JPH06106545A - Apparatus for in-line baking - Google Patents

Apparatus for in-line baking

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Publication number
JPH06106545A
JPH06106545A JP26106392A JP26106392A JPH06106545A JP H06106545 A JPH06106545 A JP H06106545A JP 26106392 A JP26106392 A JP 26106392A JP 26106392 A JP26106392 A JP 26106392A JP H06106545 A JPH06106545 A JP H06106545A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
heat insulating
insulating chamber
guide rails
width
tape
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP26106392A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hirotaka Ashihara
弘高 芦原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd
Kansai Nippon Electric Co Ltd
Original Assignee
Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd
Kansai Nippon Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd, Kansai Nippon Electric Co Ltd filed Critical Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd
Priority to JP26106392A priority Critical patent/JPH06106545A/en
Publication of JPH06106545A publication Critical patent/JPH06106545A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Heating, Cooling, Or Curing Plastics Or The Like In General (AREA)
  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

PURPOSE:To achieve continuous treatment of a material having a different width by a method wherein a width of a conveying passage is enabled to be regulated by forming the conveying passage with a chain sprocket wheel arranged between a plurality of guide rails and guide rail end parts which are arranged horizontally in a multistaged manner. CONSTITUTION:Windows 6c, 6d are opened on both side walls 6a, 6b of a heat insulating chamber 6. Further, a pair of frames 7 are arranged in the heat insulating chamber 6. A pair of guide rails 8 extending horizontally are arranged horizontally in a multistaged manner. Chain sprocket wheels 10 are respectively arranged between multistage guide rail 8 end parts to make a conveying passage. A TAB tape entering from an opening 6c is carried along the guide rails 8 in a multistaged manner with the chain sprocket wheel 10 along the conveying passage, and discharged from an opening 6d. One side of a pair of guide rails is made movable, and the other side is connected to a handle 9 approaching a wall face of the heat insulating chamber 6. Then, a spacing between the rails 8 is made variable. For the wheel 10, the spacing is made variable in the same way with a handle 12. Therefore, the width is regulated by operation of the handles 9, 12 in the heat insulating chamber 6.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、被処理体を連続して加
熱するインラインベーキング装置に関し、特に断熱室を
開閉することなく巾の異なる被処理体を連続して処理す
ることの出来るインラインベーキング装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an in-line baking apparatus for continuously heating an object to be processed, and more particularly to an in-line baking apparatus capable of continuously processing objects having different widths without opening and closing a heat insulating chamber. Regarding the device.

【0002】[0002]

【従来の技術】樹脂モールド型電子部品は樹脂封止後、
ベーキング装置に収容して樹脂の硬化を促進させてい
る。
2. Description of the Related Art Resin mold type electronic parts are
It is housed in a baking device to accelerate the hardening of the resin.

【0003】この電子部品としてリードフレームを用い
たものは、多数のリードフレームをトレイに収容した状
態でベーキング装置に投入されるが、リードフレームは
熱伝導性が良好であるためトレイ内部の電子部品でもリ
ードフレームを介して樹脂に熱を伝えることが出来、効
率よく樹脂硬化出来る。
The electronic component using a lead frame is put into a baking apparatus in a state where a large number of lead frames are accommodated in a tray. Since the lead frame has good thermal conductivity, electronic components inside the tray are used. However, heat can be transferred to the resin through the lead frame, and the resin can be cured efficiently.

