JPH06117890A - 気体流量センサ - Google Patents

気体流量センサ

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JPH06117890A
JPH06117890A JP4293850A JP29385092A JPH06117890A JP H06117890 A JPH06117890 A JP H06117890A JP 4293850 A JP4293850 A JP 4293850A JP 29385092 A JP29385092 A JP 29385092A JP H06117890 A JPH06117890 A JP H06117890A
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air flow
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sensor
rate sensor
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Takahisa Yamashita
貴久 山下
Yasushi Hibino
靖 日比野
Hikari Tsuchiya
光 土屋
Shuzo Kushida
修三 串田
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Texas Instruments Japan Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 吸気脈動の影響を受けにくく、配設位置の制
約が少ない気体流量センサを提供することを目的とす
る。 【構成】 第一の気体(空気)流量センサ1は、電子制
御燃料噴射システムにおいて吸気を導電性弾性部材から
構成される第一の電極11で受け、吸気の圧力により第
一の電極11が変形し、この結果第二の電極12との間
隔が変化し、静電容量が変化することを利用して空気流
量を測定するものである。第一の電極11は空気流を受
けた場合、第二の電極12との間隔が狭まり、静電容量
が増加するように構成されている。この静電容量は電線
15a、15bを介して静電容量検出装置30に出力さ
れ、静電容量検出装置で検出され、空気流量情報として
出力される。この情報は電子制御燃料噴射システムの制
御回路において、燃料噴射制御のパラメータとして使用
される。第一の電極11および第二の電極12を支持す
るフレーム13の一方の面は、例えば、断面が流線型に
なるように形成され、第一の電極11に吸気脈動の影響
を与えない。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば自動車の電子制
御燃料噴射システム等において気体流量を計測する気体
流量センサに関する。
【0002】
【従来の技術】自動車の電子制御燃料噴射システムに使
用される気体(空気)流量センサとしては、従来から以
下に述べるようなものがある。図7は、電子制御燃料噴
射システム40の構成を示す図である。以下に述べる3
タイプの空気流量センサは、電子制御燃料噴射システム
40において、通常図7中に(a)で示される位置に配
設され、電子制御燃料噴射システム40内を流れる空気
の流量を測定する。
【0003】図8は、ベーンタイプの空気流量センサ7
0の動作を説明する図である。ベーンタイプの空気流量
センサ70は、空気流により生じる翼71の角度をポテ
ンショメータ72により読み取り、空気流量を測定す
る。
【0004】図9は、ホットワイヤタイプの空気流量セ
ンサ80の動作を説明する図である。ホットワイヤタイ
プの空気流量センサ80は、白金抵抗線81の、冷却効
果による抵抗値の変化から空気流量を測定する。
【0005】図10は、カルマンボルテックスタイプの
空気流量センサ90の動作を説明する図である。カルマ
ンボルテックスタイプの空気流量センサ90は、空気流
中に図中に示すような翼状部材91を置き、ここで発生
するカルマン渦をカウントすることにより空気流量を測
定する。なお、カルマン渦のカウント方法には、超音波
を使用するものと光を使用するものがある。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】従来の空気流量センサ
は以上述べたように構成されていたので、以下に述べる
ような問題点があった。ベーンタイプの空気流量センサ
70を使用した場合、ポテンショメータ72は接点を有
するため、耐久性に問題があり、また、空気流に脈動が
