JPH0618731A - Waveguide type optical branch unit - Google Patents

Waveguide type optical branch unit

Info

Publication number
JPH0618731A
JPH0618731A JP17553292A JP17553292A JPH0618731A JP H0618731 A JPH0618731 A JP H0618731A JP 17553292 A JP17553292 A JP 17553292A JP 17553292 A JP17553292 A JP 17553292A JP H0618731 A JPH0618731 A JP H0618731A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
branch
branching
slit
light
core
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP17553292A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Tetsuya Yokota
哲也 横田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Cable Ltd
Original Assignee
Hitachi Cable Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Cable Ltd filed Critical Hitachi Cable Ltd
Priority to JP17553292A priority Critical patent/JPH0618731A/en
Publication of JPH0618731A publication Critical patent/JPH0618731A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

PURPOSE:To raise the degree of freedom of a branching ratio by adjusting an angle of a branch slit and enlarging a branch angle. CONSTITUTION:An optical waveguide 1 consists of a core 3 and a clad 4 for covering it, and is constituted on a plane substrate 2 so that its cross section is roughly rectangular. The core 3 is constituted of a branch line 3A being an incident part, and branch lines 3B and 3C being emitting parts. On the way of the optical waveguide 1, a branch slit 5 formed by having an inclination of an angle theta1 against the branch lines 3A, 3B is provided. By the angle theta1 made by the branch lines 3A, 3B and the branch slit 5, and an angle theta2, a branch angle of the waveguide type optical branch unit is determined. The branch slit 5 consists of a structure cut in the height direction to the halfway of the core 3, in a branch part 6. This connected part L1 of the optical waveguide 1, and the part L2 which is connected without being cut exist, and by an area ratio (area ratio of the branch slit) of these L1 and L2, a branching ratio of light in this branch waveguide is determined.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、伝搬光を分岐する導波
路型光分岐器に係り、特に分岐特性を改善したものに関
する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a waveguide type optical branching device for branching propagating light, and more particularly to an optical branching device having improved branching characteristics.

【0002】[0002]

【従来の技術】光通信システムが高度化するにつれて、
光の伝搬路としての導波路に対し、単に光を伝搬するだ
けでなく、分波特性や増幅特性、分岐特性などの機能を
持つ高機能導波路にニーズが高まってきている。特に、
分岐特性機能を有するものとしては、図4に示すような
光導波路によるスターカプラが実現されている。これ
は、基板32の上にコアとクラッドからなる光導波路3
3を、所望の分岐角度を有する、いわゆるY分岐導波路
を用いたスター状にパターン化して構成したものであ
り、カプラの入出射端に光ファイバ34が接続されてい
る状態を示している。
2. Description of the Related Art As optical communication systems become more sophisticated,
There is an increasing need for a high-performance waveguide that has functions such as demultiplexing characteristics, amplification characteristics, and branching characteristics in addition to simply propagating light with respect to a waveguide as a light propagation path. In particular,
A star coupler having an optical waveguide as shown in FIG. 4 is realized as one having a branching characteristic function. This is an optical waveguide 3 consisting of a core and a clad on a substrate 32.
3 is formed by patterning 3 in a star shape using a so-called Y-branch waveguide having a desired branch angle, and shows a state in which the optical fiber 34 is connected to the input / output end of the coupler.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかし、図4に示すス
ターカプラは、分岐角度を最適値より大きくすると、光
の直進性から分岐路へカップリングしない成分が生じ損
失増大の原因となるため、分岐角度が小さいこと、また
いわゆるY分岐構造を採用しているため、分岐比の自由
度に制限がある。
However, in the star coupler shown in FIG. 4, if the branching angle is made larger than the optimum value, a component that does not couple to the branching path occurs due to the straightness of light, which causes an increase in loss. Since the branch angle is small and the so-called Y-branch structure is adopted, the degree of freedom of the branch ratio is limited.

