JPH06139625A - 光ディスク原盤の露光装置 - Google Patents
光ディスク原盤の露光装置Info
- Publication number
- JPH06139625A JPH06139625A JP4290591A JP29059192A JPH06139625A JP H06139625 A JPH06139625 A JP H06139625A JP 4290591 A JP4290591 A JP 4290591A JP 29059192 A JP29059192 A JP 29059192A JP H06139625 A JPH06139625 A JP H06139625A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- photoresist
- prism
- exposure apparatus
- beams
- Prior art date
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- Pending
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- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】光ディスク基板にトラック溝を形成するための
フォトレジストの露光装置で、光の干渉縞を形成するこ
とにより、回転などの駆動機構を削除し、露光時間の短
縮化を図った露光装置を提供する。 【構成】レーザ光源１のレーザビームをビームエキスパ
ンダ３で拡大し、ビームスプリッタ４により、5a、5bの
ビームに分岐し、ビーム5aはフォトレジスト11が塗布さ
れたガラス基板12の背面から垂直に入射し、ビーム5bは
凸または凹状の円錐面をもつプリズムを透過し、微小角
偏向し、ビーム5aとは反対方向から入射し、フォトレジ
スト11の面上に干渉縞を形成することにより、トラック
間隔、真円度の高い同心円状のトラック溝を形成する。
フォトレジストの露光装置で、光の干渉縞を形成するこ
とにより、回転などの駆動機構を削除し、露光時間の短
縮化を図った露光装置を提供する。 【構成】レーザ光源１のレーザビームをビームエキスパ
ンダ３で拡大し、ビームスプリッタ４により、5a、5bの
ビームに分岐し、ビーム5aはフォトレジスト11が塗布さ
れたガラス基板12の背面から垂直に入射し、ビーム5bは
凸または凹状の円錐面をもつプリズムを透過し、微小角
偏向し、ビーム5aとは反対方向から入射し、フォトレジ
スト11の面上に干渉縞を形成することにより、トラック
間隔、真円度の高い同心円状のトラック溝を形成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光ディスク原盤にトラ
ック溝を形成するためのフォトレジストの露光装置に関
する。
ック溝を形成するためのフォトレジストの露光装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】従来より実施されている光ディスク原盤
の露光装置について、図５、６により説明する。図５は
光ディスク基板の製造工程図である。図５において、フ
ォトレジスト塗布の段階で、ガラス基板12の上に感光材
としてフォトレジスト11が塗布される。次に、露光の段
階で、小さく絞られたレーザースポット光13を前記フォ
トレジスト11上に照射掃引して、フォトレジスト11を露
光して、トラック部14を記録する。次の現像段階で現像
処理が行われ、トラック溝15が形成され、原盤16ができ
る。次の電鋳の段階で、前記原盤16を母型にして、スタ
ンパー17を製作し、射出成形段階で、前記スタンパー17
を用いて、射出成形技術によりプラスチックの光ディス
ク基板18を作製する。
の露光装置について、図５、６により説明する。図５は
光ディスク基板の製造工程図である。図５において、フ
ォトレジスト塗布の段階で、ガラス基板12の上に感光材
としてフォトレジスト11が塗布される。次に、露光の段
階で、小さく絞られたレーザースポット光13を前記フォ
トレジスト11上に照射掃引して、フォトレジスト11を露
光して、トラック部14を記録する。次の現像段階で現像
処理が行われ、トラック溝15が形成され、原盤16ができ
る。次の電鋳の段階で、前記原盤16を母型にして、スタ
ンパー17を製作し、射出成形段階で、前記スタンパー17
を用いて、射出成形技術によりプラスチックの光ディス
ク基板18を作製する。
【０００３】図６は従来の露光装置の構成図である。図
６において、露光装置はレーザー光の光学系とガラス基
