JPH06157754A - Resin composition - Google Patents

Resin composition

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JPH06157754A
JPH06157754A JP31342092A JP31342092A JPH06157754A JP H06157754 A JPH06157754 A JP H06157754A JP 31342092 A JP31342092 A JP 31342092A JP 31342092 A JP31342092 A JP 31342092A JP H06157754 A JPH06157754 A JP H06157754A
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JP
Japan
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resin composition
resin
bis
silane coupling
coupling agent
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Application number
JP31342092A
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Japanese (ja)
Inventor
Junsuke Tanaka
淳介 田中
Mikio Kitahara
幹夫 北原
Takayuki Kubo
隆幸 久保
Motoyuki Torikai
基之 鳥飼
Kotaro Asahina
浩太郎 朝比奈
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Mitsui Toatsu Chemicals Inc
Original Assignee
Mitsui Toatsu Chemicals Inc
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Publication date
Application filed by Mitsui Toatsu Chemicals Inc filed Critical Mitsui Toatsu Chemicals Inc
Priority to JP31342092A priority Critical patent/JPH06157754A/en
Publication of JPH06157754A publication Critical patent/JPH06157754A/en
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Abstract

PURPOSE:To obtain a resin composition having excellent crack resistance in soldering and moisture resistance by blending mainly a modified reactional product obtained by reacting a specified polymaleimide with a silane coupling agent. CONSTITUTION:This resin composition is manufactured by modifying (A) a polymaleimide containing >=2 maleimide groups in one molecule (e.g. N,N'- ethylenebismaleimide) by reacting 100 pts.wt. of (A) with 0.1-25 pts.wt. of (B) a silane coupling agent of the formula (Y is univalent organic acid containing amino group; R1 to R3 are H, phenyl, OR (R is H or 1-5C alkyl), etc.; at least one of R1 to R3 is OR) (e.g. 3-aminopropyltrimethoxysilane) and blending the modified product with an epoxy resin containing >=2 epoxy groups in one molecule and a hardener. Optionally the component A is mixed with a phenol resin, in advance.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、耐熱性および耐湿性に
優れた樹脂組成物に関わる。特に、表面実装型の半導体
装置の如く半田耐熱性を要求される半導体装置を封止す
るのに適した樹脂組成物に関する。
FIELD OF THE INVENTION The present invention relates to a resin composition having excellent heat resistance and moisture resistance. In particular, the present invention relates to a resin composition suitable for encapsulating a semiconductor device such as a surface-mounting type semiconductor device that requires soldering heat resistance.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、電気・電子部品、半導体等の分野
で耐熱性、耐クラック性、耐湿性の優れた樹脂組成物が
求められている。例えば、電気・電子部品、とりわけ半
導体の分野では、これを使用する機器、装置の小型化、
薄型化にともなって部品を取り付ける配線基板への実装
密度が高くなる傾向にあり、また、部品そのものも多機
能化の傾向にある。これを封止する材料には、配線基板
への半田付け工程における高温半田に対して、耐熱性に
優れた樹脂組成物の開発が強く望まれている。従来、こ
のような用途に対する樹脂組成物、いわゆる半導体封止
用樹脂組成物としては、o-クレゾ−ルノボラック型エポ
キシ樹脂に代表されるエポキシ樹脂、その硬化剤として
フェノールノボラック樹脂およびシリカを主成分とする
樹脂組成物が成形性、信頼性の点で優れており、この分
野での主流となっている。「垣内弘編著;エポキシ樹脂
P80、(株)昭晃堂」
2. Description of the Related Art In recent years, resin compositions having excellent heat resistance, crack resistance and moisture resistance have been demanded in the fields of electric / electronic parts, semiconductors and the like. For example, in the field of electric and electronic parts, especially semiconductors, downsizing of equipment and devices using them,
As the device becomes thinner, the mounting density on the wiring board for mounting components tends to increase, and the components themselves also tend to be multifunctional. As a material for sealing this, development of a resin composition having excellent heat resistance against high-temperature solder in the step of soldering to a wiring board is strongly desired. Conventionally, as a resin composition for such applications, a so-called semiconductor encapsulating resin composition, an epoxy resin represented by o-cresol-novolak type epoxy resin, and a phenol novolac resin and silica as a curing agent as main components. The resin composition to be used is excellent in moldability and reliability, and has become the mainstream in this field. "Kakiuchi Hiroshi, Ed., Epoxy resin P80, Shokoido Co., Ltd."

