接合
し、磁気ヘッドコア,スライダー部材の媒体対向面の背
面側に溝加工を施してコイル巻装用の溝部を形成する。
そして、磁気ヘッドコア,スライダー部材の媒体対向面
に表面研削を行い、溝部にコイルを巻装して図12に示
すような磁気ヘッドを得る。Such a magnetic head is manufactured as follows. First, a magnetic head core having a magnetic gap is joined so as to be sandwiched by two slider members, and a groove portion is formed on the back side of the medium facing surface of the magnetic head core and the slider member to form a groove portion for coil winding.
Then, surface grinding is performed on the medium facing surface of the magnetic head core and the slider member, and a coil is wound around the groove to obtain a magnetic head as shown in FIG.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】近年、媒体であるフロ
ッピーディスクの高容量化が求められると共に、デバイ
スであるフロッピーディスク・ドライブ磁気ヘッド装置
の改良が求められ、現行の2MBから4MBへの高容量
化が求められている。上記フロッピーディスク・ドライ
ブ磁気ヘッド装置においては、特に磁気変換特性を安定
化させる目的で、磁気ヘッドの媒体対向面の平坦度の向
上が要求されている。具体的には2MBのフロッピーデ
ィスクドライブ磁気ヘッド装置の媒体対向面の平坦度は
150nm程度であったが、4MBのフロッピーディス
クドライブ磁気ヘッド装置には30nm程度の平坦度が
要求されている。そこで、媒体対向面研磨処理の際に媒
体対向面を平坦度30nm程度の面に表面研削して対応
している。In recent years, there has been a demand for higher capacity of a floppy disk as a medium and improvement of a magnetic head device for a floppy disk drive, which is a device, and a high capacity from the current 2 MB to 4 MB has been demanded. Is required. In the above-mentioned floppy disk drive magnetic head device, it is required to improve the flatness of the medium facing surface of the magnetic head particularly for the purpose of stabilizing the magnetic conversion characteristics. Specifically, the flatness of the medium facing surface of the 2 MB floppy disk drive magnetic head device was about 150 nm, but the flatness of about 30 nm is required for the 4 MB floppy disk drive magnetic head device. Therefore, in the medium facing surface polishing treatment, the medium facing surface is grinded to a surface having a flatness of about 30 nm.
【0007】ところが、このような磁気ヘッドをフロッ
ピーディスク・ドライブ磁気ヘッド装置に搭載する際に
媒体対向面の平坦度が損なわれるという問題が発生して
いる。上記のような問題は以下のようにして発生する。
磁気ヘッドをフロッピーディスク・ドライブ磁気ヘッド
装置に搭載する際には上述のようにジンバル等のバネ部
材を介して支持体に支持させる。この際、磁気ヘッドの
ジンバルへの固着は接着剤によって行われるが、上記ジ
ンバルへの接着過程における接着剤の収縮により磁気ヘ
ッドの媒体対向面の平坦度が損なわれてしまう。However, when mounting such a magnetic head in a floppy disk drive magnetic head device, there is a problem that the flatness of the medium facing surface is impaired. The above problem occurs as follows.
When the magnetic head is mounted on the floppy disk drive magnetic head device, it is supported by the support through the spring member such as a gimbal as described above. At this time, the magnetic head is fixed to the gimbal with an adhesive, but the contraction of the adhesive in the process of adhering to the gimbal impairs the flatness of the medium facing surface of the magnetic head.
【0008】上記接着剤としては、エポキシ樹脂,或い
は紫外線硬化樹脂が一般的であるが、これら接着剤は樹
脂を溶媒に溶解させたものであり、溶媒が揮発して硬化
するため、硬化によって接着剤の体積は収縮する。As the above-mentioned adhesive, an epoxy resin or an ultraviolet curable resin is generally used. However, these adhesives are prepared by dissolving a resin in a solvent. Since the solvent volatilizes and cures, the adhesive adheres by curing. The volume of the agent shrinks.
【0009】例えば、ある紫外線硬化樹脂の硬化時の体
積収縮率は次のように求められる。不揮発成分係数Aを
1.00,液体時比重Bを1.03,硬化時比重Cを
1.12とした場合、体積収縮率Dは次式にて算出され
る。 D={1−(AB/C)}×100 ={1−(1.00×1.03/1.12)} =8.04 すなわち、上記紫外線硬化樹脂においては硬化時に8.
