JPH06200378A - Polymer with metal transferred on the surface and production of metallic porous body - Google Patents

Polymer with metal transferred on the surface and production of metallic porous body

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JPH06200378A
JPH06200378A JP11978692A JP11978692A JPH06200378A JP H06200378 A JPH06200378 A JP H06200378A JP 11978692 A JP11978692 A JP 11978692A JP 11978692 A JP11978692 A JP 11978692A JP H06200378 A JPH06200378 A JP H06200378A
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秀樹 益田
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Abstract

PURPOSE:To easily produce a polymer with a metal transferred on its surface by depositing another metal on an Al anodic oxide film having micropores on Al so that the micropore is not closed, covering the film with a monomer to fill the micropore, polymerizing the monomer and dissolving off the Al and film. CONSTITUTION:The surface of Al 1 is anodized in aq. sulfuric acid to form an Al anodic oxide film 2 having micropores 3. A metal 4 (Pd, Cu, etc.) other than Al is deposited on the film 2 by vapor deposition, etc., so that the micropore 3 is not closed. The micropore 3 is then covered with a monomer (methyl methacrylate, etc.) to fill at least a part of the micropores, the monomer is polymerized in place to form a polymer 5. The base metal Al is dissolved by a saturated mercuric chloride soln., and then the film 2 is dissolved by mixtures of phosphoric and chromic acids. Consequently, the polymer 5 having a polymer part of the same shape as the micropore 3 and with the metal 4 transferred on its surface is obtained.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、金属が表面に転写され
ている重合体の製造方法およびこの重合体を用いる金属
多孔体の製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for producing a polymer in which a metal is transferred to the surface and a method for producing a metal porous body using the polymer.

【0002】より詳細には、本発明は、アルミニウム陽
極酸化皮膜の微細孔またはポーラスガラスの微細孔と少
くとも部分的に同一の形状の重合体部分を有し、重合体
表面に金属が転写されている重合体の製造方法およびア
ルミニウム陽極酸化皮膜の微細孔またはポーラスガラス
の微細孔と少くとも部分的に同一の形状の微細孔を有す
る金属多孔体の製造方法に関する。
More specifically, the present invention has a polymer portion having at least partially the same shape as the fine pores of the aluminum anodic oxide coating or the fine pores of the porous glass, and the metal is transferred to the surface of the polymer. The present invention relates to a method for producing a polymer and a method for producing a metal porous body having fine pores of at least partially the same shape as fine pores of an anodized aluminum film or fine pores of porous glass.

【0003】[0003]

【従来技術】従来、微細孔を有する金属多孔体を製造す
る方法として、 1)微細な金属粉末を焼結する方法 2)複数の成分からなる合金の分相したものから特定の
成分を選択的に溶解除去してそれ以外の成分を残す方法 等が知られている。
2. Description of the Related Art Conventionally, as a method for producing a porous metal body having fine pores, 1) a method of sintering fine metal powder, 2) selective selection of a specific component from a phase-separated alloy of a plurality of components It is known to dissolve and remove the other components to leave the other components.

【0004】しかしながら、従来の方法は、利用できる
金属の種類が限られており、一般に、高価な装置と、多
大な労力を必要とする。
However, the conventional methods are limited in the kinds of metals that can be used, and generally require expensive equipment and a great deal of labor.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、微細孔を有
する金属多孔体を製造するのに用いることができる重合
体であって、得ようとする金属多孔体の微細孔と少くと
も部分的に同一の形状の重合体部分を有し重合体表面に
金属が転写されている重合体の製造方法を提供すること
を目的とする。
The present invention is a polymer that can be used to produce a porous metal having fine pores, wherein the fine pores and at least a portion of the porous metal to be obtained are obtained. It is an object of the present invention to provide a method for producing a polymer having a polymer portion having the same shape as described above and having a metal transferred to the polymer surface.

【0006】また、本発明は、微細孔を有する金属多孔
体を製造することができる改善された方法を提供するこ
とを目的とする。
Another object of the present invention is to provide an improved method capable of producing a metal porous body having fine pores.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】上記目的は、本発明に従
い、(a)アルミニウム上の、微細孔を有するアルミニ
ウム陽極酸化皮膜に、該微細孔を塞ぐことがないように
アルミニウム以外の金属を付着し、(b)該金属を付着
したアルミニウム上の、微細孔を有するアルミニウム陽
極酸化皮膜を、該微細孔が単量体で少くとも部分的に充
填されるように該単量体で被覆し、(c)該単量体をそ
の場で重合して重合体を生成し、(d)該重合体および
該金属を溶解除去することなく、該アルミニウムおよび
該アルミニウム陽極酸化皮膜を溶解除去して該金属を該
重合体上に転写することを特徴とするアルミニウム陽極
酸化皮膜の微細孔と少くとも部分的に同一の形状の重合
体部分を有し、金属が重合体表面に転写されている重合
体の製造方法により解決される。
According to the present invention, the above object is to adhere a metal other than aluminum to an aluminum anodic oxide coating having fine pores on (a) aluminum so as not to block the fine pores. And (b) coating an aluminum anodic oxide coating having fine pores on the metal-attached aluminum with the monomer so that the fine pores are at least partially filled with the monomer, (C) polymerizing the monomer in situ to form a polymer, and (d) dissolving and removing the aluminum and the aluminum anodized film without dissolving and removing the polymer and the metal. A polymer having a polymer portion of at least partially the same shape as the fine pores of the aluminum anodic oxide coating, wherein the metal is transferred onto the polymer, and the metal is transferred to the polymer surface. According to the manufacturing method of It is solved.

【0008】また、上記目的は、本発明に従い、(a)
微細孔を有するポーラスガラスに、該微細孔を塞ぐこと
がないように金属を付着し、(b)該金属を付着した微
細孔を有するポーラスガラスを、該微細孔が単量体で少
くとも部分的に充填されるように該単量体で被覆し、
(c)該単量体をその場で重合して重合体を生成し、
(d)該重合体および該金属を溶解除去することなく、
該ポーラスガラスを溶解除去して該金属を該重合体上に
転写することを特徴とするポーラスガラスの微細孔と少
くとも部分的に同一の形状の重合体部分を有し、金属が
重合体表面に転写されている重合体の製造方法により解
決される。
According to the present invention, the above object also includes (a)
A metal is attached to a porous glass having fine pores so as not to close the fine pores, and (b) a porous glass having fine pores to which the metal is adhered Coated with the monomer so that
(C) polymerizing the monomer in situ to form a polymer,
(D) without dissolving and removing the polymer and the metal,
Dissolving and removing the porous glass to transfer the metal onto the polymer, which has a polymer portion having at least partially the same shape as the fine pores of the porous glass, the metal being the polymer surface. It is solved by a method for producing a polymer transferred to

