JPH06118054A - Manufacture of oxygen sensor - Google Patents

Manufacture of oxygen sensor

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JPH06118054A
JPH06118054A JP4263886A JP26388692A JPH06118054A JP H06118054 A JPH06118054 A JP H06118054A JP 4263886 A JP4263886 A JP 4263886A JP 26388692 A JP26388692 A JP 26388692A JP H06118054 A JPH06118054 A JP H06118054A
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JP
Japan
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electrode
oxygen sensor
perovskite
electrode material
platinum
Prior art date
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Pending
Application number
JP4263886A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Futoshi Ichiyanagi
太 一柳
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Hitachi Unisia Automotive Ltd
Original Assignee
Unisia Jecs Corp
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Publication date
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Publication of JPH06118054A publication Critical patent/JPH06118054A/en
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Abstract

PURPOSE:To improve the low temperature activity of a zirconia type oxygen sensor. CONSTITUTION:An electrode material paste in which platinum powder, an organic solvent, and an organic compound of each element (La, Sr, Co) forming a perovskite composite oxide (for example, La0.6Sr0.4CoO3) are mixed is formed, and each element forming the perovskite composite oxide is highly dispersed in the paste. The electrode material paste is applied to the inner and outer surfaces of a zirconia tube 11 laid in the temporarily sintered state, and the electrode material paste and the zirconia tube 11 are simultaneously sintered to form electrodes 12, 14. By such a sintering, the electrodes 12, 13 in which the perovskite composite oxide excellent in low temperature activity is uniformly adhered to the platinum surface can be provided.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は酸素センサの製造方法に
関し、詳しくは、酸素分圧比に応じた起電力を発生する
酸素センサの低温活性を向上させる技術に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing an oxygen sensor, and more particularly to a technique for improving low-temperature activity of an oxygen sensor which generates an electromotive force according to an oxygen partial pressure ratio.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、酸素イオン伝導性固体電解質を用
いた酸素センサとしては、例えば図3に示すようなセン
サ部構造を有したものがある(特開昭58−20436
5号公報、実開昭59−31054号公報等参照)。図
3において、酸化ジルコニウムZrO2 を主成分とする
酸素イオン伝導性固体電解質から形成される先端が閉塞
されたセラミックチューブ1の内表面及び外表面の各一
部に白金Ptペーストを塗布した後、セラミックチュー
ブ1を焼成することで、起電力取り出し用の白金電極
2,3を形成してある。
2. Description of the Related Art Conventionally, as an oxygen sensor using an oxygen ion conductive solid electrolyte, there is one having a sensor portion structure as shown in FIG. 3 (Japanese Patent Laid-Open No. 58-20436).
No. 5, Japanese Utility Model Publication No. 59-31054, etc.). In FIG. 3, after applying platinum Pt paste to each part of the inner surface and the outer surface of the ceramic tube 1 having a closed tip formed of an oxygen ion conductive solid electrolyte containing zirconium oxide ZrO 2 as a main component, By firing the ceramic tube 1, platinum electrodes 2 and 3 for taking out electromotive force are formed.

【0003】セラミックチューブ1の外表面には、更に
白金Ptを蒸着して白金触媒層4を形成し、その上から
マグネシウムスピネル等の酸化金属を溶射して、前記白
金触媒層4を保護するための保護層6を形成してある。
かかる構成において、セラミックチューブ1の内側空洞
に基準気体(例えば大気)を導入する一方、セラミック
チューブ1の外側を被検出気体(例えば内燃機関の排
気)と接触させ、内表面に接触する基準気体の酸素分圧
と、外表面に接触する被検出気体の酸素分圧との比に応
じた起電力を、前記電極2,3間に発生させることによ
って、被検出気体の酸素分圧(酸素濃度)を検出するも
のである。
In order to protect the platinum catalyst layer 4 by further depositing platinum Pt on the outer surface of the ceramic tube 1 to form a platinum catalyst layer 4 and spraying a metal oxide such as magnesium spinel thereon. The protective layer 6 is formed.
In such a configuration, while the reference gas (for example, the atmosphere) is introduced into the inner cavity of the ceramic tube 1, the outside of the ceramic tube 1 is brought into contact with the gas to be detected (for example, the exhaust gas of the internal combustion engine), and the reference gas that comes into contact with the inner surface is The oxygen partial pressure (oxygen concentration) of the gas to be detected is generated by generating an electromotive force according to the ratio of the oxygen partial pressure and the oxygen partial pressure of the gas to be detected in contact with the outer surface between the electrodes 2 and 3. Is to detect.

