JPH057836Y2 - - Google Patents
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- JPH057836Y2 JPH057836Y2 JP1987168403U JP16840387U JPH057836Y2 JP H057836 Y2 JPH057836 Y2 JP H057836Y2 JP 1987168403 U JP1987168403 U JP 1987168403U JP 16840387 U JP16840387 U JP 16840387U JP H057836 Y2 JPH057836 Y2 JP H057836Y2
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- ultrasonic sensor
- polymer foil
- electrode
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01H—MEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
- G01H3/00—Measuring characteristics of vibrations by using a detector in a fluid
- G01H3/005—Testing or calibrating of detectors covered by the subgroups of G01H3/00
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
- B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
- B06B1/06—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
- B06B1/0688—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction with foil-type piezoelectric elements, e.g. PVDF
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S310/00—Electrical generator or motor structure
- Y10S310/80—Piezoelectric polymers, e.g. PVDF
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案は、少なくともその縁範囲で支持体に取
り付けられたポリマー箔を有し、このポリマー箔
が少なくとも、電極と電気的に結合されている部
分範囲で圧電的に能動化されている超音波センサ
に関する。
り付けられたポリマー箔を有し、このポリマー箔
が少なくとも、電極と電気的に結合されている部
分範囲で圧電的に能動化されている超音波センサ
に関する。
超音波範囲内の衝撃波は1MHzを越える高い周
波数の成分としばしば1kbarを越える高い圧力と
を有する短いインパルスである。これらの衝撃波
は、ドイツ連邦共和国特許出願公開第3328051号
明細書に一層詳細に説明されているように、たと
えば結石除去術において結石、たとえば腎石の破
砕のために使用される。特に、このような医学へ
の応用に際しては、衝撃波を正確に測定し、焦点
を正確に定め、かつ結石破砕器の作動を監視する
ことが不可欠である。そのためには、十分に広い
帯域幅をもつてそのつどの衝撃波の時間的経過を
表し得るセンサが用意されなければならない。さ
らに、このセンサは衝撃波を最高圧力の場所、す
なわち破砕すべき結石が置かれる焦点において
も、それ自体が破砕されることなく、正確にかつ
再現可能に測定し得るものでなければならない。
換言すれば、1kbarを越え得る比較的高い圧力が
確実に測定されなければならず、またセンサは丈