【0004】本発明の目的は、前記従来技術の欠点を解
消し、所望の分岐角度及び分岐比が得られる導波路型光
分岐器を提供することにある。
An object of the present invention is to solve the above-mentioned drawbacks of the prior art and to provide a waveguide type optical branching device capable of obtaining a desired branching angle and branching ratio.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明の導波路型光分岐
器は、平面基板上に設けられ、光の伝搬するコアが、そ
れより低屈折率のクラッドで覆われた光導波路を有し、
光導波路は少なくとも光の入射部としての枝路と、光の
出射部としての2つの枝路とを備え、これらの枝路は互
いにある分岐角度で分岐配置された導波路型光分岐器に
適用される。光導波路が分岐する分岐部に、光の伝搬方
向と交差する方向に、深さがコアの一部にまで達し、コ
アとの境界に屈折率差によって形成される光反射面を形
成する分岐用スリットが設けられる。このスリットは、
導波路を伝搬してきた入射光を枝路に分岐させるために
導波路の高さ方向に適当量切断することによって得てい
る。
A waveguide type optical branching device of the present invention is provided on a plane substrate, and has a core for propagating light having an optical waveguide covered with a clad having a lower refractive index. ,
The optical waveguide has at least a branch as a light incident part and two branches as a light emitting part, and these branches are applied to a waveguide type optical branching device that is branched and arranged at a certain branching angle. To be done. For branching where the optical waveguide branches into a branching part where the depth reaches part of the core in the direction that intersects the light propagation direction and a light reflection surface is formed at the boundary with the core due to the difference in refractive index. A slit is provided. This slit is
It is obtained by cutting an appropriate amount of the incident light propagating through the waveguide in the height direction of the waveguide in order to branch the light into branches.

【0006】この分岐用スリットは分岐部において、そ
れぞれの枝路のコア内を伝搬する光路に対して、所望の
分岐角度を得るために必要な角度と、所望の分岐比を得
るために必要な深さとを形成するように設けられてい
る。なお、分岐用スリットの幅は特に限定されないが、
透過光出力の損失低減のため、スリットの幅は狭い方が
好ましい。また、特にスイッチ機能を持たせるために、
分岐用スリット内に枝路のコア間の屈折率を整合させる
物質を出し入れするようにすることもできる。
This branching slit is required at the branching part to obtain a desired branching angle and a desired branching ratio with respect to the optical paths propagating in the cores of the respective branching paths. It is provided to form a depth. The width of the branch slit is not particularly limited,
In order to reduce the loss of the transmitted light output, the width of the slit is preferably narrow. Also, especially to have a switch function,
It is also possible to put a substance for matching the refractive index between the cores of the branches into and out of the branch slit.

【0007】[0007]

【作用】導波路の分岐部に設けられた分岐用スリットに
より、導波路は高さ方向にコアの途中まで切断されてい
るため、導波路には分岐用スリットにおいて切断された
部分による反射面となる反射部と、切断されない部分に
よる透過部が構成される。光の入射部としての枝路から
伝搬してきて透過部に致った光の一部はそのまま光の出
射部としての一方の枝路へ、また反射部に致った光の残
部はそこで反射され光の出射部としての他方の枝路へ分
岐していく。そのとき、この反射部と透過部の比率(分
岐用スリット面積比)に従って導波路を伝搬する光は分
岐される。従って、導波路型光分岐器作製時に、分岐用
スリットの深さを調節することによって、所望の光分岐
比が得られる。また、分岐用スリットの角度を調節する
ことによって、導波路を伝搬する光の所望の分岐角度方
向が得られる。
Since the waveguide is cut to the middle of the core in the height direction by the branch slit provided at the branch portion of the waveguide, the waveguide has a reflection surface due to the part cut in the branch slit. And a transmissive part composed of a non-cut part. A part of the light propagating from the branch path as the light incident part and hitting the transmitting part is reflected as it is to one branch path as the light exiting part, and the rest of the light hitting the reflecting part is reflected there. It branches to the other branch as a light emitting part. At that time, the light propagating in the waveguide is branched according to the ratio of the reflecting portion and the transmitting portion (branching slit area ratio). Therefore, a desired optical branching ratio can be obtained by adjusting the depth of the branching slit when the waveguide type optical branching device is manufactured. Further, by adjusting the angle of the branch slit, the desired branch angle direction of the light propagating through the waveguide can be obtained.

