JPH06186199A - Carbon dioxide sensor element of solid-electrolyte type - Google Patents

Carbon dioxide sensor element of solid-electrolyte type

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JPH06186199A
JPH06186199A JP4339209A JP33920992A JPH06186199A JP H06186199 A JPH06186199 A JP H06186199A JP 4339209 A JP4339209 A JP 4339209A JP 33920992 A JP33920992 A JP 33920992A JP H06186199 A JPH06186199 A JP H06186199A
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carbon dioxide
sensor
sensor element
electrode
sensitivity
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一成 兼安
Takeshi Nakahara
毅 中原
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Abstract

PURPOSE:To provide an element whose working temperature is remarkably reduced in comparison with a conventional sensor element, and of superior sensitivity and responsiveness. CONSTITUTION:In this element, electrode layers 7 are disposed respectively on both surfaces of solid-electrolyte layer 9, an auxiliary electrode 8 is provided on at least one of electrode layers 7, and detecting electrodes are formed. The auxiliary electrode is made of a carbonate selected from Bi2(CO3)O2, Ag2CO3, La2(CO3)3 and CuCO3. In the sensor element, heaters 2 are provided to the electrode layer 7, and each electrode layer 7 is connected to a detector 6 and used as a sensor.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、雰囲気中の二酸化炭素
を検知することが可能な新規な固体電解質型二酸化炭素
センサ素子(以下、単に「センサ素子」ともいう)に関
する。詳しくは、従来のセンサ素子に比べて作動温度が
著しく低減され、且つ感度、応答性能に優れた固体電解
質型二酸化炭素センサ素子である。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a novel solid electrolyte type carbon dioxide sensor element (hereinafter also simply referred to as "sensor element") capable of detecting carbon dioxide in an atmosphere. More specifically, it is a solid electrolyte type carbon dioxide sensor element which has a significantly lower operating temperature than conventional sensor elements and which has excellent sensitivity and response performance.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より燃焼制御、植物の育成管理、発
酵管理、環境制御あるいは医療診断など様々な分野にお
いて、雰囲気中の二酸化炭素の測定が行われている。二
酸化炭素の測定には赤外線吸収式やガラス電極式が主に
用いられてきたが、装置が大型、高価でメンテナンスが
必要であるといった問題点が指摘されてきた。このた
め、小型、簡便で安価な二酸化炭素センサとして固体電
解質の起電力変化を利用したセンサが提案されている。
固体電解質型二酸化炭素センサ(以下、単に「センサ」
ともいう)は、一般にイオン導伝性を有する固体電解質
の両面に電極層を形成し、一方の電極層に補助電極とし
て雰囲気中の二酸化炭素との間で解離平衡を有する金属
炭酸塩を設けて検知極を構成したセンサ素子を用いて構
成されている。
2. Description of the Related Art Conventionally, carbon dioxide in the atmosphere has been measured in various fields such as combustion control, plant growth control, fermentation control, environmental control or medical diagnosis. Infrared absorption type and glass electrode type have been mainly used for measuring carbon dioxide, but it has been pointed out that the device is large and expensive and requires maintenance. Therefore, a sensor that utilizes the change in electromotive force of the solid electrolyte has been proposed as a small-sized, simple, and inexpensive carbon dioxide sensor.
Solid electrolyte type carbon dioxide sensor (hereinafter, simply “sensor”)
(Also referred to as), generally, an electrode layer is formed on both sides of a solid electrolyte having ion conductivity, and one electrode layer is provided with a metal carbonate having dissociation equilibrium with carbon dioxide in the atmosphere as an auxiliary electrode. It is configured using a sensor element that constitutes a detection pole.

【0003】例えば、特開昭60ー256043によれ
ば固体電解質にはナトリウムイオン導伝体であるβ―A
23またはNa1+xZrSix3ーx12(但しxは0
〜3で、一般にNASICONと呼ばれる)、補助電極
としては固体電解質の可動イオンと同一の元素の炭酸塩
であるNa2CO3が用いられていた。前記構成よりなる
センサ素子を二酸化炭素を含む雰囲気中におくと、下記
(1)で示されるネルンストの式に従う起電力が二つの
電極間に発生し、この起電力を検出することにより二酸
化炭素の濃度が測定できる。
For example, according to Japanese Patent Laid-Open No. 60-256043, β-A which is a sodium ion conductor is used as a solid electrolyte.
l 2 O 3 or Na 1 + x ZrSi x P 3 -x O 12 (where x is 0
3 to 3), generally referred to as NASICON), and Na 2 CO 3, which is a carbonate of the same element as the mobile ions of the solid electrolyte, was used as the auxiliary electrode. When the sensor element having the above structure is placed in an atmosphere containing carbon dioxide, an electromotive force according to the Nernst equation shown in (1) below is generated between the two electrodes, and the electromotive force of carbon dioxide is detected by detecting this electromotive force. The concentration can be measured.

【0004】 EMF=C−RT/nF・ln[CO2] (1) ここでEMFはセンサ素子の起電力、Cは定数、Rは気
体定数、Tはセンサ素子の温度、nは反応次数、Fはフ
ァラディー定数および[CO2]は雰囲気中の二酸化炭
素の濃度である。
EMF = C−RT / nF · ln [CO 2 ] (1) where EMF is the electromotive force of the sensor element, C is a constant, R is a gas constant, T is the temperature of the sensor element, and n is the reaction order. F is the Faraday constant and [CO 2 ] is the concentration of carbon dioxide in the atmosphere.

