JPH0585355A - Branch mechanism for magnetically levitated conveyor device - Google Patents
Branch mechanism for magnetically levitated conveyor deviceInfo
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- JPH0585355A JPH0585355A JP3247415A JP24741591A JPH0585355A JP H0585355 A JPH0585355 A JP H0585355A JP 3247415 A JP3247415 A JP 3247415A JP 24741591 A JP24741591 A JP 24741591A JP H0585355 A JPH0585355 A JP H0585355A
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- Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、隔壁内に収容されて外
部雰囲気から遮断され且つ非磁性且つ良導体材料から構
成されて対象物を載置する搬送台と、軌道とを含み、該
搬送台は該軌道及び隔壁に対して非接触状態を維持しつ
つその上方を浮上走行する磁気浮上搬送装置の搬送路
(隔壁で包囲された通路であって、その内部を搬送台が
浮上移動する通路。以下同じ)を分岐する磁気浮上搬送
装置で用いられる分岐機構に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention includes a carrier for accommodating an object, which is housed in a partition wall, shielded from the external atmosphere, and made of a non-magnetic and good conductor material, and a track. Is a transfer path of a magnetic levitation transfer device that floats and travels above the track and partition while maintaining a non-contact state (a path surrounded by a partition, in which a transfer platform floats and moves. The same applies hereinafter) to a branch mechanism used in a magnetic levitation transport device.
【0002】[0002]
【従来の技術】この様なタイプの磁気浮上搬送装置は、
半導体製造設備の様な精密工学の分野で好適に使用され
ている。例えば、クリーンルームの様に粉塵の発生防止
が絶対条件となっている環境において、搬送台が軌道に
対して接触することなく浮上移動することが出来れば、
搬送装置からの粉塵の発生が防止され非常に好都合であ
る。そのため、搬送台を軌道上で浮上移動せしめる磁気
浮上方式による搬送装置が従来から種々提案されてい
る。2. Description of the Related Art A magnetic levitation transport device of this type is
It is preferably used in the field of precision engineering such as semiconductor manufacturing equipment. For example, in an environment where the prevention of dust generation is an absolute requirement, such as in a clean room, if the carriage can float and move without contacting the track,
It is very convenient because dust is prevented from being generated from the carrier. For this reason, various magnetic levitation-type transport devices have been proposed in the past, which allow the transport base to float on an orbit.
【0003】一方、半導体製造設備のクリーンルーム内
の搬送装置として用いる場合には、被搬送物としてはウ
エハである場合が多い。そして、搬送中にウエハに粉塵
等の不純物が付着すると歩留まりが悪化するので、それ
を防止するため、軌道及び搬送台を隔壁内に収容して外
部雰囲気から遮断することも提案されている。On the other hand, when used as a transfer device in a clean room of a semiconductor manufacturing facility, the transferred object is often a wafer. Then, if impurities such as dust adhere to the wafer during the transfer, the yield will be deteriorated. To prevent this, it is also proposed that the track and the transfer base be housed in a partition wall to be shielded from the external atmosphere.
【0004】ここで、軌道及び搬送台を隔壁内に収容し
て外部雰囲気から遮断したタイプの磁気浮上搬送装置で
は、従来はその構造上、搬送路を分岐したり合流したり
することは出来なかった。そのため従来は、例えば図8
で示す様なレイアウトにて搬送装置を配置していた。Here, in the magnetic levitation transfer device of the type in which the track and the transfer base are housed in the partition wall and shielded from the external atmosphere, conventionally, due to its structure, the transfer path cannot be branched or joined. It was Therefore, conventionally, for example, FIG.
The transport devices were arranged in the layout shown in.
【0005】図8において、2つのクリーンルームC
1、C2が搬送装置1で接続されている。搬送装置1は
それぞれのクリーンルームC1、C2において、集合分
配手段2−1、2−2、補助搬送装置3−1、3−2、
分岐合流手段4−1、4−2を介して、種々のラインを
構成する処理工程用搬送装置5−1…、5−2…にそれ
ぞれ接続している。隣室のクリーンルームC1或いはC
2から搬送装置1により搬送されてきた対象物(ワー
ク)は、集合分配手段2−1、2−2で補助搬送装置3
−1、3−2上へ適宜割り当てられ、分岐合流手段4−
1、4−2により所定の処理工程用搬送装置5−1…、
5−2…に分配され、必要な処理が為される。或いは、
処理工程用搬送装置5−1…、5−2…にて所定の処理
が為されたワークは、分岐合流手段4−1、4−2、補
助搬送装置3−1、3−2を介して集合分配手段2−
1、2−2へ搬送され、ここで所定の順番に並べられ、
搬送装置1を介して別のクリーンルームへ搬送されるの
である。In FIG. 8, two clean rooms C are provided.
