JPH06213562A - Vacuum drier - Google Patents

Vacuum drier

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JPH06213562A
JPH06213562A JP510393A JP510393A JPH06213562A JP H06213562 A JPH06213562 A JP H06213562A JP 510393 A JP510393 A JP 510393A JP 510393 A JP510393 A JP 510393A JP H06213562 A JPH06213562 A JP H06213562A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
gas
inert gas
vacuum
vacuum drying
drying chamber
Prior art date
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Pending
Application number
JP510393A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yoichiro Watanabe
洋一郎 渡辺
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WORLD KIKO KK
Original Assignee
WORLD KIKO KK
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Publication date
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Publication of JPH06213562A publication Critical patent/JPH06213562A/en
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  • Drying Of Solid Materials (AREA)

Abstract

PURPOSE:To reduce a consumption of inert gas by providing an inert gas circulation means, when an inert gas is fed into a vacuum drier chamber to dry a work under vacuum, and providing a gas heater and a gas cooler in a gas introducing means and a gas suction pipe respectively. CONSTITUTION:When a work such as parts of automobile which has been washed with solvent is dried, at first a basket B storing therein a work A is put into a vacuum drier chamber 1 and a cover 2 is closed, following which a vacuum pump 8 is actuated, while a rotary table 4 is being rotated, to exhaust the interior 1a of a room to a set vacuum. And next, a gas circulation means 9 is actuated so that when a piston 9b of the means 9 advances, an inert gas is heated by a gas heater 13 to feed it into the interior 1a through a gas introducing pipe 11 and thereafter the piston 9b is retracted so that the inert gas containing solvent etc., is drawn out through a gas suction pipe 12 to cool it at a gas cooler 14, thereby separating the inert gas and solvent, whereby the inert gas only is returned to the means 9. By repeating the aforementioned step, drying is effected.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、溶剤等で洗浄した自動
車部品,弱電機器部品等のワークを真空乾燥する真空乾
燥装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vacuum dryer for vacuum-drying workpieces such as automobile parts and light electric equipment parts washed with a solvent or the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、この種の真空乾燥装置は、図3に
示すように真空乾燥室20にガス導入管21と真空吸引
管22を接続し、ガス導入管21の端に不活性ガス供給
源23を設け、ガス導入管21の途中にガス加熱器24
を設け、一方真空吸引管22の端に真空ポンプ25を設
けている。
2. Description of the Related Art Conventionally, as shown in FIG. 3, a vacuum drying device of this type has a gas introducing pipe 21 and a vacuum suction pipe 22 connected to a vacuum drying chamber 20, and an inert gas is supplied to the end of the gas introducing pipe 21. A source 23 is provided, and a gas heater 24 is provided in the middle of the gas introduction pipe 21.
On the other hand, a vacuum pump 25 is provided at the end of the vacuum suction tube 22.

【0003】そして、溶剤等で洗浄した自動車部品,弱
電機器部品等のワークAを収納したバスケットBを真空
乾燥室20内に入れて、真空吸引管22に設けたバルブ
26を開放して真空ポンプ25を駆動して真空乾燥室2
0内を真空にし、次にバルブ26を閉鎖してガス導入管
21に設けられたバルブ27を開放して不活性ガス供給
源23から導入される不活性ガスをガス加熱器24で加
熱し、加熱された不活性ガスを真空乾燥室20内に供給
し、前記操作を数回〜数十回繰り返し行ってワークAを
乾燥している。
Then, a basket B containing a work A such as automobile parts and light electric equipment parts washed with a solvent is put in a vacuum drying chamber 20, and a valve 26 provided in a vacuum suction pipe 22 is opened to open a vacuum pump. 25 to drive the vacuum drying chamber 2
0 is evacuated, then the valve 26 is closed and the valve 27 provided in the gas introduction pipe 21 is opened to heat the inert gas introduced from the inert gas supply source 23 by the gas heater 24, The heated inert gas is supplied into the vacuum drying chamber 20, and the above operation is repeated several times to several tens of times to dry the work A.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】然し乍ら、上記真空乾
燥装置は、真空乾燥室20内に不活性ガスを供給し、真
空ポンプ25で真空乾燥室20内の不活性ガスを排気
し、この操作を何回となく行うので、大量の不活性ガス
が真空乾燥室20外へ排気されることになり、ガスラン
ニングコストが高くなる問題があった。
However, in the above vacuum drying apparatus, the inert gas is supplied to the vacuum drying chamber 20 and the vacuum pump 25 exhausts the inert gas from the vacuum drying chamber 20 to perform this operation. Since the process is repeated many times, a large amount of inert gas is exhausted to the outside of the vacuum drying chamber 20, which causes a problem of high gas running cost.