夫な構造でなければならない。
波数の成分としばしば1kbarを越える高い圧力と
を有する短いインパルスである。これらの衝撃波
は、ドイツ連邦共和国特許出願公開第3328051号
明細書に一層詳細に説明されているように、たと
えば結石除去術において結石、たとえば腎石の破
砕のために使用される。特に、このような医学へ
の応用に際しては、衝撃波を正確に測定し、焦点
を正確に定め、かつ結石破砕器の作動を監視する
ことが不可欠である。そのためには、十分に広い
帯域幅をもつてそのつどの衝撃波の時間的経過を
表し得るセンサが用意されなければならない。さ
らに、このセンサは衝撃波を最高圧力の場所、す
なわち破砕すべき結石が置かれる焦点において
も、それ自体が破砕されることなく、正確にかつ
再現可能に測定し得るものでなければならない。
換言すれば、1kbarを越え得る比較的高い圧力が
確実に測定されなければならず、またセンサは丈
夫な構造でなければならない。
圧力が比較的低い場所には、これまで超音波セ
ンサとして種々の構成（ピ−、エイ、リユーイン
（P.A.Lewin）、超音波、（U1trasonics）、1981年
９月、第213〜216頁；アール、シー、プレストン
（R.C.Preston）ほか、ジヤーナル、オブ、フイ
ジクス、イー（J.Phys.E.）：サイアンテイフイツ
ク、オブ、インスツルメンツ（Sci.Instrum.）第
16号（1983），第786〜796頁）のダイアフラムハ
イドロホンが使用された。すべての場合にセンサ
は測定箔として圧電ポリマー、金属層を被覆され
たポリフツ化ビニリデン（PVDF）を含んでい
る。
ンサとして種々の構成（ピ−、エイ、リユーイン
（P.A.Lewin）、超音波、（U1trasonics）、1981年
９月、第213〜216頁；アール、シー、プレストン
（R.C.Preston）ほか、ジヤーナル、オブ、フイ
ジクス、イー（J.Phys.E.）：サイアンテイフイツ
ク、オブ、インスツルメンツ（Sci.Instrum.）第
16号（1983），第786〜796頁）のダイアフラムハ
イドロホンが使用された。すべての場合にセンサ
は測定箔として圧電ポリマー、金属層を被覆され
たポリフツ化ビニリデン（PVDF）を含んでい
る。
PVDFにより、たとえば10MHzの広い周波数帯
域幅が実現され得る。しかし、前記の形式のすべ
てのセンサは衝撃波源の焦点における衝撃波の検
地には適していないことが判明している。すなわ
ち、それらは振幅が約1kbar（108Pa）の範囲内に
あり得る高い圧力に、同時の急峻な（立ち上がり
時間がは1μsを下回り得る）衝撃波の立ち上がり
側縁において、焦点内で耐えられない。それらは
少数の衝撃波インパルスの後に使用不能になる。
特に、センサの敏感な個所、すなわちポリマー箔
の能動化されている個所の付近の電気的接触部が
衝撃波の検知の際に破壊される。
域幅が実現され得る。しかし、前記の形式のすべ
てのセンサは衝撃波源の焦点における衝撃波の検
地には適していないことが判明している。すなわ
ち、それらは振幅が約1kbar（108Pa）の範囲内に
あり得る高い圧力に、同時の急峻な（立ち上がり
時間がは1μsを下回り得る）衝撃波の立ち上がり
側縁において、焦点内で耐えられない。それらは
少数の衝撃波インパルスの後に使用不能になる。
特に、センサの敏感な個所、すなわちポリマー箔
の能動化されている個所の付近の電気的接触部が
衝撃波の検知の際に破壊される。
ヨーロツパ特許出願公開第0227985号明細書に
は、衝撃波を結石破砕器の焦点内でも安定に検知
し得る冒頭に記載した種類のセンサが提案されて
いる。このセンでは金属の電気的接触部がPVDF
ダイアフラムまたは箔の圧電的に能動的な領域か
ら空間的に離れて位置している。この配置は比較
的低い感度に通じ得る。
は、衝撃波を結石破砕器の焦点内でも安定に検知
し得る冒頭に記載した種類のセンサが提案されて
いる。このセンでは金属の電気的接触部がPVDF
ダイアフラムまたは箔の圧電的に能動的な領域か