【0005】しかしながら、二酸化炭素を(1)式に従
って検出するためには、補助電極に用いるNa2CO3
二酸化炭素の間の解離平衡反応が速やかに進行する必要
がある。そのため、上記酸化炭素センサにあっては、セ
ンサ素子を補助電極の分解温度に近い温度に加熱する必
要があった。上記のNa2CO3は酸化物への分解温度が
851℃であり、Na2CO3と二酸化炭素の間の解離平
衡反応が速やかに進行させるためには、一般に500℃
程度に加熱して使用することが必要であるとされてい
た。
However, in order to detect carbon dioxide according to the equation (1), it is necessary that the dissociation equilibrium reaction between Na 2 CO 3 used for the auxiliary electrode and carbon dioxide should proceed rapidly. Therefore, in the carbon oxide sensor, it is necessary to heat the sensor element to a temperature close to the decomposition temperature of the auxiliary electrode. The above Na 2 CO 3 has a decomposition temperature of 851 ° C. into an oxide, and generally 500 ° C. in order to promptly proceed the dissociation equilibrium reaction between Na 2 CO 3 and carbon dioxide.
It was said that it was necessary to heat it to a certain degree before use.

【0006】また、補助電極として、固体電解質の可動
イオンとは異なった元素の炭酸塩、例えば、Li2CO3
やSrCO3あるいはBaCO3などを用いる試みが、1
986年発行のJ Mater.Sci.Lett.5
巻、285頁の報告に見られる。
Further, as an auxiliary electrode, a carbonate of an element different from the mobile ions of the solid electrolyte, for example, Li 2 CO 3
Attempts to use SrCO 3 or BaCO 3 etc.
Published by J Mater. Sci. Lett. 5
Vol. 285, see report.

【0007】しかしながら、上記いずれの金属炭酸塩
も、Na2CO3と同様、分解温度が高く、補助電極とし
て作動させるには、センサ素子を高温に加熱する必要が
あった。例えば、分解温度が618℃と比較的低いLi
2CO3においても、充分な二酸化炭素感度を得るにはセ
ンサ素子を450℃程度に加熱する必要があった。
However, any of the above metal carbonates, like Na 2 CO 3 , has a high decomposition temperature, and it was necessary to heat the sensor element to a high temperature in order to operate it as an auxiliary electrode. For example, Li having a relatively low decomposition temperature of 618 ° C.
Even with 2 CO 3 , it was necessary to heat the sensor element to about 450 ° C. in order to obtain sufficient carbon dioxide sensitivity.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】上述のように、センサ
素子を高温で作動させると、センサを加熱するためのヒ
ーターの消費電力が大きくなるために乾電池駆動等によ
る携帯型への応用が困難である。また、センサを構成す
る部材にも高い耐熱性が要求されるといった問題点があ
った。さらに長期間の使用においてセンサのCO2感度
やヒーターの劣化が早く進行してしまうといった問題も
有していた。
As described above, when the sensor element is operated at a high temperature, the power consumption of the heater for heating the sensor becomes large, which makes it difficult to apply it to a portable type driven by a dry battery or the like. is there. Further, there is a problem that the members constituting the sensor are also required to have high heat resistance. Further, there was a problem that the CO 2 sensitivity of the sensor and the deterioration of the heater proceeded rapidly during long-term use.

【0009】従って、低温で作動するセンサ素子の開発
が望まれる。
Therefore, it is desired to develop a sensor element that operates at a low temperature.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】本発明者は、かかる特性
を有するセンサ素子を開発すべく研究を重ねた結果、分
解温度の低い炭酸塩の中から選ばれた特定の炭酸塩を補
助電極として用いることにより低温で作動し、しかも、
感度、応答性能に優れたセンサ素子が得られることを見
い出し、本発明を提案するに至った。即ち、本発明は、
固体電解質層の両面にそれぞれ電極層を有し、該電極層
の少なくとも一方に補助電極を設けて検知電極を構成し
た固体電解質型二酸化炭素センサ素子において、補助電
極がBi2(CO3)O2、Ag2CO3、La2(CO33
及びCuCO3より選ばれた炭酸塩よりなることを特徴
とする固体電解質型二酸化炭素センサ素子である。
As a result of repeated research to develop a sensor element having such characteristics, the present inventor has used a specific carbonate selected from carbonates having a low decomposition temperature as an auxiliary electrode. When used, it operates at low temperature, and
It has been found that a sensor element having excellent sensitivity and response performance can be obtained, and the present invention has been proposed. That is, the present invention is
In a solid electrolyte type carbon dioxide sensor element having electrode layers on both sides of a solid electrolyte layer and at least one of the electrode layers provided with an auxiliary electrode to form a detection electrode, the auxiliary electrode is Bi 2 (CO 3 ) O 2 , Ag 2 CO 3 , La 2 (CO 3 ) 3
And a carbonate selected from CuCO 3 and a solid electrolyte type carbon dioxide sensor element.

【0011】本発明にかかるセンサ素子の代表的な構造
を図1に示す。
A typical structure of a sensor element according to the present invention is shown in FIG.

【0012】本発明において、固体電解質層9の材質
は、センサ素子に適用可能な公知の固体状のイオン伝導
体が特に制限なく使用される。例えば、ナトリウム、リ
チウム等のイオン導伝性を有するNASICON、β―
Al23、β−Ga23、Li16ー2xZnx(GeO44
(但しxは0≦x<8で、一般にLISICONと呼ば
れる)、Li4GeO4―Li3VO4等が挙げられる。そ
のうちイオン伝導度の大きいNASICON、β―Al
23、LISICONが特に好適である。
In the present invention, as the material of the solid electrolyte layer 9, a known solid ion conductor applicable to the sensor element is used without particular limitation. For example, NASICON, β- having ion conductivity of sodium, lithium, etc.
Al 2 O 3 , β-Ga 2 O 3 , Li 16-2x Zn x (GeO 4 ) 4
(Where x is 0 ≦ x <8 and is generally called LISON), Li 4 GeO 4 —Li 3 VO 4, and the like. Among them, NASICON and β-Al with high ionic conductivity
2 O 3 and LISICON are particularly suitable.