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、樹脂封
止型半導体装置について言えば、前述の高密度実装化の
流れにより表面実装型の半導体装置に変わりつつある。
このような表面実装型の半導体装置においては、従来の
挿入型半導体装置と違って、基板への半田付け工程で半
導体装置全体が200℃以上の半田付け温度に曝され
る。ところで、エポキシ樹脂よりなる樹脂組成物は、そ
のガラス転移温度が半田付け温度より低いため、半田付
け温度における強度の低下が激しく、特に封止した樹脂
が吸湿した状態のまま半田付けを行うと、吸湿水分の急
激な膨張による応力に抗しきれず、封止樹脂にクラック
が発生し、半導体装置の信頼性を大幅に低下させる。 「雑誌;日経エレクトロニクス1988年6月13日号
114〜118頁」 従って、特開平1−213335号公報、特開平2−2
54735号公報および特開平2−32117号公報に
記載の通り、本発明者等は封止樹脂のガラス転移温度を
高くし、水分の膨張により発生する応力に打ち勝つだけ
の十分な樹脂強度をもたせる目的で、イミド系樹脂を封
止用樹脂組成物に応用する研究を重ねてきた。その結
果、イミド樹脂の適用により高温時の強度を高くする事
ができ、半田付け時の耐クラック性は向上したが、イミ
ド系樹脂は、半導体素子との接着性に劣り、半田付け時
の熱衝撃により素子表面と樹脂との界面に剥離が発生
し、その後の耐湿性が低下するという問題があった。本
発明の目的は、実装時における耐半田クラック性と、実
装後の耐湿性を向上する事により、リフロー及びフロー
半田付けがなされる表面実装型の半導体装置に適用でき
る封止用の樹脂組成物を提供することにある。
However, regarding the resin-sealed semiconductor device, the surface-mounted semiconductor device is being changed due to the above-mentioned trend of high-density mounting.
In such a surface mount type semiconductor device, unlike the conventional insertion type semiconductor device, the entire semiconductor device is exposed to a soldering temperature of 200 ° C. or higher in the step of soldering to the substrate. By the way, a resin composition made of an epoxy resin has a glass transition temperature lower than the soldering temperature, so that the strength is drastically reduced at the soldering temperature, and particularly when soldering is performed while the sealed resin absorbs moisture, It cannot withstand the stress due to the rapid expansion of the absorbed moisture, and cracks occur in the sealing resin, greatly reducing the reliability of the semiconductor device. "Magazine; Nikkei Electronics, June 13, 1988, pages 114-118" Therefore, JP-A-1-213335 and JP-A-2-2
As described in JP-A-54735 and JP-A-2-32117, the present inventors aim to raise the glass transition temperature of a sealing resin and to have sufficient resin strength to overcome the stress generated by the expansion of water. Then, the research which applied the imide resin to the resin composition for sealing has been repeated. As a result, the strength at high temperature can be increased by applying the imide resin, and the crack resistance at the time of soldering is improved, but the imide resin is inferior in the adhesiveness to the semiconductor element and the heat at the time of soldering. There is a problem that the impact causes peeling at the interface between the surface of the element and the resin, and the moisture resistance thereafter decreases. An object of the present invention is to improve the solder crack resistance at the time of mounting and the moisture resistance after mounting, so that a resin composition for encapsulation that can be applied to a surface mounting type semiconductor device in which reflow and flow soldering are performed. To provide.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記課題
を解決するため、鋭意研究を重ねた結果、ポリマレイミ
ド化合物をアミノ基を有するシランカップリング剤で変
性させる事により、半導体素子表面と樹脂との接着性が
向上することを見いだし本発明を完成するに至った。す
なわち本発明は、(1)ポリマレイミド化合物および一
般式(1)〔化2〕
Means for Solving the Problems The inventors of the present invention have conducted extensive studies in order to solve the above problems, and as a result, modified a polymaleimide compound with a silane coupling agent having an amino group to obtain a semiconductor device surface. The inventors have found that the adhesiveness between the resin and the resin is improved and have completed the present invention. That is, the present invention provides (1) a polymaleimide compound and a compound represented by the general formula (1):

【0005】[0005]

【化2】 (式中、Yはアミノ基を含む一価の有機基、R1 、R2
およびR3 は水素原子、フェニル基、炭素数1〜6のア
ルキル基または、OR基(Rは水素原子または炭素数1
〜5のアルキル基を示す。)であり、かつR1 、R2
よびR3 の少なくとも1つは−OR基である)で表され
るシランカップリング剤を変性反応せしめてなる変性反
応物を主体とする熱硬化性樹脂および無機充填剤からな
ることを特徴とする樹脂組成物、(2) ポリマレイミ
ド化合物にあらかじめフェノール樹脂を含有せしめた上
記(1)記載の熱硬化性樹脂組成物、(3) 上記
(1)または(2)記載の熱硬化性樹脂組成物および1
分子中に少なくとも2個のエポキシ基を有するエポキシ
樹脂を含むことを特徴とする樹脂組成物、(4) 上記
(1)、(2)または(3)に記載の樹脂組成物を主体
として含有してなる半導体封止用樹脂組成物および
(5) 上記(1)、(2)または(3)に記載の樹脂
組成物及び無機充填剤を主体として含有してなる半導体
封止用樹脂組成物である。本発明で使用されるポリマレ
イミド化合物としては、一般式(a)〔化3〕
[Chemical 2] (In the formula, Y is a monovalent organic group containing an amino group, R 1 and R 2
And R 3 is a hydrogen atom, a phenyl group, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, or an OR group (R is a hydrogen atom or a carbon number 1
The alkyl groups of 5 are shown. ) And at least one of R 1 , R 2 and R 3 is an —OR group), and a thermosetting resin mainly composed of a modified reaction product obtained by modifying the silane coupling agent. A resin composition comprising an inorganic filler, (2) a thermosetting resin composition as described in (1) above, wherein the polymaleimide compound contains a phenol resin in advance, (3) the above (1) or ( 2) The thermosetting resin composition described above and 1
A resin composition comprising an epoxy resin having at least two epoxy groups in the molecule, (4) mainly containing the resin composition described in (1), (2) or (3) above. A resin composition for semiconductor encapsulation comprising (5) and a resin composition for semiconductor encapsulation mainly containing the resin composition according to (1), (2) or (3) above and an inorganic filler. is there. The polymaleimide compound used in the present invention is represented by the general formula (a)

【0006】[0006]