04%の体積収縮が発生するものである。For example, the volume contraction rate of a certain ultraviolet curable resin at the time of curing is obtained as follows. When the non-volatile component coefficient A is 1.00, the liquid specific gravity B is 1.03, and the curing specific gravity C is 1.12, the volume shrinkage ratio D is calculated by the following equation. D = {1- (AB / C)} * 100 = {1- (1.00 * 1.03 / 1.12)} = 8.04 That is, in the said ultraviolet curable resin, it is 8. at the time of hardening.
A volume contraction of 04% occurs.
【0010】従って、このような紫外線硬化樹脂によっ
て磁気ヘッドをジンバルに固着すると、接着過程におい
て磁気ヘッドは紫外線硬化樹脂の硬化時の収縮による力
を受ける。例えば、図13に示すように磁気ヘッドコア
11とスライダー部材12,13にて構成される磁気ヘ
ッドが、脚部15を固着部とし、紫外線硬化樹脂17に
よってジンバル16に固着される場合には、脚部15に
は紫外線硬化樹脂17の硬化時の収縮により発生する図
中矢印P2 で示されるような方向の力が加わる。すなわ
ち、磁気ヘッドには媒体対向面11a,12a,13a
を反らせる方向に力が加わることとなる。従って、ジン
バル固着後の磁気ヘッド部の媒体対向面には反りが発生
し、媒体対向面は凸形状となり、その平坦度を損なうこ
ととなる。接着剤としてエポキシ樹脂を用いた場合にお
いても同様であり、硬化時の樹脂の収縮によって、磁気
ヘッドの媒体対向面は凸形状となり、その平坦度が損な
われることとなる。Therefore, when the magnetic head is fixed to the gimbal with such an ultraviolet curable resin, the magnetic head receives a force due to the contraction of the ultraviolet curable resin during curing during the bonding process. For example, when the magnetic head composed of the magnetic head core 11 and the slider members 12 and 13 is fixed to the gimbal 16 by the ultraviolet curable resin 17 as shown in FIG. A force in the direction indicated by an arrow P 2 in the figure, which is generated by contraction of the ultraviolet curable resin 17 during curing, is applied to the portion 15. That is, the magnetic head has medium facing surfaces 11a, 12a, 13a.
A force will be applied in the direction of bending. Therefore, a warp occurs in the medium facing surface of the magnetic head portion after the gimbal is fixed, and the medium facing surface has a convex shape, impairing the flatness thereof. The same is true when an epoxy resin is used as the adhesive, and the shrinkage of the resin during curing causes the medium facing surface of the magnetic head to have a convex shape, impairing its flatness.
【0011】このように磁気ヘッドの媒体対向面が凸形
状となり、その平坦度が低下すると、再生出力波形が一
定とならず、コンピューター等が信号を読み取れなくな
り、リードエラーが発生する現象であるモジュレーショ
ン不良が発生し、磁気変換特性の安定化を達成すること
は不可能である。また、媒体対向面が凸形状であること
により、媒体表面の傷付けによる媒体及び磁気ヘッドの
製品寿命の低下等の不都合が発生し、好ましくない。When the medium facing surface of the magnetic head has a convex shape and its flatness is lowered, the reproduction output waveform is not constant and the computer or the like cannot read the signal, resulting in a read error. A defect occurs and it is impossible to achieve stabilization of the magnetic conversion characteristics. Further, the convex surface of the medium facing surface is not preferable because it causes inconveniences such as a decrease in product life of the medium and the magnetic head due to scratches on the medium surface.
【0012】そこで、接着剤の種類,塗布量を変更して
接着剤の硬化時の収縮による力の発生を抑制して磁気ヘ
ッドの媒体対向面の形状の変化を防止することが試みら
れているが、接着剤の塗布量のバラツキ等があるため、
磁気ヘッドの媒体対向面の形状の変化を完全に抑えるこ
とは不可能である。Therefore, it has been attempted to prevent the change of the shape of the medium facing surface of the magnetic head by changing the kind and the coating amount of the adhesive to suppress the generation of force due to the contraction of the adhesive during curing. However, because there are variations in the amount of adhesive applied,
It is impossible to completely suppress the change in the shape of the medium facing surface of the magnetic head.
