JPH0566378A - Optical device - Google Patents
Optical deviceInfo
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- JPH0566378A JPH0566378A JP3227871A JP22787191A JPH0566378A JP H0566378 A JPH0566378 A JP H0566378A JP 3227871 A JP3227871 A JP 3227871A JP 22787191 A JP22787191 A JP 22787191A JP H0566378 A JPH0566378 A JP H0566378A
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- crystal element
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- Liquid Crystal (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、液晶素子を応用した光
学装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical device to which a liquid crystal element is applied.
【０００２】[0002]
【従来の技術】物体形状あるいはその変化を計測する手
段として、ホログラフィ干渉計が広く利用されてきた。
ホログラフィ干渉計には、基準形状あるいは変形前の物
体形状を記録、再生する手段が必要であり、通常ホログ
ラムが用いられている。2. Description of the Related Art Holographic interferometers have been widely used as means for measuring the shape of an object or its change.
The holographic interferometer requires a means for recording and reproducing the reference shape or the object shape before deformation, and usually a hologram is used.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかし、計測の対象が
変わるたびにホログラムを作り直さなければならず、こ
のために多くの工数を費やしていた。However, the hologram has to be recreated every time the object of measurement changes, and a lot of man-hours are spent for this purpose.
【０００４】本発明はこのような問題点を解決するもの
であって、その目的は、簡便な手段により物体形状を高
精度に計測できる汎用的な光学装置を提供するところに
ある。The present invention solves such a problem, and an object thereof is to provide a general-purpose optical device capable of measuring an object shape with high accuracy by a simple means.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明の第１の光学装置
は、コヒーレント光源と、干渉計と、前記干渉計で得ら
れた干渉縞を入力する撮像素子と、前記干渉計の参照波
光路または物体波光路のどちらか一方に配置された、参
照波面と物体波面の間に位相差を与えるための液晶素子
と、前記干渉計の参照波面と物体波面が交叉する空間に
配置された、干渉縞を表示するための液晶素子と、前記
複数の液晶素子のアドレス手段と、前記撮像素子と前記
干渉縞を表示するため液晶素子を接続する回路を備えて
成ることを特徴とする。A first optical device of the present invention is a coherent light source, an interferometer, an image pickup device for inputting interference fringes obtained by the interferometer, and a reference wave optical path of the interferometer. Alternatively, a liquid crystal element for providing a phase difference between the reference wavefront and the object wavefront, which is disposed in either one of the object wave optical paths, and the interference disposed in the space where the reference wavefront and the object wavefront of the interferometer intersect. It is characterized by comprising a liquid crystal element for displaying stripes, addressing means for the plurality of liquid crystal elements, and a circuit for connecting the image pickup element and the liquid crystal element for displaying the interference fringes.
【０００６】本発明の第２の光学装置は、前記第１の光
学装置において、複数の液晶素子が、いずれも、光波の
位相のみを変調する液晶素子であることを特徴とする。A second optical device of the present invention is characterized in that, in the first optical device, each of the plurality of liquid crystal elements is a liquid crystal element that modulates only a phase of a light wave.
【０００７】本発明の第３の光学装置は、前記第１ない
し第２の光学装置において、干渉縞を出力するための液
晶素子がマトリクス駆動型液晶素子であることを特徴と
する。A third optical device of the present invention is characterized in that, in the first and second optical devices, the liquid crystal element for outputting interference fringes is a matrix drive type liquid crystal element.
【０００８】本発明の第４の光学装置は、前記第１ない
し第２の光学装置において、干渉縞を出力するための液
晶素子が光アドレス型液晶素子であることを特徴とす
る。A fourth optical device of the present invention is characterized in that, in the first and second optical devices, the liquid crystal element for outputting interference fringes is a photo-addressable liquid crystal element.
【０００９】[0009]
【実施例】以下では実施例にもとづき、本発明の内容に
ついて詳しく説明する。EXAMPLES The contents of the present invention will be described in detail below based on examples.