【0009】さらに、上記目的は、本発明に従い、(a)
アルミニウム上の、微細孔を有するアルミニウム陽極
酸化皮膜に、該微細孔を塞ぐことがないように、アルミ
ニウム以外の金属を付着し、(b) 該金属を付着したア
ルミニウム上の、微細孔を有するアルミニウム陽極酸化
皮膜を、該微細孔が単量体で少くとも部分的に充填され
ているように単量体で被覆し、(c) 該単量体をその場
で重合して重合体を生成し、(d) 該重合体および該金
属を溶解除去することなく、該アルミニウムおよび該ア
ルミニウム陽極酸化皮膜を溶解除去して該金属を該重合
体上に転写し、該金属を付着したアルミニウム陽極酸化
皮膜の微細孔と少くとも部分的に同一の形状の重合体部
分を有し該金属が重合体表面に転写されている重合体を
生成し、(e) 該金属を触媒核として、上記(a)で付着
した金属と同一または異なる金属をメッキして該重合体
上に微細孔を有する金属孔体を生成し、(f) 該金属多
孔体を溶解除去することなく、該重合体を溶解除去する
ことを特徴とするアルミニウム陽極酸化皮膜の微細孔と
少くとも部分的に同一の形状の微細孔を有する金属多孔
体の製造方法により解決される。
Further, according to the present invention, the above object is (a)
A metal other than aluminum is adhered to the aluminum anodic oxide film having fine pores on aluminum so as not to block the fine pores, and (b) Aluminum having fine pores on the aluminum to which the metal is adhered. An anodized film is coated with the monomer such that the micropores are at least partially filled with the monomer, and (c) the monomer is polymerized in situ to form a polymer. (D) The aluminum and the aluminum anodized film are dissolved and removed without dissolving and removing the polymer and the metal, the metal is transferred onto the polymer, and the aluminum anodized film having the metal attached thereto Forming a polymer having a polymer portion having at least a part of the same shape as the micropores of the above-mentioned metal and having the metal transferred onto the polymer surface, and (e) using the metal as a catalyst nucleus, The same as or different from the metal attached in Aluminum anodic oxidation characterized by plating a metal to produce metal pores having fine pores on the polymer, and (f) dissolving and removing the polymer without dissolving and removing the metal porous body. This is solved by a method for producing a porous metal body having micropores having at least partially the same shape as the micropores of the coating.

【0010】またさらに、上記目的は、(a) 微細孔を
有するポーラスガラスに、該微細孔を塞ぐことがないよ
うに金属を付着し、(b) 該金属を付着した微細孔を有
するポーラスガラスを、該微細孔が単量体で少くとも部
分的に充填されるように該単量体で被覆し、(c) 該単
量体をその場で重合して重合体を生成し、(d) 該重合
体および該金属を溶解除去することなく、該ポーラスガ
ラスを溶解除去しい該金属を該重合体上に転写し、該金
属を付着したポーラスガラスの微細孔と少くとも部分的
に同一の形状の重合体部分を有し該金属が転写されてい
る重合体を生成し、(e) 該金属を触媒核として、上記
(a)で付着した金属と同一または異なる金属をめっきし
て該重合体上に微細孔を有する金属多孔体を生成し、
(f) 該金属多孔体を溶解除去することなく、該重合体
を溶解除去することを特徴とするポーラスガラスの微細
孔と少くとも部分的に同一の形状の微細孔を有する金属
多孔体の製造方法により解決される。
Still further, the above object is (a) a porous glass having fine pores, to which a metal is attached so as not to close the fine pores, and (b) a porous glass having fine pores to which the metal is attached. Is coated with the monomer so that the micropores are at least partially filled with the monomer, and (c) the monomer is polymerized in situ to form a polymer, (d) ) Without dissolving and removing the polymer and the metal, transferring the metal without dissolving and removing the porous glass onto the polymer, and at least partially identical to the fine pores of the porous glass to which the metal is attached. A polymer having a shaped polymer portion to which the metal is transferred is produced, and (e) the metal is used as a catalyst nucleus to
a metal, which is the same as or different from the metal attached in (a), is plated to form a metal porous body having fine pores on the polymer,
(f) Production of a metal porous body having micropores of at least partially the same shape as the micropores of porous glass characterized by dissolving and removing the polymer without dissolving and removing the metal porous body Be solved by the method.

【0011】以下、本発明についてさらに説明する。The present invention will be further described below.

【0012】A.アルミニウム陽極酸化皮膜を用いる方
法(方法A) 本発明で用いる、アルミニウム上の、微細孔を有するア
ルミニウム陽極酸化皮膜は、硫酸、蓚酸あるいは燐酸等
の水溶液中でアルミニウムを陽極酸化することにより容
易に得られる。
A. Those who use aluminum anodized film
Method (Method A) An aluminum anodic oxide film having fine pores on aluminum used in the present invention can be easily obtained by anodizing aluminum in an aqueous solution of sulfuric acid, oxalic acid, phosphoric acid or the like.

【0013】陽極酸化皮膜内に形成される細孔の孔径、
長さ、間隔等は使用する電解液、対極間電圧、液温等の
電解条件により制御される。
The diameter of the pores formed in the anodized film,
The length, interval, etc. are controlled by the electrolytic solution used, the voltage between the opposite electrodes, the electrolytic temperature and other electrolytic conditions.

【0014】電解条件を制御することによって、例えば
0.005〜0.1ミクロンの孔径、0.05〜500ミ
クロンの孔の長さおよび0.005〜0.5ミクロンの孔
間隔を有する孔径および孔間隔の揃ったアルミニウム陽
極酸化皮膜を得ることが可能である。
By controlling the electrolysis conditions, for example, a pore size of 0.005-0.1 micron, a pore length of 0.05-500 micron and a pore size of 0.005-0.5 micron and It is possible to obtain an aluminum anodic oxide film with uniform pore spacing.

【0015】アルミニウム陽極酸化皮膜の孔径は、アル
ミニウム陽極酸化皮膜をエッチング処理することにより
拡大することができる。エッチング処理は、例えば燐酸
水溶液中にアルミニウム陽極酸化皮膜を浸漬することに
より行なうことができる。エッチング処理は、必要に応
じて適宜行なうことができる。
The pore size of the aluminum anodized film can be increased by etching the aluminum anodized film. The etching treatment can be performed, for example, by immersing the aluminum anodic oxide film in a phosphoric acid aqueous solution. The etching treatment can be appropriately performed as needed.

【0016】本発明においては、例えば図1に示すよう
に、アルミニウム1上の微細孔3を有するアルミニウム
陽極酸化皮膜2に、この微細孔を閉塞することがないよ
うにアルミニウム以外の金属4を付着する。
In the present invention, for example, as shown in FIG. 1, a metal 4 other than aluminum is adhered to an aluminum anodic oxide coating 2 having fine holes 3 on aluminum 1 so as not to block the fine holes. To do.

【0017】本発明において用いることができるアルミ
ニウム以外の金属は、アルミニウムおよびアルミニウム
陽極酸化皮膜を溶解する条件で溶解せず、且つ無電解メ
ッキにおいて触媒核(触媒層)としての機能を有するも
のである。本発明において使用することができるアルミ
ニウム以外の金属としては、例えばパラジウム、金、白
金、銀等の貴金属、銅、ニッケル等の卑金属を挙げるこ
とができる。
Metals other than aluminum that can be used in the present invention are those that do not dissolve under the conditions that dissolve aluminum and the aluminum anodic oxide coating, and that have a function as a catalyst nucleus (catalyst layer) in electroless plating. . Examples of metals other than aluminum that can be used in the present invention include noble metals such as palladium, gold, platinum and silver, and base metals such as copper and nickel.