【0004】尚、前記電極の形成方法としては、真空蒸
着法,無電解めっき法,ペースト法などがあるが、電極
の付着強度が高く耐久性に優れていることから、電極材
をペースト状にして仮焼状態のセラミックチューブに塗
布してから焼結させるペースト法が、電極形成方法とし
て好ましいとされている。
As the method for forming the electrode, there are a vacuum vapor deposition method, an electroless plating method, a paste method and the like. However, since the electrode has high adhesion strength and excellent durability, the electrode material is formed into a paste. It is said that a paste method in which a ceramic tube in a calcined state is applied and then sintered is preferable as an electrode forming method.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】ところで、前記電極上
では、電子の移動,酸素分子の吸着,解離,酸素イオン
生成等の酸素センサにおける重要な役割を果たす電気化
学反応が行われ、酸素センサの低温作動化が前記電極性
能に大きく依存することが知られている。即ち、前記酸
素センサの起電力Eは、Rを気体定数、Tを絶対温度、
Fをファラデー定数、Ps,Pgをそれぞれ基準極・測
定極での酸素分圧とすると、 E=(RT/4F)・In(Ps/Pg) として表されることが知られているが、電極が低温時に
不活性状態となることによって上式で求められる理論起
電力よりも実際の起電力が低下し、酸素センサの低温作
動化が不可能となる場合がある。
By the way, on the electrode, an electrochemical reaction that plays an important role in the oxygen sensor such as movement of electrons, adsorption and dissociation of oxygen molecules, and generation of oxygen ions is performed, and the oxygen sensor of the oxygen sensor is It is known that low temperature activation depends largely on the electrode performance. That is, the electromotive force E of the oxygen sensor is R is a gas constant, T is an absolute temperature,
It is known that when F is the Faraday constant and Ps and Pg are oxygen partial pressures at the reference electrode and the measurement electrode, respectively, E = (RT / 4F) · In (Ps / Pg) When is in a low temperature at a low temperature, the actual electromotive force is lower than the theoretical electromotive force obtained by the above equation, and it may be impossible to operate the oxygen sensor at a low temperature.

【0006】例えば従来から一般的に用いられている白
金電極の場合、図4に示すように、素子温度が略600 ℃
以下になると、前記起電力Eの式から導かれる理論起電
力よりも実際の起電力が低下して、酸素センサを正常に
作動させることができなくなってしまう。このため、従
来では、被検出気体の温度が低い場合にセンサ素子を加
熱するためのヒータを設けることによって、低温作動化
が可能となるようにしている。しかしながら、ヒータを
設けることによって酸素センサのコストアップを招き、
また、ヒータによって消費電力を大きくしてしまうとい
う問題があった。
For example, in the case of a platinum electrode which has been generally used conventionally, as shown in FIG. 4, the element temperature is about 600 ° C.
In the following cases, the actual electromotive force is lower than the theoretical electromotive force derived from the equation of the electromotive force E, and the oxygen sensor cannot operate normally. Therefore, conventionally, by providing a heater for heating the sensor element when the temperature of the gas to be detected is low, low temperature operation can be performed. However, providing a heater causes an increase in the cost of the oxygen sensor,
Further, there is a problem that the power consumption is increased by the heater.

【0007】本発明は上記問題点に鑑みなされたもので
あり、酸素センサにおける電極の低温活性を向上させ得
る酸素センサの製造方法を提供し、以て、酸素センサの
低温度作動化を改善することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above problems, and provides a method for manufacturing an oxygen sensor capable of improving the low-temperature activity of electrodes in the oxygen sensor, thereby improving the low-temperature operation of the oxygen sensor. The purpose is to

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】そのため本発明にかかる
酸素センサの製造方法は、酸素イオン伝導性固体電解質
からなる基体の内外表面に電極をそれぞれ形成し、基準
気体に接触させた一方表面の電極と、被検出気体に接触
させた他方表面の電極との間に酸素分圧比に応じた起電
力を発生する酸素センサにおいて、貴金属粉と、有機溶
剤と、ペロブスカイト系複合酸化物を構成する各元素の
有機化合物とを混合させた電極材ペーストを、仮焼状態
の前記基体に塗布した後、前記電極材ペーストと基体と
を同時に焼結して電極を形成するようにした。
Therefore, in the method for manufacturing an oxygen sensor according to the present invention, an electrode is formed on each of the inner and outer surfaces of a substrate made of an oxygen ion conductive solid electrolyte and is brought into contact with a reference gas. And an oxygen sensor that generates an electromotive force according to the oxygen partial pressure ratio between the electrode on the other surface that is brought into contact with the gas to be detected, a noble metal powder, an organic solvent, and each element that constitutes the perovskite complex oxide. The electrode material paste mixed with the organic compound of 1 was applied to the substrate in the calcined state, and then the electrode material paste and the substrate were simultaneously sintered to form an electrode.

【0009】[0009]

【作用】かかる構成によると、ペロブスカイト系複合酸
化物を構成する各元素が有機化合物の形で、有機溶剤と
貴金属粉とからなる電極ペースト内に混入されるから、
前記ペロブスカイト系複合酸化物を構成する各元素がペ
ースト内に高分散し、以て、焼結によって生成されるペ
ロブスカイト系複合酸化物が貴金属に対して均一に付着
するようになる。
With this structure, since each element forming the perovskite complex oxide is mixed in the form of an organic compound in the electrode paste composed of the organic solvent and the noble metal powder,
Each element constituting the perovskite-based complex oxide is highly dispersed in the paste, so that the perovskite-based complex oxide generated by sintering adheres to the noble metal uniformly.

【0010】前記ペロブスカイト系複合酸化物は低温活
性に優れた電極材料であり、然も、上記のようにして貴
金属に対して均一に付着するから、酸素センサの低温作
動化を可能にし得る。
The perovskite complex oxide is an electrode material excellent in low-temperature activity, and since it adheres uniformly to the noble metal as described above, it can enable the oxygen sensor to operate at low temperature.

【0011】[0011]

【実施例】以下に本発明の実施例を説明する。実施例を
示す図1において、先端部を閉塞したジルコニアチュー
ブ11(酸素イオン伝導性固体電解質の基体)の内外表面
の各一部に電極12,13がそれぞれ設けられる一方、外側
電極12の外側には白金触媒層14,スピネル保護層15が積
層されて、酸素濃淡電池型の酸素センサの素子部が形成
されている。
EXAMPLES Examples of the present invention will be described below. In FIG. 1 showing an embodiment, electrodes 12 and 13 are respectively provided on a part of the inner and outer surfaces of a zirconia tube 11 (a substrate of an oxygen ion conductive solid electrolyte) whose tip is closed, while on the outside of the outer electrode 12. The platinum catalyst layer 14 and the spinel protective layer 15 are laminated to form the element portion of the oxygen concentration cell type oxygen sensor.

【0012】上記酸素センサにおいて、前記ジルコニア
チューブ11の内側空洞に基準気体(例えば大気)を導入
する一方、ジルコニアチューブ11の外側を被検出気体
(例えば内燃機関の排気)と接触させることによって、
内表面に接触する基準気体の酸素分圧と、外表面に接触
する被検出気体の酸素分圧との比に応じた起電力が前記
電極12,13間に発生し、前記起電力によって被検出気体
の酸素分圧(酸素濃度)を検出し得る。
In the above oxygen sensor, a reference gas (for example, the atmosphere) is introduced into the inner cavity of the zirconia tube 11, while the outside of the zirconia tube 11 is brought into contact with a gas to be detected (for example, exhaust gas of an internal combustion engine),
An electromotive force corresponding to the ratio of the oxygen partial pressure of the reference gas that contacts the inner surface to the oxygen partial pressure of the gas to be detected that contacts the outer surface is generated between the electrodes 12 and 13, and is detected by the electromotive force. The oxygen partial pressure (oxygen concentration) of the gas can be detected.

【0013】ここで、前記電極12,13は、以下のように
して設けられる。まず、白金Pt(貴金属)粉と、有機
溶剤と、ペロブスカイト系複合酸化物(例えばLa0.6
Sr 0.4 CoO3 )を構成する各元素(例えばLa,S
r,Co等)の有機化合物(レジネート材又は酢酸塩)
とを混合して電極材ペーストを生成する。そして、前記
ペーストを、仮焼されたジルコニアチューブ11の内表面
及び外表面に塗布して外側電極12及び内側電極13を設け
る。次いで、外側電極12の膜上に白金触媒層14を形成す
る白金Ptペーストが印刷され、この状態で乾燥処理さ
れる。
Here, the electrodes 12 and 13 are as follows.
Is provided. First, platinum Pt (noble metal) powder and organic
Solvent and perovskite complex oxide (eg La0.6
Sr 0.4CoO3) Constituting each element (for example, La, S
r, Co, etc.) organic compounds (resinate or acetate)
And are mixed to produce an electrode material paste. And said
Inner surface of calcinated zirconia tube 11
Also, the outer electrode 12 and the inner electrode 13 are provided by coating on the outer surface.
It Next, a platinum catalyst layer 14 is formed on the outer electrode 12 film.
Platinum Pt paste is printed and dried in this state.
Be done.

【0014】乾燥が終了すると、ジルコニアチューブ1
1、電極12,13、白金触媒層14が1400〜1500℃の温度で
同時焼成され、かかる焼成後にAl2 3 −MgOスピ
ネルによる保護層15を最外層に形成することで、図1に
示すような構造の酸素センサを作製した。尚、白金Pt
に対するペロブスカイト系複合酸化物の添加率は20〜50
%程度になるようにした。
After drying, zirconia tube 1
1, the electrodes 12, 13 and the platinum catalyst layer 14 are co-fired at a temperature of 1400-1500 ° C., and the protective layer 15 of Al 2 O 3 —MgO spinel is formed as the outermost layer after the firing, as shown in FIG. An oxygen sensor having such a structure was produced. In addition, platinum Pt
The addition rate of perovskite-based complex oxide is 20 to 50
It was set to about%.

【0015】上記のようにペロブスカイト系複合酸化物
を構成する各元素の有機化合物を、白金粉と有機溶剤と
からなる電極ペーストに混入させれば、ペロブスカイト
系複合酸化物を構成する各元素をペースト内に高分散さ
せることができ、以て、焼結後に生成されるペロブスカ
イト系複合酸化物を白金に対して均一に付着させること
ができる。
When the organic compound of each element constituting the perovskite complex oxide is mixed in the electrode paste composed of platinum powder and the organic solvent as described above, each element constituting the perovskite complex oxide is pasted. It can be highly dispersed in the interior, and thus the perovskite-based composite oxide produced after sintering can be uniformly attached to platinum.

