JPH06187929A - Image pickup tube - Google Patents
Image pickup tubeInfo
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- JPH06187929A JPH06187929A JP33440092A JP33440092A JPH06187929A JP H06187929 A JPH06187929 A JP H06187929A JP 33440092 A JP33440092 A JP 33440092A JP 33440092 A JP33440092 A JP 33440092A JP H06187929 A JPH06187929 A JP H06187929A
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- image pickup
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、光学像を電気信号に変
換する撮像管に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an image pickup tube for converting an optical image into an electric signal.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来から、バイアスライトで光導電面を
照射することにより、光導電型撮像管の光応答特性を改
善し、残像の低減を図ることができることが知られてい
る。一般には、バイアスライトとして用いる光源７の配
置としては次のようなものがある。まず、従来例１は、
図４（ａ）に示すように円筒バルブ１１の外側の側面で
あって、光導電膜２１付近に光源７を配置するものであ
る。これによって、円筒バルブ１１を構成するガラス材
を介して光導電膜２１に光を照射することができる。次
に、従来例２は、図４（ｂ）に示すように円筒バルブ１
１内の底面付近に光源７を設け、さらに、円筒バルブ１
１の内周面に光を反射する塗料（例えば、白色の塗装
等）を塗布するものである。これによっては、光源７か
ら直接、および円筒バルブ１１の内周面からの光の反射
を介して光導電膜２１に光を照射することができる。し
かし、これら従来例１および従来例２ではともに光導電
膜２１に光を均一に入射させることができない。このた
め、撮像管の暗時（Dark時）に、画像シェーデイグがで
きてしまい、このことで撮像の際のＳ／Ｎ比を劣化させ
てしまっていた。このため、金属性のメッシュ電極５に
蛍光塗料を塗布し、メッシュ電極５の蛍光塗料が塗布さ
れた面を発光させることでバイアスライトとして用いる
技術（以下、従来例３という）が開示されている（特開
昭56-73835）。この従来例３は、光導電膜２１に光を均
一に入射さて、従来例１および従来例２の上述した欠点
を解消することを目的としたものである。2. Description of the Related Art It has been conventionally known that by irradiating a photoconductive surface with a bias light, it is possible to improve the photoresponse characteristics of a photoconductive type image pickup tube and reduce afterimages. Generally, there are the following arrangements of the light source 7 used as the bias light. First, in Conventional Example 1,
As shown in FIG. 4A, the light source 7 is arranged on the outer side surface of the cylindrical bulb 11 and near the photoconductive film 21. Thereby, the photoconductive film 21 can be irradiated with light through the glass material forming the cylindrical bulb 11. Next, in Conventional Example 2, as shown in FIG.
A light source 7 is provided in the vicinity of the bottom of the cylindrical bulb 1.
The inner peripheral surface of No. 1 is coated with a paint that reflects light (for example, white paint). With this, it is possible to irradiate the photoconductive film 21 with light directly from the light source 7 and through reflection of light from the inner peripheral surface of the cylindrical bulb 11. However, in both the conventional example 1 and the conventional example 2, the light cannot be uniformly incident on the photoconductive film 21. Therefore, image shading occurs when the image pickup tube is dark (dark), which deteriorates the S / N ratio at the time of image pickup. For this reason, there is disclosed a technique (hereinafter, referred to as Conventional Example 3) in which the metallic mesh electrode 5 is coated with a fluorescent paint and the surface of the mesh electrode 5 coated with the fluorescent paint is caused to emit light to be used as a bias light. (JP-A-56-73835). This conventional example 3 is intended to eliminate the above-mentioned drawbacks of the conventional example 1 and the conventional example 2 by allowing light to uniformly enter the photoconductive film 21.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来例３はメ
ッシュ電極５として金属板を用いているため、撮像管の
製造中に金属板にたるみが生じてしまうことがある。こ
のため、金属板上に塗布した蛍光塗料が剥がれ落ちてし
まうことがあった。さらに、蛍光塗料からの発光量全体
のうち、６０％たらずの光量しか光導電膜に照射され
ず、照射効率に欠けるという欠点があった。これは、金
属板の電子銃３側の表面に蛍光塗料を塗布していること
から、メッシュ電極５本体である金属板によって多くの
光が遮られてしまうことによるものである。However, in the conventional example 3, since the metal plate is used as the mesh electrode 5, the slack may occur in the metal plate during the manufacture of the image pickup tube. Therefore, the fluorescent paint applied on the metal plate may be peeled off. Further, there is a drawback that the photoconductive film is irradiated with only a light amount of less than 60% of the total amount of light emitted from the fluorescent paint, and the irradiation efficiency is insufficient. This is because a large amount of light is blocked by the metal plate, which is the main body of the mesh electrode 5, since the fluorescent paint is applied to the surface of the metal plate on the electron gun 3 side.
【０００４】そこで、本発明は上記の問題点を解決する
撮像管のメッシュ電極５を提供することを目的とする。Therefore, an object of the present invention is to provide a mesh electrode 5 of an image pickup tube which solves the above problems.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明は、電子ビームを
出射する電子銃と、この電子ビームが走査されるターゲ
ット部と、このターゲット部と電子銃との間に設けられ
たメッシュ電極とを備えて構成される撮像管において、
メッシュ電極は、網目状に配列された複数の貫通孔を含
む透明ガラスと、透明ガラス表面のうち、電子銃と対向
する面に塗布された蛍光体と、蛍光体の塗布された透明
ガラスの全体を被覆する透明導電膜とを有することを特
徴とする。また、透明ガラスは、キャピラリープレート
であることが望ましい。According to the present invention, an electron gun for emitting an electron beam, a target portion for scanning with the electron beam, and a mesh electrode provided between the target portion and the electron gun are provided. In the image pickup tube that is equipped with
The mesh electrode is a transparent glass including a plurality of through holes arranged in a mesh shape, a phosphor coated on the surface of the transparent glass facing the electron gun, and the entire transparent glass coated with the phosphor. It has a transparent conductive film which covers. The transparent glass is preferably a capillary plate.
【０００６】[0006]
【作用】上記の構成によれば、本発明に係る撮像管は、
メッシュ電極として、透明ガラスの表面のうち電子銃と
対向する面に蛍光体を塗布し、さらに全体を透明導電膜
で被覆したものである。従って、電子銃で放出した電子
が蛍光体を発光させ、この発光した光は、メッシュ電極
を構成する部材（例えば、従来技術における金属板に相
当する部材）によって遮られることがなく、光導電膜を
照射することができる。さらに、蛍光体は透明ガラスに
塗布されていることから、光導電膜の照射に際して均一
に照射される。With the above arrangement, the image pickup tube according to the present invention is
As a mesh electrode, a phosphor is applied to the surface of transparent glass facing the electron gun, and the entire surface is covered with a transparent conductive film. Therefore, the electrons emitted by the electron gun cause the phosphor to emit light, and the emitted light is not blocked by the member forming the mesh electrode (for example, the member corresponding to the metal plate in the prior art), and the photoconductive film is formed. Can be irradiated. Furthermore, since the phosphor is applied to the transparent glass, it is uniformly irradiated when the photoconductive film is irradiated.
【０００７】[0007]
【実施例】以下、添付図面を参照して本発明の実施例に
ついて説明する。なお、図面の説明において同一要素に
は同一符号を付し、重複する説明は省略する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. In the description of the drawings, the same elements will be denoted by the same reference symbols, without redundant description.
