JPH0581619A - Thin film magnetic head - Google Patents
Thin film magnetic headInfo
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- JPH0581619A JPH0581619A JP20249091A JP20249091A JPH0581619A JP H0581619 A JPH0581619 A JP H0581619A JP 20249091 A JP20249091 A JP 20249091A JP 20249091 A JP20249091 A JP 20249091A JP H0581619 A JPH0581619 A JP H0581619A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は磁気記録再生用の薄膜磁
気ヘッドに関し、特に磁気記録密度が高い垂直磁気記録
法に使用するのに好適の薄膜磁気ヘッドに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a thin film magnetic head for magnetic recording and reproduction, and more particularly to a thin film magnetic head suitable for use in a perpendicular magnetic recording method having a high magnetic recording density.
【０００２】[0002]
【従来の技術】垂直磁気記録は磁気記録媒体の磁性層を
厚さ方向に磁化させることにより記録再生を行うもので
あり、従前一般的であった面内磁気記録法に比して記録
密度を高くすることができるという利点がある。即ち、
面内磁気記録法においては、磁気記録媒体上に被着形成
された磁性層をその面に平行に磁化させ、この面内方向
での残留磁化により記録再生を行う。しかし、この面内
方向磁化の場合には、記録信号が短波長になるにつれ
て、即ち記録密度が高くなるにつれて、記録媒体内の反
磁界が増加し、再生出力が低下するという欠点がある。
これに対し、垂直磁気記録の場合には、記録密度が高く
なってもこのような反磁界による不都合が生じないた
め、面内方向磁化に比して記録密度を高くすることがで
きる。2. Description of the Related Art Perpendicular magnetic recording is for recording and reproducing by magnetizing a magnetic layer of a magnetic recording medium in a thickness direction, and has a recording density higher than that of a conventional in-plane magnetic recording method. It has the advantage that it can be raised. That is,
In the in-plane magnetic recording method, a magnetic layer deposited on a magnetic recording medium is magnetized in parallel with its surface, and recording / reproduction is performed by residual magnetization in this in-plane direction. However, in the case of this in-plane magnetization, there is a drawback that the demagnetizing field in the recording medium increases and the reproduction output decreases as the recording signal becomes shorter in wavelength, that is, as the recording density becomes higher.
On the other hand, in the case of perpendicular magnetic recording, even if the recording density becomes high, such a demagnetizing field does not cause any inconvenience, so that the recording density can be made higher than in-plane magnetization.
【０００３】この種の垂直磁気記録に使用される磁気ヘ
ッドとしては、補助磁極励磁型ヘッド及び単磁極励磁型
ヘッドが一般的である。前者は、記録媒体の片面しか使
えないため、効率が悪いという難点がある。また、後者
は両面を使用でき、従来の面内磁気記録と同様の態様で
使用できる。As a magnetic head used for this kind of perpendicular magnetic recording, an auxiliary magnetic pole excitation type head and a single magnetic pole excitation type head are generally used. The former has a drawback that it is inefficient because only one side of the recording medium can be used. The latter can be used on both sides and can be used in the same manner as the conventional in-plane magnetic recording.
【０００４】図５は単磁極励磁型ヘッドである垂直磁気
記録用薄膜磁気ヘッド（以下、薄膜磁気ヘッドという）
を示す模式図である。セラミック支持体４の側面に、フ
ェライト層３が形成されており、このフェライト層３の
側面に形成されたコイル軸部を介して磁極１が設けられ
ている。磁極１のコイル軸には、導体コイル２が巻回さ
れている。面内記録用磁気ヘッドの場合には、ギャップ
を高精度で形成しないと記録再生機能を十分に果たせな
いため、製造上の困難性がある。これに対し、薄膜磁気
ヘッドの場合には、記録方式の違いから、ギャップの形
成に厳密さは要求されず、製造が容易である。FIG. 5 shows a thin film magnetic head for perpendicular magnetic recording (hereinafter referred to as a thin film magnetic head) which is a single magnetic pole excitation type head.
It is a schematic diagram which shows. The ferrite layer 3 is formed on the side surface of the ceramic support 4, and the magnetic pole 1 is provided via the coil shaft portion formed on the side surface of the ferrite layer 3. The conductor coil 2 is wound around the coil shaft of the magnetic pole 1. In the case of a magnetic head for in-plane recording, the recording / reproducing function cannot be sufficiently fulfilled unless the gap is formed with high accuracy, which is a manufacturing difficulty. On the other hand, in the case of the thin film magnetic head, strictness is not required for the formation of the gap due to the difference in the recording method, and the manufacturing is easy.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、薄膜磁
気ヘッドの場合は、外部磁界の影響を受け易いという欠
点がある。特に、記録媒体と垂直の方向に外部磁界が加
わると、記録した信号レベルが低下してしまう。このよ
うに、外部磁界により記録信号のレベル低下が生じる
と、ＳＮ比も減少してしまう。このため、薄膜磁気ヘッ
ドの場合には、この外部磁界の影響を小さくすることが
要望されている。However, the thin film magnetic head has a drawback that it is easily affected by an external magnetic field. In particular, when an external magnetic field is applied in the direction perpendicular to the recording medium, the recorded signal level will drop. Thus, if the level of the recording signal is lowered by the external magnetic field, the SN ratio is also reduced. Therefore, in the case of a thin film magnetic head, it is desired to reduce the influence of this external magnetic field.
【０００６】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
のであって、外部磁界の影響を受けず、記録信号のレベ
ルの低下が回避された薄膜磁気ヘッドを提供することを
目的とする。The present invention has been made in view of the above problems, and it is an object of the present invention to provide a thin film magnetic head which is not affected by an external magnetic field and in which a decrease in the level of a recording signal is avoided.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明に係る薄膜磁気ヘ
ッドは、主磁極と補助磁極とが適長ギャップをおいて配
置された薄膜磁気ヘッドにおいて、前記補助磁極におけ
る前記主磁極及び前記磁気記録媒体と磁路を形成する領
域を除く面に磁気遮蔽部材が設けられていることを特徴
とする。A thin-film magnetic head according to the present invention is a thin-film magnetic head in which a main magnetic pole and an auxiliary magnetic pole are arranged with a proper gap, and the main magnetic pole and the magnetic recording in the auxiliary magnetic pole. A magnetic shielding member is provided on a surface excluding a region forming a magnetic path with the medium.
【０００８】[0008]
【作用】本発明においては、補助磁極の特定の面に磁気
遮蔽部材が配置されている。この磁気遮蔽部材が配置さ
れる面は、補助磁極が主磁極と磁路を形成する領域と、
補助磁極が磁気記録媒体と磁路を形成する領域とを少な
くとも除く領域である。このため、この磁気遮蔽部材に
より、外部磁界が補助磁極に入って記録媒体と垂直の方
向に外部磁界が入るという事態が抑制される。これによ
り、記録されている信号のレベルが低下したり、ＳＮ比
が減少したりすることが防止される。In the present invention, the magnetic shield member is arranged on the specific surface of the auxiliary magnetic pole. The surface on which the magnetic shield member is arranged has a region where the auxiliary magnetic pole forms a magnetic path with the main magnetic pole,
The auxiliary magnetic pole is an area excluding at least the magnetic recording medium and the area forming the magnetic path. Therefore, the magnetic shield member suppresses a situation in which the external magnetic field enters the auxiliary magnetic pole and enters in the direction perpendicular to the recording medium. This prevents the level of the recorded signal from decreasing and the S / N ratio from decreasing.
【０００９】[0009]
【実施例】以下、本発明の実施例について添付の図面を
参照して説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings.
【００１０】図１は本発明の実施例に係る薄膜磁気ヘッ
ドの記録再生部を示す断面図、図２はこの薄膜磁気ヘッ
ド５の下面を示す斜視図である。図２に示すように、こ
の薄膜磁気ヘッド５はその空気流方向に延びるスライダ
部７と、磁気ヘッドと磁気記録媒体との間への空気の流
入を容易にするために傾斜して形成された流入端８と、
この流入端８の反対側の端部に設けられた記録再生部６
とを有する。FIG. 1 is a sectional view showing a recording / reproducing portion of a thin film magnetic head according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a perspective view showing a lower surface of the thin film magnetic head 5. As shown in FIG. 2, the thin film magnetic head 5 is formed to be inclined to facilitate the inflow of air between the slider portion 7 extending in the air flow direction and the magnetic head and the magnetic recording medium. The inflow end 8 and
The recording / reproducing section 6 provided at the end opposite to the inflow end 8.
Have and.
【００１１】この記録再生部は、スライダ部７が設けら
れた磁気ヘッド本体部９と、この本体部９の先端に設け
られたフェライトからなるシールド部１０と、このシー
ルド部１０に背後を囲まれるようにして設けられた補助
磁極１１と、シールド部１０及び補助磁極１１の表面を
覆うアルミナ層等の被磁性膜１３と、この被磁性膜１３
内の補助磁極１１と対向する位置に埋め込まれた主磁極
１２と、コイル１５とから構成されている。このコイル
１５はリード線１６により外部に導出されている。The recording / reproducing section is surrounded by a magnetic head main body 9 provided with a slider section 7, a shield section 10 made of ferrite provided at the tip of the main body section 9, and a back side surrounded by the shield section 10. The auxiliary magnetic pole 11 thus provided, the magnetic film 13 such as an alumina layer that covers the surfaces of the shield portion 10 and the auxiliary magnetic pole 11, and the magnetic film 13
The main magnetic pole 12 is embedded at a position facing the auxiliary magnetic pole 11 inside, and the coil 15. The coil 15 is led out by a lead wire 16.
【００１２】スライダ部７を構成する本体部９は、通
常、チタン酸バリウム、アルミナ、ジルコニア、シリコ
ン、アルミナチタンカーバイト等のセラミック材料で成
形されている。シールド部１０は外部磁界を遮断する磁
性材料で形成されており、例えば、Ｎｉ−Ｚｎ、Ｍｎ−
Ｚｎといったフェライトの外、パーマロイ等の合金も使
用できる。このシールド部１０と本体部９とはガラス質
材料で接合されている。非磁性膜１３はアルミナのスパ
ッタリング等により形成することができる。そして、こ
の非磁性膜１３内に埋め込まれた主磁極１２は軟磁性材
料であるパーマロイ又はＣｏ系合金若しくはＦｅ系合金
を使用することができる。補助磁極１１とシールド部１
０との間は、ガラス質材料１４により充填されている。The main body portion 9 which constitutes the slider portion 7 is usually formed of a ceramic material such as barium titanate, alumina, zirconia, silicon or alumina titanium carbide. The shield portion 10 is made of a magnetic material that blocks an external magnetic field, and is, for example, Ni-Zn, Mn-.
Besides ferrite such as Zn, alloys such as permalloy can also be used. The shield part 10 and the main body part 9 are joined with a glassy material. The nonmagnetic film 13 can be formed by sputtering alumina or the like. The main magnetic pole 12 embedded in the non-magnetic film 13 can be made of soft magnetic material such as permalloy, Co alloy or Fe alloy. Auxiliary magnetic pole 11 and shield 1
The space between 0 and 0 is filled with the vitreous material 14.
【００１３】この磁気ヘッドは以下に示すように薄膜形
成法により製造することができる。図３（ａ）乃至
（ｄ）は上述の薄膜磁気ヘッドを製造する方法を工程順
に示す模式図である。先ず、図３（ａ）に示すように、
３種類の基板２１，２２，２３をガラス質材料２４によ
り接着して組み立てる。基板２１は磁気ヘッド本体部９
となるものであり、平板状をなす。基板２２はシールド
部１０となるものであり、例えば幅が0.3乃至1.0mm、深
さが0.03乃至0.55mmの溝が複数本適長間隔をおいて形成
されている。一方、基板２３は補助磁極１１となるもの
であり、例えば、幅が0.28乃至0.98mm、高さが0.01乃至
0.53mmの複数本の凸部が基板２２の凹部の配設ピッチと
同一のピッチで形成されている。そして、基板２２と基
板２３とはその凹部に凸部をはめ込んでガラス質材料２
４により接着されている。This magnetic head can be manufactured by a thin film forming method as shown below. 3A to 3D are schematic views showing a method of manufacturing the above-mentioned thin film magnetic head in the order of steps. First, as shown in FIG.
The three types of substrates 21, 22, and 23 are bonded and assembled with the glassy material 24. The substrate 21 is the magnetic head body 9
It is a flat plate. The substrate 22 serves as the shield portion 10, and for example, a plurality of grooves having a width of 0.3 to 1.0 mm and a depth of 0.03 to 0.55 mm are formed at appropriate length intervals. On the other hand, the substrate 23 serves as the auxiliary magnetic pole 11, and has, for example, a width of 0.28 to 0.98 mm and a height of 0.01 to
A plurality of convex portions of 0.53 mm are formed at the same pitch as the pitch of the concave portions of the substrate 22. Then, the substrate 22 and the substrate 23 are fitted with protrusions in their recesses to form the vitreous material 2
Bonded by 4.
【００１４】次いで、図３（ｂ）に示すように、基板２
３を研削及び研磨し、基板２２の凹部に埋め込まれた部
分を残してその他の基板２３の部分を除去する。Next, as shown in FIG. 3B, the substrate 2
3 is ground and polished, and the other portions of the substrate 23 are removed, leaving the portions embedded in the recesses of the substrate 22.
【００１５】その後、図３（ｃ）に示すように、基板２
３上の部分に、フォトリソグラフィを含む薄膜形成技術
により、非磁性層１３、主磁極１２、コイル１５及びそ
の他の配線部分を形成する。次いで、同図のＡ−Ａ，Ｂ
−Ｂ，Ｃ−Ｃ，Ｄ−Ｄ線で切断すると、図３（ｄ）に示
す形状の磁気ヘッドが製造される。Then, as shown in FIG. 3C, the substrate 2
The non-magnetic layer 13, the main pole 12, the coil 15, and other wiring portions are formed on the upper portion 3 by a thin film forming technique including photolithography. Then, A-A and B in the same figure
By cutting along the lines -B, C-C, and D-D, the magnetic head having the shape shown in Fig. 3D is manufactured.
【００１６】本実施例の磁気ヘッドにおいては、コイル
１５への通電により形成された磁場が、補助磁極１１
と、主磁極１２と、磁気記録媒体３０との間で閉ループ
を形成する。これにより、磁気記録媒体３０に対して記
録再生がなされる。一方、補助磁極１１と主磁極１２と
の間の磁路を形成する相互対向面と、磁気記録媒体３０
との対向面とを除く補助磁極１１の２面の背後がシール
ド部１０により被覆されており、この２面から外部磁界
が補助磁極１１内に入ることが防止される。これによ
り、磁気記録媒体３０の記録信号のレベルが外部磁界に
より低下することが防止される。In the magnetic head of this embodiment, the magnetic field formed by energizing the coil 15 is the auxiliary magnetic pole 11.
Then, a closed loop is formed between the main magnetic pole 12 and the magnetic recording medium 30. As a result, recording / reproduction is performed on the magnetic recording medium 30. On the other hand, the mutually opposing surfaces forming the magnetic path between the auxiliary magnetic pole 11 and the main magnetic pole 12, and the magnetic recording medium 30.
The back surface of the two surfaces of the auxiliary magnetic pole 11 excluding the surface opposite to is covered with the shield portion 10, and an external magnetic field is prevented from entering the auxiliary magnetic pole 11 from these two surfaces. This prevents the level of the recording signal of the magnetic recording medium 30 from being lowered by the external magnetic field.
【００１７】図４は横軸に外部磁界をとり、縦軸に出力
変動をとって本発明の効果を示すグラフ図である。但
し、使用した磁気記録媒体は軟磁性膜を下地層とし、磁
性膜としてＣｏＣｒ系合金をスパッタリングにより形成
したものであり、実用ドライブにおけるドライブ内の漏
れ磁場（外部磁場）は約１０エルステッド（Ｏｅ）であ
る。この図から明らかなように、本実施例のシールド部
１０を有する薄膜磁気ヘッドの場合は、従来の外部磁気
遮蔽材がない薄膜磁気ヘッドの場合に比して、外部磁界
の影響を著しく低減することができる。FIG. 4 is a graph showing the effect of the present invention with the horizontal axis representing the external magnetic field and the vertical axis representing the output fluctuation. However, the magnetic recording medium used was one in which a soft magnetic film was used as an underlayer and a CoCr-based alloy was formed as a magnetic film by sputtering. Is. As is clear from this figure, in the case of the thin film magnetic head having the shield portion 10 of the present embodiment, the influence of the external magnetic field is remarkably reduced as compared with the case of the conventional thin film magnetic head having no external magnetic shielding material. be able to.
【００１８】本発明は、上述の如く、外部磁界をシール
ドする磁気遮蔽部材が設けられた構造の薄膜磁気ヘッド
に関するものであり、上記実施例のように、スライダー
部を有する浮上型薄膜磁気ヘッドに限定されることな
く、例えば、スライダー部を有せず、浮上量が２μｍ以
下で媒体と接触して使用される薄膜磁気ヘッドにも適用
できる。As described above, the present invention relates to a thin film magnetic head having a structure in which a magnetic shielding member for shielding an external magnetic field is provided. Without being limited thereto, for example, the present invention can be applied to a thin film magnetic head that does not have a slider portion and has a flying height of 2 μm or less and is used in contact with a medium.
