JPH06186283A - Cooling controller for test head - Google Patents
Cooling controller for test headInfo
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- JPH06186283A JPH06186283A JP4343318A JP34331892A JPH06186283A JP H06186283 A JPH06186283 A JP H06186283A JP 4343318 A JP4343318 A JP 4343318A JP 34331892 A JP34331892 A JP 34331892A JP H06186283 A JPH06186283 A JP H06186283A
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- test head
- fan
- circuit board
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の技術分野】この発明は、クリーンルームの中な
どで温度を一定に制御してＩＣを測定する半導体試験装
置のテストヘッドにおいて、テストヘッドの電源がオン
／オフ時に発生する急激な温度の上昇、下降による部品
あるいは基板の故障を防ぐテストヘッドの冷却制御装置
についてのものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a test head of a semiconductor test apparatus for measuring IC by controlling the temperature to be constant in a clean room or the like, and a rapid temperature rise which occurs when the power of the test head is turned on / off. , A cooling control device for a test head that prevents a failure of a component or a substrate due to lowering.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来技術によるテストヘッドの冷却装置
の構成を図６に示す。図６の１はテストヘッド、３はエ
アダクト、５はファン付き誘導電動機、７はＡＣ電源、
２０はクリーンルームである。図６で、テストヘッド１
はＩＣを試験するための回路基板１１が内部に組み込ま
れている。回路基板１１が動作することにより発生する
熱を排熱するため、テストヘッド１は吸気口１Ａと排気
口１Ｂを備え、排気口１Ｂにエアダクト３の一端を取り
付け、エアダクト３の他の一端をファン付き誘導電動機
５に取り付ける。ファン付き誘導電動機５はＡＣ電源７
により駆動する。2. Description of the Related Art FIG. 6 shows the structure of a conventional test head cooling device. 6, 1 is a test head, 3 is an air duct, 5 is an induction motor with a fan, 7 is an AC power supply,
20 is a clean room. In FIG. 6, the test head 1
Has a circuit board 11 incorporated therein for testing the IC. In order to dissipate heat generated by the operation of the circuit board 11, the test head 1 has an intake port 1A and an exhaust port 1B, one end of the air duct 3 is attached to the exhaust port 1B, and the other end of the air duct 3 is attached to a fan. Attached to the induction motor 5 with. Induction motor with fan 5 has AC power supply 7
Driven by.
【０００３】クリーンルーム２０は室温が一定に制御さ
れており、テストヘッド１とエアダクト３とファン付き
誘導電動機５とＡＣ電源７はクリーンルーム２０内に配
置される。図６で、回路基板１１から発生した熱は、フ
ァン付き誘導電動機５を駆動することにより、テストヘ
ッド１の吸気口１Ａからクリーンルーム２０の室温の外
気を吸入し、排気口１Ｂからエアダクト３をとおってク
リーンルーム２０内に排熱される。The room temperature of the clean room 20 is controlled to be constant, and the test head 1, the air duct 3, the induction motor 5 with a fan, and the AC power source 7 are arranged in the clean room 20. In FIG. 6, the heat generated from the circuit board 11 drives the induction motor 5 with a fan to suck the outside air at room temperature in the clean room 20 from the intake port 1A of the test head 1 and the air duct 3 from the exhaust port 1B. The heat is exhausted into the clean room 20.
【０００４】次に、図６の動作を図７を参照して説明す
る。図７のアはテストヘッド１の電源のオン／オフの状
態を示したものであり、オンで回路基板１１が動作し、
オフで回路基板１１は動作を停止する。図７のイはファ
ン付き誘導電動機５のファン回転数を示したものであ
り、図７アのオン／オフに関係なく一定である。図７の
ウは回路基板１１の温度の状態を示したものであり、図
７アでテストヘッド１の電源がオンのとき、回路基板１
１の温度は安全動作上限温度以下に保持されている。テ
ストヘッド１の電源がオフになると、回路基板１１の温
度が低下し、テストヘッド１の電源が再びオンになる
と、回路基板１１の温度が上昇する。Next, the operation of FIG. 6 will be described with reference to FIG. FIG. 7A shows the ON / OFF state of the power supply of the test head 1. When the power is ON, the circuit board 11 operates,
When turned off, the circuit board 11 stops operating. 7A shows the number of rotations of the fan of the induction motor 5 with a fan, which is constant regardless of ON / OFF of FIG. 7A. FIG. 7C shows the temperature condition of the circuit board 11. When the power of the test head 1 is turned on in FIG.
