JPH056805B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、弾性表面波を表面で伝搬し得る圧電
基板と、第１伝搬トラツクに沿い前記表面で弾性
表面波エネルギーを放射する入力変換手段と、該
入力変換手段の一方の側に隣接し、第２伝搬トラ
ツクから、前記第１伝搬トラツクにほぼ平行且つ
これと重り合わない表面で弾性表面波を受ける出
力変換手段と、前記第１伝搬トラツクの入力変換
手段から弾性表面波エネルギーを受けてこのエネ
ルギーの少なくとも一部分を弾性表面波エネルギ
ーとして前記第２伝搬トラツクに向かつて再び放
射する電気的反射形マルチストリツプ結合手段と
を具え、前記第１および第２変換手段（入出力ト
ランスデユーサ）は、各々が平行なストリツプ電
極を有し、これらストリツプ電極を一対の導電性
ストリツプの関連する一方または他方のストリツ
プに夫々接続し、これら一対の導電性ストリツプ
がインターデイジタル形電極アレイの関連する側
面に沿つて延在するブスバーを夫々形成する個別
のインターデイジタル形電極アレイにより構成
し、前記反射形マルチストリツプ結合手段は、前
記第１および第２トラツクを夫々横切つて配設さ
れた互に平行な導電性ストリツプの第１および第
２アレイを具え、各アレイは第１組の互に絶縁さ
れた交互に広く且つ狭く離間されたストリツプ
と、第２組の電気的に相互接続されたストリツプ
とで構成し、この第２組のストリツプは第１組を
形成する１つおきに広く離間されたストリツプ対
間に第２組から少なくとも１個のストリツプを位
置させるように配置し、一方のアレイの第１組の
広く離間した対を形成する各ストリツプは他方の
アレイの第１組の狭く離間した対を形成する関連
のストリツプに夫々接続し、両アレイのストリツ
プの第２組は相互接続するようにした弾性表面波
帯域通過フイルタ装置に関するものである。かか
る装置を特に弾性表面波装置と称する。

この種の弾性表面波装置はヨーロツパ特許公開
（EP−Ａ）第98661号明細書に記載されている。
この場合トラツク−変更のプロセスを弾性表面波
フイルタに共通に用いて種々のバルク弾性波モー
ドによる受信トランスデユーサから放射トンスデ
ユーサへのエネルギー伝達を減少し得るようにす
る。これら種々のバルク弾性波モードはそれ自体
通常用いられるインターデイジタル形トランスデ
ユーサの種類により放射および受信されると共
に、その伝搬速度は或る場合には所望の弾性表面
波の伝搬速度から僅かに相違するようになる。上
述したヨーロツパ特許公開（EP−Ａ）第98661号
に記載さた反射形マルチストリツプカプラの形状
は、簡潔且つ十分有効であり、しかも入出力トラ
ンデユーサを近接して装着し得、従つて狭帯域装
置の全長を短くすると共に各装置に対し特に例え
ば10MHz〜60MHzの領域の低い周波数で基板材料
の小面積区分を用いることができる。

基板材料を更に少なくするために、アレイの中
心伝搬軸に対称な単一弾性表面波導波エネルギー
モードを伝搬且つ変換するインターデイジタル形
入出力トランスデユーサアレイを用いることがヨ
ーロツパ特許公開（EP−Ａ）第106384号に提案
されている。この種のトランスデユーサではブス
バーを含むインターデイジタル形電極アレイの全
体の幅は弾性表面波の数波長であり、例えばＹカ
ツトＺ伝搬または124°〜131°回転ＹカツトＸ軸伝
搬のニオブ酸塩リチウムに対する上記幅は、イン
ターデイジタルアレイを中心軸に対し対称とする
場合には3λcである。ここにλcは装置の通過帯域
の中心周波数f_cにおける弾性表面波と波長とす
る。この伝搬モードでは弾性表面波エネルギーは
トランスデユーサアレイ内には厳密には含まれな
いでブスバーの外側端縁の大部分から指数関数的
に横方向に且つ外方にはずれるようになる。

単一導波モードのトランスデユーサを反射形マ
ルチストリツプカプラと共に用いる場合にはスト
リツプ電極の入出力アレイを、関連する伝搬トラ
ツクの弾性表面波エネルギーに対する伝搬の単一
導波モードをできるだけ最良の状態に保持するよ
うに配列する。

