JPH06204779A - Manufacture of surface acoustic wave device - Google Patents
Manufacture of surface acoustic wave deviceInfo
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- JPH06204779A JPH06204779A JP35867192A JP35867192A JPH06204779A JP H06204779 A JPH06204779 A JP H06204779A JP 35867192 A JP35867192 A JP 35867192A JP 35867192 A JP35867192 A JP 35867192A JP H06204779 A JPH06204779 A JP H06204779A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、弾性表面波フィルタな
どの弾性表面波装置の製造方法に関し、特には、圧電性
基板の焦電効果による局部的な蓄積電荷を抑制できる電
極構造に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing a surface acoustic wave device such as a surface acoustic wave filter, and more particularly to an electrode structure capable of suppressing local accumulated charges due to the pyroelectric effect of a piezoelectric substrate. is there.
【０００２】[0002]
【従来の技術】弾性表面波装置は、圧電性基板上に形成
されたくし型電極（ＩＤＴ）などの電極により電気信号
を基板上を伝搬する表面波に変換して所望の電気特性を
得るものであり、小型で、無調整化が可能なため、移動
体通信機器などのフロントエンドや中間周波数用のフィ
ルタとして多く用いられている。2. Description of the Related Art A surface acoustic wave device is one which obtains desired electric characteristics by converting an electric signal into a surface wave propagating on a substrate by an electrode such as a comb-shaped electrode (IDT) formed on a piezoelectric substrate. Since it is small, and can be adjusted, it is often used as a front-end filter for mobile communication devices and intermediate frequency filters.
【０００３】弾性表面波装置の製造工程において、圧電
性基板の焦電効果のためにくし型電極上に電荷を生じ、
くし型電極間、あるいは、くし型電極と反射器間で放電
するため、電極パターンの損傷を生じることがある。こ
のような電荷の放電を防止するため、従来、くし型電極
間を短絡する短絡パターンが用いられていた。In the process of manufacturing a surface acoustic wave device, charges are generated on the comb-shaped electrodes due to the pyroelectric effect of the piezoelectric substrate,
Since discharge occurs between the comb electrodes or between the comb electrodes and the reflector, the electrode pattern may be damaged. In order to prevent such discharge of electric charge, a short-circuit pattern for short-circuiting the comb-shaped electrodes has been conventionally used.
【０００４】図１は、従来の短絡パターンを用いた弾性
表面波装置の電極構造の一例である。圧電性基板１上に
は、複数の弾性表面波共振子を構成するくし型電極３お
よびその両端に一対の反射器４が設けられている。そし
て、ダイシングライン１０上には、くし型電極３の電極
間を短絡するための短絡パターン１１が設けられてい
る。ＬｉＴａＯ3、ＬｉＮｂＯ3、Ｌｉ2Ｂ4Ｏ7等の圧電
単結晶からなる圧電性基板１上に上述の電極構造をアル
ミニウムなどの金属薄膜をパターニングすることで一括
して形成する。この工程では、くし型電極３間が短絡さ
れているため、焦電効果による破損を生じることはな
い。そののち、ダイシングライン１０に沿って、圧電性
基板１を切断することで、各弾性表面波装置に分割する
と同時に、短絡パターン１１を切断する。この切断によ
り、くし型電極３間の短絡が解放され、弾性表面波共振
子は正常に動作する。FIG. 1 is an example of an electrode structure of a conventional surface acoustic wave device using a short circuit pattern. On the piezoelectric substrate 1, a comb-shaped electrode 3 forming a plurality of surface acoustic wave resonators and a pair of reflectors 4 on both ends thereof are provided. Further, on the dicing line 10, a short-circuit pattern 11 for short-circuiting the electrodes of the comb-shaped electrode 3 is provided. The above electrode structure is collectively formed by patterning a metal thin film such as aluminum on the piezoelectric substrate 1 made of a piezoelectric single crystal such as LiTaO 3 , LiNbO 3 , Li 2 B 4 O 7 . In this step, since the comb electrodes 3 are short-circuited, no damage due to the pyroelectric effect occurs. After that, the piezoelectric substrate 1 is cut along the dicing line 10 to divide into the surface acoustic wave devices, and at the same time, the short circuit pattern 11 is cut. By this cutting, the short circuit between the comb-shaped electrodes 3 is released, and the surface acoustic wave resonator operates normally.