The temperature of 1 is maintained below the safe operation upper limit temperature. When the power of the test head 1 is turned off, the temperature of the circuit board 11 is lowered, and when the power of the test head 1 is turned on again, the temperature of the circuit board 11 is raised.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】図６の構成では、テス
トヘッド１のオン／オフにかかわらず、ファン付き誘導
電動機５のファンの回転数は一定なので、テストヘッド
１がオンからオフになったときに、回路基板１１の温度
が急激に低下するため、回路基板１１上の部品が破損す
る場合がある。これにより、半導体試験機の稼働率を下
げることになる。In the configuration of FIG. 6, the test head 1 is switched from ON to OFF because the fan rotation speed of the induction motor 5 with fan is constant regardless of whether the test head 1 is ON or OFF. At this time, the temperature of the circuit board 11 suddenly drops, so that parts on the circuit board 11 may be damaged. As a result, the operating rate of the semiconductor testing machine is reduced.
【０００６】従来のテストヘッドの冷却装置は、テスト
ヘッド１１の電源のオン／オフや、テストヘッド１１の
発熱量の大小に応じて排熱風量を調整することは困難で
あった。この発明は、テストヘッドの電源オン／オフの
変化時、発熱量の大小に応じて排熱風量を任意に変化さ
せ、回路基板搭載部品の破損を防止し、半導体試験機の
稼働率及び信頼度を高くすることを目的とする。It has been difficult for the conventional test head cooling device to adjust the amount of exhaust hot air according to the ON / OFF of the power source of the test head 11 and the amount of heat generation of the test head 11. The present invention, when the power of the test head is turned on / off, arbitrarily changes the amount of exhausted hot air according to the amount of heat generation to prevent damage to components mounted on the circuit board, and to improve the operation rate and reliability of the semiconductor tester. The purpose is to raise.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、この発明では、ＩＣを試験する回路基板１１を備
え、冷却用の吸気口１Ａと排気口１Ｂをもつテストヘッ
ド１と、テストヘッド１の排気口１Ｂに一端を接続する
エアダクト３と、エアダクト３の他の一端を接続するフ
ァン付き誘導電動機５と、ファン付き誘導電動機５を駆
動するＡＣ電源７を備えるテストヘッドの冷却装置にお
いて、テストヘッド１内に配置され、回路基板１１の温
度変動を検出する温度負荷変動検出器２と、温度負荷変
動検出器２の出力を入力とし、出力に応じてファン付き
誘導電動機５のファンの回転数を制御する信号を出力す
る負荷変動／回転数変換制御回路４と、ＡＣ電源７の信
号を入力とし、負荷変動／回転数変換制御回路４の出力
信号により、ファン付き誘導電動機５に入力するＡＣ電
源７の周波数を可変するインバータ６を備える。In order to achieve this object, according to the present invention, there is provided a circuit board 11 for testing an IC, a test head 1 having a cooling intake port 1A and an exhaust port 1B, and a test head. 1. An air duct 3 having one end connected to the exhaust port 1B of No. 1, an induction motor 5 with a fan connecting the other end of the air duct 3, and an AC power supply 7 for driving the induction motor 5 with a fan. The temperature load fluctuation detector 2 which is arranged in the test head 1 and detects the temperature fluctuation of the circuit board 11 and the output of the temperature load fluctuation detector 2 are used as inputs, and the rotation of the fan of the induction motor 5 with a fan depends on the output. The load fluctuation / rotational speed conversion control circuit 4 that outputs a signal for controlling the number and the signal of the AC power supply 7 are input, and the output signal of the load fluctuation / rotational speed conversion control circuit 4 causes the fan An inverter 6 for varying the frequency of the AC power source 7 to be input to the induction motor 5 can.
