JPH06222280A - Optical operation type manipulator - Google Patents
Optical operation type manipulatorInfo
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- JPH06222280A JPH06222280A JP19259892A JP19259892A JPH06222280A JP H06222280 A JPH06222280 A JP H06222280A JP 19259892 A JP19259892 A JP 19259892A JP 19259892 A JP19259892 A JP 19259892A JP H06222280 A JPH06222280 A JP H06222280A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、微粒子や細胞等の微小
観察対象物を破壊することなく、非接触でハンドリング
することができる光操作型マニピュレータに関するもの
である。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical manipulator capable of handling non-contact microscopic objects such as fine particles and cells without destroying them.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、静電アクチュエータは固定子（ま
たは移動子）に電極を持ち、この電極に所定の高電圧を
印加し、それによって発生する固定子と移動子間の電荷
の吸引力もしくは反発力を利用して移動子を駆動するよ
うになっている（例えば、特開平４−５０７８７号参
照）。2. Description of the Related Art Conventionally, an electrostatic actuator has an electrode on a stator (or a mover), a predetermined high voltage is applied to this electrode, and the attraction force of the charge generated between the stator and the mover or The repulsive force is used to drive the moving element (see, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 4-50787).
【０００３】また、細胞等の微小なものをハンドリング
する方法としては、レーザートラップがある。これは微
粒子にエネルギー密度の高いレーザー光を照射すると、
光電界中の微粒子が誘電分極を起こし、双極子モーメン
トが発生することにより、電場の最大の点（レーザー強
度が最大の点）に引き寄せられ、レーザー光に微粒子が
引っ掛かったような効果が発生する。この効果を利用し
て細胞等の微粒子のハンドリングを行うようにしてい
る。A laser trap is a method for handling microscopic objects such as cells. This is because when fine particles are irradiated with laser light with high energy density,
The particles in the optical electric field undergo dielectric polarization and generate a dipole moment, which attracts them to the maximum point of the electric field (the point where the laser intensity is maximum), producing the effect that the particles are caught in the laser beam. . By utilizing this effect, fine particles such as cells are handled.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た電極に高電圧を印加して静電力を発生する場合、より
大きな静電力を得るには、電極のピッチを小さくする必
要がある。しかし、電極ピッチが小さいものに高電圧を
印加すると、電極間で短絡又は放電が容易に起こってし
まう。また、移動子の形状、移動方向等で電極の構成を
変える必要があり不便であった。However, when a high voltage is applied to the electrodes to generate an electrostatic force, it is necessary to reduce the pitch of the electrodes in order to obtain a larger electrostatic force. However, if a high voltage is applied to an electrode having a small electrode pitch, a short circuit or discharge easily occurs between the electrodes. Further, it is inconvenient because it is necessary to change the configuration of the electrode depending on the shape of the moving element, the moving direction, and the like.