【0013】一方、上述のフロッピーディスク用磁気ヘ
ッド装置においては、小型化も要求されており、それに
よっても磁気ヘッドの媒体対向面の平坦度の向上が望ま
れている。すなわち、磁気ヘッドは図12に示すような
構造であり、コイルを巻装するために設けられる溝部1
4の深さDは、コイル巻装の都合上、あまり小さくする
ことは不可能であるため、小型化を行うには媒体対向部
18の厚さWを小さくすることが必要となる。この時、
該媒体対向部18の媒体対向面11a,12a,13a
の平坦度があまり低いと磁気ヘッドの強度を確保するこ
とが出来ず、磁気ヘッドの製品寿命を低下させるため好
ましくない。On the other hand, the above-mentioned magnetic head device for a floppy disk is also required to be downsized, which is also required to improve the flatness of the medium facing surface of the magnetic head. That is, the magnetic head has a structure as shown in FIG. 12, and the groove portion 1 provided for winding the coil is provided.
Since the depth D of 4 cannot be made too small for the convenience of coil winding, it is necessary to reduce the thickness W of the medium facing portion 18 in order to reduce the size. At this time,
Medium facing surfaces 11a, 12a, 13a of the medium facing portion 18
If the flatness is too low, the strength of the magnetic head cannot be secured and the product life of the magnetic head is shortened, which is not preferable.
【0014】そこで本発明は、従来の実情に鑑みて提案
されたものであり、媒体対向面の平坦度を高め、安定し
た磁気変換特性を有し、高記録密度化に対応でき、媒体
及び磁気ヘッドの製品寿命を向上させることの可能な磁
気ヘッドを製造する磁気ヘッドの製造方法を提供するこ
とを目的とする。Therefore, the present invention has been proposed in view of the actual situation of the related art, and it has a high flatness of the medium facing surface, has a stable magnetic conversion characteristic, and can cope with a high recording density. An object of the present invention is to provide a magnetic head manufacturing method for manufacturing a magnetic head capable of improving the product life of the head.
【0015】[0015]
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに本発明者らが鋭意検討した結果、磁気ヘッドの媒体
対向面をジンバルに固着する際に発生する変形を相殺す
るような形状に予め加工した上でジンバルに固着するこ
とにより、媒体対向面の平坦度を高め、安定した磁気変
換特性を有し、高記録密度化に対応でき、媒体及び磁気
ヘッドの製品寿命を向上させることの可能な磁気ヘッド
を製造することが可能であることを見出した。As a result of intensive studies by the present inventors in order to achieve the above-mentioned object, as a result, a shape that cancels the deformation that occurs when the medium facing surface of the magnetic head is fixed to the gimbal is cancelled. By pre-processing and fixing to the gimbal, the flatness of the medium facing surface can be increased, stable magnetic conversion characteristics can be achieved, high recording density can be supported, and the product life of the medium and magnetic head can be improved. It has been found that it is possible to manufacture a possible magnetic head.
【0016】すなわち、本発明の磁気ヘッドの製造方法
は、スライダーと磁気ヘッドコアをガラス接合した後、
上記スライダーと磁気ヘッドコアの媒体対向面に表面研
削を施し、上記媒体対向面の背面側に溝加工を行うこと
を特徴とするものである。That is, according to the method of manufacturing a magnetic head of the present invention, after the slider and the magnetic head core are glass-bonded,
Surface-grinding is performed on the medium facing surface of the slider and the magnetic head core, and grooves are formed on the back surface side of the medium facing surface.
【0017】また、本発明においては、上記の磁気ヘッ
ドの製造方法において、媒体対向面の平坦度を30nm
以下とすることを特徴とするものである。Further, according to the present invention, in the above-mentioned magnetic head manufacturing method, the flatness of the medium facing surface is 30 nm.
It is characterized by the following.
【0018】[0018]
【作用】本発明の磁気ヘッドの製造方法においては、ス
ライダーと磁気ヘッドコアをガラス接合した後、上記ス
ライダーと磁気ヘッドコアの媒体対向面に表面研削を施
し、上記媒体対向面の背面側に溝加工を行うため、後工
程においてバネ部材であるジンバルへの固着の際にスラ
イダーと磁気ヘッドコアの媒体対向面に生ずる変形を相
殺するような形状に予め成形しておくことが可能であ
る。In the method of manufacturing a magnetic head of the present invention, after the slider and the magnetic head core are glass-bonded, the medium facing surface of the slider and the magnetic head core is subjected to surface grinding, and a groove is formed on the back side of the medium facing surface. Therefore, it can be preliminarily formed into a shape that cancels out the deformation occurring in the medium facing surface of the slider and the magnetic head core when the slider and the magnetic head core are fixed to the gimbal in the subsequent step.