【0004】一方、透孔を有する長尺の絶縁フィルムに
積層した導電パターンの一部を透孔内に延在させてイン
ナリードを形成したTABテープを用い、このインナリ
ードと電子部品本体の電極とを接続し、電子部品本体表
面を保護するなどの目的で樹脂被覆した構造のTAB式
電子部品は、一般的にTABテープをリールに巻回して
保管、運搬されるが、樹脂硬化はリールに巻回した状態
では熱が内部に伝わり難いため所定寸法に切断して短冊
状のTABテープをベーキング装置内で搬送したり、リ
ールから繰り出したTABテープを搬送路に沿ってガイ
ドしつつ移動させるようにしている。TABテープは熱
伝導性が良好でないため、搬送路に沿って加熱手段を配
置し輻射熱が直接樹脂に当たるようにしている。
On the other hand, a TAB tape having an inner lead formed by extending a part of a conductive pattern laminated on a long insulating film having a through hole into the through hole is used. TAB type electronic parts with a structure coated with resin for the purpose of connecting to and protecting the surface of the electronic parts body are generally stored and transported by winding TAB tape around the reel. Since it is difficult for heat to be transferred to the inside when wound, it is possible to cut the TAB tape in a strip shape and convey it in the baking device, or move the TAB tape fed from the reel while guiding it along the conveyance path. I have to. Since the TAB tape does not have good thermal conductivity, a heating means is arranged along the conveying path so that the radiant heat directly hits the resin.

【0005】図3はTAB式電子部品の樹脂を連続的に
硬化させるインラインベーキング装置の一例を示す。図
において、1は断熱材で構成された断熱室で両側壁1
a、1bに小さな窓1c、1dを設けている。また図示
しないが正面には開閉可能な扉が設けられている。2
a、2b、2cは断熱室1の内部で高さ位置を異ならせ
て配置したガイドレール、3a、3bはガイドレール2
a、2b、2cの各終端部に配置されたスプロケットホ
イール、4は電子部品本体(図示せず)を接続し、その
表面を樹脂(図示せず)で被覆したTABテープで、窓
1cから断熱室1内に挿入され、ガイドレールにてガイ
ドされ、スプロケットホイールにて方向が変えられ順次
搬送されて他の窓1dから断熱室1の外部に引き出され
る。5a、5b、5c、5d、5eはTABテープ4の
移動経路に沿って配置されたヒータを示す。
FIG. 3 shows an example of an in-line baking apparatus for continuously curing the resin of the TAB type electronic component. In the figure, reference numeral 1 is a heat insulating chamber made of a heat insulating material, and both side walls 1
Small windows 1c and 1d are provided in a and 1b. Although not shown, a door that can be opened and closed is provided on the front surface. Two
a, 2b, 2c are guide rails arranged at different height positions inside the heat insulation chamber 1, and 3a, 3b are guide rails 2.
The sprocket wheels 4 arranged at the end portions of a, 2b, and 2c are TAB tapes that connect the electronic component body (not shown) and cover the surface with resin (not shown). It is inserted into the chamber 1, guided by a guide rail, changed in direction by a sprocket wheel, and sequentially conveyed, and is drawn out of the heat insulating chamber 1 through another window 1d. Reference numerals 5a, 5b, 5c, 5d, and 5e denote heaters arranged along the moving path of the TAB tape 4.

【0006】TABテープ4は電子部品の機種により電
子部品本体のサイズが異なり、集積度によって電極数も
異なるため例えば、35mm巾、48mm巾、70mm
巾のものが用いられているため、このインラインベーク
装置のガイドレール2、スプロケットホイール3はその
巾変更可能にしている。
The size of the electronic component body of the TAB tape 4 differs depending on the model of the electronic component, and the number of electrodes also varies depending on the degree of integration. For example, the width is 35 mm, 48 mm, 70 mm.
Since the width is used, the width of the guide rail 2 and the sprocket wheel 3 of this in-line bake device can be changed.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】ところで、TABテー
プ4の巾を変更するには、前のTABテープが断熱室1
から完全に取り出された後、断熱室1の扉を開け、ガイ
ドレール2、スプロケットホイール3の巾変更を行な
い、次のTABテープを断熱室1に導入するガイドテー
プをセットしてから扉を閉じ、次のTABテープのベー
キングを行なうことができる。
By the way, in order to change the width of the TAB tape 4, the previous TAB tape is changed to the heat insulation chamber 1.
After being completely removed from the heat insulating chamber 1, the door of the heat insulating chamber 1 is opened, the width of the guide rail 2 and the sprocket wheel 3 is changed, the guide tape for introducing the next TAB tape into the heat insulating chamber 1 is set, and then the door is closed. The next TAB tape can be baked.

