JPH06139624A - Disk processing method and disk manufacturing device - Google Patents

Disk processing method and disk manufacturing device

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JPH06139624A
JPH06139624A JP31102992A JP31102992A JPH06139624A JP H06139624 A JPH06139624 A JP H06139624A JP 31102992 A JP31102992 A JP 31102992A JP 31102992 A JP31102992 A JP 31102992A JP H06139624 A JPH06139624 A JP H06139624A
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disk
processing
predetermined
protective film
disks
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Hiroaki Goto
弘彰 後藤
Yoshihiko Naito
佳彦 内藤
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05CAPPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C11/00Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
    • B05C11/02Apparatus for spreading or distributing liquids or other fluent materials already applied to a surface ; Controlling means therefor; Control of the thickness of a coating by spreading or distributing liquids or other fluent materials already applied to the coated surface
    • B05C11/08Spreading liquid or other fluent material by manipulating the work, e.g. tilting

Abstract

PURPOSE:To increase a speed for processing by processing a part of the predetermined processing items for predetermined numbers of sheets of disks and processing cold disks after finishing the processing of the set sheets of disks. CONSTITUTION:The receiving base 4A of a disk inspection device 4 rotates at a constant speed, irradiates a disk with the light beam through a lens provided on a casing, reads the reflected light and performs a prescribed inspection. When this inspection is terminated, a fourth transfer means 5 is operated and the disk D on the disk receiving base 4A is transferred to an ejecting part 6. At the same time with the lapse of preset time, a stopping signal for disk supply is applied by one sheet to the fourth transfer means 5, a disk suction head 4B is descended, a cold disk D is mounted on the disk receiving base 4A in the empty state and a second inspection starting command is issued.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【産業上の利用分野】本発明は,コンパクトディスク,
光ディスクのようなディスクの処理方法および装置に関
する。
The present invention relates to a compact disc,
The present invention relates to a method and apparatus for processing a disc such as an optical disc.

【従来技術】先ず,コンパクトディスクの主な製造工程
について説明する。最初にポリカーボネイト製のディス
ク基板が射出成形される。このとき,録音データはディ
スク基板表面のピットの配列として,既にその基板中に
収められている。次に,ディスク基板のピットを有する
表面に,反射膜としてアルミニウム膜をスパッタリン
グ,または蒸着により形成する。このアルミニウム膜
は,データ読み取り用のレーザ光をディスクプレーヤの
ピックアップに反射させる反射膜の役割を行う。この後
で,アルミニウム膜の損傷,腐食,劣化を防ぐために,
アルミニウム膜の上に合成樹脂の保護膜をスピンコーテ
ィングにより形成する。このようにして合成樹脂の保護
膜で覆われたディスクは,予め決められた検査項目につ
いて順次検査が行われる。このような製造工程が行われ
る生産ラインについて,本発明を説明するための図4を
利用して簡単に説明すると,射出成形機1で射出成形さ
れたディスク基板はスパッタ成膜装置2において前述の
アルミニウム膜が形成され,次にスピンコータ3に移送
される。スピンコータ3は,主にディスク基板表面に保
護膜形成用の合成樹脂塗料を供給する吐出部3Aと,デ
ィスク基板表面に供給された合成樹脂塗料を高速回転に
よる遠心分離力で広げ,所望膜厚の均一な保護膜を形成
するスピン部3Bと,紫外線照射などによりその保護膜
を硬化させる塗膜硬化促進部3Cとからなる。このよう
にして保護膜の形成されたディスクはディスク検査装置
4に送られる。さてここで,射出成形されたばかりのデ
ィスク基板はかなり温度が高いが,多くの従来の一貫生
産ラインにおいては,各工程での処理速度が遅いという
理由から射出成形されたディスク基板が所定の処理が施
されて検査装置4に至るまでにはかなりの時間がかか
り,したがって,検査装置4に供給される各ディスクの
温度は低くなっており,温度の高い状態で検査するのは
好ましくない検査項目があっても,検査装置4で自動的
に各ディスクを予め決められた検査項目に従って検査を
行うことができる。しかし新しい一部の処理時間の短い
高速度の自動生産ラインにおいては,ディスク検査装置
4に供給される各ディスクの温度が未だ高い状態にある
ので,一旦スタッカーなどに集めて冷し,しかる後にそ
のスタッカーを検査ラインに運んで各ディスクを順次自
動的に予め決められた検査項目すべてを検査している。
したがって,この場合には一貫生産ラインを構成するの
は難しく,また射出成形工程から最終的なディスクが得
られるまでには前述と同じくらいの時間がかかってしま
う。
2. Description of the Related Art First, the main manufacturing process of a compact disc will be described. First, a disc substrate made of polycarbonate is injection-molded. At this time, the recorded data is already stored in the substrate as an array of pits on the surface of the disc substrate. Next, an aluminum film as a reflective film is formed on the surface of the disk substrate having the pits by sputtering or vapor deposition. The aluminum film serves as a reflection film that reflects the laser beam for reading data to the pickup of the disc player. After this, in order to prevent damage, corrosion and deterioration of the aluminum film,