【０００５】一方、レーザートラップの場合、移動対象
の大きさが限定され、通常、微粒子１つに対して、レー
ザーが１本必要であり、複数の粒子を同時に駆動するに
は複数本のレーザーが必要になる。また、レーザーの波
長・パワーによっては対象物の性質が変化したり、破壊
される場合がある。本発明は、上記問題点を除去し、予
め電極間の印加電圧により観察対象物が固定部に保持さ
れ、光を照射しないエリアに観察対象物を位置決めして
光を照射しないエリアを移動して、観察対象物を操作す
ることにより、従来の静電アクチュエータのような微細
な電極形成構造を必要とせず、また、電極に伴う複雑な
配線が不要であり、隔離された環境において、的確なハ
ンドリングが可能である光操作型マニピュレータを提供
することを目的とする。On the other hand, in the case of a laser trap, the size of the moving object is limited, and usually one laser is required for each fine particle, and a plurality of lasers are required to drive a plurality of particles at the same time. You will need it. In addition, depending on the wavelength and power of the laser, the properties of the object may change or be destroyed. The present invention eliminates the above problems, the observation target object is held in advance by the applied voltage between the electrodes on the fixed portion, and the observation target object is positioned in an area not irradiated with light and moved in an area not irradiated with light. By operating the observation object, it does not require a fine electrode formation structure like the conventional electrostatic actuator, and it does not require complicated wiring associated with the electrode, so it can be handled accurately in an isolated environment. It is an object of the present invention to provide an optical manipulation type manipulator which can be used.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、光操作型マニピュレータにおいて、第１
の透光性板と、この第１の透光性板上に設けられる第１
の透明電極と、この第１の透明電極上に設けられる誘電
体からなる固定部と、この固定部に設けられる溶液溜め
と、前記第１の透明電極と対向して配置される第２の透
明電極と、この第２の透明電極上に設けられる第２の透
光性板と、前記溶液溜め内に収容される観察対象物と、
前記第１の透明電極と第２の透明電極間に接続される電
源と、前記固定部に光を照射する光源と、この光源を遮
光する遮光パターンを有するマスクと、このマスクの遮
光パターンを移動させるシフト手段を設け、前記固定部
の光が照射されるエリアは前記電源による電荷が弱めら
れ、前記マスクにより遮られる前記固定部のエリアに前
記観察対象物を捕捉して移動させるようにしたものであ
る。SUMMARY OF THE INVENTION In order to achieve the above object, the present invention provides a light-operated manipulator, comprising:
And a first transmissive plate provided on the first translucent plate.
Transparent electrode, a fixed portion made of a dielectric substance provided on the first transparent electrode, a solution reservoir provided on the fixed portion, and a second transparent electrode arranged so as to face the first transparent electrode. An electrode, a second translucent plate provided on the second transparent electrode, and an observation target object housed in the solution reservoir,
A power source connected between the first transparent electrode and the second transparent electrode, a light source for irradiating the fixed portion with light, a mask having a light shielding pattern for shielding the light source, and a light shielding pattern of the mask are moved. A shift means is provided to make the area of the fixed portion irradiated with light weaken the electric charge from the power source and capture and move the observation object to the area of the fixed portion that is blocked by the mask. Is.
【０００７】また、前記観察対象物に代えて表面に抵抗
体薄膜を有する絶縁性フィルムからなる移動子を用いる
ようにしてもよい。Further, instead of the observation object, a mover made of an insulating film having a resistor thin film on the surface may be used.
【０００８】[0008]
【作用】本発明によれば、上記のように、まず、光を照
射せずに電極間に電圧を印加すると、電極間には電界が
発生し、この時、誘電体からなる固定部は分極して観察
対象物としての微粒子に電荷を帯電させ、微粒子は固定
部に保持される。そこで、微粒子に光が照射しないよう
にマスキングし、微粒子の存在しないエリアに光を照射
すると、微粒子は光が照射されていないエリアに捕捉さ
れたような状態になり、光が照射されないエリアに観察
対象物としての微粒子を位置決めすることができる。し
たがって、その光を照射しないエリアを移動して、微粒
子をハンドリングすることができる。According to the present invention, as described above, first, when a voltage is applied between electrodes without irradiating light, an electric field is generated between the electrodes, and at this time, the fixed portion made of a dielectric material is polarized. Then, the fine particles as the observation object are charged with an electric charge, and the fine particles are held by the fixed portion. Therefore, by masking the particles so that they are not irradiated with light, and irradiating the areas where there are no particles with light, the particles become trapped in areas that are not irradiated with light, and the areas that are not irradiated with light are observed. Fine particles as an object can be positioned. Therefore, the particles can be handled by moving in the area not irradiated with the light.
【０００９】したがって、印加される電極間の電圧によ
り、予め観察対象物を固定部上に保持することができ、
その後、観察対象物を光の非照射部に位置決めすること
ができ、その非照射部の移動により自在な観察対象物の
ハンドリングを行うことができる。なお、従来の静電ア
クチュエータのような微細な電極形成構造を必要とせ
ず、また、電極に伴う複雑な配線が不要であり、隔離さ
れた環境において、的確なハンドリングが可能である。Therefore, the object to be observed can be held on the fixed portion in advance by the applied voltage between the electrodes,
After that, the observation object can be positioned at the non-irradiation portion of the light, and the movement of the non-irradiation portion enables the free handling of the observation object. In addition, it does not require a fine electrode forming structure such as the conventional electrostatic actuator, and does not require complicated wiring associated with the electrodes, which enables accurate handling in an isolated environment.