【００１９】[0019]
【発明の効果】本発明によれば、補助磁極における主磁
極及び磁気記録媒体と磁路を形成する領域を少なくとも
除く面に磁気遮蔽部材が配置されているため、外部磁界
が補助磁極に入ることにより、記録されている信号のレ
ベルが低下すること、及びこの出力低下に伴いＳＮ比が
減少することが防止される。According to the present invention, since the magnetic shield member is disposed on at least the surface of the auxiliary magnetic pole except the region forming the magnetic path with the main magnetic pole and the magnetic recording medium, the external magnetic field can enter the auxiliary magnetic pole. As a result, it is possible to prevent the level of the recorded signal from decreasing and the S / N ratio from decreasing due to the decrease in the output.
【図１】 本発明の実施例に係る薄膜磁気ヘッドの一部
を示す断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view showing a part of a thin film magnetic head according to an embodiment of the invention.
【図２】 同じくその斜視図である。FIG. 2 is a perspective view of the same.
【図３】 同じくその製造方法を示す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing the same manufacturing method.
【図４】 本発明の効果を示すグラフ図である。FIG. 4 is a graph showing the effect of the present invention.
【図５】 従来の薄膜磁気ヘッドを示す模式図である。FIG. 5 is a schematic view showing a conventional thin film magnetic head.
５；磁気ヘッド ７；スライダ部 ６；記録再生部 １０；シールド部 １１；補助磁極 １２；主磁極 １５；コイル 5; magnetic head 7; slider section 6; recording / reproducing section 10; shield section 11; auxiliary magnetic pole 12; main magnetic pole 15; coil
─────────────────────────────────────────────────────
─────────────────────────────────────────────────── ───
【手続補正書】[Procedure amendment]
【提出日】平成３年１１月１５日[Submission date] November 15, 1991
【手続補正１】[Procedure Amendment 1]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】請求項１[Name of item to be corrected] Claim 1
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 リチヤード・デイー・アンダーソン 米国，カリフオルニア95126，サンノゼ， レイスストリート530 センスター・コー ポレーシヨン内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Richard Yard Anderson USA 95, California 95126 San Jose, Wraith Street 530 Senster Corporation
Claims (1)
いて配置された薄膜磁気ヘッドにおいて、前記補助磁極
における前記主磁極及び前記磁気記録媒体と磁路を形成
する領域を除く面に磁気遮蔽部材が設けられていること
を特徴とする薄膜磁気ヘッド。1. A thin-film magnetic head in which a main magnetic pole and an auxiliary magnetic pole are arranged with a proper gap, and a magnetic field is formed on a surface of the auxiliary magnetic pole excluding a region forming a magnetic path with the main magnetic pole and the magnetic recording medium. A thin-film magnetic head having a shield member.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20249091A JPH0581619A (en) | 1991-07-16 | 1991-07-16 | Thin film magnetic head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20249091A JPH0581619A (en) | 1991-07-16 | 1991-07-16 | Thin film magnetic head |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0581619A true JPH0581619A (en) | 1993-04-02 |
Family
ID=16458368
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20249091A Pending JPH0581619A (en) | 1991-07-16 | 1991-07-16 | Thin film magnetic head |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0581619A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SG109479A1 (en) * | 2000-11-28 | 2005-03-30 | Samsung Electronics Co Ltd | Magnetic head |
| US7296338B2 (en) | 2004-07-30 | 2007-11-20 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Method and apparatus for providing a reverse air bearing surface head with trailing shield design for perpendicular recording |
-
1991
- 1991-07-16 JP JP20249091A patent/JPH0581619A/en active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SG109479A1 (en) * | 2000-11-28 | 2005-03-30 | Samsung Electronics Co Ltd | Magnetic head |
| US7296338B2 (en) | 2004-07-30 | 2007-11-20 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Method and apparatus for providing a reverse air bearing surface head with trailing shield design for perpendicular recording |
| US7978430B2 (en) | 2004-07-30 | 2011-07-12 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Apparatus for providing a reverse air bearing surface head with trailing shield design for perpendicular recording |
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