【０００５】一方、近年の移動体通信分野で使用される
弾性表面波フィルタには、低い挿入損失、広い通過帯域
などの電気的特性が要求されている。このため、くし型
電極を３個以上隣接して配置する構造を用いることがあ
る。例えば、図２に示すように、３個のくし型電極３を
近接して配置し、両側の２つのくし型電極３を圧電性基
板１上で接続パターン７により並列に接続し、その両外
側に反射器４を配置した平面構造が用いられている。他
の構造として、図３に示すように、複数の入力用くし型
電極３ｂと出力用くし型電極３ａを交互に配置したいわ
ゆるＩＩＤＴ構造が知られている。この場合も各くし型
電極３は接続パターン７ａ、７ｂにより並列に接続され
ている。また、これらを縦続接続した構造も有用であ
る。On the other hand, surface acoustic wave filters used in the field of mobile communication in recent years are required to have electrical characteristics such as low insertion loss and wide pass band. Therefore, a structure in which three or more comb-shaped electrodes are arranged adjacent to each other may be used. For example, as shown in FIG. 2, three comb-shaped electrodes 3 are arranged close to each other, two comb-shaped electrodes 3 on both sides are connected in parallel by a connection pattern 7 on the piezoelectric substrate 1, and both outer sides thereof are connected. A planar structure in which the reflector 4 is arranged is used. As another structure, a so-called IIDT structure in which a plurality of input comb electrodes 3b and output comb electrodes 3a are alternately arranged as shown in FIG. 3 is known. Also in this case, the comb-shaped electrodes 3 are connected in parallel by the connection patterns 7a and 7b. Further, a structure in which these are connected in cascade is also useful.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかし、３個以上のく
し型電極を近接配置し、隣接していないくし型電極を圧
電性基板上で相互に並列接続した構造においては、焦電
効果による損傷を防止するための短絡パターンを形成す
ることができない。例えば、図２に示した平面構造にお
いて、中央のくし型電極の接地側であるボンディングパ
ッド６ｂは、他のくし型電極の信号側を相互に接続する
接続パターン７に囲まれている。このため、中央のくし
型電極を短絡するための上述のような短絡パターンを設
けることはできなかった。However, in a structure in which three or more comb-shaped electrodes are arranged close to each other and the non-adjacent comb-shaped electrodes are connected in parallel to each other on the piezoelectric substrate, damage due to the pyroelectric effect is caused. It is not possible to form a short-circuit pattern for preventing this. For example, in the planar structure shown in FIG. 2, the bonding pad 6b that is the ground side of the central comb-shaped electrode is surrounded by the connection pattern 7 that connects the signal sides of the other comb-shaped electrodes to each other. Therefore, it was not possible to provide the short-circuit pattern as described above for short-circuiting the central comb-shaped electrode.
【０００７】本発明は、上記の課題を解決したもので、
その目的はくし型電極を圧電性基板上で相互に並列接続
した平面構造において、焦電効果によるくし型電極の損
傷を防止することのできる製造方法を提供することにあ
る。The present invention has solved the above-mentioned problems.
An object of the present invention is to provide a manufacturing method capable of preventing the comb electrodes from being damaged by the pyroelectric effect in a planar structure in which the comb electrodes are connected in parallel to each other on a piezoelectric substrate.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段および作用】本発明は、
（ａ）圧電性基板上に金属膜からなり、複数の弾性表面
波装置を構成するくし型電極群および該くし型電極群を
短絡する短絡パターンを含む電極パターンを形成する工
程と、（ｂ）前記圧電性基板を切断することにより、前
記短絡パターンを切断するとともにそれぞれの前記くし
型電極群に分割する工程とを含む弾性表面波装置の製造
方法において、（ｃ）前記くし型電極群が、３組以上の
くし型電極および隣接していない該くし型電極の信号側
を相互に接続する接続パターンを含み、前記くし型電極
の接地側が相互に接続されており、（ｄ）前記短絡パタ
ーンが、前記くし型電極の接地側と隣接する前記くし型
電極群の接地側とを接続する接地短絡パターンと、前記
接続パターンと隣接する前記くし型電極群の接地側とを
接続する信号短絡パターンを含むことを特徴とするもの
である。Means and Actions for Solving the Problems The present invention is
(A) A step of forming an electrode pattern including a comb-shaped electrode group, which is made of a metal film and constitutes a plurality of surface acoustic wave devices, and a short-circuit pattern for short-circuiting the comb-shaped electrode group, on a piezoelectric substrate; A method of manufacturing a surface acoustic wave device, comprising: cutting the short circuit pattern by cutting the piezoelectric substrate and dividing the piezoelectric substrate into each of the comb-shaped electrode groups, wherein (c) the comb-shaped electrode group comprises: Including three or more pairs of comb-shaped electrodes and a connection pattern for mutually connecting the signal sides of the non-adjacent comb-shaped electrodes, wherein the ground sides of the comb-shaped electrodes are connected to each other, and (d) the short-circuit pattern is A ground short circuit pattern connecting the ground side of the comb electrode to the ground side of the adjacent comb electrode group, and a signal short circuit connecting the ground side of the comb electrode group adjacent to the connection pattern. In which it characterized in that it comprises a turn.
【０００９】本発明によれば、形成される電極パターン
では、くし型電極の接地側が相互に接続されており、そ
の接地側が接地短絡パターンを介して隣接するくし型電
極群の接地側に接続され、同時にその隣接する接地側に
は信号短絡パターンを介して信号側接続する接続パター
ンにつながっている。したがって、電極パターン形成時
には、くし型電極間が短絡されているため焦電効果によ
り電荷が電極パターン上に蓄積することがなく、放電に
よりくし型電極が破損することもない。その後、圧電性
基板を切断する際に短絡パターンを切断しているので、
新たな工程を加えることなく、短絡パターンが解放され
て通常の動作が可能となる。また、くし型電極の接地側
が相互に接続されているため、焦電効果による電荷が局
部的に蓄積されることなく、電荷の放電によるくし型電
極の破壊が抑制される。According to the present invention, in the formed electrode pattern, the ground sides of the comb-shaped electrodes are connected to each other, and the ground side is connected to the ground side of the adjacent comb-shaped electrode group through the ground short-circuit pattern. At the same time, the adjacent ground side is connected to a connection pattern for signal side connection via a signal short circuit pattern. Therefore, at the time of forming the electrode pattern, the comb-shaped electrodes are short-circuited, so that electric charges do not accumulate on the electrode pattern due to the pyroelectric effect, and the comb-shaped electrodes are not damaged by the discharge. After that, because the short circuit pattern is cut when cutting the piezoelectric substrate,
The short-circuit pattern is released and normal operation is possible without adding a new process. Further, since the ground sides of the comb-shaped electrodes are connected to each other, electric charges due to the pyroelectric effect are not locally accumulated, and destruction of the comb-shaped electrodes due to discharge of electric charges is suppressed.