【0013】上記固体電解質層は、かかるイオン導伝物
質をそのイオン導伝性を阻害しない成形法、例えば、焼
結等の手段により一般に成形される。また、その形状も
公知の形状が特に制限なく採用されるが、偏平なチップ
状のような形状に成形して構成されるのが一般的であ
る。
The solid electrolyte layer is generally formed by a molding method that does not impair the ion conductivity of the ion conductive material, for example, by a means such as sintering. A known shape is also adopted without particular limitation, but it is generally formed by molding into a flat chip-like shape.

【0014】本発明において、上記固体電解質9の両面
には、電極7がそれぞれ独立して存在するように設けら
れる。該電極は、導電物質で構成されていればよく、そ
れぞれを同種の導電物質で構成してもよいし、または異
種の導電物質で構成してもよい。好ましい導電物質とし
ては、例えば、白金、金、銀、パラジウム、ロジウム等
の貴金属類及びそれらの酸化物、一般式La1ーxSrx
3(但しBはCo、Cu、Fe、Ni等の元素を表
し、xは0.01〜0.5の数)等で表される導電性ペ
ロブスカイト型酸化物、上記貴金属と金属酸化物を混合
した複合組成物などが挙げられる。
In the present invention, the electrodes 7 are provided on both surfaces of the solid electrolyte 9 so as to be independently present. It suffices that the electrodes are made of a conductive material, and the electrodes may be made of the same kind of conductive material or different kinds of conductive materials. Preferable conductive materials include, for example, noble metals such as platinum, gold, silver, palladium, rhodium and oxides thereof, and the general formula La 1-x Sr x B
0 3 (wherein B represents an element such as Co, Cu, Fe, and Ni, and x is a number of 0.01 to 0.5) and the like, and the above noble metal and metal oxide are used. Examples include mixed composite compositions.

【0015】上記電極7の形成は、特に制限されない。
一般には、スクリーン印刷により上記物質と結合材より
なるペーストを印刷後、脱脂、焼結して形成する方法、
スパッタリング法により形成する方法、イオンプレーテ
ィング法によって形成する方法、蒸着法によって形成す
る方法等が採用される。
The formation of the electrode 7 is not particularly limited.
Generally, a method of forming by degreasing and sintering after printing a paste comprising the above substance and a binder by screen printing,
A method of forming by a sputtering method, a method of forming by an ion plating method, a method of forming by an evaporation method, or the like is adopted.

【0016】上記電極層9の厚みは、特に制限されるも
のではないが、一般に0.5〜20μm程度が好適であ
る。
The thickness of the electrode layer 9 is not particularly limited, but generally 0.5 to 20 μm is preferable.

【0017】本発明において、補助電極8の材質は、B
2(CO3)O2、Ag2CO3、La2(CO33及びC
uCO3より選ばれる特定の炭酸塩のうち、1種、また
は2種以上を混合したものが形成される。
In the present invention, the material of the auxiliary electrode 8 is B
i 2 (CO 3 ) O 2 , Ag 2 CO 3 , La 2 (CO 3 ) 3 and C
Among the specific carbonates selected from uCO 3 , one kind or a mixture of two or more kinds is formed.

【0018】即ち、本発明者らは、補助電極を構成する
物質とセンサ素子の特性について種々の実験を行った結
果、上記の炭酸塩を補助電極として用いた場合、センサ
素子の低温作動性に優れるばかりでなく、センサ素子の
二酸化炭素に対する感度、応答性においても、高い特性
を有することを見い出したのである。
That is, the inventors of the present invention conducted various experiments on the properties of the substance forming the auxiliary electrode and the sensor element, and as a result, when the above carbonate was used as the auxiliary electrode, the low temperature operability of the sensor element was found. It has been found that not only is excellent, but also the sensor element has high characteristics in sensitivity and responsiveness to carbon dioxide.

【0019】補助電極8を設ける態様としては、少なく
とも、電極7と共に固体電解質層9に接触するように形
成されるものであれば、特に制限はない。例えば、図1
に示すように、電極7が固体電解質層9上に形成されて
いる場合、補助電極層9は、電極層7の表面を覆うと共
に、固体電解質層9にも接するように形成される。
The form of providing the auxiliary electrode 8 is not particularly limited as long as it is formed so as to come into contact with the solid electrolyte layer 9 together with the electrode 7. For example, in FIG.
As shown in, when the electrode 7 is formed on the solid electrolyte layer 9, the auxiliary electrode layer 9 is formed so as to cover the surface of the electrode layer 7 and also contact the solid electrolyte layer 9.

【0020】上記電極層の形成方法は、特に制限されな
い。一般に、炭酸塩のスラリー溶液を電極層表面に含浸
後、焼成する方法、炭酸塩をテレピネオール等でペース
ト化し、これを電極層上に、固体電解質層に一部をかけ
て印刷した後、焼成する方法等が挙げられる。
The method of forming the electrode layer is not particularly limited. In general, a method of impregnating the surface of the electrode layer with a slurry solution of carbonate and then firing, forming a paste of carbonate with terpineol, etc., printing a part of this on the solid electrolyte layer on the electrode layer, and then firing Methods and the like.