【0016】ここで、前記図1に示した酸素センサにお
いて前記白金触媒層14を省略しても良く、また、前記白
金触媒層14を省略し、スピネル保護層15の外側に白金P
t担持のアルミナ保護層16を積層するなどしても良く、
積層構造を限定するものではない。ところで、焼結後の
電極12,13において、前記製造方法によって白金表面に
均一に付着することになるペロブスカイト系複合酸化物
は、一般にABO3 として表される複合酸化物であり、
図2に示すように、白金Ptに比べ、低温活性に優れた
ペロブスカイト系複合酸化物を電極材として用いれば、
比較的低い温度まで理論起電力を発生させることができ
る。
Here, in the oxygen sensor shown in FIG. 1, the platinum catalyst layer 14 may be omitted, or the platinum catalyst layer 14 may be omitted and platinum P is formed outside the spinel protective layer 15.
A t-supported alumina protective layer 16 may be laminated,
It does not limit the laminated structure. By the way, in the electrodes 12 and 13 after sintering, the perovskite-based composite oxide that is uniformly attached to the platinum surface by the above-described manufacturing method is a composite oxide generally represented as ABO 3 .
As shown in FIG. 2, if a perovskite-based complex oxide, which is more excellent in low-temperature activity than platinum Pt, is used as an electrode material,
The theoretical electromotive force can be generated up to a relatively low temperature.

【0017】図2は、基準気体の酸素分圧を0.21、被検
出気体の酸素分圧を0.01としたときの酸素センサの起電
力を、電極材として用いた材料毎に示しており、白金P
tの他、ペロブスカイト系複合酸化物としてはLa0.6
Sr0.4 CoO3 、La0.6Sr0.4 Co0.98Ni0.02
3 、La0.6 Sr0.4 Co0.98Fe0.023 の3種類
を例として上げており、それぞれ白金のみ又はペロブス
カイト系複合酸化物のみを電極して用いた場合の特性を
示している。
FIG. 2 shows the electromotive force of the oxygen sensor when the oxygen partial pressure of the reference gas is 0.21 and the oxygen partial pressure of the gas to be detected is 0.01 for each material used as the electrode material.
In addition to t, La 0.6 as a perovskite-based composite oxide
Sr 0.4 CoO 3 , La 0.6 Sr 0.4 Co 0.98 Ni 0.02
Three types of O 3 and La 0.6 Sr 0.4 Co 0.98 Fe 0.02 O 3 are given as examples, and the characteristics when only platinum or only perovskite complex oxide is used as an electrode are shown.

【0018】この図2において、実線は前述の理論式E
=(RT/4F)・In(Ps/Pg)から求められる
理論起電力を示しており、白金Ptのみの電極を用いた
場合には、600 ℃付近から下の温度領域で理論起電力に
対する実起電力の低下が生じる。これに対して、ペロブ
スカイト系複合酸化物を電極材として用いれば、前記理
論起電力を発生し得る下限温度が低下して、La0.6
0.4 CoO3 では300 ℃付近、La0.6 Sr0.4 Co
0.98Ni0.023 では200 ℃付近、La0.6 Sr0.4
0.98Fe0.023 では250 ℃付近が、理論起電力が得
られる下限温度となっている。
In FIG. 2, the solid line indicates the above theoretical formula E.
= (RT / 4F) · In (Ps / Pg), the theoretical electromotive force is shown. When an electrode containing only platinum Pt is used, the actual electromotive force against the theoretical electromotive force is shown in the temperature range below about 600 ° C. A decrease in electromotive force occurs. On the other hand, when the perovskite-based composite oxide is used as the electrode material, the lower limit temperature at which the theoretical electromotive force can be generated is lowered, and La 0.6 S
In the case of r 0.4 CoO 3 , around 300 ° C., La 0.6 Sr 0.4 Co
With 0.98 Ni 0.02 O 3 , near 200 ° C, La 0.6 Sr 0.4 C
In the case of 0.98 Fe 0.02 O 3 , around 250 ° C. is the lower limit temperature at which the theoretical electromotive force can be obtained.