【0018】アルミニウム以外の金属を付着する方法
は、アルミニウム以外の金属がアルミニウム陽極酸化皮
膜の微細孔を閉塞しない方法であればいかなる方法でも
よい。アルミニウム以外の金属を付着する方法として
は、例えば蒸着、スパッタリング、塗布等を挙げること
ができる。
The method of depositing the metal other than aluminum may be any method as long as the metal other than aluminum does not block the fine pores of the anodized aluminum film. Examples of the method of depositing a metal other than aluminum include vapor deposition, sputtering, coating, and the like.

【0019】アルミニウム以外の金属の蒸着は、公知の
方法、例えば真空下、例えば10-2Torr以下の真空
下で、蒸発源として例えばタングステン線を用いて該金
属を蒸発させる方法によって行なうことができる。
The deposition of a metal other than aluminum can be carried out by a known method, for example, a method of evaporating the metal under vacuum, for example, a vacuum of 10 -2 Torr or less, using a tungsten wire as an evaporation source. .

【0020】アルミニウム以外の金属のスパッタリング
もまた、公知の方法、例えば、真空下、例えば10-2
orr以下の真空下でAr+イオンをアルミニウム以外
の金属ターゲット材に衝突させ、該金属原子を飛散させ
る方法によって行なうことができる。
Sputtering of metals other than aluminum is also known in the art, eg under vacuum, eg 10 −2 T.
This can be carried out by a method in which Ar + ions are made to collide with a metal target material other than aluminum under a vacuum of orr or lower to scatter the metal atoms.

【0021】アルミニウム以外の金属の塗布は、公知の
方法、例えばアルミニウム以外の金属塩を含んだ溶液を
塗布乾燥後、金属塩を還元し、該金属を付着させる方法
によって行なうことができる。
The metal other than aluminum can be applied by a known method, for example, by coating and drying a solution containing a metal salt other than aluminum, reducing the metal salt, and adhering the metal.

【0022】本発明においては、金属を付着したアルミ
ニウム上の、微細孔を有するアルミニウム陽極酸化皮膜
を、該微細孔が単量体で少くとも部分的に充填されるよ
うに該単量体で被覆する。
In the present invention, an aluminum anodic oxide film having fine pores is coated on a metal-attached aluminum with the monomer so that the fine pores are at least partially filled with the monomer. To do.

【0023】本発明においては、実質的にすべての微細
孔が単量体で充填されていてもよいし、微細孔のあるも
のが充填され、他のものが充填されていなくてもよい
し、個々の微細孔が部分的に、例えば微細孔の容積の3
分の1ないし3分の2が充填されていてもよい。
In the present invention, substantially all the micropores may be filled with a monomer, or one having micropores may be filled and the other may not be filled, Individual micropores are partially, for example 3 of the micropore volume.
One-third to two-thirds may be filled.

【0024】本発明において使用することができる単量
体は、その単量体を重合したときに生成する重合体を溶
剤、例えば有機溶剤で溶解することができるものであ
る。
The monomers that can be used in the present invention are those capable of dissolving the polymer produced when the monomers are polymerized in a solvent such as an organic solvent.

【0025】本発明において使用することができる単量
体の例として、ビニル単量体、例えばアクリル酸メチ
ル、メタアクリル酸メチルのようなアクリル系単量体、
例えばスチレンのようなビニル芳香族化合物を挙げるこ
とができる。開環重合する単量体、例えばε−カプロラ
クタムを用いることもできる。
As examples of the monomer that can be used in the present invention, vinyl monomers, for example, acrylic monomers such as methyl acrylate and methyl methacrylate,
For example, vinyl aromatic compounds such as styrene can be mentioned. A monomer that undergoes ring-opening polymerization, for example, ε-caprolactam can also be used.

【0026】単量体の充填は、公知のいかなる方法を用
いて行なってもよく、例えば単量体および重合開始剤の
混合物を減圧雰囲気下でアルミニウム陽極酸化皮膜上に
滴下して、アルミニウム陽極酸化皮膜の微細孔に単量体
を浸透させ、さらにアルミニウム陽極酸化皮膜上に実質
的な厚さ、例えば0.05ミクロン以上の厚さの単量体
の層を形成させることによって行なうことができる。
The filling of the monomer may be carried out by any known method. For example, a mixture of the monomer and the polymerization initiator is dropped onto the aluminum anodic oxide film under a reduced pressure atmosphere to carry out the aluminum anodic oxidation. It can be carried out by infiltrating the fine pores of the coating with a monomer and then forming a layer of the monomer having a substantial thickness, for example, 0.05 micron or more, on the aluminum anodized coating.

【0027】本発明においては、金属4を付着したアル
ミニウム陽極酸化皮膜2を被覆した単量体は、その場で
重合して重合体5を生成する(図2)。
In the present invention, the monomer coated with the aluminum anodic oxide coating 2 to which the metal 4 is attached is polymerized in situ to form the polymer 5 (FIG. 2).

【0028】本発明で使用する単量体は公知の方法で重
合することができる。本発明で使用するするビニル単量
体は、公知の開始剤、例えば過酸化ベンゾイルのような
有機過酸化物、アゾビスイソブチロニトリルのようなア
ゾ化合物を用いて重合してもよく、また紫外線のような
放射線を照射して重合してもよい。
The monomer used in the present invention can be polymerized by a known method. The vinyl monomer used in the present invention may be polymerized using a known initiator, for example, an organic peroxide such as benzoyl peroxide or an azo compound such as azobisisobutyronitrile, It may be polymerized by irradiation with radiation such as ultraviolet rays.

【0029】重合は、減圧下、大気圧下、加圧下のいず
れにおいて行なってもよく、重合を促進するために加熱
してもよい。
The polymerization may be carried out under reduced pressure, atmospheric pressure or increased pressure, and may be heated to accelerate the polymerization.

【0030】本発明においては、単量体をその場で重合
させた後、重合体および付着させた金属を溶解除去する
ことなく、アルミニウムおよびアルミニウム陽極酸化皮
膜を溶解除去する。
In the present invention, after the monomer is polymerized in situ, the aluminum and the aluminum anodic oxide film are dissolved and removed without dissolving and removing the polymer and the adhered metal.

【0031】例えば、地金アルミニウムは飽和昇こう液
で溶解し、つづいて陽極酸化皮膜を燐酸・クロム酸混合
溶液中にて溶解することができる。また、例えばカ性ソ
ーダ水溶液にて地金アルミニウムおよび陽極酸化皮膜を
溶解することができる。この操作により、アルミニウム
陽極酸化皮膜2上に付着していた金属4は重合体5上に
転写される(図3)。
For example, bare metal aluminum can be dissolved in a saturated ascending liquid, and then the anodized film can be dissolved in a phosphoric acid / chromic acid mixed solution. Further, for example, the base metal aluminum and the anodized film can be dissolved with an aqueous solution of caustic soda. By this operation, the metal 4 adhered on the aluminum anodic oxide coating 2 is transferred onto the polymer 5 (FIG. 3).

【0032】本発明においては、重合体上に転写された
金属を触媒核あるいは触媒層として無電解めつきを行な
う。
In the present invention, electroless plating is performed by using the metal transferred on the polymer as a catalyst nucleus or a catalyst layer.