一般にトランスデユーサに関する弾性表面波エ
ネルギー伝搬トラツクはその幅を反射形マルチス
トリツプカプラの入出力アレイに関する関連の有
効トラツクにできるだけ近づけるように整合する
必要がある。その理由はかかるカプラの入力側お
よび出力側に何等かの不整合が起り得る傾向にあ
り、従つてその影響が乗算的に組合わされて僅か
な量の個別に不整合に対する挿入損が著しく増大
するようになるからである。単一導波モード装置
に反射性マルチストリツプカプラを用いる場合に
はこの影響は一層著しくなる。その理由は１つの
カプラアレイを形成する電極ストリツプの第１組
から導出する相互接続導体部分が存在するため伝
搬トラツクの内側境界が確定されないからであ
る。

本発明の目的は、例えば弾性表面波の伝搬の単
一導波モードを用いる装置においてトランスデユ
ーサの有効アパーチヤと反射形マルチストリツプ
カプラとの間の不整合による損失を減少し得るよ
うにした弾性表面波帯域通過フイルタ装置を提供
せんとするにある。

本発明は、弾性表面波を表面で伝搬し得る圧電
基板と、第１伝搬トラツクに沿い前記表面で弾性
表面波エネルギーを放射する入力変換手段と、該
入力変換手段の一方の側に隣接し、第２伝搬トラ
ツクから、前記第１伝搬トラツクにほぼ平行且つ
これと重り合わない表面で弾性表面波を受ける出
力変換手段と、前記第１伝搬トラツクの入力変換
手段から弾性表面波エネルギーを受けてこのエネ
ルギーの少なくとも一部分を弾性表面波エネルギ
ーとして前記第２伝搬トラツクに向かつて再び放
射する電気的反射形マルチストリツプ結合手段と
を具え、前記第１および第２変換手段（入出力ト
ランスデユーサ）は、各々が平行なストリツプ電
極を有し、これらストリツプ電極を一対の導電性
ストリツプの関連する一方または他方のストリツ
プに夫々接続し、これら一対の導電性ストリツプ
がインターデイジタル形電極アレイの関連する側
面に沿つて延在するブスバーを夫々形成する個別
のインターデイジタル形電極アレイにより構成
し、前記反射形マルチストリツプ結合手段は、前
記第１および第２トラツクを夫々横切つて配設さ
れた互に平行な導電性ストリツプの第１および第
２アレイを具え、各アレイは第１組の互に絶縁さ
れた交互に広く且つ狭く離間されたストリツプ
と、第２組の電気的に相互接続されたストリツプ
とで構成し、この第２組のストリツプは第１組を
形成する１つおきに広く離間されたストリツプ対
間に第２組から少なくとも１個のストリツプを位
置させるように配置し、一方のアレイの第１組の
広く離間した対を形成する各ストリツプは他方の
アレイの第１組の狭く離間した対を形成する関連
のストリツプに夫々接続し、両アレイのストリツ
プの第２組は相互接続し；反射形マルチストリツ
プ結合手段の各アレイの第２組を構成するストリ
ツプをアレイの他の境界に沿つて延在する各ブス
バーによつて相互接続するようにした弾性表面波
帯域通過フイルタ装置において、電気的に不連続
な境界規定ストリツプを反射形マルチストリツプ
カプラの各アレイの内側境界に沿つて設けてこの
アレイに沿つて伝搬する弾性表面波エネルギーの
閉込め効果が他の境界に沿つて延在するブスバー
による閉込め効果にほぼ一致する内側境界を形成
し得るようにしたことを特徴とする。

電気的不連続境界規定ストリツプは外側ブスバ
ーによるマスローデイングにほぼ相当する表面の
マスローデイングを提供するようになる。しかし
これらストリツプは、外側金属ブスバーの特徴で
ある弾性表面波エネルギー損失係数の低い材料で
造る必要がある。かかる材料を用いない場合には
弾性表面波エネルギーがマスロードされた境界で
吸収され且つこの境界に向かつて偏向されると共
にかくしてアレイトラツクに沿うエネルギーの流
れからはずれ得るようになる。この影響は、アレ
イに沿う伝搬が境界での反射に依存する単一対称
導波エネルギーモードを用いる装置の場合に特に
著しくなり、従つて大きな損失係数を有する境界
ローデイング材料により迅速に減衰する。

これがため電気的不連続境界規定ストリツプ
は、各々がカプラの２つのアレイの各第１組から
関連するストリツプを相互接続する相互接続導体
の関連する隣接部分と交互に直線状に分布する複
数個の個別の金属層島領域を具えるのが好適であ
る。アレイの第２組を形成するストリツプは、こ
れらが関連する境界規定ストリツプの一部分を形
成するように延在させることができる。入出力ト
ランスデユーサを形成するアレイおよび反射形マ
ルチストリツプカプラを適宜配列して単一弾性表
面波伝搬モードを伝搬し且つ変換し得るようにす
る場合には境界規定ストリツプは弾性表面波エネ
ルギー伝搬に対しウエフアの表面のローデイング
ストリツプとして作用する。単一導波モードを用
いる目的は、金属島領域および隣接の導体領域に
より形成される電気的不連続規定金属ストリツプ
パターンによつて、カプラアレイの外側ブスバー
による表面とほぼ同一のウエフアの表面に平均弾
性表面波ローデイングを行うことにある。

本発明はつぎのような事実の認識に基づいて成
したものである。即ち、上述した種類の装置にお
ける挿入損に係わるこれるでにまだ説明してない
部分は、反射形マルチストリツプカプラの第１お
よび第２アレイに沿つて伝搬する弾性表面波エネ
ルギーの流れが、入出力トランスデユーサに関連
する伝搬トラツク間の中間領域内に広がることに
起因しており、しかも斯かる弾性表面波エネルギ
ーの不所望な損失分は各アレイの内側境界部に沿
つて境界規定ストリツプを配置することにより低
減させることができ、斯かる境界規定ストリツプ
は電気的に不連続なものとして、２つのアレイ間
の相互接続導体が連続ブスバーに交差せずに、そ
の連続ブスバーから分離されるようにするが、斯
様な製造工程は費用が嵩み、しかも付随するキヤ
パシタタンス値も不所望に高くなる。相互接続導
体の該当部分を含む不連続金属パターンを用いる
ことによつて内側境界部を形成することができ、
この内側境界部は前述した種々の方法で外側ブス
バーと電気的に等価なものに近づけることができ
る。相互接続導体の幅をアレイのストリツプ電極
の幅よりも狭くし、かつ上記接続導体とストリツ
プとの接続部を適宜に離間させることによつて、
相互接続導体が最初はアレイのストリツプ電極の
間隔を有しているためにアレイの境界部付近にて
生ずることになる弾性表面波エネルギーの再放射
を著しく低減させることができ、この損失分は中
間金属化領域を設けることによつて一層低減させ
ることができる。

境界規定ストリツプはさらに外側ブスバーによ
つて行われるのと同様な方法でウエハの表面に弾
性波をロードする。従つて、外側ブスバーが各ア
レイの外側境界部をロードするのとほぼ同じ方法
で内側境界部に弾性表面波をロードさせることに
よつて、装置が単一対称導波モードで作動してい
る際に弾性表面波エネルギーの内方広がりを有効
に低減させることもできる。

以下図面につき本発明を説明する。

第１図は本発明による弾性表面波帯域通過の電
気的フイルタを示す。圧電基板１には弾性表面波
を伝搬させるのに好適な主表面を設ける。インタ
ーデイジタル形電極アレイの形態の入力変換手段
２を上記主表面上に配置して、弾性表面波エネル
ギーを上記主表面における第１伝搬トラツク１１
に沿つて放射させるようにする。上記表面上には
入力変換アレイ２の片側に隣接して別のインター
デイジタル電極アレイの形態の出力変換手段３を
配置して、前記表面における第２伝搬トラツク１
２から弾性表面波エネルギーを受取るようにす
る。なお、第２伝搬トラツク１２は第１伝搬トラ
ツク１１に対して平行とするも、それに重ならな
いようにする。前記主表面上には反射性のマルチ
ストリツプカツプラ４の形態の電気的反射結合手
段は配置して、これにより入力変換アレイ２から
の弾性表面波エネルギーを第１トラツク１１を経
て受取ると共に、そのエネルギーの少なくとも一
部を弾性表面波エネルギーとして第２トラツク１
２を経て出力変換アレイ３の方へと逆方向に再放
射させるようにする。