【0008】そのため、前のTABテープから次のTA
Bテープに切り換えるのに時間を要する上、扉の解放に
より断熱室1内の熱が外部に逃げ、所定温度に達するま
で時間を要し所定温度に達するまで次のTABテープの
搬送速度をおそくしなければならないため、さらに時間
を要するという問題があった。
Therefore, from the previous TAB tape to the next TA
It takes time to switch to the B tape, and the heat in the heat insulating chamber 1 escapes to the outside due to the opening of the door. It takes time to reach the predetermined temperature, and the conveyance speed of the next TAB tape is slowed until the temperature reaches the predetermined temperature. Since it has to be done, there is a problem that it takes more time.

【0009】また用力費も無駄であるという問題があっ
た。
Further, there is a problem that the utility cost is wasted.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】本発明は上記課題の解決
を目的として提案されたもので、加熱手段を内蔵した断
熱室内に供給した被処理体を加熱しつつ搬送路に沿って
搬送するインラインベーキング装置において、上記搬送
路は断熱室外より操作可能な巾調整手段が設けられてい
ることを特徴とするインラインベーキング装置を提供す
る。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been proposed for the purpose of solving the above-mentioned problems, and is an in-line system for heating an object to be processed, which is supplied into an adiabatic chamber containing a heating means, and carrying it along a carrying path. In the baking apparatus, there is provided an in-line baking apparatus, characterized in that the conveying path is provided with a width adjusting means operable from outside the heat insulating chamber.

【0011】この搬送路は、多段に水平配置した複数の
ガイドレールとガイドレールの端部間に配置されガイド
レール上を搬送される被処理体を次のガイドレールに送
り込むスプロケットホイールとで構成することが出来
る。
This transfer path is composed of a plurality of horizontally arranged guide rails and a sprocket wheel which is arranged between the ends of the guide rails and which feeds the object to be processed conveyed on the guide rails to the next guide rail. You can

【0012】[0012]

【作用】本発明によれば、搬送路が断熱室外から巾調整
可能であるため、前の被処理体に引続き巾の異なる被処
理体を供給して、後続の被処理体の進行に連れて搬送路
の巾調整が可能となり、扉を解放する必要がない。
According to the present invention, since the width of the transfer path can be adjusted from the outside of the heat insulating chamber, the objects to be processed having different widths are continuously supplied to the preceding object to be processed and the subsequent objects to be processed progress. The width of the transport path can be adjusted, and there is no need to open the door.

【0013】[0013]