【０００８】図１に基づいて、本発明に係る実施例につ
いて説明する。本実施例に係る撮像装置は、中空円筒形
のガラスバルブ１と、ガラスバルブ１の先端に設けられ
入射光を光電変換して蓄積するターゲット部２と、ター
ゲット部２に対向する他端に設けられ読取り用の電子ビ
ームを発射する電子銃部３と、この電子ビームを光導電
膜２１上の面に集束してこの面上を走査する集束偏向部
４とから構成されている。An embodiment according to the present invention will be described with reference to FIG. The imaging apparatus according to the present embodiment is provided with a hollow cylindrical glass bulb 1, a target portion 2 provided at the tip of the glass bulb 1 for photoelectrically converting incident light and storing the incident light, and provided at the other end facing the target portion 2. The electron gun unit 3 emits an electron beam for reading and a focusing deflection unit 4 that focuses the electron beam on a surface of the photoconductive film 21 and scans the surface.
【０００９】ターゲット部２は、光像が結像される光導
電膜２１と、この光導電膜２１上に固着されて設けられ
たネサ膜２２と、さらにこのネサ膜２２上に固着されて
設けられたガラス面板２３とから構成されている。光導
電膜２１はＰｂＯ／ＰｂＳを材質として形成されてい
る。また、ネサ膜２２はＳｎＯ2 やＩＴＯを用いた透明
導電膜である。これら一体化されたターゲット部２は、
光導電膜２１がガラスバルブ１内になるように信号電極
６および図示しないインジウム金属によってガラスバル
ブ１に封着され、ガラスバルブ１内は真空状態に保たれ
ている。また、インジウム金属はネサ膜２２と電気的に
接触しており、ネサ膜２２に生じた撮像信号は信号電極
６によって取り出され、外部の図示しない信号増幅回路
に出力される。The target portion 2 is provided with a photoconductive film 21 on which an optical image is formed, a nesa film 22 fixedly provided on the photoconductive film 21, and further fixedly provided on the nesa film 22. The glass face plate 23 is formed. The photoconductive film 21 is formed of PbO / PbS as a material. In addition, the nesa film 22 is a transparent conductive film using SnO 2 or ITO. The integrated target unit 2 is
The photoconductive film 21 is sealed to the glass bulb 1 by the signal electrode 6 and indium metal (not shown) so that the inside of the glass bulb 1 is kept, and the inside of the glass bulb 1 is kept in a vacuum state. The indium metal is in electrical contact with the nesa film 22, and the image pickup signal generated on the nesa film 22 is taken out by the signal electrode 6 and output to an external signal amplification circuit (not shown).
【００１０】電子銃部３は、電子を放出する図示しない
カソード電極と、このカソード電極を加熱する図示しな
いヒータと、放出された電子の進行方向を制御する図示
しないビーム制御電極とを有する本体３１、および電子
ビームを加速する加速電極３２とから構成されている。
また、電子銃部３への電力供給は、ガラスバルブ１の底
面に設けられたステムピン３３から行われる。この電子
銃部３から出射された電子ビームは集束偏向部４によっ
てその進路が偏向される。偏向された電子ビームは、集
束偏向部４の終端部に設けられたメッシュ電極５を通過
することによって速度が急激に低下し、光導電膜２１に
低速度で一様に到達する。The electron gun unit 3 has a main body 31 having a cathode electrode (not shown) that emits electrons, a heater (not shown) that heats the cathode electrode, and a beam control electrode (not shown) that controls the traveling direction of the emitted electrons. , And an accelerating electrode 32 for accelerating the electron beam.
Further, the power supply to the electron gun unit 3 is performed from the stem pin 33 provided on the bottom surface of the glass bulb 1. The path of the electron beam emitted from the electron gun unit 3 is deflected by the focusing deflection unit 4. The deflected electron beam passes through the mesh electrode 5 provided at the terminal end of the focusing and deflecting unit 4, and the velocity thereof is drastically reduced, and reaches the photoconductive film 21 uniformly at a low velocity.