【００１０】（実施例１）図１に本実施例の光学装置の
構成を示す。レーザ光源１００とマイケルソン型干渉計
（図中ａは参照波、ｂは物体波）により、物体形状の特
徴を有する干渉縞を、液晶素子（Ａ）１０４を介してカ
メラ１０８の撮像面上に形成する。参照波面にチルトを
つけるには、液晶素子（Ｂ）１０５を回転させる。カメ
ラ１０８の出力は、Ａ／Ｄ変換され、コンピュータ１０
９へ取り込まれる。この間、液晶素子（Ａ）１０４およ
び液晶素子（Ｂ）１０５にはバイアス電圧のみを印加し
て、素子を通過する光波に位相変調がかからないように
する。(Embodiment 1) FIG. 1 shows the configuration of an optical device of this embodiment. The laser light source 100 and the Michelson type interferometer (a in the drawing is a reference wave and b is an object wave) cause interference fringes having an object shape characteristic to be formed on the image pickup surface of the camera 108 via the liquid crystal element (A) 104. Form. In order to tilt the reference wavefront, the liquid crystal element (B) 105 is rotated. The output of the camera 108 is A / D converted, and the computer 10
9 is taken in. During this time, only the bias voltage is applied to the liquid crystal element (A) 104 and the liquid crystal element (B) 105 so that the light wave passing through the elements is not subjected to phase modulation.
【００１１】つぎに、コンピュータ１０９へ取り込まれ
た干渉縞情報を、駆動回路１１１を介して、液晶素子
（Ａ）１０４へ出力、表示する。表示された干渉縞の回
折効率を高めるために、液晶素子（Ａ）１０４の特性お
よび処理時間に配慮しながら、縞情報の量子化や画像処
理を行う。これで、物体形状の特徴を有するホログラム
を液晶素子（Ａ）１０４へ記録したことになる。物体が
変形すると物体波面の形も変化するので、ホログラムか
ら再生された変形前の物体波面と、変形後の物体波面の
あいだで干渉縞が得られる。この干渉縞を縞走査法（た
とえば、谷田貝豊彦：応用光学 光計測入門（丸善、１
９８８）、ｐ.１３１参照）で解析すると、物体の面外
変形量が求まる。縞走査法には、図１の液晶素子（Ｂ）
１０５を位相シフタとして用いる。図中の１１２は液晶
素子（Ｂ）１０５の駆動回路である。 図１の構成で、
液晶素子（Ａ）１０４とカメラ１０８の撮像面は、レン
ズ１０６を介して互いに共役な関係にある。また、不要
な回折波を除くために、レンズ１０６の焦点近傍に、空
間フィルタ１０７が配置されている。図中１０１、１０
２は、それぞれビームエクスパンダ、コリメートレンズ
である。１０３は、波面を振幅分割するために用いたハ
ーフミラーである。１１０はＴＶモニタであり、物体の
変形をあらわす干渉縞を実時間で表示する。Next, the interference fringe information fetched by the computer 109 is output to and displayed on the liquid crystal element (A) 104 via the drive circuit 111. In order to improve the diffraction efficiency of the displayed interference fringes, the fringe information is quantized and the image processing is performed while considering the characteristics of the liquid crystal element (A) 104 and the processing time. Thus, the hologram having the object shape feature is recorded in the liquid crystal element (A) 104. Since the shape of the object wavefront changes when the object deforms, interference fringes are obtained between the object wavefront before deformation reconstructed from the hologram and the object wavefront after deformation. The fringe scanning method is applied to this interference fringe (for example, Toyohiko Yatagai: Introduction to Applied Optical Measurement (Maruzen, 1
988), p.131), the amount of out-of-plane deformation of the object can be obtained. The fringe scanning method uses the liquid crystal element (B) of FIG.
105 is used as a phase shifter. Reference numeral 112 in the figure denotes a drive circuit for the liquid crystal element (B) 105. With the configuration of FIG.
The liquid crystal element (A) 104 and the imaging surface of the camera 108 are in a mutually conjugate relationship via the lens 106. Further, a spatial filter 107 is arranged near the focus of the lens 106 in order to remove unnecessary diffracted waves. 101, 10 in the figure
Reference numerals 2 are a beam expander and a collimating lens, respectively. Reference numeral 103 is a half mirror used for amplitude division of the wavefront. 110 is a TV monitor, which displays the interference fringes representing the deformation of the object in real time.