【0033】無電解めつきは、公知の方法で、目的とす
る金属多孔体を構成する金属を塩、錯体等として含有す
る無電解めつき液を用いて行なうことができる。
The electroless plating can be carried out by a known method using an electroless plating solution containing the metal constituting the desired porous metal body as a salt, complex or the like.

【0034】無電解めつきによって金属をある程度析出
させた後、さらに無電解めつきを続けてもよいし、無電
解めつきに代えて電気めつきを続けて行なってもよい。
After the metal is deposited to some extent by electroless plating, electroless plating may be continued, or electric plating may be continued instead of electroless plating.

【0035】電気めつきは、公知の方法で、例えば、目
的とする金属多孔体を構成する金属を塩、錯体等として
含有する電気めつき浴中で、無電解めつきで析出した金
属を作用電極としてカソード電圧を印加することによっ
て行なうことができる。
The electroplating is carried out by a known method, for example, in the electroplating bath containing the metal constituting the desired metal porous body as a salt, complex or the like, the metal deposited by electroless plating is used. This can be done by applying a cathode voltage as an electrode.

【0036】めつきによる金属多孔体6,7の析出は、
図4に示す段階で収量することもできるし、図5で示す
段階で終了することもできる。
The deposition of the metal porous bodies 6 and 7 by plating is as follows.
The yield can be obtained at the stage shown in FIG. 4 or can be finished at the stage shown in FIG.

【0037】本発明においては、無電解めつきを行な
い、場合によってはさらに電気めつきを行なった後、め
つきによって得られた金属多孔体6,7を溶解除去する
ことなく、重合体5を溶解除去する(図6および図
7)。
In the present invention, the polymer 5 is subjected to electroless plating and, if necessary, further electric plating, and then the metal porous bodies 6 and 7 obtained by plating are not dissolved and removed. Dissolve and remove (FIGS. 6 and 7).

【0038】重合体の溶解除去は、例えば有機溶剤を用
いて行なうことができる。重合体がポリメタクル酸メチ
ルの場合は、有機溶剤としてケトン類、例えばアセトン
を用いることができる。
The polymer can be dissolved and removed by using, for example, an organic solvent. When the polymer is methyl polymethacrylate, ketones such as acetone can be used as the organic solvent.

【0039】以上説明したとおり、本発明により、アル
ミニウム陽極酸化皮膜の微細孔と実質的に同一の形状の
微細孔を有する金属多孔体を得ることができる。
As described above, according to the present invention, it is possible to obtain a metal porous body having micropores having substantially the same shape as the micropores of the aluminum anodized film.

【0040】本発明(方法A)によって得られる金属多
孔体は、細孔径および細孔間隔の変動が小さく、かつ実
質的に互いに平行で独立しているまっすぐな微細孔を有
する。
The metal porous body obtained by the present invention (method A) has straight pores which are substantially parallel to each other and independent of each other, in which variations in pore diameter and pore spacing are small.

【0041】B.ポーラスガラス(多孔質ガラス)を用
いる方法(方法B) 本発明で用いるポーラスガラスは、例えば孔径が0.0
15〜1.0ミクロン、孔間隔が0.01〜2.0ミクロ
ンのものである。
B. For porous glass (porous glass)
Method (Method B) The porous glass used in the present invention has, for example, a pore size of 0.0.
It has a pore size of 15 to 1.0 μm and a hole spacing of 0.01 to 2.0 μm.

【0042】本発明においては、例えば図10に示すよ
うに、微細孔8を有するポーラスガラスに、2の微細孔
を閉塞することがないように金属9を付着する。
In the present invention, for example, as shown in FIG. 10, the metal 9 is attached to the porous glass having the fine holes 8 so as not to block the second fine holes.

【0043】本発明の方法Bで用いることができる金属
は、ポーラスガラスを溶解する条件で溶解せず、かつ無
電解メツキにおいて触媒核(触媒層)としての機能を有
するものである。本発明において使用することができる
金属としては、例えばパラジウム、金、白金、銀等の貴
金属、銅、ニツケル等の卑金属を挙げることができる。
The metal that can be used in the method B of the present invention is one that does not dissolve under the conditions that dissolve the porous glass and has a function as a catalyst nucleus (catalyst layer) in the electroless plating. Examples of metals that can be used in the present invention include noble metals such as palladium, gold, platinum and silver, and base metals such as copper and nickel.

【0044】金属を付着する方法は、金属がポーラスガ
ラスの微細孔を閉塞しない方法であればいかなる方法で
もよい。
Any method may be used to attach the metal as long as the metal does not block the fine pores of the porous glass.

【0045】金属を付着する方法としては、例えば蒸
着、スパツタリング、塗布等を挙げることができる。
As a method of attaching the metal, for example, vapor deposition, spattering, coating and the like can be mentioned.

【0046】金属の蒸着は、公知の方法、例えば真空
下、例えば10-2Torr以下の真空下で、蒸発源とし
て例えばタングステン線を用いて該金属を蒸発させる方
法によって行なうことができる。
The metal can be vapor-deposited by a known method, for example, a method of evaporating the metal under vacuum, for example, a vacuum of 10 −2 Torr or less, using a tungsten wire as an evaporation source.

【0047】金属のスパツタリングもまた、公知の方
法、例えば、真空下、例えば10-2Torr以下の真空
下でAr+イオンをアルミニウム以外の金属ターゲツト
材に衝突させ、該金属原子を飛散させる方法によって行
なう行なうことができる。
Metal sputtering is also carried out by a known method, for example, a method of causing Ar + ions to collide with a metal target material other than aluminum under a vacuum, for example, a vacuum of 10 −2 Torr or less, and scattering the metal atoms. I can do it.

【0048】金属の塗布は、公知の方法、例えばアルミ
ニウム以外の金属塩を含んだ溶液を塗布乾燥後、金属塩
を還元し、該金属を付着させる方法によって行なうこと
ができる。
The metal can be applied by a known method, for example, a method of applying a solution containing a metal salt other than aluminum, drying the solution, reducing the metal salt, and adhering the metal.

【0049】本発明においては、金属を付着した微細孔
を有するポーラスガラスを、該微細孔が単量体で少くと
も部分的に充填されるように該単量体で被覆する。
In the present invention, porous glass having metal-attached fine pores is coated with the monomer so that the fine pores are at least partially filled with the monomer.

【0050】本発明においては、実質的にすべての微細
孔が単量体で充填されていてもよいし、微細孔のあるも
のが充填され、他のものが充填されていなくてもよい
し、個々の微細孔が部分的に、例えば微細孔の容積の3
分の1ないし3分の2が充填されていてもよい。
In the present invention, substantially all the micropores may be filled with the monomer, or one having micropores may be filled and the other may not be filled, Individual micropores are partially, for example 3 of the micropore volume.
One-third to two-thirds may be filled.

【0051】本発明において使用することができる単量
体は、その単量体を重合したときに生成する重合体を溶
剤、例えば有機溶剤で溶解することができるものであ
る。
The monomers that can be used in the present invention are those capable of dissolving the polymer produced when the monomers are polymerized in a solvent such as an organic solvent.