【0021】また、補助電極8を設ける他の態様とし
て、前記導電物質と炭酸塩とを混合焼結し、電極層中に
補助電極を分散して存在させる態様も採用することがで
きる。この場合、電極を構成する導電材料として、該補
助電極の材質である炭酸温より低い温度で焼結可能なも
のを選択して使用することが必要である。かかる態様に
おいて、補助電極である炭酸塩は、少なくとも固体電解
質層との界面において、91〜97.5重量%の濃度を
有することが好ましく、その他の部分は、該濃度より低
い割合で炭酸塩の存在量を制御することが更に好まし
い。
As another mode of providing the auxiliary electrode 8, a mode in which the conductive material and the carbonate are mixed and sintered so that the auxiliary electrode is dispersed and present in the electrode layer can also be adopted. In this case, it is necessary to select and use, as the conductive material forming the electrode, a conductive material that can be sintered at a temperature lower than the carbon dioxide temperature that is the material of the auxiliary electrode. In such an embodiment, the carbonate serving as the auxiliary electrode preferably has a concentration of 91 to 97.5% by weight at least at the interface with the solid electrolyte layer, and the other portions have a concentration lower than the concentration. It is more preferable to control the amount present.

【0022】本発明のセンサ素子を使用して構成される
センサの構造は、上記したセンサ素子の構成を満足する
ものであれば、その構成の態様は特に制限されない。
The structure of the sensor formed by using the sensor element of the present invention is not particularly limited as long as the structure of the sensor element described above is satisfied.

【0023】例えば、二酸化炭素の検知方式としては、
図1に示すように、補助電極を一方の電極のみに設けて
検知電極とし、もう一方の電極を参照電極とする態様、
補助電極を両方の電極に設けた態様が挙げられる。上記
の補助電極を一方の電極のみに設けた態様は、他方の電
極を接触雰囲気に対して特に封止する必要はなく、二酸
化炭素雰囲気にセンサ素子を置くことにより使用するこ
とができる。また、両方の電極に補助電極を設けた態様
は、検知電極としようとする電極を二酸化炭素雰囲気に
接触させ、他方の電極をガラス等の封止材により封止す
るか、あるいは一定の二酸化炭素濃度を有する基準ガス
雰囲気に接触させることにより使用することができる。
For example, as a carbon dioxide detection method,
As shown in FIG. 1, a mode in which an auxiliary electrode is provided only on one electrode to serve as a detection electrode and the other electrode serves as a reference electrode,
A mode in which an auxiliary electrode is provided on both electrodes can be mentioned. In the mode in which the auxiliary electrode is provided only on one electrode, it is not necessary to seal the other electrode against the contact atmosphere, and the sensor element can be used by placing it in a carbon dioxide atmosphere. In addition, in the mode in which the auxiliary electrode is provided on both electrodes, the electrode to be the detection electrode is brought into contact with a carbon dioxide atmosphere, and the other electrode is sealed with a sealing material such as glass, or a fixed carbon dioxide is used. It can be used by contacting it with a reference gas atmosphere having a concentration.

【0024】従って、上記態様の中より、測定方式、用
途等に応じて適宜選択すれば良い。
Therefore, it may be appropriately selected from the above-mentioned modes according to the measuring method, the application, and the like.

【0025】また、センサ素子には、これを作動温度に
加熱するための加熱手段が設けられる。かかる加熱手段
としては、ガスセンサ外部の熱源からの放射によって加
熱してもよいし、これにヒーターを直接取り付けて加熱
してもよい。図1に示す態様は、前者の態様であり、支
持台としてのアルミナ基板3の上に白金ペースト等発熱
体形成材料をスクリーン印刷して焼成したヒーター2に
電源1より直流あるいは交流の電圧を印加する態様を示
す。ガスセンサへのヒーターの装着位置は、ガスセンサ
の作動を阻害しない位置であれば特に制限されない。図
1の態様にあっては、ヒーターを取り付けるアルミナ基
板をシール部の一部として使用されている。
Further, the sensor element is provided with heating means for heating the sensor element to an operating temperature. As such heating means, heating may be performed by radiation from a heat source outside the gas sensor, or a heater may be directly attached to this for heating. The embodiment shown in FIG. 1 is the former embodiment, in which a DC voltage or an AC voltage is applied from a power source 1 to a heater 2 obtained by screen-printing and heating a heating element forming material such as platinum paste on an alumina substrate 3 as a support. The mode which does is shown. The position where the heater is attached to the gas sensor is not particularly limited as long as it does not hinder the operation of the gas sensor. In the embodiment of FIG. 1, the alumina substrate to which the heater is attached is used as a part of the seal portion.

【0026】本発明のセンサ素子は、使用する炭酸塩に
応じて多少の違いがあるが、一般に100〜300℃の
範囲に加熱することにより良好に作動する。
The sensor element of the present invention generally works well by heating it in the range of 100 to 300 ° C., although there are some differences depending on the carbonate used.

【0027】さらに、本発明において、測定しようとす
る雰囲気中にトルエンや酢酸エチルあるいはエタノール
などの有機ガスが共存する場合には、有機ガスを除去す
るためのフィルターを用いても良い。該フィルターとし
ては公知のものが何等制限なく使用できる。
Further, in the present invention, when an organic gas such as toluene, ethyl acetate or ethanol coexists in the atmosphere to be measured, a filter for removing the organic gas may be used. As the filter, known filters can be used without any limitation.

