JPH06204000A - Beam profile monitor for particle accelerator - Google Patents

Beam profile monitor for particle accelerator

Info

Publication number
JPH06204000A
JPH06204000A JP1811893A JP1811893A JPH06204000A JP H06204000 A JPH06204000 A JP H06204000A JP 1811893 A JP1811893 A JP 1811893A JP 1811893 A JP1811893 A JP 1811893A JP H06204000 A JPH06204000 A JP H06204000A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
screen
light emitting
hole
vacuum chamber
diameter
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1811893A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Mitsusachi Takahashi
光幸 高橋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
IHI Corp
Original Assignee
IHI Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by IHI Corp filed Critical IHI Corp
Priority to JP1811893A priority Critical patent/JPH06204000A/en
Publication of JPH06204000A publication Critical patent/JPH06204000A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Particle Accelerators (AREA)

Abstract

PURPOSE:To detect a fluctuation of beam profile at real time. CONSTITUTION:A screen 20 is arranged on a beam designed orbit 13 in a vacuum chamber 10 in a linear accelerator in such a manner as to be capable of protruding and recessing. The screen 20 is, for example, formed of a fluorescent material or coated with the fluorescent material, and emits a light in a position to which a beam is collided. An observation hole 19 is formed on the side of the screen 20, and a television camera 14 is arranged on the outside thereof to observe the emission on the screen 20. To perform this observation, the screen 20 is arranged slantingly toward the television camera 14 from the beam axis. In the central part of the screen 20, a hole 22 with a diameter B' slightly smaller than a standard beam diameter B is formed with the beam designed orbit 13 as a center.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、粒子加速器において
真空チャンバー内を通過する荷電粒子ビームやSOR光
ビーム等のプロファイル(大きさ等)を観測するための
ビームプロファイルモニタに関し、ビームプロファイル
の変動をリアルタイムで検出できるようにしたものであ
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a beam profile monitor for observing a profile (size, etc.) of a charged particle beam or SOR light beam passing through a vacuum chamber in a particle accelerator. It is possible to detect in real time.

【0002】[0002]

【従来の技術】例えばリニアック(線型加速器)におい
ては、ビーム出口にビームファイルモニタを配置してビ
ームプロファイルを検出し、所定のビームプロファイル
となるように収束電磁石の磁場等を調整することが行な
われる。
2. Description of the Related Art For example, in a linac (linear accelerator), a beam file monitor is arranged at the beam exit to detect a beam profile, and the magnetic field of a focusing electromagnet is adjusted so as to obtain a predetermined beam profile. .

【0003】従来のビームモニタは、例えば図2に示す
ように、真空チャンバー10内のビーム設計軌道13上
にスクリーン12を進出、退出可能に配置している。ス
クリーン12は例えば蛍光物質で構成されあるいは蛍光
物質が塗布されており、ビームが衝突した位置で発光す
る。スクリーン12の側方には覗き窓19が形成され、
その外側にテレビカメラ14が配設され、スクリーン1
2上の発光を観測する。この観測を行なうため、スクリ
ーン12はビーム軸に対してテレビカメラ14の方向に
傾けて配設されている。
In a conventional beam monitor, for example, as shown in FIG. 2, a screen 12 is arranged on a beam design track 13 in a vacuum chamber 10 so that the screen 12 can advance and retreat. The screen 12 is made of, for example, a fluorescent substance or coated with a fluorescent substance, and emits light at the position where the beam collides. A viewing window 19 is formed on the side of the screen 12,
The television camera 14 is arranged outside the screen 1
Observe the light emission above 2. In order to make this observation, the screen 12 is arranged so as to be tilted in the direction of the television camera 14 with respect to the beam axis.