【００１０】前記本発明に加えて、（ｅ）前記くし型電
極をはさむように配置され、前記くし型電極の接地側に
接続された一対の反射器を前記くし型電極群が含み、
（ｆ）前記短絡パターンが前記反射器を介して接続され
ていることが望ましい。これにより、焦電効果による電
荷が反射器に蓄積されることなく、電荷の放電による反
射器の破壊が防止され、かつ、短絡パターンの配置設計
が容易となる。In addition to the present invention, (e) the comb-shaped electrode group includes a pair of reflectors arranged so as to sandwich the comb-shaped electrode and connected to the ground side of the comb-shaped electrode,
(F) It is desirable that the short-circuit pattern be connected via the reflector. This prevents the electric charge from being accumulated in the reflector due to the pyroelectric effect, prevents the damage of the reflector due to the discharge of the electric charge, and facilitates the layout design of the short-circuit pattern.
【００１１】[0011]
【実施例】本発明の第１の実施例である弾性表面波フィ
ルタの製造工程を電極パターンの概念を示す平面図であ
る図４を用いて以下詳細に説明する。EXAMPLE A manufacturing process of a surface acoustic wave filter according to a first example of the present invention will be described in detail below with reference to FIG. 4 which is a plan view showing the concept of an electrode pattern.
【００１２】３６°カットＬｉＴａＯ3単結晶からなる
圧電基板１の表面に弾性表面波フィルタを構成する電極
群２などからなるパターンをアルミニウム薄膜により通
常のフォトリソグラフ技術により形成する。この電極群
２は、隣接して配置された３組のくし型電極３と、これ
らくし型電極３の両外側に配置され、相互に接続された
金属ストリップからなるグレ−ティング反射器４などか
ら構成されている。くし型電極３は、通過中心周波数の
表面波波長から決まる周期構造の電極指と、その電極指
を信号側と接地側でそれぞれ集約するバスバー部５とか
ら構成されている。中央の入力用くし型電極３ｂは、信
号入力に用いられ、その電極の信号側は入力信号用ボン
ディングパッド６ａに、また接地側は入力接地用ボンデ
ィングパッド６ｂにそれぞれ接続されている。信号出力
に用いられる両側の出力用くし型電極３ａの信号側のバ
スバー部５ａは、入力接地用ボンディングパッド６ｂの
近傍に設けられた接続パターン７により相互に接続さ
れ、出力信号用ボンディングパッド６ｃにつながってい
る。また、このくし型電極３ａの接地側は、入力信号用
ボンディングパッド６ａに隣接して設けられた出力接地
用ボンディングパッド６ｄにそれぞれ接続されている。
そして、中央の入力用くし型電極３ｂの接地側とその両
側の出力用くし型電極３ａの接地側は、それぞれ電極指
により相互に接続されている。また、両側の出力用くし
型電極３ａの接地側は隣接する反射器４に電極指を介し
て接続されている。On a surface of a piezoelectric substrate 1 made of 36 ° cut LiTaO 3 single crystal, a pattern made of an electrode group 2 constituting a surface acoustic wave filter is formed by an aluminum thin film by a usual photolithographic technique. This electrode group 2 is composed of three sets of comb-shaped electrodes 3 arranged adjacent to each other and a grating reflector 4 composed of metal strips arranged on both outer sides of the comb-shaped electrodes 3 and connected to each other. It is configured. The comb-shaped electrode 3 is composed of electrode fingers having a periodic structure determined by the surface wave wavelength of the pass center frequency, and a bus bar portion 5 that collects the electrode fingers on the signal side and the ground side, respectively. The central input comb electrode 3b is used for signal input, and the signal side of the electrode is connected to the input signal bonding pad 6a and the ground side thereof is connected to the input ground bonding pad 6b. The signal side bus bar portions 5a of the output comb-shaped electrodes 3a on both sides used for signal output are mutually connected by a connection pattern 7 provided in the vicinity of the input grounding bonding pad 6b, and are connected to the output signal bonding pad 6c. linked. The ground side of the comb-shaped electrode 3a is connected to the output ground bonding pad 6d provided adjacent to the input signal bonding pad 6a.
The ground side of the input comb-shaped electrode 3b at the center and the ground side of the output comb-shaped electrodes 3a on both sides thereof are connected to each other by electrode fingers. The ground sides of the output comb-shaped electrodes 3a on both sides are connected to the adjacent reflectors 4 via electrode fingers.