【0005】また、排気される不活性ガスには、溶剤,
油等の液体が含有するため、真空ポンプ25の劣化を招
き、寿命が短くなる問題があった。本発明は、上記問題
を解決するために案出されたもので、ガスランニングコ
ストが低減できると共に、真空ポンプの耐久性が向上で
きる真空乾燥装置を提供することを目的とするものであ
る。
Further, the inert gas exhausted contains a solvent,
Since the liquid such as oil is contained, there is a problem that the vacuum pump 25 is deteriorated and the life is shortened. The present invention has been devised to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a vacuum drying device that can reduce gas running costs and improve the durability of a vacuum pump.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明は、真空乾燥室の
室内を真空ポンプにより真空にし、真空になったその室
内に不活性ガスを供給して真空乾燥する真空乾燥装置に
おいて、上記真空乾燥室から隔離して不活性ガスを循環
させるガス循環手段を設け、そのガス循環手段と前記真
空乾燥室の間をガス導入管とガス吸引管で接続し、その
ガス導入管の途中に不活性ガスを加熱するガス加熱器を
設け、前記ガス吸引管の途中に不活性ガスと液体に分離
するガス冷却器を設けたことを特徴とする。
DISCLOSURE OF THE INVENTION The present invention relates to a vacuum drying apparatus for vacuum-drying the inside of a vacuum drying chamber with a vacuum pump and supplying an inert gas to the vacuumed chamber to perform vacuum drying. A gas circulating means for circulating an inert gas isolated from the chamber is connected, and the gas circulating means and the vacuum drying chamber are connected by a gas introduction pipe and a gas suction pipe, and an inert gas is provided in the middle of the gas introduction pipe. Is provided, and a gas cooler for separating into an inert gas and a liquid is provided in the middle of the gas suction pipe.

【0007】[0007]

【作用】上記構成によれば、乾燥するワークを入れた真
空乾燥室の室内が真空ポンプにより真空になった後に、
ガス加熱器により加熱された不活性ガスが室内に導入さ
れて乾燥に寄与される。次に、乾燥に使われた室内の不
活性ガスがガス冷却器により不活性ガスと液体に分離さ
れ、ガス循環手段により再びガス加熱器により加熱され
て再生されて不活性ガスが室内に供給される。この操作
が何回か繰り返されて、ワークは乾燥される。
According to the above construction, after the vacuum drying chamber is evacuated by the vacuum pump,
The inert gas heated by the gas heater is introduced into the room and contributes to the drying. Next, the inert gas in the room used for drying is separated into the inert gas and the liquid by the gas cooler, and again heated and regenerated by the gas heater by the gas circulation means to supply the inert gas to the room. It This operation is repeated several times to dry the work.

【0008】従って、無駄に不活性ガスが真空乾燥室外
に排気されず、ガスランニングコストが低減される。ま
た、真空ポンプは、真空乾燥する始めのみに真空乾燥室
の室内を真空にするだけに使用されるので、劣化が少な
く、耐久性が向上する。
Therefore, the inert gas is not wastefully exhausted outside the vacuum drying chamber, and the gas running cost is reduced. Further, since the vacuum pump is used only to make the inside of the vacuum drying chamber into a vacuum only at the beginning of vacuum drying, deterioration is less and durability is improved.

【0009】[0009]

【実施例】以下、本発明を図に基づき、詳細に説明す
る。図1は、本発明の真空乾燥装置の一実施例を示した
ものである。
The present invention will be described in detail below with reference to the drawings. FIG. 1 shows an embodiment of the vacuum drying apparatus of the present invention.

