JPH0596818U - Microscope stage and manufacturing method thereof - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】
【目的】本考案の目的とするところは、スライドガラス
の着脱に対する耐磨耗性を十分に高めた顕微鏡ステージ
およびその製造方法を得ることにある。
【構成】ステージ母材３２の表面にセラミクス板３８、
又はセラミクスシート５１を設けてステージを構成す
る。また、ステージ母材３２の表面にセラミクス板３８
を接着し、その接着したセラミクス板３８の表面に球面
状又はＵ面状の凹面３９を形成する研摩を施す。
(57) [Summary] [Object] An object of the present invention is to obtain a microscope stage having sufficiently improved abrasion resistance against attachment / detachment of a slide glass and a manufacturing method thereof. [Structure] A ceramic plate 38 is provided on the surface of the stage base material 32.
Alternatively, the ceramic sheet 51 is provided to configure the stage. Further, a ceramic plate 38 is provided on the surface of the stage base material 32.
Are adhered, and the surface of the adhered ceramics plate 38 is polished to form a concave surface 39 having a spherical shape or a U-shape.
Description
【０００１】[0001]
本考案は顕微鏡ステージの改良に関するものである。 The present invention relates to an improvement of a microscope stage.
【０００２】[0002]
板ガラス等で作られた標本（プレパラート）を保持しつつ、その標本を対物レ ンズの光軸と直交するＸおよびＹ軸方向に移動させるものとして顕微鏡ステージ がある。 A microscope stage is a device for holding a specimen (preparation) made of plate glass or the like and moving the specimen in the X and Y axis directions orthogonal to the optical axis of the objective lens.
【０００３】 一般的な顕微鏡ステージは、図６に示すように、方形板状のステージ本体１０ の中央に、照明光を透過させるための長孔１１が穿設されており、顕微鏡の図示 しないベース（鏡体）に立てられた支柱に、ステージの面を水平にして取り付け られ、図示矢印Ｙ方向に移動可能に保持されている。In a general microscope stage, as shown in FIG. 6, a rectangular plate-shaped stage body 10 has a long hole 11 formed in the center thereof for transmitting illumination light. The stage surface is attached to a column that stands up (mirror body) with the surface of the stage horizontal, and is held so as to be movable in the direction of the arrow Y in the figure.
【０００４】 ステージ本体１０の一端側（前記支柱側）に、その側縁に平行に移動するガイ ド１２が設けられており、このガイド１２に標本ホルダ１３がねじ１４により、 着脱自在に取り付けられる。A guide 12 that moves parallel to the side edge of the stage body 10 is provided on one end side (on the side of the support column) of the stage body 10, and a sample holder 13 is detachably attached to the guide 12 with screws 14. ..
【０００５】 標本ホルダ１３は板体で作られており、方形の基部１５の一端縁は図のように 舌片を伸延させて固定アーム部１６としてあるとともに、基部１５にはこの固定 アーム部１６と対向するように鉤形のプレパラート押さえ爪１７が矢印Ｃ方向に 付勢された状態で回動自在に取付けられている。 そのプレパラート押さえ爪１７は鉤形に折り曲る部分に軸１８を有し、この軸 １８にバネを設けてプレパラート押さえ爪１１７に上記付勢力を与えている。The sample holder 13 is made of a plate, and one end edge of the rectangular base portion 15 has a tongue piece extending to form a fixed arm portion 16 as shown in the figure. A hook-shaped slide holding claw 17 is rotatably attached so as to oppose to, in a state of being biased in the direction of arrow C. The preparation holding claw 17 has a shaft 18 at a portion bent into a hook shape, and a spring is provided on the shaft 18 to apply the biasing force to the preparation holding claw 117.