【0028】本発明のセンサ素子を使用したセンサは、
導線5によりそれぞれの電極と電圧計等の検出器6を電
気的に接続してされる。図1のセンサにおいて、雰囲気
の炭酸ガス濃度が変化することにより、二酸化炭素と解
離平衡を有する補助電極8の炭酸塩のカチオン濃度に変
化が生じ、これによって、固体電解質9の両面における
可動イオンの活量が変化し、この変化を電極7の間にお
ける起電力変化として現れる。そして、この電圧の変化
を直接或いは間接的に、電圧計等の検出器6で検出する
ことにより雰囲気の炭酸ガス濃度が測定される。上記し
た構成の二酸化炭素センサは参照ガスを必要とせず小型
で単純な構造を有するという特徴を持つ。
A sensor using the sensor element of the present invention is
Each electrode is electrically connected to a detector 6 such as a voltmeter by a conductive wire 5. In the sensor of FIG. 1, a change in the carbon dioxide concentration of the atmosphere causes a change in the cation concentration of the carbonate of the auxiliary electrode 8 having a dissociation equilibrium with carbon dioxide, which causes the mobile ions on both sides of the solid electrolyte 9 to change. The activity changes, and this change appears as a change in electromotive force between the electrodes 7. Then, the concentration of carbon dioxide gas in the atmosphere is measured by directly or indirectly detecting the change in the voltage with the detector 6 such as a voltmeter. The carbon dioxide sensor having the above-described configuration has a feature that it does not require a reference gas and has a small size and a simple structure.

【0029】[0029]

【発明の効果】本発明の二酸化炭素センサは、300℃
以下という低い温度においても、雰囲気の二酸化炭素を
高感度で、且つ良好な応答性をもって精度良く測定でき
るという特徴を有する。また、かかる低温で二酸化炭素
を検出できるため、従来から公知のアルカリ金属炭酸塩
やアルカリ土類金属炭酸塩を参照電極に用いたセンサに
対して、より大幅な消費電力の低減が可能となる。ま
た、センサを構成する部材にも高い耐熱性が要求される
といった問題点も解消され、さらに長期間の使用におい
てセンサのCO2感度やヒーターの劣化も防止すること
が可能である。
The carbon dioxide sensor of the present invention is 300 ° C.
It is characterized in that carbon dioxide in the atmosphere can be measured with high sensitivity and good responsiveness and accuracy even at a low temperature such as below. Further, since carbon dioxide can be detected at such a low temperature, it is possible to further reduce power consumption as compared with a sensor using a conventionally known alkali metal carbonate or alkaline earth metal carbonate as a reference electrode. In addition, the problem that high heat resistance is required for the members constituting the sensor is also solved, and it is possible to prevent the CO 2 sensitivity of the sensor and the deterioration of the heater during long-term use.

【0030】[0030]

【発明の作用】本発明のセンサ素子において、補助電極
としてBi2(CO3)O2、Ag2CO3、La2(C
33、CuCO3を用いることにより上記効果を発揮
する機構は明らかではないが、上記の炭酸塩の分解温度
が低いことと、該炭酸塩が炭酸塩から酸化物への分解が
非常に早い速度で起こるという特性とによる何らかの作
用により、上記した優れた特性を発揮するものであると
推定している。
In the sensor element of the present invention, as auxiliary electrodes, Bi 2 (CO 3 ) O 2 , Ag 2 CO 3 , La 2 (C
The mechanism by which O 3 ) 3 and CuCO 3 exert the above-mentioned effect is not clear, but the decomposition temperature of the above-mentioned carbonate is low, and the decomposition of the carbonate into an oxide is extremely high. It is presumed that the above-mentioned excellent characteristics are exhibited by some action due to the characteristics that they occur at a high speed.

【0031】[0031]

【実施例】本発明を具体的に説明するために以下の実施
例を挙げて説明するが、本発明はこれらの実施例に限定
されるものではない。
EXAMPLES The present invention will be described with reference to the following examples in order to specifically describe the present invention, but the present invention is not limited to these examples.

【0032】実施例1 図1に示すような構造の二酸化炭素センサを作製した。
固体電解質9はNASICONの粉末を成型、焼結して
得られた直径約5mm、厚さ約0.7mmの円盤状の焼
結体を用いた。その両面の電極7は白金ペーストをスク
リーン印刷、乾燥後、800℃で焼き付けすることによ
り形成した。電極7には白金線よりなる導線5が取り付
けられている。一方の電極上には補助電極8としてBi
2(CO3)O2を、テレピネオールに5wt.(重量)
%のエチルセルロースを溶解させたビヒクルでペースト
化したものをスクリーン印刷、乾燥後、300℃で焼成
することにより形成し、センサ素子を作成した。もう一
方の電極側には、アルミナ基板3の上に白金ペーストで
ヒーター2をスクリーン印刷により形成したものを、ガ
ラスよりなる封止材4により接合した。センサはヒータ
ー2に電源1より直流電圧を印可し300℃に加熱して
使用した。
Example 1 A carbon dioxide sensor having a structure as shown in FIG. 1 was produced.
As the solid electrolyte 9, a disk-shaped sintered body having a diameter of about 5 mm and a thickness of about 0.7 mm obtained by molding and sintering NASICON powder was used. The electrodes 7 on both sides were formed by screen-printing a platinum paste, drying and baking at 800 ° C. A lead wire 5 made of a platinum wire is attached to the electrode 7. Bi is used as the auxiliary electrode 8 on one of the electrodes.
2 (CO 3 ) O 2 was added to terpineol in an amount of 5 wt. (weight)
A sensor element was prepared by screen-printing, drying, and baking at 300 ° C. what was made into a paste with a vehicle in which 1% ethyl cellulose was dissolved. On the other electrode side, a heater 2 formed by screen printing with a platinum paste on an alumina substrate 3 was joined with a sealing material 4 made of glass. The sensor was used by applying a DC voltage from the power source 1 to the heater 2 and heating it to 300 ° C.