【００１１】メッシュ電極５は、図２および図３に示す
ように、キャピラリープレート５１の表面に蛍光塗料５
２を塗布し、その全体を透明導電膜５３で被覆したもの
である。このキャピラリープレート５１は、貫通した複
数の貫通孔５４が穿設されており、これらの貫通孔５４
が網目状に配列されたものである。蛍光塗料５２として
は、Ｓ7 Ｏ2 にＥｕ2 Ｏ3 を１〜１５ｍｏｌ％程度添加
した物質を用いている。透明導電膜５３は上述したネサ
膜２２と同様に、ＳｎＯ2 やＩＴＯを用いている。な
お、このとき、透明導電膜５３はキャピラリープレート
５１の貫通孔５４の内周面にも塗布されて被覆される
が、貫通孔５４が透明導電膜５３によって埋め込まれる
ことはない。As shown in FIGS. 2 and 3, the mesh electrode 5 has fluorescent paint 5 on the surface of the capillary plate 51.
2 is applied and the whole is covered with the transparent conductive film 53. The capillary plate 51 has a plurality of through holes 54 penetrating therethrough.
Are arranged in a mesh. As the fluorescent paint 52, a substance obtained by adding Eu 2 O 3 to S 7 O 2 in an amount of about 1 to 15 mol% is used. As the transparent conductive film 53, SnO 2 or ITO is used similarly to the above-mentioned nesa film 22. At this time, the transparent conductive film 53 is also applied and covered on the inner peripheral surface of the through hole 54 of the capillary plate 51, but the through hole 54 is not filled with the transparent conductive film 53.
【００１２】次に、本実施例に係る撮像管の動作につい
て説明する。ガラス面板２３に入射した光像は、ネサ膜
２２を通過して光導電膜２１に結像する。透明導電膜５
３には、陰極に対して数十Ｖの正電位が印加される。こ
のため、裏面は電子ビームの走査後、陰電極に近い状態
になる。光導電膜２１に光像が結像されると、光導電効
果により裏面の電位は光量に応じて上昇し、各画素ごと
に、次の走査ビームがくるまで、正の電荷が裏面に蓄積
されていく。この電荷が電子銃から照射された電子ビー
ムによって中和されて放電電流が流れ、この放電電流が
透明電極、次いでインジウム、そして信号取出電極へと
伝えられ信号電圧となって外部に取り出される。Next, the operation of the image pickup tube according to this embodiment will be described. The light image incident on the glass face plate 23 passes through the nesa film 22 and forms an image on the photoconductive film 21. Transparent conductive film 5
A positive potential of several tens of V is applied to the cathode 3. Therefore, the back surface becomes a state close to the negative electrode after scanning with the electron beam. When a light image is formed on the photoconductive film 21, the potential on the back surface rises according to the amount of light due to the photoconductive effect, and positive charges are accumulated on the back surface for each pixel until the next scanning beam arrives. To go. This charge is neutralized by the electron beam emitted from the electron gun, and a discharge current flows. This discharge current is transmitted to the transparent electrode, then indium, and the signal extraction electrode, and becomes a signal voltage to be extracted to the outside.
【００１３】また一方で、メッシュ電極５には陰極に対
して数Ｖの陰電荷が印加される。このため、電子ビーム
はメッシュ電極５を通過することによって速度が急激に
低下し、光導電膜２１に低速度で一様に到達することに
なる。このとき通過する電子ビームの一部はメッシュ電
極５を構成するキャピラリープレート５１に塗布された
蛍光塗料５２に照射される。電子ビームが照射された蛍
光塗料５２は発光し、発光した光は透明体であるキャピ
ラリープレート５１を介して光導電膜２１に照射され
る。このときの照射量は、従来技術のようにメッシュ電
極５に金属板を用いた場合が蛍光体の全発光量の６０％
であるのに対し、本発明では全発光量の１００％であ
る。この結果、本発明に用いたメッシュ電極５によれ
ば、非常に効率よく光電膜に光を照射することができる
ことが分かった。また、上述のように蛍光塗料５２は透
明体であるキャピラリープレート５１に塗布されている
ことから、光導電膜２１を照射する際に偏りがなく全体
を均一に照射することができる。また、メッシュ電極５
に印加される電位を調整することで、蛍光塗料５２に照
射される電子ビームを調整できるため、この結果、発光
量を調整することができる。すなわち、バイアスライト
としてのメッシュ電極５の光量を自在に変化させること
も可能である。さらに上述した蛍光塗料５２と異なる物
質を蛍光体として選択することで発光する光の波長を変
えることができ、バイアスライトとして様々な波長を選
択できる。On the other hand, a negative voltage of several V is applied to the mesh electrode 5 with respect to the cathode. Therefore, the velocity of the electron beam sharply decreases as it passes through the mesh electrode 5, and reaches the photoconductive film 21 uniformly at a low velocity. At this time, a part of the electron beam passing therethrough is applied to the fluorescent paint 52 applied to the capillary plate 51 forming the mesh electrode 5. The fluorescent paint 52 irradiated with the electron beam emits light, and the emitted light is applied to the photoconductive film 21 via the capillary plate 51 which is a transparent body. The irradiation amount at this time is 60% of the total emission amount of the phosphor when a metal plate is used for the mesh electrode 5 as in the conventional technique.