【０００６】 また、プレパラート押さえ爪１７は固定アーム部１６と対向する辺が弓型に湾 曲しており、操作レバー部１９を矢印Ａ方向に手で操作することで、固定アーム 部１６に対向するプレパラート押さえ爪１７の片は矢印Ｂ方向に開くことができ るようにしてある。そして、操作レバー部１９を放すと、プレパラート押さえ爪 １７はＣ方向に戻るようになっている。In addition, the preparation pressing claw 17 has an arch-shaped curved side opposite to the fixed arm portion 16. The operation lever portion 19 is manually operated in the direction of arrow A to face the fixed arm portion 16. A piece of the slide holding claw 17 is opened in the direction of arrow B. Then, when the operation lever portion 19 is released, the slide holding claw 17 returns in the C direction.
【０００７】 このような構成において、ステージに標本であるスライドガラス２０をセット するには、標本ホルダ１３におけるプレパラート押さえ爪１７をバネ力に抗して 矢印Ｂ方向に開き、ステージ本体１０の板面を滑らせて、スライドガラス２０を 標本ホルダ１３部分に押し込む。すなわち、固定アーム部１６と基部１５および プレパラート押さえ爪１７で囲まれる領域にスライドガラス２０を押し込み、ス ライドガラス２０の端縁が固定アーム部１６および基部１５の内側に接するよう にする。In such a configuration, in order to set the slide glass 20 as a sample on the stage, the slide holding claw 17 of the sample holder 13 is opened in the direction of the arrow B against the spring force, and the plate surface of the stage body 10 is moved. Slide the slide glass 20 into the specimen holder 13 part. That is, the slide glass 20 is pushed into the area surrounded by the fixed arm portion 16, the base portion 15 and the slide holding claw 17 so that the edge of the slide glass 20 contacts the inside of the fixed arm portion 16 and the base portion 15.
【０００８】 この状態で、プレパラート押さえ爪１７を放すと、プレパラート押さえ爪１７ はバネ力により矢印Ｃ方向に回動し、スライドガラス２０を標本ホルダ１３の内 側縁部分に押し付ける。プレパラート押さえ爪１７は弓型に反っており、スライ ドガラス２０の側を凹部としてあるので、スライドガラス２０はプレパラート押 さえ爪１７の凹部で抱え込まれるように標本ホルダ１３の内側縁部分に押し付け られる結果、固定アーム部１６および基部１５に接するかたちで定位置に保持さ れることになる。 そして、観察が済むと、再びプレパラート押さえ爪１７を手で開き、スライド ガラス２０を手前に引き出して取り出す。In this state, when the slide holding claw 17 is released, the slide holding claw 17 is rotated in the direction of arrow C by the spring force, and the slide glass 20 is pressed against the inner side edge portion of the sample holder 13. Since the slide holding claw 17 is curved in an arc shape and has a recess on the side of the slide glass 20, the slide glass 20 is pressed against the inner edge portion of the sample holder 13 so that the slide press 20 is held in the recess of the claw 17. , Will be held in a fixed position in contact with the fixed arm portion 16 and the base portion 15. When the observation is completed, the slide holding claw 17 is again opened by hand, and the slide glass 20 is pulled out to the front and taken out.
【０００９】[0009]
このように、スライドガラスを顕微鏡のステージにセットするには標本ホルダ のプレパラート押さえ爪を開き、ステージ上を滑らせながらスライドガラスを標 本ホルダの定位置にセットし、プレパラート押さえ爪を閉じる。 In this way, to set the slide glass on the stage of the microscope, open the slide holding claw of the specimen holder, set the slide glass to the fixed position of the sample holder while sliding on the stage, and close the slide holding claw.
【００１０】 これは本来の操作法であるが、多数の検体を次々に捌いてゆかなければならな いような現場で使用される場合等では、いちいちプレパラート押さえ爪を開いて スライドガラスをセットすると云ったことはせず、作業能率の点からスライドガ ラスの端部でこじ開けるようにしてプレパラート押さえ爪を開き、スライドガラ スを標本ホルダの定位置にセットすると云った使い方をする。This is the original operation method, but when it is used in the field where a large number of specimens must be handled one after another, opening the slide holding claw and setting the slide glass one by one Without saying anything, from the point of work efficiency, the slide glass is set at the fixed position of the specimen holder by opening the slide holding claw so that it can be opened at the end of the slide glass.
