JPH0588357A - Method for inspecting mask pattern - Google Patents
Method for inspecting mask patternInfo
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- JPH0588357A JPH0588357A JP24976291A JP24976291A JPH0588357A JP H0588357 A JPH0588357 A JP H0588357A JP 24976291 A JP24976291 A JP 24976291A JP 24976291 A JP24976291 A JP 24976291A JP H0588357 A JPH0588357 A JP H0588357A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明はＬＳＩ等のマスクパター
ンを電子計算機を用いて検査するマスクパターンの検査
方法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a mask pattern inspection method for inspecting a mask pattern of an LSI or the like using an electronic computer.
【０００２】[0002]
【従来の技術】近年、ＬＳＩの大規模化、高集積化に伴
い、その設計や検査にはＣＡＤ（Computer Aided Desig
n ）システムの利用が不可欠なものとのなっている。マ
スクパターンの検査を行うＣＡＤシステムにおいては、
マスクパターンの幾何学的な設計規則検査ＤＲＣ（Desi
gn Rule Checking）を行うツールが必要である。この設
計基準検査ＤＲＣを行うツールは製造プロセス毎の最小
幅、最小間隔といった設計基準項目をもとに、対象とな
る層の図形間で計算及び判定を行い、規準に違反する箇
所を検索する処理を行う。このように設計規準検査ＤＲ
Ｃを行うツールは非常に多くの図形を取扱うため高速に
検索処理を行うことが要求される。2. Description of the Related Art In recent years, due to the large scale and high integration of LSI, CAD (Computer Aided Desig
n) Use of the system is essential. In a CAD system that inspects mask patterns,
Geometric design rule inspection DRC (Desi
A tool to perform gn Rule Checking) is required. The tool that performs this design standard inspection DRC performs a process of calculating and determining between the figures of the target layer based on the design standard items such as the minimum width and the minimum interval for each manufacturing process, and searching for a portion that violates the standard. I do. In this way design standard inspection DR
Since a tool for performing C handles a large number of figures, high-speed search processing is required.
【０００３】このため従来は、ワークリスト法（Baird
H.S. and Cho Y.E. 「Artwork Design Verification Sy
stem」Proc. 12th DA Conf., 1975, pp414〜420 参照）
が用いられている。このワークリスト法を用いた従来の
マスクパターン検査法を、最小幅検査を例にとって説明
する。最小幅検査とは、マスクパターンの層が構成する
図形（閉図形）に対して最小幅（デザインルール値とも
いう）が与えられ、このデザインルール値より小さな幅
を有する箇所があるか否かを検査するものである。各閉
図形には識別のための番号（閉図形番号という）が振ら
れる。又閉図形は境界線分によって決定される。この境
界線分は境界線分に沿って動いていったときにその閉図
形の領域が右側に有るように向きがつけられている。そ
して、この境界線分の向きを示す方向フラグの値が、図
１０に示すように、縦軸方向（Ｙ軸方向）に対しては±
１、横軸方向（Ｘ軸方向）に対しては±２、斜め方向に
対しては±３と与えられる。For this reason, the work list method (Baird
HS and Cho YE "Artwork Design Verification Sy
stem '' Proc. 12th DA Conf., 1975, pp414-420)
Is used. A conventional mask pattern inspection method using this work list method will be described by taking a minimum width inspection as an example. The minimum width inspection is to give a minimum width (also called a design rule value) to a figure (closed figure) formed by layers of a mask pattern, and check whether there is a portion having a width smaller than this design rule value. It is an inspection. A number for identification (called a closed figure number) is assigned to each closed figure. The closed figure is determined by the boundary line segment. This boundary line segment is oriented so that the region of the closed figure is on the right side when moving along the boundary line segment. Then, as shown in FIG. 10, the value of the direction flag indicating the direction of the boundary line segment is ± with respect to the vertical axis direction (Y axis direction).
1, ± 2 is given to the horizontal axis direction (X-axis direction), and ± 3 is given to the diagonal direction.
【０００４】したがって例えば図１１に示す斜線部の閉
図形に対しては、境界線分ＡＢ，ＢＣ，ＣＤ，ＤＥ，Ｅ
Ｆ，ＦＡの順、及び境界線分ＧＨ，ＨＩ，ＩＪ，ＪＧの
順に向きが与えられ、各々の方向フラグの値は＋１，＋
２，＋１，＋３，−１，−２，及び＋２，＋１，−２，
−１となっている。これらの各境界線分に関するデータ
の集まり、即ち閉図形番号、境界線分の２端点の座標、
方向フラグなどからなるレコードが境界線分ファイル１
（図９参照）に記憶されている。なお、境界線分の２端
点の座標は、この２端点をＰ1 （ｘ1 ，ｙ1 ），Ｐ
2 （ｘ2 ，ｙ2 ）とすると、条件ｘ1 ＜ｘ2 か、又はｘ
1 ＝ｘ2かつｙ1 ＜ｙ2 のときに座標（ｘ1 ，ｙ1 ），
（ｘ2 ，ｙ2 ）の順に記録されている。即ち、２端点の
ｘ座標が同一でないときは境界線分の左端の点の座標、
ｘ座標が同一のときは下端の点の座標が１番目に記憶さ
れ、他の端点の座標が次に記録されることになる。例え
ば図１１においては、境界線分ＡＦは、端点Ａの座標、
端点Ｆの座標の順に記録され、境界線分ＡＢは端点Ａの
座標、端点Ｂ座標の順に記録されることになる。以下、
２端点のうち１番目に記録される端点を左下の端点と呼
び、他の端点を右上の端点と呼ぶ。境界線分ファイル１
に記録されている各境界線分のレコードは、閉図形番
号、左下の端点のｘ座標値、ｙ座標値の順にソートされ
ている。なお、右上の端点の座標値はソートには関係せ
ず、左下の端点が同じ点となる複数の境界線分は入力順
にソートされることとなる。したがって、図１１に示す
閉図形の場合、境界線分ＡＢが境界線分ＡＦに較べて先
に境界線分ファイル１に入力されたとすれば、境界線分
ファイル１内では、境界線分ＡＢ，ＡＦ，ＢＣ，ＧＪ，
ＧＨ，ＪＩ，ＣＤ，ＨＩ，ＤＥ，ＥＦの順にソートされ
ることになる。Therefore, for example, for the closed figure in the shaded area shown in FIG. 11, the boundary line segments AB, BC, CD, DE, E
Directions are given in the order of F and FA and in the order of boundary line segments GH, HI, IJ, and JG, and the value of each direction flag is +1, +.