ら空間的に離れて位置している。この配置は比較
的低い感度に通じ得る。
本考案の目的は、圧電的に能動化されているポ
リマー箔を有する冒頭に記載した種類の超音波セ
ンサであつて、特に高エネルギーの衝撃波の測定
に十分な感度で使用可能であり、また使用寿命が
長い超音波センサを提供することである。
リマー箔を有する冒頭に記載した種類の超音波セ
ンサであつて、特に高エネルギーの衝撃波の測定
に十分な感度で使用可能であり、また使用寿命が
長い超音波センサを提供することである。
この目的は、本考案によれば、第１の電極がポ
リマー箔の能動化されている部分範囲に接してお
り、また第２の電極が圧電的に能動化されている
部分範囲から空間的に隔てられて配置されている
ことを特徴とする超音波センサにより達成され
る。
リマー箔の能動化されている部分範囲に接してお
り、また第２の電極が圧電的に能動化されている
部分範囲から空間的に隔てられて配置されている
ことを特徴とする超音波センサにより達成され
る。
衝撃波インパルスの生起の際、ポリマー箔の圧
電的に能動化されている部分範囲内に電荷が生ず
る。第１の電極は、たとえば特にPVDF箔から成
るポリマー箔の後側の圧電的に能動化されている
部分範囲と弱く接触しており、また１つの前置増
幅器の第１の入力端に接続されている。第２の電
極はたとえば格子として構成されており、また接
地点に接続されている。前置増幅器の第２の入力
端は同じく接地点に接続されている。こうして、
（電荷）信号がポリマー箔の圧電的に能動的な個
所からガルバニツクに取り出され、且つ増幅され
る。前記の構造によりセンサの十分に良好な感度
および長い使用寿命が特に高い圧力に対しても得
られる。
電的に能動化されている部分範囲内に電荷が生ず
る。第１の電極は、たとえば特にPVDF箔から成
るポリマー箔の後側の圧電的に能動化されている
部分範囲と弱く接触しており、また１つの前置増
幅器の第１の入力端に接続されている。第２の電
極はたとえば格子として構成されており、また接
地点に接続されている。前置増幅器の第２の入力
端は同じく接地点に接続されている。こうして、
（電荷）信号がポリマー箔の圧電的に能動的な個
所からガルバニツクに取り出され、且つ増幅され
る。前記の構造によりセンサの十分に良好な感度
および長い使用寿命が特に高い圧力に対しても得
られる。
本考案の他の利点および実施態様は実用新案登
録請求の範囲第２項以下にあげられており、また
以下の図面による説明から明らかになろう。
録請求の範囲第２項以下にあげられており、また
以下の図面による説明から明らかになろう。
図面によれば、衝撃波を検知するための超音波
センサ２は１つの薄い特に半円形のポリマー箔ま
たはポリマーダイアフラム４を含んでいる。この
ポリマー箔は１つのリング状の支持体の内部に、
ここでは２つのクランプリング６ａ，６ｂの間に
ぴんと張られている。クランプリング６ａ，６ｂ
は１つの円筒状の絶縁材料製の内径Ｄのケースの
部分である。クランプリング６ａ，６ｂの内側の
端面の上にポリマー箔４が縁側で固定されてい
る。ポリマー箔４は好ましくはポリフツ化ビニリ
デン（PVDF）から成つている。ポリマー箔４は
その中央部分範囲４２で分極されており、従つて
またそこでのみ圧電的に能動化されている。圧電
的に能動化されている部分範囲４２は圧電的に非
能動的な１つのリング状範囲４４により囲まれて
いる。ポリマー箔４自体は全く金属接触部を設け
られていない。部分範囲４２は、ポリマー箔４の
平らな面に対して垂直に延びている中心軸線２２
に関して回転対象に配置されている。部分範囲４
２は好ましい応用例では結石破砕器の（図示され
ていない）衝撃波源の焦点に置かれる。その際に
ケースの左側の端面は衝撃波インパルスｐを送り
出す衝撃波源のほうに向けられている。
センサ２は１つの薄い特に半円形のポリマー箔ま
たはポリマーダイアフラム４を含んでいる。この
ポリマー箔は１つのリング状の支持体の内部に、
ここでは２つのクランプリング６ａ，６ｂの間に