板を駆動する駆動機構から構成される。光学系はレーザ
ー光源21、ハーフミラー22、対物レンズ23、光検出器2
4、制御回路25、およびアクチュエータ26より構成され
ている。アルゴンなどのレーザー21から出射されたレー
ザー光がハーフミラー22により反射され、対物レンズ23
に入射し、小さく絞られてスポット光13としてガラス基
板12上に塗布されたフォトレジスト11に照射される。こ
のフォトレジスト11からの反射光は再び対物レンズ23を
通過して、ハーフミラー22を透過し、光検出器24で受光
され、フォーカスエラー信号として検出される。このフ
ォーカスエラー信号は制御回路25に入力され、対物レン
ズ23とフォトレジスト11との間隔が一定に保たれるよう
に、対物レンズ23を上下方向に移動させるアクチュエー
タ26を駆動し、レーザースポット光13が常にフォトレジ
スト11上に焦点を結ぶように制御されている。
６において、露光装置はレーザー光の光学系とガラス基
板を駆動する駆動機構から構成される。光学系はレーザ
ー光源21、ハーフミラー22、対物レンズ23、光検出器2
4、制御回路25、およびアクチュエータ26より構成され
ている。アルゴンなどのレーザー21から出射されたレー
ザー光がハーフミラー22により反射され、対物レンズ23
に入射し、小さく絞られてスポット光13としてガラス基
板12上に塗布されたフォトレジスト11に照射される。こ
のフォトレジスト11からの反射光は再び対物レンズ23を
通過して、ハーフミラー22を透過し、光検出器24で受光
され、フォーカスエラー信号として検出される。このフ
ォーカスエラー信号は制御回路25に入力され、対物レン
ズ23とフォトレジスト11との間隔が一定に保たれるよう
に、対物レンズ23を上下方向に移動させるアクチュエー
タ26を駆動し、レーザースポット光13が常にフォトレジ
スト11上に焦点を結ぶように制御されている。
【０００４】ガラス基板12を駆動する駆動機構は移動ス
テージ28とスピンドルモーター29とより構成され、ガラ
ス基板12の半径方向に移動可能な移動ステージ28に、ス
ピンドルモーター29が取付けられ、スピンドルモーター
29の回転とともに移動ステージ28を半径方向に移動し、
ガラス基板12上にスポット光13をスパイラル状に照射
し、トラック部分14が露光・記録される。
テージ28とスピンドルモーター29とより構成され、ガラ
ス基板12の半径方向に移動可能な移動ステージ28に、ス
ピンドルモーター29が取付けられ、スピンドルモーター
29の回転とともに移動ステージ28を半径方向に移動し、
ガラス基板12上にスポット光13をスパイラル状に照射
し、トラック部分14が露光・記録される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】このような露光装置で
は、トラックの間隔、真円度の精度を厳密に保つため、
スピンドルモーターは軸振れの少ない空気軸受けを使用
したものが必要であり、また、移動ステージには 0.1μ
m 以下の移動精度をもつ高精度移動ステージを必要とす
るなど、装置の大型化、高価格化が避けられなかった。
また、一枚のガラス基板を露光するためには、１〜２万
回転が必要であり、全体の露光時間がかかるという問題
もある。
は、トラックの間隔、真円度の精度を厳密に保つため、
スピンドルモーターは軸振れの少ない空気軸受けを使用
したものが必要であり、また、移動ステージには 0.1μ
m 以下の移動精度をもつ高精度移動ステージを必要とす
るなど、装置の大型化、高価格化が避けられなかった。
また、一枚のガラス基板を露光するためには、１〜２万
回転が必要であり、全体の露光時間がかかるという問題
もある。
【０００６】本発明は上記の点にかんがみてなされたも
のであり、その目的は前記した課題を解決して、回転な
どの駆動機構を削除して、小型化・低価格化が図れ、露
光時間の短縮化が図れる光ディスク原盤の露光装置を提
供することにある。
のであり、その目的は前記した課題を解決して、回転な
どの駆動機構を削除して、小型化・低価格化が図れ、露
光時間の短縮化が図れる光ディスク原盤の露光装置を提
供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の光ディスク原盤の露光装置は、感光材が塗
布された基板に光を照射し、トラック溝を形成する光デ
ィスク原盤の露光装置において、レーザー光源と、この
レーザー光源からのレーザービームを遮断するシャッタ
と、レーザー光源からのレーザービームの径を基板の径
とほぼ同一ビーム径に変換するビームエキスパンダと、
このビームエキスパンダからの出射光を２本のビームに
分岐するビームスプリッタと、この分岐された一方のビ