ある場合、動作が安定しないという問題点があり、ま
た、翼71を空気流中に配設する必要があるため、この
部分での圧力損失が大きいという問題点がある。
【0007】また、ホットワイヤタイプの空気流量セン
サ80を使用した場合、極細の白金抵抗線81を使用す
るため、この表面にチリ等が付着しやすく、出力信号が
不安定になる。あるいは、空気量変動に敏感すぎて、脈
動の影響を受けやすいという問題点がある。
【0008】また、カルマンボルテックスタイプの空気
流量センサ90を使用した場合、カルマン渦のカウント
の際、空気流の脈流の影響を受けやすく、この脈流があ
る位置では正確な計測ができないという問題点がある。
ここで、空気流の脈流とは、インテークバルブ42の開
閉に伴って発生する空気流の変動である。
【0009】ここで、上記各空気流量センサを、電子制
御燃料噴射システムにおいて、その下流側(燃焼室41
側)の空気のボリュームが小さく空気流量センサの応答
が速くはなるが、熱等の影響により使用環境が悪く、空
気流に脈動が多い図7(b)に示す位置、すなわち、燃
焼室41の近くに配設した場合、耐久性、精度等に問題
が生じる。また、上記各空気流量センサを比較的使用環
境がよく、空気流の脈動(吸気脈動)が少ない上記図7
(a)に示す位置に配設した場合、その下流側の空気ボ
リュームが原因となり、応答遅れが発生するという問題
点がある。
【0010】図11は、図7(a)に示す位置に上記
(2)ホットワイヤタイプの空気流量センサ80を取り
付けて空気流量センサの出力信号とアクセル開度を同一
グラフ上に表したものである。図12は、図7(a)に
示す位置よりもやや燃焼室41に近い位置(ただし、イ
ンテークバルブ42からは充分に距離のある位置)に上
記(2)ホットワイヤタイプの空気流量センサ80を取
り付けて空気流量センサの出力とアクセル開度を同一グ
ラフ上に表したものである。図11と図12を比較して
判るように、図7(a)に示す位置よりもやや燃焼室4
1に近い位置に上記(2)ホットワイヤタイプの空気流
量センサ80を配設した場合、空気流量センサの出力信
号は吸気脈動の影響を受け、著しく不安定になってい
る。
【0011】また、上記各空気流量センサの応答遅れに
より、エンジン燃焼の過渡制御に問題が発生し、これに
より排出ガスが悪化するという問題点がある。
【0012】本発明は以上に述べた従来技術の問題点に
鑑みてなされたものであり、構造上無接点であるためチ
リ等の影響を受けにくく、精度が高く、吸気脈動の影響
を受けにくく、また、耐久性に優れ、さらに、例えば電
子制御燃料噴射システムにおいて燃焼室の近くの応答が
速くなる位置に配設することができ、エンジン燃焼の過
渡制御に発生する問題を解決することにより、排出ガス
の悪化を防止することができる気体流量センサを提供す
ることを目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の気体流量センサは、測定すべき気体流量に応
じた圧力を受け入れる導入部を有し、背圧の影響を受け
ない形状を有する収容部と、この収容部の前記同入部に
前記圧力を受けるように配設され、その圧力の大きさに
応じて変形する第一の電極と、第一の電極に対向して第
一の電極と所定の間隔を隔てて前記収容部に配設され、
前記圧力により変形しない第二の電極と、第一の電極と
第二の電極との間の静電容量を検出する手段とを有す
る。
【0014】また、測定すべき気体流量に応じた圧力を
受け、その圧力の大きさに応じて変形するとともに、背
圧の影響を受けない形状の部材と、前記部材の変形に応
じた圧力を検出する圧力検出手段とを有する。
【0015】
【作用】電子制御燃料噴射システムの内部に、空気流を
受け、その圧力で変形するように配設された第一の電極
と第二の電極との間の静電容量は前記空気流の流量に応
じて変化する。この静電容量を検出し、空気流量として
出力する。また、カンチレバーと支持電極の間に配設さ
れた歪み検出素子に加わる圧力は、カンチレバーに加わ
る前記空気流の流量に応じて変化する。前記歪み検出素
子は、その両端にこの圧力に応じた電圧を発生する。こ
の電圧を検出し、空気流量として出力する。
【0016】
【実施例】以下、本発明の気体(空気)流量センサの第
一の実施例について説明する。図1は、本発明の第一の
空気流量センサ1の構成を示す図である。第一の空気流
量センサ1は、電子制御燃料噴射(例えば、マスフロー
式燃料噴射)システム40においてその空気流(吸気)
を導電性弾性部材から構成される第一の電極11で受