【実施例】以下に本発明の実施例を図1及び図2から説
明する。図において6は断熱室で、両側壁6a、6bに
窓6c、6dを開口している。7は断熱室6内に配置し
たフレームで、所定の高さ位置に水平方向のフレーム片
7aを複数配置している。8、8はフレーム片7aにス
ライド自在に支持されたフレーム片7aと直交する水平
方向に延びる一対のガイドレールで、被処理体であるT
ABテープ4をガイドする。このガイドレール8、8は
高さ位置を異ならせて複数組配置されている。このガイ
ドレール8、8のうち少なくとも一側方のガイドレール
は断熱室6の壁面に近接した把っ手9に接続され、断熱
室6の外部からガイドレール8をフレーム片7a上でス
ライドさせてガイドレール8、8の間隔を調整可能にし
ている。10、10はガイドレール8、8のTABテー
プ4の搬送方向終端部に配置したスプロケットホイール
で、フレーム片7aと平行配置された回転軸11に軸支
されている。このスプロケットホイール10、10のう
ち、可動ガイドレールと同じ側方のホイールは回転軸1
1に対して二重軸になっており、断熱室6の壁面に近接
した把っ手12に接続され、断熱室6の外部からスプロ
ケットホイール10、10の間隔を調整可能にしてい
る。12はTABテープ4の移動経路に沿って配置され
たヒータで、巾方向に分割され、分割されたヒータに選
択的に通電することにより搬送されるTABテープ4の
所望部分に熱を集中させることが出来る。6eは断熱室
6の把っ手9、12側の壁を開閉する扉で、この扉6e
には各把っ手9、12と対向する部分に小扉6f、6g
を設けている。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 and 2. In the figure, reference numeral 6 is a heat insulating chamber, and windows 6c and 6d are opened in both side walls 6a and 6b. Reference numeral 7 denotes a frame arranged in the heat insulation chamber 6, and a plurality of horizontal frame pieces 7a are arranged at a predetermined height position. Reference numerals 8 and 8 denote a pair of guide rails that are slidably supported by the frame piece 7a and extend in the horizontal direction orthogonal to the frame piece 7a.
Guide the AB tape 4. A plurality of sets of the guide rails 8 and 8 are arranged at different height positions. At least one of the guide rails 8, 8 is connected to a handle 9 close to the wall surface of the heat insulating chamber 6, and the guide rail 8 is slid on the frame piece 7a from the outside of the heat insulating chamber 6. The distance between the guide rails 8 is adjustable. Reference numerals 10 and 10 denote sprocket wheels arranged at the end portions of the guide rails 8 and 8 in the transport direction of the TAB tape 4, and are rotatably supported by a rotary shaft 11 arranged in parallel with the frame piece 7a. Among the sprocket wheels 10 and 10, the wheel on the same side as the movable guide rail is the rotating shaft 1.
It has a double axis with respect to 1, and is connected to a handle 12 close to the wall surface of the heat insulating chamber 6 so that the distance between the sprocket wheels 10 and 10 can be adjusted from the outside of the heat insulating chamber 6. A heater 12 is arranged along the moving path of the TAB tape 4, and is divided in the width direction, and the heat is concentrated on a desired portion of the TAB tape 4 which is conveyed by selectively energizing the divided heaters. Can be done. 6e is a door that opens and closes the handle 9 and 12 side walls of the heat insulation chamber 6.
The small doors 6f and 6g are provided at the portions facing the handles 9 and 12, respectively.
Is provided.

【0014】以下にこの装置の動作を説明する。まず既
にある巾のTABテープ4に合わせてガイドレール8と
スプロケットホイール10の間隔が設定されて窓6cか
ら供給され、ガイドレール8にガイドされてスプロケッ
トホイール10で方向が変えられて順次断熱室6内をT
ABテープ4が移動してベーキングが行なわれ窓6dか
ら取り出されているものとする。そしてこのTABテー
プの終端部が窓6cに近接するとガイドテープ(図示せ
ず)を先行のTABテープに接続し、窓6cから断熱室
6内に送り込む、このガイドテープの巾はTABテープ
の最小巾より小さく設定しておくことにより全ての巾の
TABテープに使用することが出来る。
The operation of this device will be described below. First, the gap between the guide rail 8 and the sprocket wheel 10 is set according to the TAB tape 4 having a certain width, and the sprocket wheel 10 is supplied through the window 6c. Inside T
It is assumed that the AB tape 4 is moved, baked, and taken out from the window 6d. When the end of the TAB tape approaches the window 6c, a guide tape (not shown) is connected to the preceding TAB tape and fed into the heat insulation chamber 6 through the window 6c. The width of the guide tape is the minimum width of the TAB tape. By setting it smaller, it can be used for TAB tapes of all widths.

【0015】またこのガイドテープには先頭位置が断熱
室6内のどこにあるのか分かるように目盛を設けておく
こともできる。このようにしてガイドテープが断熱室6
内に供給され、最下層のガイドレール8を通過すると、
小扉6fを通して把っ手9により、ガイドレールの巾を
次に供給されるTABテープの巾に調整する。そして、
同様にしてスプロケットホイール10を通過すると、そ
の巾を小扉6gを通して把っ手12にて調整し、この作
業をガイドテープの進行に合わせて行なうと、先のTA
Bテープが窓6d出て、続いてガイドテープの先端が窓
6dから出た時には、断熱室6の搬送路の間隔は次に供
給されるTABテープの巾に設定されている。
Further, this guide tape may be provided with a scale so that the leading position of the guide tape can be found in the heat insulating chamber 6. In this way, the guide tape is
When it is supplied inside and passes through the guide rail 8 of the lowest layer,
The width of the guide rail is adjusted to the width of the TAB tape to be supplied next by the handle 9 through the small door 6f. And
Similarly, when passing through the sprocket wheel 10, its width is adjusted by the handle 12 through the small door 6g, and when this work is performed in accordance with the progress of the guide tape, the TA
When the B tape comes out of the window 6d and then the tip of the guide tape comes out of the window 6d, the interval of the transport path of the heat insulating chamber 6 is set to the width of the TAB tape to be supplied next.