2, +1, +3, -1, -2, and +2, +1, -2,
It is -1. A collection of data on each of these boundary line segments, that is, a closed figure number, coordinates of two end points of the boundary line segment,
Border line segment file 1 is a record consisting of direction flags, etc.
(See FIG. 9). The coordinates of the two end points of the boundary line segment are P 1 (x 1 , y 1 ), P
2 (x 2 , y 2 ), the condition x 1 <x 2 or x
When 1 = x 2 and y 1 <y 2 , the coordinates (x 1 , y 1 ),
They are recorded in the order of (x 2 , y 2 ). That is, when the x coordinates of the two end points are not the same, the coordinates of the leftmost point of the boundary line segment,
When the x coordinates are the same, the coordinates of the lower end point are stored first, and the coordinates of the other end points are recorded next. For example, in FIG. 11, the boundary line segment AF is the coordinates of the end point A,
The coordinates of the end point F are recorded in this order, and the boundary line segment AB is recorded in the order of the coordinates of the end point A and the coordinates of the end point B. Less than,
Of the two endpoints, the endpoint recorded first is called the lower left endpoint, and the other endpoint is the upper right endpoint. Border line file 1
The records of the respective boundary lines recorded in are sorted in the order of the closed figure number, the x coordinate value of the lower left end point, and the y coordinate value. It should be noted that the coordinate values of the upper right end point are not related to sorting, and a plurality of boundary line segments having the same lower left end point are sorted in the order of input. Therefore, in the case of the closed figure shown in FIG. 11, if the boundary line segment AB is input to the boundary line segment file 1 before the boundary line segment AF, in the boundary line segment file 1, the boundary line segment AB, AF, BC, GJ,
GH, JI, CD, HI, DE, and EF will be sorted in this order.
【０００５】このようにソートされた境界線分ファイル
１と、ワークリスト（主メモリ上のテーブル）５を用い
た最小幅検査は次のステップによって行う。 ステップ１：境界線分ファイル１から境界線分データを
ソート順に１レコードずつ取り出し、閉図形毎に以下の
ステップ２，３，４を、境界線分ファイル１内の取り出
すべきレコードすなわち検査線分がなくなるまで繰り返
す。 ステップ２：ワークリスト５内に記憶されている境界線
分データの中で、ステップ１で取り出された検査線分３
と近接する境界線分のデータを検索し、近接する境界線
分がある場合はこの近接する境界線分のデータを検査対
象線分として検査対象線分群９に選出し、ワークリスト
５内で検査対象領域から外れて不要となった境界線分デ
ータを削除線分として削除線分群１０に出力する。 ステップ３：検査線分３と、検査対象線分群９内の各境
界線分との間の距離を求め、最小幅の検査を検査部１２
（図９参照）において行う。このとき、最小幅（デザイ
ンルール値）以下の幅である場合は、エラーファイル１
３にその位置及び図形情報等を出力する。 ステップ４：検索に使用した検査線分３のデータをワー
クリスト５内に記憶させる。 なお、ワークリスト５内では、境界線分データは境界線
分ファイル１と同様にしてソートされているものとす
る。The minimum width inspection using the boundary line file 1 thus sorted and the work list (table on the main memory) 5 is performed by the following steps. Step 1: Boundary line segment data is extracted from the boundary line segment file 1 one by one in the order of sorting, and the following steps 2, 3 and 4 are performed for each closed figure. Repeat until no more. Step 2: In the boundary line segment data stored in the work list 5, the inspection line segment 3 extracted in step 1
Data of the boundary line segment that is close to is searched, and if there is a boundary line segment that is close to this, the data of the adjacent boundary line segment is selected as the inspection target line segment in the inspection target line segment group 9 and is inspected in the work list 5. Boundary line segment data that is no longer needed and is out of the target area is output to the deletion line segment group 10 as a deletion line segment. Step 3: The distance between the inspection line segment 3 and each boundary line segment in the inspection target line segment group 9 is obtained, and the inspection of the minimum width is performed by the inspection unit 12.
(See FIG. 9). At this time, if the width is less than the minimum width (design rule value), the error file 1
The position, graphic information, etc. are output to 3. Step 4: The data of the inspection line segment 3 used for the search is stored in the work list 5. In the work list 5, the boundary line segment data is sorted in the same manner as the boundary line segment file 1.
【０００６】ステップ２における近接データの検索は、
まず各境界線分及び検査線分３に対してデザインルール
値λに基づいて図１２に示す要領で各線分の外包矩形を
作成する。次に、検査線分３の外包矩形に対して、ワー
クリスト５内の境界線分の外包矩形が重なり部分を有す
るかどうかを検査し、重なり部分を有する外包矩形の境
界線分データを上記検査線分３の近接データとする。
又、ワークリスト５内の境界線分データの外包矩形が例
えば図１３の矩形ａ1 ，ａ2 ，ａ3 ，ａ4 ，ａ5 で、検
査線分３の外包矩形がａ6 の場合は、ステップ２におけ
る検査対象領域は図１３に示す斜線部となり、外包矩形
ａ1 ，ａ4 に対応する境界線分が削除対象線分となる。The search for proximity data in step 2 is performed by
First, an envelope rectangle for each line segment is created for each boundary line segment and inspection line segment 3 based on the design rule value λ according to the procedure shown in FIG. Next, with respect to the envelope rectangle of the inspection line segment 3, it is inspected whether or not the envelope rectangle of the boundary line segment in the work list 5 has an overlapping portion, and the boundary line segment data of the envelope rectangle having the overlapping portion is inspected as described above. The proximity data of line segment 3 is used.