【0008】[0008]

【実施例】実施例 以下に、本発明を図示の実施例によって詳細に説明す
る。図1は本発明の原理図を示すスリットを形成した光
導波路の斜視図、及び本実施例による導波路型光分岐器
の平面図であり、図2はその構成図とa−a’断面拡大
図である。図1(A)において光導波路1は、単結晶シ
リコンや石英基板などによる平面基板2上に断面略矩形
状に構成されている。導波路1は異なる屈折率の酸化硅
素(SiO2 )によって形成されており、光の伝搬する
コア3(屈折率nw )と、コア3を覆う低屈折率のクラ
ッド4(屈折率nc )とを有する。本発明はこの光導波
路1に図に示すようなスリット5を設けることが要旨と
なる。
The following EXAMPLES Examples illustrate the invention illustrated examples in detail. FIG. 1 is a perspective view of an optical waveguide having slits showing the principle of the present invention, and a plan view of a waveguide type optical branching device according to this embodiment, and FIG. 2 is its configuration diagram and an enlarged section aa '. It is a figure. In FIG. 1A, an optical waveguide 1 is formed in a substantially rectangular cross section on a flat substrate 2 made of single crystal silicon or a quartz substrate. The waveguide 1 is formed of silicon oxide (SiO 2 ) having a different refractive index, and has a core 3 (refractive index n w ) through which light propagates and a low refractive index clad 4 (refractive index n c ) that covers the core 3. Have and. The gist of the present invention is to provide the optical waveguide 1 with the slit 5 as shown in the figure.

【0009】図1(B)において、基板2上のコア3
は、直線状に存在する枝路3A、3Bと、これにある角
度θ2 をもって配置された枝路3Cとによって構成され
た3つの枝路を有し、その各軸線14、15、16は図
1(B)に示すように配置されている。このうち、枝路
3Aはコア3への光の入射部として、残り2つの枝路3
B、3Cは分岐光の出射部として機能する。ここでは、
光の入射口11側の枝路3Aに対して、分岐された光の
出射口12側の枝路3Bは枝路3Aの延長線上に、ま
た、もう一方の分岐光出射口13側の枝路3Cは、前出
の角度θ2 の位置に配置されている。
In FIG. 1B, the core 3 on the substrate 2
Has three branches formed by straight branches 3A, 3B and branches 3C arranged at an angle θ 2 therewith, and each axis 14, 15, 16 of which is shown in FIG. 1 (B). Of these, the branch path 3A serves as a light incident portion for the core 3 and the remaining two branch paths 3A are included.
B and 3C function as emission parts of the branched light. here,
In contrast to the branch 3A on the side of the light entrance 11 side, the branch 3B on the side of the exit 12 of the branched light is on an extension of the branch 3A, and on the side of the other branch light exit 13 side. 3C is arranged at the position of the angle θ 2 described above.

【0010】このように構成された光導波路1の途中に
は、図1(B)に示すように枝路3A、3Bに角度θ1
の傾きを持って形成された分岐用スリット5が存在す
る。枝路3A、3Bと分岐用スリット5のなす角度θ1
と、枝路3A、3Bと枝路3Cのなす角度θ2 によっ
て、本導波路型光分岐器の分岐角度θ3 が決定する。枝
路3Cが枝路3Aと直角でなければ、分岐光が枝路3C
を直進するように、それに合せてθ1 を変える。すなわ
ち、 θ1 =(180°−θ2 )/2 (1) また、この分岐用スリット5は、図2(A)に示すよう
に、光導波路1の分岐部6において、光導波路1を、そ
の頂部からコア3の途中まで高さ方向に切断した構造に
なっている。ここで、高さ方向とは同図中に示すXY平
面を平面基板2の平面とすると、それに垂直なZ方向で
ある。図2(A)中、a−a’断面拡大図において、光
導波路1は分岐用スリット5によって途中まで切断され
ているが、この切断されているコアの部分L1と、切断
されずに繋がっているコア部分L2が存在し、このL1
とL2の面積比率(分岐用スリット面積比)によって本
導波路光分岐器における光の分岐比が決定する。すなわ
ち、導波路幅であるコア幅Wとし、図2(B)に示すよ
うにコア3の切断深さd1 、残部d2 とすると、 L1 =W×d12 =W×d2 (2) となり、L1 /L2 =d1 /d2 が分岐比を決定する。
In the middle of the optical waveguide 1 thus constructed, as shown in FIG. 1 (B), an angle θ 1 is formed in the branches 3A and 3B.
There is a branching slit 5 formed with an inclination of. Angle θ 1 formed by the branches 3A, 3B and the slit 5 for branching
If, branch 3A, the angle theta 2 of 3B and branch passages 3C, branch angle theta 3 of the waveguide type optical branching device is determined. If the branch 3C is not at a right angle to the branch 3A, the branched light is the branch 3C.
As you go straight, change θ 1 accordingly. That is, θ 1 = (180 ° −θ 2 ) / 2 (1) Further, as shown in FIG. 2 (A), this branching slit 5 is provided with the optical waveguide 1 at the branching portion 6 of the optical waveguide 1. The structure is cut in the height direction from the top to the middle of the core 3. Here, the height direction is the Z direction perpendicular to the plane XY when the plane XY is the plane of the plane substrate 2. In FIG. 2A, the optical waveguide 1 is partially cut by the branch slit 5 in the aa ′ cross-sectional enlarged view, but it is connected to the cut core portion L1 without being cut. There is a core part L2
And the area ratio of L2 (branch slit area ratio) determines the branching ratio of light in this waveguide optical branching device. That is, assuming that the core width W is the waveguide width, and the cutting depth d 1 of the core 3 and the remainder d 2 are as shown in FIG. 2B, L 1 = W × d 1 L 2 = W × d 2 (2) and L 1 / L 2 = d 1 / d 2 determines the branching ratio.