【0004】スクリーン12は運転時にはビーム設計軌
道13上から退出して、ビーム15の通過の妨げとなら
ないようにされている。ビームプロファイル観測時に
は、スクリーン12はビーム設計軌道13上に進出す
る。進出状態で、真空チャンバー10中にビーム15を
入射すると、スクリーン12の面のいずれかの部分に衝
突し、その部分で発光する。そして、この位置をテレビ
カメラ14で観測することによりビーム15の設計軌道
13からのずれを観測することができ、このずれに応じ
て電磁石の励磁量を調整することによりビーム15の軌
道を修正することができる。修正が終了したらスクリー
ン12をビーム設計軌道13から退出させる。
The screen 12 is designed so that it does not interfere with the passage of the beam 15 by exiting from the beam design track 13 during operation. At the time of observing the beam profile, the screen 12 advances on the beam design trajectory 13. When the beam 15 enters the vacuum chamber 10 in the advanced state, it collides with any part of the surface of the screen 12 and emits light at that part. By observing this position with the television camera 14, the deviation of the beam 15 from the designed trajectory 13 can be observed, and the trajectory of the beam 15 is corrected by adjusting the amount of excitation of the electromagnet according to this deviation. be able to. When the correction is completed, the screen 12 is moved out of the beam design trajectory 13.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】前記従来のスクリーン
12によるビームプロファイルの観測では、ビーム15
がスクリーン12に衝突して消滅してしまうので、粒子
加速器の実際の運転時には使用することができなかっ
た。このため、運転中の経時的なビームプロファイルの
変動を検出することはできなかった。この発明は、前記
従来の技術における問題点を解決してビームプロファイ
ルの変動をリアルタイムで検出することができる粒子加
速器のビームプロファイルモニタを提供しようとするも
のである。
In the observation of the beam profile by the conventional screen 12, the beam 15 is observed.
Since it collided with the screen 12 and disappeared, it could not be used during the actual operation of the particle accelerator. For this reason, it was not possible to detect changes in the beam profile over time during operation. The present invention is intended to provide a beam profile monitor of a particle accelerator capable of solving the above-mentioned problems in the conventional technique and detecting the fluctuation of the beam profile in real time.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明は、
粒子加速器の真空チャンバー内のビーム設計軌道上に配
置され、当該設計軌道を中心として基準のビーム径より
もやや小さな孔を有し、当該ビームの照射によって発光
する発光部材と、この発光部材を覗くように前記真空チ
ャンバーに形成された覗き窓と、この覗き窓から前記発
光部材を観測する観測手段とを具備してなるものであ
る。
The invention according to claim 1 is
It is placed on the beam design trajectory in the vacuum chamber of the particle accelerator, has a hole slightly smaller than the reference beam diameter around the design trajectory, and looks at this light-emitting member and the light-emitting member that emits light by irradiation of the beam. The observation window is formed in the vacuum chamber as described above, and the observation means for observing the light emitting member through the observation window.

【0007】また、請求項2記載の発明は、粒子加速器
の真空チャンバー内のビーム設計軌道上にそれぞれに進
入・退出可能に配置され、当該設計軌道を中心として異
なる径の孔を有し、当該ビームの照射によって発光する
複数の発光部材と、これら発光部材を覗くように前記真
空チャンバーに形成された覗き窓と、この覗き窓から前
記発光部材を観測する観測手段とを具備してなるもので
ある。
Further, the invention according to claim 2 is arranged so as to be able to enter and leave each of the beam design trajectories in the vacuum chamber of the particle accelerator, and has holes of different diameters centering on the design trajectories, It is provided with a plurality of light emitting members which emit light by irradiation of a beam, a viewing window formed in the vacuum chamber so as to look into these light emitting members, and an observation means for observing the light emitting members through the viewing window. is there.