ームを基板に照射するための第１の偏向装置と、他方の
ビームを、前記一方のビームとは反対方向から、基板を
照射するための第２の偏向装置と、これらの２本のビー
ムのうちの少なくとも一個のビームの光路中に基板に接
近配置された円錐面をもつプリズムとを備え、この円錐
面をもつプリズムの出射光と、この出射光とは反対方向
から来る他のビームとで干渉縞を前記感光材上に形成す
るものとする。
に、本発明の光ディスク原盤の露光装置は、感光材が塗
布された基板に光を照射し、トラック溝を形成する光デ
ィスク原盤の露光装置において、レーザー光源と、この
レーザー光源からのレーザービームを遮断するシャッタ
と、レーザー光源からのレーザービームの径を基板の径
とほぼ同一ビーム径に変換するビームエキスパンダと、
このビームエキスパンダからの出射光を２本のビームに
分岐するビームスプリッタと、この分岐された一方のビ
ームを基板に照射するための第１の偏向装置と、他方の
ビームを、前記一方のビームとは反対方向から、基板を
照射するための第２の偏向装置と、これらの２本のビー
ムのうちの少なくとも一個のビームの光路中に基板に接
近配置された円錐面をもつプリズムとを備え、この円錐
面をもつプリズムの出射光と、この出射光とは反対方向
から来る他のビームとで干渉縞を前記感光材上に形成す
るものとする。
【０００８】また、上記構成の光ディスク原盤の露光装
置において、基板の両側に、半径によって透過率が異な
るフィルターを配置したものとする。
置において、基板の両側に、半径によって透過率が異な
るフィルターを配置したものとする。
【０００９】
【作用】上記構成により、円錐面をもつプリズムから出
射された出射光と、この出射光とは反対方向から来る他
のビームと、が透明な基板上に塗布された感光材上に干
渉縞を形成し、この干渉縞により感光材に真円度の高い
同心円のトラック部を露光・記録することができる。こ
のため、光ディスク基板を回転、移動させる駆動機構が
不要となり、露光装置の小型化、低価格化を図ることが
できる。また、光ディスク原盤の感光材の面全体を同時
に露光するように構成したことにより、露光時間の短縮
化を図ることができる。
射された出射光と、この出射光とは反対方向から来る他
のビームと、が透明な基板上に塗布された感光材上に干
渉縞を形成し、この干渉縞により感光材に真円度の高い
同心円のトラック部を露光・記録することができる。こ
のため、光ディスク基板を回転、移動させる駆動機構が
不要となり、露光装置の小型化、低価格化を図ることが
できる。また、光ディスク原盤の感光材の面全体を同時
に露光するように構成したことにより、露光時間の短縮
化を図ることができる。
【００１０】また、上記構成の光ディスク原盤の露光装
置において、基板の両側に、半径によって透過率が異な
るフィルター、即ち、光ディスク原盤の中心部分は光の
透過率を低くし、周辺部分にいくほど光の透過率が高く
なるフィルターを配置し、光ディスク原盤の半径方向の
どの位置でも、フィルター通過後の光量分布が一定であ
るように構成することにより、干渉縞の露光量を一定に
し、トラック溝の太さを一定にすることができる。
置において、基板の両側に、半径によって透過率が異な
るフィルター、即ち、光ディスク原盤の中心部分は光の
透過率を低くし、周辺部分にいくほど光の透過率が高く
なるフィルターを配置し、光ディスク原盤の半径方向の
どの位置でも、フィルター通過後の光量分布が一定であ
るように構成することにより、干渉縞の露光量を一定に
し、トラック溝の太さを一定にすることができる。
【００１１】
【実施例】図１は本発明による光ディスク原盤の露光装
置の一実施例の構成図を示したものであり、図５、図６
に対応する同一部材には同じ符号が付してある。図１に
おいて、本露光装置の光学系はレーザー光源１、シャッ
ター２、ビームエキスパンダー３、ビームスプリッター
４、反射鏡6a、6b、７、および円錐状面をもつプリズム
８より構成されている。
置の一実施例の構成図を示したものであり、図５、図６
に対応する同一部材には同じ符号が付してある。図１に
おいて、本露光装置の光学系はレーザー光源１、シャッ
ター２、ビームエキスパンダー３、ビームスプリッター
４、反射鏡6a、6b、７、および円錐状面をもつプリズム
８より構成されている。
【００１２】レーザー光源１から出射されたレーザー光
は、シャッター２を通過し、ビームエキスパンダー３に
よりガラス基板12とほぼ同じ径のビームに変換され、ビ
ームスプリッター４で二つのビーム5a、5bに分岐され
る。分岐された一方のビーム5aは反射鏡6a、6bにより反
射され、ガラス基板12に照射される。他方のビーム5bは