【００１１】 その際、ステージ上に強く押し付けるようなかたちでスライドガラスを滑らせ ることになり、その結果、ステージ上面をスライドガラスで削り取るような状態 になる。At that time, the slide glass is slid in such a manner that it is strongly pressed onto the stage, and as a result, the upper surface of the stage is scraped off by the slide glass.
【００１２】 一般的に顕微鏡は軽量化と型成形の容易さの観点から、構造物はアルミニウム を素材として構成しており、ステージもアルミニウムで形成してある。素材とし てのアルミニウムは極めて柔らかいものであり、表面にはフッ素系固体潤滑材を 塗布したり、あるいはメッキを施したりしているものの、硬いスライドガラスを 滑らせていると、表面の塗膜を削り、やがて母材であるアルミニウム層までもを 削り出すことになる。Generally, a microscope is made of aluminum as a material and a stage is also made of aluminum from the viewpoints of weight reduction and ease of molding. Aluminum as a material is extremely soft, and although the surface is coated with a fluorine-based solid lubricant or plated, if a hard slide glass is slid, the surface coating film Scraping, and eventually even the aluminum layer, which is the base material, will be carved out.
【００１３】 顕微鏡は通常、長年に亙って使用する機材であり、このようなステージの磨耗 は見苦しいものであるばかりか、削られて発生した粉末が検体に付着したりして 支障を来す。[0013] A microscope is usually used for many years, and such stage wear is not only unsightly, but also the powder generated by scraping adheres to the sample, which causes trouble. ..
【００１４】 そこで、この考案の目的は、硬いスライドガラスの着脱にも十分耐えることが でき、いつまでも美観を保つことができると共に、削り粉などの問題も生じない 耐久性の高い顕微鏡ステージ及びその製造方法を提供することにある。Therefore, the object of the present invention is to provide a microscope stage with high durability that can withstand attachment / detachment of a hard slide glass sufficiently, can maintain its aesthetic appearance forever, and is free from problems such as shavings. To provide a method.
【００１５】[0015]
上記目的を達成するため本考案の顕微鏡ステージは、ステージ母材の上面に、 シート状又は板状のセラミクス材を設けるようにした。 また、ステージ母材に設けたセラミクス材の上面に球面状をなす凹面、又は所 定方向の断面がＵ面状をなす凹面のいずれかを形成するようにした。 In order to achieve the above object, the microscope stage of the present invention is provided with a sheet-shaped or plate-shaped ceramic material on the upper surface of the stage base material. In addition, either a spherical concave surface or a concave surface having a U-shaped cross section in a predetermined direction is formed on the upper surface of the ceramic material provided on the stage base material.
【００１６】 また、本考案に係る顕微鏡ステージの製造方法は、ステージ母材の上面に板状 のセラミクス材を接着固定、又は取付け固定する工程と、前記固定されたセラミ クス材の上面を研摩して所定領域に球面状をなす凹面、又は所定方向の断面がＵ 面状をなす凹面のいずれかを形成する工程とを具備してなるものとした。Further, the method of manufacturing a microscope stage according to the present invention comprises a step of adhering or fixing a plate-shaped ceramic material to the upper surface of the stage base material, and polishing the upper surface of the fixed ceramic material. And a concave surface having a spherical shape or a concave surface having a U-shaped cross section in a predetermined direction is formed in a predetermined region.
【００１７】 また本考案に係る他の顕微鏡ステージの製造方法は、ステージ母材の上面に球 面状をなす凹面、又は所定方向の断面がＵ面状をなす凹面のいずれかを形成する 工程と、前記ステージ母材の上面にシート状のセラミクス材を接着固定する工程 とを具備してなるものとした。Another method of manufacturing a microscope stage according to the present invention comprises a step of forming a spherical concave surface or a concave surface having a U-shaped cross section in a predetermined direction on the upper surface of the stage base material. And a step of adhering and fixing a sheet-shaped ceramic material on the upper surface of the stage base material.