【００１２】本実施例の液晶素子（Ａ）１０４には、マ
トリクス駆動型液晶素子を用いた。この液晶素子は、各
画素にＴＦＴ（薄膜トランジスタ）素子を備え、画素間
のクロストークが小さく、かつ充分な階調性を備えてい
る。液晶分子の初期配向はホモジニアスであり、２π以
上の連続的な位相変調が可能である（第５１回応用物理
学会講演予稿集２６ａ−Ｈ−１０参照）。他方、液晶素
子（Ｂ）１０５にはベタ電極構造の素子を用いた。液晶
素子（Ａ）１０４と同じく、液晶分子の初期配向はホモ
ジニアスであり、２π以上の連続的かつ線形的な位相変
調が可能である。液晶素子（Ｂ）１０５は、参照波が入
射する面には反射防止膜が、反対側の面には反射増加膜
が付加されている。As the liquid crystal element (A) 104 of this embodiment, a matrix drive type liquid crystal element is used. This liquid crystal element includes a TFT (thin film transistor) element in each pixel, has small crosstalk between pixels, and has sufficient gradation. The initial alignment of the liquid crystal molecules is homogeneous, and continuous phase modulation of 2π or more is possible (refer to the 51st Proceedings of the Applied Physics Society 26a-H-10). On the other hand, as the liquid crystal element (B) 105, an element having a solid electrode structure was used. Similar to the liquid crystal element (A) 104, the initial alignment of liquid crystal molecules is homogeneous, and continuous and linear phase modulation of 2π or more is possible. In the liquid crystal element (B) 105, an antireflection film is added to the surface on which the reference wave is incident, and a reflection increasing film is added to the opposite surface.
【００１３】本実施例によれば、変形前の物体形状を参
照波面として記録する手段に、液晶素子を用いることに
より、参照波面データを変更するだけで不特定の物体の
形状あるいは変形を計測できるという新たな効果が生ま
れる。すなはち、液晶素子のプログラム自在性を活用し
た、汎用性のある装置を実現できる。According to the present embodiment, by using a liquid crystal element as a means for recording the object shape before deformation as the reference wavefront, the shape or deformation of an unspecified object can be measured only by changing the reference wavefront data. A new effect is born. That is, it is possible to realize a versatile device that utilizes the programmability of the liquid crystal element.
【００１４】（実施例２）図２に本実施例の光学装置の
構成を示す。この構成の特徴は、変形前の物体形状をホ
ログラム記録する手段として、光アドレス型液晶素子を
用いた点にある。物体の変形をあらわす干渉縞を発生さ
せる方法、ならびに、この干渉縞の解析の方法は、実施
例１の場合と同じである。(Embodiment 2) FIG. 2 shows the configuration of the optical device of this embodiment. The feature of this configuration is that an optically addressable liquid crystal element is used as a means for hologram recording the object shape before deformation. The method of generating the interference fringes representing the deformation of the object and the method of analyzing the interference fringes are the same as those in the first embodiment.
【００１５】本実施例の光アドレス型液晶素子２０１
は、ネマティック液晶をホモジニアス配向したものであ
り、実施例１で用いたマトリクス駆動型液晶素子と同様
に、連続的な位相変調を行う。光アドレス型液晶素子２
０１は、５０本／mm以上の空間分解能をもっている。こ
の液晶素子への信号のアドレスは、信号発生器２０３で
行う。信号発生器２０３はレーザスキャニング機構を備
え、カメラ１０８の出力からＡ／Ｄ変換、画像処理して
得られた２次元データを液晶素子２０１へ書き込む。な
お、２次元データを液晶素子２０１へ書き込む手段とし
て、ＣＲＴ表示体や液晶表示体を用いることもできる。Photo-addressable liquid crystal element 201 of this embodiment
Is a nematic liquid crystal that is homogeneously aligned, and performs continuous phase modulation similarly to the matrix drive type liquid crystal element used in the first embodiment. Photo-addressable liquid crystal element 2
01 has a spatial resolution of 50 lines / mm or more. A signal generator 203 addresses a signal to the liquid crystal element. The signal generator 203 has a laser scanning mechanism, and writes the two-dimensional data obtained by A / D conversion and image processing of the output of the camera 108 to the liquid crystal element 201. A CRT display body or a liquid crystal display body can be used as a means for writing the two-dimensional data into the liquid crystal element 201.