ぴんと張られている。クランプリング６ａ，６ｂ
は１つの円筒状の絶縁材料製の内径Ｄのケースの
部分である。クランプリング６ａ，６ｂの内側の
端面の上にポリマー箔４が縁側で固定されてい
る。ポリマー箔４は好ましくはポリフツ化ビニリ
デン（PVDF）から成つている。ポリマー箔４は
その中央部分範囲４２で分極されており、従つて
またそこでのみ圧電的に能動化されている。圧電
的に能動化されている部分範囲４２は圧電的に非
能動的な１つのリング状範囲４４により囲まれて
いる。ポリマー箔４自体は全く金属接触部を設け
られていない。部分範囲４２は、ポリマー箔４の
平らな面に対して垂直に延びている中心軸線２２
に関して回転対象に配置されている。部分範囲４
２は好ましい応用例では結石破砕器の（図示され
ていない）衝撃波源の焦点に置かれる。その際に
ケースの左側の端面は衝撃波インパルスｐを送り
出す衝撃波源のほうに向けられている。
円板状の中央部分範囲４２の直径ｄはポリマー
箔４の自由直径Ｄよりもはるかに小さい。ポリマ
ー箔４の厚みＺは10μmと100μmとの間、特に
25μmと50μmとの間である。いまの例では厚みＺ
はたとえば25μmである。直径ｄはたとえば１な
いし２mm、また直径Ｄはたとえば50または100mm
である。直径ｄは測定の際の位置分解能を定め
る。
箔４の自由直径Ｄよりもはるかに小さい。ポリマ
ー箔４の厚みＺは10μmと100μmとの間、特に
25μmと50μmとの間である。いまの例では厚みＺ
はたとえば25μmである。直径ｄはたとえば１な
いし２mm、また直径Ｄはたとえば50または100mm
である。直径ｄは測定の際の位置分解能を定め
る。
衝撃波ｐの方向に見て中央部分範囲４２の後側
に１つのピンまたは釘の形態の第１の電極２００
が合成樹脂、たとえばプレキシガラスから成る１
つの薄いブリツジ２０２の上に配置されている。
こうして薄い超音波透過性のブリツジ２０２は折
り曲げられた金属製接触ピン、すなわち電極２０
０に対する保持要素としての役割をする。ブリツ
ジ２０２は右側のクランプリング６ｂに取付けら
れている。
に１つのピンまたは釘の形態の第１の電極２００
が合成樹脂、たとえばプレキシガラスから成る１
つの薄いブリツジ２０２の上に配置されている。
こうして薄い超音波透過性のブリツジ２０２は折
り曲げられた金属製接触ピン、すなわち電極２０
０に対する保持要素としての役割をする。ブリツ
ジ２０２は右側のクランプリング６ｂに取付けら
れている。
ピン２００は少し丸みをつけられまた背部２０
３と反対側で広げられている頭部側２０４を有
し、その面積は能動化されている部分範囲４２の
面積とほぼ等しい。ピン２００の直角に折り曲げ
られた背部２０３はクランプリング６ｂを通して
適当な個所で半径方向に導き出されている。ピン
２００は、頭部側２０４が中央部分範囲４２と直
接に向かい合い、またこれと軽い機械的偏倚力も
のとに、すなわち弾性的に接触するように調節さ
れている。偏倚力は特に支持体、クランプリング
６ｂへの取付方の選定により与えられ得る。偏倚
力の大きさはリング６ｂを貫通する場所、背部２
０３の長さおよびその材料に関係する。特に部分
範囲４２上に頭部側２０４が載る圧力を機械的手
段により、たとえばねじをずらすことにより設定
する可能性（図示せず）が設けられていてもよ
い。
３と反対側で広げられている頭部側２０４を有
し、その面積は能動化されている部分範囲４２の
面積とほぼ等しい。ピン２００の直角に折り曲げ
られた背部２０３はクランプリング６ｂを通して
適当な個所で半径方向に導き出されている。ピン
２００は、頭部側２０４が中央部分範囲４２と直
接に向かい合い、またこれと軽い機械的偏倚力も
のとに、すなわち弾性的に接触するように調節さ
れている。偏倚力は特に支持体、クランプリング
６ｂへの取付方の選定により与えられ得る。偏倚
力の大きさはリング６ｂを貫通する場所、背部２
０３の長さおよびその材料に関係する。特に部分
範囲４２上に頭部側２０４が載る圧力を機械的手
段により、たとえばねじをずらすことにより設定