反射性のマルチストリツプカプラ４は、入力伝
搬トラツク２１に交差配置される互いに平行な導
体ストリツプ７，７′から成る第１アレイ５と、
出力伝搬トラツク２２に交差配置される互いに平
行な導体ストリツプ８，８′から成る第２アレイ
６とを具えている。これらの各アレイ５，６は、
互いに隔離されて離間距離が交互に広くなつた
り、狭くなつたりする第１ストリツプ組７，８
と、第２ストリツプ組７′，８′とから成り、後者
のストリツプ７′，８′は周辺のブスバー９，１０
によつて電気的に相互接続する。第２組のストリ
ツプ７′，８′の内の一方のストリツプは、各アレ
イ５，６の第１組を成すストリツプ７，８の内の
互いに広く離間した各ストリツプ対１３の間に位
置させる。一方のアレイの第１組における広い離
間対１３を形成する各ストリツプ７は、対応する
相互接続ストリツプ１６を介して他方のアレイの
第１組における密に離間した対１４を形成する対
応するストリツプ８にそれぞれ接続する。各アレ
イ５，６の第２ストリツプ組を形成するストリツ
プ７′，８′を相互接続するブスバー９，１０は相
互接続するブスバー部分１５によつて一緒に接続
する。ストリツプ７，７′または８，８′は通常帯
域の中心周波数にてλ／３だけ均一に離間する。

本例ではインターデイジタル入力および出力ト
ランスデユーサアレイ２，３の双方をアポダイズ
すると共に、弾性表面伝搬方向に対し直角の方向
に上記アレイの寸法を適当な大きさとして、各ア
レイがヨーロツパ特許公開（EP−Ａ）第106384
号に記載されているように、そのアレイの中心の
伝搬軸線のまわりに対称の単一弾性表面波エネル
ギーモードだけを伝搬し、且つ変換するようにす
る。従つて、例えば基板１としてニオブ酸塩リチ
ウムのＹカツトＺ伝搬単結晶ウエハを用いる場合
には、各ストリツプを接続するブスバー１７，１
７′，１８，１８′の幅を含むトランスデユーサア
レイ２，３の全体幅を約3λ_cとする。なお、ここ
にλ_cはフイルタの基本通過帯域の中心周波数f_cに
おける弾性表面波の波長である。

前記単一波エネルギーモードの特性とは、アレ
イを伝搬する弾性表面波エネルギーがブスバー内
に閉じ込められるのではなくて、そのエネルギー
が伝搬方向に対して平行にアレイの両側に或る距
離にわたつて或る大きさを有するエネルギーの流
れとして延在することであり、アレイの両側にお
ける上記弾性表面波エネルギーの大きさはブスバ
ー１７，１７′，１８，１８′の外側縁部を越して
からは指数関数的に減衰する。これがため、トラ
ンスデユーサアレイ２，３に関する弾性表面波エ
ネルギーの伝搬トラツク１１および１２をトラン
スデユーサアレイの全体の幅の約２倍の大きさと
して示してある。

導波弾性表面波エネルギーモードは、ブスバー
１７，１７′，１８，１８′の外側境界部、または
その付近にて反射された同期交差弾性表面波の波
頭が重畳されることにより導波管理理論に従つて
トランスデユーサアレイに沿つて伝搬する。この
結果、導波弾性表面波モードは通常の幅広のアパ
ーチヤアレイにおける普通の弾性表面波の伝搬速
度よりも大きい位相速度を有するアレイ、即ち弾
性表面波エネルギーのアパーチヤが約10λよりも
大きく、通常20λ〜100λのアレイに沿つて伝搬す
るようになる。しかし、導波モードでは弾性表面
波エネルギーは、普通の（自由伝搬）速度よりも
低い群速度でアレイに走行するだけである。第１
図のインターデイジタルアレイ２，３は中心から
中心までの離間距離がλ_c／４で、電極幅がλ_c／８
の２電極を慣例の如く用いるが、電極幅および電
極の離間間隔は導波モードの位相速度に対応させ
る必要があり、ここにλcは位相パターンの波長
とする。

これに対し、トランスデユーサアレイ２，３の
アポダイゼーシヨンはフイルタのインパルス応
答、従つて装置に流れる弾性表面波エネルギーの
メカニズムに関連させる必要がある。これがた
め、互いに逆に成極する隣接電極が互いに重なり
合う量は導波モードの群速度にならつてアレイに
沿つて分布させる必要がある。

入力トランスデユーサ２から反射形カプラ４の
第１ストリツプアレイ５まで弾性表面波エネルギ
ーを最大限に転送し続けるためには、電極７およ
び７′の長さおよび周辺ブスバー９の幅を適当な
長さとし、かつこれらを適切に配置して、トラン
スデユーサアレイ２における単一対称導波モード
が第１アレイ５によつて伝搬し続け、即ちストリ
ツプ７，７′がλ_c／３の均一中心離間間隔を有す
るようにする必要があり、ここにλ_cは通過帯域の
中心周波数f_cにおける位相パターンの波長とす
る。ヨーロツパ特許公開（EP−Ａ）第98661号に
記載されている形態の反射形マルチストリツプカ
プラではアレイ２を経る弾性表面波エネルギーに
対する伝搬路の内側縁部を輪郭がはつきりしてい
ないため、弾性表面波エネルギーが相互接続領域
内に広がり、従つて挿入損が大きくなる傾向にあ
り、しかもこれと同様なことが第２ストリツプア
レイ６に沿つて出力トランスデユーサ３の方へと
再放射される弾性表面波エネルギーが伝搬される
場合にも言える。

本発明ではこの難点を、反射形マルチストリツ
プカプラ４の各電極アレイ５，６の内側境界に沿
つて電気的不連続境界規定およびローデイングス
トリツプ２３を設けて、それぞれ対応する外側境
界に沿つて延在するブスバー９，１０によつて得
られる表面ローデイングにほぼ対応する表面波ロ
ーデイングを行うことにより大幅に軽減する。第
１図に示しかつ第２図に拡大して示した実施例で
は電気的不連続境界規定およびローデイングスト
リツプ２３が、隣接相互接続ストリツプ１６の間
に被着した金属パターンの電気的分離導体区域２
４を直線状に配置したものを、隣接相互接続スト
リツプ自体のストリツプ電極に直接隣接する部分
と共に具える。

分離導体区域２４および隣接ストリツプ１６の
間の間隙は、通常の製造過程を使用する場合実際
上分離導体区域および隣接ストリツプ間において
一貫して高度の電気的分離を達成できる最小間隔
とする必要がある。かかる態様において形成され
た不連続ストリツプにより、ブスバー９，１０と
ほぼ同じローデイング効果を得ることができ、従
つて対応する伝搬トラツク２１，２２に関通する
弾性表面波導波構体を形成する電極アレイ５，６
の内側境界を一層明瞭に規定することができる。

相互接続ストリツプ１６の中心はストリツプ
７，８の中心間間隔とは異なる距離で離間し、相
互接続ストリツプ１６をストリツプ７，８にそれ
ぞれ適切に接続して、ストリツプ７から対応する
ストリツプ１６を介してストリツプ８へ流れる電
気エネルギーがストリツプ１６の占有する中間区
域において発射弾性表面波エネルギーに放散する
量ができるだけ小さくなるようにする。また、ス
トリツプ１６をヨーロツパ特許公開（EP−Ａ）−
第103932号に記載されたのと同様の態様で、トラ
ツク２１，２２における伝搬方向に直角な方向に
対し傾斜させて、かなりの量の弾性表面波エネル
ギーが直接入力トラツク２１から、ほぼλ_c／２だ
け離間された相互接続ストリツプ１６からの弾性
波反射により出力トラツク２２へ転送されるのを
防止し、このようにしないと、転送されるエネル
ギーはカプラを介して発生する信号と同じインパ
ルス遅延特性を有さず、弾性表面波装置の伝達特
性に不所望な影響を及ぼす。

分離された導対区域２４およびストリツプ１６
の隣接部の間の境界も対応トラツク２１，２２に
おける電極方向を横切る方向に対し傾斜させて、
トラツクに沿つた直接弾性波反射の影響を低減す
るようにすると好適である。

第５図は反射形カプラ４の各電極アレイ５，６
の内側境界に沿つた電気的不連続境界規定および
ローデイングストリツプ２３を得るための本発明
において使用できる導体パターンの他の例を詳細
に示す。本例では分離導体区域は使用せず、スト
リツプ電極７，７′および相互接続ストリツプ１
６を構成する金属皮膜の面積を局部的に拡張して
内側境界に沿つて、外部ブスバー９とほぼ同一の
弾性波ローデイングを呈する電気的不連続ストリ
ツプ状区域を形成するようにする。しかしこの構
成は、外部ブスバー９に接続されたストリツプ７
におけ電位が内側境界に沿つて一層明確に規定さ
れるが、拡張された区域の隣接境界においてひず
んだ電界を発生する傾向があり、第２図の構成に
比べ不十分である。

第４図は第２図の構成の変形構成によつて外部
ブスバー９の電位を内側境界に導入できるように
した例を示し、本例では電極７′は電気的不連続
境界規定およびローデイングストリツプ２３まで
拡張するが、分離金属島部２４′により隣接相互
接続ストリツプ１６から分離するようにする。

カプラ４の入力電極アレイ５から出力電極アレ
イ６への弾性表面波エネルギーの反射伝達を最大
にするため各電極アレイは上記のごとく切断され
たニオブ酸塩リチウムにおいて約100λの長さを
有するようにする必要があり、アポダイズトラン
ジスジユーサアレイ２，３も同様な長さにするこ
とを理解する必要がある。従つて第１図における
対応する電極パターンの小さい部分しか示すこと
ができない。更に、基板１は通常、第１図に示し
たものより弾性表面波装置電極パターンに対し一
層拡張され、実際上、取扱および装着に好適なよ
う構成配置され、かつ弾性表面波装置電極パター
ンが完成されたウエハの表面の小さい部分しか占
めることができない場合、特に200MHz程度以上
の高い周波数での作動に当たり相当な破損可能性
を伴うことなく使用するに好適なよう構成配置さ
れる。

通常の弾性表面波技術に従つてワツクスの如き
減衰媒体をウエハに表面の周縁に被着して、ウエ
ハの縁部から特に第１図に示したトランスデユー
サアレイ２，３の左および反射形カプラ４の右へ
の不所望な反射を減衰させるようにする。しかし
所望弾性表面波の通路におけるトラツク１１，１
２，２１，２２内には減衰媒体が全く存在しない
ようにするために注意を払う必要がある。

以上、単一対称導波モードの伝搬を使用する弾
性表面波装置につき説明してあり、この理由のた
め第１図は、この伝搬モードにおいてブスバーに
よつて形成される導波境界を十分超えて弾性表面
波エネルギーが拡がることに起因して入力および
出力電極アレイ２および３が相当分離された構造
を示す。しかし本発明は約6λ_cより大きく通常
20λ_c乃至100λ_cの最大電極オーバーラツプを有す
る普通の広いアパーチヤを使用する弾性表面波装
置に適用して、反射形カプラの入力および出力ト
ラツクの内側の境界の幅が入力および出力トラン
スデユーサに関連する有効伝搬トラツクの対応す
る幅に整合するよう反射形カプラの入力および出
力トラツクの内側境界を規定することもできる。
この場合金属ローデイングパターンにより、境界
における電界条件を一層精密に規定され、かつ電
極アレイ５および６に沿つて伝搬する弾性表面波
に応動しないよう離間される相互接続ストリツプ
１６および電極７，７′，８，８′のアレイ５，６
の間に一層急激な遷移を実現することができる。