On the other hand, in the present invention, it is 100% of the total amount of light emission. As a result, it was found that the mesh electrode 5 used in the present invention can irradiate the photoelectric film with light very efficiently. Further, as described above, since the fluorescent paint 52 is applied to the capillary plate 51 which is a transparent body, there is no bias when irradiating the photoconductive film 21, and the whole can be uniformly irradiated. Also, the mesh electrode 5
Since the electron beam with which the fluorescent paint 52 is irradiated can be adjusted by adjusting the potential applied to the fluorescent paint 52, the amount of light emission can be adjusted as a result. That is, the light quantity of the mesh electrode 5 as the bias light can be freely changed. Furthermore, the wavelength of the emitted light can be changed by selecting a substance different from the above-mentioned fluorescent paint 52 as the phosphor, and various wavelengths can be selected as the bias light.
【００１４】なお、撮像管の製造過程においては加熱作
業を伴うが、この場合においても、本発明のようにメッ
シュ電極５としてキャピラリープレート５１をメッシュ
電極５として用ていれば、金属を用いたときのような熱
にってメッシュ電極５が弛んでしまうという問題も生じ
ない。従って、メッシュ電極５の弛みによって蛍光体が
剥がれ落ちることもない。Although a heating operation is involved in the manufacturing process of the image pickup tube, even in this case, when metal is used as long as the capillary plate 51 is used as the mesh electrode 5 as in the present invention. The problem that the mesh electrode 5 is loosened by such heat does not occur. Therefore, the slack of the mesh electrode 5 does not cause the phosphor to peel off.
【００１５】[0015]
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明にか
かる撮像管には、メッシュ電極として透明ガラスの表面
のうち電子銃と対向する面に蛍光体を塗布し、さらに全
体を透明導電膜で被覆したものを用いている。従って、
電子銃で放出した電子が蛍光体を発光させて、放射した
光は、メッシュ電極を構成する部材（例えば、従来技術
における金属板に相当する部材）によって遮られること
がなく、光導電膜を照射することができる。このため、
蛍光体からの発光した光を効率よく光導電膜に照射させ
ることができる。さらに、蛍光体は透明ガラスに塗布さ
れていることから、光導電膜の照射に際して均一に照射
される。すなわち、光導電膜上には斑なく光を照射する
ことができる。As described in detail above, in the image pickup tube according to the present invention, a phosphor is applied to the surface of the transparent glass as the mesh electrode, the surface facing the electron gun, and the entire surface is covered with the transparent conductive film. The one coated with is used. Therefore,
Electrons emitted by the electron gun cause the phosphor to emit light, and the emitted light is not blocked by a member that constitutes the mesh electrode (for example, a member corresponding to a metal plate in the prior art) and irradiates the photoconductive film. can do. For this reason,
The photoconductive film can be efficiently irradiated with the light emitted from the phosphor. Furthermore, since the phosphor is applied to the transparent glass, it is uniformly irradiated when the photoconductive film is irradiated. That is, the photoconductive film can be uniformly irradiated with light.
【００１６】なお、撮像管の製造過程においては加熱作
業を伴うが、この場合においても、本発明のようにメッ
シュ電極としてキャピラリープレートをメッシュ電極と
して用ていれば、金属を用いたときのような熱にってメ
ッシュ電極が弛んでしまうという問題も生じない。従っ
て、メッシュ電極の弛みによって蛍光体が剥がれ落ちる
こともない。It should be noted that although the heating process is involved in the manufacturing process of the image pickup tube, even in this case, if a capillary plate is used as the mesh electrode as the mesh electrode as in the present invention, it is the same as when metal is used. There is no problem that the mesh electrode is loosened by heat. Therefore, the phosphor does not peel off due to the looseness of the mesh electrode.
【図１】本実施例に係る撮像管の概略構造を示す断面斜
視図である。FIG. 1 is a sectional perspective view showing a schematic structure of an image pickup tube according to an embodiment.
【図２】本実施例に係る撮像管に用いるメッシュ電極の
斜視図である。FIG. 2 is a perspective view of a mesh electrode used in the image pickup tube according to the present embodiment.
【図３】本実施例に係る撮像管に用いるメッシュ電極の
一部を示した斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing a part of a mesh electrode used in the image pickup tube according to the present embodiment.
【図４】従来例に係る撮像管の概略構造を示す断面図で
ある。FIG. 4 is a cross-sectional view showing a schematic structure of an image pickup tube according to a conventional example.
１…ガラスバルブ、２…ターゲット部、３…電子銃部、
４…集束偏向部、５…メッシュ電極、５１…キャピラリ
ープレート、５２…蛍光塗料、５３…透明導電膜、５４
…貫通孔、６…信号電極。1 ... Glass bulb, 2 ... Target part, 3 ... Electron gun part,
4 ... Focusing deflector, 5 ... Mesh electrode, 51 ... Capillary plate, 52 ... Fluorescent paint, 53 ... Transparent conductive film, 54
... through holes, 6 ... signal electrodes.
Claims (2)
子ビームが走査されるターゲット部と、前記ターゲット
部と前記電子銃との間に設けられたメッシュ電極とを備
えて構成される撮像管において、 前記メッシュ電極は、網目状に配列された複数の貫通孔
を含む透明ガラスと、 前記透明ガラス表面のうち、前記電子銃と対向する面に
塗布された蛍光体と、 前記蛍光体の塗布された前記透明ガラスの全体を被覆す
る透明導電膜と、を有することを特徴とする撮像管。1. An image pickup tube comprising an electron gun for emitting an electron beam, a target section for scanning with the electron beam, and a mesh electrode provided between the target section and the electron gun. In the above, the mesh electrode is a transparent glass including a plurality of through holes arranged in a mesh, a phosphor coated on a surface of the transparent glass facing the electron gun, and a coating of the phosphor. And a transparent conductive film that covers the entire transparent glass.
トであることを特徴とする請求項１に記載の撮像管。2. The image pickup tube according to claim 1, wherein the transparent glass is a capillary plate.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33440092A JP2683194B2 (en) | 1992-12-15 | 1992-12-15 | Imaging tube |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33440092A JP2683194B2 (en) | 1992-12-15 | 1992-12-15 | Imaging tube |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06187929A true JPH06187929A (en) | 1994-07-08 |
| JP2683194B2 JP2683194B2 (en) | 1997-11-26 |
Family
ID=18276948
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33440092A Expired - Fee Related JP2683194B2 (en) | 1992-12-15 | 1992-12-15 | Imaging tube |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2683194B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20100157173A1 (en) * | 2008-12-23 | 2010-06-24 | Dynascan Technology Corp. | Rotary display provided with image pickup device |
-
1992
- 1992-12-15 JP JP33440092A patent/JP2683194B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20100157173A1 (en) * | 2008-12-23 | 2010-06-24 | Dynascan Technology Corp. | Rotary display provided with image pickup device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2683194B2 (en) | 1997-11-26 |
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