【0019】[0019]
【実施例】以下、本発明を適用した具体的な実施例につ
いて図面を参照しながら説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Specific embodiments to which the present invention is applied will be described below with reference to the drawings.
【0020】先ず、本実施例の磁気ヘッドの製造方法に
よって製造される磁気ヘッドを図1に示す。該磁気ヘッ
ドは、図中に示すように、磁気ヘッドコア1が2つのス
ライダー部材2,3によって挟み込まれた形状となされ
ており、その一方のスライダー部材2の媒体対向面2a
には、エアグルーブである溝部2bが形成されている。
また、それぞれの媒体対向面1a,2a,3aには研磨
加工が施され、且つその背面にはコイル巻装用の溝部4
が形成され、図示しないコイルが巻装されている。な
お、溝部4の間隙には後にバネ部材であるジンバルとの
固着部として使用される脚部5が形成される。First, FIG. 1 shows a magnetic head manufactured by the method of manufacturing a magnetic head of this embodiment. As shown in the drawing, the magnetic head has a shape in which a magnetic head core 1 is sandwiched between two slider members 2 and 3, and one slider member 2 has a medium facing surface 2a.
A groove portion 2b, which is an air groove, is formed in the.
Further, each medium facing surface 1a, 2a, 3a is subjected to polishing, and the back surface thereof has a groove portion 4 for coil winding.
Is formed and a coil (not shown) is wound. In addition, a leg portion 5 which will be used later as a fixing portion to a gimbal which is a spring member is formed in the gap of the groove portion 4.
【0021】次に本実施例の磁気ヘッドの製造方法を工
程順に示す。先ず、図2に示すように、磁気ギャップを
有する磁気ヘッドコア1を2つのスライダー部材2,3
によって挟み込むように接合し、図3に示すような接合
物を得る。この時、接合物の一方のスライダー部材2の
媒体対向面2aにはエアグルーブである溝部2bが設け
られ、磁気ヘッドコア1はもう一方のスライダー部材3
のスライダーレール3bに搭載された状態となる。Next, a method of manufacturing the magnetic head of this embodiment will be described in the order of steps. First, as shown in FIG. 2, a magnetic head core 1 having a magnetic gap is attached to two slider members 2 and 3.
Bonding is carried out so as to be sandwiched by, and a bonded article as shown in FIG. 3 is obtained. At this time, a groove portion 2b, which is an air groove, is provided on the medium facing surface 2a of one slider member 2 of the joined object, and the magnetic head core 1 is provided on the other slider member 3 of the magnetic head core 1.
It is in a state of being mounted on the slider rail 3b.
【0022】そして、図4に示すように磁気ヘッドコア
1,スライダー部材2,3の媒体対向面1a,2a,3
aに表面研削,ポリッシュ仕上げ等の表面研削を施し、
これらの面を平坦度20〜30nmの平滑面に仕上げ
る。Then, as shown in FIG. 4, the medium facing surfaces 1a, 2a, 3 of the magnetic head core 1, slider members 2, 3 are shown.
Surface grinding such as surface grinding and polishing is performed on a.
These surfaces are finished into smooth surfaces having a flatness of 20 to 30 nm.
【0023】次いで、図5に示すように、磁気ヘッドコ
ア1,スライダー部材2,3の媒体対向面1a,2a,
3aの背面に溝加工を施してコイル巻装用の溝部4を形
成し、図示しないコイルを巻装して図1に示すような磁
気ヘッドを得る。この際、溝部4の間隙には脚部5が形
成される。Next, as shown in FIG. 5, the medium facing surfaces 1a, 2a of the magnetic head core 1, the slider members 2, 3,
A groove is formed on the back surface of 3a to form a groove portion 4 for winding a coil, and a coil (not shown) is wound to obtain a magnetic head as shown in FIG. At this time, the leg portion 5 is formed in the gap between the groove portions 4.