【0010】図において、真空乾燥室1は、耐熱,耐圧
性のある容器から構成されたもので、上部開口部に密閉
する開閉蓋2が設けられている。開閉蓋2は、開閉レバ
ー3によりヒンジ結合されており、その開閉レバー3の
端には真空乾燥室1外に設けられた蓋開閉用シリンダ4
が設けられ、前記開閉蓋2を開閉されるようになってい
る。
In the figure, a vacuum drying chamber 1 is composed of a container having heat resistance and pressure resistance, and is provided with an opening / closing lid 2 which is closed at an upper opening. The opening / closing lid 2 is hinged by an opening / closing lever 3, and an end of the opening / closing lever 3 is provided with a lid opening / closing cylinder 4 provided outside the vacuum drying chamber 1.
Is provided so that the opening / closing lid 2 can be opened and closed.

【0011】真空乾燥室1の底部5の室内1a側には、
溶剤等で洗浄した自動車部品,弱電機器部品等のワーク
AをバスケットBに収納した状態で支持する回転テーブ
ル4が配設されている。その底部5の外側には、駆動モ
ータ等の回転駆動部6が設けられ、この回転駆動部6に
より、前記回転テーブル4が回転できるようになってい
る。
On the chamber 1a side of the bottom 5 of the vacuum drying chamber 1,
A rotary table 4 is provided to support a work A, such as automobile parts and light electric equipment parts, which have been washed with a solvent or the like, while being housed in a basket B. A rotation drive unit 6 such as a drive motor is provided outside the bottom portion 5, and the rotation drive unit 6 can rotate the rotary table 4.

【0012】真空乾燥室1には、真空吸引管7が接続さ
れ、その端には、室内1aを真空にするための真空ポン
プ8が設けられている。また、真空吸引管7の途中に
は、開閉するバルブB1が設けられている。
A vacuum suction pipe 7 is connected to the vacuum drying chamber 1, and a vacuum pump 8 for evacuating the chamber 1a is provided at its end. A valve B1 that opens and closes is provided in the middle of the vacuum suction pipe 7.

【0013】前記真空乾燥室1から隔離して、呼吸シリ
ンダからなるガス循環手段9が設けられている。ガス循
環手段9は、前記真空乾燥室1とほぼ同じ容量のシリン
ダ9aがあり、そのシリンダ9a内にはピストン9bが
摺動するようになっている。
A gas circulating means 9 composed of a breathing cylinder is provided separately from the vacuum drying chamber 1. The gas circulating means 9 has a cylinder 9a having substantially the same capacity as the vacuum drying chamber 1, and a piston 9b slides in the cylinder 9a.

【0014】このガス循環手段9には、例えば、エアシ
リンダからなるアクチュエータ10が設けられている。
また、アクチュエータ10には、これを制御する制御弁
10aが接続されている。
The gas circulating means 9 is provided with an actuator 10 composed of, for example, an air cylinder.
A control valve 10a for controlling the actuator 10 is connected to the actuator 10.

【0015】前記真空乾燥室1とガス循環手段9との間
が、不活性ガスをガス循環手段9から真空乾燥室1へ供
給するガス導入管11と使用した不活性ガスを真空乾燥
室1からガス循環手段9へ吸引するガス吸引管12で接
続されている。
Between the vacuum drying chamber 1 and the gas circulating means 9, the gas introducing pipe 11 for supplying the inert gas from the gas circulating means 9 to the vacuum drying chamber 1 and the used inert gas from the vacuum drying chamber 1 are introduced. It is connected to the gas circulation means 9 by a gas suction pipe 12 that sucks gas.

【0016】ガス導入管11の途中には、真空乾燥室1
へ供給する不活性ガスを加熱するヒータ又はスチーム管
13aが配設されたガス加熱器13が設けられている。
一方、ガス吸引管12の途中には、使用した不活性ガス
中に含有する溶剤,油等の液体と純粋の不活性ガスに分
離するガス冷却器14が設けられている。
A vacuum drying chamber 1 is provided in the middle of the gas introducing pipe 11.
A gas heater 13 provided with a heater or a steam pipe 13a for heating an inert gas supplied to
On the other hand, in the middle of the gas suction pipe 12, there is provided a gas cooler 14 for separating a liquid such as a solvent or oil contained in the used inert gas and a pure inert gas.