【００１３】反射器４は、隣接する電極群２’の反射器
４’と接地短絡パターン８により接続されている。出力
用くし型電極３ａの信号側は、接続パターン７を介して
信号短絡パターン９ａにより隣接する電極群２’の反射
器４’に接続され、また、隣接する電極群２’の中央の
くし型電極の信号側は、その入力信号用ボンディングパ
ッドを介して信号短絡パターン９ｂにより反射器４に接
続されている。そして、隣接する電極群間にもそれぞれ
同様の接続がなされている。The reflector 4 is connected to the reflector 4'of the adjacent electrode group 2'by a ground short circuit pattern 8. The signal side of the output comb-shaped electrode 3 a is connected to the reflector 4 ′ of the adjacent electrode group 2 ′ by the signal short-circuit pattern 9 a via the connection pattern 7, and the central comb-shaped electrode of the adjacent electrode group 2 ′. The signal side of the electrode is connected to the reflector 4 by the signal short-circuit pattern 9b via the input signal bonding pad. The same connection is made between adjacent electrode groups.
【００１４】これらのパターンを形成した後、破線で示
したのダイシングライン１０に沿って、圧電基板１を切
断しそれぞれの弾性表面波装置に分割する。この際、接
地短絡パターン８および信号短絡パターン９ａ、ｂを切
断している。これにより電極パターン形成工程におい
て、焦電効果による放電を防止できる。加えて、それぞ
れの弾性表面波装置に分割された後も、すべてのくし型
電極３ａ、ｂの接地側と反射器４が接続された状態であ
るので、反射器４とくし型電極３の接地側との間での放
電を防止でき、パタ−ンの損傷を防ぐことができる。な
お、ダイシングライン１０は、接地短絡パターン８およ
び信号短絡パターン９に直交する形状であるため、切断
後にパターンの残りによる不要な短絡を生じることはな
い。After forming these patterns, the piezoelectric substrate 1 is cut along the dicing line 10 shown by the broken line to divide it into the respective surface acoustic wave devices. At this time, the ground short circuit pattern 8 and the signal short circuit patterns 9a and 9b are disconnected. This can prevent discharge due to the pyroelectric effect in the electrode pattern forming step. In addition, since the ground side of all the comb-shaped electrodes 3a and 3b and the reflector 4 are connected even after being divided into the surface acoustic wave devices, the reflector 4 and the ground side of the comb-shaped electrode 3 are connected. It is possible to prevent electric discharge between and, and to prevent damage to the pattern. Since the dicing line 10 has a shape orthogonal to the ground short circuit pattern 8 and the signal short circuit pattern 9, an unnecessary short circuit due to the rest of the pattern does not occur after cutting.
【００１５】第２の実施例における電極パターンの平面
図を図５に示す。この場合の電極群は、第１の実施例に
おける電極群２を２段縦続接続したものであり、隣接し
て配置されたそれぞれ３個のくし型電極３ａ、ｂ、ｃ、
ｄと、これらくし型電極の両外側に配置されたグレ−テ
ィング反射器４ａ、ｂなどから構成されている。１段目
の中央の入力用くし型電極３ｂは、信号入力に用いられ
る。その両側の出力用くし型電極３ａの信号側は接続パ
ターン７により、２段目の入力用くし型電極３ｃに接続
されている。２段目の中央の出力用くし型電極３ｄは出
力信号用ボンディングパッド６ｆに、また、くし型電極
３ｃ、ｄの接地側は接地用ボンディングパッド６ｅ、ｇ
にそれぞれ接続されている。そして、中央のくし型電極
３ｂ、ｄの接地側とその両側のくし型電極３ａ、ｃの接
地側は、それぞれ電極指により接続されている。また、
両側のくし型電極３ａ、ｃの接地側は隣接する反射器４
ａ、ｂに電極指を介して接続されている。A plan view of the electrode pattern in the second embodiment is shown in FIG. The electrode group in this case is a two-stage cascade connection of the electrode group 2 of the first embodiment, and each of the three comb-shaped electrodes 3a, b, c, which are arranged adjacent to each other.
d, and the grating reflectors 4a, 4b and the like arranged on both outer sides of these comb-shaped electrodes. The input comb-shaped electrode 3b at the center of the first stage is used for signal input. The signal side of the output comb-shaped electrodes 3a on both sides thereof is connected to the second-stage input comb-shaped electrodes 3c by a connection pattern 7. The output comb-shaped electrode 3d at the center of the second stage is the output signal bonding pad 6f, and the ground side of the comb-shaped electrodes 3c and 3d is the ground bonding pads 6e and g.
Respectively connected to. The ground sides of the central comb-shaped electrodes 3b and 3d and the ground sides of the comb-shaped electrodes 3a and 3c on both sides thereof are connected by electrode fingers. Also,
The grounded sides of the comb-shaped electrodes 3a and 3c on both sides are adjacent to the reflector 4
It is connected to a and b via electrode fingers.