【0008】[0008]

【作用】請求項1記載の発明によれば、発光部材にビー
ム径よりもやや小さな孔を形成したので、ビーム径が基
準の大きさの時は孔の周囲がかすかに光り、基準ビーム
径より大きい時は孔の周囲の光の範囲が広くなり、基準
のビーム径よりも小さい時はほとんど光らなくなる。し
たがって、基準ビーム径に一致しているか、または基準
ビームより大きいか小さいかを検出することができる。
そして、孔を通過したビームはそのまま利用することが
できるので、実際の運転時に使用でき、運転時のビーム
プロファイルの変動をリアルタイムで観測することがで
きる。
According to the invention described in claim 1, since a hole slightly smaller than the beam diameter is formed in the light emitting member, when the beam diameter is the reference size, the periphery of the hole shines faintly, and the beam is smaller than the reference beam diameter. When it is large, the range of light around the hole is wide, and when it is smaller than the reference beam diameter, almost no light is emitted. Therefore, it is possible to detect whether it matches the reference beam diameter or is larger or smaller than the reference beam.
Since the beam that has passed through the hole can be used as it is, it can be used during actual operation, and the fluctuation of the beam profile during operation can be observed in real time.

【0009】また、請求項2記載の発明によれば、ビー
ム径が異なる複数の発光部材を交互にビーム軌道上に出
し入れすることで、孔の周囲の発光状況によりビーム径
を計測することができる。
According to the second aspect of the present invention, the beam diameter can be measured by the light emitting condition around the hole by alternately inserting and removing the plurality of light emitting members having different beam diameters on the beam orbit. .

【0010】[0010]

【実施例】請求項1記載の発明の一実施例を図1(a)
に平面断面図で示す。リニアック等における真空チャン
バー10内のビーム設計軌道13上にはスクリーン20
が進出、退出可能に配置されている。スクリーン20は
例えば蛍光物質で構成されあるいは蛍光物質が塗布され
ており、ビームが衝突した位置で発光する。スクリーン
20の側方には覗き窓19が形成され、その外側にテレ
ビカメラ14が配設され、スクリーン20上の発光を観
測する。この観測を行なうため、スクリーン20はビー
ム軸に対してテレビカメラ14の方向に傾けて配設され
ている。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the invention described in claim 1 is shown in FIG.
Is shown in a plan sectional view. A screen 20 is provided on the beam design trajectory 13 in the vacuum chamber 10 in the linac or the like.
Are arranged so that they can move in and out. The screen 20 is made of, for example, a fluorescent substance or is coated with a fluorescent substance, and emits light at the position where the beam collides. A viewing window 19 is formed on the side of the screen 20, and a television camera 14 is provided outside the viewing window 19 to observe light emission on the screen 20. In order to make this observation, the screen 20 is tilted in the direction of the television camera 14 with respect to the beam axis.

【0011】スクリーン20は、図1(b)に正面図で
示すように、支持ロッド24に支持されて真空チャンバ
ー10内に固定配設され、または上下方向に移動して進
入、退出可能に配設されている。スクリーン20の中央
部には、ビーム設計軌道13を中心として基準のビーム
径Bよりもやや小さな径B′の孔22が形成されてい
る。
As shown in the front view of FIG. 1 (b), the screen 20 is supported by a support rod 24 and fixedly arranged in the vacuum chamber 10, or is moved vertically so that the screen 20 can enter and exit. It is set up. A hole 22 having a diameter B ′ slightly smaller than the reference beam diameter B is formed in the center of the screen 20 with the beam design trajectory 13 as the center.