け、吸気の圧力により第一の電極11が変形し、この結
果第二の電極12との間隔が変化し、静電容量が変化す
ることを利用して空気流量を測定するものである。
【0017】図1において、第一の電極11は導電性弾
性部材から構成され、フレーム13に支持され、第二の
電極12と対向して所定の間隔で配設され、第二の電極
12との間に静電容量を有する部分である。第一の電極
11は、空気流を受けない場合は図2(A)に示すよう
に第二の電極12と平行な状態となっているが、空気流
を受けた場合、図2(B)に示すように変形し、この結
果第二の電極12との間隔が狭まり、静電容量が増加す
るように構成されている。
【0018】第二の電極12は、フレーム13に支持さ
れ、第一の電極11に対向して所定の間隔で配設され、
第一の電極11との間に静電容量を有する電極である。
フレーム13は、電気的絶縁部材で構成され、第一の電
極11および第二の電極12を支持する部分である。フ
レーム13の図1中(a)で示す一端にはネジ溝が刻ま
れ、電子制御燃料噴射システム40の空気流量センサ取
り付け用の穴ににこの端が挿入され、ナット14により
電子制御燃料噴射システム40に固定される。
【0019】図1中(b)で示すフレーム13のネジ溝
の下部には段差が設けられ、この段差が電子制御燃料噴
射システム40のセンサ取り付け用の穴に引っ掛り、ま
た、電子制御燃料噴射システム40の気密性を保つよう
に構成されているので、第一の空気流量センサ1を電子
制御燃料噴射システム40に確実に、しかも気密性良く
固定可能となっている。なお、第一の空気流量センサ1
の電子制御燃料噴射システム40への固定には、ゴムパ
ッキング等を使用してさらに気密性を高めてもよい。
【0020】図3は第一の空気流量センサ1の形状を示
す図である。図3(A)は、第一の空気流量センサ1の
下面図、図3(B)は、第一の空気流量センサ1を第一
の電極11側から見た斜視図である。第一の空気流量セ
ンサ1は、図3(A)中(a)に示す、例えば、断面が
流線型になるように形成されたフレーム13の背面部
(脈動受面部)を電子制御燃料噴射システム40の燃焼
室41およびインテークバルブ42に向けて配設され
る。このため、インテークバルブ42からの吸気脈動
は、図3(A)、(B)中(b)に示す矢印の方向に流
れ、第一の電極11に影響を与えない。
【0021】一方、エアクリーナ43からの空気流は、
図3(A)、(B)中(c)に示す矢印で示すように流
れ、図3(A)、(B)中(d)に示す空気流受面部に
配設された第一の電極11の正面から当たり、上述した
ような変形を第一の電極11に確実に与える。電線15
a、15bは、それぞれ第一の電極11および第二の電
極12に接続され、出力信号を伝送する電線である。
【0022】図4は、静電容量検出装置30の構成を示
す図である。図4において、静電容量検出回路31は、
電線15a、15bを介して第一の空気流量センサ1か
ら出力される静電容量情報と、発信回路51およびスイ
ッチング回路52からの出力信号に基づいて、第一の空
気流量センサ1の第一の電極11と第二の電極12間の
静電容量を検出し、フィルタ回路32に入力する回路で
ある。
【0023】フィルタ回路32は、静電容量検出回路3
1の出力をフィルタリングし、雑音成分を取り除き、バ
ッファ回路33に出力する回路である。バッファ回路3
3は、フィルタ回路32の出力をバッファリングし、空
気流量情報として静電容量検出装置30から出力する回
路である。
【0024】以下、第一の空気流量センサ1の動作を説
明する。第一の空気流量センサ1は、電子制御燃料噴射
システム40において、上述した方法で、図7(b)に
示す位置にナット14により固定される。上述のよう
に、この場所はインテークバルブ42からの吸気脈動が
大きい位置である。しかし、吸気脈動はフレーム13の
背面の形状により側面に流れ、第一の電極11に影響を
与えない。
【0025】一方、第一の電極11に当たる空気流は、
第一の電極11に、上記図2を参照して説明したような
変形を与える。この結果、第一の電極11と第二の電極
12間の静電容量に変化が生じる。この静電容量は電線
15a、15bを介して静電容量検出装置30に出力さ
れる。この静電容量は静電容量検出装置30で検出さ
れ、電子制御燃料噴射システム40における空気流量情
報として出力される。この空気流量情報は電子制御燃料
噴射システム40の制御回路(図示せず)において、燃
料噴射制御のパラメータとして使用される。
【0026】第一の空気流量センサ1は、これを以上述
べたように構成することにより、従来の空気流量センサ