Further, when the envelope rectangle of the boundary line segment data in the work list 5 is, for example, the rectangles a 1 , a 2 , a 3 , a 4 and a 5 in FIG. 13 and the envelope rectangle of the inspection line segment 3 is a 6 , The inspection target area in step 2 is the hatched portion shown in FIG. 13, and the boundary line segments corresponding to the envelope rectangles a 1 and a 4 are the deletion target line segments.
【０００７】ステップ３における、検査線分３と検査対
象線分との間の距離検査は、方向フラグを調べることに
より二線分間の領域に閉図形の領域が存在することを確
認し、検査対象線分３の始点及び終点と、検査線分との
間のそれぞれの距離を求め、これらの値をデザインルー
ル値と比較することによって行う。一般にステップ３は
ステップ２に比べて処理時間を多く要するが、ステップ
２において検査対象線分が絞り込まれることにより、ス
テップ３における処理時間はそれほど多く必要としな
い。即ち、全処理時間の性能の善し悪しはステップ２の
ワークリストを中心とした処理にほとんど依存している
ことが言える。In the distance inspection between the inspection line segment 3 and the inspection target line segment in the step 3, it is confirmed by checking the direction flag that a region of a closed figure exists in the region between the two line segments, and the inspection target is checked. This is performed by finding the respective distances between the start point and end point of the line segment 3 and the inspection line segment, and comparing these values with the design rule value. Generally, step 3 requires more processing time than step 2, but the processing time in step 3 is not so long because the inspection target line segment is narrowed down in step 2. That is, it can be said that whether the performance of the entire processing time is good or bad depends almost on the processing centering on the work list in step 2.
【０００８】[0008]
【発明が解決しようとする課題】ワークリスト処理は一
般的に、ワークリスト内に境界線分データが溜まりすぎ
ると効率が悪くなる。ワークリスト内に多くのデータが
溜まるケースは、Ｘ軸方向に長い線分が沢山あり、それ
らがワークリストからなかなか削除されないことにより
起こる。このようなケースに対して、従来の検査方法で
は、検査対象領域（ワークリスト領域ともいう）のＹ軸
方向を細かく分割することが行われている。この場合、
分割を細かくしすぎると、Ｙ軸方向に長い線分は複数の
領域にまたがるケースが多くなり、これらの線分を領域
分だけ分割し、それぞれ別々に処理することが必要とな
る。これはワークリストの線分数を増加させるばかりで
なく、分割した各領域の境界の近傍データに対して、隣
接するもの同士での検査を必要とし、処理時間の改善は
あまりされず、かえって時間のかかるケースが生じる。Worklist processing is generally inefficient if too much boundary line data is accumulated in the worklist. The case where a large amount of data is accumulated in the work list occurs because there are many long line segments in the X-axis direction and they are not easily deleted from the work list. In such a case, in the conventional inspection method, the Y-axis direction of the inspection target area (also referred to as a work list area) is finely divided. in this case,
If the division is too fine, line segments that are long in the Y-axis direction often span a plurality of regions, and it is necessary to divide these line segments into regions and process them separately. This not only increases the number of line segments in the work list, but also requires inspection of adjacent data for the boundary data of each divided area, which does not improve the processing time much, and rather reduces the time. Such a case occurs.
【０００９】以上のように従来の検査方法を用いて、Ｘ
軸方向、Ｙ軸方向に長い線分が多く存在するＬＳＩのマ
スクパターンの図形を検査しようとすると多くの処理時
間がかかってしまう。本発明は上記事情を考慮してなさ
れたものであって、ＬＳＩのマスクパターンを可及的に
高速に検査することのできるマスクパターンの検査方法
を提供することを目的とする。As described above, by using the conventional inspection method, X
It takes a lot of processing time to inspect an LSI mask pattern graphic having many long line segments in the axial direction and the Y-axis direction. The present invention has been made in consideration of the above circumstances, and an object thereof is to provide a mask pattern inspection method capable of inspecting an LSI mask pattern as fast as possible.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】本発明のマスクパターン
の検査方法は、境界線分のデータを記憶するワークリス
トを、少なくともＸ軸平行線分用、Ｙ軸平行線分用、及
び斜め線分用の３種類のワークリストに分割する第１の
ステップと、マスクパターンの閉図形に関する境界線分
情報のレコードを所定の順序でソートして記憶している
境界線分ファイルから、所定の規則に基づいてソート順
に１レコード取り出し、この取り出したレコードの境界
線分を検査線分とする第２のステップと、前記検査線分
の傾きを求め、この傾きに基づいて前記分割され複数の
ワークリストから検索対象ワークリストを決定し、この
決定された検索対象ワークリスト内の境界線分のデータ
の中で前記検査線分に近接する境界線分のデータを検索
し、この検索された近接する境界線分のデータを検査対
象線分群として選出し、前記検索対象ワークリスト内で
検査対象領域から外れた境界線分のデータを削除線分の
データとして前記検索対ワークリストから削除する第３
のステップと、前記検査線分と前記検査対象線分群の各
線分との間の距離を求め、この求められた距離が所定値
より小さいかどうかを検査する第４のステップと、前記
検査線分のデータを、この検査線分の傾きに対応するワ
ークリスト内に記憶させる第５のステップと、前記境界
線分ファイルから取り出すべきレコードがなくなるまで
前記第２から第５のステップを繰り返す第６のステップ
と、を備えていることを特徴とする。According to a mask pattern inspection method of the present invention, a work list for storing boundary line data is at least used for an X-axis parallel line segment, a Y-axis parallel line segment, and an oblique line segment. The first step of dividing the work list into three work lists for sorting and the record of the boundary line segment information regarding the closed figure of the mask pattern is sorted and stored in a predetermined order from the boundary line segment file to a predetermined rule. Based on this, one record is taken out in the sorting order, the second step of using the boundary line segment of the taken-out record as an inspection line segment, and the inclination of the inspection line segment is obtained, and based on this inclination, from the plurality of divided work lists. The work list to be searched is determined, and the data of the boundary line segment that is close to the inspection line segment is searched from the data of the boundary line segment in the determined search target work list. Data of adjacent boundary line segments is selected as an inspection target line segment group, and data of boundary line segments that are out of the inspection target area in the search target work list are deleted from the search pair work list as deleted line segment data. Three
And a fourth step of obtaining a distance between the inspection line segment and each line segment of the inspection target line segment group, and inspecting whether or not the obtained distance is smaller than a predetermined value. The fifth step of storing the data in the work list corresponding to the inclination of the inspection line segment, and the sixth step of repeating the second to fifth steps until there are no records to be extracted from the boundary line segment file. And a step.
【００１１】[0011]
【作用】このように構成された本発明のマスクパターン
検査方法によれば、ワークリストが少なくとも３種類の
ワークリスト、すなわちＸ軸平行線分用、Ｙ軸平行線分
用、斜め線分用のワークリストに分割される。そして境
界線分ファイルから検査線分が取り出され、この検査線
分の傾きに基づいて検索対象ワークリストが決定され、
この検索対象ワークリスト内の境界線分のデータの中で
検査線分に近接するものが検査対象線分群として選出さ
れるとともに、検査対象領域から外れた境界線分のデー
タが削除線分のデータとしてワークリストから削除され
る。そして、検査線分と検査対象線分群の各線分との距
離が求められ、この距離が所定値より小さいかどうかが
検査される。これにより、ワークリスト内のデータが従
来に比べて少なくなるので検索回数を減らすことが可能
となり、これにより、ＬＳＩマスクパターンを可及的に
検査することができる。According to the mask pattern inspection method of the present invention thus constructed, at least three types of work lists are provided, that is, for X-axis parallel line segments, Y-axis parallel line segments, and diagonal line segments. Divided into worklists. Then, the inspection line segment is extracted from the boundary line file, the work list to be searched is determined based on the inclination of the inspection line segment,
Among the boundary line data in this search target work list, the one that is close to the inspection line segment is selected as the inspection target line segment group, and the boundary line data that is out of the inspection target area is the deleted line segment data. Will be deleted from the worklist. Then, the distance between the inspection line segment and each line segment of the inspection target line segment group is obtained, and it is inspected whether this distance is smaller than a predetermined value. As a result, the amount of data in the work list becomes smaller than in the conventional case, so that the number of searches can be reduced, and the LSI mask pattern can be inspected as much as possible.
【００１２】[0012]
【実施例】本発明によるマスクパターン検査方法の第１
の実施例を図１乃至図６を参照して説明する。図１は本
発明による検査方法を、最小幅の検査処理に用いた場合
の処理概要を示す図である。互いに垂直な境界線分は最
小幅の検査を行う必要がないからこの実施例において
は、ワークリストは従来と異なりＸ軸平行線分用ワーク
リスト５ａ、Ｙ軸平行線分用ワークリスト５ｂ、斜め線
分用ワークリスト５ｃの３種類に分けられている。な
お、境界線分ファイル１におけるデータの構成、及び検
査部１２における処理は従来と同様である。[First Embodiment] A first method for inspecting a mask pattern according to the present invention.
An embodiment of the above will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a diagram showing an outline of processing when the inspection method according to the present invention is used for inspection processing of a minimum width. Since it is not necessary to inspect the minimum width of the boundary line segments perpendicular to each other, in this embodiment, the work list is different from the conventional work list for the X-axis parallel line work list 5a, the Y-axis parallel line work list 5b, and the oblique line. The work list for line segment 5c is divided into three types. The structure of the data in the boundary line file 1 and the process in the inspection unit 12 are the same as the conventional one.
【００１３】Ｘ軸平行線分用ワークリスト５ａは、境界
線分ファイル１から取り出した境界線分のデータのうち
Ｘ軸（横軸）に平行な境界線分のデータだけを、閉図形
番号、左下端点のＸ座標、Ｙ座標の順でソートして記憶
している。Ｙ軸平行線分用ワークリスト５ｂは、境界線
分ファイル１から取り出した境界線分のデータのうちＹ
軸（縦軸）に平行な境界線分のデータだけを、閉図形番
号、左下端点のＸ座標、Ｙ座標の順でソートして記憶し
ている。斜め線分用ワークリスト５ｃは、Ｘ軸にもＹ軸
にも平行でない境界線分のデータを、閉図形番号、左下
端点のＸ座標、Ｙ座標の順でソートして記憶している。In the work list 5a for X-axis parallel line segments, only the data of the boundary line segments parallel to the X-axis (horizontal axis) out of the data of the boundary line segments extracted from the boundary line segment file 1 are closed figure numbers, The lower left point is sorted and stored in the order of the X coordinate and the Y coordinate. The work list 5b for the Y-axis parallel line segment is the Y of the boundary line segment data extracted from the boundary line segment file 1.
Only the data of the boundary line parallel to the axis (vertical axis) is sorted and stored in the order of the closed figure number, the X coordinate of the lower left end point, and the Y coordinate. The diagonal line segment work list 5c stores data of boundary line segments that are neither parallel to the X-axis nor the Y-axis, sorted in the order of the closed figure number, the X coordinate of the lower left end point, and the Y coordinate.
【００１４】次に本実施例の作用を説明する。本実施例
の最小幅検査処理は以下のステップ１によって行われ
る。 ステップ１：境界線分ファイル１から境界線分データを
ソート順に１レコードずつ取り出し、閉図形毎に以下の
ステップ２，３，４を、境界線分ファイル１内の取り出
すべきレコードがなくなるまで繰り返す。 ステップ２：取り出した境界線分データの傾きを調べ、
この傾きと後述の所定のルールに基づいて、検索対象の
ワークリスト内の境界線分データの中で、ステップ１で
取り出した検査線分３に近接する境界線分データを検索
し、近接する境界線分がある場合は検査対象線分として
検査対象線分群９に出力し、検索した結果、検索対象ワ
ークリスト内で検査対象領域から外れて不要となる境界
線分データを削除線分として削除して削除線分群１０に
出力する。 ステップ３：検査線分３と、検査対象線分群９との間の
距離を求め、最小幅の検査を検査部１２において行う。
この時、最小幅すなわちデザインルール値以下の幅であ
る場合はエラーファイル１３にその位置及び図形情報等
を出力する。 ステップ４：検索に使用した検査線分３のデータを、検
査線分の傾きに対応するワークリスト内に記憶させる。Next, the operation of this embodiment will be described. The minimum width inspection process of this embodiment is performed by the following step 1. Step 1: Boundary line segment data is extracted from the boundary line segment file 1 one by one in a sort order, and the following steps 2, 3 and 4 are repeated for each closed figure until there are no more records to be extracted in the boundary line segment file 1. Step 2: Check the slope of the extracted boundary line segment data,
Based on this inclination and a predetermined rule to be described later, the boundary line segment data in the work list to be searched is searched for boundary line segment data close to the inspection line segment 3 extracted in step 1, and the adjacent boundary line segment data is searched. If there is a line segment, it is output to the inspection target line segment group 9 as an inspection target line segment, and as a result of the search, the boundary line segment data that is not needed outside the inspection target area in the search target worklist is deleted as a deletion line segment. And output to the deleted line segment group 10. Step 3: The distance between the inspection line segment 3 and the inspection target line segment group 9 is obtained, and the inspection unit 12 performs the inspection of the minimum width.
At this time, if the width is the minimum width, that is, the width equal to or smaller than the design rule value, the position, graphic information and the like are output to the error file 13. Step 4: The data of the inspection line segment 3 used for the search is stored in the work list corresponding to the inclination of the inspection line segment.
【００１５】なお、ステップ２における近接データの検
索は、例えば図２に示すルールに基づいて行う。まず、
求められた検査線分３の傾きがＸ軸（横軸）に平行であ
るかどうかを検査し（図２のステップＦ２１参照）、平
行であればＸ軸平行線分用ワークリスト５ａ及び斜め線
分用ワークリスト５ｃを検索対象ワークリストとし、こ
の検索対象ワークリスト内の境界線分データの中で検査
線分３に近接する境界線分のデータを検索する（図２の
ステップＦ２２参照）。Ｘ軸に平行でなければ、検査線
分３の傾きがＹ軸（縦軸）に平行であるかどうかを検査
し（図２のステップＦ２３参照）、Ｙ軸に平行であれば
Ｙ軸平行線分用ワークリスト５ｂ及び斜線分用ワークリ
スト５ｃを検索対象ワークリストとし、この検索対象ワ
ークリスト内の境界線分データの中で検査線分３に近接
する境界線分のデータを検索する（図２のステップＦ２
４参照）。検査線分３の傾きがＸ軸にもＹ軸にも平行で
ない場合は、Ｘ軸平行線分用ワークリスト５ａ及びＹ軸
平行線分用ワークリスト５ｂ並びに斜め線分用ワークリ
スト５ｃを検索対象ワークリストとし、この検索対象ワ
ークリスト内の境界線分データの中で検査線分３に近接
する境界線分のデータを検索する（図２のステップＦ２
５参照）。又、上記検索対象ワークリスト内の境界線分
のデータと検査線分３のデータが近接しているかどうか
は、従来の場合と同様に、各線分の外包矩形を作成し、
これらの外包矩形に基づいて行う。The search for proximity data in step 2 is performed based on the rule shown in FIG. 2, for example. First,
It is checked whether or not the obtained inclination of the inspection line segment 3 is parallel to the X axis (horizontal axis) (see step F21 in FIG. 2), and if parallel, the work list 5a for the X axis parallel line segment and the diagonal line. The work list for division 5c is used as a search target work list, and the boundary line segment data in this search target work list is searched for boundary line segment data that is close to the inspection line segment 3 (see step F22 in FIG. 2). If it is not parallel to the X-axis, it is checked whether the inclination of the inspection line segment 3 is parallel to the Y-axis (vertical axis) (see step F23 in FIG. 2). The work list for division 5b and the work list for slanted line segment 5c are used as search target work lists, and the boundary line segment data in this search target work list is searched for the data of the boundary line segment close to the inspection line segment 3 (Fig. Step F2 of 2
4). When the inclination of the inspection line segment 3 is not parallel to the X axis or the Y axis, the work list 5a for the X axis parallel line segment, the work list 5b for the Y axis parallel line segment, and the work list 5c for the diagonal line segment are searched. As a work list, the boundary line segment data in the search target work list is searched for boundary line segment data that is close to the inspection line segment 3 (step F2 in FIG. 2).
5). In addition, whether or not the data of the boundary line segment in the search target work list and the data of the inspection line segment 3 are close to each other is determined by creating an envelope rectangle of each line segment as in the conventional case.
This is done based on these envelope rectangles.
【００１６】したがって、例えば図３に示すような閉図
形の場合は、境界線分ａ8 ，ａ7 ，ａ1 ，ａ6 ，ａ5 ，
ａ4 ，ａ3 ，ａ2 の順にソートされて境界線分ファイル
１に記憶されている。今、図４に示す閉図形において、
境界線分ａ5 が境界線分ファイル１から検査線分として
取り出された場合を考えると、この時境界線分ａ8 ，ａ
6 はＹ軸平行線分用ワークリスト５ｂ内に記憶され、境
界線分ａ7 ，ａ1 はＸ軸平行線分用ワークリスト５ａ内
に記憶される（図４参照）。なお、図４においては、分
かりやすくするため各ワークリスト内での境界線分を図
形的に表現してあるが、実際は境界線分ファイルに記憶
されていると同じ構造のデータが記憶されている。そし
て、検査線分ａ5 と近接する境界線分が検索対象ワーク
リスト５ａ，５ｃ内にあるかどうかが検索され、境界線
分ａ1 ，ａ7 が検査対象領域と重なっているということ
で（図４参照）、検査対象線分群９として選出され、こ
れらの検査対象線分群と検査線分ａ5 との距離が検査部
１２において検査される。その後、検査線分ａ5 がＸ軸
平行線分用ワークリスト５ａに記憶され、線分ａ4 が検
査線分として境界線分ファイル１から取り出されて検査
が継続される。Therefore, for example, in the case of a closed figure as shown in FIG. 3, the boundary line segments a 8 , a 7 , a 1 , a 6 , a 5 ,
It is sorted in the order of a 4 , a 3 , and a 2 and stored in the boundary line file 1. Now in the closed figure shown in FIG.
Considering the case where the boundary line segment a 5 is extracted from the boundary line segment file 1 as an inspection line segment, at this time, the boundary line segments a 8 and a
6 is stored in the Y-axis parallel line segment work list 5b, and the boundary line segments a 7 and a 1 are stored in the X-axis parallel line segment work list 5a (see FIG. 4). Note that, in FIG. 4, the boundary line segment in each work list is represented graphically for the sake of clarity, but in reality, data having the same structure as that stored in the boundary line segment file is stored. .. Then, it is searched whether or not the boundary line segment that is close to the inspection line segment a 5 is in the search target work lists 5a and 5c, and the boundary line segments a 1 and a 7 overlap with the inspection target area ( (See FIG. 4), the inspection target line segment group 9 is selected, and the inspection unit 12 inspects the distance between these inspection target line segment groups and the inspection line segment a 5 . After that, the inspection line segment a 5 is stored in the X-axis parallel line segment work list 5a, and the line segment a 4 is taken out from the boundary line segment file 1 as the inspection line segment and the inspection is continued.
【００１７】以上説明したように本実施例によれば、ワ
ークリストをＸ軸平行線分用、Ｙ軸平行線分用、斜め線
分用に分けたので、Ｘ軸（またはＹ軸）に垂直な場合
は、それと垂直方向のデータを格納するワークリストを
検索する必要がなくなる。そして、マスクパターンのほ
とんどの境界線分がＸ軸又はＹ軸に平行となるように構
成されているため、ワークリストの検索回数を従来の方
法に比べて半分近くに減らすことが可能となり、これに
より可及的に高速にＬＳＩのマスクパターンを検査する
ことができる。As described above, according to this embodiment, the work list is divided into the X-axis parallel line segment, the Y-axis parallel line segment, and the diagonal line segment, so that the work list is perpendicular to the X-axis (or Y-axis). In that case, there is no need to search the worklist that stores the vertical data. Since most boundary lines of the mask pattern are configured to be parallel to the X-axis or the Y-axis, it is possible to reduce the number of work list searches to nearly half that of the conventional method. Thus, the mask pattern of the LSI can be inspected as fast as possible.
【００１８】なお、各ワークリストは、予めＹ軸方向の
分割の細かさを各々固有の値に設定しておいても良い。
例えば、図５に示すように、Ｙ軸平行線分用ワークリス
ト５ｂに対して、分割によって線分が各分割領域にまた
がる可能性が低い、斜め線分用ワークリスト５ｃ及びＸ
軸平行線分用ワークリスト５ａの場合、斜め線分用ワー
クリスト５ｃはやや細かく分割を行い、Ｘ軸平行線分用
ワークリスト５ｃは更に細かく分割する。このようにす
ることにより、データが溜りやすくて検索時間のかかっ
たＸ軸平行線分用ワークリストの検索回数を半分以下に
削除することができ、ＬＳＩのマスクパターンを可及的
に高速に検査することができる。In each work list, the fineness of division in the Y-axis direction may be set in advance to a unique value.
For example, as shown in FIG. 5, with respect to the Y-axis parallel line segment work list 5b, it is unlikely that the line segment will extend over each divided region due to division, and the diagonal line segment work lists 5c and X are included.
In the case of the work list 5a for the axis parallel line segment, the work list 5c for the oblique line segment is divided slightly finely, and the work list 5c for the X axis parallel line segment is further finely divided. By doing so, it is possible to reduce the number of searches of the work list for the X-axis parallel line segment, which is easy to collect data and took a long time to search, to less than half, and inspect the LSI mask pattern as fast as possible. can do.
【００１９】又、境界線分の傾きが４５度に限定されて
いる場合は、図６に示すように斜め線分ワークリスト５
ｃを、更に２つの斜め線分ワークリスト５ｃ1 ，５ｃ2
に分け、ワークリスト５ｃ1 には＋４５度の傾きを有す
る境界線分を記憶し、ワークリスト５ｃ2 には−４５度
の傾きを有する境界線分を記憶させるようにしても良
い。When the inclination of the boundary line segment is limited to 45 degrees, the oblique line segment work list 5 as shown in FIG.
c and two diagonal line segment worklists 5c 1 and 5c 2
The work list 5c 1 may store a boundary line segment having an inclination of +45 degrees, and the work list 5c 2 may store a boundary line segment having an inclination of −45 degrees.
【００２０】次に本発明の第２の実施例を図７乃至図８
を参照して説明する。図７は本発明の検査方法を、２層
間例えば層Ａと層Ｂとの間での最小間隔検査処理に用い
た場合の処理概要を示す図である。この実施例において
は、境界線分ファイルは２つに分けられている。一方の
境界線分ファイル１1 には層Ａに関する境界線分のデー
タがファイルされており、他方の境界線分ファイル１2
には層Ｂに関する境界線分のデータがファイルされてい
る。これらの境界線分ファイル１1 ，１2 内のデータ
は、閉図形番号、境界線分の左下端点のＸ座標値、Ｙ座
標値の順でソートされている。又、ワークリストも、層
Ａに関するワークリストと層Ｂに関するワークリストに
分かれている。そして、第１の実施例の場合と同様に各
層に関するワークリストはＸ軸平行線分用ワークリスト
５ａi （ｉ＝１，２）、Ｙ軸平行線分用ワークリスト５
ｂi （ｉ＝，２）、斜め線分用ワークリスト５ｃi （ｉ
＝１，２）に分けられている。なお、ワークリストの種
類については、前の実施例と同様に、境界線分データの
種類によって異なる構成としても良い。例えば、斜め線
分データが４５度の傾きをもつものと限定されていると
きは、斜め線分用ワークリストを、＋４５度の傾きをも
つ線分データを記憶するワークリストと、−４５度の傾
きをもつ線分データを記憶するワークリストに分けて使
用しても良い。Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
Will be described. FIG. 7 is a diagram showing an outline of processing when the inspection method of the present invention is used for inspection processing of a minimum distance between two layers, for example, layer A and layer B. In this embodiment, the boundary line segment file is divided into two. Boundary line segment file 1 1 contains boundary line segment data relating to layer A, and the other boundary line segment file 1 2
Boundary line segment data relating to layer B is filed in. The data in these boundary line segment files 1 1 and 1 2 are sorted in the order of the closed figure number, the X coordinate value of the lower left end point of the boundary line segment, and the Y coordinate value. The work list is also divided into a work list for layer A and a work list for layer B. As in the case of the first embodiment, the work list for each layer is the work list 5a i for X-axis parallel line segments (i = 1, 2) and the work list 5 for Y-axis parallel line segments.
b i (i =, 2), the work list for diagonal line segment 5 c i (i
= 1, 2). The type of work list may be different depending on the type of boundary line segment data, as in the previous embodiment. For example, when the diagonal line segment data is limited to have a slope of 45 degrees, the work list for the diagonal line segment is a work list for storing the line segment data having a slope of +45 degrees and the work list for -45 degrees. You may divide and use it for the work list which memorize | stores the line segment data which has a slope.
【００２１】次に、この実施例の作用を説明する。最小
間隔検査は、以下のステップによって行われる。 ステップ１：境界線分ファイル１1 ，１2 からソート順
にレコード、すなわち境界線分データを各々１個づつ取
り出し、境界線分ファイル１1 ，１2 のうちの少なくと
も一方の取り出すべきレコードがなくなるまで以下のス
テップ２〜ステップ５を繰り返す。 ステップ２：境界線分ファイル１1 ，１2 から各々取り
出された境界線分データを比較部２において比較し、左
下端点の座標値の小さい方の境界線分を選出し、この選
出された境界線分を検査線分とするとともに、この検査
線分の傾きを求める。 ステップ３：ステップ２で選出された検査線分の傾きに
基づいて、この検査線分と異なる層のワークリストの中
から検索対象ワークリストを最小幅の検査と同様に決定
し、この検索対象ワークリスト内の境界線分データの中
で、上記検査線分に近接する境界線分データを検索し、
この近接する境界線分を検査対象線分として検査対象線
分群９に選出し、検索した結果検索対象ワークリスト内
で検査対象領域から外れて不要となる境界線分データを
削除線分としてワークリストから削除して削除線分群１
０に出力する。 ステップ４：検査線分と、検査対象線分群９との間の距
離を求め、最小間隔の検査を検査部１２において行う。
この時、最小間隔すなわちデザインルール値以下の間隔
がある場合はエラーファイル１３にその位置及び図形情
報等を出力する。 ステップ５：上記検査線分をこの線分と同じ層の、検査
線分の傾きに対応するワークリスト内に記憶させるとと
もに、この検査線分と同じ層に関する境界線分ファイル
から次の境界線分のデータを取り出し、比較部に送出す
る。Next, the operation of this embodiment will be described. The minimum interval check is performed by the following steps. Step 1: Extract records from the boundary line files 1 1 and 1 2 in sort order, that is, one boundary line data each, until there is no record to be extracted in at least one of the boundary line files 1 1 and 1 2. The following steps 2 to 5 are repeated. Step 2: The boundary line segment data respectively extracted from the boundary line segment files 1 1 and 1 2 are compared in the comparison unit 2, and the boundary line segment having the smaller coordinate value of the left lower end point is selected, and the selected boundary line is selected. The line segment is used as the inspection line segment, and the inclination of this inspection line segment is obtained. Step 3: Based on the inclination of the inspection line segment selected in Step 2, the work list to be searched is determined from the work lists of different layers from this inspection line segment in the same manner as the inspection of the minimum width, and the work to be searched is determined. Among the boundary line segment data in the list, search for boundary line segment data close to the above inspection line segment,
This adjacent boundary line segment is selected as the inspection target line segment for the inspection target line segment group 9, and the result of the search is the boundary line segment data that is no longer needed and is outside the inspection target area as the work line list. Delete from and delete line group 1
Output to 0. Step 4: The distance between the inspection line segment and the inspection target line segment group 9 is obtained, and the inspection unit 12 performs the inspection at the minimum interval.
At this time, if there is a minimum interval, that is, an interval equal to or less than the design rule value, the position, graphic information, etc. are output to the error file 13. Step 5: The inspection line segment is stored in the work list of the same layer as this line segment and corresponding to the inclination of the inspection line segment, and the next boundary line segment from the boundary line segment file relating to the same layer as this inspection line segment is stored. Data is extracted and sent to the comparison unit.
【００２２】以上のステップによって行なわれる最小間
隔検査を図８（ａ）に示す層Ａと層Ｂのパターンに適用
したときの、層Ａに関するワークリスト５ａ1 ，５
ｂ1 ，５ｃ1 と層Ｂに関するワークリスト５ａ2 ，５ｂ
2 ，５ｃ2 の状態を各々図８（ｂ），（ｃ）に示す。こ
の状態は境界線分ａ4 がワークリスト５ｂ1に入力され
たときの状態を示す。このとき図８（ｂ），（ｃ）にお
いて、破線で示す境界線分ａ7 ，ａ3 ，ａ1 ，ａ6 及び
境界線分ｂ2 ，ｂ7 ，ｂ1 ，ｂ3 は削除線分としてワー
クリストから削除されることを示している。以上によ
り、この第２の実施例も第１の実施例と同様の効果を得
ることができることはいうまでもない。The worklists 5a 1 and 5 for layer A when the minimum interval inspection performed by the above steps is applied to the pattern of layer A and layer B shown in FIG. 8A.
Worklists 5a 2 and 5b for b 1 and 5c 1 and layer B
The states of 2 and 5c 2 are shown in FIGS. 8B and 8C, respectively. This state shows the state when the boundary line segment a 4 is input to the work list 5b 1 . At this time, in FIGS. 8B and 8C, the boundary line segments a 7 , a 3 , a 1 , a 6 and the boundary line segments b 2 , b 7 , b 1 , b 3 shown by broken lines are deleted line segments. Indicates that it will be deleted from the worklist. From the above, it goes without saying that the second embodiment can also obtain the same effect as the first embodiment.
【００２３】[0023]
【発明の効果】本発明によればＬＳＩのマスクパターン
を可及的に高速に検査することができる。According to the present invention, the mask pattern of the LSI can be inspected as fast as possible.
【図１】本発明の第１の実施例の処理概要を示すブロッ
ク図。FIG. 1 is a block diagram showing a processing outline of a first embodiment of the present invention.
【図２】第１の実施例において、検索対象ワークリスト
を決定するフローチャート。FIG. 2 is a flowchart for determining a search target work list in the first embodiment.
【図３】第１の実施例の検査対象となる閉図形の例を示
す図。FIG. 3 is a diagram showing an example of a closed figure to be inspected in the first embodiment.
【図４】閉図形に第１の実施例の検査方法を適用した場
合のワークリスト内の状態を模式的に示す模式図。FIG. 4 is a schematic diagram schematically showing a state in a work list when the inspection method of the first embodiment is applied to a closed figure.
【図５】本発明にかかるワークリストをＹ軸方向に分割
した場合を示す模式図。FIG. 5 is a schematic diagram showing a case where a work list according to the present invention is divided in the Y-axis direction.
【図６】斜め線分ワークリストを特定の場合に２つの斜
め線分ワークリストに分ける場合を説明する説明図。FIG. 6 is an explanatory view for explaining a case where the diagonal line segment work list is divided into two diagonal line segment work lists in a specific case.
【図７】本発明の第２の実施例の処理概要を示すブロッ
ク図。FIG. 7 is a block diagram showing a processing outline of a second embodiment of the present invention.
【図８】第２の実施例を用いた場合のワークリストの状
態を示す模式図。FIG. 8 is a schematic diagram showing a state of a work list when the second embodiment is used.
【図９】従来の検査方法の処理概要を示すブロック図。FIG. 9 is a block diagram showing a processing outline of a conventional inspection method.
【図１０】方向フラグを説明する説明図。FIG. 10 is an explanatory diagram illustrating a direction flag.
【図１１】閉図形の方向フラグを説明する図。FIG. 11 is a diagram illustrating a direction flag of a closed figure.
【図１２】境界線分の外包矩形の作り方を説明する説明
図。FIG. 12 is an explanatory diagram illustrating a method of forming an envelope rectangle of a boundary line segment.
【図１３】ワークリスト内の検索方法を説明する説明
図。FIG. 13 is an explanatory diagram illustrating a search method in the work list.
１ 境界線分ファイル ３ 検査線分 ５ａ Ｘ軸平行線分用ワークリスト ５ｂ Ｙ軸平行線分用ワークリスト ５ｃ 斜め線分用ワークリスト ９ 検査対象線分群 １０ 削除線分群 １２ 検査部 １３ エラーファイル 1 Boundary line segment file 3 Inspection line segment 5a X-axis parallel line segment work list 5b Y-axis parallel line segment work list 5c Diagonal line segment work list 9 Inspection target line segment group 10 Deleted line segment group 12 Inspection section 13 Error file
Claims (1)
を、少なくともＸ軸平行線分用、Ｙ軸平行線分用、及び
斜め線分用の３種類のワークリストに分割する第１のス
テップと、 マスクパターンの閉図形に関する境界線分情報のレコー
ドを所定の順序でソートして記憶している境界線分ファ
イルから、所定の規則に基づいてソート順に１レコード
取り出し、この取り出したレコードの境界線分を検査線
分とする第２のステップと、 前記検査線分の傾きを求め、この傾きに基づいて前記分
割され複数のワークリストから検索対象ワークリストを
決定し、この決定された検索対象ワークリスト内の境界
線分のデータの中で前記検査線分に近接する境界線分の
データを検索し、この検索された近接する境界線分のデ
ータを検査対象線分群として選出し、前記検索対象ワー
クリスト内で検査対象領域から外れた境界線分のデータ
を削除線分のデータとして前記検索対ワークリストから
削除する第３のステップと、 前記検査線分と前記検査対象線分群の各線分との間の距
離を求め、この求められた距離が所定値より小さいかど
うかを検査する第４のステップと、 前記検査線分のデータを、この検査線分の傾きに対応す
るワークリスト内に記憶させる第５のステップと、前記
境界線分ファイルから取り出すべきレコードがなくなる
まで前記第２から第５のステップを繰り返す第６のステ
ップと、 を備えていることを特徴とするマスクパターンの検査方
法。1. A first step of dividing a worklist storing boundary line segment data into at least three types of worklists for X-axis parallel line segments, Y-axis parallel line segments, and diagonal line segments. And a record of the boundary line segment information related to the closed figure of the mask pattern is sorted and stored in a predetermined order, and one record is extracted in the sort order based on a predetermined rule from the boundary line segment file. A second step of using a line segment as an inspection line segment, obtaining the inclination of the inspection line segment, determining a search target work list from the plurality of divided work lists based on this inclination, and determining the determined search target The boundary line segment data in the work list that is close to the inspection line segment is searched for, and the searched adjacent boundary line segment data is selected as the inspection target line segment group. Then, a third step of deleting the data of the boundary line segment deviating from the inspection target area in the search target work list from the search pair work list as the data of the deletion line segment, the inspection line segment and the inspection target line A fourth step of obtaining a distance between each line segment of the segment group and inspecting whether the obtained distance is smaller than a predetermined value, and the inspection line segment data corresponds to the inclination of the inspection line segment. A mask comprising: a fifth step of storing in a work list; and a sixth step of repeating the second to fifth steps until there are no more records to be extracted from the boundary line file. Pattern inspection method.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24976291A JP3095475B2 (en) | 1991-09-27 | 1991-09-27 | Inspection method of mask pattern |
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| JPH0588357A true JPH0588357A (en) | 1993-04-09 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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|---|---|---|---|---|
| JP7040503B2 (en) | 2019-08-27 | 2022-03-23 | 横河電機株式会社 | Current measuring device |
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1991
- 1991-09-27 JP JP24976291A patent/JP3095475B2/en not_active Expired - Fee Related
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