【００１６】本実施例によれば、光アドレス型液晶素子
を用いることによって、参照波面が忠実に再生され、
画素配列に起因する高次回折波が発生しなくなる。こ
れらの理由により、実施例１に比べて計測精度が向上す
る。According to this embodiment, the reference wavefront is reproduced faithfully by using the photo-addressable liquid crystal element.
Higher-order diffracted waves due to the pixel arrangement are not generated. For these reasons, the measurement accuracy is improved compared to the first embodiment.
【００１７】（実施例３）図３に本実施例の光学装置の
構成を示す。レーザ光源１００とフィゾー型干渉計によ
り、物体形状の特徴を有する干渉縞をカメラの撮像面上
に形成する。参照波面にチルトをつけるには、液晶素子
（Ｂ）３０４を回転させる。カメラ１０８の出力は、Ａ
／Ｄ変換され、コンピュータ１０９へ取り込まれる。こ
の間、液晶素子（Ａ）１０４と液晶素子（Ｂ）３０４に
はバイアス電圧のみを印加して、素子を通過する光波に
位相変調がかからないようにする。図３の構成で、液晶
素子（Ａ）１０４とカメラ１０８の撮像面は、レンズ１
０６を介して互いに共役な関係にある。また、不要な回
折波を除くために、レンズ１０６の焦点近傍に、空間フ
ィルタ１０７が配置されている。(Embodiment 3) FIG. 3 shows the configuration of an optical device of this embodiment. The laser light source 100 and the Fizeau interferometer form interference fringes having an object shape feature on the imaging surface of the camera. To tilt the reference wavefront, the liquid crystal element (B) 304 is rotated. The output of the camera 108 is A
/ D converted and taken into the computer 109. During this time, only the bias voltage is applied to the liquid crystal element (A) 104 and the liquid crystal element (B) 304 so that the light wave passing through the elements is not phase-modulated. In the configuration of FIG. 3, the liquid crystal element (A) 104 and the imaging surface of the camera 108 are the lens 1
It is in a mutually conjugate relationship via 06. Further, a spatial filter 107 is arranged near the focus of the lens 106 in order to remove unnecessary diffracted waves.
【００１８】本実施例の液晶素子（Ａ）１０４ならびに
（Ｂ）３０４は、どちらも、施例１で使用したものと同
じである。液晶素子（Ａ）１０４と（Ｂ）３０４は、共
通の光軸上に配置されていて、レンズ３０１とレンズ３
０３で構成される共焦点結像系によって、互いに共役な
関係で結ばれている。この共焦点結像系の横倍率は目的
に合わせて、自由に選ぶことができる。レンズ３０１と
３０３の間には、空間フィルタ３０２を配置して、不要
な光波を除いている。物体の変形をあらわす干渉縞を発
生させる方法は、実施例１あるいは実施例２と同じであ
る。また、縞走査法で物体の変形量を算出する過程で
は、位相シフトを物体波面に与える点だけが実施例１あ
るいは実施例２と異なる。Both the liquid crystal elements (A) 104 and (B) 304 of this embodiment are the same as those used in the first embodiment. The liquid crystal elements (A) 104 and (B) 304 are arranged on a common optical axis, and the lens 301 and the lens 3 are arranged.
The confocal image forming system 03 is connected to each other in a conjugate relationship. The lateral magnification of this confocal imaging system can be freely selected according to the purpose. A spatial filter 302 is arranged between the lenses 301 and 303 to remove unnecessary light waves. The method of generating the interference fringes representing the deformation of the object is the same as in the first or second embodiment. Further, the process of calculating the deformation amount of the object by the fringe scanning method is different from the first or second embodiment only in that a phase shift is given to the object wavefront.
【００１９】本実施例によれば、共通光路型の光学配置
を採用することによって、空気ゆらぎ等の外乱に影響さ
れにくくなるため、実施例１に比べて計測精度が一段と
向上する。According to the present embodiment, by adopting the common optical path type optical arrangement, it is less likely to be affected by disturbance such as air fluctuation, so that the measurement accuracy is further improved as compared with the first embodiment.