を配設することができなかった、電子制御燃料噴射シス
テム40の図7(b)に示す位置に配設することが可能
となる。これにより、第一の空気流量センサ1の応答が
速くなり、エンジンの過渡制御で発生する問題を防止す
ることができ、排気ガスの悪化を防止することができ
る。
【0027】また、第一の空気流量センサ1は、フレー
ム13が上述したような形状であり、この背面をインテ
ークバルブ42側に向けて電子制御燃料噴射システム4
0に配設することにより、吸気脈動の影響を受けにく
い。また、第一の空気流量センサ1は、構造上無接点で
あるためチリ等の影響を受けにくく、精度が高く、また
耐久性に優れている。また、第一の空気流量センサ1は
構造が簡単なため、従来の空気流量センサよりも小型軽
量にすることが可能である。このため、電子制御燃料噴
射システム40への設置上の制約がさらに少なくなる。
【0028】以下、本発明の気体(空気)流量センサの
第二の実施例について説明する。図5は、本発明の第二
の空気流量センサ2の構成を示す図である。第二の空気
流量センサ2は、第一の実施例で説明した第一の空気流
量センサ1において、静電容量により検出していた空気
流量を、カンチレバー21と支持電極22の間に配設さ
れた歪み検出素子24により行うものである。
【0029】図5において、カンチレバー21は、導電
性弾性部材から構成され、フレーム23に支持され、支
持電極22と対向して、歪み検出素子24を挟んで配設
され、歪み検出素子24に空気流量に応じた圧力を加え
る部分である。カンチレバー21は、空気流を受けない
場合は図6(A)に示すように支持電極22と平行な状
態となっているが、空気流を受けた場合、図6(B)に
示すように変形し、この結果支持電極22との間隔が狭
まり、歪み検出素子24に加わる圧力が増加するように
構成されている。
【0030】支持電極22は、フレーム23に支持さ
れ、カンチレバー21に対向して、歪み検出素子24を
挟んで配設され、カンチレバー21との間に静電容量を
有する電極である。フレーム23は、電気的絶縁部材で
構成され、カンチレバー21および支持電極22を支持
する部分である。フレーム23の図5中(a)で示す一
端にはネジ溝が刻まれ、図5中(b)で示すフレーム2
3のネジ溝の下部には段差が設けられている。このフレ
ーム23のネジ溝と段差は電子制御燃料噴射システム4
0に第二の空気流量センサ2を固定するためのものであ
り、固定方法は第一の実施例において、第一の空気流量
センサ1のフレーム13について説明したものと同じで
ある。
【0031】歪み検出素子24は、カンチレバー21お
よび支持電極22の間に配設され、カンチレバー21の
変形に伴って加えられる圧力に応じた電圧を出力する素
子である。バックプレッシャー(背圧)防止部材25
は、例えば円錐状に形成された部材であり、第一の空気
流量センサ1のフレーム13の脈動受面部と同様に、吸
気脈動のカンチレバー21への影響を排除する部分であ
る。
【0032】第二の空気流量センサ2は、バックプレッ
シャー防止部材25を燃焼室41側に向けて電子制御燃
料噴射システム40に固定される。このため、インテー
クバルブ42からの吸気脈動は、図5中(c)に示す矢
印の方向に流れ、カンチレバー21に影響を与えない。
【0033】一方、エアクリーナ43からの空気流は、
図5中(d)に示す矢印で示すように流れ、カンチレバ
ー21の正面から当たり、上述したような変形をカンチ
レバー21に確実に与える。電線26a、26bは、そ
れぞれカンチレバー21および支持電極22に接続さ
れ、出力信号を伝送する電線である。
【0034】以下、第二の空気流量センサ2の動作を説
明する。第二の空気流量センサ2は、電子制御燃料噴射
システム40において、上述した方法で、図7(b)に
示す位置にナット14により固定される。上述のよう
に、この場所はインテークバルブ42からの吸気脈動が
大きい位置である。しかし、吸気脈動はバックプレッシ
ャー防止部材25の形状により側面に流れ、カンチレバ
ー21に影響を与えない。
【0035】一方、カンチレバー21に当たる空気流
は、カンチレバー21に、上記図6を参照して説明した
ような変形を与える。この結果、カンチレバー21と支
持電極22間に挟まれた歪み検出素子24に加わる圧力
に変化が生じ、歪み検出素子24が発生する電圧に変化
が生じる。この電圧は電線26a、26bを介して電圧
検出装置(図示せず)に出力される。この出力電圧は前
記電圧検出装置で検出され、電子制御燃料噴射システム
40における空気流量情報として出力される。この空気