【0017】ガス冷却器14は、逆錐形の容器14a内
に冷媒が通る冷媒管14bが配設されたもので、容器1
4aの底部には、ドレーン用のバルブB2,B3が設け
られている。容器14aの下方には、貯留された液体
が、2つのバルブB2,B3を交互に開放することによ
り、溶剤,油等の液体がその下方に設けられた回収容器
15に回収されるようになっている。
The gas cooler 14 has a container 14a having an inverted pyramid shape and a refrigerant pipe 14b through which a refrigerant passes.
Drain valves B2 and B3 are provided at the bottom of 4a. Below the container 14a, the stored liquid is recovered by alternately opening the two valves B2 and B3 so that the liquid such as solvent and oil is recovered in the recovery container 15 provided therebelow. ing.

【0018】前記ガス導入管11及びガス吸引管12の
ガス循環手段9及び真空乾燥室1に近接した側には、そ
れぞれ開閉するバルブB4,B5及びバルブB6,B7
が設けられて、不活性ガスの供給及び吸引が制御できる
ようになっている。
Valves B4 and B5 and valves B6 and B7 for opening and closing, respectively, are provided on the sides of the gas introducing pipe 11 and the gas suction pipe 12 close to the gas circulating means 9 and the vacuum drying chamber 1.
Is provided so that the supply and suction of the inert gas can be controlled.

【0019】また、ガス循環手段9には、ガス補給管1
6が接続されてその端に、不活性ガス供給源17が設け
られている。ガス補給管16に設けられたバルブB8を
開放することにより、必要の際にガス循環手段9側へ不
活性ガスを補給できるようになっている。
The gas recirculation means 9 includes a gas supply pipe 1
6 is connected and an inert gas supply source 17 is provided at its end. By opening the valve B8 provided in the gas supply pipe 16, the inert gas can be supplied to the gas circulating means 9 side when necessary.

【0020】尚、前記真空乾燥室1には、開閉蓋2を開
放する際に、室内1aを常圧にするためのバルブB9を
設けたエア導入管18が接続され、また真空度を表示す
るゲージ19が備えられている。
The vacuum drying chamber 1 is connected with an air introducing pipe 18 provided with a valve B9 for keeping the chamber 1a at a normal pressure when the opening / closing lid 2 is opened, and displays the degree of vacuum. A gauge 19 is provided.

【0021】本発明の真空乾燥装置は、このような構成
になっており、その装置を使用して乾燥処理する手順及
び作用を次に述べる。先ず、蓋開閉用シリンダ4を駆動
して真空乾燥室1の上部の開閉蓋2を開放し、室内1a
に乾燥するワークAを収納したバスケットBを回転テー
ブル4上に載置し、開閉蓋2を閉鎖する。
The vacuum drying apparatus of the present invention has such a structure, and the procedure and operation of the drying process using the apparatus will be described below. First, the lid opening / closing cylinder 4 is driven to open the opening / closing lid 2 on the upper portion of the vacuum drying chamber 1, and the chamber 1a is opened.
The basket B containing the work A to be dried is placed on the rotary table 4, and the opening / closing lid 2 is closed.

【0022】その後は、真空乾燥作業に移行するが、バ
スケットBを載置した回転テーブル4を所定の回転数で
回転させる。この回転テーブル4の回転は、1分間に数
回回転する程度でよい。
Thereafter, the vacuum drying operation is started, but the rotary table 4 on which the basket B is placed is rotated at a predetermined rotation speed. The rotary table 4 may be rotated several times per minute.

【0023】バルブB1を開放し真空ポンプ8を駆動し
て室内2を設定された所定の真空度にし、その後バルブ
B1を閉鎖する。次に、ガス導入管11に設けられたバ
ルブB4,B5を開放して、アクチュエータ10を駆動
し呼吸シリンダからなるガス循環手段9を作動する。そ
して、その呼吸シリンダのピストン9bを前進作動させ
て、不活性ガスをガス導入管11に設けられたガス加熱
器13で加熱(例えば、100度C前後)し、加熱され
た不活性ガスを真空乾燥室1の室内1aに供給する。
The valve B1 is opened and the vacuum pump 8 is driven to bring the chamber 2 to a predetermined degree of vacuum, and then the valve B1 is closed. Next, the valves B4 and B5 provided in the gas introduction pipe 11 are opened, the actuator 10 is driven, and the gas circulation means 9 composed of a breathing cylinder is operated. Then, the piston 9b of the breathing cylinder is operated to move forward, and the inert gas is heated by the gas heater 13 provided in the gas introduction pipe 11 (for example, around 100 degrees C) to vacuum the heated inert gas. It is supplied to the room 1a of the drying room 1.