【００１０】更に、光走査にマスクや透過型液晶などを
使用することにより、その光の非照射位置・形状（範
囲）等を任意に設定することができる。また、固定子上
に複数の観察対象物をセットして同時にハンドリングす
ることが可能となる。Further, by using a mask, a transmissive liquid crystal or the like for optical scanning, the non-irradiation position, shape (range), etc. of the light can be set arbitrarily. Further, it becomes possible to set a plurality of observation objects on the stator and handle them simultaneously.
【００１１】[0011]
【実施例】以下、本発明の実施例を図を参照しながら詳
細に説明する。図１は本発明の第１の実施例を示す光操
作型マニピュレータの概略構成図である。この図におい
て、１は第１の透光性板としてのガラス板、２はそのガ
ラス板１上に設けられる第１の透明電極、３はその第１
の透明電極２上に設けられる誘電体からなる固定部、４
はその固定部３上に設けられる溶液５を収容する溶液溜
め、６はその溶液溜め４の上方で第１の透明電極２に対
向する第２の透明電極、７はその第２の透明電極６上に
設けられる第２の透光性板としてのガラス板、８は第１
の透明電極２と第２の透明電極６間に接続される電源と
しての電池、９は微小観察対象物としての微粒子、１０
はガラス板１の下方に設けられる遮光部１０ａと非遮光
部１０ｂを有するマスク、１１はそのマスク１０に照射
される光源である。Embodiments of the present invention will now be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic configuration diagram of an optical operation type manipulator showing a first embodiment of the present invention. In this figure, 1 is a glass plate as a first translucent plate, 2 is a first transparent electrode provided on the glass plate 1, and 3 is a first transparent electrode.
Fixing part made of a dielectric material provided on the transparent electrode 2 of 4
Is a solution reservoir for containing the solution 5 provided on the fixing portion 3, 6 is a second transparent electrode facing the first transparent electrode 2 above the solution reservoir 4, and 7 is the second transparent electrode 6 A glass plate as a second light-transmissive plate provided above, 8 is a first
A battery as a power source connected between the transparent electrode 2 and the second transparent electrode 6 of FIG.
Is a mask having a light-shielding portion 10a and a non-light-shielding portion 10b provided below the glass plate 1, and 11 is a light source with which the mask 10 is irradiated.
【００１２】そこで、第１の透明電極２と第２の透明電
極６間に電池８より電圧を印加すると、両電極２と６間
には電界が発生する。その電界により微粒子９には、図
示されるように、電荷が発生する。微粒子９のエリアを
光が照射されないようにマスクし、全体に光を照射する
と、固定部３の光導電性膜の光が照射されないエリアは
誘電体として分極されて微粒子９を吸着するが、固定部
３の光導電性膜の光が照射されたエリアは電荷が打ち消
されて電荷密度は弱くなる。つまり、微粒子９は、光が
照射されないエリアに捕捉されたような状態になり、マ
スク１０を移動させると、それにより、電界に捕捉され
ている微粒子９をハンドリングすることができる。Therefore, when a voltage is applied from the battery 8 between the first transparent electrode 2 and the second transparent electrode 6, an electric field is generated between the two electrodes 2 and 6. Electric charges are generated in the fine particles 9 by the electric field as shown in the figure. When the area of the fine particles 9 is masked so as not to be irradiated with light and the whole is irradiated with light, the areas of the photoconductive film of the fixing portion 3 which are not irradiated with light are polarized as a dielectric and adsorb the fine particles 9, In the area of the photoconductive film of the portion 3 irradiated with light, the charges are canceled and the charge density becomes weak. That is, the fine particles 9 are in a state of being trapped in an area not irradiated with light, and when the mask 10 is moved, the fine particles 9 trapped in the electric field can be handled.