する可能性（図示せず）が設けられていてもよ
い。
ピン２００は導線２０６を有し、この導線２０
６は前置増幅器２１０の第１の入力端２０８に通
じている。、前置増幅器２１０の第２の入力端２
１２は接地されている。
６は前置増幅器２１０の第１の入力端２０８に通
じている。、前置増幅器２１０の第２の入力端２
１２は接地されている。
衝撃波インパルスｐの生起の際、圧電的に能動
化されている部分範囲４２内に電荷が生ずる。こ
れら信号として部分範囲４２から電極２００およ
び導線２０６を経て、”読み出され”、前置増幅器
２１０で増幅される。
化されている部分範囲４２内に電荷が生ずる。こ
れら信号として部分範囲４２から電極２００およ
び導線２０６を経て、”読み出され”、前置増幅器
２１０で増幅される。
ポリマー箔４の前側には、能動化されている部
分範囲４２から空間的に隔てられている第２の電
極８が取り付けられている。これは種々の形態で
構成されていてよい。図示されている例では、第
２の電極８は、接地されている１つの金属格子２
１４と接地されている１つの薄い金属リング２１
６とから成つている。接地格子２１４は接地リン
グ２１６と電気的に接続されている。格子２１４
は超音波に対して、従つてまた衝撃波に対して透
過性である。軸線２２に対して中心に配置されて
いる金属リング２１６はほぼ直径Ｄを有する。こ
うして金属リング２１６は部分範囲４２を囲んで
いる。
分範囲４２から空間的に隔てられている第２の電
極８が取り付けられている。これは種々の形態で
構成されていてよい。図示されている例では、第
２の電極８は、接地されている１つの金属格子２
１４と接地されている１つの薄い金属リング２１
６とから成つている。接地格子２１４は接地リン
グ２１６と電気的に接続されている。格子２１４
は超音波に対して、従つてまた衝撃波に対して透
過性である。軸線２２に対して中心に配置されて
いる金属リング２１６はほぼ直径Ｄを有する。こ
うして金属リング２１６は部分範囲４２を囲んで
いる。
クランプリング６ａ，６ｂはそれらのポリマー
箔４と反対側の平らな面に、良好な超音波透過性
の材料から成るそれぞれ１つの覆い板１２２また
は１２４を設けられている。こうしてポリマー箔
４と覆い板１２２および１２４との間にそれぞれ
１つの液密な室１００ａまたは１００ｂが形成さ
れている。これらの室はたとえば水のような液状
誘電体で満たされており、また圧力平衡の目的で
中間壁（ポリマー箔４）内の小さい孔または溝２
１８を経て互いに連通している。１つの有利な実
施例では、覆い板１２２および１２４は合成樹
脂、特にポリマーから成つている。誘電体は好ま
しくは液体である。この液体は、衝撃インパルス
ｐを超音波センサ２のほうに導く超音波伝播媒体
とほぼ等しい音響インピーダンスを有する。この
インパルスは電気的信号として前置増幅器２１０
の出力端２３０から取り出される。
箔４と反対側の平らな面に、良好な超音波透過性
の材料から成るそれぞれ１つの覆い板１２２また
は１２４を設けられている。こうしてポリマー箔
４と覆い板１２２および１２４との間にそれぞれ
１つの液密な室１００ａまたは１００ｂが形成さ
れている。これらの室はたとえば水のような液状
誘電体で満たされており、また圧力平衡の目的で
中間壁（ポリマー箔４）内の小さい孔または溝２
１８を経て互いに連通している。１つの有利な実
施例では、覆い板１２２および１２４は合成樹
脂、特にポリマーから成つている。誘電体は好ま
しくは液体である。この液体は、衝撃インパルス
ｐを超音波センサ２のほうに導く超音波伝播媒体
とほぼ等しい音響インピーダンスを有する。この
インパルスは電気的信号として前置増幅器２１０
の出力端２３０から取り出される。
超音波センサ２の利点は、圧電的に能動化され
ている部分範囲４２におけるガルバニツクな信号
取り出しである。それにより超音波センサ２の感
度がキヤパシタンスによる取り出しに比較しては
るかに高められる。
ている部分範囲４２におけるガルバニツクな信号
取り出しである。それにより超音波センサ２の感