【0024】このようにして製造される磁気ヘッドをフ
ロッピーディスク・ドライブ磁気ヘッド装置に搭載する
に際しては、図6に示すように、溝部4の形成と共に形
成される脚部5を固着部として紫外線硬化樹脂7によっ
てジンバル6に固着し、上記フロッピーディスク・ドラ
イブ磁気ヘッド装置に搭載する。When the magnetic head manufactured in this manner is mounted on the floppy disk drive magnetic head device, as shown in FIG. 6, the leg portion 5 formed together with the formation of the groove portion 4 is used as a fixing portion for ultraviolet curing. The resin 7 is fixed to the gimbal 6 and mounted on the floppy disk drive magnetic head device.
【0025】この際、前述のように接着剤である紫外線
硬化樹脂7の硬化によって磁気ヘッドの脚部5には紫外
線硬化樹脂7の硬化時の収縮により発生する図中矢印P
1 で示されるような方向の力が加わる。すなわち、磁気
ヘッドには媒体対向面1a,2a,3aを反らせる方向
に力が加わることとなる。しかしながら、本実施例の磁
気ヘッドの製造方法によって製造される磁気ヘッドにお
いては、媒体対向面1a,2a,3aに反りが発生しな
い。At this time, as described above, the hardening of the ultraviolet curable resin 7 as an adhesive causes the leg portion 5 of the magnetic head to contract due to the contraction of the ultraviolet curable resin 7 at the time of curing.
A force is applied in the direction indicated by 1 . That is, a force is applied to the magnetic head in the direction of bending the medium facing surfaces 1a, 2a, 3a. However, in the magnetic head manufactured by the method of manufacturing the magnetic head of this embodiment, the medium facing surfaces 1a, 2a, 3a do not warp.
【0026】従来の磁気ヘッドの製造方法においては、
磁気ヘッドコア,スライダー部材の媒体対向面の背面に
コイル巻装用の溝部を形成し、媒体対向面を平坦面とな
した後に、ジンバルへの固着を行っており、平坦面であ
った媒体対向面はジンバルへの固着により力を受け凸形
状の面となってしまう。In the conventional magnetic head manufacturing method,
A groove for coil winding is formed on the back surface of the medium facing surface of the magnetic head core and the slider member, and the medium facing surface is made a flat surface and then fixed to the gimbal. Due to the sticking to the gimbal, it receives a force and becomes a convex surface.
【0027】一方、本実施例の磁気ヘッドの製造方法に
おいては、上述のように磁気ヘッドコア,スライダー部
材の媒体対向面を平坦面となし、該媒体対向面の背面に
コイル巻装用の溝部を形成した後にジンバルへの固着を
行っている。この際、磁気ヘッドコアとスライダー部材
は、両者の接合による内部歪みが生じている状態で媒体
対向面の表面研削が行われ、その後の溝部の形成によっ
て内部歪みから解放されることとなる。すなわち、図5
に示すような磁気ヘッドコア1とスライダー部材2,3
の脚部5が外へ拡がるような状態となり、媒体対向面1
a,2a,3aは凹面形状をなすこととなる。従って、
このような凹面形状の媒体対向面を有する磁気ヘッドを
ジンバルに固着すると、前述のように媒体対向面を反ら
せる方向の力を受けて凹面形状の媒体対向面は平坦面と
なされ、媒体対向面に反りは発生しない。On the other hand, in the method of manufacturing the magnetic head of the present embodiment, the medium facing surface of the magnetic head core and the slider member is made flat as described above, and the groove for coil winding is formed on the back surface of the medium facing surface. After that, it is fixed to the gimbal. At this time, the magnetic head core and the slider member are released from the internal strain by the surface grinding of the medium facing surface while the internal strain is generated due to the joining of the magnetic head core and the slider member, and the subsequent groove formation. That is, FIG.
Magnetic head core 1 and slider members 2 and 3 as shown in FIG.
The legs 5 of the medium are spread outward, and the medium facing surface 1
A, 2a, 3a will be concave. Therefore,
When the magnetic head having such a concave-shaped medium facing surface is fixed to the gimbal, the concave-shaped medium facing surface is flattened by the force in the direction of bending the medium facing surface as described above, and the medium facing surface is No warpage occurs.