【化3】 (式中、R4は少なくとも2個の炭素原子を有するk価
の有機基であり、kは2以上の正の整数を示す)で表わ
されるポリマレイミド化合物であり、1分子中に2個以
上のマレイミド基を有する化合物ならば全て使用可能で
ある。このようなポリマレイミド化合物としては、例え
ば、N,N'- エチレンビスマレイミド、N,N'- ヘキサメチ
レンビスマレイミド、N,N'-(1,3-フェニレン) ビスマレ
イミド、N,N'-[1,3- (2-メチルフェニレン)]ビスマレイ
ミド、N,N'-(1,4-フェニレン) ビスマレイミド、ビス
(4-マレイミドフェニル) メタン、ビス (3-メチル-4-
マレイミドフェニル) メタン、ビス (4-マレイミドフェ
ニル) エーテル、ビス (4-マレイミドフェニル) スルホ
ン、ビス (4-マレイミドフェニル) スルフィド、ビス
(4-マレイミドフェニル) ケトン、ビス (4-マレイミド
シクロヘキシル) メタン、1,4-ビス (4-マレイミドフェ
ニル) シクロヘキサン、1,4-ビス (マレイミドメチル)
シクロヘキサン、1,4-ビス (マレイミドメチル) ベンゼ
ン、1,3-ビス (4-マレイミドフェノキシ) ベンゼン、1,
3-ビス (3-マレイミドフェノキシ) ベンゼン、ビス[4-
(3-マレイミドフェノキシ) フェニル] メタン、ビス[4-
(4-マレイミドフェノキシ) フェニル] メタン、1,1-ビ
ス[4-(3-マレイミドフェノキシ) フェニル] エタン、1,
1-ビス[4-(4-マレイミドフェノキシ) フェニル] エタ
ン、1,2-ビス[4-(3-マレイミドフェノキシ) フェニル]
エタン、1,2-ビス[4-(4-マレイミドフェノキシ) フェニ
ル] エタン、2,2-ビス[4-(3-マレイミドフェノキシ) フ
ェニル] プロパン、2,2-ビス[4-(4-マレイミドフェノキ
シ) フェニル]プロパン、2,2-ビス[4-(3-マレイミドフ
ェノキシ) フェニル] ブタン、2,2-ビス[4-(4-マレイミ
ドフェノキシ) フェニル] ブタン、2,2-ビス[4-(3-マレ
イミドフェノキシ) フェニル]-1,1,1,3,3,3-ヘキサフル
オロプロパン、2,2-ビス[4-(4-マレイミドフェノキシ)
フェニル]-1,1,1,3,3,3-ヘキサフルオロプロパン、4,4'
-ビス (3-マレイミドフェノキシ) ビフェニル、4,4'-
ビス (4-マレイミドフェノキシ) ビフェニル、ビス[4-
(3-マレイミドフェノキシ) フェニル] ケトン、ビス[4-
(4-マレイミドフェノキシ) フェニル] ケトン、ビス[4-
(3-マレイミドフェノキシ) フェニル] スルフィド、ビ
ス[4-(4-マレイミドフェノキシ) フェニル] スルィド、
ビス[4-(3-マレイミドフェノキシ) フェニル] スルホキ
シド、ビス[4-(4-マレイミドフェノキシ) フェニル] ス
ルホキシド、ビス[4-(3-マレイミドフェノキシ) フェニ
ル] スルホン、ビス[4-(4-マレイミドフェノキシ) フェ
ニル] スルホン、ビス[4-(3-マレイミドフェノキシ) フ
ェニル] エーテル、ビス[4-(4-マレイミドフェノキシ)
フェニル] エーテル、1,4-ビス[4-(4-マレイミドフェノ
キシ)-α, α- ジメチルベンジル] ベンゼン、1,3-ビス
[4-(4-マレイミドフェノキシ)-α, α- ジメチルベンジ
ル] ベンゼン、1,4-ビス[4-(3-マレイミドフェノキシ)-
α, α- ジメチルベンジル] ベンゼン、1,3-ビス[4-(3-
マレイミドフェノキシ)-α, α- ジメチルベンジル] ベ
ンゼン、1,4-ビス[4-(4-マレイミドフェノキシ)-3,5-ジ
メチル- α, α- ジメチルベンジル] ベンゼン、1,3-ビ
ス[4-(4-マレイミドフェノキシ)-3,5-ジメチル- α, α
- ジメチルベンジル] ベンゼン、1,4-ビス[4-(3-マレイ
ミドフェノキシ)-3,5-ジメチル- α, α- ジメチルベン
ジル]ベンゼン、1,3-ビス[4-(3-マレイミドフェノキシ)
-3,5-ジメチル- α, α- ジメチルベンジル] ベンゼ
ン、一般式(2)〔化4〕
[Chemical 3] (In the formula, R 4 is a k-valent organic group having at least 2 carbon atoms, and k is a positive integer of 2 or more), and is a polymaleimide compound, and 2 or more are contained in one molecule. Any compound having a maleimide group can be used. Examples of such polymaleimide compounds include N, N'-ethylene bismaleimide, N, N'-hexamethylene bismaleimide, N, N '-(1,3-phenylene) bismaleimide, N, N'- [1,3- (2-Methylphenylene)] bismaleimide, N, N '-(1,4-phenylene) bismaleimide, bis
(4-maleimidophenyl) methane, bis (3-methyl-4-
Maleimidophenyl) methane, bis (4-maleimidophenyl) ether, bis (4-maleimidophenyl) sulfone, bis (4-maleimidophenyl) sulfide, bis
(4-maleimidophenyl) ketone, bis (4-maleimidocyclohexyl) methane, 1,4-bis (4-maleimidophenyl) cyclohexane, 1,4-bis (maleimidomethyl)
Cyclohexane, 1,4-bis (maleimidomethyl) benzene, 1,3-bis (4-maleimidophenoxy) benzene, 1,
3-bis (3-maleimidophenoxy) benzene, bis [4-
(3-Maleimidophenoxy) phenyl] methane, bis [4-
(4-maleimidophenoxy) phenyl] methane, 1,1-bis [4- (3-maleimidophenoxy) phenyl] ethane, 1,
1-bis [4- (4-maleimidophenoxy) phenyl] ethane, 1,2-bis [4- (3-maleimidophenoxy) phenyl]
Ethane, 1,2-bis [4- (4-maleimidophenoxy) phenyl] ethane, 2,2-bis [4- (3-maleimidophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (4-maleimide) Phenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (3-maleimidophenoxy) phenyl] butane, 2,2-bis [4- (4-maleimidophenoxy) phenyl] butane, 2,2-bis [4- (3-maleimidophenoxy) phenyl] -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, 2,2-bis [4- (4-maleimidophenoxy)
Phenyl] -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, 4,4 '
-Bis (3-maleimidophenoxy) biphenyl, 4,4'-
Bis (4-maleimidophenoxy) biphenyl, bis [4-
(3-Maleimidophenoxy) phenyl] ketone, bis [4-
(4-maleimidophenoxy) phenyl] ketone, bis [4-
(3-maleimidophenoxy) phenyl] sulfide, bis [4- (4-maleimidophenoxy) phenyl] sulfide,
Bis [4- (3-maleimidophenoxy) phenyl] sulfoxide, Bis [4- (4-maleimidophenoxy) phenyl] sulfoxide, Bis [4- (3-maleimidophenoxy) phenyl] sulfone, Bis [4- (4-maleimide) Phenoxy) phenyl] sulfone, bis [4- (3-maleimidophenoxy) phenyl] ether, bis [4- (4-maleimidophenoxy)
Phenyl] ether, 1,4-bis [4- (4-maleimidophenoxy) -α, α-dimethylbenzyl] benzene, 1,3-bis
[4- (4-maleimidophenoxy) -α, α-dimethylbenzyl] benzene, 1,4-bis [4- (3-maleimidophenoxy)-
α, α-Dimethylbenzyl] benzene, 1,3-bis [4- (3-
Maleimidophenoxy) -α, α-dimethylbenzyl] benzene, 1,4-bis [4- (4-maleimidophenoxy) -3,5-dimethyl-α, α-dimethylbenzyl] benzene, 1,3-bis [4 -(4-maleimidophenoxy) -3,5-dimethyl-α, α
-Dimethylbenzyl] benzene, 1,4-bis [4- (3-maleimidophenoxy) -3,5-dimethyl-α, α-dimethylbenzyl] benzene, 1,3-bis [4- (3-maleimidophenoxy)
-3,5-Dimethyl-α, α-dimethylbenzyl] benzene, general formula (2)