【０００８】[0008]
【作用】次に、この発明によるテストヘッドの冷却装置
の構成を図１により説明する。図１の２は温度負荷変動
検出器、４は負荷変動／回転数変換制御回路、６はイン
バータであり、他は図６と同じである。図１で、温度負
荷変動検出器２はテストヘッド１の内部に配置され、テ
ストヘッド１の温度を検出する。Next, the structure of the test head cooling device according to the present invention will be described with reference to FIG. 2 is a temperature load fluctuation detector, 4 is a load fluctuation / rotational speed conversion control circuit, 6 is an inverter, and the others are the same as those in FIG. In FIG. 1, the temperature load variation detector 2 is arranged inside the test head 1 and detects the temperature of the test head 1.
【０００９】負荷変動／回転数変換制御回路４は温度負
荷変動検出器２の出力を入力とし、インバータ６に回転
制御信号を出力する。回転制御信号は電圧、電流あるい
はディジタル信号による。インバータ６はＡＣ電源７の
出力を入力とし、温度負荷変動検出器２の制御信号によ
り周波数変換されたＡＣ電源でファン付き誘導電動機５
を駆動する。The load fluctuation / rotation speed conversion control circuit 4 receives the output of the temperature load fluctuation detector 2 as an input and outputs a rotation control signal to the inverter 6. The rotation control signal is a voltage, current or digital signal. The inverter 6 receives the output of the AC power supply 7, and uses the AC power whose frequency is converted by the control signal of the temperature load change detector 2 as the induction motor 5 with a fan.
To drive.
【００１０】ＡＣ電源７によって駆動されるインバータ
６は、入力された回転制御信号の大小により出力周波数
が制御され、ファン付き誘導電動機５へ入力される。フ
ァン付き誘導電動機５は入力周波数の大小に比例して高
低速回転し、排熱量を制御してテストヘッド１内の回路
基板１１の急激な温度変化を抑制する。The output frequency of the inverter 6 driven by the AC power supply 7 is controlled by the magnitude of the input rotation control signal, and the output frequency is input to the induction motor 5 with a fan. The induction motor 5 with a fan rotates at a high speed and a low speed in proportion to the magnitude of the input frequency, and controls the amount of exhaust heat to suppress a rapid temperature change of the circuit board 11 in the test head 1.
【００１１】[0011]
【実施例】次に、図１の実施例の構成を図２に示す。図
２の４Ａはスイッチ、４Ｂは負荷変動／回転数変換制御
回路、１０は回路基板用電源であり、他は図１と同じで
ある。図２で、スイッチ４Ａは回路基板用電源１０の信
号を入力とし、ＩＣを試験するときにはオンと接続して
回路基板１１を駆動し、試験しないときはオフと接続す
る。EXAMPLE FIG. 2 shows the configuration of the example of FIG. 2A is a switch, 4B is a load fluctuation / rotational speed conversion control circuit, 10 is a circuit board power supply, and the others are the same as in FIG. In FIG. 2, the switch 4A receives the signal from the circuit board power supply 10 as an input, and is connected to ON to drive the circuit board 11 when testing the IC, and is connected to OFF when not testing.
【００１２】負荷変動／回転数変換制御回路４は内部に
スイッチ４Ｂが構成され、それぞれ高速回転信号１２と
低速回転信号１３が接続されている。スイッチ４Ａは負
荷変動／回転数変換制御回路４のスイッチ４Ｂと連動
し、スイッチ４Ａがオンのときスイッチ４Ｂは高速回転
信号１２と接続し、スイッチ４Ａがオフのときスイッチ
４Ｂは低速回転信号１３と接続する。インバータ６はデ
ジタル入力により出力周波数が制御され、ファン付き誘
導電動機５に入力する。The load fluctuation / rotation speed conversion control circuit 4 has a switch 4B therein, to which a high speed rotation signal 12 and a low speed rotation signal 13 are connected, respectively. The switch 4A is interlocked with the switch 4B of the load change / rotation speed conversion control circuit 4, the switch 4B is connected to the high speed rotation signal 12 when the switch 4A is on, and the switch 4B is connected to the low speed rotation signal 13 when the switch 4A is off. Connecting. The output frequency of the inverter 6 is controlled by a digital input and the output frequency is input to the induction motor 5 with a fan.