【００１３】ここで、溶液５としては電界でイオン化し
ない、不活性溶液、例えばフッ素系不活性液体を用いる
ことができる。また、誘電体からなる固定部３には強誘
電体、般的な誘電体の他に光感度の良好なＯＰＣ（Ｏｒ
ｇａｎｉｃ・Ｐｈｏｔｏ・Ｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）膜、例
えば、有機物であるＰＶＫ（ポリビニルカルバゾール）
等を用いることができる。Here, as the solution 5, an inert solution which is not ionized by an electric field, for example, a fluorine-based inert liquid can be used. In addition to the ferroelectric and general dielectrics, the fixing portion 3 made of a dielectric has an OPC (Or
ganic / Photo / Conductor) film, for example, PVK (polyvinylcarbazole) that is an organic substance
Etc. can be used.
【００１４】これにより、複数個の微粒子を同時にハン
ドリングすることが可能となる。図２は本発明の第２の
実施例を示す光操作型マニピュレータの概略構成図であ
る。この実施例においては、光源のスキャニングに透過
型液晶を用いた例を示している。この実施例では、第１
の実施例で用いたマスクを透過型液晶２１に置き換えた
もので、誘電体からなる固定部３に照射する光の範囲・
位置を透過型液晶２１に外部より印加される駆動信号に
より任意に設定することができる。つまり、遮光パター
ンの位置を変化させたり、光の透過形状を任意に変更さ
せることができる。As a result, it becomes possible to handle a plurality of fine particles at the same time. FIG. 2 is a schematic configuration diagram of an optical operation type manipulator showing a second embodiment of the present invention. In this embodiment, a transmissive liquid crystal is used for scanning the light source. In this embodiment, the first
The mask used in the above example is replaced with the transmissive liquid crystal 21, and the range of the light irradiated to the fixed portion 3 made of a dielectric is
The position can be arbitrarily set by a drive signal externally applied to the transmissive liquid crystal 21. That is, it is possible to change the position of the light blocking pattern and arbitrarily change the light transmission shape.
【００１５】更に、これにより、光導電性膜からなる固
定部３上で複数個の微粒子や細胞や微生物等の生体関連
物質を同時にハンドリングすることも可能である。例え
ば、透過型液晶２１を用いて照射光のマスキングをする
場合、図３に示すように、同じ溶液中に種類の違う微粒
子が存在しても、図３（ａ）に示すように、非光照射エ
リアＡには微粒子３１を、非光照射エリアＢには微粒子
３２をそれぞれ選択することができ、更に、図３（ｂ）
に示すように、非光照射エリアＡ′と非光照射エリア
Ｂ′へと縮小することにより、収集することができる。
なお、３０はマスクエリアを示している。Further, this makes it possible to simultaneously handle a plurality of fine particles and bio-related substances such as cells and microorganisms on the fixing portion 3 made of a photoconductive film. For example, when masking the irradiation light using the transmissive liquid crystal 21, even if fine particles of different types are present in the same solution as shown in FIG. 3, as shown in FIG. The fine particles 31 can be selected for the irradiation area A, and the fine particles 32 can be selected for the non-light irradiation area B. Further, as shown in FIG.
As shown in (1), it can be collected by reducing it to the non-light irradiation area A'and the non-light irradiation area B '.
In addition, 30 has shown the mask area.
【００１６】また、溶液溜め４の第２の透光性板として
のガラス板７の上方に、顕微鏡又はＣＣＤカメラ等の観
察装置４０（図４参照）を配置して、この観察装置４０
でモニタしながら、ハンドリングすることも可能であ
る。更に、上記実施例では、観察対象物としては、微粒
子について述べたが、細胞，微生物などの生体関連物質
の観察を行うことができることは言うまでもない。Further, an observation device 40 (see FIG. 4) such as a microscope or a CCD camera is arranged above the glass plate 7 as the second translucent plate of the solution reservoir 4 and the observation device 40 is arranged.