【００１８】[0018]
上記手段を講じたことにより、次のような作用が生じる。ステージ母材の上面 に硬いセラミクス材を設けるようにしたことから、スライドガラスを着脱しても 硬いセラミクス材がステージの母材を保護する。従って、顕微鏡ステージの耐摩 耗性が飛躍的に向上し、また、耐摩耗性があることから、発塵も抑止できる。 By taking the above means, the following actions occur. Since a hard ceramic material is provided on the upper surface of the stage base material, the hard ceramic material protects the stage base material even if the slide glass is attached or detached. Therefore, the abrasion resistance of the microscope stage is drastically improved, and since it has abrasion resistance, dust generation can be suppressed.
【００１９】 また、耐摩耗性の改善のために必要となる工程は、１枚のセラミクス材を固定 する工程と研摩する工程だけであることから、製造工程が簡素化される。または ステージ母材を加工する工程と１枚のセラミック材を固定する工程だけであるこ とから、同様に製造工程が簡素化される。Further, since the steps required for improving the wear resistance are only the step of fixing one ceramic material and the step of polishing, the manufacturing process is simplified. Alternatively, since only the step of processing the stage base material and the step of fixing one ceramic material are performed, the manufacturing process is similarly simplified.
【００２０】[0020]
以下、本考案の実施例について、図面を参照して説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
【００２１】 図１には第１実施例に係る顕微鏡ステージの構成が示されている。本実施例の 顕微鏡ステージは、Ｘステージ３１と、そのＸステージ３１の上に配置されたＹ ステージ３２とからなる。FIG. 1 shows the configuration of the microscope stage according to the first embodiment. The microscope stage of the present embodiment includes an X stage 31 and a Y stage 32 arranged on the X stage 31.
【００２２】 上記Ｘステージ３１は、顕微鏡の支柱にＸ方向へ移動自在に取付けられており 、長径方向がＸ方向に向いた長孔（不図示）が形成されている。このＸステージ ３１のＸ方向と直交する２側面にはＹ方向に向けてガイド溝３３ａ，３３ｂが形 成されている。The X stage 31 is attached to a column of a microscope so as to be movable in the X direction, and has a long hole (not shown) whose major axis direction is oriented in the X direction. Guide grooves 33a and 33b are formed in the Y direction on two side surfaces of the X stage 31 which are orthogonal to the X direction.
【００２３】 上記Ｙステージ３２は、上記ガイド溝３３ａ，３３ｂに対向する２つの側壁を 有しており、その２側壁にはガイド溝３３ａ，３３ｂに対向してガイド溝３４ａ ，３４ｂが形成されている。The Y stage 32 has two side walls facing the guide grooves 33a, 33b, and two side walls are formed with guide grooves 34a, 34b facing the guide grooves 33a, 33b. There is.
【００２４】 そしてＸステージ３１のガイド溝３３ａ，３３ｂとＹステージ３２のガイド溝 ３４ａ，３４ｂとの間に、ガイド部材３５ａ，３５ｂをそれぞれ嵌入し、Ｘステ ージ３１でＹステージ３２を支持している。Then, guide members 35a and 35b are fitted between the guide grooves 33a and 33b of the X stage 31 and the guide grooves 34a and 34b of the Y stage 32, and the Y stage 32 is supported by the X stage 31. ing.
【００２５】 またＹステージ３２には、長径方向がＹ方向に向いた長孔３６が形成されてお り、その長孔３６と同一形状の長孔３７を有するセラミクス板３８が、互いの長 孔３６，３７を一致させてＹステージ上面に接着固定されている。Further, the Y stage 32 is formed with a long hole 36 whose major axis is oriented in the Y direction, and a ceramics plate 38 having a long hole 37 having the same shape as the long hole 36 is formed in the long hole 36. 36 and 37 are aligned and bonded and fixed to the upper surface of the Y stage.
【００２６】 上記セラミクス板３８は、アルミナ、又はジルコニア、或いはアルミナとチタ ニアの混合物のいずれかを主成分として、加工可能な硬さに焼成したものである 。またセラミクス板３８の上面は、中央部を中心とする球面状の凹面３９が形成 されいる。The ceramic plate 38 is obtained by firing to a workable hardness, using either alumina, zirconia, or a mixture of alumina and titania as a main component. The upper surface of the ceramic plate 38 is formed with a spherical concave surface 39 centered on the central portion.
【００２７】 なお、セラミクス板の材料は、アルミナ、又はジルコニア、或いはアルミナと チタニアの混合物のいずれかに限定されるものでなく、それらと同等の硬度及び 加工容易性を達成できる材料であれば、他の材料を用いてもよい。The material of the ceramic plate is not limited to alumina, zirconia, or a mixture of alumina and titania, and any material that can achieve hardness and processability equivalent to those materials can be used. Other materials may be used.
【００２８】 図２にはセラミクス板３８の上面図が示されている。同図に示すように、セラ ミクス板３８は、ステージ母材となるＹステージ３２の上面の形状とほぼ同一形 状を有しており、その中央部には上記した長孔３７が形成されている。FIG. 2 shows a top view of the ceramic plate 38. As shown in the figure, the ceramic plate 38 has substantially the same shape as the upper surface of the Y stage 32 that is the stage base material, and the elongated hole 37 described above is formed in the center thereof. There is.
【００２９】 次に、以上のように構成された顕微鏡ステージの製造工程について説明する。 先ず、アルミナ、又はジルコニア、或いはアルミナとチタニアの混合物のいず れかを主成分とする材料を、加工可能な硬さに焼成してセラミクス板を作成する 。Next, a manufacturing process of the microscope stage configured as above will be described. First, a material mainly containing alumina, zirconia, or a mixture of alumina and titania is fired to a workable hardness to prepare a ceramic plate.
【００３０】 そのセラミクス板の加工法としては、図２に示す形状のものを１枚毎に成形加 工する加工法がある。または図３に示すように、図２に示す形状のセラミクス板 を複数枚含んだセラミクス板４０を、カッター４１，４２で切断して多数個取り する板加工法がある。 なお、この時点でのセラミクス板は凹面３９が形成されていないので、以下の 説明においては符号３８′を用いて説明する。 一方、型で形成されたステージ母材としのＹステージ３２の上面を加工して、 セラミクス板３８′が嵌め込まれる方形状の凹部４３を形成する。As a processing method of the ceramics plate, there is a processing method of forming and processing each one having the shape shown in FIG. Alternatively, as shown in FIG. 3, there is a plate processing method in which a ceramic plate 40 including a plurality of ceramic plates having the shape shown in FIG. 2 is cut by cutters 41 and 42 to obtain a large number. Since the concave surface 39 is not formed in the ceramic plate at this point, the description will be given using the reference numeral 38 'in the following description. On the other hand, the upper surface of the Y stage 32, which is a die-formed stage base material, is processed to form a rectangular recess 43 into which the ceramic plate 38 'is fitted.
【００３１】 次に、エポキシ系接着剤を用いて、図４（ａ）に示すようにＹステージ上面の 凹部４３に上記セラミクス板３８′を嵌め込み接着固定する。この時の接着強度 は、２Ｋｇ／ｃｍ2 以上にすることが望ましい。このような接着強度とすること により、熱、振動、衝撃等の外乱に対して十分に対応することができ、セラミク ス板の落下を防止することができる。Next, as shown in FIG. 4A, the ceramics plate 38 ′ is fitted and fixed in the recess 43 on the upper surface of the Y stage using an epoxy adhesive. The adhesive strength at this time is 2 kg / cm 2. It is desirable to make it above. With such an adhesive strength, it is possible to sufficiently cope with disturbances such as heat, vibration and impact, and prevent the ceramic plate from falling.
【００３２】 次に、接着剤が乾燥してセラミクス板３８′がＹステージ３２に完全に固定さ れたならば、図４（ｂ）に示すセラミクス板３８′のスライドガラス設置領域を 研摩加工する。Next, when the adhesive is dried and the ceramic plate 38 ′ is completely fixed to the Y stage 32, the slide glass installation area of the ceramic plate 38 ′ shown in FIG. 4B is ground. ..
【００３３】 この研摩加工では、セラミクス板３８′のスライドガラス設置領域を、その最 深部が０．０２ｍｍ程度の深さとなるまで研摩して、同図（ｃ）に示すような球 面状の凹面３７にする。In this polishing process, the slide glass installation area of the ceramic plate 38 'is polished until the deepest part reaches a depth of about 0.02 mm, and a spherical concave surface as shown in FIG. Set to 37.
【００３４】 以上のような本実施例によれば、スライドガラスによって擦られるＹステージ ３２の上面には、耐摩耗性が高いセラミクス板３８が設けられているため、ステ ージの耐摩耗性を従来に比べて飛躍的に高めることができる。その結果、ステー ジの削り粉による発塵を防止できる。According to the present embodiment as described above, since the ceramic plate 38 having high wear resistance is provided on the upper surface of the Y stage 32 that is rubbed by the slide glass, the wear resistance of the stage is improved. It can be dramatically increased compared to the conventional one. As a result, it is possible to prevent dust generation due to the shavings of the stage.
【００３５】 また、耐摩耗性を持たせるのに要する工程は、セラミクス板３８′をＹステー ジ３２に接着する工程と、セラミクス板３８′を表面研摩する工程だけであるの で、製造工数が少なく、コストダウンを図ることができる。Further, the steps required for imparting wear resistance are only the step of adhering the ceramic plate 38 ′ to the Y stage 32 and the step of polishing the surface of the ceramic plate 38 ′. It is less and the cost can be reduced.
【００３６】 なお、ステージ上面にセラミクス溶射被膜を形成することによっても耐摩耗性 を改善することができるが、セラミクス溶射被膜は多数の気孔があるので腐食性 ガス，腐食性液体が透過してステージ母材を腐食させる可能性がある。しかし、 本実施例によればセラミクス板３８にはセラミクス溶射被膜のような多数の気孔 がないので、上記したようなステージ母材の腐食を防止することができる。Wear resistance can also be improved by forming a ceramics sprayed coating on the upper surface of the stage, but since the ceramics sprayed coating has a large number of pores, corrosive gas and corrosive liquid permeate therethrough. May corrode the base material. However, according to the present embodiment, since the ceramic plate 38 does not have many pores unlike the ceramics thermal spray coating, it is possible to prevent the corrosion of the stage base material as described above.
【００３７】 さらに、本実施例ではＹステージ上面に、球面状の凹面３７を形成しているの で、Ｙステージ上面に載置されたスライドガラスを安定性良く保持することがで きる。 なお、上記第１実施例ではＹステージ３２の上面に凹部４３を形成したが、成 形面のままセラミクス板３８′を接着しても良い。Further, in this embodiment, since the spherical concave surface 37 is formed on the upper surface of the Y stage, the slide glass placed on the upper surface of the Y stage can be stably held. Although the recess 43 is formed on the upper surface of the Y stage 32 in the first embodiment, the ceramic plate 38 'may be adhered as it is to the molding surface.
【００３８】 また、上記第１実施例では接着剤を用いてセラミクス板３８をＹステージ３２ に固定したが、その他の方法によって固定してもよい。例えば、Ｙステージ３２ の上面にアリ溝を設け、かつセラミクス板３８に上記アリ溝に嵌合する嵌合凸部 を設けて、セラミクス板３８をＹステージ３２に着脱自在に取付け可能にする。 そして止めねじ等によってセラミクス板３８をＹステージ３２に固定するように する。Although the ceramic plate 38 is fixed to the Y stage 32 by using the adhesive in the first embodiment, it may be fixed by other methods. For example, a dovetail groove is provided on the upper surface of the Y stage 32, and a fitting convex portion that fits into the dovetail groove is provided on the ceramic plate 38, so that the ceramic plate 38 can be detachably attached to the Y stage 32. Then, the ceramic plate 38 is fixed to the Y stage 32 with a set screw or the like.