【００２０】（実施例４）図４に本実施例の光学装置の
構成を示す。この構成の特徴は、変形前の物体形状のホ
ログラムを記録する手段として、光アドレス型液晶素子
を用いた点にある。(Embodiment 4) FIG. 4 shows the configuration of the optical device of this embodiment. The feature of this configuration is that an optically addressable liquid crystal element is used as a means for recording the hologram of the object shape before deformation.
【００２１】本実施例の液晶素子（Ａ）２０３は、実施
例２で使用したものと同じである。他方、液晶素子
（Ｂ）３０４は、実施例３で使用したものと同じであ
る。液晶素子（Ａ）２０３と液晶素子（Ｂ）３０４が共
焦点結像系によって互いに共役な関係で結ばれている点
も、実施例３の構成と同じである。この他の構成につい
ても、液晶素子（Ａ）２０３のアドレス手段が異なる点
をのぞいては実施例３の構成と共通である。The liquid crystal element (A) 203 of this embodiment is the same as that used in the second embodiment. On the other hand, the liquid crystal element (B) 304 is the same as that used in Example 3. The point that the liquid crystal element (A) 203 and the liquid crystal element (B) 304 are connected by a confocal imaging system in a mutually conjugate relationship is also the same as the configuration of the third embodiment. Other configurations are also the same as the configurations of the third embodiment except that the address means of the liquid crystal element (A) 203 is different.
【００２２】物体の変形をあらわす干渉縞を発生させる
方法は、実施例１ないし実施例３の場合と同じである。
また、縞走査法で物体の変形量を算出する過程も、実施
例３と同じである。The method of generating the interference fringes representing the deformation of the object is the same as in the first to third embodiments.
The process of calculating the deformation amount of the object by the stripe scanning method is also the same as in the third embodiment.
【００２３】本実施例によれば、共通光路型の干渉計を
採用することと、光アドレス型液晶素子を用いることに
よって、外乱に影響されにくくなり、参照波面が忠
実に再生され、画素配列に起因する高次回折波が発生
しなくなる。これらの理由により、実施例１ないし実施
例３に比べて計測精度が一段と向上する。According to the present embodiment, by adopting the common optical path type interferometer and using the photo-addressable liquid crystal element, it becomes difficult to be affected by disturbance, the reference wave front is reproduced faithfully, and the pixel array is formed. Higher-order diffracted waves due to this are not generated. For these reasons, the measurement accuracy is further improved as compared with the first to third embodiments.
【００２４】[0024]
【発明の効果】上記の実施例では、本発明を物体の変形
の計測へ応用した時の効果について述べてきた。この他
にも、参照物体に対する被験物体の形状誤差を計測する
用途でも、本発明は大きな効果を示す。The above embodiments have described the effects when the present invention is applied to the measurement of the deformation of an object. In addition to this, the present invention also shows a great effect in the application of measuring the shape error of the test object with respect to the reference object.
【００２５】本発明によれば、液晶素子のプログラム自
在性を活用して、不特定の物体の形状あるいは変形を容
易に計測することができる。本発明の光学装置は、たと
えば部品製造現場におけるオンマシン計測の手段とし
て、幅広く利用できる。According to the present invention, it is possible to easily measure the shape or deformation of an unspecified object by utilizing the programmability of the liquid crystal element. The optical device of the present invention can be widely used, for example, as a means for on-machine measurement at a component manufacturing site.
【図１】 本発明の実施例１の構成を示す平面図であ
る。FIG. 1 is a plan view showing a configuration of a first embodiment of the present invention.
【図２】 本発明の実施例２の構成を示す平面図であ
る。FIG. 2 is a plan view showing a configuration of a second embodiment of the present invention.
【図３】 本発明の実施例３の構成を示す平面図であ
る。FIG. 3 is a plan view showing a configuration of a third embodiment of the present invention.
【図４】 本発明の実施例４の構成を示す平面図であ
る。FIG. 4 is a plan view showing a configuration of a fourth embodiment of the present invention.