【0052】本発明において使用することができる単量
体の例として、ビニル単量体、例えばアクリル酸メチ
ル、メタアクリル酸メチルのようなアクリル系単量体、
例えばスチレンのようなビニル芳香族化合物を挙げるこ
とができる。開環重合する単量体、例えばε−カプロラ
クタムを用いることもできる。
Examples of the monomers that can be used in the present invention include vinyl monomers, for example, acrylic monomers such as methyl acrylate and methyl methacrylate,
For example, vinyl aromatic compounds such as styrene can be mentioned. A monomer that undergoes ring-opening polymerization, for example, ε-caprolactam can also be used.

【0053】単量体の充填は、公知のいかなる方法を用
いて行なってもよく、例えば単量体および重合開始剤の
混合物を減圧雰囲気下でポーラスガラス上に滴下して、
ポーラスガラスの微細孔に単量体を浸透させ、さらにポ
ーラスガラス上に実質的な厚さ、例えば0.05ミクロ
ン以上の厚さの単量体の層を形成させる。
The filling of the monomer may be carried out by any known method. For example, a mixture of the monomer and the polymerization initiator is dropped on the porous glass under a reduced pressure atmosphere,
The fine pores of the porous glass are impregnated with the monomer, and a layer of the monomer having a substantial thickness, for example, 0.05 μm or more is formed on the porous glass.

【0054】本発明においては、金属9を付着したポー
ラスガラス8を被覆した単量体はその場で重合して重合
体10を生成する(図11)。
In the present invention, the monomer coated with the porous glass 8 to which the metal 9 is attached is polymerized in situ to form the polymer 10 (FIG. 11).

【0055】本発明で使用する単量体は公知の方法で重
合することができる。本発明で使用するビニル単量体
は、公知の開始剤、例えば過酸化ベンゾイルのような有
機過酸化物、アゾビスイソブチロニトリルのようなアゾ
化合物を用いて重合してもよく、また紫外線のような放
射線を照射して重合してもよい。
The monomer used in the present invention can be polymerized by a known method. The vinyl monomer used in the present invention may be polymerized by using a known initiator, for example, an organic peroxide such as benzoyl peroxide, an azo compound such as azobisisobutyronitrile, or an ultraviolet ray. It may be polymerized by irradiating radiation such as.

【0056】重合は、減圧下、大気圧下、加圧下のいず
れにおいて行なってもよく、重合を促進するために加熱
してもよい。
The polymerization may be carried out under reduced pressure, atmospheric pressure or increased pressure, and may be heated to accelerate the polymerization.

【0057】本発明においては、単量体をその場で重合
させた後、重合体および付着させた金属を溶解除去する
ことなく、ポーラスガラスを溶解する。ポーラスガラス
は、例えばフツ化水素酸水溶液で溶解することができ
る。
In the present invention, after the monomer is polymerized in situ, the porous glass is melted without dissolving and removing the polymer and the adhered metal. Porous glass can be dissolved with, for example, an aqueous solution of hydrofluoric acid.

【0058】この処理により、ポーラスガラス8に付着
していた金属9は重合体10上に転写される(図1
2)。
By this treatment, the metal 9 attached to the porous glass 8 is transferred onto the polymer 10 (see FIG. 1).
2).

【0059】本発明においては、重合体上に転写された
金属を触媒核あるいは触媒層として無電解めつきを行な
う。
In the present invention, electroless plating is performed using the metal transferred onto the polymer as a catalyst nucleus or catalyst layer.

【0060】無電解めつきは、公知の方法で、目的とす
る金属多孔体を構成する金属を塩、錯体等として含有す
る無電解めつき液を用いて行なうことができる。
The electroless plating can be carried out by a known method using an electroless plating solution containing the metal constituting the desired porous metal body as a salt, a complex or the like.

【0061】無電解めつきによって金属をある程度析出
させた後、さらに無電解めつきを続けてもよいし、無電
解めつきに代えて電解めつきを続けて行なってもよい。
After the metal is deposited to some extent by electroless plating, electroless plating may be continued, or electrolytic plating may be continued instead of electroless plating.

【0062】電解めつきは、公知の方法で、例えば、目
的とする金属多孔体を構成する金属を塩、錯体等として
含有する電気めつき浴中で、無電解めつきで析出した金
属を作用電極としてカソード電圧を印加することによっ
て行なうことができる。
The electroplating is carried out by a known method, for example, by operating the metal deposited by electroless plating in an electroplating bath containing the metal constituting the desired porous metal body as a salt, complex or the like. This can be done by applying a cathode voltage as an electrode.

【0063】本発明においては、無電解めつきを行な
い、場合によってはさらに電気めつきを行なって金属多
孔体11を生成させた(図13)後、得られた金属多孔
体11を溶解除去することなく、重合体10を溶解除去
する(図14)。
In the present invention, electroless plating is performed, and in some cases, electroplating is further performed to form the porous metal body 11 (FIG. 13), and then the obtained porous metal body 11 is dissolved and removed. Without removing the polymer 10 by dissolution (FIG. 14).

【0064】重合体の溶解除去は溶剤を用いて行なうこ
とができる。重合体がポリメタクル酸メチルの場合は、
溶剤としてケトン類、例えばアセトンを用いることがで
きる。
The polymer can be dissolved and removed by using a solvent. When the polymer is methyl polymethacrylate,
Ketones such as acetone can be used as the solvent.

【0065】以上説明したとおり、ポーラスガラスの微
細孔と少くとも部分的に同一の形状の微細孔を有する金
属多孔体を得ることができる。
As described above, it is possible to obtain a metal porous body having micropores of at least partially the same shape as the micropores of porous glass.

【0066】本発明(方法B)によって得られる金属多
孔体は、細孔径および細孔間隔の変動が小さく、しかも
屈曲し貫通している微細孔を多数有している。
The metal porous body obtained by the present invention (method B) has a small variation in pore diameter and pore spacing, and has a large number of bent and penetrating fine pores.

【0067】本発明で得られる金属が重合体表面に転写
されている重合体は、金属多孔体の型として使用するこ
とができる。
The polymer in which the metal obtained in the present invention is transferred onto the surface of the polymer can be used as a mold for a metal porous body.

【0068】また、本発明で得られる金属多孔体は、精
密濾過用フィルター、電極材料、触媒、および触媒担
体、センサー等として用いることができる。
The metal porous body obtained in the present invention can be used as a filter for microfiltration, an electrode material, a catalyst, a catalyst carrier, a sensor and the like.

【0069】[0069]

【発明の効果】本発明により、従来の方法と比べて容易
に微細孔を有する金属多孔体を得ることができる。
According to the present invention, it is possible to easily obtain a porous metal body having fine pores as compared with the conventional method.

【0070】また、本発明により、細孔径および細孔間
隔の変動が小さく、かつ実質的に互いに平行で独立して
いるまっすぐな微細孔を有する金属多孔体を得ることが
できる。
Further, according to the present invention, it is possible to obtain a metal porous body having small variations in pore diameter and pore spacing and having straight fine pores which are substantially parallel and independent from each other.

【0071】さらにまた、本発明により、細孔径および
細孔間隔の変動が小さく、かつ屈曲し貫通した微細孔を
多数有する金属多孔体を得ることができる。
Furthermore, according to the present invention, it is possible to obtain a metal porous body having a small variation in pore diameter and pore spacing and having a large number of bent and penetrating fine pores.