【0033】センサの二酸化炭素ガスに対する感度は、
センサを大気中の二酸化炭素濃度にほぼ等しい350p
pm雰囲気に放置し、その後雰囲気の二酸化炭素濃度を
30350ppmまで変化させた場合のセンサの起電力
変化を電圧計よりなる検出器6によって測定することで
評価した。なお、感度は二酸化炭素濃度350ppm中
でのセンサの起電力から測定ガス雰囲気でのセンサの起
電力を引いた値で示した。
The sensitivity of the sensor to carbon dioxide gas is
Sensor is 350p which is almost equal to carbon dioxide concentration in the atmosphere
It was evaluated by measuring the change in the electromotive force of the sensor when the carbon dioxide concentration in the atmosphere was changed to 30350 ppm by measuring with a detector 6 including a voltmeter. The sensitivity is indicated by a value obtained by subtracting the electromotive force of the sensor in the measurement gas atmosphere from the electromotive force of the sensor in the carbon dioxide concentration of 350 ppm.

【0034】上記センサ素子の各種二酸化炭素濃度に対
する起電力および感度の関係を表1に示した。起電力は
二酸化炭素濃度の増加と共に減少した。図2には、かか
る二酸化炭素濃度と感度の関係を示したが、感度は二酸
化炭素濃度の増加と共に増大し、二酸化炭素濃度の対数
に比例することがわかった。この結果より、本二酸化炭
素センサは作動温度が300℃という比較的低い温度で
あっても、図2を検量線として用いれば起電力を測定す
ることにより雰囲気の二酸化炭素濃度を検出することが
可能であることが明らかとなった。
Table 1 shows the relationship between the electromotive force and the sensitivity of the sensor element with respect to various carbon dioxide concentrations. The electromotive force decreased with the increase of carbon dioxide concentration. FIG. 2 shows the relationship between the carbon dioxide concentration and the sensitivity. It was found that the sensitivity increased with an increase in the carbon dioxide concentration and was proportional to the logarithm of the carbon dioxide concentration. From this result, this carbon dioxide sensor can detect the carbon dioxide concentration in the atmosphere by measuring the electromotive force by using FIG. 2 as a calibration curve even when the operating temperature is a relatively low temperature of 300 ° C. It became clear that

【0035】また、上記センサ素子は、雰囲気の二酸化
炭素濃度を350ppmから1000ppmに変化させ
た場合において、1000ppmでの感度の90%に達
するまでの時間(以下、90%応答時間という)を測定
した結果、38秒という良好な応答性を示した。
Further, in the above sensor element, when the carbon dioxide concentration in the atmosphere was changed from 350 ppm to 1000 ppm, the time required to reach 90% of the sensitivity at 1000 ppm (hereinafter referred to as 90% response time) was measured. As a result, a good response of 38 seconds was shown.

【0036】実施例2、3 実施例1とまったく同様のセンサ素子を製造し、センサ
を構成した。上記センサはヒーター2に電源1より直流
電圧を印可することにより、実施例2ではセンサを25
0℃、実施例3では200℃にそれぞれ加熱して作動さ
せた。
Examples 2 and 3 The same sensor element as in Example 1 was manufactured to construct a sensor. In the above-described sensor, by applying a DC voltage from the power source 1 to the heater 2, the sensor is set to 25 in the second embodiment.
The heating was carried out at 0 ° C. and in Example 3 at 200 ° C., respectively.

【0037】実施例2、3において、種々の二酸化炭素
濃度とセンサ素子の起電力および感度の関係を、実施例
1と同様にして測定し、それぞれ表2、3に示した。
In Examples 2 and 3, the relationships between various carbon dioxide concentrations and the electromotive force and sensitivity of the sensor element were measured in the same manner as in Example 1 and shown in Tables 2 and 3, respectively.

【0038】起電力は二酸化炭素濃度の増大とともに減
少し、実施例1の場合と同様に感度が二酸化炭素濃度の
対数に比例することがわかった。また、作動温度を25
0、200℃と低温にすることにより、実施例1の作動
温度が300℃の場合よりも感度も若干大きくなった。
この結果より、センサ素子は作動温度が200℃という
かなり低温であっても、起電力を測定することにより雰
囲気の二酸化炭素濃度を検出することが可能であること
が明らかとなった。
It was found that the electromotive force decreases with an increase in the carbon dioxide concentration, and that the sensitivity is proportional to the logarithm of the carbon dioxide concentration as in the case of Example 1. Also, the operating temperature is 25
By lowering the temperature to 0 and 200 ° C., the sensitivity was slightly higher than that when the operating temperature in Example 1 was 300 ° C.
From this result, it was clarified that the sensor element can detect the carbon dioxide concentration in the atmosphere by measuring the electromotive force even when the operating temperature is as low as 200 ° C.

【0039】また、上記センサ素子の90%応答時間
は、42秒という良好な応答性を示した。
The 90% response time of the sensor element was 42 seconds, which was a good response.

【0040】実施例4 実施例1において、補助電極8として、Ag2CO3を、
実施例1と同様に形成し200℃で焼成することにより
形成した以外は同様にして、センサ素子を製造し、セン
サを構成した。
Example 4 In Example 1, as the auxiliary electrode 8, Ag 2 CO 3 was used.
A sensor element was manufactured and a sensor was formed in the same manner as in Example 1 except that the sensor element was formed by firing at 200 ° C.

【0041】得られたセンサをヒーター2に電源1より
直流電圧を印可し150℃に加熱して二酸化炭素雰囲気
における起電力及び感度を測定した。
A DC voltage was applied to the heater 2 from the power source 1 to the sensor 2 and the sensor was heated to 150 ° C. to measure electromotive force and sensitivity in a carbon dioxide atmosphere.