【0011】以上のように構成された導波路型光分岐器
において、枝路3Aに入射した光は光導波路1を伝搬し
て分岐用スリット5による反射面に到達する。光導波路
1は分岐用スリット5によって途中まで切断されている
ため、伝搬してきた光は光導波路1が繋がっている部分
ではそのまま透過し、枝路3Bから出射口12へ出力さ
れる。また光導波路1が切断されている部分では、分岐
用スリット5とコア3の屈折率差から伝搬光の一部は反
射して枝路3Cへ結合し出射口13へ出力される。分岐
角度は枝路3Aに対して前出の角度θ2 となり、分岐角
度θ3 、すなわち、枝路3Bと枝路3Cのなす角度は、
反射面角度θ1 とθ2 、さらに光導波路1の配置を設計
することによって得られる。
In the waveguide type optical branching device configured as described above, the light incident on the branch 3A propagates through the optical waveguide 1 and reaches the reflecting surface by the slit 5 for branching. Since the optical waveguide 1 is partially cut by the branching slit 5, the propagated light is transmitted as it is in the portion where the optical waveguide 1 is connected, and is output from the branch 3B to the emission port 12. In the cut portion of the optical waveguide 1, a part of the propagating light is reflected by the refractive index difference between the branching slit 5 and the core 3, is coupled to the branch 3C, and is output to the emission port 13. The branch angle is the angle θ 2 described above with respect to the branch path 3A, and the branch angle θ 3 , that is, the angle formed by the branch path 3B and the branch path 3C is
It is obtained by designing the reflection surface angles θ 1 and θ 2 and the arrangement of the optical waveguide 1.

【0012】また、光の分岐比は、分岐用スリット5に
よる光導波路の切断量によって調節され、光導波路がつ
ながっている面積L1 と、反射面として機能している面
積L2 との面積比によって決定する。この面積比は、分
岐用スリット形成条件によって可変であり、分岐用スリ
ット5の深さを調節することにより実効的な面積比を得
ることができる。特に、これを応用すれば、入力ファイ
バからきた光のほんの一部をモニタ用の光検出器で検出
し、大部分の光は再び出力ファイバへ結合するような光
タップ用部品として有用である。
The branching ratio of the light is adjusted by the cutting amount of the optical waveguide by the branching slit 5, and the area ratio between the area L 1 where the optical waveguide is connected and the area L 2 which functions as a reflecting surface. Determined by. This area ratio is variable depending on the branch slit forming conditions, and an effective area ratio can be obtained by adjusting the depth of the branch slit 5. In particular, if this is applied, it is useful as an optical tap component in which only a part of the light coming from the input fiber is detected by the photodetector for monitoring, and most of the light is coupled again to the output fiber.

【0013】変形例 図3は、図1(B)及び図2に示した導波路型光分岐器
の変形実施例である。この例は、前出の分岐用スリット
5内に屈折率整合液体7を挿入することによって、スイ
ッチ機能を持たせたものである。この屈折率整合液体7
は、分岐しようとする光の波長において、コアと屈折率
が等しい液体を使用する。つまり、分岐用スリット5内
に屈折率整合液体7が挿入された時は、分岐用スリット
5によって光導波路1が分断されているにもかかわら
ず、反射面では屈折率の差がないために光は直進し、入
射光は全て出射口22へ出力される(全透過状態)。
Modification Example FIG. 3 shows a modification example of the waveguide type optical branching device shown in FIGS. In this example, the index matching liquid 7 is inserted into the above-mentioned branch slit 5 to provide a switch function. This index matching liquid 7
Uses a liquid whose refractive index is equal to that of the core at the wavelength of the light to be branched. That is, when the refractive index matching liquid 7 is inserted into the branching slit 5, the optical waveguide 1 is divided by the branching slit 5, but there is no difference in the refractive index on the reflecting surface. Goes straight, and all the incident light is output to the emission port 22 (total transmission state).