1 and C2 are connected by the transport device 1. In the clean rooms C1 and C2, the carrier device 1 collects and distributes the collection means 2-1, 2-2, the auxiliary carrier devices 3-1, 3-2, and
Via branching / merging means 4-1 and 4-2, they are respectively connected to processing-step transporting devices 5-1 ... 5-2, which form various lines. Adjacent room clean room C1 or C
The objects (workpieces) transported by the transporting device 1 from the auxiliary transporting device 3 are collected by the collecting and distributing means 2-1 and 2-2.
-1, 3-2 are appropriately allocated to the branch and merge means 4-
1, 4-2, a predetermined processing process transfer device 5-1 ...
It is distributed to 5-2 ... and necessary processing is performed. Alternatively,
The workpieces that have been subjected to the predetermined processing by the transporting devices 5-1 ..., 5-2 ... Collective distribution means 2-
It is transported to 1, 2-2, where it is arranged in a predetermined order,
It is transported to another clean room via the transport device 1.
【0006】図8で示す様な配置は、カセットを用いた
バッチ処理用に作られている。The arrangement shown in FIG. 8 is designed for batch processing using cassettes.
【0007】[0007]
【発明が解決しようとする課題】しかし、半導体製品に
おいてもASICに代表される多品種少量の製造が要請
させる様になると、図7で示すレイアウトでは不適当な
場合が多い。またクリーンルームは比較的その床面積が
小さいので、レイアウトは自在に設計出来るのが望まし
いが、搬送路の分岐や合流が出来ない以上、その様にレ
イアウトを自由に設計する事は不可能であるという問題
が存在した。However, even in the case of semiconductor products, when it is required to manufacture a large amount of various products represented by ASIC, the layout shown in FIG. 7 is often inadequate. Also, since the floor area of the clean room is relatively small, it is desirable that the layout can be designed freely, but it is impossible to freely design the layout because the transfer path cannot be branched or merged. There was a problem.
【0008】本発明は上記した従来技術の問題点に鑑み
て提案されたもので、搬送台を隔壁内に収容して外部雰
囲気から遮断したタイプの磁気浮上搬送装置の搬送路を
自在に分岐し、或いは合流することが出来る分岐機構の
提供を目的としている。The present invention has been proposed in view of the above-mentioned problems of the prior art. The transfer path of a magnetic levitation transfer device of the type in which the transfer table is housed in a partition wall and shielded from the external atmosphere is freely branched. Or, the purpose is to provide a branching mechanism that can merge.
【0009】[0009]
【課題を解決するための手段】本発明の磁気浮上搬送装
置の分岐機構は、隔壁内に収容されて外部雰囲気から遮
断され且つ非磁性且つ良導体材料から構成されて対象物
を載置する搬送台と、軌道とを含み、該搬送台は該軌道
及び隔壁に対して非接触状態を維持しつつその上方を浮
上走行する磁気浮上搬送装置の搬送路を分岐する磁気浮
上搬送装置の分岐機構において、前記軌道は断面形状が
概略コ字状をした複数のヨーク状磁極から構成されてお
り、前記搬送台は少なくともその下面が平坦である様な
断面形状をしており、前記ヨーク状磁極の上方に突出し
た部分にはコイルが設けられ、その下部には磁性材料又
は非磁性材料製の平板が設けられており、該ヨーク状磁
極は複数個ずつユニットとして前記搬送台の走行方向へ
直列に配置され、所定の分岐箇所ではヨーク状磁極が搬
送台走行方向のみならず分岐した搬送路の方向にも配置
されている。A branching mechanism of a magnetic levitation carrier according to the present invention is a carrier which is housed in a partition wall and shielded from an external atmosphere, and which is made of a non-magnetic and good conductor material and on which an object is placed. In the branching mechanism of the magnetic levitation transfer device, the transfer base includes a track, and the transfer base branches the transfer path of the magnetic levitation transfer device that floats above the track while maintaining a non-contact state with the track and the partition wall. The track is composed of a plurality of yoke-shaped magnetic poles having a substantially U-shaped cross section, and the carrier has a cross-sectional shape such that at least the lower surface thereof is flat, and the track is located above the yoke-shaped magnetic pole. A coil is provided in the protruding portion, and a flat plate made of a magnetic material or a non-magnetic material is provided below the coil. A plurality of the yoke-shaped magnetic poles are arranged as a unit in series in the traveling direction of the carrier. , In the constant of bifurcation is also arranged in the direction of the transport path yoke-shaped magnetic poles branched not carrying table travel direction only.
【0010】ここで、搬送台は平板状に構成されるのが
好ましい。Here, it is preferable that the carrier is formed in a flat plate shape.
【0011】また、本発明の分岐機構が適用される磁気
浮上搬送装置は、前記ヨーク状磁極は2列設けられてお
り、3対ずつが1つのユニットとなって搬送台の走行方
向へ直列に配置されているのが好ましい。この場合、前
記磁性材料製の平板は、2列のヨーク状磁極について共
通しても良く、或いは各ヨーク状磁極の下部毎に2列設
けても良い。Further, in the magnetic levitation transport device to which the branching mechanism of the present invention is applied, the yoke-shaped magnetic poles are provided in two rows, and three pairs of yoke magnetic poles form one unit and are serially arranged in the traveling direction of the transport platform. It is preferably arranged. In this case, the flat plate made of the magnetic material may be common to the two rows of yoke-shaped magnetic poles, or two rows may be provided below each yoke-shaped magnetic pole.
【0012】さらに本発明の分岐機構が適用される磁気
浮上搬送装置は、浮上力を向上するため、前記隔壁の上
部で前記ヨーク状磁極に対応する箇所に、磁性材料製の
板状部材が設けられているのが好ましい。Further, in the magnetic levitation transfer device to which the branching mechanism of the present invention is applied, in order to improve the levitation force, a plate-shaped member made of a magnetic material is provided at a position corresponding to the yoke-shaped magnetic pole above the partition wall. Is preferably provided.
【0013】これに加えて、本発明の分岐機構が適用さ
れる磁気浮上搬送装置は、前記搬送台の走行方向の長さ
は、前記ヨーク状磁極の搬送台走行方向のピッチに対し
て3倍以上の整数倍に設定されており、特に3倍である
のが好ましい。In addition to this, in the magnetic levitation transport device to which the branching mechanism of the present invention is applied, the length of the transport base in the traveling direction is three times the pitch of the yoke-shaped magnetic poles in the transport base traveling direction. It is set to the above integer multiple, and it is particularly preferable to be 3 times.
【0014】本発明の磁気浮上搬送装置の冷却機構は、
搬送台を隔壁内に収容して外部雰囲気から遮断した磁気
浮上搬送装置の搬送路の一部に引込箇所が形成され、該
引込箇所が形成された箇所の搬送路には上記した分岐機
構が構成されており、該引込箇所には冷却手段が設けら
れている。The cooling mechanism of the magnetic levitation transport apparatus of the present invention comprises:
A lead-in point is formed in a part of the feed path of the magnetic levitation conveyer device in which the feed table is housed in a partition wall and shielded from the external atmosphere, and the above-described branching mechanism is configured in the feed path where the lead-in point is formed. The cooling means is provided at the drawing-in place.
【0015】[0015]
【作用】上記のように構成された本発明の磁気浮上搬送
装置の分岐機構によれば、所定の分岐箇所ではヨーク状
磁極が搬送台走行方向のみならず分岐した搬送路の方向
にも配置されているので、該分岐した搬送路の方向にも
配置されたヨーク状磁極を含むユニットに電流を供給す
れば、レンツの法則に従う反撥力により搬送台は分岐方
向に移動する。すなわち、一次コイルに三相交流を流せ
ば一次固定鉄心に移動磁界が発生し、搬送台は、そこに
流れる誘導電流と一次固定鉄心の移動磁界との電磁力に
より、移動磁界の方向の推進力と、上方への浮上力とを
受けて非接触浮上移動を行うのである。According to the branching mechanism of the magnetic levitation transporting apparatus of the present invention constructed as described above, the yoke-shaped magnetic poles are arranged not only in the traveling direction of the transporting platform but also in the direction of the branched transporting path at a predetermined branching point. Therefore, when a current is supplied to the unit including the yoke-shaped magnetic poles arranged also in the direction of the branched transport path, the transport base moves in the branch direction by the repulsive force according to Lenz's law. That is, if a three-phase alternating current is applied to the primary coil, a moving magnetic field is generated in the primary fixed iron core, and the carrier is driven by the electromagnetic force of the induced current flowing therethrough and the moving magnetic field of the primary fixed iron core in the direction of the moving magnetic field. Then, the non-contact floating movement is performed by receiving the upward floating force.
【0016】また、搬送台を分岐した搬送路へ侵入させ
る必要が無ければ、搬送台直進方向へ延在するヨーク状
磁極を含むユニットに電流を供給することにより、搬送
台は分岐することなく進行するのである。If it is not necessary to invade the carrier table into the branched carrier path, a current is supplied to the unit including the yoke-shaped magnetic poles extending in the straight direction of the carrier table so that the carrier table proceeds without branching. To do.
【0017】ここで、搬送台は誘導電流が流れることに
より加熱するが、非接触状態にて浮上移動しているため
その熱はどこにも伝導されず、蓄熱されるのみである。
そのため、搬送台を冷却する必要がある。ここで、本発
明の冷却機構をもうければ、上記した分岐機構により、
搬送台を搬送路の一部に形成した引込箇所に移動し、該
引込箇所に設けた冷却手段により引込箇所と共に搬送台
を冷却する。これにより、搬送台の蓄熱の問題が解消さ
れるのである。Here, the carrier is heated by an induced current flowing, but since it is levitating and moving in a non-contact state, its heat is not conducted to anywhere, but only accumulated.
Therefore, it is necessary to cool the carrier. Here, if the cooling mechanism of the present invention is further provided, by the branching mechanism described above,
The transfer table is moved to a drawing-in position formed in a part of the transfer path, and the transfer table is cooled together with the drawing-in position by the cooling means provided at the drawing-in position. This solves the problem of heat storage in the carrier.
【0018】[0018]
【実施例】以下図1〜7を参照して本発明の実施例を説
明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to FIGS.
【0019】先ず、図2〜5を参照して本発明の分岐機
構が適用される磁気浮上搬送装置について説明する。First, a magnetic levitation transfer apparatus to which the branching mechanism of the present invention is applied will be described with reference to FIGS.
【0020】図2において、その内部(符号I)が真空
状態である隔壁10が設けられている。そして、コ字状
をしたヨーク状磁極12、12に載置されている。磁極
12の上方に突出した部分14、14には、それぞれコ
イル16、16が巻回されている。また、磁極12の下
方には磁性材料又は非磁性材料製の基盤22が設けられ
ている。ここで、隔壁10は非磁性材料からなってい
る。In FIG. 2, a partition 10 whose inside (reference numeral I) is in a vacuum state is provided. Then, it is placed on the U-shaped yoke-shaped magnetic poles 12, 12. Coils 16 and 16 are respectively wound around the portions 14 and 14 protruding above the magnetic pole 12. A base 22 made of a magnetic material or a non-magnetic material is provided below the magnetic pole 12. Here, the partition wall 10 is made of a non-magnetic material.
【0021】隔壁10内には、例えばアルミニウムの様
な非磁性材料から成る平板状の搬送台すなわち浮上板1
8が収容されており、該浮上板18には例えばウエハの
様な搬送対象物20が載置されている。後述する様に、
この浮上板18はコイル16、16に通電して磁極12
が励磁されると浮上し、そして移動磁場を発生させるこ
とにより、図2の紙面に垂直な方向(以下、搬送台走行
方向という)に移動する。In the partition wall 10, a flat plate-shaped carrier, that is, a floating plate 1 made of a non-magnetic material such as aluminum.
8 is accommodated in the floating plate 18, and an object 20 to be conveyed such as a wafer is placed on the floating plate 18. As described below,
The levitation plate 18 energizes the coils 16, 16 to energize the magnetic poles 12.
When it is excited, it levitates, and by generating a moving magnetic field, it moves in a direction perpendicular to the paper surface of FIG.
【0022】図3は、図2の磁気浮上搬送装置を別の角
度から見た状態が示している。図3から明らかな様に、
磁極12は搬送台走行方向(図3では矢印Mで示す)に
複数個が直列に配列されている。また、基盤22も搬送
台走行方向Mに延長している。なお、図3において符号
24は、ウエハ20を取り扱うロボットハンドが出入り
するための開閉可能な扉部を示している。FIG. 3 shows the magnetic levitation transport device of FIG. 2 seen from another angle. As is clear from FIG.
A plurality of magnetic poles 12 are arranged in series in the traveling direction of the carrier (indicated by an arrow M in FIG. 3). The base 22 also extends in the traveling direction M of the carrier. In FIG. 3, reference numeral 24 indicates an openable / closable door portion for a robot hand handling the wafer 20 to enter and leave.
【0023】図3では明確に示されていないが、浮上板
18の搬送台走行方向Mの長さLは磁極12間のピッチ
Pの3倍に設定されている。また、図2から明らかな様
に、浮上板18の水平方向Hの幅は、2列のコイル1
6、16の端部から端部までの幅方向長さにほぼ対応し
ている。Although not clearly shown in FIG. 3, the length L of the levitation plate 18 in the carrier traveling direction M is set to be three times the pitch P between the magnetic poles 12. Further, as is clear from FIG. 2, the width of the levitation plate 18 in the horizontal direction H is 2 rows of the coils 1
It corresponds to the length in the width direction from the end of 6 and 16 to the end.
【0024】図2、図3に示す磁気浮上搬送装置の作用
は主として図4に示されている。The operation of the magnetic levitation transport device shown in FIGS. 2 and 3 is mainly shown in FIG.