【0024】その後、前記バルブB4,B5を閉鎖し、
バルブB6,B7を開放して前記呼吸シリンダのピスト
ン9bを後退作動させて、室内1aの溶剤等を含んだ不
活性ガスを吸引してガス吸引管12に設けられたガス冷
却器14で冷却し、純粋の不活性ガスと溶剤,油等の液
体とに分離し、純粋の不活性ガスのみを呼吸シリンダか
らなるガス循環手段9側に吸引する。
Then, the valves B4 and B5 are closed,
The valves B6 and B7 are opened to retreat the piston 9b of the breathing cylinder, and the inert gas containing the solvent and the like in the room 1a is sucked and cooled by the gas cooler 14 provided in the gas suction pipe 12. , A pure inert gas and a liquid such as a solvent or oil are separated, and only the pure inert gas is sucked into the gas circulating means 9 side including a breathing cylinder.

【0025】分離された液体は、ガス冷却器14の容器
14aの底部に貯留されるが、底部に設けられたバルブ
B2,B3を交互に開放することにより、容器14a内
の気圧を変動させることなく、回収容器15に回収する
ことができる。
The separated liquid is stored at the bottom of the container 14a of the gas cooler 14, and the valves B2 and B3 provided at the bottom are alternately opened to change the atmospheric pressure in the container 14a. Instead, it can be collected in the collection container 15.

【0026】そして、呼吸シリンダによる真空乾燥室1
への不活性ガスの供給及び真空乾燥室1からの不活性ガ
スの吸引の上記操作を、数回〜数十回繰り返し行って乾
燥処理をする。
Then, a vacuum drying chamber 1 using a breathing cylinder
The above-described operations of supplying an inert gas to the vacuum drying chamber 1 and sucking the inert gas from the vacuum drying chamber 1 are repeated several times to several tens of times to perform a drying process.

【0027】尚、真空乾燥室1に設けられたゲージ18
等の表示を見て、ガス循環系路内の不活性ガスが不足し
た来た時には、ガス補給管16に設けられたバルブB8
を開放して不活性ガス供給源17から不活性ガスをガス
循環系路内に補給する。
The gauge 18 provided in the vacuum drying chamber 1
When the inert gas in the gas circulation system becomes insufficient, the valve B8 provided in the gas supply pipe 16
Is opened to supply the inert gas from the inert gas supply source 17 into the gas circulation system passage.

【0028】この操作によって溶剤により洗浄された自
動車部品,弱電機器部品等のワークAがほぼ連続的に供
給される不活性ガスにより、乾燥が迅速に行われ、また
加熱された高純度不活性ガスが連続的に供給されること
により、高精度に乾燥される。
By this operation, the work A such as automobile parts and light electric equipment parts washed with the solvent is almost continuously supplied by the inert gas, whereby the drying is carried out rapidly and the heated high-purity inert gas is used. Is continuously supplied, so that it is dried with high precision.

【0029】また、実施例の真空乾燥装置によれば、ガ
ス循環手段9により不活性ガスが循環され、ガス吸引管
12の途中に設けられたガス冷却器14により不活性ガ
スと液体に分離され、ガス導入管11の途中に設けられ
たガス加熱器13により加熱されて再び真空乾燥室1の
室内1aに供給される。即ち、一旦使用された不活性ガ
スが、再生されて繰り返し使用され、乾燥に寄与され
る。
Further, according to the vacuum dryer of the embodiment, the inert gas is circulated by the gas circulating means 9 and separated into the inert gas and the liquid by the gas cooler 14 provided in the middle of the gas suction pipe 12. The gas is heated by a gas heater 13 provided in the middle of the gas introduction pipe 11 and supplied again to the chamber 1 a of the vacuum drying chamber 1. That is, the once used inert gas is regenerated and repeatedly used to contribute to the drying.