【0042】上記センサ素子について、雰囲気の二酸化
炭素濃度とセンサの起電力および感度の関係を、実施例
1と同様にして測定し、表4に示した。
With respect to the above sensor element, the relationship between the carbon dioxide concentration in the atmosphere and the electromotive force and sensitivity of the sensor was measured in the same manner as in Example 1, and is shown in Table 4.

【0043】起電力は二酸化炭素濃度の増加と共に減少
した。二酸化炭素濃度と感度の関係は、実施例1の場合
と同様に感度が二酸化炭素濃度の対数に比例することが
わかった。この結果より、本二酸化炭素センサは作動温
度が150℃という低い温度であっても、起電力を測定
することにより雰囲気の二酸化炭素濃度を知ることが可
能であることが明らかとなった。
The electromotive force decreased with increasing carbon dioxide concentration. It was found that the relationship between the carbon dioxide concentration and the sensitivity was proportional to the logarithm of the carbon dioxide concentration, as in Example 1. From this result, it became clear that even if the operating temperature of the present carbon dioxide sensor is as low as 150 ° C., it is possible to know the carbon dioxide concentration of the atmosphere by measuring the electromotive force.

【0044】また、上記センサ素子の90%応答時間
は、45秒という良好な応答性を示した。
Further, the 90% response time of the above sensor element showed a good response of 45 seconds.

【0045】実施例5 実施例1において、補助電極8として、La2(CO3
3を、実施例1と同様に形成し400℃で焼成すること
により形成した以外は同様にして、センサ素子を製造
し、センサを構成した。
Example 5 In Example 1, as the auxiliary electrode 8, La 2 (CO 3 ) was used.
A sensor element was manufactured and a sensor was formed in the same manner as in Example 3 except that the same was formed and fired at 400 ° C.

【0046】得られたセンサをヒーター2に電源1より
直流電圧を印可し300℃に加熱して二酸化炭素雰囲気
における起電力及び感度を測定した。
A DC voltage was applied to the heater 2 from the power source 1 to the heater 2 and the sensor was heated to 300 ° C. to measure electromotive force and sensitivity in a carbon dioxide atmosphere.

【0047】上記センサ素子について、雰囲気の二酸化
炭素濃度とセンサの起電力および感度の関係を、実施例
1と同様にして測定し、表5に示した。
With respect to the above sensor element, the relationship between the carbon dioxide concentration in the atmosphere and the electromotive force and sensitivity of the sensor were measured in the same manner as in Example 1 and shown in Table 5.

【0048】起電力は二酸化炭素濃度の増加と共に増大
した。二酸化炭素濃度と感度の関係は、実施例1の場合
と比較すると傾きが逆であるが、感度は二酸化炭素濃度
の対数に比例することがわかった。この結果より、本二
酸化炭素センサは作動温度が300℃という低い温度で
あっても、起電力を測定することにより雰囲気の二酸化
炭素濃度を知ることが可能であることが明らかとなっ
た。
The electromotive force increased with increasing carbon dioxide concentration. Although the slope of the relationship between the carbon dioxide concentration and the sensitivity was opposite to that in the case of Example 1, it was found that the sensitivity was proportional to the logarithm of the carbon dioxide concentration. From this result, it became clear that even if the operating temperature of the present carbon dioxide sensor is as low as 300 ° C., it is possible to know the carbon dioxide concentration of the atmosphere by measuring the electromotive force.

【0049】また、上記センサ素子の90%応答時間
は、32秒という良好な応答性を示した。
The 90% response time of the above sensor element showed a good response of 32 seconds.

【0050】実施例6 実施例1において、電極7として、金ペーストをスクリ
ーン印刷、乾燥後、700℃で焼き付けることにより形
成し、補助電極8として、CuCO3を、実施例1と同
様に形成し250℃で焼成することにより形成した以外
は同様にして、センサ素子を製造し、センサを構成し
た。
Example 6 In Example 1, electrodes 7 were formed by screen-printing a gold paste, drying and baking at 700 ° C., and auxiliary electrodes 8 were made of CuCO 3 in the same manner as in Example 1. A sensor element was manufactured and a sensor was constructed in the same manner except that it was formed by firing at 250 ° C.

【0051】得られたセンサをヒーター2に電源1より
直流電圧を印可し、200℃に加熱して二酸化炭素雰囲
気における起電力及び感度を測定した。
A DC voltage was applied to the heater 2 from the power source 1 to the sensor 2 and the sensor was heated to 200 ° C. to measure electromotive force and sensitivity in a carbon dioxide atmosphere.

【0052】上記センサ素子について、雰囲気の二酸化
炭素濃度とセンサの起電力および感度の関係を、実施例
1と同様にして測定し、表6に示した。
With respect to the above sensor element, the relationship between the carbon dioxide concentration in the atmosphere and the electromotive force and sensitivity of the sensor were measured in the same manner as in Example 1 and shown in Table 6.

【0053】また、上記センサ素子の90%応答時間
は、37秒という良好な応答性を示した。
The 90% response time of the above sensor element showed a good response of 37 seconds.