【0028】そこで、従来の磁気ヘッドの製造方法によ
って製造された磁気ヘッドと本実施例の磁気ヘッドの製
造方法によって製造された磁気ヘッドの媒体対向面の平
坦度を実際に測定した。Therefore, the flatness of the medium facing surface of the magnetic head manufactured by the conventional magnetic head manufacturing method and the magnetic head manufactured by the magnetic head manufacturing method of this embodiment were actually measured.
【0029】測定機器としてはレーザ光源の非接触三次
元粗さ・形状測定器を用い、媒体対向面を幾つかの線領
域に区切って測定を行い、媒体対向面全体の範囲におけ
るもっとも高い点と低い点の差を平坦度とした。従来の
磁気ヘッドの製造方法によって製造された磁気ヘッドに
おいては、磁気ヘッドの完成時、すなわち媒体対向面の
表面研削を行った直後の平坦度と、ジンバルに固着した
際の平坦度を測定し、それぞれの結果を図7,8に示し
た。一方の本実施例の磁気ヘッドの製造方法によって製
造された磁気ヘッドにおいては、媒体対向面の表面研削
時、溝部形成時(磁気ヘッド完成時)、ジンバル固着時
の平坦度を測定しそれぞれの結果を図9,10,11に
示した。なお、図7〜11のチャートはそれぞれの試料
の一線領域の表面状態の測定結果を示し、各図中には面
全体の平坦度を示す数値を記載し、その形状も伴記す
る。A non-contact three-dimensional roughness / shape measuring device of a laser light source is used as a measuring device, and the medium facing surface is divided into several line regions for measurement, and the highest point in the entire range of the medium facing surface is measured. The difference between the low points was defined as the flatness. In the magnetic head manufactured by the conventional method for manufacturing a magnetic head, when the magnetic head is completed, that is, the flatness immediately after the surface grinding of the medium facing surface and the flatness when fixed to the gimbal are measured, The respective results are shown in FIGS. On the other hand, in the magnetic head manufactured by the method of manufacturing the magnetic head of the present embodiment, the flatness at the time of surface grinding of the medium facing surface, at the time of forming the groove portion (at the completion of the magnetic head), and at the time of fixing the gimbal was measured, and the respective results were obtained. Are shown in FIGS. The charts of FIGS. 7 to 11 show the measurement results of the surface state in the one-line region of each sample, and in each figure, the numerical value showing the flatness of the entire surface is shown, and the shape thereof is also shown.
【0030】図7,8図の結果より、従来の磁気ヘッド
の製造方法によって製造された磁気ヘッドにおいては磁
気ヘッド完成時には平坦度30nm以下の平坦な媒体対
向面が得られるものの、ジンバルへの固着によって変形
が生じ平坦度が30nmよりも大きな凸形状の面となっ
てしまうことが確認された。一方、本実施例の磁気ヘッ
ドの製造方法によって製造された磁気ヘッドにおいて
は、先ず表面研削で平坦度30nm以下の平坦な媒体対
向面を得、その後媒体対向面の背面に溝加工を施すこと
により媒体対向面は凹形状の面となされ、その後のジン
バルへの固着によって再び平坦度30nm以下の平坦な
媒体対向面が得られることが確認された。From the results of FIGS. 7 and 8, in the magnetic head manufactured by the conventional method of manufacturing a magnetic head, a flat medium facing surface having a flatness of 30 nm or less can be obtained when the magnetic head is completed, but it is fixed to the gimbal. It was confirmed that the deformation caused a flat surface having a flatness larger than 30 nm. On the other hand, in the magnetic head manufactured by the method for manufacturing a magnetic head of the present embodiment, first, a flat medium facing surface having a flatness of 30 nm or less is obtained by surface grinding, and then a groove is formed on the back surface of the medium facing surface. It was confirmed that the medium facing surface was formed into a concave surface, and a flat medium facing surface having a flatness of 30 nm or less was obtained again by the subsequent fixing to the gimbal.