It is also possible to handle while monitoring with. Further, in the above-mentioned embodiment, the fine particles are described as the observation object, but it goes without saying that it is possible to observe biological substances such as cells and microorganisms.
【００１７】生体関連物質を取り扱う場合は、溶液とし
ては、フッ素系不活性溶液に代えて、それに適した水な
どを用いることが望ましい。また、電源としては電池に
代えて、交流電源を用いるようにしてもよい。更に、観
察対象物に対応して、電源の電圧の調整及び光照射強度
を行うことが望ましい。When handling biological substances, it is desirable to use water suitable for the solution instead of the fluorine-based inert solution. Further, as the power source, an AC power source may be used instead of the battery. Further, it is desirable to adjust the voltage of the power source and adjust the light irradiation intensity according to the object to be observed.
【００１８】次に、図４は本発明の第３実施例を示す光
操作型マニピュレータの概略構成図である。この実施例
においては、溶液内の固定部上に表面に抵抗体薄膜を有
する絶縁性フィルムからなる移動子をセットして、この
移動子をハンドリングするようにしたものである。ここ
で、前記実施例と同様の部分については、同じ番号を付
してその説明を省略する。Next, FIG. 4 is a schematic configuration diagram of an optical operation type manipulator showing a third embodiment of the present invention. In this embodiment, a mover made of an insulating film having a resistor thin film on the surface is set on the fixed part in the solution and the mover is handled. Here, the same parts as those in the above-mentioned embodiment are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted.
【００１９】まず、誘電体からなる固定部３上に、絶縁
性フィルム５１に抵抗体薄膜５２を塗布した移動子５０
を載置する。そこで、透明電極２と５間に電源８より電
圧を印加して、固定部３上に移動子５０を保持し、そこ
で、移動子５０をマスク５３により、光源１１からの光
を照射すると、マスクされた個所に移動子５０を位置決
めすることができる。First, a movable body 50 in which an insulating film 51 is coated with a resistor thin film 52 on a fixed portion 3 made of a dielectric material.
To place. Therefore, a voltage is applied between the transparent electrodes 2 and 5 from the power source 8 to hold the mover 50 on the fixed portion 3, and when the mover 50 is irradiated with the light from the light source 11 by the mask 53, the mask is removed. The mover 50 can be positioned at the specified position.
【００２０】そこで、マスクされた個所を移動させるこ
とにより、移動子５０をハンドリングすることができ
る。なお、移動子は、固定部の分極速度より、帯電速度
が遅いものであれば何でもよく形状などは問わない。ま
た、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本
発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能であり、これら
を本発明の範囲から排除するものではない。Therefore, by moving the masked portion, the moving element 50 can be handled. The mover may have any shape as long as it has a charging speed slower than the polarization speed of the fixed portion. Further, the present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications can be made based on the spirit of the present invention, and these modifications are not excluded from the scope of the present invention.
【００２１】[0021]
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば、印加される電極間の電圧により、予め観察対象
物を固定部上に保持することができ、その後、観察対象
物を光の非照射部に位置決めすることができ、その非照
射部の移動により、自在な観察対象物のハンドリングを
行うことができる。As described above in detail, according to the present invention, the object to be observed can be held on the fixed portion in advance by the voltage applied between the electrodes. It can be positioned in the non-irradiated portion of the light, and the movement of the non-irradiated portion enables flexible handling of the observation target.
【００２２】また、従来の静電アクチュエータのような
微細な電極形成構造を必要とせず、また、電極に伴う複
雑な配線が不要であり、隔離された環境において、的確
なハンドリングが可能である。更に、光走査にマスクや
透過型液晶などを使用することにより、その光の照射範
囲・位置等を任意に設定することができる。Further, it does not require a fine electrode forming structure such as the conventional electrostatic actuator, and it does not require complicated wiring associated with the electrodes, which enables accurate handling in an isolated environment. Further, by using a mask, a transmissive liquid crystal, or the like for optical scanning, the irradiation range and position of the light can be set arbitrarily.