【0012】図1の構成によるテレビカメラ14による
観測画像を図3に示す。(a)は基準ビーム径の時で、
孔22の周囲がかすかに光る。(b)は基準ビーム径よ
りも大きい時で、孔22の周囲が広い範囲で光る。
(c)は基準のビーム径よりも小さい時で、孔22の周
囲はほとんど光らない。(d)はビームが設計軌道13
からずれている時で、孔22の周囲で片寄った状態に光
る。したがって、これらの観測画像により、基準ビーム
径に一致しているか、または基準ビームより大きいか小
さいかを検出することができる。そして、孔22を通過
したビーム15はそのまま利用することができるので、
実際の運転時に使用でき、運転時のビームプロファイル
の変動をリアルタイムで観測することができる。
An image observed by the television camera 14 having the configuration shown in FIG. 1 is shown in FIG. (A) is the reference beam diameter,
The periphery of the hole 22 shines faintly. (B) is larger than the reference beam diameter, and the periphery of the hole 22 shines in a wide range.
(C) is a case where the beam diameter is smaller than the reference beam diameter, and there is almost no light around the hole 22. In (d), the beam has a designed trajectory 13
When deviated, it shines in a biased state around the hole 22. Accordingly, it is possible to detect whether these observation images match the reference beam diameter or are larger or smaller than the reference beam. The beam 15 that has passed through the hole 22 can be used as it is,
It can be used during actual operation, and changes in the beam profile during operation can be observed in real time.

【0013】[0013]

【他の実施例】請求項2記載の発明の実施例を図4に平
面断面図で示す。リニアック等における真空チャンバー
10内のビーム設計軌道13上には複数段のスクリーン
31〜34が個々にが進出、退出可能に配置されてい
る。スクリーン31〜34は例えば蛍光物質で構成され
あるいは蛍光物質が塗布されており、ビームが衝突した
位置で発光する。スクリーン31〜34の側方には覗き
窓41〜44が形成され、スクリーン31〜34はビー
ム軸に対して覗き窓41〜44の方向に傾けて配設され
ている。
[Other Embodiments] FIG. 4 is a plan sectional view showing an embodiment of the present invention. On the beam design trajectory 13 in the vacuum chamber 10 in the linac or the like, a plurality of stages of screens 31 to 34 are arranged so that they can individually advance and retreat. The screens 31 to 34 are made of, for example, a fluorescent substance or coated with a fluorescent substance, and emit light at the position where the beam collides. Viewing windows 41 to 44 are formed on the sides of the screens 31 to 34, and the screens 31 to 34 are arranged so as to be inclined with respect to the beam axis in the directions of the viewing windows 41 to 44.

【0014】スクリーン31〜34は、図5にそれぞれ
正面図で示すように、支持ロッド61〜64に支持され
て真空チャンバー10内で上下方向に進入、退出可能に
配設されている。スクリーン31〜34の中央部には、
ビーム設計軌道13を中心として基準のビーム径Bより
も大きい径B1 から基準のビーム径Bよりも小さな径B
4 に順次大きさが異なる孔71〜74が形成されてい
る。
As shown in the front view of FIG. 5, the screens 31 to 34 are supported by support rods 61 to 64, and are arranged so as to be able to enter and leave the vacuum chamber 10 in the vertical direction. In the center of the screens 31-34,
From the diameter B 1 larger than the reference beam diameter B around the beam design trajectory 13 to the diameter B smaller than the reference beam diameter B
Holes 71 to 74 having different sizes are formed in the hole 4 .

【0015】覗き窓41〜44の外側には、ハーフミラ
ー51〜54(ミラー51は全反射ミラーでも可)が反
射光軸55を一致させて配設され、反射光軸55上にテ
レビカメラ14が配設されている。テレビカメラ14で
撮られた画像はテレビモニタに表示されるほか、画像処
理および制御装置76に送られる。
Half mirrors 51 to 54 (the mirror 51 may be a total reflection mirror) are arranged outside the viewing windows 41 to 44 with their reflection optical axes 55 aligned with each other, and the television camera 14 is placed on the reflection optical axes 55. Is provided. The image taken by the television camera 14 is displayed on the television monitor and is also sent to the image processing and control device 76.