反射鏡７により反射され、円錐面をもつ凸または凹状の
プリズム８を透過し、微小角偏向してガラス基板12に照
射される。
は、シャッター２を通過し、ビームエキスパンダー３に
よりガラス基板12とほぼ同じ径のビームに変換され、ビ
ームスプリッター４で二つのビーム5a、5bに分岐され
る。分岐された一方のビーム5aは反射鏡6a、6bにより反
射され、ガラス基板12に照射される。他方のビーム5bは
反射鏡７により反射され、円錐面をもつ凸または凹状の
プリズム８を透過し、微小角偏向してガラス基板12に照
射される。
【００１３】上記構成により、ビーム5aの光と、円錐面
をもつ凸または凹状のプリズム８を透過し、微小角偏向
したビーム5bの光とは、ガラス基板12に塗布されたフォ
トレジスト11上で干渉し、明暗の干渉縞を生ずる。図２
は本発明の光ディスク原盤の露光装置における干渉縞の
発生の原理図である。ビーム5aと、円錐状プリズム８を
透過して微小角偏向したビーム5bはガラス基板12上に塗
布されたフォトレジスト11上で干渉し、明暗の干渉縞を
生ずる。
をもつ凸または凹状のプリズム８を透過し、微小角偏向
したビーム5bの光とは、ガラス基板12に塗布されたフォ
トレジスト11上で干渉し、明暗の干渉縞を生ずる。図２
は本発明の光ディスク原盤の露光装置における干渉縞の
発生の原理図である。ビーム5aと、円錐状プリズム８を
透過して微小角偏向したビーム5bはガラス基板12上に塗
布されたフォトレジスト11上で干渉し、明暗の干渉縞を
生ずる。
【００１４】このとき、縞の間隔ｄと円錐の底角θとの
関係は、レーザー光の波長をλ、プリズムの屈折率をｎ
とすると、
関係は、レーザー光の波長をλ、プリズムの屈折率をｎ
とすると、
【００１５】
【数１】 ｄ＝λ／〔 sinθ・｛ｎ cosθ−（１−ｎ2 sin2θ)1/2｝〕 で表される。この縞の間隔ｄは円錐面をもつプリズムが
凸状または凹状のいずれのものであっても、その円錐の
底角θできまり、θが同じであれば同じ間隔ｄとなり、
この縞の間隔ｄによりトラックの間隔が決定される。露
光時間はシャッタの開放時間によって決定される。
凸状または凹状のいずれのものであっても、その円錐の
底角θできまり、θが同じであれば同じ間隔ｄとなり、
この縞の間隔ｄによりトラックの間隔が決定される。露
光時間はシャッタの開放時間によって決定される。
【００１６】図３は本発明の第２の実施例の構成図を示
したものであり、第１の実施例との違いは、ガラス基板
12の両側に中心部の透過率が小さく、周辺部の透過率が
大きいフィルタ9a、9bを挿入したことにある。２本のビ
ーム5a、5bの光量分布は、図4aの光量分布図に示される
ように、通常は中心部が大きく、周辺部が小さい。この
ような光量分布の場合、中心部と周辺部とで最適な露光
時間が異なるため、現像後のトラック部の幅が半径方向
で異なるという問題がある。フィルタ9a、9bは図4bに示
されるように、中心部の透過率が小さく、周辺部の透過
率が大きいため、ビーム5a、5bの光量分布と相殺され
て、図4cに示されるように、ガラス基板12に照射される
光量分布を一定にし、中心部と周辺部との露光条件を一
定に保つことができる。
したものであり、第１の実施例との違いは、ガラス基板
12の両側に中心部の透過率が小さく、周辺部の透過率が
大きいフィルタ9a、9bを挿入したことにある。２本のビ
ーム5a、5bの光量分布は、図4aの光量分布図に示される
ように、通常は中心部が大きく、周辺部が小さい。この
ような光量分布の場合、中心部と周辺部とで最適な露光
時間が異なるため、現像後のトラック部の幅が半径方向
で異なるという問題がある。フィルタ9a、9bは図4bに示
されるように、中心部の透過率が小さく、周辺部の透過
率が大きいため、ビーム5a、5bの光量分布と相殺され
て、図4cに示されるように、ガラス基板12に照射される
光量分布を一定にし、中心部と周辺部との露光条件を一
定に保つことができる。
【００１７】本発明の実施例の図１、図３では、円錐面
をもつ凸状のプリズムで図示したが、凹状のプリズムで
もビーム5bが前者では凸レンズ作用によりビーム径がや
や狭まるが、後者では凹レンズ作用によりビーム径がや
や広がる点を除いて同じ作用効果をもつ。さらに、本発
明の実施例では、ビーム5b側にプリズム８が図示されて
いるが、同種のプリズムをビーム5a側にも入れてもよ
い。この場合、縞の間隔ｄは片側のみにプリズムを入れ
た場合に比べて、概略半分位に間隔ｄを縮小することが
可能となる。
をもつ凸状のプリズムで図示したが、凹状のプリズムで
もビーム5bが前者では凸レンズ作用によりビーム径がや
や狭まるが、後者では凹レンズ作用によりビーム径がや