【００１３】図３では、図１の温度負荷変動検出器の機
能が、回路基板１１が駆動しているときは発熱量が多
く、駆動していないときは発熱量が少ないことを利用し
た、回路基板の駆動の有無を検出することにより代用さ
れている。In FIG. 3, the function of the temperature load fluctuation detector of FIG. 1 is that the amount of heat generated is large when the circuit board 11 is driven, and the amount of heat generated is small when the circuit board 11 is not driven. It is substituted by detecting whether or not the substrate is driven.
【００１４】次に、図２の動作を図３を参照して説明す
る。図３のアはテストヘッド１の電源のオン／オフ状態
を示したものである。図３アは図７アと同じである。図
３のイはファン付き誘導電動機５のファンの回転数を示
したものであり、図３アで電源がオフになるとともに、
ファンの回転数は高速から中速に切り替わり、電源がオ
フからオンに切り替わるとともに、ファンの回転数は中
速から高速に切り替わっている状態を示している。図３
のウは図３イのファン回転数が中速に切り替わるととも
に、回路基板１１の温度が降下し、ファン回転数が再び
高速に切り替わるとともに回路基板１１の温度が上昇し
ている状態を示している。Next, the operation of FIG. 2 will be described with reference to FIG. FIG. 3A shows the ON / OFF state of the power supply of the test head 1. FIG. 3A is the same as FIG. 7A. 3A shows the number of rotations of the fan of the induction motor 5 with a fan. When the power is turned off in FIG. 3A,
The rotation speed of the fan is switched from high speed to medium speed, the power is switched from off to on, and the rotation speed of the fan is switched from middle speed to high speed. Figure 3
3C shows that the fan rotation speed in FIG. 3A is switched to the medium speed, the temperature of the circuit board 11 is decreased, the fan rotation speed is switched to the high speed again, and the temperature of the circuit board 11 is increased. .
【００１５】図２で、テストヘッド１の電源がオフにな
るとともに、負荷変動／回転数変換制御回路４は中速回
転信号をインバータ６に入力し、ファン付き誘導電動機
５はファンの回転数が下がり、これにより排熱量が少な
くなるので、図３ウに示すように回路基板１１は徐々に
冷却され、部品の破損が防止される。In FIG. 2, when the power of the test head 1 is turned off, the load fluctuation / rotation speed conversion control circuit 4 inputs a medium speed rotation signal to the inverter 6, and the induction motor with fan 5 changes the rotation speed of the fan. As a result, the amount of exhaust heat is reduced, so that the circuit board 11 is gradually cooled as shown in FIG. 3C and damage to the components is prevented.
【００１６】次にこの発明の第２の実施例の構成を図４
に示す。図４の８はテストヘッド１の温度を検出して電
圧に変換する負荷変動検出回路、６は電圧変化入力によ
り出力周波数が変化するインバータ、９は電圧増幅器で
ある。図４で、負荷変動検出回路８は例えばサーミスタ
を使用する。サーミスタは、温度とともに電気抵抗が低
下する負特性を持っている。図４で、テストヘッド１１
内の回路基板１１に入力する電源がオフになると、負荷
変動検出回路８により出力された電圧は、インバータ６
に入力する。電圧増幅器９は、負荷変動検出回路８の出
力をインバータ６の制御入力レベルに増幅して出力す
る。Next, the configuration of the second embodiment of the present invention is shown in FIG.
Shown in. Reference numeral 8 in FIG. 4 is a load fluctuation detection circuit that detects the temperature of the test head 1 and converts it into a voltage, 6 is an inverter whose output frequency changes according to a voltage change input, and 9 is a voltage amplifier. In FIG. 4, the load change detection circuit 8 uses, for example, a thermistor. The thermistor has a negative characteristic that the electric resistance decreases with temperature. In FIG. 4, the test head 11
When the power input to the circuit board 11 therein is turned off, the voltage output by the load change detection circuit 8 is output to the inverter 6
To enter. The voltage amplifier 9 amplifies the output of the load variation detection circuit 8 to the control input level of the inverter 6 and outputs it.