【0007】[0007]

【化4】 (式中、nは平均値で 0〜10である)で表されるポリマ
レイミド化合物、及び一般式(3)〔化5〕
[Chemical 4] (In the formula, n is an average value of 0 to 10), and a polymaleimide compound represented by the general formula (3)

【0008】[0008]

【化5】 (式中、mは平均値で 0〜10である)で表されるポリマ
レイミド化合物等が挙げられる。また、これらのポリマ
レイミド化合物は、単独で用いても2種類以上を混合し
て用いてもよい。本発明に用いるシランカップリング剤
は上記一般式(1) で表される。
[Chemical 5] (In the formula, m is an average value of 0 to 10) and the like. These polymaleimide compounds may be used alone or in combination of two or more. The silane coupling agent used in the present invention is represented by the above general formula (1).

【0009】該シランカップリング剤の具体例として
は、3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミ
ノプロピルトリエトキシシラン、3−アミノプロピルジ
メトキシメチルシラン、3−アミノプロピルジエトキシ
メチルシラン、3−アミノプロピルジメチルエトキシシ
ラン、2−アミノエチルアミノメチルトリメトキシシラ
ン、3−(2−アミノエチルアミノプロピル)トリメト
キシシラン、3−(2−アミノエチルアミノプロピル)
ジメトキシメチルシラン、3−[2−(2−アミノエチ
ルアミノエチルアミノ)プロピル]トリメトキシシラ
ン、3−フェニルアミノプロピルトリメトキシシラン、
3−ベンジルアミノプロピルトリメトキシシラン、3−
シクロヘキシルアミノプロピルトリメトキシシラン、N
−(3−トリエトキシシリルプロピル)ウレア、N−
(3−トリエトキシシリルプロピル)−p−ニトロベン
ズアミド、2−(2−アミノエチルチオエチル)トリエ
トキシシラン、2−(2−アミノエチルチオエチル)ジ
エトキシメチルシラン、3−ピペラジノプロピルトリメ
トキシシラン、ジメトキシメチル−3−ピペラジノプロ
ピルシラン、3−ジブチルアミノプロピルトリメトキシ
シランなどがあげられ、これらのものは単独あるいは2
種以上で用いられる。ポリマレイミド化合物とシランカ
ップリング剤の変性反応は、ポリマレイミド化合物とシ
ランカップリング剤、またはポリマレイミド化合物とフ
ェノール樹脂類とシランカップリング剤を加熱混合して
行われる。この場合、ポリマレイミド化合物とシランカ
ップリング剤の混合比は、ポリマレイミド化合物100
部(重量部、以下同様)に対し、シランカップリング剤
0.1 〜25部の範囲であり、ポリマレイミド化合物に対す
るフェノール樹脂の混合割合は特に制限はないが、それ
らの合計量の1〜50重量%程度が好ましく実用的であ
る。シランカップリング剤の配合量は0.1 部未満の場合
には変性反応が不十分であり、25部を超えるとシランカ
ップリング剤単独の反応がおこり、耐湿性に悪影響を与
える。
Specific examples of the silane coupling agent include 3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-aminopropyldimethoxymethylsilane, 3-aminopropyldiethoxymethylsilane and 3-amino. Propyldimethylethoxysilane, 2-aminoethylaminomethyltrimethoxysilane, 3- (2-aminoethylaminopropyl) trimethoxysilane, 3- (2-aminoethylaminopropyl)
Dimethoxymethylsilane, 3- [2- (2-aminoethylaminoethylamino) propyl] trimethoxysilane, 3-phenylaminopropyltrimethoxysilane,
3-benzylaminopropyltrimethoxysilane, 3-
Cyclohexylaminopropyltrimethoxysilane, N
-(3-triethoxysilylpropyl) urea, N-
(3-Triethoxysilylpropyl) -p-nitrobenzamide, 2- (2-aminoethylthioethyl) triethoxysilane, 2- (2-aminoethylthioethyl) diethoxymethylsilane, 3-piperazinopropyltri Methoxysilane, dimethoxymethyl-3-piperazinopropylsilane, 3-dibutylaminopropyltrimethoxysilane and the like can be mentioned, and these can be used alone or
Used in seeds and above. The modification reaction of the polymaleimide compound and the silane coupling agent is carried out by heating and mixing the polymaleimide compound and the silane coupling agent, or the polymaleimide compound, the phenol resin and the silane coupling agent. In this case, the mixing ratio of the polymaleimide compound and the silane coupling agent is 100
Parts (parts by weight, the same applies hereinafter) to silane coupling agent
It is in the range of 0.1 to 25 parts, and the mixing ratio of the phenol resin to the polymaleimide compound is not particularly limited, but about 1 to 50% by weight of the total amount thereof is preferable and practical. When the amount of the silane coupling agent is less than 0.1 part, the modification reaction is insufficient, and when it exceeds 25 parts, the reaction of the silane coupling agent alone occurs, which adversely affects the moisture resistance.

【0010】イミド樹脂は耐熱性に優れる物の、単独で
使用すると可撓性、成形性の点で問題があるため、他の
樹脂と併用する事で成形性と耐熱性のバランスを取る事
ができる。この観点から特にエポキシ樹脂との併用が好
ましく、このエポキシ樹脂としては1分子中に少なくと
も2個のエポキシ基を有する物であれば全て使用可能で
ある。これらについて、以下に例示する。フェノール、
クレゾール、レゾルシノール、ナフトール等のフェノー
ル類とホルムアルデヒド、アセトアルデヒド、ベンズア
ルデヒド、ヒドロキシベンズアルデヒド、グルオキザー
ル、アルカンジアール等のアルデヒド類との反応生成物
であるノボラック樹脂から誘導されるノボラック型エポ
キシ樹脂、および上記フェノール類とアラルキルアルコ
ール誘導体との反応生成物であるアラルキル樹脂から誘
導されるアラルキル型エポキシ樹脂が耐熱性、電気特性
の点から好ましい。
An imide resin, which has excellent heat resistance, has problems in flexibility and moldability when used alone. Therefore, it is possible to balance the moldability and heat resistance by using it together with other resins. it can. From this point of view, the combined use with an epoxy resin is particularly preferable, and any epoxy resin having at least two epoxy groups in one molecule can be used. These are illustrated below. Phenol,
A novolac type epoxy resin derived from a novolac resin which is a reaction product of a phenol such as cresol, resorcinol, naphthol and an aldehyde such as formaldehyde, acetaldehyde, benzaldehyde, hydroxybenzaldehyde, glyoxal, alkanedial, and the above phenols. An aralkyl-type epoxy resin derived from an aralkyl resin, which is a reaction product of an aralkyl alcohol derivative, is preferable in terms of heat resistance and electric characteristics.