【0019】従って、上記に示したペロブスカイト系複
合酸化物を電極材料として用いれば、白金電極を用いる
酸素センサに比べて低温活性が向上し、ヒータを用いな
いでも低温作動化を図ることが可能となる。しかしなが
ら、酸素センサが、例えば内燃機関の排気中酸素濃度を
測定する場合のように、雰囲気の変化が激しい環境で使
用される場合には、電極材として用いたペロブスカイト
系複合酸化物が、排気中に含まれる未燃成分の到達など
によって分解して電極機能が失われることがあり、ペロ
ブスカイト系複合酸化物を単体で電極材として使用する
ことはできない。
Therefore, when the perovskite complex oxide shown above is used as the electrode material, the low temperature activity is improved as compared with the oxygen sensor using the platinum electrode, and the low temperature operation can be achieved without using the heater. Become. However, when the oxygen sensor is used in an environment where the atmosphere changes drastically, for example, when measuring the oxygen concentration in the exhaust gas of an internal combustion engine, the perovskite complex oxide used as the electrode material is The electrode function may be lost due to the decomposition of unburned components contained in, and the perovskite complex oxide cannot be used alone as an electrode material.

【0020】前記ペロブスカイト系複合酸化物を酸素セ
ンサの電極材料として用いて低温活性効果を得るために
は、固体電解質(ジルコニア)の電極界面にペロブスカ
イト系複合酸化物の電極が存在し、然も、このペロブス
カイト系複合酸化物の電極に到達するガスが充分に平衡
化され、ペロブスカイト系複合酸化物が分解することを
回避できるようにする必要がある。
In order to obtain a low temperature activation effect by using the perovskite complex oxide as an electrode material of an oxygen sensor, an electrode of the perovskite complex oxide exists at the electrode interface of the solid electrolyte (zirconia), and It is necessary to sufficiently equilibrate the gas that reaches the electrode of the perovskite-based composite oxide so as to avoid decomposition of the perovskite-based composite oxide.

【0021】そこで、前述のように電極材料として一般
的な貴金属である白金Ptとペロブスカイト系複合酸化
物との混合材料を電極材として用いたものであり、白金
Ptによる触媒作用によって平衡化されたガスを、ジル
コニアの電極界面に存在するペロブスカイト系複合酸化
物の電極に到達させるようにした。然も、電極形成時
に、電極ペーストに対してペロブスカイト系複合酸化物
を構成する各元素(La,Sr,Co,Ni,Feな
ど)を有機化合物として混入させるから、ペロブスカイ
ト系複合酸化物を構成する各元素をペースト内に高分散
させ、以て、焼結によって生成されるペロブスカイト系
複合酸化物を白金に対して均一に付着させることができ
るから、ペロブスカイト系複合酸化物を混入させたこと
による低温活性の効果を最大限に得ることができる。
Therefore, as described above, a mixed material of platinum Pt, which is a general noble metal as an electrode material, and a perovskite complex oxide is used as an electrode material, and it is equilibrated by the catalytic action of platinum Pt. The gas was made to reach the electrode of the perovskite complex oxide existing at the electrode interface of zirconia. However, since each element (La, Sr, Co, Ni, Fe, etc.) forming the perovskite-based complex oxide is mixed as an organic compound into the electrode paste at the time of forming the electrode, the perovskite-based complex oxide is formed. Each element is highly dispersed in the paste, so that the perovskite-based composite oxide produced by sintering can be evenly attached to platinum. The effect of activity can be maximized.

【0022】尚、ペロブスカイト系複合酸化物と混合さ
れる貴金属としては、上記の白金Ptの他、同じ白金族
に含まれるルテニウムRu,ロジウムRhなどを用いて
も良い。
As the noble metal mixed with the perovskite complex oxide, ruthenium Ru, rhodium Rh and the like contained in the same platinum group may be used in addition to the above platinum Pt.

【0023】[0023]

【発明の効果】以上説明したように本発明によると、貴
金属粉と、有機溶剤と、ペロブスカイト系複合酸化物を
構成する各元素の有機化合物とを混合させた電極材ペー
ストを、仮焼状態の前記基体に塗布した後、前記電極材
ペーストと基体とを同時に焼結して電極を形成するよう
にしたので、低温活性に優れたペロブスカイト系複合酸
化物を貴金属表面に対して均一に付着させることがで
き、ペロブスカイト系複合酸化物を電極に混入させるこ
とにより期待される低温活性効果を最大限に得ることが
できるようになるという効果がある。
As described above, according to the present invention, the electrode material paste obtained by mixing the noble metal powder, the organic solvent, and the organic compound of each element constituting the perovskite complex oxide is prepared in a calcined state. Since the electrode material paste and the substrate are simultaneously sintered to form the electrode after being applied to the substrate, the perovskite-based complex oxide excellent in low-temperature activity is uniformly attached to the surface of the noble metal. By mixing the perovskite-based composite oxide in the electrode, the expected low-temperature activation effect can be maximized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】実施例の酸素センサ構造を示す断面図。FIG. 1 is a sectional view showing an oxygen sensor structure of an embodiment.