A synthetic resin protective film is formed on the aluminum film by spin coating. The disk thus covered with the protective film of synthetic resin is sequentially inspected for predetermined inspection items. A production line in which such a manufacturing process is performed will be briefly described with reference to FIG. 4 for explaining the present invention. A disk substrate injection-molded by the injection molding machine 1 will be described above in the sputter deposition apparatus 2. An aluminum film is formed and then transferred to the spin coater 3. The spin coater 3 mainly spreads the synthetic resin coating material for forming a protective film on the disk substrate surface and the synthetic resin coating material supplied on the disk substrate surface by centrifugal force by high-speed rotation to spread a desired film thickness. The spin portion 3B forms a uniform protective film, and the coating film hardening accelerating portion 3C hardens the protective film by UV irradiation or the like. The disc with the protective film thus formed is sent to the disc inspection device 4. Now, the temperature of the injection-molded disk substrate is quite high, but in many conventional integrated production lines, the injection-molded disk substrate is subjected to the predetermined processing because the processing speed in each process is slow. It takes a considerable time to reach the inspection device 4 after it has been applied. Therefore, the temperature of each disk supplied to the inspection device 4 is low, and it is not desirable to inspect in a high temperature state. Even if there is, the inspection device 4 can automatically inspect each disk according to predetermined inspection items. However, in some new high-speed automatic production lines with a short processing time, since the temperature of each disk supplied to the disk inspection device 4 is still high, the disk is temporarily collected in a stacker or the like and cooled, and then the The stacker is carried to the inspection line and each disc is automatically inspected in sequence for all the predetermined inspection items.
Therefore, in this case, it is difficult to construct an integrated production line, and it takes as much time as that described above from the injection molding process until the final disc is obtained.

【発明が解決しようとする課題】本発明は上述のような
問題点を解決し,ディスクの一貫自動生産ラインの高速
化を可能にする検査などの処理方法および製造装置を提
案することを課題としている。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to solve the above-mentioned problems and to propose a processing method and a manufacturing apparatus for inspection, etc., which enable speeding up of an integrated automatic disk production line. There is.

【問題を解決するための手段】この課題を解決するた
め,本発明は保護被膜の形成されたディスクを所定の処
理を行う処理方法および製造装置において,予め決めら
れた設定枚数のディスクについては予め決められた処理
項目の一部分を処理し,その設定枚数毎にディスク1枚
については別の位置に保持して冷し,次の設定枚数のデ
ィスクの処理の終了後に,あるいは設定時間後に前記冷
えたデイスクについて予め決められ処理項目に従って処
理するものである。
In order to solve this problem, the present invention is directed to a processing method and a manufacturing apparatus for performing a predetermined process on a disk having a protective coating formed thereon, in which a predetermined number of disks are set in advance. A part of the determined processing items is processed, and for each set number of discs, one disc is held at a different position and cooled, and after the processing of the next set number of discs is finished, or after a set time, the disc is cooled. The disk is processed according to predetermined processing items.

【実施例】図1乃至図4によって本発明の一実施例を説
明すると,射出成形機1で射出成形されたディスクDは
スパッタ成膜装置2において前述のアルミニウム膜が形
成され,次にスピンコータ3に移送される。スピンコー
タ3で保護膜の形成されたディスクDはディスク検査装
置4に送られる。このような製造工程の順序については
従来とあまり変わらないが,大きく異なる点はディスク
検査装置4がディスク製造ラインに組み入れることので
きる機構および処理方法にしたところにある。図4に示
すように,射出成形機1で射出成形されたディスクDは
高速型スピンコータ3の所定位置に置かれる。そのディ
スクDは,先端に吸着機構を有する旋回アームなどから
なる第1の移送手段3A1により,塗料吐出部3Aにお
けるターンテーブル3A2の4か所に一定間隔で設置さ
れたディスク受部に載置される。ターンテーブル3A2
が矢印方向に1/4回転した位置で,ディスクDは第2
の移送手段2Aにより,スパッタ成膜装置2へ移送され
る。第2の移送手段2Aは180°開いた一対の旋回ア
ームを備え,それら各旋回アームは第1の移送手段3A
1のものとほぼ同じである。スパッタ成膜装置2で反射
膜の形成されたディスクDは,再び第2の移送手段2A
によりターンテーブル3A2に戻され,次の吐出位置で
塗料吐出ノズル3A3により保護膜形成用の塗料が供給
される。吐出ノズル3A3は,吐出位置で停止したディ
スクDの中心点を中心にしてある小円を描くようほぼ1
回転しながら,一定量の塗料をディスクDに供給する。
しかし,吐出ノズル3A3が一点に停止していて,吐出
位置でディスクDがほぼ1回転しても良い。塗料の与え
られたディスクDは次の位置において,スピン部3Bの
第3の移送手段3B1により高速スピン部3B2に移送
される。第3の移送手段3B1は先端に吸着機構を持つ
一対の旋回アームなどからなり,一方の旋回アームがタ
ーンテーブル3A2上のディスクDを吸着するとき,他
方の旋回アームが高速スピン部3B2のディスクDを吸
着するようになっており,それぞれのディスクDを別々
の一方の場所から他方の場所へ同時に移送する。高速ス
ピン部3B2はディスクDを高速回転させて,吐出ノズ
ル3A3で供給された塗料を遠心力により均一に拡散さ
せ,薄い均一の保護膜をディスク面に形成する。このよ
うに保護膜の形成されたディスクDは,第3の移送手段
3B1により塗膜硬化促進部3Cのターンテーブル3C
1上に載置され,ターンテーブル3C1の回転により紫
外線照射装置3C2の下を通過するとき,保護膜が硬化
される。保護膜の硬化されたディスクDは,第4の移送
手段5により処理装置としてのディスク検査装置4のデ
ィスク受け台4A上に載置される。第4の移送手段5は
第3の移送手段3B1と同様な構成である。ディスク検
査装置4のディスク受け台4Aは一定の速度で回転し,
このときディスク検査装置4はその筐体に設けられたレ
ンズを通して光線をディスクに照射し,その反射光を読
みとって所定の検査を行うようになっている。このディ
スク検査装置4はディスク受け台4Aの真上にディスク
吸着ヘッド4Bを備えており,そのディスク吸着ヘッド
はこれを支持している可動アーム4Cにより矢印で示す
ように上下動できるようになっている。そして可動アー
ム4Cは固定アーム4Dにより支持されている。この動
作について図3をも用いて説明すると,第4の移送手段
5によりディスク検査装置4はディスク受け台4Aに供
給されるディスクDはカウンタ(図示せず)によりカウ
ントされ,予め設定された設定枚数以下の場合には,第
1の検査開始指令が発せられ,所定検査項目の一部分に
ついて検査が行われる。このように順次ディスク受け台
4Aに供給されるディスクDは未だ温度が高いので,こ
のような状態で検査すると検査結果に影響の生じる検査
項目については検査が行われない。この検査が終了する
と,第4の移送手段5が動作してディスク受け台4Aの
ディスクDを排出部6へ移送する。このような検査動作
を繰り返し,ディスク受け台4Aに供給されたディスク
Dが設定枚数(例えば,50枚)に達すると,可動アー
ム4Cが作動してディスク吸着ヘッド4Bを下降させ,
ディスク吸着ヘッド4Bがディスク受け台4Aのディス
クDを吸着し,可動アーム4Cが作動してディスク吸着
ヘッド4Bを上昇させる。ディスク吸着ヘッド4Bは吸
着したディスクDを上方の一定位置に保持する。この保
持時間はタイマ(図示せず)により予め設定された時間
(例えば,3分間)であり,その時間の経過と同時に第
4の移送手段5にディスク供給停止信号が1枚分与えら
れると共に,ディスク吸着ヘッド4Bが降下して,空の
状態のディスク受け台4Aに冷えたディスクDを載置す
し,第2の検査開始指令を発する。ここで,ディスク吸
着ヘッド4Bにより上部位置に保持されたディスクDは
装置全体が冷却装置により冷却されているか,又はそう
でない場合にはファン(図示せず)などによる強制冷却
器で冷却されるのが好ましい。ディスクDの冷却時間を
予め決めた時間にしたのは,ディスクDの冷却時間を一
定にすることによりその温度を一定にし,温度の違いに
よる検査データのバラツキを無くすためである。したが
って,事故などによりこの製造装置が停止した場合に
も,設定時間経過に伴い前記第2の検査開始指令が発せ
られて,ディスク受け台4Aに載置された冷えたディス
クDについて所定の検査項目全部を検査するようになっ
ている。そしてその1枚のディスクDの検査が終了する
と,再び第1の検査開始指令が発せられ,前述と同様の
動作が繰り返される。また,前述のように第4の移送手
段5にディスク供給停止信号が1枚分与えられて,ディ
スクの移送動作が停止している期間では,射出成形機1
を除き他の機構は,ディスクDの1枚分処理する時間に
相当する時間だけ一時的に休止する。そして,検査項目
の全てが行われた1枚のディスクDの検査結果が合格の
場合には,その前に部分検査された設定枚数のディスク
Dも検査合格と判定される。しかし,検査項目の全てが
行われた1枚のディスクDの検査結果が不合格の場合に
は,その前に部分検査された設定枚数のディスクDは全
て検査不合格と判定される。検査の終了したディスクD
は,移送手段5により排出部6のディスク置き台6Aに
置かれ,合格品は排出アーム6Bによって排出用コンベ
ア6C上のスタックポール6Dに集積される。また,不
合格品は排出アーム6Bによってスタックポール6Eに
集積される。スタックポール6Dに集積された良品のデ
ィスクDは排出用コンベア6Cにより搬送され,排出ポ
ジションでスタックポール6Dと一緒に排出される。な
お,以上の実施例においては,ディスク受け台4Aに供
給されたディスクDが設定枚数(例えば,50枚)に達
する毎に,部分検査前の1枚のディスクDを可動アーム
4Cとディスク吸着ヘッド4Bにより上昇させ,そのデ
ィスクDを冷却させた後,検査項目全部について検査を
行ったが,そのディスクDは温度の高い状態でも検査可
能な検査項目で不合格のものであるかも知れない。この
場合には前記動作が全く無駄になるので,部分検査済み
のディスクDが設定枚数になる度に,その部分検査後の
1枚のディスクDを可動アーム4Cとディスク吸着ヘッ
ド4Bにより上昇させ,そのディスクDを冷却させた
後,検査項目全部について検査を行うと前述の問題点を
解決できる。以上の実施例では,ディスク検査装置4の
ディスク受け台4Aに一旦載置されたディスクDを上方
に移動させ,上方に保持しており,この方式では他の機
構とのタイミングおよび制御は簡単であるが,可動アー
ム4Cおよびディスク吸着ヘッド4Bなどが別途必要に
なる。この点,別の実施例では図4に鎖線で示すよう
に,塗膜硬化部3Cのターンテーブル3C1の受渡し位
置3C3とディスク検査装置4のディスク受け台4Aと
の中間の冷却位置7にディスク受け台を配置している。
塗膜硬化部3Cのターンテーブル3C1の受渡し位置3
C3が設定枚数に達する毎に,移送手段5の一方の吸着
アームはその設定枚数目のディスクDを冷却位置7にデ
ィスク受け台に載置する。このとき移送手段5の他方の
吸着アームは,ディスク検査装置4のディスク受け台4
AからのディスクDを保持した状態にあり,移送手段5
が更に旋回してその他方の吸着アームが排出部6のディ
スク置き台6Aに達したときディスクDをディスク置き
台6Aに置かれる。この実施例では移送手段5の一対の
吸着アームの吸着を別々に制御する必要があり,また中
間の移送手段5の図示右側の吸着アームが冷却位置7に
停止させるための制御も必要であるが,シーケンス制御
だけで行えるので,コスト上有利であり,また移送手段
5の一方の吸着アームはその設定枚数目のディスクDを
冷却位置7にディスク受け台に載置する動作の場合に
は,移送手段5が速度を速めることにより,前述の実施
例のようにそれ以前の製造工程を一旦止める必要がない
ので,生産ライン上非常に有利である。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 4. A disk D injection-molded by an injection molding machine 1 is formed with the above-mentioned aluminum film in a sputtering film forming apparatus 2, and then a spin coater 3 is used. Be transferred to. The disk D having the protective film formed by the spin coater 3 is sent to the disk inspection device 4. Although the order of the manufacturing process is not so different from the conventional one, the major difference is that the disk inspection apparatus 4 has a mechanism and a processing method that can be incorporated in the disk manufacturing line. As shown in FIG. 4, the disc D injection-molded by the injection molding machine 1 is placed at a predetermined position of the high speed spin coater 3. The disc D is placed on the disc receiving portions provided at four positions at regular intervals in the turntable 3A2 in the paint discharging portion 3A by the first transfer means 3A1 including a swivel arm having a suction mechanism at its tip. It Turntable 3A2
Is rotated 1/4 in the direction of the arrow, the disk D is in the second position
Is transferred to the sputtering film forming apparatus 2 by the transfer means 2A. The second transfer means 2A comprises a pair of swivel arms opened 180 °, and each swivel arm has a first transfer means 3A.
It is almost the same as No. 1. The disk D on which the reflective film has been formed by the sputter film forming apparatus 2 has the second transfer means 2A again.
Then, the paint is returned to the turntable 3A2, and the paint for forming a protective film is supplied from the paint discharge nozzle 3A3 at the next discharge position. The discharge nozzle 3A3 draws a small circle centered on the center point of the disk D stopped at the discharge position, and is approximately 1
While rotating, a certain amount of paint is supplied to the disk D.
However, the ejection nozzle 3A3 may be stopped at one point, and the disc D may be rotated almost once at the ejection position. The disk D to which the paint has been applied is transferred to the high speed spin section 3B2 by the third transfer means 3B1 of the spin section 3B at the next position. The third transfer means 3B1 is composed of a pair of swivel arms having a suction mechanism at the tip, and when one swivel arm sucks the disk D on the turntable 3A2, the other swivel arm moves the disk D of the high speed spin unit 3B2. Are simultaneously adsorbed, and each disk D is simultaneously transferred from one separate location to the other location. The high-speed spin unit 3B2 rotates the disk D at a high speed to uniformly disperse the paint supplied from the discharge nozzle 3A3 by a centrifugal force to form a thin uniform protective film on the disk surface. The disk D having the protective film thus formed is turned by the third transfer means 3B1 into the turntable 3C of the coating film hardening accelerating portion 3C.
1, the protective film is hardened when it passes under the ultraviolet irradiation device 3C2 by the rotation of the turntable 3C1. The disk D having the hardened protective film is placed on the disk pedestal 4A of the disk inspection device 4 as the processing device by the fourth transfer means 5. The fourth transfer means 5 has the same structure as the third transfer means 3B1. The disk cradle 4A of the disk inspection device 4 rotates at a constant speed,
At this time, the disc inspection device 4 irradiates the disc with a light beam through a lens provided in the housing and reads the reflected light to perform a predetermined inspection. This disk inspection device 4 is equipped with a disk suction head 4B directly above the disk pedestal 4A, and the disk suction head can be moved up and down as indicated by the arrow by a movable arm 4C supporting the disk suction head 4B. There is. The movable arm 4C is supported by the fixed arm 4D. This operation will be described with reference to FIG. 3 as well. The disk D supplied to the disk receiving unit 4A of the disk inspection device 4 by the fourth transfer means 5 is counted by a counter (not shown), and the preset setting is made. If the number is less than or equal to the number of sheets, the first inspection start command is issued and the inspection is performed on a part of the predetermined inspection items. In this way, the temperature of the disks D sequentially supplied to the disk cradle 4A is still high, and therefore, if the inspection is performed in such a state, the inspection items that may affect the inspection result are not inspected. When this inspection is completed, the fourth transfer means 5 operates to transfer the disk D on the disk receiving base 4A to the ejecting section 6. When such a checking operation is repeated and the number of the disks D supplied to the disk receiving table 4A reaches the set number (for example, 50), the movable arm 4C operates to lower the disk suction head 4B,
The disk suction head 4B sucks the disk D on the disk pedestal 4A, and the movable arm 4C operates to raise the disk suction head 4B. The disc suction head 4B holds the sucked disc D at a fixed upper position. This holding time is a time (for example, 3 minutes) set in advance by a timer (not shown), and at the same time when the time elapses, a single disk supply stop signal is given to the fourth transfer means 5, and The disk suction head 4B descends, mounts the cooled disk D on the empty disk pedestal 4A, and issues a second inspection start command. Here, the disk D held at the upper position by the disk suction head 4B is cooled by the cooling device as a whole, or is cooled by a forced cooler such as a fan (not shown) if not. Is preferred. The reason why the cooling time of the disk D is set to a predetermined time is to keep the temperature of the disk D constant by keeping the cooling time of the disk D constant and to eliminate the variation of the inspection data due to the difference in temperature. Therefore, even when this manufacturing apparatus is stopped due to an accident or the like, the second inspection start command is issued with the lapse of the set time, and the predetermined inspection items are determined for the cold disk D placed on the disk pedestal 4A. It is supposed to inspect everything. When the inspection of the one disk D is completed, the first inspection start command is issued again, and the same operation as described above is repeated. Further, as described above, during the period in which the disc feeding operation is stopped by the disc feeding stop signal for the fourth feeding means 5, the injection molding machine 1 is stopped.
Other than the above, the other mechanisms temporarily stop for a time corresponding to the time for processing one disk D. Then, if the inspection result of one disc D on which all the inspection items have been performed is acceptable, the set number of discs D partially inspected before that are also determined to be acceptable. However, if the inspection result of one disc D on which all the inspection items have been performed is unsuccessful, the set number of discs D partially inspected before that are all determined to be unsuccessful. Disc D after inspection
Are placed on the disk stand 6A of the ejecting section 6 by the transfer means 5, and the acceptable products are accumulated on the stack pole 6D on the ejecting conveyor 6C by the ejecting arm 6B. Further, rejected products are accumulated on the stack pole 6E by the discharge arm 6B. The non-defective discs D accumulated on the stack pole 6D are conveyed by the discharge conveyor 6C and are discharged together with the stack pole 6D at the discharge position. In the above embodiment, one disk D before the partial inspection is moved to the movable arm 4C and the disk suction head every time the number of disks D supplied to the disk cradle 4A reaches the set number (for example, 50 disks). After the disk D was raised by 4B and the disk D was cooled, all the inspection items were inspected, but the disk D may fail the inspection items that can be inspected even in a high temperature state. In this case, since the above operation is completely wasted, every time the number of partially inspected disks D reaches the set number, one disk D after the partial inspection is raised by the movable arm 4C and the disk suction head 4B, After cooling the disk D, the above-mentioned problems can be solved by inspecting all the inspection items. In the above embodiment, the disc D once mounted on the disc receiving base 4A of the disc inspection device 4 is moved upward and held upward. In this method, timing and control with other mechanisms are simple. However, the movable arm 4C and the disk suction head 4B are required separately. In this respect, in another embodiment, as shown by a chain line in FIG. 4, a disc receiving position 7 is provided at an intermediate cooling position 7 between the delivery position 3C3 of the turntable 3C1 of the coating film curing portion 3C and the disc receiving base 4A of the disc inspection device 4. The base is arranged.
Delivery position 3 of turntable 3C1 of coating film curing portion 3C
Each time C3 reaches the set number, the one suction arm of the transfer means 5 places the set number of discs D on the disc cradle at the cooling position 7. At this time, the other suction arm of the transfer means 5 is connected to the disc holder 4 of the disc inspection device 4.
In the state where the disk D from A is held, the transfer means 5
Is further rotated, and when the other suction arm reaches the disk holder 6A of the ejecting portion 6, the disk D is placed on the disk holder 6A. In this embodiment, it is necessary to control the adsorption of the pair of adsorption arms of the transfer means 5 separately, and to control the adsorption arm on the right side of the intermediate transfer means 5 in the drawing to stop at the cooling position 7. Since it can be performed only by the sequence control, it is advantageous in terms of cost, and one suction arm of the transfer means 5 transfers the set number of disks D to the cooling position 7 on the disk pedestal. By increasing the speed of the means 5, it is not necessary to temporarily stop the manufacturing process before that as in the above-mentioned embodiment, which is very advantageous on the production line.

【発明の効果】以上述べたように本発明によれば,保護
膜の形成されたディスクを所定の処理を行う処理方法お
よび製造装置において,予め決められた設定枚数のディ
スクについては予め決められた処理項目の一部分を処理
し,その設定枚数毎にディスク1枚については別の位置
に保持して冷し,次の設定枚数のディスクの処理の終了
後に,あるいは設定時間後に前記冷えたデイスクについ
て予め決められ処理項目に従って処理するので,ディス
クの一貫自動生産ラインを高速化することができる。
As described above, according to the present invention, in the processing method and the manufacturing apparatus for performing the predetermined processing on the disk on which the protective film is formed, the predetermined number of disks is predetermined. A part of the processing items is processed, and for each set number of discs, one disc is held at a different position to be cooled, and after the processing of the next set number of discs is completed, or after a set time, the cooled discs are previously set. Since the processing is performed according to the determined processing items, it is possible to speed up the integrated automatic disk production line.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例を説明するための図面であ
る。
FIG. 1 is a diagram for explaining an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の一実施例に用いられるディスク検査装
置の一例を説明するための図面である。
FIG. 2 is a drawing for explaining an example of a disk inspection device used in an embodiment of the present invention.

【図3】本発明の一実施例を説明するための図面であ
る。
FIG. 3 is a diagram for explaining an embodiment of the present invention.

【図4】本発明の一実施例を説明するための図面であ
る。
FIG. 4 is a diagram for explaining an embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1・・・・射出成形機 2・・・・スパッタ成膜装置 2A,3A1,3B1,5・・・・移送手段 3・・・・スピンコータ 3A・・・・塗料吐出部 3A2,3C1・・・・ターンテーブル 3A3・・・・吐出ノズル 3B・・・・スピン部 3B2・・・・高速スピン部 3C・・・・塗膜硬化促進部 3C2・・・・紫外線照射装置 4・・・・ディスク検査装置 4A・・・・ディスク受け台 4B・・・・ディスク吸着ヘッド 4C・・・・可動アーム 6・・・・排出部 6A・・・ディスク置き台 6D,6E・・・・スタックポール 6B・・・・排出アーム 6C・・・・排出用コンベア 7・・・・冷却位置 D・・・・ディスク 1 ... Injection molding machine 2 ... Sputter film forming apparatus 2A, 3A1, 3B1, 5 ... Transfer means 3 ... Spin coater 3A ... Paint discharge part 3A2, 3C1 ...・ Turntable 3A3 ・ ・ ・ Ejection nozzle 3B ・ ・ ・ Spin part 3B2 ・ ・ ・ ・ High speed spin part 3C ・ ・ ・Device 4A ・ ・ ・ ・ Disk cradle 4B ・ ・ ・ ・ Disk suction head 4C ・ ・ ・ ・ Movable arm 6 ・ ・ ・ ・ Ejection part 6A ・ ・ ・ Disk rest 6D, 6E ・ ・ ・ ・ Stack pole 6B ・ ・・ ・ Discharging arm 6C ・ ・ ・ ・ Discharging conveyor 7 ・ ・ ・ ・ Cooling position D ・ ・ ・ ・ Disk

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 保護膜の形成されたディスクを順次処理
装置の所定位置に移送して所定の処理を行うディスク処
理方法において,予め決められた設定枚数の前記ディス
クについては予め決められた処理項目の一部分を行い,
その設定枚数目のディスク1枚を予め決めた時間だけ前
記処理装置の所定位置とは別の位置に保持して冷した後
に,前記処理装置の所定位置に戻して前記冷えたデイス
クについて予め決められ処理項目に従って処理すること
を特徴とするディスク処理方法。
1. A disk processing method for sequentially transferring a disk on which a protective film is formed to a predetermined position of a processing device to perform a predetermined processing, and a predetermined processing item for a predetermined set number of the disks. Do a part of
The set number of discs is held at a position different from the predetermined position of the processing device for a predetermined time, cooled, and then returned to the predetermined position of the processing device to determine the cooled disk in advance. A disk processing method characterized by processing according to a processing item.
【請求項2】 保護膜の形成されたディスクを順次処理
装置に移送して所定の処理を行うディスク処理方法にお
いて,予め決められた設定枚数の前記ディスクについて
は予め決められた処理項目の一部分を行い,その設定枚
数のディスクの次のディスク1枚を次の設定枚数のディ
スクの処理が終了するまで別の位置に保持して冷し,前
記次の設定枚数のディスクの処理の終了後に前記冷えた
デイスクについて予め決められ処理項目に従って処理す
ることを特徴とするディスク処理方法。
2. A disk processing method for sequentially transferring a disk on which a protective film is formed to a processing device to perform a predetermined process, wherein a predetermined set number of the disk is partially processed for a predetermined number of the disks. Then, one disk next to the set number of disks is held at another position and cooled until the processing of the next set number of disks is completed, and after the processing of the next set number of disks is completed, the cooling is performed. A disk processing method, wherein the disk is processed according to a predetermined processing item.
【請求項3】 保護膜の形成されたディスクを順次処理
装置に移送して処理するディスク処理方法において,予
め決められた設定枚数の前記ディスクについて予め決め
られた処理項目の一部分を行って,各ディスクの良否の
判定を行い,その設定枚数のディスクの内の良と判定さ
れたディスク1枚を次の設定枚数のディスクの処理が終
了するまで別の位置に保持して冷し,前記次の設定枚数
のディスクの処理の終了後,または所定時間の経過後に
前記冷えたデイスクを予め決められ処理項目に従って処
理することを特徴とするディスク処理方法。
3. A disk processing method for sequentially transferring a disk having a protective film formed thereon to a processing apparatus for processing, wherein a predetermined processing item is partially performed for a predetermined set number of disks, and each disk is processed. The quality of the disc is determined, and one disc determined to be good among the set number of discs is held in another position and cooled until the processing of the next set number of discs is completed, and the above-mentioned next A disk processing method, wherein the cooled disk is processed according to a predetermined processing item after processing of a set number of disks is completed or after a predetermined time has elapsed.
【請求項4】 ディスク基板に保護膜を形成する保護膜
形成装置と,保護膜の形成されたディスクを処理する処
理装置と,前記保護膜の形成されたディスクを前記保護
膜形成装置から前記処理装置へ移送する移送手段とを少
なくとも備えたディスク製造装置において,前記移送手
段が前記ディスクを前記保護膜形成装置から前記処理装
置へ設定枚数移送する度に,移送保持手段がその処理装
置の所定位置に載置された前記ディスクの内の1枚を別
の位置に移動させて保持し,前記処理装置が前記設定枚
数のディスクについては前記1枚のディスクを除き,予
め決められた処理項目の内の一部分を行い,また前記移
送手段は前記設定枚数毎に前記処理装置へディスクを移
送するのを中断してその処理装置にディスクが載置され
ていない状態を一時的に作ると共に,前記移送保持手段
が別の位置に保持された前記1枚のディスクを前記処理
装置の所定位置に戻して前記予め決められ処理項目につ
いて処理を行うことを特徴とするディスク製造装置。
4. A protective film forming device for forming a protective film on a disk substrate, a processing device for processing a disk on which a protective film is formed, and a processing device for processing a disk on which the protective film is formed from the protective film forming device. A disk manufacturing apparatus having at least a transfer means for transferring the disk to the apparatus, and a transfer holding means for transferring a predetermined number of the disks from the protective film forming apparatus to the processing apparatus at a predetermined position of the processing apparatus. One of the disks placed on the disk is moved to another position and held, and the processing device excludes the one disk from the predetermined number of processing items except the one disk. The transfer means interrupts the transfer of the disk to the processing device for each set number of sheets, and temporarily stops the state in which the disk is not placed on the processing device. Disk manufacturing apparatus, wherein the one disk held by the transfer holding means at another position is returned to a predetermined position of the processing apparatus and the predetermined processing item is processed. .
【請求項5】 ディスク基板に保護膜を形成する保護膜
形成装置と,保護膜の形成されたディスクを処理する処
理装置と,前記保護膜の形成されたディスクを前記保護
膜形成装置から前記処理装置へ移送する移送手段とを少
なくとも備えたディスク製造装置において,前記移送手
段が前記ディスクを前記保護膜形成装置から前記処理装
置へ設定枚数移送する度に,その移送手段は前記ディス
ク1枚を前記処理装置の所定位置とは別の位置に置き,
前記処理装置が前記設定枚数のディスクについて予め決
められた処理項目の内の一部分を行った後,前記移送手
段は前記別の位置の1枚のディスクを前記処理装置の所
定位置へ移送し,その処理装置が前記予め決められた処
理項目について処理行うことを特徴とするディスク製造
装置。
5. A protective film forming apparatus for forming a protective film on a disk substrate, a processing apparatus for processing a disk on which a protective film is formed, and a processing apparatus for processing a disk on which the protective film is formed from the protective film forming apparatus. A disk manufacturing apparatus comprising at least a transfer means for transferring the disk to the apparatus, and each time the transfer means transfers a set number of the disks from the protective film forming apparatus to the processing apparatus, the transfer means transfers one disk Place the processor in a position different from the predetermined position,
After the processing device has performed a part of the predetermined processing items for the set number of disks, the transfer means transfers the one disk at the other position to a predetermined position of the processing device, A disk manufacturing apparatus, wherein a processing device performs processing on the predetermined processing item.
【請求項6】 前記処理が検査であることを特徴とする
請求項1乃至請求項3のいずれかに記載したディスク処
理方法。
6. The disk processing method according to claim 1, wherein the processing is an inspection.
【請求項7】 前記処理が検査であることを特徴とする
請求項4および請求項5のいずれかに記載したディスク
製造装置。
7. The disk manufacturing apparatus according to claim 4, wherein the processing is an inspection.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US5743965A (en) * 1995-08-30 1998-04-28 Origin Electric Company, Limited Disk coating system

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