１００・・・・・・レーザ光源 １０１・・・・・・ビームエクスパンダ １０２・・・・・・コリメートレンズ １０３・・・・・・ハーフミラー １０４・・・・・・液晶素子（Ａ） １０５・・・・・・液晶素子（Ｂ） １０６・・・・・・レンズ １０７・・・・・・空間フィルタ １０８・・・・・・カメラ １０９・・・・・・コンピュータ １１０・・・・・・ＴＶモニタ １１１・・・・・・液晶素子（Ａ）の駆動回路 １１２・・・・・・液晶素子（Ｂ）の駆動回路 １１３・・・・・・物体表面 ２０１・・・・・・液晶素子（Ａ） ２０２・・・・・・ハーフミラー ２０３・・・・・・液晶素子（Ａ）の信号発生器 ３０１・・・・・・レンズ ３０２・・・・・・空間フィルタ ３０３・・・・・・レンズ ３０４・・・・・・液晶素子（Ｂ） ３０５・・・・・・ミラー ４０１・・・・・・ハーフミラー Laser source 101 Beam expander 102 Collimator lens 103 Half mirror 104 Liquid crystal element (A) 105 Liquid crystal element (B) 106 Lens 107 Spatial filter 108 Camera 109 Computer 110 · TV monitor 111 ··· liquid crystal element (A) drive circuit 112 ··· liquid crystal element (B) drive circuit 113 ··· object surface 201 ··· liquid crystal Element (A) 202 ... Half mirror 203. Signal generator of liquid crystal element (A) 301 .. Lens 302 .. Spatial filter 303 ..・ ・ ・ Lens 304 ・ ・ ・ ・ ・ ・ Liquid crystal element (B 305 ...... mirror 401 ...... half mirror
Claims (4)
る技術に関し、コヒーレント光源と、干渉計と、前記干
渉計で得られた干渉縞を入力する撮像素子と、前記干渉
計の参照波光路または物体波光路のどちらか一方に配置
された、参照波面と物体波面の間に位相差を与えるため
の液晶素子と、前記干渉計の参照波面と物体波面が交叉
する空間に配置された、干渉縞を表示するための液晶素
子と、前記複数の液晶素子のアドレス手段と、前記撮像
素子と前記干渉縞を表示するため液晶素子を接続する回
路を備えて成ることを特徴とする光学装置。1. A technique for measuring an object shape or a change in an object shape, comprising a coherent light source, an interferometer, an image sensor for inputting interference fringes obtained by the interferometer, and a reference wave optical path of the interferometer. A liquid crystal element for providing a phase difference between the reference wavefront and the object wavefront, which is arranged in either one of the object wave optical paths, and interference fringes arranged in a space where the reference wavefront and the object wavefront of the interferometer intersect. An optical device comprising: a liquid crystal element for displaying a liquid crystal display, addressing means for the plurality of liquid crystal elements, and a circuit connecting the liquid crystal element for displaying the image pickup element and the interference fringes.
位相のみを変調する液晶素子であることを特徴とする請
求項１に記載の光学装置。2. The optical device according to claim 1, wherein each of the plurality of liquid crystal elements is a liquid crystal element that modulates only a phase of a light wave.
マトリクス駆動型液晶素子であることを特徴とする請求
項１ないし２に記載の光学装置。3. The optical device according to claim 1, wherein the liquid crystal element for outputting the interference fringe is a matrix drive type liquid crystal element.
光アドレス型液晶素子であることを特徴とする請求項１
ないし２に記載の光学装置。4. The liquid crystal element for outputting the interference fringes is an optically addressed liquid crystal element.
The optical device according to any one of items 1 to 3.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3227871A JPH0566378A (en) | 1991-09-09 | 1991-09-09 | Optical device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3227871A JPH0566378A (en) | 1991-09-09 | 1991-09-09 | Optical device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0566378A true JPH0566378A (en) | 1993-03-19 |
Family
ID=16867660
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3227871A Pending JPH0566378A (en) | 1991-09-09 | 1991-09-09 | Optical device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0566378A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006153573A (en) * | 2004-11-26 | 2006-06-15 | Laserfront Technologies Inc | Interferometer |
| JP2010025922A (en) * | 2008-06-20 | 2010-02-04 | Nikon Corp | Interference device |
| US10344724B2 (en) | 2015-06-10 | 2019-07-09 | Denso Corporation | High-pressure pump |
-
1991
- 1991-09-09 JP JP3227871A patent/JPH0566378A/en active Pending
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