【0031】また、これらの磁気ヘッドを4MBのフロ
ッピーディスク・ドライブ磁気ヘッド装置に使用した際
のモジュレーション不良の発生率について調査を行った
が、平坦度30nm以下の平坦な媒体対向面を有する本
実施例の磁気ヘッドの製造方法によって製造された磁気
ヘッドにおいては、5%以下であり、平坦度30nmよ
りも大である媒体対向面を有する従来の磁気ヘッドの製
造方法によって製造された磁気ヘッドにおいては、30
〜50%であった。すなわち、本実施例の磁気ヘッドの
製造方法によって製造された磁気ヘッドにおいては、平
坦度が30nm以下の平坦な媒体対向面を有するためモ
ジュレーション不良の発生率が低く、安定した磁気変換
特性を有することが確認された。Further, the occurrence rate of modulation failure when these magnetic heads were used in a 4 MB floppy disk drive magnetic head device was investigated, and the present embodiment having a flat medium facing surface with a flatness of 30 nm or less was carried out. In the magnetic head manufactured by the manufacturing method of the example magnetic head, the magnetic head manufactured by the conventional manufacturing method of the magnetic head having the medium facing surface having the flatness of 30% or less is 5% or less. , 30
Was 50%. That is, the magnetic head manufactured by the method of manufacturing a magnetic head of the present embodiment has a flat medium facing surface having a flatness of 30 nm or less, and thus has a low occurrence rate of poor modulation and stable magnetic conversion characteristics. Was confirmed.
【0032】[0032]
【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明の磁気ヘッドの製造方法においては、スライダーと磁
気ヘッドコアをガラス接合した後、上記スライダーと磁
気ヘッドコアの媒体対向面に表面研削を施し、上記媒体
対向面の背面側に溝加工を行うため、後工程においてバ
ネ部材であるジンバルへの固着の際にスライダーと磁気
ヘッドコアの媒体対向面に生ずる変形を相殺するような
形状に予め成形しておくことが可能である。従って、ジ
ンバルへの固着後に平坦な媒体対向面を得ることがで
き、磁気変換特性を安定化させ、高密度記録に対応可能
な磁気ヘッドを形成することができる。また、平坦な媒
体摺動面を得ることができることから、媒体に対する傷
つけが発生せず、媒体及び磁気ヘッドの製品寿命を向上
させることも可能である。さらに、平坦な媒体対向面を
形成できることから小型化を達成することも可能であ
る。As is apparent from the above description, in the method of manufacturing a magnetic head of the present invention, after the slider and the magnetic head core are glass-bonded, the medium facing surfaces of the slider and the magnetic head core are surface-ground. Since the groove is formed on the back surface side of the medium facing surface, it is preformed in a shape that cancels out the deformation of the slider and the magnetic head core, which occurs in the medium facing surface when the spring member is fixed to the gimbal in a later step. It is possible to keep it. Therefore, it is possible to obtain a flat medium facing surface after being fixed to the gimbal, stabilize the magnetic conversion characteristics, and form a magnetic head compatible with high density recording. Further, since the flat medium sliding surface can be obtained, the medium is not damaged and the product life of the medium and the magnetic head can be improved. Furthermore, since it is possible to form a flat medium facing surface, it is possible to achieve miniaturization.
【0033】また、本発明の磁気ヘッドの製造方法にお
いては、媒体対向面の平坦度を30nm以下とすること
により、さらに高い効果を得ることができる。Further, in the method of manufacturing a magnetic head of the present invention, a higher effect can be obtained by setting the flatness of the medium facing surface to 30 nm or less.
【図1】本発明を適用した磁気ヘッドの製造方法により
製造した磁気ヘッドを示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing a magnetic head manufactured by a method of manufacturing a magnetic head to which the present invention is applied.
【図2】本発明を適用した磁気ヘッドの製造方法を工程
順に示すものであり、磁気ヘッドコアとスライダー部材
を接合する工程を示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing a method of manufacturing a magnetic head to which the present invention is applied, in the order of steps, and showing a step of joining a magnetic head core and a slider member.
【図3】磁気ヘッドコアとスライダー部材を接合した状
態を示す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing a state in which a magnetic head core and a slider member are joined together.
【図4】磁気ヘッドコアとスライダー部材の媒体対向面
に表面研削を施す工程を示す斜視図である。FIG. 4 is a perspective view showing a step of performing surface grinding on the medium facing surfaces of the magnetic head core and the slider member.
【図5】磁気ヘッドコアとスライダー部材の媒体対向面
の背面に溝加工を施す工程を示す斜視図である。FIG. 5 is a perspective view showing a step of forming a groove on the back surface of the medium facing surface of the magnetic head core and the slider member.