【0011】その他、1分子中に2個以上の活性水素基
を有する化合物から誘導されるエポキシ樹脂、例えば、
ビスフェノールA、ビスフェノールF、レゾルシン、ビ
スヒドロキシジフェニルエーテル、4,4'- ビスヒドロキ
シ-3,3',5,5'- テトラメチルビフェニル、テトラブロム
ビスフェノールA、ジヒドロキシナフタレン、トリヒド
ロキシフェニルメタン、テトラヒドロキシフェニルエタ
ン、アルカンテトラキスフェノール等の多価フェノール
類;エチレングリコール、ネオペンチルグリコール、グ
リセリン、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリト
ール、ジエチレングリコール、ポリプロピレングリコー
ル等の多価アルコール類;エチレンジアミン、アニリ
ン、ビス(4−アミノフェニル)メタン等のアミン類;
アジピン酸、フタル酸、イソフタル酸等の多価カルボン
酸類とエピクロルヒドリンまたは2−メチルエピクロル
ヒドリンを反応させて得られるエポキシ樹脂等が挙げら
れ、これらのエポキシ樹脂の1種類または2種類以上が
使用される。
In addition, an epoxy resin derived from a compound having two or more active hydrogen groups in one molecule, for example,
Bisphenol A, bisphenol F, resorcin, bishydroxydiphenyl ether, 4,4'-bishydroxy-3,3 ', 5,5'-tetramethylbiphenyl, tetrabromobisphenol A, dihydroxynaphthalene, trihydroxyphenylmethane, tetrahydroxyphenyl Polyhydric phenols such as ethane and alkane tetrakisphenol; polyhydric alcohols such as ethylene glycol, neopentyl glycol, glycerin, trimethylolpropane, pentaerythritol, diethylene glycol, polypropylene glycol; ethylenediamine, aniline, bis (4-aminophenyl) Amines such as methane;
Examples thereof include epoxy resins obtained by reacting polycarboxylic acids such as adipic acid, phthalic acid, and isophthalic acid with epichlorohydrin or 2-methylepichlorohydrin, and one or more of these epoxy resins are used.

【0012】また、前記のエポキシ樹脂は、オイル状、
ゴム状等のシリコーン化合物で変性して使用することも
できる。例えば、特開昭 62-270617号、特開昭 62-2732
22号に開示されたごとく、エポキシ樹脂とビニルポリマ
ーとの反応物中にシリコーンポリマーの微粒子を分散さ
せることにより製造されるシリコーン変性エポキシ樹脂
である。また、前記エポキシ樹脂の硬化剤としては、フ
ェノール類、アミン類および酸無水物等の公知のものが
使用できるが、フェノール樹脂類が最も好ましく用いら
れる。例えばフェノール、クレゾール、レゾルシノー
ル、ナフトール等のフェノール類とホルムアルデヒド、
アセトアルデヒド、ベンズアルデヒド、ヒドロキシベン
ズアルデヒド、グルオキザール、アルカンジアール等の
アルデヒド類との反応生成物であるノボラック樹脂、お
よび上記フェノール類とアラルキルアルコール誘導体と
の反応生成物であるアラルキル樹脂、トリヒドロキシフ
ェニルメタン、テトラヒドロキシフェニルエタン、テト
ラキスフェノール等の多価フェノール類が挙げられ、こ
れらの1種類または2種類以上が使用される。本発明の
組成物において、ポリマレイミド化合物および上記の一
般式(1)で表されるシランカップリング剤を変性反応
せしめてなる変性反応物にエポキシ樹脂を併用する場
合、変性反応物100 重量部に対して、エポキシ樹脂と硬
化剤の合計量は10〜500 重量部、好ましくは25〜300 重
量部である。また、エポキシ樹脂と硬化剤の割合は、エ
ポキシ樹脂のエポキシ基に対して、硬化剤が当量比で0.
1〜10の範囲、好ましくは0.5 〜2.0 の範囲である。
The epoxy resin is oily,
It can also be used after being modified with a silicone compound such as rubber. For example, JP-A-62-270617 and JP-A-62-2732
As disclosed in No. 22, a silicone-modified epoxy resin produced by dispersing fine particles of a silicone polymer in a reaction product of an epoxy resin and a vinyl polymer. As the curing agent for the epoxy resin, known compounds such as phenols, amines and acid anhydrides can be used, but phenol resins are most preferably used. For example, phenols such as phenol, cresol, resorcinol, naphthol and formaldehyde,
Acetaldehyde, benzaldehyde, hydroxybenzaldehyde, gluoxal, novolak resin which is a reaction product with aldehydes such as alkanedial, and aralkyl resin which is a reaction product of the above-mentioned phenols and aralkyl alcohol derivative, trihydroxyphenylmethane, tetra Examples thereof include polyhydric phenols such as hydroxyphenylethane and tetrakisphenol, and one type or two or more types thereof are used. In the composition of the present invention, when a modified reaction product obtained by modifying the polymaleimide compound and the silane coupling agent represented by the general formula (1) is used in combination with an epoxy resin, 100 parts by weight of the modified reaction product is added. On the other hand, the total amount of the epoxy resin and the curing agent is 10 to 500 parts by weight, preferably 25 to 300 parts by weight. In addition, the ratio of the epoxy resin and the curing agent is 0 in an equivalent ratio of the curing agent to the epoxy group of the epoxy resin.
It is in the range of 1 to 10, preferably in the range of 0.5 to 2.0.