【0025】コイル16に通電してヨーク状磁極12を
励磁すると、従来技術と同様な原理により、浮上板18
(図4ではウエハ20を載置した状態で示されている)
が隔壁10の底部より浮上する。すなわち、コイル16
に通電してヨーク状磁極12を励磁することにより、矢
印T方向の力が作用して浮上板18が浮き上がるのであ
る。そして、移動磁界を発生させれば、それに付随して
浮上板18は浮上した状態で走行する。When the coil 16 is energized to excite the yoke-shaped magnetic pole 12, the levitation plate 18 is operated according to the same principle as the prior art.
(In FIG. 4, the wafer 20 is shown mounted)
Float above the bottom of the partition wall 10. That is, the coil 16
When the yoke-shaped magnetic pole 12 is excited by energizing, the force in the direction of the arrow T acts and the levitation plate 18 rises. Then, if a moving magnetic field is generated, the levitation plate 18 travels in a floating state accompanying it.
【0026】ここで図2〜4で示す磁気浮上搬送装置に
おいては、図4において符号26、26で示す様な磁界
が生じる。この磁界により、安定力すなわち水平方向H
について平衡状態を維持しようとする力が付加される。
その結果、浮上板18は平板状であるのにも拘らず、水
平方向Hについてブレる事なく浮上走行するのである。In the magnetic levitation transport apparatus shown in FIGS. 2 to 4, magnetic fields 26 and 26 in FIG. 4 are generated. By this magnetic field, the stabilizing force, that is, the horizontal direction H
A force is added to try to maintain an equilibrium state for.
As a result, although the levitation plate 18 has a flat plate shape, the levitation plate 18 floats and runs in the horizontal direction H without shaking.
【0027】浮上板18を走行させるに際しては、直列
に配列された複数の磁極12…を三相交流電流で励磁す
れば良い。図5の磁気浮上搬送装置では、複数の磁極1
2…を符号U、V、Wで示す3つに分けて、符号Uで示
す磁極12…は電流IU を通電することにより励磁し、
符号Vで示す磁極12…は電流IV を通電することによ
り励磁し、符号Wで示す磁極12…は電流IW を通電す
ることにより励磁し、以て移動磁界を生じせしめてい
る。When the floating plate 18 is run, the plurality of magnetic poles 12 arranged in series may be excited by a three-phase alternating current. In the magnetic levitation transport device of FIG. 5, a plurality of magnetic poles 1
2 ... is divided into three indicated by U, V and W, and the magnetic poles 12 indicated by U are excited by passing a current I U ,
The magnetic poles 12 indicated by reference numeral V are excited by passing a current I V, and the magnetic poles 12 indicated by reference numeral W are excited by passing a current I W , thereby generating a moving magnetic field.
【0028】次に、図2〜5で説明した磁気浮上搬送装
置における搬送路を分岐させる機構について説明する。Next, a mechanism for branching the transfer path in the magnetic levitation transfer device described with reference to FIGS.
【0029】図1は図2〜5の磁気浮上搬送装置から隔
壁10を取り除いた状態を示している。ここで、コ字状
をしたヨーク状磁極12については上方に突出した部分
14、14のみを示し、コイル16…については図示を
省略してある。そして、隔壁10を設けた際に搬送路を
浮上移動する搬送台18が1点鎖線で示されており、該
搬送台18は上述した作動原理に従って移動磁界に沿っ
て進行する。FIG. 1 shows a state in which the partition wall 10 is removed from the magnetic levitation transport device of FIGS. Here, with respect to the yoke-shaped magnetic pole 12 having a U-shape, only the portions 14 and 14 projecting upward are shown, and the coils 16 ... Are not shown. The carrier table 18 that floats along the carrier path when the partition wall 10 is provided is shown by a chain line, and the carrier table 18 advances along the moving magnetic field according to the above-described operating principle.
【0030】磁気浮上搬送装置の搬送路と平行に延在し
ている磁性材料又は非磁性材料製の基盤22は、分岐箇
所Xにおいて図1では下方に分岐しており、その分岐路
は符号22aで示されている。そして、当該分岐箇所X
から分岐方向、すなわち搬送台進行方向(矢印M)と直
交する方向(矢印B)に向けて、複数のコ字状をしたヨ
ーク状磁極12a…が配置されている。A base 22 made of a magnetic material or a non-magnetic material extending in parallel with the transport path of the magnetic levitation transport device branches downward in FIG. 1 at a branch point X, and the branch path 22a. Indicated by. Then, the branch point X
Are arranged in a branch direction, that is, in a direction (arrow B) orthogonal to the traveling direction of the carrier (arrow M), and a plurality of U-shaped yoke-shaped magnetic poles 12a are arranged.
【0031】上流側(図1では左側)から浮上移動して
きた搬送台18−1は、分岐箇所Xに達して、符号18
−2で示す1点鎖線の箇所に位置すると、図示しない制
御手段は該搬送台をそのまま進行方向Mに浮上移動せし
めるか、或いは分岐方向Bに分岐せしめるのかを判断す
る。そのまま進行方向Mに浮上移動せしめる場合には、
対応する磁極12…を励磁して矢印M方向に移動磁界を
発生する。これにより、搬送台は符号18−3で示す様
に矢印M方向に進行するのである。分岐する場合には、
分岐方向Bに延在するヨーク状磁極12a…を適宜励磁
して、該分岐方向へ向かう移動磁界を発生する。その結
果、搬送台は符号18−4で示す様に、矢印B方向へ浮
上移動し、以て分岐が為されるのである。The carrier platform 18-1 that has levitated from the upstream side (left side in FIG. 1) reaches the branch point X and is designated by reference numeral 18.
When it is located at the position indicated by the alternate long and short dash line indicated by -2, the control means (not shown) judges whether the carrier table can be levitated in the traveling direction M or branched in the branching direction B. If you want to levitate in the traveling direction M as it is,
The corresponding magnetic poles 12 are excited to generate a moving magnetic field in the direction of arrow M. As a result, the carriage moves in the direction of arrow M as indicated by reference numeral 18-3. When branching,
The yoke-shaped magnetic poles 12a extending in the branch direction B are appropriately excited to generate a moving magnetic field in the branch direction. As a result, the carriage is levitated in the direction of arrow B, as shown by reference numeral 18-4, and the branch is made.
【0032】一方、分岐路を搬送路に合流せしめる場合
についても略々同様であるため、合流時についても図1
を参照して説明する。On the other hand, the same applies to the case where the branch path is merged with the transport path.
Will be described.
【0033】磁性材料又は非磁性材料製の基盤22の分
岐路22aから矢印BM方向に移動してきた搬送台18
−4は、合流箇所(符号X)において符号18−2で示
す様に位置する。この状態で適当な磁極12…を励磁し
て矢印M方向に移動磁界を発生すれば、該移動磁界に沿
って、該搬送台は符号18−3で示す様に矢印M方向に
進行し、以て合流が完了するのである。The carrier 18 which has moved in the direction of the arrow BM from the branch path 22a of the base 22 made of a magnetic material or a non-magnetic material.
-4 is located at the confluence (reference X) as indicated by reference numeral 18-2. In this state, when the appropriate magnetic poles 12 ... Are excited to generate a moving magnetic field in the direction of arrow M, the carrier moves along the moving magnetic field in the direction of arrow M as indicated by reference numeral 18-3. The merging is completed.
【0034】この様に、図1で示す分岐機構を用いれ
ば、搬送台を隔壁内に収容して外部雰囲気から遮断した
タイプの磁気浮上搬送装置における搬送路を、自在に分
岐或いは合流することが出来る。従って、図6で示す様
に、搬送路Rに平行して分岐路BRを設けたり、搬送路
Rを3本の搬送路R1、R2、R3に分岐したりするこ
とが可能である。その結果、上記磁気浮上搬送装置のレ
イアウトの自由度が飛躍的に向上するのである。Thus, by using the branching mechanism shown in FIG. 1, it is possible to freely branch or join the transfer path in the magnetic levitation transfer device of the type in which the transfer table is housed in the partition wall and shielded from the external atmosphere. I can. Therefore, as shown in FIG. 6, it is possible to provide a branch path BR in parallel with the transport path R or branch the transport path R into three transport paths R1, R2, and R3. As a result, the degree of freedom in layout of the magnetic levitation transport device is dramatically improved.
【0035】図7は、上記した分岐機構を応用した冷却
機構を示している。この冷却機構は図1に示す分岐機構
の分岐路を短くした様な引込箇所48と、ヨーク状磁極
12a…と、冷却手段50とを有している。この冷却手
段50は、図7では示されていない隔壁を取付けた際
に、引込箇所48上方の隔壁底面を冷却する様に構成さ
れている。FIG. 7 shows a cooling mechanism to which the above branching mechanism is applied. This cooling mechanism has a lead-in portion 48 which is obtained by shortening the branch path of the branch mechanism shown in FIG. 1, a yoke-shaped magnetic pole 12a ..., And a cooling means 50. The cooling means 50 is configured to cool the bottom surface of the partition wall above the drawing-in place 48 when the partition wall not shown in FIG. 7 is attached.
【0036】進行方向Mに向けて浮上移動している搬送
台18−1を冷却する際には、引込箇所48が形成され
た箇所の搬送路には図1で説明した分岐機構が構成され
ており、搬送台が該分岐機構を構成した箇所(符号18
−2で示す箇所)に到達すると、分岐機構の場合と同様
に磁極12a…が順次、適宜に励磁され、加熱された搬
送台を引込箇所48に移動せしめる様な移動磁界を発生
させる。そして、搬送台が図示しない隔壁を隔てて冷却
手段50の真上(符号18−4で示す位置)にきたなら
ば、磁極12a…への電流供給を遮断して、冷却手段5
0により冷却された隔壁部分(隔壁底面)に接触させ
る。これにより伝熱により搬送台は冷却される。When cooling the carrier table 18-1 which is levitating in the traveling direction M, the branching mechanism described with reference to FIG. And a portion (reference numeral 18) where the carriage constitutes the branching mechanism.
2), the magnetic poles 12a are sequentially excited appropriately as in the case of the branching mechanism, and a moving magnetic field is generated so as to move the heated carrier table to the retracted portion 48. Then, when the carrier is located directly above the cooling means 50 (position indicated by reference numeral 18-4) across the partition wall (not shown), the current supply to the magnetic poles 12a ...
The partition wall portion (the partition wall bottom surface) cooled by 0 is contacted. As a result, the carrier is cooled by heat transfer.
【0037】搬送台の冷却終了後、磁極12a…へ電流
を供給して搬送台を浮上し、搬送路と合流せしめれば、
符号18−4で示す様に再び矢印M方向に浮上移動する
のである。After the carrier table has been cooled, current is supplied to the magnetic poles 12a to levitate the carrier table so that it can join the carrier path.
As indicated by reference numeral 18-4, it again floats in the direction of arrow M.
【0038】なお、図示の実施例はあくまでも例示であ
り、特許請求の範囲の内容をこれに限定する趣旨ではな
い。換言すれば、特許請求の範囲の記載に従って、図示
以外にも種々の変更が可能である旨を付記する。The illustrated embodiment is merely an example, and the contents of the claims are not intended to be limited thereto. In other words, it should be noted that various modifications other than those shown in the drawings are possible according to the description of the claims.
【0039】[0039]
【発明の効果】以上説明した本発明の磁気浮上搬送装置
の分岐機構によれば、搬送台を隔壁内に収容して外部雰
囲気から遮断したタイプの磁気浮上搬送装置の搬送路
を、自在に分岐したり合流したりすることが出来る。そ
のため、該搬送装置或いは搬送路のレイアウトの自由度
が増大し、クリーンルームの形状や設備、機器の配置状
況に対応して、最適なレイアウトを達成することが出来
る。さらに、複数の処理ラインに分岐し、或いは複数の
処理ラインを平行させることにより、多品種の製造ライ
ンとして兼用することが出来る。その結果、半導体その
他の製造設備の占有面積を減少し、効率的なレイアウト
が設計されるので、製造コストの低下にも寄与するので
ある。According to the branching mechanism of the magnetic levitation transfer device of the present invention described above, the transfer path of the magnetic levitation transfer device of the type in which the transfer base is housed in the partition wall and shielded from the external atmosphere is freely branched. You can join and join. Therefore, the degree of freedom in layout of the transfer device or the transfer path is increased, and an optimum layout can be achieved according to the shape of the clean room, the arrangement of equipment, and the arrangement of equipment. Furthermore, by branching into a plurality of processing lines or by arranging a plurality of processing lines in parallel, it can be used as a multi-product manufacturing line. As a result, the area occupied by semiconductors and other manufacturing equipment is reduced, and an efficient layout is designed, which also contributes to a reduction in manufacturing cost.
【0040】さらに、本発明の磁気浮上搬送装置の冷却
機構によれば、搬送台が加熱されても冷却することが出
来るので、搬送装置としての信頼性が向上する。特に、
被搬送物が熱による影響を受けやすい場合には好都合で
ある。Further, according to the cooling mechanism of the magnetic levitation transfer apparatus of the present invention, the transfer table can be cooled even if it is heated, so that the reliability of the transfer apparatus is improved. In particular,
It is convenient when the transported object is easily affected by heat.
【図1】本発明の分岐機構を説明する要部平面図。FIG. 1 is a plan view of a main part for explaining a branching mechanism of the present invention.
【図2】本発明の分岐機構が適用される磁気浮上搬送装
置の正面図。FIG. 2 is a front view of a magnetic levitation transfer device to which the branching mechanism of the present invention is applied.
【図3】図2の磁気浮上搬送装置の側面図。FIG. 3 is a side view of the magnetic levitation transport device of FIG.
【図4】図2の磁気浮上搬送装置の作用を説明する正面
図。FIG. 4 is a front view illustrating the operation of the magnetic levitation transport device of FIG.
【図5】図2の磁気浮上搬送装置において、移動磁界発
生のための手段を説明する側面図。FIG. 5 is a side view illustrating a means for generating a moving magnetic field in the magnetic levitation transport device of FIG.
【図6】本発明の分岐機構を用いた搬送路のレイアウト
の1例を示す模式図。FIG. 6 is a schematic diagram showing an example of a layout of a conveyance path using the branching mechanism of the present invention.
【図7】本発明の冷却機構を説明する要部平面図。FIG. 7 is a plan view of a main part for explaining a cooling mechanism of the present invention.
【図8】従来技術によるレイアウトを示す模式図。FIG. 8 is a schematic diagram showing a layout according to a conventional technique.
10・・・隔壁 12、12a・・・ヨーク状磁極 16、16a・・・コイル 18、18a・・・浮上板(搬送台) 20・・・ウエハ 22、22a・・・基盤 26、48・・・磁束 30、32・・・交流電源 38U、38V、38W・・・ゲインコントローラ 48・・・引込箇所 50・・・冷却手段 B・・・分岐方向 H・・・水平方向 T・・・垂直方向 M・・・搬送台進行方向 10 ... Partition wall 12, 12a ... Yoke-shaped magnetic pole 16, 16a ... Coil 18, 18a ... Floating plate (conveyance table) 20 ... Wafer 22, 22a ... Base 26, 48 ... Magnetic flux 30, 32 ... AC power supply 38U, 38V, 38W ... Gain controller 48 ... Pull-in location 50 ... Cooling means B ... Branching direction H ... Horizontal direction T ... Vertical direction M: Direction of carriage movement
Claims (2)
され且つ非磁性且つ良導体材料から構成されて対象物を
載置する搬送台と、軌道とを含み、該搬送台は該軌道及
び隔壁に対して非接触状態を維持しつつその上方を浮上
走行する磁気浮上搬送装置の搬送路を分岐する磁気浮上
搬送装置の分岐機構において、前記軌道は断面形状が概
略コ字状をした複数のヨーク状磁極から構成されてお
り、前記搬送台は少なくともその下面が平坦である様な
断面形状をしており、前記ヨーク状磁極の上方に突出し
た部分にはコイルが設けられ、その下部には磁性材料又
は非磁性材料製の平板が設けられており、該ヨーク状磁
極は複数個ずつユニットとして前記搬送台の走行方向へ
直列に配置され、所定の分岐箇所ではヨーク状磁極が搬
送台走行方向のみならず分岐した搬送路の方向にも配置
されていることを特徴とする磁気浮上搬送装置の分岐機
構。1. A carrier, which is housed in a partition wall and shielded from an external atmosphere, is made of a non-magnetic and good conductor material, and on which an object is placed, and a track, and the carrier table is provided on the track and the partition wall. On the other hand, in a branching mechanism of a magnetic levitation transporting device that branches a transporting path of a magnetic levitation transporting device that floats and travels above it while maintaining a non-contact state, the orbits are a plurality of yoke-like cross-sectional shapes that are approximately U-shaped. The carrier has a cross-sectional shape such that at least its lower surface is flat, and a coil is provided at a portion protruding above the yoke-shaped magnetic pole, and a magnetic material is provided at a lower portion thereof. Alternatively, a flat plate made of a non-magnetic material is provided, and a plurality of the yoke-shaped magnetic poles are arranged in series in the traveling direction of the carrier as a unit. A branch mechanism of a magnetic levitation transport device, which is also arranged in the direction of a branched transport path.
ら遮断した磁気浮上搬送装置の搬送路の一部に引込箇所
が形成され、該引込箇所が形成された箇所の搬送路には
請求項1に記載の分岐機構が構成されており、該引込箇
所には冷却手段が設けられていることを特徴とする磁気
浮上搬送装置の冷却機構。2. A lead-in point is formed in a part of a feed path of a magnetic levitation conveyer device in which a carrier is housed in a partition wall and shielded from an external atmosphere, and a charge path is provided in the place where the lead-in point is formed. A cooling mechanism for a magnetic levitation transporting device, comprising the branching mechanism according to the item 1, wherein a cooling means is provided at the drawing-in portion.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3247415A JPH0585355A (en) | 1991-09-26 | 1991-09-26 | Branch mechanism for magnetically levitated conveyor device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3247415A JPH0585355A (en) | 1991-09-26 | 1991-09-26 | Branch mechanism for magnetically levitated conveyor device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0585355A true JPH0585355A (en) | 1993-04-06 |
Family
ID=17163099
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3247415A Pending JPH0585355A (en) | 1991-09-26 | 1991-09-26 | Branch mechanism for magnetically levitated conveyor device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0585355A (en) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62126027A (en) * | 1985-11-27 | 1987-06-08 | Shinko Electric Co Ltd | Transport table turning device in transport line |
-
1991
- 1991-09-26 JP JP3247415A patent/JPH0585355A/en active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62126027A (en) * | 1985-11-27 | 1987-06-08 | Shinko Electric Co Ltd | Transport table turning device in transport line |
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