【図6】本発明を適用した磁気ヘッドの製造方法により
製造した磁気ヘッドをジンバルに固着した状態を示す要
部概略斜視図である。FIG. 6 is a schematic perspective view of essential parts showing a state in which a magnetic head manufactured by a method of manufacturing a magnetic head according to the present invention is fixed to a gimbal.
【図7】従来の磁気ヘッドの製造方法によって製造され
る磁気ヘッドの磁気ヘッド完成時の媒体対向面の表面状
態を示すチャート図である。FIG. 7 is a chart showing a surface state of a medium facing surface of a magnetic head manufactured by a conventional magnetic head manufacturing method when the magnetic head is completed.
【図8】従来の磁気ヘッドの製造方法によって製造され
る磁気ヘッドをジンバルに固着した際の媒体対向面の表
面状態を示すチャート図である。FIG. 8 is a chart showing a surface state of a medium facing surface when a magnetic head manufactured by a conventional magnetic head manufacturing method is fixed to a gimbal.
【図9】本発明を適用した磁気ヘッドの製造方法によっ
て製造される磁気ヘッドの媒体対向面研磨時の媒体対向
面の表面状態を示すチャート図である。FIG. 9 is a chart showing the surface state of the medium facing surface of the magnetic head manufactured by the method of manufacturing a magnetic head according to the present invention during polishing of the medium facing surface.
【図10】本発明を適用した磁気ヘッドの製造方法によ
って製造される磁気ヘッドの溝部形成時の媒体対向面の
表面状態を示すチャート図である。FIG. 10 is a chart showing a surface state of a medium facing surface when a groove is formed in a magnetic head manufactured by a method of manufacturing a magnetic head to which the invention is applied.
【図11】本発明を適用した磁気ヘッドの製造方法によ
って製造される磁気ヘッドをジンバルに固着した際の媒
体対向面の表面状態を示すチャート図である。FIG. 11 is a chart showing a surface state of a medium facing surface when a magnetic head manufactured by a method of manufacturing a magnetic head according to the present invention is fixed to a gimbal.
【図12】従来の磁気ヘッドの製造方法によって製造さ
れる磁気ヘッドを示す斜視図である。FIG. 12 is a perspective view showing a magnetic head manufactured by a conventional method of manufacturing a magnetic head.
【図13】従来の磁気ヘッドの製造方法によって製造さ
れる磁気ヘッドをジンバルに固着した状態を示す要部概
略斜視図である。FIG. 13 is a main part schematic perspective view showing a state in which a magnetic head manufactured by a conventional magnetic head manufacturing method is fixed to a gimbal.
1・・・・磁気ヘッドコア 2,3・・スライダー部材 4・・・・溝部 5・・・・脚部 6・・・・ジンバル 7・・・・紫外線硬化樹脂 1 ... ・ Magnetic head core 2, 3 ・ ・ Slider member 4 ・ ・ ・ ・ Groove 5 ・ ・ ・ ・ Legs 6 ・ ・ ・ ・ Gimbal 7 ・ ・ ・ ・ ・ ・ UV curing resin
Claims (2)
合し、上記スライダーと磁気ヘッドコアの媒体対向面に
表面研削を施した後、上記媒体対向面の背面側に溝加工
を行うことを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。1. A magnetic head characterized in that a slider and a magnetic head core are glass-bonded, the medium facing surface of the slider and the magnetic head core is surface-ground, and then a groove is formed on the back side of the medium facing surface. Manufacturing method.
ることを特徴とする請求項1記載の磁気ヘッドの製造方
法。2. The method of manufacturing a magnetic head according to claim 1, wherein the flatness of the medium facing surface is 30 nm or less.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6337193A JPH06251316A (en) | 1993-02-27 | 1993-02-27 | Manufacture of magnetic head |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6337193A JPH06251316A (en) | 1993-02-27 | 1993-02-27 | Manufacture of magnetic head |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06251316A true JPH06251316A (en) | 1994-09-09 |
Family
ID=13227367
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6337193A Withdrawn JPH06251316A (en) | 1993-02-27 | 1993-02-27 | Manufacture of magnetic head |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH06251316A (en) |
-
1993
- 1993-02-27 JP JP6337193A patent/JPH06251316A/en not_active Withdrawn
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Legal Events
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