【００１７】次に、図４の動作を図５を参照して説明す
る。図５のアはテストヘッド１の電源のオン／オフ状態
を示したものであり、図３アと同じである。図５のイは
ファン付き誘導電動機５のファンの回転数の状態を示し
ており、図５のウは回路基板１１の温度変化の状態を示
している。図５アで電源がオフになると、図５イで始め
はファンは高速回転を行っているが、図５ウで回路基板
１１の温度が下がるにつれ、図４の負荷変動検出回路８
は電気抵抗が増加し、この出力を電圧増幅器９で増幅し
てインバータ６に入力し、ファン付き誘導電動機５のフ
ァンの回転数を抑圧していくので、図３と同様に、回路
基板１１の温度は徐々に冷却され部品破損が防止でき
る。図４の構成では、温度制御サイクルがフィードバッ
クループに組入れられ、ファンの回転数を制御するの
で、連続的に制御することができる。Next, the operation of FIG. 4 will be described with reference to FIG. FIG. 5A shows the ON / OFF state of the power supply of the test head 1, which is the same as FIG. 3A. 5A shows the state of the number of rotations of the fan of the induction motor with fan 5, and FIG. 5C shows the state of the temperature change of the circuit board 11. When the power is turned off in FIG. 5A, the fan starts rotating at high speed in FIG. 5A, but as the temperature of the circuit board 11 decreases in FIG. 5C, the load change detection circuit 8 in FIG.
The electric resistance increases, and this output is amplified by the voltage amplifier 9 and input to the inverter 6 to suppress the rotation speed of the fan of the induction motor 5 with a fan. Therefore, as in FIG. The temperature is gradually cooled to prevent damage to parts. In the configuration of FIG. 4, the temperature control cycle is incorporated in the feedback loop to control the number of rotations of the fan, so that the temperature can be controlled continuously.
【００１８】[0018]
【発明の効果】この発明によれば、ファン付き誘導電動
機を駆動するためのＡＣ電源からの信号をインバータで
制御するように構成し、インバータに入力する信号は、
回路基板の温度により信号を出力する負荷変動検出器あ
るいは負荷変動／回転数変換制御回路を備えるので、テ
ストヘッドの電源がオン／オフした時の急激な温度変化
による回路基板上の部品破損発生を防ぐことができる。
また、インバータを備えていることにより様々な電源周
波数の地域で使用しても同じ冷却効果が得られる。According to the present invention, a signal from an AC power source for driving an induction motor with a fan is configured to be controlled by an inverter, and a signal input to the inverter is:
Equipped with a load fluctuation detector that outputs a signal depending on the temperature of the circuit board or a load fluctuation / rotation speed conversion control circuit, it is possible to prevent damage to parts on the circuit board due to rapid temperature changes when the test head power is turned on / off. Can be prevented.
In addition, since the inverter is provided, the same cooling effect can be obtained even when used in regions of various power supply frequencies.
【図１】この発明によるテストヘッドの冷却制御装置の
構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram of a test head cooling control apparatus according to the present invention.
【図２】この発明によるテストヘッドの冷却制御装置の
実施例の構成図である。FIG. 2 is a configuration diagram of an embodiment of a test head cooling controller according to the present invention.
【図３】図２の動作の説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram of the operation of FIG.
【図４】この発明によるテストヘッドの冷却制御装置の
他の実施例の構成図である。FIG. 4 is a configuration diagram of another embodiment of the test head cooling controller according to the present invention.
【図５】図４の動作の説明図である。5 is an explanatory diagram of the operation of FIG.
１ テストヘッド ３ エアダクト ４ 負荷変動／回転数変換制御回路 ５ ファン付き誘導電動機 ６ インバータ ７ ＡＣ電源 ８ 負荷変動検出回路 ９ 電圧増幅器 １０ 回路基板用電源 １１ 回路基板 ２０ クリーンルーム 1 Test Head 3 Air Duct 4 Load Fluctuation / Rotation Conversion Control Circuit 5 Induction Motor with Fan 6 Inverter 7 AC Power Supply 8 Load Fluctuation Detection Circuit 9 Voltage Amplifier 10 Circuit Board Power Supply 11 Circuit Board 20 Clean Room
─────────────────────────────────────────────────────
─────────────────────────────────────────────────── ───
【手続補正書】[Procedure amendment]
【提出日】平成５年１２月１７日[Submission date] December 17, 1993
【手続補正１】[Procedure Amendment 1]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】図面の簡単な説明[Name of item to be corrected] Brief description of the drawing
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]
【図１】この発明によるテストヘッドの冷却制御装置の
構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram of a test head cooling control apparatus according to the present invention.