【0013】本発明の組成物において使用される無機充
填剤は、無機質の粉体、または繊維体の物が使用可能
で、例えば、結晶性シリカ、溶融シリカ、アルミナ、窒
化ケイ素、炭化ケイ素、タルク、ケイ酸カルシュウム、
炭酸カルシュウム、マイカ、クレー、チタンホワイト等
の粉体;ガラス繊維、カーボン繊維等の繊維体がある
が、熱膨張率と熱伝導率の点から、結晶性、溶融性のシ
リカ粉末が好ましい。さらに、成形時の流動性の点から
球形、または球形と不定形のシリカ粉末の混合物が好ま
しい。無機充填剤の配合量は、変性反応物を主体とする
熱硬化性樹脂100 重量部に対して、100 〜900 重量部で
あることが必要であり、好ましくは200 〜600 重量部で
ある。また上記の無機充填剤は、必要により、本発明に
使用するシランカップリング剤とは別に、シラン系、チ
タネート系、アルミネート系およびジルコアルミネート
系カップリング剤等の表面処理剤によりあらかじめその
表面を改質してもよい。その中でもシラン系カップリン
グ剤が好ましく、特に、反応性の官能基を有するシラン
系カップリング剤が最も好ましい。
The inorganic filler used in the composition of the present invention may be an inorganic powder or a fibrous material. Examples thereof include crystalline silica, fused silica, alumina, silicon nitride, silicon carbide and talc. , Calcium silicate,
Powders of calcium carbonate, mica, clay, titanium white and the like; fiber bodies such as glass fibers and carbon fibers are available, but crystalline and fusible silica powders are preferable from the viewpoint of thermal expansion coefficient and thermal conductivity. Further, spherical or a mixture of spherical and amorphous silica powder is preferable from the viewpoint of fluidity during molding. The blending amount of the inorganic filler needs to be 100 to 900 parts by weight, and preferably 200 to 600 parts by weight, based on 100 parts by weight of the thermosetting resin mainly composed of the modified reaction product. In addition, the above-mentioned inorganic filler, if necessary, in addition to the silane coupling agent used in the present invention, its surface is preliminarily treated with a surface treatment agent such as a silane-based, titanate-based, aluminate-based and zircoaluminate-based coupling agent. May be modified. Among them, the silane coupling agent is preferable, and the silane coupling agent having a reactive functional group is particularly preferable.

【0014】かかるシラン系カップリング剤の例として
は、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシ
ラン、N−(2−アミノエチル)3−アミノプロピルメ
チルジメトキシシラン、N−(2−アミノエチル)3−
アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピ
ルトリエトキシシラン、3−アニリノプロピルトリメト
キシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシ
ラン、3−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラ
ン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルト
リメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリメ
トキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシ
ラン等を挙げることができ、これらの1種類または2種
類以上が使用される。
Examples of such silane coupling agents are vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, N- (2-aminoethyl) 3-aminopropylmethyldimethoxysilane, N- (2-aminoethyl) 3-.
Aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-anilinopropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, 2- (3,4- Epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, 3-mercaptopropyltrimethoxysilane and the like can be mentioned, and one type or two or more types thereof are used.

【0015】本発明において、樹脂組成物を硬化するに
あたっては、硬化促進剤を含有させることが望ましく、
かかる硬化促進剤としては、2−メチルイミダゾール、
2−メチル−4−エチルイミダゾール、2−ヘプタデシ
ルイミダゾール等のイミダゾール類;トリエタノールア
ミン、トリエチレンジアミン、N−メチルモルホリン等
のアミン類;トリブチルホスフィン、トリフェニルホス
フィン、トリトリルホスフィン等の有機ホスフィン類;
テトラフェニルホスホニウムテトラフェニルボレート、
トリエチルアンモニウムテトラフェニルボレート等のテ
トラフェニルボロン塩類;1,8−ジアザ−ビシクロ
(5,4,0)ウンデセン−7およびその誘導体が挙げ
られる。これらの硬化促進剤は、単独で用いても2種類
以上を併用してもよく、また、必要に応じて、有機過酸
化物やアゾ化合物を併用することもできる。これら硬化
促進剤の含有量は、変性反応物を主体とする熱硬化性樹
脂100重量部に対して、0.01〜10重量部の範囲で用いら
れる。
In the present invention, when the resin composition is cured, it is desirable to include a curing accelerator,
As such a curing accelerator, 2-methylimidazole,
Imidazoles such as 2-methyl-4-ethylimidazole and 2-heptadecylimidazole; amines such as triethanolamine, triethylenediamine and N-methylmorpholine; organic phosphines such as tributylphosphine, triphenylphosphine and tritolylphosphine ;
Tetraphenylphosphonium tetraphenylborate,
And tetraphenylboron salts such as triethylammonium tetraphenylborate; 1,8-diaza-bicyclo (5,4,0) undecene-7 and its derivatives. These curing accelerators may be used alone or in combination of two or more, and if necessary, an organic peroxide or an azo compound may be used in combination. The content of these curing accelerators is 0.01 to 10 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the thermosetting resin mainly composed of the modified reaction product.

【0016】本発明の樹脂組成物は上記各種成分の他、
必要に応じてジアリルフタレート、トリアリルイソシア
ヌレート、o,o'- ジアリルビスフェノールA等のイミド
樹脂に対して一般的に使用される反応性希釈剤;各種シ
リコーンオイル;脂肪酸、脂肪酸塩、ワックスなどの離
型剤;ブロム化合物、アンチモン、リン等の難燃剤;カ
ーボンブラック等の着色剤等を配合し、混合・混練し、
成形材料とすることができる。
The resin composition of the present invention contains, in addition to the above-mentioned various components,
Reactive diluents commonly used for imide resins such as diallyl phthalate, triallyl isocyanurate and o, o'-diallyl bisphenol A as required; various silicone oils; fatty acids, fatty acid salts, waxes, etc. Release agent; flame retardant such as bromine compound, antimony, phosphorus; coloring agent such as carbon black, etc. are mixed, mixed and kneaded,
It can be a molding material.