【0054】実施例7 実施例1において、補助電極を設ける側の電極として銀
を使用し、銀とBi2(CO3)O2よりなる混合粉をテ
レピネオールに5wt.(重量)%のエチルセルロース
を溶解させたビヒクルでペースト化したものをスクリー
ン印刷、乾燥後、300℃で焼結することにより、固体
電解層9の界面において、Bi2(CO3)O2の濃度が
92vol.(容量)%である、補助電極を設けた電極
を形成した以外は、同様にしてセンサ素子を製造し、セ
ンサを構成した。
Example 7 In Example 1, silver was used as the electrode on the side where the auxiliary electrode was provided, and a mixed powder of silver and Bi 2 (CO 3 ) O 2 was added to terpineol in an amount of 5 wt. A paste prepared with a vehicle in which (wt)% ethyl cellulose is dissolved is screen-printed, dried, and then sintered at 300 ° C. to obtain a Bi 2 (CO 3 ) O 2 concentration at the interface of the solid electrolytic layer 9. Is 92 vol. A sensor element was manufactured and a sensor was formed in the same manner except that an electrode provided with an auxiliary electrode having a (capacity)% was formed.

【0055】上記センサ素子について、雰囲気の二酸化
炭素濃度とセンサの起電力および感度の関係を、実施例
1と同様にして測定し、表7に示した。
With respect to the above sensor element, the relationship between the carbon dioxide concentration in the atmosphere and the electromotive force and sensitivity of the sensor was measured in the same manner as in Example 1, and is shown in Table 7.

【0056】起電力は二酸化炭素濃度の増加と共に減少
した。二酸化炭素濃度と感度の関係は、実施例1の場合
と同様に感度が二酸化炭素濃度の対数に比例することが
わかった。この結果より、本二酸化炭素センサは作動温
度が250℃という低い温度であっても、起電力を測定
することにより雰囲気の二酸化炭素濃度を知ることが可
能であることが明らかとなった。また、実施例1に比し
て感度の向上が認められた。
The electromotive force decreased with increasing carbon dioxide concentration. It was found that the relationship between the carbon dioxide concentration and the sensitivity was proportional to the logarithm of the carbon dioxide concentration, as in Example 1. From this result, it became clear that even if the operating temperature of the present carbon dioxide sensor is as low as 250 ° C., it is possible to know the carbon dioxide concentration of the atmosphere by measuring the electromotive force. Further, an improvement in sensitivity was recognized as compared with Example 1.

【0057】また、上記センサ素子の90%応答時間
は、25秒という良好な応答性を示した。
Further, the 90% response time of the above sensor element showed a good response of 25 seconds.

【0058】比較例1 実施例1において、補助電極8として、Y2(CO33
を、実施例1と同様に形成し、200℃で焼成すること
により形成した以外は同様にして、センサ素子を製造
し、センサを構成した。
Comparative Example 1 In Example 1, as the auxiliary electrode 8, Y 2 (CO 3 ) 3 was used.
Was formed in the same manner as in Example 1 and was formed by baking at 200 ° C., and a sensor element was manufactured and a sensor was formed in the same manner.

【0059】得られたセンサをヒーター2に電源1より
直流電圧を印可して200℃に加熱して二酸化炭素雰囲
気における起電力及び感度を測定した。
A DC voltage was applied to the heater 2 from the power source 1 to the heater 2 and the sensor was heated to 200 ° C. to measure electromotive force and sensitivity in a carbon dioxide atmosphere.

【0060】上記センサ素子について、雰囲気の二酸化
炭素濃度とセンサの起電力および感度の関係を、実施例
1と同様にして測定し、表8に示した。
With respect to the above sensor element, the relationship between the carbon dioxide concentration in the atmosphere and the electromotive force and sensitivity of the sensor were measured in the same manner as in Example 1 and shown in Table 8.

【0061】上記センサ素子は、300℃という低温で
はほとんど作動せず、かかる温度でセンサとして使用す
ることができなかった。
The above sensor element hardly operated at a low temperature of 300 ° C. and could not be used as a sensor at such a temperature.

【0062】また、上記センサ素子の応答性は、感度が
ないため測定することができなかった。
Further, the responsiveness of the sensor element could not be measured because it had no sensitivity.

【0063】[0063]

【表1】 [Table 1]

【0064】[0064]

【表2】 [Table 2]

【0065】[0065]

【表3】 [Table 3]

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の代表的な固体電解質型二酸化炭素セン
サ素子を用いた二酸化炭素センサの断面構造
FIG. 1 is a sectional structure of a carbon dioxide sensor using a representative solid electrolyte type carbon dioxide sensor element of the present invention.

【図2】実施例1で得られた二酸化炭素センサにおける
二酸化炭素濃度と感度の関係を示すグラフ
FIG. 2 is a graph showing the relationship between carbon dioxide concentration and sensitivity in the carbon dioxide sensor obtained in Example 1.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 電源 2 ヒーター 3 アルミナ基板 4 封止材 5 導線 6 検出器 7 電極層 8 補助電極 9 固体電解質層 1 Power Supply 2 Heater 3 Alumina Substrate 4 Sealing Material 5 Conductive Wire 6 Detector 7 Electrode Layer 8 Auxiliary Electrode 9 Solid Electrolyte Layer

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】固体電解質層の両面にそれぞれ電極層を有
し、該電極層の少なくとも一方に補助電極を設けて検知
電極を構成した固体電解質型二酸化炭素センサ素子にお
いて、補助電極がBi2(CO3)O2、Ag2CO3、L
2(CO33及びCuCO3より選ばれた炭酸塩よりな
ることを特徴とする固体電解質型二酸化炭素センサ素
子。
1. A solid electrolyte type carbon dioxide sensor element having electrode layers on both sides of a solid electrolyte layer, and an auxiliary electrode provided on at least one of the electrode layers to form a detection electrode, wherein the auxiliary electrode is Bi 2 ( CO 3 ) O 2 , Ag 2 CO 3 , L
A solid electrolyte type carbon dioxide sensor element comprising a carbonate selected from a 2 (CO 3 ) 3 and CuCO 3 .
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