【図2】ペロブスカイト系複合酸化物を電極材として用
いたときの低温活性の効果を示す線図。
FIG. 2 is a diagram showing the effect of low temperature activation when a perovskite complex oxide is used as an electrode material.

【図3】従来の酸素センサの構造例を示す断面図。FIG. 3 is a cross-sectional view showing a structural example of a conventional oxygen sensor.

【図4】従来の白金電極を用いた酸素センサにおける低
温時の起電力低下の様子を示す線図。
FIG. 4 is a diagrammatic view showing how an electromotive force is reduced at a low temperature in an oxygen sensor using a conventional platinum electrode.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11 ジルコニアチューブ 12,13 電極 14 白金触媒層 15 保護層 11 Zirconia tube 12, 13 Electrode 14 Platinum catalyst layer 15 Protective layer

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【手続補正書】[Procedure amendment]

【提出日】平成5年6月23日[Submission date] June 23, 1993

【手続補正1】[Procedure Amendment 1]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0014[Correction target item name] 0014

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【0014】乾燥が終了すると、ジルコニアチューブ1
1、電極12,13、白金触媒層14が同時焼成され、かかる
焼成後にAl2 3 −MgOスピネルによる保護層15を
最外層に形成することで、図1に示すような構造の酸素
センサを作製した。尚、白金Ptに対するペロブスカイ
ト系複合酸化物の添加率は20〜50%程度になるようにし
た。
After drying, zirconia tube 1
1, electrodes 12 and 13, the platinum catalyst layer 14 is fired simultaneous, by forming the protective layer 15 by Al 2 O 3 -MgO spinel on the outermost layer after such firing, the oxygen sensor having the structure shown in FIG. 1 Was produced. The addition rate of the perovskite complex oxide to platinum Pt was set to about 20 to 50%.

フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 C04B 41/90 Z C23C 28/00 B H01B 1/06 A 7244−5G Continuation of the front page (51) Int.Cl. 5 Identification number Office reference number FI Technical display location C04B 41/90 Z C23C 28/00 B H01B 1/06 A 7244-5G

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】酸素イオン伝導性固体電解質からなる基体
の内外表面に電極をそれぞれ形成し、基準気体に接触さ
せた一方表面の電極と、被検出気体に接触させた他方表
面の電極との間に酸素分圧比に応じた起電力を発生する
酸素センサにおいて、 貴金属粉と、有機溶剤と、ペロブスカイト系複合酸化物
を構成する各元素の有機化合物とを混合させた電極材ペ
ーストを、仮焼状態の前記基体に塗布した後、前記電極
材ペーストと基体とを同時に焼結して電極を形成するこ
とを特徴とする酸素センサの製造方法。
1. An electrode is formed on each of the inner and outer surfaces of a substrate made of an oxygen ion conductive solid electrolyte, and the electrode on one surface is in contact with a reference gas and the electrode on the other surface is in contact with a gas to be detected. In an oxygen sensor that generates an electromotive force according to the oxygen partial pressure ratio, an electrode material paste prepared by mixing a noble metal powder, an organic solvent, and an organic compound of each element forming the perovskite-based complex oxide is calcinated. 2. The method for manufacturing an oxygen sensor, comprising: applying the electrode material paste and the substrate at the same time after applying to the substrate to form an electrode.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011016093A (en) * 2009-07-09 2011-01-27 Noritake Co Ltd Oxygen separation membrane element and method of manufacturing the same

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