【0017】[0017]

【実施例】以下、本発明を実施例により具体的に説明す
る。なお、実施例において、組成物の性能の試験方法は
次の通りである。 ・ガラス転移温度:TMA法 ・曲げ強さ:JIS K−6911 ・半田浸漬テスト:試験用の半導体装置25個を85
℃、85%の恒温恒湿槽に168時間放置した後、直ち
に260℃の溶融半田浴に10秒間浸漬し、その後、パ
ッケージ樹脂にクラックの発生した半導体装置の数を数
えた。 ・半田浸漬後の耐湿性テスト:半田浸漬テストにおい
て、クラックが発生しなかった試験用半導体装置を12
1℃、2気圧のプレッシャークッカーテスター中に放置
し、一定時間毎に電気的導通のチェックを行い、アルミ
ニウム配線の腐食による不良発生率が50%に達する時
間を測定。
EXAMPLES The present invention will be specifically described below with reference to examples. In the examples, the method of testing the performance of the composition is as follows.・ Glass transition temperature: TMA method ・ Bending strength: JIS K-6911 ・ Solder immersion test: 85 semiconductor devices for test 85
After leaving it in a constant temperature and humidity chamber of 85 ° C. and 85% for 168 hours, it was immediately immersed in a molten solder bath at 260 ° C. for 10 seconds, and then the number of semiconductor devices in which cracks had occurred in the package resin was counted.・ Moisture resistance test after solder immersion: In the solder immersion test, 12 test semiconductor devices were tested without cracks.
It is left in a pressure cooker tester at 1 ° C and 2 atm, and electrical continuity is checked at regular intervals, and the time at which the rate of occurrence of defects due to corrosion of aluminum wiring reaches 50% is measured.

【0018】製造例A〜G (変性反応物A〜Gの製
造) 撹拌機、温度計および冷却器を装着した反応容器にポリ
マレイミド化合物を挿入し、160℃に加温し、第1表
のA〜Gの組成になるようにシランカップリング剤を挿
入して、3分間反応せしめ、ただちに冷却して変性反応
物A〜Gを得た。
Production Examples A to G (Production of Modified Reaction Products A to G) The polymaleimide compound was inserted into a reaction vessel equipped with a stirrer, a thermometer and a condenser, and heated to 160 ° C. The silane coupling agent was inserted so as to have the compositions of A to G, the reaction was carried out for 3 minutes, and the reaction products were immediately cooled to obtain modified reaction products A to G.

【0019】製造例H〜K (変性反応物H〜Kの製
造) 撹拌機、温度計および冷却器を装着した反応容器にポリ
マレイミド化合物およびフェノール樹脂を挿入し、16
0℃に加温し、第1表〔表1〕のH〜Kの組成になるよ
うにシランカップリング剤を挿入して、5分間反応せし
め、ただちに冷却して変性反応物A〜Gを得た。
Production Examples H to K (Production of Modified Reaction Products H to K) A polymaleimide compound and a phenol resin were inserted into a reaction vessel equipped with a stirrer, a thermometer, and a cooler.
After heating to 0 ° C., a silane coupling agent is inserted so that the composition of H to K in Table 1 [Table 1] is introduced, the mixture is reacted for 5 minutes, and immediately cooled to obtain modified reaction products A to G. It was

【0020】[0020]

【表1】 [Table 1]

【0021】実施例1〜9 および比較例1〜8 第2表〔表2〕に示す組成(重量部)の配合物をヘンシ
ェルミキサーで混合し、さらに100〜130℃の熱ロ
ールにて3分間溶融・混練した。この混合物を冷却、粉
砕し、打錠して成形用樹脂組成物を得た。なお、第1、
第2表中で使用した原料は、次のものを使用した。 ・ポリマレイミド化合物(1);ビス(4−マレイミド
フェニル)メタン(三井東圧 化学(株)製) ・ポリマレイミド化合物(2);4,4’−ビス(3−
マレイミドフェノキシ)ビフ ェニル(三井東圧化学
(株)製) ・エポキシ樹脂;o−クレゾールノボラック型エポキシ
樹脂(EOCN−1020 、日本 化薬(株)製) ・ブロム化エポキシ樹脂;ブロム化フェノールノボラッ
ク型エポキシ樹脂(BREN −S、日本化薬(株)
製) ・硬化剤;ノボラック型フェノール樹脂(PN−80
、日本化薬(株)製) ・無機充填剤(1);平均粒子径20μの球形溶融シリ
カ(ハリミックS−CO、(株)マ イクロン製) ・無機充填剤(2);平均粒子径13μの不定形溶融シ
リカ(ヒューズレックスRD−8 (株)龍森製) ・シランカップリング剤;3−(2−アミノエチルアミ
ノプロピル)トリメトキシシラン(KBM603、信越
化学工業(株)製) ・シランカップリング剤;3−(2−アミノエチルアミ
ノプロピル)メチルジメトキシシラン(KBM602、
信越化学工業(株)製) ・シランカップリング剤;3−フェニルアミノプロピル
トリメトキシシラン(SZ−6083、東レ・ダウコー
ニング・シリコーン(株)製) ・シランカップリング剤;3−グリシドキシプロピルト
リメトキシシラン(A−187、日本ユニカー(株)
製) ・難燃助剤(酸化アンチモン;住友金属鉱山(株)製) ・硬化促進剤(C17Z;四国化成(株)製)
Examples 1 to 9 and Comparative Examples 1 to 8 The compositions (parts by weight) shown in Table 2 [Table 2] were mixed in a Henschel mixer, and further heated on a hot roll at 100 to 130 ° C. for 3 minutes. Melted and kneaded. This mixture was cooled, pulverized, and tableted to obtain a molding resin composition. The first,
The raw materials used in Table 2 were as follows. -Polymaleimide compound (1); bis (4-maleimidophenyl) methane (manufactured by Mitsui Toatsu Chemicals, Inc.)-Polymaleimide compound (2); 4,4'-bis (3-
Maleimidophenoxy) biphenyl (manufactured by Mitsui Toatsu Chemicals, Inc.)-Epoxy resin; o-cresol novolac type epoxy resin (EOCN-1020, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)-Brominated epoxy resin; Brominated phenol novolac type Epoxy resin (BREN-S, Nippon Kayaku Co., Ltd.)
Hardener; Novolac type phenolic resin (PN-80
, Nippon Kayaku Co., Ltd.-Inorganic filler (1); Spherical fused silica with an average particle size of 20μ (Halmic S-CO, manufactured by Micron Co., Ltd.)-Inorganic filler (2); Average particle size of 13μ Amorphous fused silica (Fuselex RD-8 manufactured by Tatsumori Co., Ltd.)-Silane coupling agent; 3- (2-aminoethylaminopropyl) trimethoxysilane (KBM603, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.)-Silane Coupling agent; 3- (2-aminoethylaminopropyl) methyldimethoxysilane (KBM602,
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.-Silane coupling agent; 3-phenylaminopropyltrimethoxysilane (SZ-6083, Toray Dow Corning Silicone Co., Ltd.)-Silane coupling agent; 3-glycidoxypropyl Trimethoxysilane (A-187, Nippon Unicar Co., Ltd.)
・ Flame retardant aid (antimony oxide; Sumitomo Metal Mining Co., Ltd.) ・ Curing accelerator (C 17 Z; Shikoku Kasei Co., Ltd.)