【００２３】なお、固定部上に複数の観察対象物をセッ
トして同時にハンドリングすることも可能である。ま
た、前記観察対象物に代えて表面に抵抗体薄膜を有する
絶縁性フィルムからなる移動子を用いることにより、光
操作によるアクチュエータ機能を持たせることができ
る。It is also possible to set a plurality of objects to be observed on the fixed part and handle them simultaneously. Further, by using a mover made of an insulating film having a resistor thin film on the surface instead of the observation object, it is possible to have an actuator function by optical operation.
【図１】本発明の第１の実施例を示す光操作型マニピュ
レータの概略構成図である。FIG. 1 is a schematic configuration diagram of an optical manipulation type manipulator showing a first embodiment of the present invention.
【図２】本発明の第２の実施例を示す光操作型マニピュ
レータの概略構成図である。FIG. 2 is a schematic configuration diagram of an optical operation type manipulator showing a second embodiment of the present invention.
【図３】本発明の光操作型マニピュレータのハンドリン
グ例を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing an example of handling of the optical manipulation type manipulator of the present invention.
【図４】本発明の第３の実施例を示す光操作型マニピュ
レータの概略構成図である。FIG. 4 is a schematic configuration diagram of an optical operation type manipulator showing a third embodiment of the present invention.
１，７ ガラス板 ２ 第１の透明電極 ３ 誘電体からなる固定部 ４ 溶液溜め ５ 溶液 ６ 第２の透明電極 ８ 電池 ９ 観察対象物 １０，５３ マスク １０ａ 遮光部 １０ｂ 非遮光部 １１ 光源 ２１ 透過型液晶 ３０ マスクエリア ３１，３２ 微粒子 ４０ 観察装置 ５０ 移動子 ５１ 絶縁性フィルム ５２ 抵抗体薄膜 1,7 Glass plate 2 First transparent electrode 3 Fixed part made of dielectric 4 Solution reservoir 5 Solution 6 Second transparent electrode 8 Battery 9 Observed object 10,53 Mask 10a Light-shielding part 10b Non-light-shielding part 11 Light source 21 Transmission Liquid crystal 30 Mask area 31, 32 Fine particle 40 Observation device 50 Moving element 51 Insulating film 52 Resistor thin film
Claims (10)
透光性板上に設けられる第１の透明電極と、（ｃ）該第
１の透明電極上に設けられる誘電体からなる固定部と、
（ｄ）該固定部に設けられる溶液溜めと、（ｅ）前記第
１の透明電極と対向して配置される第２の透明電極と、
（ｆ）該第２の透明電極上に設けられる第２の透光性板
と、（ｇ）前記溶液溜め内に収容される観察対象物と、
（ｈ）前記第１の透明電極と第２の透明電極間に接続さ
れる電源と、（ｉ）前記固定部に光を照射する光源と、
（ｊ）該光源を遮光する遮光パターンを有するマスク
と、（ｋ）該マスクの遮光パターンを移動させるシフト
手段を設け、（ｌ）前記固定部の光が照射されるエリア
は前記電源による電荷が弱められ、前記マスクにより遮
られる前記固定部のエリアに前記観察対象物を捕捉して
移動させることを特徴とする光操作型マニピュレータ。1. A first translucent plate, (b) a first transparent electrode provided on the first translucent plate, and (c) a first transparent electrode on the first transparent electrode. A fixed part made of a dielectric material provided,
(D) a solution reservoir provided in the fixed part, and (e) a second transparent electrode arranged to face the first transparent electrode,
(F) a second light-transmissive plate provided on the second transparent electrode, and (g) an observation object contained in the solution reservoir,
(H) a power source connected between the first transparent electrode and the second transparent electrode, and (i) a light source for irradiating the fixed portion with light.
(J) A mask having a light-shielding pattern for shielding the light source, and (k) a shift means for moving the light-shielding pattern of the mask are provided, and (l) an area of the fixed portion irradiated with light is charged by the power source. An optical manipulation manipulator, wherein the observation target object is captured and moved to an area of the fixed portion that is weakened and is shielded by the mask.
記載の光操作型マニピュレータ。2. The object to be observed is a fine particle.