流量情報は電子制御燃料噴射システム40の制御回路
(図示せず)において、燃料噴射制御のパラメータとし
て使用される。
【0036】このように第二の空気流量センサ2を構成
することにより、第一の実施例で説明した第一の空気流
量センサ1から得られるのと同様の効果を得ることがで
きる。以上の実施例においては、電子制御燃料噴射シス
テムにおける本発明の気体流量センサの適用例について
述べたが、電子制御燃料噴射システム以外にも本発明の
気体流量センサが適用できることはいうまでもない。ま
た、本発明の気体流量センサは、上記実施例で述べた空
気流量の測定の他、各種気体、例えば酸素、窒素等の流
量測定にも使用可能である。以上の各実施例で述べた
他、本発明の気体流量センサは種々の構成をとることが
できる。以上述べた各実施例は例示である。
【0037】
【発明の効果】以上述べたように本発明の空気流量セン
サによれば、構造上無接点であるためチリ等の影響を受
けにくく、精度が高く、吸気脈動の影響を受けにくく、
また、耐久性に優れ、さらに、電子制御燃料噴射システ
ムにおいて燃焼室の近くの応答が速くなる位置に配設す
ることができ、エンジン燃焼の過渡制御に発生する問題
を解決することにより、排出ガスの悪化を防止すること
ができる気体流量センサを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第一の空気流量センサの構成を示す図
である。
【図2】本発明の第一の空気流量センサの第一の電極の
空気流による変形を説明する図である。
【図3】第一の空気流量センサの形状を示す図である。
【図4】静電容量検出装置の構成を示す図である。
【図5】本発明の第二の空気流量センサの構成を示す図
である。
【図6】本発明の第二の空気流量センサのカンチレバー
の空気流による変形を説明する図である。
【図7】電子制御燃料噴射システムの構成を示す図であ
る。
【図8】ベーンタイプの空気流量センサの動作を説明す
る図である。
【図9】ホットワイヤタイプの空気流量センサの動作を
説明する図である。
【図10】カルマンボルテックスタイプの空気流量セン
サの動作を説明する図である。
【図11】図7(a)に示す位置にホットワイヤタイプ
の空気流量センサを取り付けて空気流量センサの出力信
号とアクセル開度を同一グラフ上に表した図である。
【図12】図7(a)に示す位置よりもやや燃焼室に近
い位置(ただし、インテークバルブからは充分に距離の
ある位置)にホットワイヤタイプの空気流量センサを取
り付けて空気流量センサの出力とアクセル開度を同一グ
ラフ上に表した図である。
【符号の説明】
1・・・第一の空気流量センサ, 2・・・第二の空気流量センサ, 11・・・第一の電極, 12・・・第二の電極, 13・・・フレーム, 21・・・カンチレバー, 22・・・支持電極, 23・・・フレーム, 24・・・歪み検出素子, 25・・・バックプレッシャー防止部材, 30・・・静電容量検出装置, 31・・・静電容量検出回路, 32・・・フィルタ回路, 33・・・バッファ回路, 40・・・電子制御燃料噴射システム,
フロントページの続き (72)発明者 土屋 光 静岡県駿東郡小山町棚頭305番地 日本テ キサス・インスツルメンツ株式会社内 (72)発明者 串田 修三 静岡県駿東郡小山町棚頭305番地 日本テ キサス・インスツルメンツ株式会社内

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】測定すべき気体流量に応じた圧力を受け入
    れる導入部を有し、背圧の影響を受けない形状を有する
    収容部と、 この収容部の前記同入部に前記圧力を受けるように配設
    され、その圧力の大きさに応じて変形する第一の電極
    と、 第一の電極に対向して第一の電極と所定の間隔を隔てて
    前記収容部に配設され、前記圧力により変形しない第二
    の電極と、 第一の電極と第二の電極との間の静電容量を検出する手
    段とを有する気体流量センサ。
  2. 【請求項2】測定すべき気体流量に応じた圧力を受け、
    その圧力の大きさに応じて変形するとともに、背圧の影
    響を受けない形状の部材と、 前記部材の変形に応じた圧力を検出する圧力検出手段と
    を有する気体流量センサ。
JP4293850A 1992-10-07 1992-10-07 気体流量センサ Withdrawn JPH06117890A (ja)

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