【0072】[0072]

【実施例】【Example】

実施例 1 アルミニウム板(15×30×0.5tmm、Al純度9
9.99%)を陽極として、下記電解条件 電解液組成 シュウ酸 5.0g/l 電解電圧 100V 定電圧 電解液温度 20℃ 電解時間 20分 で電解を行い、アルミニウム板上に、厚さ10μm、平
均組孔径300Å、孔の平均間隔(孔と孔との間の最短
距離の平均値)が約0.07μmのアルミニウム陽極酸
化皮膜を生成させた。
Example 1 Aluminum plate (15 × 30 × 0.5 t mm, Al purity 9
(9.99%) as an anode, the following electrolysis conditions: Electrolyte composition: Oxalic acid 5.0 g / l Electrolysis voltage: 100 V Constant voltage: Electrolyte solution temperature: 20 ° C. Electrolysis time: 20 minutes Electrolysis was performed on an aluminum plate to a thickness of 10 μm An aluminum anodic oxide film having an average pore diameter of 300Å and an average distance between the holes (an average value of the shortest distance between the holes) of about 0.07 μm was formed.

【0073】次いで、上記アルミニウム陽極酸化皮膜
を、下記エッチング条件 エッチング液組成 リン酸 50g/l エッチング液温度 30℃ エッチング時間 30分 で処理した。このエッチング処理により、上記アルミニ
ウム陽極酸化皮膜の平均孔径は300Åから600Åに
拡大した。エッチング処理したアルミニウム陽極酸化皮
膜を水洗し、乾燥した。
Then, the aluminum anodic oxide film was treated under the following etching conditions: etching solution composition phosphoric acid 50 g / l etching solution temperature 30 ° C. etching time 30 minutes. By this etching treatment, the average pore diameter of the aluminum anodic oxide film was increased from 300Å to 600Å. The etched aluminum anodized film was washed with water and dried.

【0074】このようにして得たアルミニウム陽極酸化
皮膜上に、下記蒸着条件 真空度 1×10-5 Torr 蒸発源 タングステン線 で厚さ約70Åのパラジウム層を蒸着した。その際、パ
ラジウムは、主としてアルミニウム陽極酸化皮膜の微細
孔と微細孔との間の平坦な部分に蒸着し、アルミニウム
陽極酸化皮膜の微細孔はパラジウムで閉塞されなかっ
た。
On the aluminum anodic oxide film thus obtained, a palladium layer having a thickness of about 70Å was vapor-deposited under the following vapor deposition conditions: vacuum degree 1 × 10 -5 Torr evaporation source tungsten wire. At that time, palladium was deposited mainly on the flat portion between the fine holes of the aluminum anodic oxide coating, and the fine pores of the aluminum anodic oxide coating were not blocked by the palladium.

【0075】次いで、5重量%の過酸化ベンゾイルを含
有するメタクリル酸メチル(MMA)を、真空下でパラ
ジウムを蒸着した上記アルミニウム陽極酸化皮膜上に滴
下してMMAをアルミニウム陽極酸化皮膜の微細孔に充
填するとともにMMAでアルミニウム陽極酸化皮膜を被
覆した。続いて、MMAをアルミニウム陽極酸化皮膜と
ともに、40℃で48時間過熱して重合し、アルミニウ
ム陽極酸化皮膜上にポリメタクリル酸メチル(PMM
A)を生成した。
Then, methyl methacrylate (MMA) containing 5% by weight of benzoyl peroxide was dropped onto the above aluminum anodic oxide coating on which palladium was vapor-deposited under vacuum to deposit MMA into the fine pores of the aluminum anodic oxide coating. While filling, the aluminum anodic oxide coating was coated with MMA. Subsequently, MMA was polymerized together with the aluminum anodic oxide coating by heating at 40 ° C. for 48 hours, and polymethylmethacrylate (PMM
A) was produced.

【0076】上で得られたアルミニウム、アルミニウム
陽極酸化皮膜、蒸着金属およびPMMAからなる複合体
を飽和塩化第二水銀溶液(昇こう液)中に室温で30分
浸漬してアルミニウムを溶解除去し、次いで燐酸・クロ
ム酸混合液(85%燐酸35ml、三酸化クロム20g
/l溶液)中に室温で3時間浸漬してアルミニウム陽極
酸化皮膜を溶解除去して、アルミニウム陽極酸化皮膜の
微細孔と実質的に同一の形状(柱状)のPMMA部分を
有し、かつPMMA表面にパラジウムが転写されたPM
MAを得た。
The above-obtained aluminum, aluminum anodic oxide coating, vapor-deposited metal and PMMA composite was immersed in a saturated mercuric chloride solution (rising liquid) at room temperature for 30 minutes to dissolve and remove aluminum. Next, phosphoric acid / chromic acid mixture (85% phosphoric acid 35 ml, chromium trioxide 20 g)
/ A solution) for 3 hours at room temperature to dissolve and remove the aluminum anodic oxide coating, and to have a PMMA portion having substantially the same shape (columnar shape) as the fine pores of the aluminum anodic oxide coating and having a PMMA surface. PM with palladium transferred to it
I got MA.

【0077】転写されたパラジウムはPMMAの柱状部
分の根元部分に局在していた。
The transferred palladium was localized at the root of the columnar part of PMMA.

【0078】続いて、PMMAの柱状部分の根元部分に
局在するパラジウムを触媒核として用いて、ニッケル無
電解めっきを、下記めっき条件 めっき液組成 硫酸ニッケル 25g/L 次亜リン酸ナトリウム 25g/L 2リン酸ナトリウム 25g/L めっき液PH 10 めっき液温度 30℃ めっき時間 8時間 で、ニッケル層が図4をへて図5で示した厚さ(12μ
m)に生成するまで行なった。
Subsequently, nickel electroless plating was carried out using palladium localized at the root of the columnar portion of PMMA as a catalyst nucleus, the following plating conditions: plating solution composition: nickel sulfate 25 g / L sodium hypophosphite 25 g / L. Sodium diphosphate 25 g / L Plating solution PH 10 Plating solution temperature 30 ° C. Plating time 8 hours, the nickel layer has the thickness shown in FIG.
It carried out until it produced | generated to m).

【0079】めっきしたニッケル層とPMMAの複合体
を室温で3時間アセトンに浸漬処理してPMMAを溶解
除去し、アルミニウム陽極酸化皮膜の微細孔と実質的に
同一の形状の微細孔を有する図7に相当するニッケル多
孔体を得た。
The composite of the plated nickel layer and PMMA was immersed in acetone at room temperature for 3 hours to dissolve and remove PMMA, and micropores having substantially the same shape as those of the aluminum anodic oxide coating were formed. A nickel porous body corresponding to

【0080】得られたニッケル多孔体の表面の写真を図
8に示す。
A photograph of the surface of the obtained nickel porous body is shown in FIG.

【0081】実施例 2 実施例1において無電解ニッケルめっきを8時間行なう
かわりに3時間行なうこと以外は、実施例1の方法を繰
り返して、図6に相当する厚さ4.5μmのニッケル多
孔体を得た。
Example 2 The procedure of Example 1 was repeated except that the electroless nickel plating was performed for 3 hours instead of 8 hours in Example 1, and the nickel porous body having a thickness of 4.5 μm corresponding to FIG. 6 was repeated. Got

【0082】得られたニッケル多孔体の断面の写真を図
9に示す。
A photograph of a cross section of the obtained nickel porous body is shown in FIG.