The optical manipulator described.
求項１記載の光操作型マニピュレータ。3. The optical manipulation type manipulator according to claim 1, wherein the observation object is a biological substance.
有することを特徴とする請求項１記載の光操作型マニピ
ュレータ。4. The optical manipulator according to claim 1, wherein the mask has a light-shielding portion on a light-transmitting film.
特徴とする請求項１記載の光操作型マニピュレータ。5. The manipulator according to claim 1, wherein the mask is made of a transmissive liquid crystal.
変化させてなる請求項５記載の光操作型マニピュレー
タ。6. The optical manipulation manipulator according to claim 5, wherein the transmissive liquid crystal is formed by changing a position of a light shielding pattern.
変化させてなる請求項５記載の光操作型マニピュレー
タ。7. The optical manipulation type manipulator according to claim 5, wherein the transmissive liquid crystal is formed by changing a shape of a light shielding pattern.
具備する請求項１記載の光操作型マニピュレータ。8. The optical manipulation manipulator according to claim 1, further comprising an observation device above the second light-transmissive plate.
透光性板上に設けられる第１の透明電極と、（ｃ）該第
１の透明電極上に設けられる誘電体からなる固定部と、
（ｄ）該固定部に設けられる溶液溜めと、（ｅ）前記第
１の透明電極と対向して配置される第２の透明電極と、
（ｆ）該第２の透明電極上に設けられる第２の透光性板
と、（ｇ）前記溶液溜め内に収容される移動子と、
（ｈ）前記第１の透明電極と第２の透明電極間に接続さ
れる電源と、（ｉ）前記固定部に光を照射する光源と、
（ｊ）該光源を遮光する遮光パターンを有するマスク
と、（ｋ）該マスクの遮光パターンを移動させるシフト
手段を設け、（ｌ）前記固定部の光が照射されるエリア
は前記電源による電荷が弱められ、前記マスクにより遮
られる前記固定部のエリアに前記移動子を捕捉して移動
させることを特徴とする光操作型マニピュレータ。9. (a) a first transparent plate; (b) a first transparent electrode provided on the first transparent plate; and (c) on the first transparent electrode. A fixed part made of a dielectric material provided,
(D) a solution reservoir provided in the fixed part, and (e) a second transparent electrode arranged to face the first transparent electrode,
(F) a second translucent plate provided on the second transparent electrode, and (g) a mover housed in the solution reservoir,
(H) a power source connected between the first transparent electrode and the second transparent electrode, and (i) a light source for irradiating the fixed portion with light.
(J) A mask having a light-shielding pattern for shielding the light source, and (k) a shift means for moving the light-shielding pattern of the mask are provided, and (l) an area of the fixed portion irradiated with light is charged by the power source. An optical manipulation type manipulator, wherein the moving element is captured and moved to an area of the fixed portion that is weakened and is blocked by the mask.
る絶縁性フィルムからなる請求項９記載の光操作型マニ
ピュレータ。10. The optical manipulator according to claim 9, wherein the mover is made of an insulating film having a resistor thin film on its surface.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP19259892A JP3219470B2 (en) | 1992-07-21 | 1992-07-21 | Optical manipulator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP19259892A JP3219470B2 (en) | 1992-07-21 | 1992-07-21 | Optical manipulator |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06222280A true JPH06222280A (en) | 1994-08-12 |
| JP3219470B2 JP3219470B2 (en) | 2001-10-15 |
Family
ID=16293933
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19259892A Expired - Fee Related JP3219470B2 (en) | 1992-07-21 | 1992-07-21 | Optical manipulator |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3219470B2 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010256608A (en) * | 2009-04-24 | 2010-11-11 | Konica Minolta Opto Inc | Imaging lens, imaging optical device and digital apparatus |
| JP2011056652A (en) * | 2009-09-14 | 2011-03-24 | Yokohama National Univ | Photoelectric driving micromachine and driving method of minute movable member |
-
1992
- 1992-07-21 JP JP19259892A patent/JP3219470B2/en not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3219470B2 (en) | 2001-10-15 |
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