【図２】この発明によるテストヘッドの冷却制御装置の
実施例の構成図である。FIG. 2 is a configuration diagram of an embodiment of a test head cooling controller according to the present invention.
【図３】図２の動作の説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram of the operation of FIG.
【図４】この発明によるテストヘッドの冷却制御装置の
他の実施例の構成図である。FIG. 4 is a configuration diagram of another embodiment of the test head cooling controller according to the present invention.
【図５】図４の動作の説明図である。5 is an explanatory diagram of the operation of FIG.
【図６】従来技術によるテストヘッドの構成図である。FIG. 6 is a configuration diagram of a test head according to a conventional technique.
【図７】図６の動作の説明図である。7 is an explanatory diagram of the operation of FIG.
【符号の説明】 １ テストヘッド ３ エアダクト ４ 負荷変動／回転数変換制御回路 ５ ファン付き誘導電動機 ６ インバータ ７ ＡＣ電源 ８ 負荷変動検出回路 ９ 電圧増幅器 １０ 回路基板用電源 １１ 回路基板 ２０ クリーンルーム[Explanation of symbols] 1 test head 3 air duct 4 load fluctuation / rotation speed conversion control circuit 5 fan induction motor 6 inverter 7 AC power supply 8 load fluctuation detection circuit 9 voltage amplifier 10 circuit board power supply 11 circuit board 20 clean room
Claims (1)
却用の吸気口(1A)と排気口(1B)をもつテストヘッド(1)
と、テストヘッド(1) の排気口(1B)に一端を接続するエ
アダクト(3) と、エアダクト(3) の他の一端を接続する
ファン付き誘導電動機(5) と、ファン付き誘導電動機
(5) を駆動するＡＣ電源(7) を備えるテストヘッドの冷
却装置において、 テストヘッド(1) 内に配置され、回路基板(11)の温度変
動を検出する温度負荷変動検出器(2) と、 温度負荷変動検出器(2) の出力を入力とし、出力に応じ
てファン付き誘導電動機(5) のファンの回転数を制御す
る信号を出力する負荷変動／回転数変換制御回路(4)
と、 ＡＣ電源(7) の信号を入力とし、負荷変動／回転数変換
制御回路(4) の出力信号により、ファン付き誘導電動機
(5) に入力するＡＣ電源(7) の周波数を可変するインバ
ータ(6) を備えることを特徴とするテストヘッドの冷却
制御装置。1. A test head (1) comprising a circuit board (11) for testing an IC and having an inlet (1A) and an outlet (1B) for cooling.
And an air duct (3) that connects one end to the exhaust port (1B) of the test head (1), an induction motor with a fan (5) that connects the other end of the air duct (3), and an induction motor with a fan.
In a test head cooling device equipped with an AC power supply (7) for driving (5), a temperature load fluctuation detector (2) arranged in the test head (1) for detecting temperature fluctuations of the circuit board (11) , Load fluctuation / rotation speed conversion control circuit (4) that receives the output of the temperature load fluctuation detector (2) and outputs a signal to control the fan speed of the induction motor with fan (5) according to the output
And the signal from the AC power supply (7) as input and the output signal from the load fluctuation / rotation speed conversion control circuit (4), the induction motor with fan
A cooling controller for a test head, comprising an inverter (6) for varying the frequency of an AC power source (7) input to (5).
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4343318A JPH06186283A (en) | 1992-11-30 | 1992-11-30 | Cooling controller for test head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4343318A JPH06186283A (en) | 1992-11-30 | 1992-11-30 | Cooling controller for test head |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06186283A true JPH06186283A (en) | 1994-07-08 |
Family
ID=18360597
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4343318A Pending JPH06186283A (en) | 1992-11-30 | 1992-11-30 | Cooling controller for test head |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06186283A (en) |
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