や広がる点を除いて同じ作用効果をもつ。さらに、本発
明の実施例では、ビーム5b側にプリズム８が図示されて
いるが、同種のプリズムをビーム5a側にも入れてもよ
い。この場合、縞の間隔ｄは片側のみにプリズムを入れ
た場合に比べて、概略半分位に間隔ｄを縮小することが
可能となる。
【００１８】
【発明の効果】以上述べたように本発明の構成によれ
ば、レーザー光源からのビームを２つに分岐し、ガラス
基板全体に照射し、干渉によって生ずる明暗の干渉縞に
よりトラック部を露光するように構成したことにより、
ガラス基板の回転機構や移動機構を削除することがで
き、装置の小型化・低価格化が実現でき、また、ガラス
基板全体を同時に露光するため、露光時間の短縮化もで
きる。
ば、レーザー光源からのビームを２つに分岐し、ガラス
基板全体に照射し、干渉によって生ずる明暗の干渉縞に
よりトラック部を露光するように構成したことにより、
ガラス基板の回転機構や移動機構を削除することがで
き、装置の小型化・低価格化が実現でき、また、ガラス
基板全体を同時に露光するため、露光時間の短縮化もで
きる。
【００１９】さらに、半径方向に透過率の異なるフィル
ターを挿入することにより、ガラス原盤の露光条件を一
定にすることができる。
ターを挿入することにより、ガラス原盤の露光条件を一
定にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例の構成図
【図２】干渉縞の発生の原理図
【図３】本発明の他実施例の構成図
【図４】ビームの光量分布図
【図５】光ディスク基板の製造工程図
【図６】従来技術の光ディスク原盤の露光装置の構成図
１ レーザー光源 ２ シャッター ３ ビームエキスパンダー ４ ビームスプリッター 6a、6b、7 反射鏡 ８ 円錐面をもつプリズム 9a、9b フィルター 10 干渉縞 11 フォトレジスト 12 ガラス基板 13 レーザースポット光 14 トラック部 16 原盤 18 光ディスク基板
Claims (2)
- 【請求項１】感光材が塗布された基板に光を照射し、ト
ラック溝を形成する光ディスク原盤の露光装置におい
て、 レーザー光源と、 このレーザー光源からのレーザービームを遮断するシャ
ッタと、 前記レーザー光源からの前記レーザービームの径を前記
基板の径とほぼ同一ビーム径に変換するビームエキスパ
ンダと、 このビームエキスパンダからの出射光を２本のビームに
分岐するビームスプリッタと、 前記分岐された一方のビームを前記基板に照射するため
の第１の偏向装置と、 前記一方のビームとは反対方向から、他方のビームを前
記基板に照射するための第２の偏向装置と、 前記２本のビームのうちの少なくとも一個のビームの光
路に前記基板に接近配置された円錐面をもつプリズム
と、 を備え、前記円錐面をもつプリズムの出射光と、この出
射光とは反対方向から来る他のビームとで干渉縞を前記
感光材上に形成することを特徴とする光ディスク原盤の
露光装置。 - 【請求項２】請求項１に記載の光ディスク原盤の露光装
置において、基板の両側に、半径によって透過率が異な
るフィルターを配置したことを特徴とする光ディスク原
盤の露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4290591A JPH06139625A (ja) | 1992-10-29 | 1992-10-29 | 光ディスク原盤の露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4290591A JPH06139625A (ja) | 1992-10-29 | 1992-10-29 | 光ディスク原盤の露光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06139625A true JPH06139625A (ja) | 1994-05-20 |
Family
ID=17758001
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4290591A Pending JPH06139625A (ja) | 1992-10-29 | 1992-10-29 | 光ディスク原盤の露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06139625A (ja) |
-
1992
- 1992-10-29 JP JP4290591A patent/JPH06139625A/ja active Pending
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |