JPH06138507A - Higher harmonic generator - Google Patents

Higher harmonic generator

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JPH06138507A
JPH06138507A JP31407092A JP31407092A JPH06138507A JP H06138507 A JPH06138507 A JP H06138507A JP 31407092 A JP31407092 A JP 31407092A JP 31407092 A JP31407092 A JP 31407092A JP H06138507 A JPH06138507 A JP H06138507A
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JP
Japan
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harmonic
optical material
shielding plate
nonlinear optical
resonator
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Application number
JP31407092A
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Japanese (ja)
Inventor
Tomonobu Senoo
具展 妹尾
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AGC Inc
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Asahi Glass Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To efficiently and stably generate higher harmonic wave output by suppressing a higher transverse mode and resonating only the TEM00 basic mode. CONSTITUTION:A light shielding plate 11 having a variable type diaphragm or rotary type conversion diaphragm is disposed into a discrete type resonator constituted of reflection mirrors 5, 6 and an nonlinear optical material 7. The higher transverse mode is attenuated by the light shielding plate 11 when the basic wave 8 emitted from a semiconductor laser 2 is made incident on the resonator.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、レーザ光源から発せら
れる基本波を、非線形光学材料を有する共振器を用いて
高調波に変換する高調波発生装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a harmonic generator for converting a fundamental wave emitted from a laser light source into a harmonic using a resonator having a non-linear optical material.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、半導体レーザ等から出射される基
本波を非線形光学材料に通して、波長変換された第2高
調波や第3高調波を得る装置が種々提案されている。こ
れらの装置では、複数の反射面で構成される共振器内に
非線形光学材料を配置し、基本波を共振器内に閉じ込め
て増幅させることで、高調波を効率よく発生させるよう
にしている。共振器としては、非線形光学材料の端面に
反射膜を設けて、その内部で共振させるモノリシック型
共振器と、複数のミラーを配置して共振器を構成し、こ
の共振器内に非線形光学材料を配置したディスクリート
型共振器とが知られている。
2. Description of the Related Art In recent years, various devices have been proposed for obtaining a wavelength-converted second harmonic or third harmonic by passing a fundamental wave emitted from a semiconductor laser or the like through a nonlinear optical material. In these devices, a nonlinear optical material is arranged in a resonator composed of a plurality of reflecting surfaces, and a fundamental wave is confined in the resonator to be amplified so that harmonics are efficiently generated. As a resonator, a reflection film is provided on the end face of the nonlinear optical material, and a monolithic resonator that resonates inside the resonator and a plurality of mirrors are arranged to form a resonator. Arranged discrete resonators are known.

【0003】図4には、従来の高調波発生装置の一例と
して、ディスクリート型共振器を用いた高調波発生装置
が示されている。
FIG. 4 shows a harmonic generator using a discrete resonator as an example of a conventional harmonic generator.

【0004】この高調波発生装置1は、半導体レーザ
(以下LDとする)2、コリメートレンズ3、モードマ
ッチングレンズ4、反射ミラー5、6、及びKNbO3
結晶等からなる非線形光学材料7によって構成されてい
る。LD2は、例えば波長860nmの基本波8を出射
する。反射ミラー5のLD側端面は平面であり、この面
には基本波8に対し全透過となる反射防止膜が施されて
いる。また、反射ミラー5の非線形光学材料側の端面
は、基本波8に対して一部透過の凹面ミラーを形成して
いる。また、反射ミラー6のLD側の端面は、基本波8
に対し高反射、第2高調波10に対して高透過の凹面ミ
ラーを成しており、また、第2高調波10の出射側は平
面であり、この面には第2高調波10に対し全透過とな
る反射防止膜が施されている。更に、非線形光学材料7
の図中左右両端面には、基本波8、第2高調波10共に
高透過の反射防止膜が施されている。
This harmonic generation device 1 includes a semiconductor laser (hereinafter referred to as LD) 2, a collimator lens 3, a mode matching lens 4, reflection mirrors 5 and 6, and KNbO 3.
It is composed of a nonlinear optical material 7 such as a crystal. The LD 2 emits the fundamental wave 8 having a wavelength of 860 nm, for example. The LD-side end surface of the reflection mirror 5 is a flat surface, and an antireflection film that totally transmits the fundamental wave 8 is applied to this surface. The end surface of the reflection mirror 5 on the side of the nonlinear optical material forms a concave mirror that partially transmits the fundamental wave 8. In addition, the end surface of the reflection mirror 6 on the LD side has a fundamental wave 8
On the other hand, a concave mirror that is highly reflective and highly transmissive to the second harmonic 10 is formed, and the emission side of the second harmonic 10 is a flat surface. It has an antireflection film that allows total transmission. Furthermore, the nonlinear optical material 7
On both left and right end surfaces in the figure, an antireflection film having high transmission of both the fundamental wave 8 and the second harmonic wave 10 is applied.

【0005】上記の構成において、LD2から出射する
波長860nmの基本波8は、コリメートレンズ3によ
り平行光にされ、モードマッチングレンズ4を通過し
て、反射ミラー5、6及び非線形光学材料7で構成され
たディスクリート型共振器に入射する。入射した基本波
8は、反射ミラー5、6間で多重反射を繰り返し、増幅
される。そして、反射ミラー5、6間に置かれた非線形
光学材料7の結晶軸aを多重反射の方向と一致させるこ
とにより、増幅された基本波8の一部が波長430nm
の第2高調波10に変換され、反射ミラー6から出射さ
れる。なお、位相整合条件に適合させて高調波への変換
効率を安定させるため、非線形光学材料7は、ペルチェ
素子9等による温度制御が行われる。このような高調波
発生装置を用いれば、基本波を効率よく高調波に変換す
ることができる。
In the above structure, the fundamental wave 8 having a wavelength of 860 nm emitted from the LD 2 is collimated by the collimator lens 3, passes through the mode matching lens 4, and is composed of the reflection mirrors 5 and 6 and the nonlinear optical material 7. It is incident on the separated discrete resonator. The incident fundamental wave 8 is amplified by repeating multiple reflections between the reflection mirrors 5 and 6. Then, by making the crystal axis a of the nonlinear optical material 7 placed between the reflection mirrors 5 and 6 coincide with the direction of multiple reflection, part of the amplified fundamental wave 8 has a wavelength of 430 nm.
Is converted into the second harmonic wave 10 and is emitted from the reflection mirror 6. The nonlinear optical material 7 is temperature-controlled by the Peltier element 9 or the like in order to meet the phase matching condition and stabilize the conversion efficiency to the harmonic. By using such a harmonic generator, the fundamental wave can be efficiently converted into a harmonic.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の高調波発生装置1では、半導体レーザのビーム形状
が楕円であることや、ディスクリート型共振器を構成す
る反射ミラー5、6及び非線形光学材料7の不完全なア
ライメントのため、第2高調波10の横モードパターン
において、TEM00モード以外の高次モードが発生し、
変換効率及び安定性の低下等の問題点を有していた。
However, in the above-mentioned conventional harmonic generator 1, the beam shape of the semiconductor laser is elliptical, and the reflecting mirrors 5 and 6 and the non-linear optical material 7 which form the discrete resonator. Due to the imperfect alignment of, higher-order modes other than the TEM 00 mode occur in the transverse mode pattern of the second harmonic 10.
There were problems such as deterioration of conversion efficiency and stability.

【0007】したがって、本発明の目的は、上記のよう
な高次横モードを抑制し、高調波出力を効率良く、か
つ、安定に発生させることができる高調波発生装置を提
供することにある。
Therefore, it is an object of the present invention to provide a harmonic generator capable of suppressing the high-order transverse mode as described above and efficiently and stably generating a harmonic output.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の高調波発生装置は、基本波発生用の光源
と、結合光学系と、非線形光学材料を有するディスクリ
ート型共振器とを備えた高調波発生装置において、前記
ディスクリート型共振器内に、横モード制御機構を有す
ることを特徴とした高調波発生装置を提供するものであ
る。
In order to achieve the above object, a harmonic generator of the present invention comprises a light source for generating a fundamental wave, a coupling optical system, and a discrete resonator having a nonlinear optical material. According to another aspect of the present invention, there is provided a higher harmonic wave generating device having a transverse mode control mechanism in the discrete resonator.

【0009】本発明の好ましい態様においては、前記横
モード制御機構として、可変式絞りを有する遮光板、又
は回転式変換絞りを有する遮光板が用いられる。
In a preferred aspect of the present invention, a light-shielding plate having a variable diaphragm or a light-shielding plate having a rotary conversion diaphragm is used as the transverse mode control mechanism.

【0010】[0010]

【作用】本発明では、共振器内に挿入された遮光板の絞
りを調節することにより、高次横モードを減衰させ、横
モードの一番小さいTEM00基本モードのみを共振させ
ることができる。これにより、高調波を効率よく、かつ
安定に発生させることが可能となる。
In the present invention, by adjusting the diaphragm of the light shielding plate inserted in the resonator, the higher-order transverse modes can be attenuated and only the TEM 00 fundamental mode having the smallest transverse mode can resonate. This makes it possible to generate harmonics efficiently and stably.

【0011】特に、この遮光板をレーザ光源側の反射ミ
ラーと非線形光学材料との間に配した場合には、高調波
発生に有効でないレーザ光源からの光が非線形光学材料
に入射するのを遮光板によって防ぎ、非線形光学材料の
温度上昇を抑えることで、より安定した高調波出力を得
ることができる。
In particular, when the light shielding plate is arranged between the reflection mirror on the laser light source side and the nonlinear optical material, the light from the laser light source that is not effective for generating harmonics is shielded from entering the nonlinear optical material. By preventing the temperature increase of the nonlinear optical material by using the plate, more stable harmonic output can be obtained.

【0012】[0012]

【実施例】図1には本発明を第2高調波発生装置に適用
した一実施例が示されている。なお、本発明は第2高調
波発生装置に限定されるものではなく、第3高調波発生
装置等にも適用することができる。
FIG. 1 shows an embodiment in which the present invention is applied to a second harmonic generation device. The present invention is not limited to the second harmonic generation device and can be applied to the third harmonic generation device and the like.

【0013】この第2高調波発生装置101は、レーザ
光源としてのLD2、コリメートレンズ3、モードマッ
チングレンズ4、反射ミラー5、遮光板11、非線形光
学材料7、反射ミラー6が順次配置されて構成されてい
る。
The second harmonic generation device 101 comprises a laser light source LD2, a collimator lens 3, a mode matching lens 4, a reflection mirror 5, a light shielding plate 11, a non-linear optical material 7, and a reflection mirror 6 which are sequentially arranged. Has been done.

【0014】この実施例におけるLD2は、波長860
nm、単一縦、単一横モードで、非点収差の少ない基本
波8を出射するものが用いられている。なお、光源とし
ては、LD2によって励起されたYAG、YLFなどの
固体レーザ媒質からの出射光を用いることもできる。コ
リメートレンズ3は、LD2から出射される基本波8を
平行なビームにし、モードマッチングレンズ4はこのビ
ームを絞って、2つの反射ミラー5、6と非線形光学材
料7とで構成されるディスクリート型共振器の共振モー
ドと入射ビームとを整合(モードマッチング)させる役
割をなす。
The LD 2 in this embodiment has a wavelength of 860.
A device that emits a fundamental wave 8 with a small astigmatism in a nm, single longitudinal, and single transverse mode is used. As the light source, light emitted from a solid-state laser medium such as YAG or YLF excited by the LD 2 can also be used. The collimating lens 3 collimates the fundamental wave 8 emitted from the LD 2 into a parallel beam, and the mode matching lens 4 narrows the beam to form a discrete resonance composed of the two reflecting mirrors 5 and 6 and the nonlinear optical material 7. Plays a role of matching the resonance mode of the vessel with the incident beam (mode matching).

【0015】非線形光学材料7には、KNbO3 結晶が
用いられており、結晶軸a方向の長さ5.0mmのブロ
ック形状を成す。この非線形光学材料7の図中左右両端
面には、基本波8、第2高調波10ともに高透過の反射
防止膜が施されている。
A KNbO 3 crystal is used as the nonlinear optical material 7, and forms a block shape having a length of 5.0 mm in the crystal axis a direction. An antireflection film having high transmission of both the fundamental wave 8 and the second harmonic wave 10 is provided on both left and right end surfaces of the nonlinear optical material 7 in the figure.

【0016】反射ミラー5、6には光学用石英ガラスが
用いられている。基本波8の入射側に位置する反射ミラ
ー5において、非線形光学材料側の端面はR=25mm
の凹面状に形成されており、この面には基本波を93%
反射する反射膜が蒸着されて、凹面ミラーとされてい
る。また、第2高調波10の出射側に位置する反射ミラ
ー6において、非線形光学材料側の端面は反射ミラー5
と同じく、R=25mm凹面状に形成されており、この
面に基本波8を99.9%反射し、第2高調波10を9
0%透過する反射膜が蒸着されて凹面ミラーとされてい
る。
Optical quartz glass is used for the reflection mirrors 5 and 6. In the reflection mirror 5 located on the incident side of the fundamental wave 8, the end surface on the side of the nonlinear optical material is R = 25 mm.
It is formed in a concave shape, and the fundamental wave is 93% on this surface.
A reflective film that reflects is vapor-deposited to form a concave mirror. Further, in the reflection mirror 6 located on the emission side of the second harmonic wave 10, the end surface on the side of the nonlinear optical material is the reflection mirror 5.
Similarly, R = 25 mm is formed in a concave shape, and 99.9% of the fundamental wave 8 is reflected on this surface and the second harmonic wave 10 is
A reflective film that transmits 0% is vapor-deposited to form a concave mirror.

【0017】ディスクリート型共振器内に挿入されてい
る遮光板11は、反射ミラー5と非線形光学材料7の間
に配置される。なお、この遮光板11は非線形光学材料
7と反射ミラー6との間に置いてもよい。
The light-shielding plate 11 inserted in the discrete resonator is arranged between the reflection mirror 5 and the nonlinear optical material 7. The light shielding plate 11 may be placed between the nonlinear optical material 7 and the reflection mirror 6.

【0018】この実施例において用いられる遮光板11
は、図2において示されるように、可変式絞り15によ
って任意の直径に調整できるピンホール12を有する。
このような可変式絞りは、例えばカメラ用レンズ絞り等
に用いられており、公知のものである。
Light-shielding plate 11 used in this embodiment
Has a pinhole 12 which can be adjusted to an arbitrary diameter by a variable diaphragm 15, as shown in FIG.
Such a variable diaphragm is used, for example, as a lens diaphragm for a camera, and is a known one.

【0019】上記の構成において、LD2から出射する
波長860nmの基本波8は、コリメートレンズ3によ
り平行光にされ、モードマッチングレンズ5を通過し
て、反射ミラー5、6及び非線形光学材料7で構成され
たディスクリート型共振器に入射する。入射した基本波
8は反射ミラー5、6間で多重反射され、増幅される。
そして、反射ミラー5、6間に置かれた非線形光学材料
7の結晶軸aを多重反射の方向と一致させることによ
り、増幅された基本波8の一部が波長430nmの第2
高調波10に変換され、反射ミラー6から出射される。
In the above structure, the fundamental wave 8 having a wavelength of 860 nm emitted from the LD 2 is collimated by the collimator lens 3, passes through the mode matching lens 5, and is composed of the reflection mirrors 5 and 6 and the nonlinear optical material 7. It is incident on the separated discrete resonator. The incident fundamental wave 8 is multiply reflected between the reflection mirrors 5 and 6 and amplified.
Then, the crystal axis a of the nonlinear optical material 7 placed between the reflection mirrors 5 and 6 is made to coincide with the direction of multiple reflection, so that part of the amplified fundamental wave 8 has a wavelength of 430 nm.
It is converted into a harmonic wave 10 and emitted from the reflection mirror 6.

【0020】そして、反射ミラー5と非線形光学材料7
の間に配置された遮光板11におけるピンホール12の
直径を、横モードの最も小さいTEM00基本モードのみ
を通過させ、高次モードを遮蔽するように、可変式絞り
13によって調節すれば、共振器内における高次モード
共振は抑制され、TEM00基本モードのみによる共振状
態を得ることができる。これにより、効率よく、かつ安
定な高調波出力を行なわせることができる。
Then, the reflecting mirror 5 and the non-linear optical material 7
If the diameter of the pinhole 12 in the light-shielding plate 11 arranged between the two is adjusted by the variable diaphragm 13 so that only the TEM 00 fundamental mode having the smallest transverse mode is passed and the higher order mode is shielded, Higher-order mode resonance in the chamber is suppressed, and a resonance state based only on the TEM 00 fundamental mode can be obtained. As a result, it is possible to efficiently and stably perform harmonic output.

【0021】本発明の別の実施例において、遮光板11
は、図3に示されるように、いくつかの異なる直径のピ
ンホール12を有し、回転させることにより絞り径を変
えられるようにした回転式変換絞りで構成されていても
よい。
In another embodiment of the present invention, the shading plate 11
As shown in FIG. 3, it may be constituted by a rotary conversion diaphragm having several pinholes 12 having different diameters and capable of changing the diaphragm diameter by rotating.

【0022】この実施例においても、横モードの最も小
さいTEM00基本モードのみを通過させ、高次横モード
を遮蔽するようなピンホール12の直径を選択すれば、
共振器内における高次モード共振は抑制され、TEM00
基本モードのみによる共振状態を得ることができる。こ
れにより、効率よく、かつ安定した高調波出力を行なう
ことができる。
Also in this embodiment, if the diameter of the pinhole 12 is selected so as to pass only the TEM 00 fundamental mode having the smallest transverse mode and shield the higher-order transverse mode,
Higher-order mode resonance in the resonator is suppressed and TEM 00
It is possible to obtain a resonance state based only on the fundamental mode. This enables efficient and stable harmonic output.

【0023】[0023]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ディスクリート型共振器内に横モード制御のための遮光
板を挿入することにより、TEM00基本モードのみの安
定な高調波出力を得ることができる。また、高調波発生
に有効でないレーザ光源からの光が非線形光学材料に入
射するのを遮光板によって防ぎ、非線形光学材料の温度
上昇を抑えることで、より安定した高調波出力を発生さ
せることができる。
As described above, according to the present invention,
By inserting a light shielding plate for controlling the transverse mode in the discrete resonator, it is possible to obtain a stable harmonic wave output only in the TEM 00 fundamental mode. In addition, the light from the laser light source, which is not effective for generating harmonics, is prevented from entering the nonlinear optical material by the light shielding plate, and the temperature rise of the nonlinear optical material is suppressed, so that a more stable harmonic output can be generated. .

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の高調波発生装置の1実施例を示す側面
図である。
FIG. 1 is a side view showing an embodiment of a harmonic generator of the present invention.

【図2】本発明の1実施例において用いられる遮光板の
正面図である。
FIG. 2 is a front view of a light shielding plate used in an embodiment of the present invention.

【図3】本発明の別の実施例において用いられる遮光版
の正面図である。
FIG. 3 is a front view of a light shielding plate used in another embodiment of the present invention.

【図4】従来の高調波発生装置の1例を示す側面図であ
る。
FIG. 4 is a side view showing an example of a conventional harmonic generator.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1:高調波発生装置 2:半導体レーザ 3:コリメートレンズ 4:モードマッチングレンズ 5:反射ミラー 6:反射ミラー 7:非線形光学材料 8:基本波 9:ペルチェ素子 10:第2高調波 11:遮光板 12:ピンホール 13:可変式絞り 101:高調波発生装置 1: Harmonic generator 2: Semiconductor laser 3: Collimating lens 4: Mode matching lens 5: Reflecting mirror 6: Reflecting mirror 7: Non-linear optical material 8: Fundamental wave 9: Peltier element 10: Second harmonic wave 11: Shading plate 12: Pinhole 13: Variable diaphragm 101: Harmonic generator

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】基本波発生用の光源と、結合光学系と、非
線形光学材料を有するディスクリート型共振器とを備え
た高調波発生装置において、前記ディスクリート型共振
器内に、横モード制御機構が設けられていることを特徴
とする高調波発生装置。
1. A harmonic generator comprising a light source for generating a fundamental wave, a coupling optical system, and a discrete resonator having a non-linear optical material, wherein a transverse mode control mechanism is provided in the discrete resonator. A harmonic generation device characterized by being provided.
【請求項2】前記横モード制御機構が、可変式絞りを有
する遮光板からなる請求項1記載の高調波発生装置。
2. The harmonic generator according to claim 1, wherein the transverse mode control mechanism comprises a light shielding plate having a variable diaphragm.
【請求項3】前記横モード制御機構が、回転式変換絞り
を有する遮光板からなる請求項1記載の高調波発生装
置。
3. The harmonic generator according to claim 1, wherein the transverse mode control mechanism comprises a light shielding plate having a rotary conversion diaphragm.
JP31407092A 1992-10-29 1992-10-29 Higher harmonic generator Pending JPH06138507A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2010098115A1 (en) * 2009-02-26 2010-09-02 パナソニック株式会社 Wavelength conversion laser source and image display apparatus

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