【００３９】 ところで、上記第１実施例ではセラミクス材として板状をなすセラミクス板３ ８を用いる例を説明したが、セラミクス材としてシート状をなすセラミクスシー トを用いることもできる。By the way, in the above-mentioned first embodiment, an example in which the plate-shaped ceramic plate 38 is used as the ceramic material has been described, but a sheet-shaped ceramic sheet can also be used as the ceramic material.
【００４０】 以下、セラミクス材としてセラミクスシートを用いた例を第２実施例として説 明する。なお、本実施例はステージの基本構造は前記第１実施例と同様である。 先ず、アルミナ、又はジルコニア、或いはアルミナとチタニアの混合物のいず れかを主成分とし、図２に示す形状のセラミクスシートを準備する。図５におけ る符号５１はセラミクスシートを示している。Hereinafter, an example using a ceramics sheet as the ceramics material will be described as a second embodiment. The basic structure of the stage of this embodiment is the same as that of the first embodiment. First, a ceramics sheet having the shape shown in FIG. 2 is prepared using, as a main component, either alumina, zirconia, or a mixture of alumina and titania. Reference numeral 51 in FIG. 5 indicates a ceramic sheet.
【００４１】 また、図５（ａ）に示すように、Ｙステージ３２の上面を加工して、球面状の 凹面５２を形成する。そしてＹステージ上面の凹面５２に、セラミクスシート５ １を接着固定する。 同図（ｂ）には、Ｙステージ３２にセラミクスシート５１を接着固定した状態 が示されている。Further, as shown in FIG. 5A, the upper surface of the Y stage 32 is processed to form a spherical concave surface 52. Then, the ceramic sheet 51 is adhered and fixed to the concave surface 52 on the upper surface of the Y stage. FIG. 2B shows a state in which the ceramics sheet 51 is adhesively fixed to the Y stage 32.
【００４２】 この様に、Ｙステージ３２の上面にセラミクスシート５１を接着固定した顕微 鏡ステージによっても、前記第１実施例と同様に耐摩耗性を高くすることができ る。As described above, also with the microscope stage in which the ceramics sheet 51 is adhesively fixed to the upper surface of the Y stage 32, the abrasion resistance can be increased as in the first embodiment.
【００４３】 尚、上記各実施例ではＹステージ３２の上面にセラミクス材で球面状の凹面を 形成しているが、断面がＵ面状をなす凹面を形成しても良い。このＵ面状の凹面 であっても、球面状の凹面と同様にスライドガラスを安定して保持することがで きる。また上記各実施例ではＸＹステージの場合について説明したが、本考案は この様な構造のステージに限定されるものではない。In each of the above-described embodiments, a spherical concave surface is formed on the upper surface of the Y stage 32 with a ceramic material, but a concave surface having a U-shaped cross section may be formed. Even with this U-shaped concave surface, the slide glass can be stably held as with the spherical concave surface. Further, in each of the above embodiments, the case of the XY stage has been described, but the present invention is not limited to the stage having such a structure.
【００４４】[0044]
以上のように本考案によれば、硬いスライドガラスの着脱にも十分耐えること ができ、いつまでも美観を保つことができると共に、耐久性が高く削り粉などに よる発塵を防止でき、さらに工数を削減してコストダウンが図れる顕微鏡ステー ジ及びその製造方法を提供できる。 As described above, according to the present invention, it is possible to withstand attachment / detachment of a hard slide glass, maintain its aesthetic appearance forever, have high durability, and prevent dust from being generated by shavings. It is possible to provide a microscope stage that can be reduced in cost and a manufacturing method thereof.
【図１】本考案の第１実施例に係る顕微鏡ステージの断
面図。FIG. 1 is a sectional view of a microscope stage according to a first embodiment of the present invention.