【0083】実施例 3 実施例1においてニッケル無電解めっきを実施するかわ
りに、白金無電解めっきを、下記めっき条件 めっき液組成 白金・アンミン錯体 (白金として) 0.8g/l めっき液PH (アンモニアで調整) 12.4 めっき液温度 25℃ めっき時間 48時間 で行なうこと以外は、実施例1の方法を繰り返して厚さ
15μmの図7に相当する白金多孔体を得た。
Example 3 Instead of performing nickel electroless plating in Example 1, platinum electroless plating was performed under the following plating conditions: plating solution composition: platinum / ammine complex (as platinum) 0.8 g / l plating solution PH (ammonia) 12.4 plating solution temperature 25 ° C. plating time 48 hours except that the method of Example 1 was repeated to obtain a 15 μm thick platinum porous body corresponding to FIG. 7.

【0084】実施例 4 実施例1においてニッケル無電解めっきを実施するかわ
りに、パラジウム無電解めっきを、下記めっき条件 めっき液組成 塩化パラジウム 2.0g/L 塩化アンモニウム 26g/L アンモニア水 160g/L 次亜リン酸ナトリウム 10g/L めっき液温度 50℃ めっき時間 3時間 で実施する以外は、実施例1の方法を繰り返して厚さ5
μmの図6に相当するパラジウム多孔体を得た。
Example 4 Instead of performing nickel electroless plating in Example 1, palladium electroless plating was performed under the following plating conditions: plating solution composition: palladium chloride 2.0 g / L ammonium chloride 26 g / L ammonia water 160 g / L Sodium phosphite 10 g / L plating solution temperature 50 ° C. plating time 3 hours, except that the method is carried out for 3 hours to obtain a thickness of 5
A palladium porous body having a size of μm and corresponding to FIG. 6 was obtained.

【0085】実施例 5 実施例1の方法で用いたアルミニウム陽極酸化皮膜のか
わりに、多孔質ガラス(伊勢化学(株)製、平均細孔径
0.3μm、厚さ約0.3mm)を用いて、下記の方法を
実施した。
Example 5 Instead of the aluminum anodic oxide film used in the method of Example 1, porous glass (manufactured by Ise Chemical Co., Ltd., average pore diameter 0.3 μm, thickness about 0.3 mm) was used. The following method was carried out.

【0086】多孔質ガラスの片面に実施例1と同じ条件
でパラジウム触媒核を形成し、引き続き、MMAモノマ
ーを細孔内に充填した。
Palladium catalyst nuclei were formed on one surface of the porous glass under the same conditions as in Example 1, and subsequently MMA monomers were filled in the pores.

【0087】その後、50℃で、12時間加熱処理する
ことにより、PMMAを得た。
Then, heat treatment was performed at 50 ° C. for 12 hours to obtain PMMA.

【0088】次に、多孔質ガラス、パラジウムおよびP
MMAからなる複合体を、20wt%フッ酸水溶液中に
室温で約2週間浸漬することにより、多孔質ガラスを完
全に溶解した。続いて、パラジウム触媒核を用いてニッ
ケル無電解めっきを行った。ニッケル無電解めっきは実
施例1と同じ条件で行った。
Next, porous glass, palladium and P
The porous glass was completely dissolved by immersing the MMA composite in an aqueous 20 wt% hydrofluoric acid solution at room temperature for about 2 weeks. Subsequently, nickel electroless plating was performed using a palladium catalyst nucleus. Nickel electroless plating was performed under the same conditions as in Example 1.

【0089】細孔を完全にニッケツで充填するのに8日
間を要した。
It took 8 days to completely fill the pores with a nick.

【0090】ニッケル充填後、PMMAをアセトン中で
溶解、除去し、多孔質ガラスの微細孔と同一の細孔構造
を有するニッケル多孔体を得た。
After filling with nickel, PMMA was dissolved and removed in acetone to obtain a nickel porous body having the same pore structure as the fine pores of the porous glass.

【0091】使用したポーラスガラス(多孔質ガラス)
の表面の写真を図15に、そして得られたニッケル多孔
体の表面の写真を図16に示す。
Porous glass used (porous glass)
A photograph of the surface of the nickel porous body is shown in FIG. 15, and a photograph of the surface of the obtained nickel porous body is shown in FIG.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】アルミニウム1上の、微細孔3を有するアルミ
ニウム陽極酸化皮膜2と皮膜2の上に付着したアルミニ
ウム以外の金属4を示す。
FIG. 1 shows an aluminum anodic oxide coating 2 having micropores 3 on aluminum 1 and a metal 4 other than aluminum deposited on the coating 2.

【図2】図1に示した金属4が付着した皮膜2と生成し
た重合体5を示す。
FIG. 2 shows a film 2 having a metal 4 attached thereto and a polymer 5 formed as shown in FIG.

【図3】図2に示すアルミニウム1およびアルミニ陽極
酸化皮膜2を溶解除去して得られるアルミニウム以外の
金属4が転写された重合体5を示す。
FIG. 3 shows a polymer 5 having a metal 4 other than aluminum transferred thereon, which is obtained by dissolving and removing aluminum 1 and aluminum anodized film 2 shown in FIG.

【図4】図3に示す金属4が転写された重合体5とめっ
きにより生成した金属多孔体6を示す。
FIG. 4 shows a polymer 5 onto which the metal 4 shown in FIG. 3 is transferred and a metal porous body 6 formed by plating.

【図5】図3に示す金属4が転写された重合体5と、め
っきにより図4に示すよりもさらに生成した金属多孔体
7を示す。
5 shows a polymer 5 to which the metal 4 shown in FIG. 3 is transferred, and a metal porous body 7 further formed by plating than that shown in FIG.

【図6】図4に示す重合体を溶解除去して得られる金属
多孔体6を示す。
FIG. 6 shows a metal porous body 6 obtained by dissolving and removing the polymer shown in FIG.

【図7】図5に示す重合体を溶解除去して得られる金属
多孔体7を示す。
FIG. 7 shows a metal porous body 7 obtained by dissolving and removing the polymer shown in FIG.

【図8】本発明によって得られたニッケル多孔体の表面
を示す写真である。
FIG. 8 is a photograph showing the surface of a nickel porous body obtained by the present invention.

【図9】本発明によって得られたニッケル多孔体の断面
を示す写真である。
FIG. 9 is a photograph showing a cross section of a nickel porous body obtained by the present invention.

【図10】ポーラスガラス8とその上に付着した金属9
を示す。
FIG. 10: Porous glass 8 and metal 9 attached thereon
Indicates.

【図11】図10に示した金属9が付着したポーラスガ
ラス8と生成した重合体10を示す。
11 shows the porous glass 8 to which the metal 9 shown in FIG. 10 is attached and the polymer 10 formed.

【図12】図11に示すポーラスガラス8を溶解除去し
て得られる金属9が転写された重合体10を示す。
12 shows a polymer 10 on which a metal 9 obtained by dissolving and removing the porous glass 8 shown in FIG. 11 is transferred.

【図13】図12に示す金属9が転写された重合体10
とめっきにより生成した金属多孔体11を示す。
FIG. 13 is a polymer 10 on which the metal 9 shown in FIG. 12 is transferred.
And the metal porous body 11 produced by plating.