度がキヤパシタンスによる取り出しに比較しては
るかに高められる。
図面は本考案の実施例の断面図である。
２……超音波センサ、４……ボリマー箔、６
ａ，６ｂ……クランプリング、８……第２の電
極、４２……能動化されている部分範囲、１００
ａ，１００ｂ……室、１２２，１２４……覆い
板、２００……第１の電極（ピン）、２０３……
背部、２０６……導線、２０８……第１の入力
端、２１０……前置増幅器、２１２……第２の入
力端、２１４……金属格子、２１６……金属リン
グ、２３０……出力端。
ａ，６ｂ……クランプリング、８……第２の電
極、４２……能動化されている部分範囲、１００
ａ，１００ｂ……室、１２２，１２４……覆い
板、２００……第１の電極（ピン）、２０３……
背部、２０６……導線、２０８……第１の入力
端、２１０……前置増幅器、２１２……第２の入
力端、２１４……金属格子、２１６……金属リン
グ、２３０……出力端。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 少なくともその縁範囲で支持体６に取り付け
られたポリマー箔４を有し、このポリマー箔４
が少なくとも、電極８，２００と電気的に結合
されている部分範囲４２で圧電的に能動化され
ている超音波センサにおいて、第１の電極２０
０がポリマー箔４の能動化されている部分範囲
４２に接しており、また第２の電極８が圧電的
に能動化されている部分範囲４２から空間的に
隔てられて配置されていることを特徴とする超
音波センサ。 ２ 第１の電極２００がピンとして構成されてお
り、またポリマー箔４がその丸められた頭部側
２０４に軽い偏倚力のもとに接していることを
特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項に記
載の超音波センサ。 ３ 第１および第２の電極２００，８が１つの増
幅器２１０に接続されていることを特徴とする
実用新案登録請求の範囲第１項または第２項記
載の超音波センサ。 ４ 能動化されている部分範囲４２の大きさが、
この部分範囲４２と接触するピンの頭部２０４
の面積と等しいことを特徴とする実用新案登録
請求の範囲第２項または第３項記載の超音波セ
ンサ。 ５ 能動化されている部分範囲４２がポリマー箔
４の中央部分に配置されており、ポリマー箔４
が縁側で１つのケース６により張られており、
第１の電極２００がポリマー箔４の後側に接し
ており、この電極２００が折り曲げられた接触
ピンとして構成されており、またこの接触ピン
がそのケース６への取付により弾性的にポリマ
ー箔４の後側の能動化されている部分範囲４２
に接していることを特徴とする実用新案登録請
求の範囲第１項ないし第４項のいずれか１項に
記載の超音波センサ。 ６ ポリマー箔４が圧力平衡のための少なくとも
１つの開口２１８を設けられていることを特徴
とする実用新案登録請求の範囲第１項ないし第
５項のいずれか１項に記載の超音波センサ。 ７ ポリマー箔４により互いに隔てられている２
つの室１００ａ，１００ｂが設けられているこ
とを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項
ないし第６項にいずれか１項に記載の超音波セ
ンサ。 ８ 各室１００ａ，１００ｂが１つのクランプリ
ング６ａ，６ｂを含んでいることを特徴とする
実用新案登録請求の範囲第７項に記載の超音波
センサ。 ９ 第２の電極８がポリマー箔４から間隔をおい
て配置されている金属格子２１４を含んでいる
ことを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１
項ないし第８項のいずれか１項に記載の超音波
センサ。 10 金属格子２１４が、能動的されている部分範
囲４２を含んでいる１つの金属リング２１６と
電気的に接続されていることを特徴とする実用
新案登録請求の範囲第９項に記載の超音波セン
サ。
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