【0016】ガイドテープの末端に、後続のTABテー
プを接続して連続して断熱室6に供給できる。
A subsequent TAB tape can be connected to the end of the guide tape to continuously supply the heat insulating chamber 6.

【0017】また、ガイドテープの長さを断熱室6内の
区画された搬送路の長さ即ち、図示例では3本のガイド
レール、スプーロケットホイール周りの搬送路長の最大
の長さよりやや長く設定しておけば、その長さ分の時間
遅れで次のTABテープをベーキング出来る。
Further, the length of the guide tape is slightly longer than the length of the conveying path divided in the heat insulating chamber 6, that is, the maximum length of the conveying path around the three guide rails and the spoo rocket wheel in the illustrated example. If set, the next TAB tape can be baked with a time delay of that length.

【0018】扉6eは断熱室内でTABテープが切断す
るなどのトラブルに対応するもので、通常は開閉する必
要がなく熱損失を最小に出来る。
The door 6e is for dealing with troubles such as cutting of the TAB tape in the heat insulating room, and usually does not need to be opened and closed to minimize heat loss.

【0019】[0019]

【発明の効果】以上のように、本発明によれば断熱室の
外部から搬送路の巾を変更可能にしたから被処理体(T
ABテープ)を連続的に供給でき、内部の熱が外部に漏
れることも最小に抑えることが出来る。
As described above, according to the present invention, since the width of the transfer path can be changed from the outside of the heat insulating chamber, the object to be processed (T
AB tape) can be continuously supplied, and the internal heat can be minimized from leaking to the outside.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 本発明の実施例を示す正断面図FIG. 1 is a front sectional view showing an embodiment of the present invention.

【図2】 図1のA−A面よりみた断面図FIG. 2 is a sectional view taken along the line AA of FIG.

【図3】 従来のインラインベーキング装置の正断面図FIG. 3 is a front sectional view of a conventional in-line baking device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

4 被処理体(TABテープ) 6 断熱室 8 ガイドレール 10 スプロケットホイール 4 Processing target (TAB tape) 6 Insulation chamber 8 Guide rail 10 Sprocket wheel

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】加熱手段を内蔵した断熱室内に供給した被
処理体を加熱しつつ搬送路に沿って搬送するインライン
ベーキング装置において、上記搬送路は巾調整手段が設
けられていることを特徴とするインラインベーキング装
置。
1. An in-line baking apparatus for heating an object to be processed, which has been supplied into a heat insulating chamber having a built-in heating means, and carrying it along a carrying path, wherein the carrying path is provided with a width adjusting means. In-line baking equipment.
【請求項2】搬送路が、多段に水平配置した複数のガイ
ドレールとガイドレールの端部間に配置したスプロケッ
トホイールとからなることを特徴とするインラインベー
キング装置。
2. An in-line baking apparatus, wherein the conveying path is composed of a plurality of horizontally arranged guide rails and a sprocket wheel arranged between the ends of the guide rails.
JP26106392A 1992-09-30 1992-09-30 Apparatus for in-line baking Pending JPH06106545A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP26106392A JPH06106545A (en) 1992-09-30 1992-09-30 Apparatus for in-line baking

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JP26106392A JPH06106545A (en) 1992-09-30 1992-09-30 Apparatus for in-line baking

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07231004A (en) * 1994-02-15 1995-08-29 Toray Eng Co Ltd Hardening furnace for sealing semiconductor chip with resin and changing tape in the furnace
JP2010245285A (en) * 2009-04-06 2010-10-28 Fenwall Controls Of Japan Ltd Resin curing apparatus
JP2016002770A (en) * 2014-06-18 2016-01-12 大恩産業株式会社 Heating apparatus, and apparatus for producing strapping band including the same

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