【0014】次に、屈折率整合液体7を分岐用スリット
5内から除去すると、分岐用スリット5による反射面が
再び効力を持ち、コアと分岐用スリット5内の大きな屈
折率差から光は全反射し、出射口22と出射口23とに
分岐される(光分岐状態)。このように、光分岐のため
に設けられた分岐用スリット内部に屈折率整合液体を出
し入れすることによって、入射した光をすべて透過させ
た状態と、分岐した状態とにスイッチングすることが可
能になる。なお、屈折率整合液体に代えて気体または固
体とすることもできる。
Next, when the refractive index matching liquid 7 is removed from the inside of the slit 5 for branching, the reflecting surface by the slit 5 for branching becomes effective again, and due to the large difference in refractive index between the core and the slit 5 for branching, all the light is emitted. The light is reflected and branched to the emission port 22 and the emission port 23 (light branching state). In this way, it is possible to switch between a state in which all the incident light is transmitted and a state in which the light is branched by moving the refractive index matching liquid in and out of the branch slit provided for the light branch. . Instead of the index matching liquid, gas or solid may be used.

【0015】[0015]

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば次の
よな効果を得ることができる。
As described above, according to the present invention, the following effects can be obtained.

【0016】(1)請求項1に記載の光導波路型分岐器
によれば、分岐用スリットと、導波路の配置を設定する
ことにより、所望の光分岐角度を得ることができる。特
に、分岐の原理に光の全反射を利用しているため、従来
の方式のものと比較して、分岐角度を大きくすることが
可能である。また、分岐角度を大きくすることができる
ので、分岐器のサイズを小さくできる。さらに、分岐用
スリットによる反射面の面積比により、光の分岐比を自
由に設定することができる。
(1) According to the optical waveguide type branching device of the first aspect, a desired optical branching angle can be obtained by setting the arrangement of the branching slit and the waveguide. In particular, since total reflection of light is used as the branching principle, it is possible to increase the branching angle as compared with the conventional method. Moreover, since the branch angle can be increased, the size of the branch device can be reduced. Further, the light splitting ratio can be freely set by the area ratio of the reflecting surface by the splitting slit.

【0017】(2)請求項2に記載の光導波路型分岐器
によれば、さらに入射した光をすべて透過させた状態
と、分岐した状態とにスイッチングすることができる。
(2) According to the optical waveguide branching device of the second aspect, it is possible to switch between a state where all the incident light is transmitted and a branching state.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の原理を説明するスリットを形成した光
導波路と、本発明の実施例による導波路型光分岐器の平
面図。
FIG. 1 is a plan view of an optical waveguide having slits for explaining the principle of the present invention and a waveguide type optical branching device according to an embodiment of the present invention.

【図2】本実施例による導波路型光分岐器の斜視図と断
面図。
FIG. 2 is a perspective view and a sectional view of a waveguide type optical branching device according to the present embodiment.

【図3】導波路型光分岐器にスイッチング機能を持たせ
た変形実施例を示す斜視図。
FIG. 3 is a perspective view showing a modified example in which a waveguide type optical branching device has a switching function.

【図4】従来の光導波路型スターカプラを示す斜視図。FIG. 4 is a perspective view showing a conventional optical waveguide type star coupler.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 光導波路 2 基板 3 コア 3A、3B、3C 岐路 4 クラッド 5 光分岐用スリット 6 導波路の分岐部 7 屈折率整合液体 11 入射口 12、13 出射口 21 入射口 22 出射口 23 出射口 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Optical waveguide 2 Substrate 3 Core 3A, 3B, 3C Branch 4 Cladding 5 Optical branching slit 6 Branching part of waveguide 7 Index matching liquid 11 Inlet port 12, 13 Outlet port 21 Inlet port 22 Outlet port 23 Outlet port