本発明によりカプラの電極５，６の内側境界の
規定が改善されたことから生じる挿入損の低減
は、入力トランスデユーサの両端から放射された
弾性表面波エネルギーが、上に述べた種類の反射
形マルチストリツプカプラをそれぞれ介して、変
換動作を強化する関係で、出力トランスデユーサ
の対応端に結合されるいわゆる低損失弾性表面波
装置にも有利に適用することができる。かかる弾
性表面波装置は受信機および増幅器の入力段にお
いて低信号レベルで使用して信号対雑音比を改善
することが提案されており、また、例えばセル方
式ラジオ用に、所定実効放射電力に対する装置寸
法および電力消費を最小にするためできるだけ多
量の送信機電力をアンテナへ転送する必要がある
自動車用又は形態用送受信機のアンテナ給電回路
におけるダイプレクサとして使用することも提案
されている。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による弾性表面波装置の一例を
示す平面図；第２図は第１図の一部分を拡大して
示す平面図；第３図は第１図の装置の変形例の一
部分を拡大して示す平面図；第４図は第１図の装
置のさらに他の変形例の一部分を拡大して示す平
面図である。 １……圧電基板、２……入力変換手段、３……
出力変換手段、４……マルチストリツプカプラ、
５……第１アレイ、６……第２アレイ、７，７′
……導体ストリツプ、８，８′……導体ストリツ
プ、９，１０，１７，１７′，１８，１８′……ブ
スバー、１１……第１伝搬トラツク、１２……第
２伝搬トラツク、１５……ブスバー接続部分、１
６……相互接続ストリツプ、２１……入力伝搬ト
ラツク、２２……出力伝搬トラツク、２３……電
気的不連続境界規定およびローデイングストリツ
プ、２４……分離導体区域、２４′……分離金属
島領域。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 弾性表面波を表面で伝搬し得る圧電基板と、
   第１伝搬トラツクに沿い前記表面で弾性表面波エ
   ネルギーを放射する入力変換手段と、該入力変換
   手段の一方の側に隣接し、第２伝搬トラツクか
   ら、前記第１伝搬トラツクにほぼ平行且つこれと
   重り合わない表面で弾性表面波を受ける出力変換
   手段と、前記第１伝搬トラツクの入力変換手段か
   ら弾性表面波エネルギーを受けてこのエネルギー
   の少なくとも一部分を弾性表面波エネルギーとし
   て前記第２伝搬トラツクに向かつて再び放射する
   電気的反射形マルチストリツプ結合手段とを具
   え、前記第１および第２変換手段（入出力トラン
   スデユーサ）は、各々が平行なストリツプ電極を
   有し、これらストリツプ電極を一対の導電性スト
   リツプの関連する一方または他方のストリツプに
   夫々接続し、これら一対の導電性ストリツプがイ
   ンターデイジタル形電極アレイの関連する側面に
   沿つて延在するブスバーを夫々形成する個別のイ
   ンターデイジタル形電極アレイにより構成し、前
   記反射形マルチストリツプ結合手段は、前記第１
   および第２トラツクを夫々横切つて配設された互
   に平行な導電性ストリツプの第１および第２アレ
   イを具え、各アレイは第１組の互に絶縁された交
   互に広く且つ狭く離間されたストリツプと、第２
   組の電気的に相互接続されたストリツプとで構成
   し、この第２組のストリツプは第１組を形成する
   １つおきに広く離間されたストリツプ対間に第２
   組から少なくとも１個のストリツプを位置させる
   ように配置し、一方のアレイの第１組の広く離間
   した対を形成する各ストリツプは他方のアレイの
   第１組の狭く離間した対を形成する関連のストリ
   ツプに夫々接続し、両アレイのストリツプの第２
   組は相互接続し；反射形マルチストリツプ結合手
   段の各アレイの第２組を構成するストリツプをア
   レイの他の境界に沿つて延在する各ブスバーによ
   つて相互接続するようにした弾性表面波帯域通過
   フイルタ装置において、電気的に不連続な境界規
   定ストリツプを反射形マルチストリツプカプラの
   各アレイの内側境界に沿つて設けてこのアレイに
   沿つて伝搬する弾性表面波エネルギーの閉込め効
   果が他の境界に沿つて延在するブスバーによる閉
   込め効果にほぼ一致する内側境界を形成し得るよ
   うにしたことを特徴とする弾性表面波帯域通過フ
   イルタ装置。 ２ 各々の電気的に不連続な境界規定ストリツプ
   は、２つのアレイの各第１組から関連するストリ
   ツプを相互接続する相互接続導体の関連する隣接
   部分と交互に直線状に分布する複数個の個別の導
   電性島領域を具えることを特徴とする特許請求の
   範囲第１項記載の弾性表面波帯域通過フイルタ装
   置。 ３ 島領域を、電気的に分離された金属層の部分
   としたことを特徴とする特許請求の範囲第２項記
   載の弾性表面波帯域通過フイルタ装置。 ４ アレイの第２組を形成する導電性ストリツプ
   を内側境界に向かつて延在させて関連する電気的
   に不連続な境界規定ストリツプの一部分を形成す
   るようにしたことを特徴とする特許請求の範囲第
   ２項または第３項に記載の弾性表面波帯域通過フ
   イルタ装置。 ５ 入出力変換手段を形成する電極アレイと、反
   射形マルチストリツプカプラとを、単一対称弾性
   表面波導波エネルギー伝搬モードを伝搬および変
   換するように配設したことを特徴とする特許請求
   の範囲第１項乃至第４項の何れかに記載の弾性表
   面波帯域通過フイルタ装置。