【0022】[0022]

【表2】 ・硬化促進剤(TPP−K;北興化学工業(株)製) ・離型剤(ヘキストワックスOP;ヘキストジャパン
(株)製) ・着色剤(カーボンブラック;三菱化成工業(株)製) 以上のようにして得られた成形用樹脂組成物を用いてト
ランスファー成形(180℃、30kg/cm2 、3分
間)により、物性測定用の試験片を成形した。また、フ
ラットパッケージ型半導体装置用リードフレームの素子
搭載部に、四隅に100μ×100μ、厚み1μのアル
ミニウム製ボンディングパッド部とこれらを繋ぐ、幅1
0μのアルミニウム配線を施した試験用素子(10mm
×10mm角)を搭載した、金線でリードフレームとボ
ンディングパッド部を繋いだ後、トランスファー成形
(180℃、30kg/cm2 、3分間)により、試験
用半導体装置を得た。これらの試験用成形物は、各試験
を行う前に、180℃で6時間、後硬化を行った。試験
結果を第3表〔表3〕に示す。
[Table 2] -Curing accelerator (TPP-K; manufactured by Kitako Chemical Co., Ltd.)-Release agent (Hoechst wax OP; manufactured by Hoechst Japan Co., Ltd.)-Coloring agent (carbon black; manufactured by Mitsubishi Kasei Co., Ltd.) A test piece for measuring physical properties was molded by transfer molding (180 ° C., 30 kg / cm 2 , 3 minutes) using the molding resin composition thus obtained. In addition, the element mounting portion of the lead frame for the flat package type semiconductor device is connected to the aluminum bonding pad portions of 100 μ × 100 μ and the thickness of 1 μ at the four corners, and the width is 1
Test element with 0μ aluminum wiring (10mm
A test semiconductor device was obtained by connecting the lead frame and the bonding pad portion with a gold wire having a size of × 10 mm square mounted thereon, and then performing transfer molding (180 ° C., 30 kg / cm 2 , 3 minutes). These test molded articles were post-cured at 180 ° C. for 6 hours before performing each test. The test results are shown in Table 3 [Table 3].

【0023】[0023]

【表3】 [Table 3]

【0024】[0024]

【発明の効果】実施例および比較例にて説明したごと
く、本発明による樹脂組成物は、実装時の耐クラック性
およびその後の耐湿性に優れた樹脂組成物である。従っ
て、この樹脂組成物でリフローおよびフロー半田付け方
法が適用される表面実装型の半導体装置を封止した場
合、優れた耐半田クラック性および耐湿性を示し、信頼
性の高い樹脂封止型半導体装置を得ることができ、工業
的に有益な発明である。
As described in Examples and Comparative Examples, the resin composition according to the present invention is a resin composition having excellent crack resistance during mounting and moisture resistance after that. Therefore, when a surface mount type semiconductor device to which a reflow and flow soldering method is applied is sealed with this resin composition, it exhibits excellent solder crack resistance and moisture resistance, and is a highly reliable resin-sealed semiconductor. This is an industrially advantageous invention because the device can be obtained.

フロントページの続き (72)発明者 鳥飼 基之 神奈川県横浜市栄区笠間町1190番地 三井 東圧化学株式会社内 (72)発明者 朝比奈 浩太郎 神奈川県横浜市栄区笠間町1190番地 三井 東圧化学株式会社内(72) Inventor Motoyuki Torikai 1190 Kasama-cho, Sakae-ku, Yokohama, Kanagawa Mitsui Toatsu Chemical Co., Ltd. (72) Kotaro Asahina 1190, Kasama-cho, Sakae-ku, Yokohama, Kanagawa Mitsui Toatsu Chemical Co., Ltd. Within

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 1分子中に2個以上のマレイミド基を有
するポリマレイミド化合物および一般式(1)〔化1〕 【化1】 〔式中、Yはアミノ基を含む一価の有機基、R1 、R2
およびR3 は水素原子、フェニル基、炭素数1〜6のア
ルキル基または、OR基(Rは水素原子または炭素数1
〜5のアルキル基を示す。)であり、かつR1 、R2
よびR3 の少なくとも1つは−OR基である〕で表され
るシランカップリング剤を変性反応せしめてなる変性反
応物を主体として含有する熱硬化性樹脂組成物。
1. A polymaleimide compound having two or more maleimide groups in one molecule and a compound represented by the general formula (1) [Chemical Formula 1] [In the formula, Y is a monovalent organic group containing an amino group, R 1 and R 2
And R 3 is a hydrogen atom, a phenyl group, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, or an OR group (R is a hydrogen atom or a carbon number 1
The alkyl groups of 5 are shown. And at least one of R 1 , R 2 and R 3 is an —OR group]. A thermosetting resin mainly containing a modification reaction product obtained by modifying the silane coupling agent. Composition.
【請求項2】 ポリマレイミド化合物にあらかじめフェ
ノール樹脂を含有せしめた請求項1記載の熱硬化性樹脂
組成物。
2. The thermosetting resin composition according to claim 1, wherein the polymaleimide compound contains a phenol resin in advance.
【請求項3】 請求項1または2記載の熱硬化性樹脂組
成物および1分子中に少なくとも2個のエポキシ基を有
するエポキシ樹脂を含むことを特徴とする樹脂組成物。
3. A resin composition comprising the thermosetting resin composition according to claim 1 or 2 and an epoxy resin having at least two epoxy groups in one molecule.
【請求項4】 請求項1、2または3に記載の樹脂組成
物を主体として含有してなる半導体封止用樹脂組成物。
4. A resin composition for semiconductor encapsulation, which mainly contains the resin composition according to claim 1, 2, or 3.
【請求項5】 請求項1、2または3に記載の樹脂組成
物及び無機充填剤を主体として含有してなる半導体封止
用樹脂組成物。
5. A resin composition for semiconductor encapsulation, which mainly contains the resin composition according to claim 1, 2 or 3 and an inorganic filler.
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