【００１６】反射器４ａ、ｂは、隣接する電極群の反射
器と接地短絡パターン８により接続されている。１段目
と２段目を接続する接続パターン７は、信号短絡パター
ン９ａにより隣接する電極群の接地短絡パターン８を介
して反射器４ａに接続されている。また、中央のくし型
電極３ｂ、ｄの信号側は、そのボンディングパッド６
ａ、ｄを介して信号短絡パターン９ｂにより接地短絡パ
ターン８を介して反射器に接続されている。そして、隣
接する電極群間にもそれぞれ同様の接続がなされてい
る。The reflectors 4a and 4b are connected to the reflectors of the adjacent electrode group by the ground short circuit pattern 8. The connection pattern 7 connecting the first stage and the second stage is connected to the reflector 4a via the ground short circuit pattern 8 of the adjacent electrode group by the signal short circuit pattern 9a. The signal side of the central comb-shaped electrodes 3b and 3d has the bonding pad 6
The signal short circuit pattern 9b is connected to the reflector via the ground short circuit pattern 8 via a and d. The same connection is made between adjacent electrode groups.
【００１７】これらのパターンを形成した後、第１の実
施例と同様に製造を行う。これにより電極パターン形成
工程において、焦電効果による放電を防止できるなど第
１の実施例と同様の効果が得られるとともに、２段の縦
続接続により優れた帯域外減衰量を得ることができる。After forming these patterns, manufacturing is performed in the same manner as in the first embodiment. As a result, in the electrode pattern forming step, it is possible to obtain the same effect as that of the first embodiment such as preventing the discharge due to the pyroelectric effect, and it is possible to obtain an excellent out-of-band attenuation amount by the two-stage cascade connection.
【００１８】第３の実施例における電極パターンの平面
図を図６に示す。１２８°カットＬｉＮｂＯ3単結晶か
らなる圧電基板１の表面にＩＩＤＴ構造の弾性表面波フ
ィルタを構成する電極群などからなる電極パターンをア
ルミニウム薄膜により通常のフォトリソグラフ技術によ
り形成する。この電極群は、隣接して配置された１０個
のくし型電極３ａ、ｂと、これらくし型電極の両外側に
配置され、相互に接続された金属ストリップからなるグ
レ−ティング反射器４などから構成されている。５組の
出力用くし型電極３ａと５組の入力用くし型電極３ｂは
交互に配置され、入力用くし型電極３ｂの信号側は、接
続パターン７ａにより相互に接続され、入力信号用ボン
ディングパッド６ａに接続されている。同様に出力用く
し型電極３ａの信号側は、接続パターン７ｂにより相互
に接続され、出力信号用ボンディングパッド６ｃに接続
されている。そして、入力用くし型電極３ｂの接地側と
出力用くし型電極３ａの接地側は、それぞれ電極指によ
り相互に接続されている。また、両端のくし型電極３の
接地側は隣接する反射器４に電極指を介して接続されて
いる。A plan view of the electrode pattern in the third embodiment is shown in FIG. On the surface of the piezoelectric substrate 1 made of 128 ° -cut LiNbO 3 single crystal, an electrode pattern made up of an electrode group constituting the surface acoustic wave filter of the IIDT structure is formed by an aluminum thin film by a usual photolithographic technique. This electrode group consists of ten adjacent comb-shaped electrodes 3a and 3b, and a grating reflector 4 composed of metal strips arranged on both outer sides of these comb-shaped electrodes and connected to each other. It is configured. Five sets of output comb-shaped electrodes 3a and five sets of input comb-shaped electrodes 3b are alternately arranged, and the signal sides of the input comb-shaped electrodes 3b are connected to each other by a connection pattern 7a. 6a. Similarly, the signal side of the comb electrode 3a for output is mutually connected by the connection pattern 7b, and is connected to the bonding pad 6c for output signal. The ground side of the input comb electrode 3b and the ground side of the output comb electrode 3a are connected to each other by electrode fingers. Further, the grounded sides of the comb-shaped electrodes 3 at both ends are connected to the adjacent reflectors 4 via electrode fingers.
【００１９】反射器４は、隣接する電極群の反射器４’
と接地短絡パターン８により接続されている。出力用く
し型電極３ａの信号側は、接続パターン７ｂ、出力信号
用ボンディングパッド６ｃを介して信号短絡パターン９
ａにより隣接する電極群の反射器４’に接続され、ま
た、入力用くし型電極３ｂの信号側は、接続パターン７
ａ、入力信号用ボンディングパッド６ａを介して信号短
絡パターン９ｂにより隣接する電極群の反射器に接続さ
れている。そして、隣接する電極群間にもそれぞれ同様
の接続がなされている。The reflector 4 is a reflector 4'of adjacent electrode groups.
And the ground short circuit pattern 8 are connected. The signal side of the output comb-shaped electrode 3a has a signal short circuit pattern 9 through a connection pattern 7b and an output signal bonding pad 6c.
a is connected to the reflector 4 ′ of the adjacent electrode group, and the signal side of the input comb-shaped electrode 3b is connected to the connection pattern 7
a, the signal short circuit pattern 9b is connected to the reflector of the adjacent electrode group via the input signal bonding pad 6a. The same connection is made between adjacent electrode groups.
【００２０】これらのパターンを形成した後は、第１の
実施例と同様に製造を行う。これにより電極パターン形
成工程において、焦電効果による放電を防止できるなど
第１の実施例と同様の効果を得ることができる。After forming these patterns, manufacturing is carried out in the same manner as in the first embodiment. As a result, in the electrode pattern forming step, it is possible to obtain the same effects as those of the first embodiment, such as preventing the discharge due to the pyroelectric effect.
【００２１】第４の実施例における電極パターンの平面
図を図７に示す。この場合の電極群は、第３の実施例と
類似の電極群を２段縦続接続したものである。この電極
群は、隣接して配置されたそれぞれ１１個のくし型電極
３ａ、ｂ、ｃ、ｄと、くし型電極の両外側に配置された
グレ−ティング反射器４ａ、ｂなどから構成されてい
る。出力用くし型電極と入力用くし型電極は交互に配置
され、１段目の入力用くし型電極３ｂの信号側は、接続
パターン７ａにより相互に接続され、入力信号用ボンデ
ィングパッド６ａに接続されている。１段目の出力用く
し型電極３ａの信号側と２段目の入力用くし型電極３ｃ
は、接続パターン７ｂにより相互に接続されている。２
段目の出力用くし型電極３ｄの信号側は、接続パターン
７ｃにより相互に接続され、出力信号用ボンディングパ
ッド６ｆに接続されている。そして、入力用くし型電極
３ｂ、ｅの接地側と出力用くし型電極３ａ、ｄの接地側
は、それぞれ電極指により相互に接続されている。ま
た、両端のくし型電極３の接地側は隣接する反射器４
ａ、ｂにバスバー部を介して接続されている。A plan view of the electrode pattern in the fourth embodiment is shown in FIG. In this case, the electrode group is a two-stage cascade connection of electrode groups similar to those of the third embodiment. This electrode group is composed of eleven comb-shaped electrodes 3a, b, c, d arranged adjacent to each other, and grating reflectors 4a, b arranged on both outer sides of the comb-shaped electrodes. There is. The output comb-shaped electrodes and the input comb-shaped electrodes are alternately arranged, and the signal sides of the first-stage input comb-shaped electrodes 3b are connected to each other by a connection pattern 7a and are connected to the input signal bonding pad 6a. ing. The signal side of the first-stage output comb-shaped electrode 3a and the second-stage input comb-shaped electrode 3c
Are connected to each other by a connection pattern 7b. Two
The signal side of the output comb-shaped electrode 3d of the stage is mutually connected by the connection pattern 7c, and is connected to the output signal bonding pad 6f. The ground side of the input comb electrodes 3b and 3e and the ground side of the output comb electrodes 3a and 3d are connected to each other by electrode fingers. Also, the ground side of the comb-shaped electrodes 3 at both ends is adjacent to the reflector 4
It is connected to a and b via a bus bar section.
【００２２】反射器４ａ、ｂは、隣接する電極群の反射
器４’と接地短絡パターン８により接続されている。２
段目の出力用くし型電極３ｄの信号側は接続パターン７
ｃおよび出力信号用ボンディングパッド６ｆを介して、
また、１段目の入力用くし型電極３ｂの信号側は接続パ
ターン７ａおよび入力信号用ボンディングパッド６ａを
介して、それぞれ信号短絡パターン９ｂにより隣接する
電極群の反射器４’に接続される。また、１段目の出力
用くし型電極３ｂの信号側と２段目の入力用くし型電極
３ｃの信号側を接続する接続パターン７ｂは、信号短絡
パターン９ａにより隣接する電極群の反射器に接続され
る。そして、隣接する電極群間にもそれぞれ同様の接続
がなされている。The reflectors 4a and 4b are connected to the reflector 4'of the adjacent electrode group by the ground short circuit pattern 8. Two
The signal side of the output comb-shaped electrode 3d is the connection pattern 7
c and the output signal bonding pad 6f,
The signal side of the first-stage input comb-shaped electrode 3b is connected to the reflector 4'of the adjacent electrode group by the signal short-circuit pattern 9b via the connection pattern 7a and the input signal bonding pad 6a. The connection pattern 7b connecting the signal side of the first-stage output comb-shaped electrode 3b and the signal side of the second-stage input comb-shaped electrode 3c is connected to the reflector of the adjacent electrode group by the signal short-circuit pattern 9a. Connected. The same connection is made between adjacent electrode groups.
【００２３】これらのパターンを形成した後、第１の実
施例と同様に製造を行う。これにより電極パターン形成
工程において、焦電効果による放電を防止できるなど第
１の実施例と同様の効果が得られるとともに、２段の縦
続接続により優れた帯域外減衰量を得ることができる。After forming these patterns, manufacturing is performed in the same manner as in the first embodiment. As a result, in the electrode pattern forming step, it is possible to obtain the same effect as that of the first embodiment such as preventing the discharge due to the pyroelectric effect, and it is possible to obtain an excellent out-of-band attenuation amount by the two-stage cascade connection.
【００２４】さらに、他の実施の態様としては、くし型
電極間にグレーティング反射器を設け、その金属ストリ
ップを介して各くし型電極の接地側を接続することもで
きる。圧電性基板として圧電単結晶を用いているが、Ｐ
ＺＴなどの圧電性焼結体、ＡｌＮ、ＺｎＯなどの圧電性
薄膜を非圧電性の基板上に形成したものを用いることも
できる。Further, as another embodiment, a grating reflector may be provided between the comb-shaped electrodes, and the ground side of each comb-shaped electrode may be connected via the metal strip thereof. A piezoelectric single crystal is used as the piezoelectric substrate.
It is also possible to use a piezoelectric sintered body such as ZT or a piezoelectric thin film such as AlN or ZnO formed on a non-piezoelectric substrate.
【００２５】[0025]
【発明の効果】本発明は、（ａ）圧電性基板上に金属膜
からなり、複数の弾性表面波装置を構成するくし型電極
群および該くし型電極群を短絡する短絡パターンを含む
電極パターンを形成する工程と、（ｂ）前記圧電性基板
を切断することにより、前記短絡パターンを切断すると
ともにそれぞれの前記くし型電極群に分割する工程とを
含む弾性表面波装置の製造方法において、（ｃ）前記く
し型電極群が、３組以上のくし型電極および隣接してい
ない該くし型電極の信号側を相互に接続する接続パター
ンを含み、前記くし型電極の接地側が相互に接続されて
おり、（ｄ）前記短絡パターンが、前記くし型電極の接
地側と隣接する前記くし型電極群の接地側とを接続する
接地短絡パターンと、前記接続パターンと隣接する前記
くし型電極群の接地側とを接続する信号短絡パターンを
含むことを特徴とするものである。According to the present invention, (a) an electrode pattern including a comb-shaped electrode group which is made of a metal film on a piezoelectric substrate and constitutes a plurality of surface acoustic wave devices, and a short-circuit pattern for short-circuiting the comb-shaped electrode groups. And a step of (b) cutting the piezoelectric substrate to cut the short-circuit pattern and divide into the respective comb-shaped electrode groups. c) the comb-shaped electrode group includes three or more sets of comb-shaped electrodes and a connection pattern for connecting signal sides of the comb-shaped electrodes which are not adjacent to each other, and the ground side of the comb-shaped electrodes are connected to each other. (D) the short-circuit pattern connects the ground side of the comb-shaped electrode and the ground side of the comb-shaped electrode group adjacent to the ground-side short-circuit pattern, and the connection of the comb-shaped electrode group adjacent to the connection pattern. In which it characterized in that it comprises a signal short-circuit pattern for connecting the side.
【００２６】本発明によれば、電極パターン形成時に
は、くし型電極間が短絡されているため焦電効果により
電荷が電極パターン上に蓄積することがなく、放電によ
りくし型電極が破損することもない。その後、圧電性基
板を切断する際に短絡パターンを切断しているので、新
たな工程を加えることなく、短絡パターンが解放されて
通常の動作が可能となる。また、くし型電極の接地側が
相互に接続されているため、焦電効果による電荷が局部
的に蓄積されることなく、電荷の放電によるくし型電極
の破壊が抑制される。したがって、微細な電極幅のくし
型電極を有する弾性表面波装置装置を再現性よく、高い
歩留まりで製造することが可能となる。According to the present invention, since the comb-shaped electrodes are short-circuited at the time of forming the electrode pattern, electric charges do not accumulate on the electrode pattern due to the pyroelectric effect, and the comb-shaped electrodes may be damaged by discharge. Absent. After that, since the short-circuit pattern is cut when the piezoelectric substrate is cut, the short-circuit pattern is released and a normal operation becomes possible without adding a new step. Further, since the ground sides of the comb-shaped electrodes are connected to each other, electric charges due to the pyroelectric effect are not locally accumulated, and destruction of the comb-shaped electrodes due to discharge of electric charges is suppressed. Therefore, it becomes possible to manufacture a surface acoustic wave device having a comb-shaped electrode having a fine electrode width with good reproducibility and a high yield.
【図１】従来技術である短絡パターンを用いた弾性表面
波装置の電極構造を説明するための平面図である。FIG. 1 is a plan view illustrating an electrode structure of a surface acoustic wave device using a short circuit pattern, which is a conventional technique.
【図２】従来技術である３個のくし型電極を用いた弾性
表面波装置の電極構造を説明するための平面図である。FIG. 2 is a plan view for explaining an electrode structure of a surface acoustic wave device using three comb-shaped electrodes, which is a conventional technique.
【図３】従来技術である多数のくし型電極を用いた弾性
表面波装置の電極構造を説明するための平面図である。FIG. 3 is a plan view for explaining an electrode structure of a surface acoustic wave device using a large number of comb electrodes, which is a conventional technique.
【図４】本発明による第１の実施例に用いる弾性表面波
フィルタの電極パターンの概念を示す平面図である。FIG. 4 is a plan view showing the concept of the electrode pattern of the surface acoustic wave filter used in the first embodiment of the present invention.
【図５】本発明による第２の実施例に用いる弾性表面波
フィルタの電極パターンの概念を示す平面図である。FIG. 5 is a plan view showing the concept of an electrode pattern of a surface acoustic wave filter used in a second embodiment according to the present invention.
【図６】本発明による第３の実施例に用いる弾性表面波
フィルタの電極パターンの概念を示す平面図である。FIG. 6 is a plan view showing the concept of an electrode pattern of a surface acoustic wave filter used in a third embodiment of the present invention.
【図７】本発明による第４の実施例に用いる弾性表面波
フィルタの電極パターンの概念を示す平面図である。FIG. 7 is a plan view showing the concept of an electrode pattern of a surface acoustic wave filter used in a fourth embodiment of the present invention.
１ 圧電基板 ２ 電極群 ３ くし型電極 ４ 反射器 ５ バスバー部 ６ ボンディングパッド ７ 接続パターン ８ 接地短絡パターン ９ 信号短絡パターン １０ ダイシングライン 1 Piezoelectric substrate 2 Electrode group 3 Comb type electrode 4 Reflector 5 Bus bar part 6 Bonding pad 7 Connection pattern 8 Ground short circuit pattern 9 Signal short circuit pattern 10 Dicing line
Claims (2)
複数の弾性表面波装置を構成するくし型電極群および該
くし型電極群を短絡する短絡パターンを含む電極パター
ンを形成する工程と、 （ｂ）前記圧電性基板を切断することにより、前記短絡
パターンを切断するとともにそれぞれの前記くし型電極
群に分割する工程とを含む弾性表面波装置の製造方法に
おいて、 （ｃ）前記くし型電極群が、３組以上のくし型電極およ
び隣接していない該くし型電極の信号側を相互に接続す
る接続パターンを含み、前記くし型電極の接地側が相互
に接続されており、 （ｄ）前記短絡パターンが、前記くし型電極の接地側と
隣接する前記くし型電極群の接地側とを接続する接地短
絡パターンと、前記接続パターンと隣接する前記くし型
電極群の接地側とを接続する信号短絡パターンを含むこ
とを特徴とする弾性表面波装置の製造方法。1. (a) A metal film on a piezoelectric substrate,
A step of forming an electrode pattern including a comb-shaped electrode group that constitutes a plurality of surface acoustic wave devices and a short-circuit pattern that short-circuits the comb-shaped electrode group; and (b) cutting the piezoelectric substrate to thereby form the short-circuit pattern. A method for manufacturing a surface acoustic wave device, the method comprising the steps of: cutting, and dividing into each of the comb-shaped electrode groups, (c) the comb-shaped electrode group includes three or more sets of comb-shaped electrodes and a non-adjacent comb-shaped electrode group. The comb pattern includes a connection pattern for connecting the signal sides of the comb electrodes, the ground sides of the comb electrodes are connected to each other, and (d) the short circuit pattern is adjacent to the ground side of the comb electrode. An elasticity characterized by including a ground short-circuit pattern connecting the ground side of the mold electrode group and a signal short-circuit pattern connecting the connection pattern and the ground side of the comb-shaped electrode group adjacent to the connection pattern. Method of manufacturing a surface wave device.
置され、前記くし型電極の接地側に接続された一対の反
射器を前記くし型電極群が含み、 （ｆ）前記短絡パターンが前記反射器を介して接続され
ていることを特徴とする請求項１記載の弾性表面波装置
の製造方法。2. (e) The comb-shaped electrode group includes a pair of reflectors arranged so as to sandwich the comb-shaped electrode and connected to the ground side of the comb-shaped electrode, (f) the short-circuit pattern is The method of manufacturing a surface acoustic wave device according to claim 1, wherein the surface acoustic wave device is connected via the reflector.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35867192A JPH06204779A (en) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | Manufacture of surface acoustic wave device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35867192A JPH06204779A (en) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | Manufacture of surface acoustic wave device |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06204779A true JPH06204779A (en) | 1994-07-22 |
Family
ID=18460523
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35867192A Pending JPH06204779A (en) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | Manufacture of surface acoustic wave device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06204779A (en) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6034578A (en) * | 1998-09-11 | 2000-03-07 | Hitachi Media Electronics Co., Ltd. | Surface acoustic wave device with closely spaced discharge electrodes electrically independent of the interdigital transducers |
| US6486752B1 (en) * | 1999-11-04 | 2002-11-26 | Oki Electric Industry Co, Ltd. | Surface acoustic wave filter pattern with grounding via connection lines to dicing lines |
| JP2005175927A (en) * | 2003-12-11 | 2005-06-30 | Murata Mfg Co Ltd | Manufacturing method of surface acoustic wave element |
| JP2005331885A (en) * | 2004-05-21 | 2005-12-02 | Fujitsu Ltd | Acoustooptic device and method for manufacturing acoustooptic device |
| JP2006071957A (en) * | 2004-09-02 | 2006-03-16 | Sony Corp | Electronic device chip assembly, electronic device chip, diffraction grating-optical modulation apparatus assembly, and diffraction grating-optical modulation apparatus |
-
1992
- 1992-12-28 JP JP35867192A patent/JPH06204779A/en active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6034578A (en) * | 1998-09-11 | 2000-03-07 | Hitachi Media Electronics Co., Ltd. | Surface acoustic wave device with closely spaced discharge electrodes electrically independent of the interdigital transducers |
| US6486752B1 (en) * | 1999-11-04 | 2002-11-26 | Oki Electric Industry Co, Ltd. | Surface acoustic wave filter pattern with grounding via connection lines to dicing lines |
| JP2005175927A (en) * | 2003-12-11 | 2005-06-30 | Murata Mfg Co Ltd | Manufacturing method of surface acoustic wave element |
| JP2005331885A (en) * | 2004-05-21 | 2005-12-02 | Fujitsu Ltd | Acoustooptic device and method for manufacturing acoustooptic device |
| JP2006071957A (en) * | 2004-09-02 | 2006-03-16 | Sony Corp | Electronic device chip assembly, electronic device chip, diffraction grating-optical modulation apparatus assembly, and diffraction grating-optical modulation apparatus |
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