【0030】従って、無駄に不活性ガスが真空乾燥室1
外に排気されず、ガスランニングコストが低減される。
また、真空ポンプ8は、真空乾燥する始めのみに真空乾
燥室1の室内1aを真空にするだけに使用されるので、
使用頻度が少なく、また溶剤に触れる機会も少なくな
り、劣化が少なく、耐久性が向上する。
Therefore, the inert gas is wastefully used as the vacuum drying chamber 1.
The gas running cost is reduced because it is not exhausted to the outside.
Further, since the vacuum pump 8 is used only to make the chamber 1a of the vacuum drying chamber 1 a vacuum only at the beginning of vacuum drying,
It is used less frequently, has less chance of coming into contact with solvent, has less deterioration, and has improved durability.

【0031】図2は、本発明の真空乾燥装置の他の実施
例を示したものである。この例は、前記実施例の呼吸シ
リンダに代えて、ガス循環手段9を循環ポンプにしたも
のである。その他は、不活性ガス供給源17を設けたガ
ス補給管16を真空乾燥室1側に接続してあるだけで、
前記実施例とほぼ同様である。
FIG. 2 shows another embodiment of the vacuum drying apparatus of the present invention. In this example, instead of the breathing cylinder of the above-described embodiment, the gas circulating means 9 is a circulation pump. Other than that, the gas supply pipe 16 provided with the inert gas supply source 17 is simply connected to the vacuum drying chamber 1 side,
This is almost the same as the above-mentioned embodiment.

【0032】この場合は、ガス導入管11に設けたバル
ブB4,B5及びガス吸引管12に設けたバルブB6,
B7を開放しておいて、循環ポンプにより連続的に不活
性ガスを循環できるので、より能率的に行われる。
In this case, the valves B4 and B5 provided in the gas introduction pipe 11 and the valves B6 and 6 provided in the gas suction pipe 12
Since B7 is opened and the inert gas can be continuously circulated by the circulation pump, the operation can be performed more efficiently.

【0033】[0033]

【発明の効果】以上説明した本考案によれば、ガスラン
ニングコストが低減できると共に、真空ポンプの耐久性
が向上でき、然も、ワークの乾燥が、迅速かつ高精度に
行われるという優れた効果が発揮されるものである。
According to the present invention described above, the gas running cost can be reduced, the durability of the vacuum pump can be improved, and the work can be dried quickly and highly accurately. Is demonstrated.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例の構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram of an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の他の実施例の構成図である。FIG. 2 is a configuration diagram of another embodiment of the present invention.

【図3】従来の真空乾燥装置の構成図である。FIG. 3 is a configuration diagram of a conventional vacuum drying device.

【符号の説明】 A ワーク B バスケット 1 真空乾燥室 1a 室内 7 真空吸引管 8 真空ポンプ 9 ガス循環手段 11 ガス導入管 12 ガス吸引管 13 ガス加熱器 14 ガス冷却器 17 不活性ガス供給源[Explanation of reference numerals] A work B basket 1 vacuum drying chamber 1a chamber 7 vacuum suction pipe 8 vacuum pump 9 gas circulation means 11 gas introduction pipe 12 gas suction pipe 13 gas heater 14 gas cooler 17 inert gas supply source

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 真空乾燥室の室内を真空ポンプにより真
空にし、真空になったその室内に不活性ガスを供給して
真空乾燥する真空乾燥装置において、上記真空乾燥室か
ら隔離して不活性ガスを循環させるガス循環手段を設
け、そのガス循環手段と前記真空乾燥室の間をガス導入
管とガス吸引管で接続し、そのガス導入管の途中に不活
性ガスを加熱するガス加熱器を設け、前記ガス吸引管の
途中に不活性ガスと液体に分離するガス冷却器を設けた
ことを特徴とする真空乾燥装置。
1. A vacuum drying apparatus for evacuating the inside of a vacuum drying chamber by a vacuum pump and supplying an inert gas to the vacuumed chamber to perform vacuum drying, wherein the inert gas is isolated from the vacuum drying chamber. A gas circulation means for circulating the gas is connected, the gas circulation means and the vacuum drying chamber are connected by a gas introduction pipe and a gas suction pipe, and a gas heater for heating an inert gas is provided in the middle of the gas introduction pipe. A vacuum dryer, characterized in that a gas cooler for separating into an inert gas and a liquid is provided in the middle of the gas suction pipe.
JP510393A 1993-01-14 1993-01-14 Vacuum drier Pending JPH06213562A (en)

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JP510393A Pending JPH06213562A (en) 1993-01-14 1993-01-14 Vacuum drier

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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