【0016】画像処理および制御装置76は、テレビカ
メラ14の画像を処理して、スクリーン31〜34の発
光状況を観測して、スクリーン駆動装置81〜84を駆
動して支持ロッド61を上下させて、スクリーン31〜
34を交互にビーム設計軌道13上に位置決めして実際
の運転時にビーム径をリアルタイムで計測する。
The image processing and control device 76 processes the image of the television camera 14 and observes the light emission status of the screens 31 to 34, drives the screen drive devices 81 to 84, and moves the support rod 61 up and down. , Screen 31-
34 are alternately positioned on the beam design trajectory 13 and the beam diameter is measured in real time during actual operation.

【0017】画像処理および制御装置76によるビーム
径計測時のスクリーン駆動制御の一例を図6に示す。は
じめに孔が最も大きいスクリーン31を軌道13上に出
す(P1)。この状態でビーム15が孔71をかするか
否かを観測し(P2)、かする場合はビーム径がB1
りもやや大きいと判定する(P3)。かすらない場合
は、スクリーン31を上げて次のスクリーン32を軌道
13上に出す(P4)。この状態でビーム15が孔72
をかするか否かを観測し(P5)、かする場合はビーム
径がB2 よりもやや大きいと判定する(P6)。かすら
ない場合は、スクリーン32を上げて次のスクリーン3
3を軌道13上に出す(P7)。この状態でビーム15
が孔73をかするか否かを観測し(P8)、かする場合
はビーム径がB3 よりもやや大きいと判定する(P
9)。かすらない場合は、スクリーン33を上げて次の
スクリーン34を軌道13上に出す(P10)。この状
態でビーム15が孔74をかするか否かを観測し(P1
1)、かする場合はビーム径がB 4 よりもやや大きいと
判定する(P12)。かすらない場合は、ビーム径がB
4よりも小さいと判定する(P13)。このようにし
て、実際の運転時にビーム径をリアルタイム計測するこ
とができる。ビーム径が変動した場合は上記の動作を繰
り返すことにより、その都度ビーム径を計測することが
できる。
Beam by image processing and controller 76
FIG. 6 shows an example of the screen drive control when measuring the diameter. Is
First, put out the screen 31 with the largest hole on the track 13.
(P1). In this state, does the beam 15 cover the hole 71?
Observe whether or not (P2). If yes, the beam diameter is B1Yo
It is determined to be slightly larger (P3). If you don't scratch
Raises screen 31 and moves to the next screen 32
Put it on 13 (P4). In this state, the beam 15 has a hole 72
Observe whether or not to remove (P5), and if yes, beam
Diameter is B2It is determined to be slightly larger than (P6). Kasura
If not, raise screen 32 and move to next screen 3.
3 is put on the orbit 13 (P7). Beam 15 in this state
When observing whether or not the hole 73 is removed (P8)
Has a beam diameter of B3It is judged to be slightly larger than (P
9). If you don't scratch, raise the screen 33 to the next
The screen 34 is put out on the track 13 (P10). This state
In this state, it is observed whether the beam 15 goes through the hole 74 (P1
1), the beam diameter is B FourSlightly larger than
The determination is made (P12). If there is no blur, the beam diameter is B
FourIt is determined to be smaller than (P13). Like this
The beam diameter can be measured in real time during actual operation.
You can If the beam diameter changes, repeat the above operation.
By returning, the beam diameter can be measured each time.
it can.

【0018】[0018]

【変更例】この発明は、リニアックに限らず、周回リン
グ、SOR光出射ラインにおける粒子ビームやSOR光
のビームプロファイル観測用に用いることもできる。
[Modification] The present invention can be used not only for the linac but also for observing the beam profile of the particle beam or the SOR light in the orbiting ring and the SOR light emitting line.

【0019】[0019]

【発明の効果】以上説明したように、請求項1記載の発
明によれば、発光部材にビーム径よりもやや小さな孔を
形成したので、ビーム径が基準の大きさの時は孔の周囲
がかすかに光り、基準ビーム径より大きい時は孔の周囲
の光の範囲が広くなり、基準のビーム径よりも小さい時
はほとんど光らなくなる。したがって、基準ビーム径に
一致しているか、または基準ビームより大きいか小さい
かを検出することができる。そして、孔を通過したビー
ムはそのまま利用することができるので、実際の運転時
に使用でき、運転時のビームプロファイルの変動をリア
ルタイムで観測することができる。
As described above, according to the first aspect of the present invention, the light emitting member is formed with a hole slightly smaller than the beam diameter. Therefore, when the beam diameter is the reference size, the circumference of the hole is small. It shines faintly, and when it is larger than the reference beam diameter, the range of the light around the hole is widened, and when it is smaller than the reference beam diameter, it hardly emits light. Therefore, it is possible to detect whether it matches the reference beam diameter or is larger or smaller than the reference beam. Since the beam that has passed through the hole can be used as it is, it can be used during actual operation, and the fluctuation of the beam profile during operation can be observed in real time.

【0020】また、請求項2記載の発明によれば、ビー
ム径が異なる複数の発光部材を交互にビーム軌道上に出
し入れすることで、孔の周囲の発光状況によりビーム径
を計測することができる。
According to the second aspect of the invention, the beam diameter can be measured by the light emitting condition around the hole by alternately inserting and removing a plurality of light emitting members having different beam diameters on the beam orbit. .

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】請求項1記載の発明の一実施例を示す平面断面
図およびスクリーンの正面図である。
FIG. 1 is a plan sectional view and a front view of a screen showing an embodiment of the invention described in claim 1.

【図2】従来装置を示す平面断面図である。FIG. 2 is a plan sectional view showing a conventional device.

【図3】図1の装置によるテレビカメラの観測画像を示
す図である。
FIG. 3 is a diagram showing an observed image of a television camera by the apparatus of FIG.

【図4】請求項2記載の発明の一実施例を示す平面断面
図である。
FIG. 4 is a plan sectional view showing an embodiment of the invention described in claim 2.

【図5】図4の各スクリーンの正面図である。5 is a front view of each screen of FIG. 4. FIG.

【図6】図4の画像処理および制御装置によるスクリー
ン駆動制御の一例を示すフローチャートである。
6 is a flowchart showing an example of screen drive control by the image processing and control device of FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 真空チャンバー 13 ビーム設計軌道 14 テレビカメラ(観測手段) 15 粒子ビーム 19 覗き窓 20 スクリーン(発光部材) 22 孔 31,32,33,34 スクリーン(複数の発光部
材) 71,72,73,74 異なる径の孔 B 基準のビーム径
10 Vacuum Chamber 13 Beam Design Trajectory 14 TV Camera (Observation Means) 15 Particle Beam 19 Viewing Window 20 Screen (Light Emitting Member) 22 Holes 31, 32, 33, 34 Screen (Multiple Light Emitting Members) 71, 72, 73, 74 Different Diameter hole B Reference beam diameter

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】粒子加速器の真空チャンバー内のビーム設
計軌道上に配置され、当該設計軌道を中心として基準の
ビーム径よりもやや小さな孔を有し、当該ビームの照射
によって発光する発光部材と、 この発光部材を覗くように前記真空チャンバーに形成さ
れた覗き窓と、 この覗き窓から前記発光部材を観測する観測手段とを具
備してなる粒子加速器のビームプロファイルモニタ。
1. A light emitting member which is arranged on a beam design trajectory in a vacuum chamber of a particle accelerator, has a hole slightly smaller than a reference beam diameter around the design trajectory, and which emits light by irradiation of the beam. A beam profile monitor for a particle accelerator, comprising: a viewing window formed in the vacuum chamber so as to look into the light emitting member; and an observing means for observing the light emitting member through the viewing window.
【請求項2】粒子加速器の真空チャンバー内のビーム設
計軌道上にそれぞれに進入、退出可能に配置され、当該
設計軌道を中心として異なる径の孔を有し、当該ビーム
の照射によって発光する複数の発光部材と、 これら発光部材を覗くように前記真空チャンバーに形成
された覗き窓と、 この覗き窓から前記発光部材を観測する観測手段とを具
備してなる粒子加速器のビームプロファイルモニタ。
2. A plurality of beams which are arranged so as to enter and leave a beam design trajectory in a vacuum chamber of a particle accelerator, have holes of different diameters around the design trajectory, and emit light by irradiation of the beam. A beam profile monitor for a particle accelerator comprising: a light emitting member; a viewing window formed in the vacuum chamber so as to look into the light emitting member; and an observation means for observing the light emitting member through the viewing window.
JP1811893A 1993-01-08 1993-01-08 Beam profile monitor for particle accelerator Pending JPH06204000A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1811893A JPH06204000A (en) 1993-01-08 1993-01-08 Beam profile monitor for particle accelerator

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1811893A JPH06204000A (en) 1993-01-08 1993-01-08 Beam profile monitor for particle accelerator

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH06204000A true JPH06204000A (en) 1994-07-22

Family

ID=11962696

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1811893A Pending JPH06204000A (en) 1993-01-08 1993-01-08 Beam profile monitor for particle accelerator

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH06204000A (en)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009186349A (en) * 2008-02-07 2009-08-20 Natl Inst Of Radiological Sciences Beam monitor sensor and beam monitor with the same
WO2017199385A1 (en) * 2016-05-19 2017-11-23 三菱電機株式会社 Beam monitor for particle radiotherapy device, and particle radiotherapy device
JP2018175777A (en) * 2017-04-21 2018-11-15 住友重機械工業株式会社 Radiation therapy equipment
KR102243137B1 (en) * 2019-12-20 2021-04-22 주식회사 프로텍 Laser Beam Profiler

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009186349A (en) * 2008-02-07 2009-08-20 Natl Inst Of Radiological Sciences Beam monitor sensor and beam monitor with the same
WO2017199385A1 (en) * 2016-05-19 2017-11-23 三菱電機株式会社 Beam monitor for particle radiotherapy device, and particle radiotherapy device
JP2018175777A (en) * 2017-04-21 2018-11-15 住友重機械工業株式会社 Radiation therapy equipment
KR102243137B1 (en) * 2019-12-20 2021-04-22 주식회사 프로텍 Laser Beam Profiler

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN105390358B (en) Combination laser device and charged particle beam system
JP5033310B2 (en) Inspection device
US20060157341A1 (en) Thin piece specimen preparing method and composite charged particle beam device
WO2017168482A1 (en) Charged particle beam device and method for adjusting charged particle beam device
JP2005166689A (en) Monitor for detecting beam position
JPH06204000A (en) Beam profile monitor for particle accelerator
CN105229446B (en) Ablation pattern position based on image identification is withdrawn
JP2009525571A (en) Focusing and positioning aid for particle optical scanning microscope
EP1626617A1 (en) Parts mounting machine
JPH10214583A (en) Scanning electron microscope
JPH07113625A (en) Device for inspecting inside peripheral face of cylindrical body
JP2001004559A (en) X-ray inspecting device
JPH0541195A (en) Scanning electron microscopic device
JP2002206865A (en) Electrostatic suspension furnace
JPH10214587A (en) Scanning transmission electron microscope for stereoscopic observation and stereoscopic image forming system
JPS60253956A (en) Extremely small part analyzing device using excitation beam
KR100791589B1 (en) Nano processing system
JP2002279926A (en) Transmission type electron microscope
US5013914A (en) Method and apparatus for generating electron channeling patterns
JP3271395B2 (en) Ion beam irradiation equipment
JPH11260600A (en) Beam position detecting monitor
JPH0590000A (en) Beam monitor of particle accelerator
JPH11283548A (en) Electron microscope equipment and sample observing method using the same
KR102209996B1 (en) Mass spectrometer
JPH112700A (en) Ion beam analyzer