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】平面基板上に設けられ、光の伝搬するコア
がそれより低屈折率のクラッドで覆われた光導波路を有
し、該光導波路は少なくとも光の入射部としての枝路
と、光の出射部としての2つの枝路とを備え、これらの
枝路は互いにある分岐角度で分岐された導波路型光分岐
器において、上記光導波路が分岐する分岐部に、光の伝
搬方向と交差する方向に深さがコアの一部まで達して、
コアとの境界に屈折率差によって形成される光反射面を
形成する分岐用スリットが設けられ、該分岐用スリット
は上記分岐部においてそれぞれの枝路のコア内を伝搬す
る光路に対して、所望の分岐角度を得るために必要な角
度と、所望の分岐比を得るために必要な深さとをなすよ
うに設けられていることを特徴とする導波路型光分岐
器。
1. A light guide provided on a plane substrate, wherein a core for propagating light has an optical waveguide covered with a clad having a lower refractive index than the core, and the optical waveguide has at least a branch as an incident part of light. In a waveguide type optical branching device, which is provided with two branch paths as light emitting parts, and these branch paths are branched at a branching angle with respect to each other, a branching part where the optical waveguide branches is provided with a propagation direction of light. The depth reaches a part of the core in the intersecting direction,
A branching slit that forms a light reflecting surface formed by a refractive index difference is provided at the boundary with the core, and the branching slit has a desired optical path that propagates in the core of each branch at the branching portion. And a depth required to obtain a desired branching ratio, and a waveguide type optical branching device.
【請求項2】上記分岐用スリット内に枝路のコア間の屈
折率を整合させる物質を出し入れできるようにした請求
項1に記載の導波路型光分岐器。
2. The waveguide type optical branching device according to claim 1, wherein a material for matching the refractive index between the cores of the branch path can be put into and taken out from the slit for branching.
JP17553292A 1992-07-02 1992-07-02 Waveguide type optical branch unit Pending JPH0618731A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP17553292A JPH0618731A (en) 1992-07-02 1992-07-02 Waveguide type optical branch unit

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP17553292A JPH0618731A (en) 1992-07-02 1992-07-02 Waveguide type optical branch unit

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0618731A true JPH0618731A (en) 1994-01-28

Family

ID=15997721

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP17553292A Pending JPH0618731A (en) 1992-07-02 1992-07-02 Waveguide type optical branch unit

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0618731A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20150124073A (en) * 2014-04-25 2015-11-05 한국과학기술원 Three dimensional optical interconnecting structure using branched waveguides

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20150124073A (en) * 2014-04-25 2015-11-05 한국과학기술원 Three dimensional optical interconnecting structure using branched waveguides

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CA2560845C (en) Optical crossover in thin silicon
US6571039B1 (en) Optical waveguide having a weakly-confining waveguide section and a strongly-confining waveguide section optically coupled by a tapered neck
US6980720B2 (en) Mode transformation and loss reduction in silicon waveguide structures utilizing tapered transition regions
EP0938000B1 (en) Optical waveguide branch with reflector
JP3349950B2 (en) Wavelength demultiplexing circuit
JP3543121B2 (en) Optical waveguide connection structure
JP2000314815A (en) Compact optical waveguide
US5134672A (en) Optical waveguide type star coupler
US5757995A (en) Optical coupler
JP3434986B2 (en) Optical multiplexing / demultiplexing circuit
JPH08304664A (en) Wavelength demultiplexing element
US20080037936A1 (en) Silicon arrayed waveguide grating device for reducing effective refractive index variation of optical waveguide according to temperature
JP2850996B2 (en) Optical coupling device
US6510259B1 (en) Optical switch using an integrated Mach-Zehnder interferometer having a movable phase shifter and asymmetric arms
JP2008176145A (en) Planar light wave circuit
JPH0618731A (en) Waveguide type optical branch unit
JP2004191954A (en) Optical function element and optical module
JPH09184937A (en) Waveguide element
WO2023106167A1 (en) Optical connecting circuit device
JPH04346301A (en) Optical multiplexer/demultiplexer
JP2752848B2 (en) Manufacturing method of optical waveguide with interference filter
WO2004068206A1 (en) Optical waveguide and optical transmitting/receiving module
JP3764664B2 (en) Optical circuit
JPS6186713A (en) Optical coupling parts
JPH04319905A (en) Light branching/mixing equipment