【図２】一実施例の顕微鏡ステージに備えたセラミクス
板の上面図。FIG. 2 is a top view of a ceramics plate included in the microscope stage of one embodiment.
【図３】セラミクス板を多数個取りするための板加工を
示す図。FIG. 3 is a diagram showing plate processing for obtaining a large number of ceramic plates.
【図４】第１実施例における顕微鏡ステージの製造工程
図。FIG. 4 is a manufacturing process diagram of the microscope stage in the first embodiment.
【図５】第２実施例における顕微鏡ステージの製造工程
図。FIG. 5 is a manufacturing process diagram of the microscope stage in the second embodiment.
【図６】従来の顕微鏡ステージの平面図。FIG. 6 is a plan view of a conventional microscope stage.
３１…Ｘステージ、３２…Ｙステージ、３５ａ，３５ｂ
…ガイド部材、３６，３７…長孔、３８…セラミクス
板、３９，５２…凹面。31 ... X stage, 32 ... Y stage, 35a, 35b
... guide member, 36, 37 ... long hole, 38 ... ceramics plate, 39, 52 ... concave surface.
Claims (5)
状のセラミクス材を設けたことを特徴とする顕微鏡ステ
ージ。1. A microscope stage characterized in that a sheet-shaped or plate-shaped ceramic material is provided on the upper surface of the stage base material.
ルコニア、或いはアルミナとチタニアの混合物のいずれ
かを主成分とし、加工可能な硬さを有することを特徴と
する請求項１記載の顕微鏡ステージ。2. The microscope stage according to claim 1, wherein the ceramic material is mainly composed of alumina, zirconia, or a mixture of alumina and titania and has a workable hardness.
球面状又は断面がＵ面状の凹面を形成したことを特徴と
する請求項１記載の顕微鏡ステージ。3. An upper surface of the plate-shaped ceramic material,
The microscope stage according to claim 1, wherein a concave surface having a spherical shape or a U-shaped cross section is formed.
材を接着固定、又は取付け固定する工程と、 前記固定されたセラミック材の上面を研摩して所定領域
に球面状又は断面がＵ面状の凹面を形成する工程と、 を含んでなる顕微鏡ステージの製造方法。4. A step of adhering or fixing a plate-shaped ceramic material to the upper surface of the stage base material, and polishing the upper surface of the fixed ceramic material to a spherical area or a U-shaped cross section in a predetermined region. And a step of forming a concave surface of, and a method of manufacturing a microscope stage, comprising:
Ｕ面状の凹面を形成する工程と、 前記ステージ母材の上面にシート状のセラミクス材を接
着固定する工程と、を含んでなる顕微鏡ステージの製造
方法。5. A step of forming a concave surface having a spherical shape or a U-shaped cross section on the upper surface of the stage base material, and a step of adhering and fixing a sheet-shaped ceramic material to the upper surface of the stage base material. Manufacturing method of microscope stage.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3693192U JPH0596818U (en) | 1992-06-01 | 1992-06-01 | Microscope stage and manufacturing method thereof |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3693192U JPH0596818U (en) | 1992-06-01 | 1992-06-01 | Microscope stage and manufacturing method thereof |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0596818U true JPH0596818U (en) | 1993-12-27 |
Family
ID=12483508
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3693192U Pending JPH0596818U (en) | 1992-06-01 | 1992-06-01 | Microscope stage and manufacturing method thereof |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0596818U (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015206911A (en) * | 2014-04-21 | 2015-11-19 | オリンパス株式会社 | Microscope device |
| WO2022209509A1 (en) * | 2021-04-02 | 2022-10-06 | 株式会社Cybo | Slide holder and slide-holder support structure |
-
1992
- 1992-06-01 JP JP3693192U patent/JPH0596818U/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015206911A (en) * | 2014-04-21 | 2015-11-19 | オリンパス株式会社 | Microscope device |
| WO2022209509A1 (en) * | 2021-04-02 | 2022-10-06 | 株式会社Cybo | Slide holder and slide-holder support structure |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
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