【図14】図13に示す重合体10を溶解除去して得ら
れる金属多孔体11を示す。
14 shows a metal porous body 11 obtained by dissolving and removing the polymer 10 shown in FIG.

【図15】ポーラスガラスの表面を示す写真である。FIG. 15 is a photograph showing the surface of porous glass.

【図16】ポーラスガラスを用いて製造したニッケル多
孔体の表面を示す写真である。
FIG. 16 is a photograph showing the surface of a nickel porous body produced using porous glass.

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】(a) アルミニウム上の、微細孔を有す
るアルミニウム陽極酸化皮膜に、該微細孔を塞ぐことが
ないようにアルミニウム以外の金属を付着し、 (b) 該金属を付着した、アルミニウム上の、微細孔
を有するアルミニアム陽極酸化皮膜を、該微細孔が単量
体で少くとも部分的に充填されるように該単量体で被覆
し、 (c) 該単量体をその場で重合して重合体を生成し、 (d) 該重合体および該金属を溶解除去することな
く、該アルミニウムおよび該アルミニウム陽極酸化皮膜
を溶解除去して該金属を該重合体上に転写することを特
徴とするアルミニウム陽極酸化皮膜の微細孔と少くとも
部分的に同一の形状の重合体部分を有し、金属が重合体
表面に転写されている重合体の製造方法。
1. A metal other than aluminum is adhered to an aluminum anodic oxide coating having fine pores on aluminum, so as not to block the fine pores. (B) Aluminum to which the metal is adhered. Coating an upper anodized aluminum anodic oxide coating with the monomer such that the micropores are at least partially filled with the monomer; and (c) in situ the monomer. Polymerizing to form a polymer, and (d) transferring the metal onto the polymer by dissolving and removing the aluminum and the aluminum anodized film without dissolving and removing the polymer and the metal. A method for producing a polymer having a polymer portion having the same shape as at least partially the fine pores of the characteristic aluminum anodic oxide coating, wherein the metal is transferred to the polymer surface.
【請求項2】(a) 微細孔を有するポーラスガラス
に、該微細孔を塞ぐことがないように金属を付着し、 (b) 該金属を付着した、微細孔を有するポーラスガ
ラスを、該微細孔が単量体で少くとも部分的に充填され
るように該単量体で被覆し、 (c) 該単量体をその場で重合して重合体を生成し、 (d) 該重合体および該金属を溶解除去することな
く、該ポーラスガラスを溶解除去して該金属を該重合体
上に転写することを特徴とするポーラスガラスの微細孔
と少くとも部分的に同一の形状の重合体部分を有し、金
属が重合体表面に転写されている重合体の製造方法。
2. (a) a metal is attached to a porous glass having fine pores so as not to block the fine pores, and (b) a porous glass having fine pores, to which the metal is adhered, is Coating the monomer so that the pores are at least partially filled with the monomer, (c) polymerizing the monomer in situ to form a polymer, (d) the polymer And a polymer having at least partially the same shape as the fine pores of the porous glass, characterized by dissolving and removing the porous glass and transferring the metal onto the polymer without dissolving and removing the metal. A method for producing a polymer having a portion, wherein a metal is transferred to the surface of the polymer.
【請求項3】(a) アルミニウム上の、微細孔を有す
るアルミニウム陽極酸化皮膜に、該微細孔を塞ぐことが
ないようにアルミニウム以外の金属を付着し、 (b) 該金属を付着した、アルミニウム上の、微細孔
を有するアルミニアム陽極酸化皮膜を、該微細孔が単量
体で少くとも部分的に充填されているように単量体で被
覆し、 (c) 該単量体をその場で重合して重合体を生成し、 (d) 該重合体および該金属を溶解除去することな
く、該アルミニウムおよび該アルミニウム陽極酸化皮膜
を溶解除去して該金属を該重合体上に転写し、該金属を
付着したアルミニウム陽極酸化皮膜の微細孔と少くとも
部分的に同一の形状の重合体部分を有し該金属が重合体
表面に転写されている重合体を生成し、 (e) 該金属を触媒核として、上記(a)で付着した
金属と同一または異なる金属をめつきして該重合体上に
微細孔を有する金属多孔体を生成し、 (f) 該金属多孔体を溶解除去することなく、該重合
体を溶解除去することを特徴とするアルミニウム陽極酸
化皮膜の微細孔と少くとも部分的に同一の形状の微細孔
を有する金属多孔体の製造方法。
3. (a) A metal other than aluminum is adhered to an aluminum anodic oxide coating having fine pores on aluminum so as not to block the fine pores, and (b) Aluminum to which the metal is adhered. Coating an upper anodized aluminum anodic oxide coating with a monomer so that the micropores are at least partially filled with the monomer, and (c) in situ the monomer. Polymerizing to form a polymer, (d) without dissolving and removing the polymer and the metal, the aluminum and the aluminum anodized film are dissolved and removed, and the metal is transferred onto the polymer; A polymer having a polymer portion having at least a part of the same shape as the fine pores of the aluminum anodic oxide coating on which the metal is attached and having the metal transferred to the surface of the polymer is formed. As the catalyst nucleus, the above (a In order to form a porous metal body having fine pores on the polymer by depositing the same or different metal as the metal adhered in step (f), the polymer is dissolved and removed without dissolving and removing the porous metal body. A method for producing a metal porous body having micropores of at least partially the same shape as the micropores of the aluminum anodic oxide coating.
【請求項4】(a) 微細孔を有するポーラスガラス
に、該微細孔を塞ぐことがないように金属を付着し、 (b) 該金属を付着した微細孔を有するポーラスガラ
スを、該微細孔が単量体で少くとも部分的に充填される
ように該単量体で被覆し、 (c) 該単量体をその場で重合して重合体を生成し、 (d) 該重合体および該金属を溶解除去することな
く、該ポーラスガラスを溶解除去して該金属を該重合体
上に転写し、該金属を付着したポーラスガラスの微細孔
と少くとも部分的に同一の形状の重合体部分を有し該金
属が重合体表面に転写されている重合体を生成し、 (e) 該金属を触媒核として、上記(a)で付着した
金属と同一または異なる金属をめつきして該重合体上に
微細孔を有する金属多孔体を生成し、 (f) 該金属多孔体を溶解除去することなく、該重合
体を溶解除去することを特徴とするポーラスガラスの微
細孔と少くとも部分的に同一の形状の微細孔を有する金
属多孔体の製造方法。
4. (a) A metal is attached to a porous glass having fine pores so as not to block the fine pores, and (b) a porous glass having fine pores to which the metal is adhered is prepared. Is coated with the monomer so that it is at least partially filled with the monomer, (c) the monomer is polymerized in situ to form a polymer, and (d) the polymer and A polymer having at least partially the same shape as the fine pores of the porous glass to which the metal is attached, by dissolving and removing the porous glass and transferring the metal onto the polymer without dissolving and removing the metal. A polymer having a portion and having the metal transferred to the surface of the polymer is produced, and (e) a metal which is the same as or different from the metal attached in (a) above is used as a catalyst nucleus, and A porous metal having fine pores is produced on the polymer, and (f) the porous metal is Method for producing a porous metal body having no micropores of microporous and at least partially identical shape of the porous glass, which comprises dissolving and removing the polymer to the solution removed.
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