JPH05508916A

JPH05508916A - 超小型戦略角速度センサ

Info

Publication number: JPH05508916A
Application number: JP91511718A
Authority: JP
Inventors: ポーナ，ジョセフ・ジュニア
Original assignee: アライド―シグナル・インコーポレーテッド
Priority date: 1990-03-02
Filing date: 1991-02-26
Publication date: 1993-12-09
Anticipated expiration: 2010-05-31
Also published as: DE69102133T2; EP0517861B1; WO1991014153A2; IL97264A0; CA2073866A1; JPH0749961B2; DE69102133D1; WO1991014153A3; EP0517861A1; US5070289A; IL97264A

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】超小型軟略角速度センサ発明の前景本発明は、主として戦略用、すなわち、発射から目標までミサイルを慣性誘導するための自由度が２度の超小型流体支持角速度センサに関するものである。

ここで述べる目的用の角速度センサは小型、頑丈で、製造費用が低（なげればならな（１６例を示すために、自由度が２度の戦略角速度センサは、直径が約２゜５４ｃ■（１インチ）、長さが約３．１８ｃ■（１インチ４分の１）の２輪角速度情報を供給するための計器を必要とする。その計器は１秒間当たり３００度までの一定の角速度に対して設計せねばならな〜１゜センサの回転子軸受は、性能を低下すること無しに４０グラムの直線加速度を支持できなければならない。所期の目的を最も良く果たすために、センサの部品の数はできるだけ少な（なければならない。

本発明は、球状流体力学的流体軸受回転子構成装置と、永久磁石モータ／トルク発生機装置と、光学的検出構成装置とを有する超小型戦略角速度センサを提供することにより上記諸要求を達成するものである。この装置は各構成装置をサブアセンブリとして予め組み立て、試験し、最終組み立てのために保管しておくようなものである。このやり方は有利であると認識されている。

発明のＩ！要本発明は、厳しい環境に耐えることができる、自由度が２度の、簡単で、経済的な超小型角速度センサを提供するものである。このセンサは検出した角速度に対応する２軸アナログ出力を供給する。

球面状流体力学的流体軸受回転子構成装置は２つの部品、すなわち、回転子軸受と、反射面を有する円筒形の２［ｉ＋永久磁石とを含む。その磁石は光学的検出のための反射面となるとともに、トルク発生機とスピンモータの動作のため用いられる。

１つの永久磁石回転子と、センサスピンモータ巻線およびトルク発生機巻線を含む鉄無し固定子とが、モータ／トルク発生ｌｌ（磁気）＃ｌ構成装置主な構成部品である。

光学的検出構成装置は発光ダイオード（ＬＥＤ）光源と、光ビーム分割器と、レンズと、回転子磁石の反射面と、光学的象限検出器とを含む。

流体力学軸受と、スピンモータおよびトルク発生機と、光学的検出器とは、構成を簡単にし、部品の数を出来るだけ少な（して、組み立てが簡単で、コストが低く、本発明の所期の目的を満たす３つの独立した構成装置として構成される。

図面の簡単な説明図１は本発明のいくつかの構成装置を全体として示す線図的断面図である。

図２はスピンモータとトルク発生機構成装置を示す等角線間約表現である。

図３は光学的検出構成装置を示す等角線間約表現である。

図４はスピンモータおよびトルク発生機の電気的構成を示す電気的ブロック回路図である。

図５は流体力学的流体軸受回転子を示す線図的表現である。

図６は流体力学的流体軸受構成装置およびそれの流体の流れ特性を示す線図的表現である。

発明の詳細な説明まず図１では、本発明の超小型戦略角速度センサが部材２．４，５の内部に支持されている。部材２．４．５はセンサ用の排気され、気密封じされた適当なケースすなわちハウジングを構成する。

このセンサは３つの主な構成装置：流体力学的流体軸受構成装置６：スピンモータおよびトルク発生機構成装置！８および信号発生器または検出器構成装置１０を含む。

流体力学的流体軸受構成装置６は流体軸受のための流体力学的潤滑理論に従って構成され、そのためにと（に図５に示すように、番号１３により全体的に示されている外部らせん溝パターンを有する球状回転子１２を含む。図５によれば、溝パターン１３は複数のＶ形溝を含むことができる８本発明の好適な実施例においては、２３個のそのような溝（１つだけ示されている）が与えられた任意の緯度において約０．０８−履（０，００３インチ）以内で等しく隔てられる。溝の幅はテーパーをつけられ、溝は与えられた任意の緯度において約０６０８■ｍ（０゜００３インチ）以内の同じ長手方向幅を育する。溝の深さは約０．００４５７２−０．００５５８８ｎ＋（０，０００１８０−０，０Ｏ０２２０インｆ）　であり、約０．０００５０８ｍｍ（０，００００２０インｆ）ＱＬ内Ｔ”同ＵＲ＊で６る。

回転子１２は、回転すると、加圧ガス層を発生する。その加圧ガス層は、とくに図１とｒＩＩＪ６に示すように、回転子をそれのハウジング内で支持する。ハウジング１５は球状の空所１６を含む。したがって、述べた構造により、回転子１２がＸ検出軸と、Ｙ検出軸と、回転子スピン軸Ｚ（図６）を中心として自由に回転し、その結果として希望の自由度が２度の装置が得られるように、回転子１２は空所１６の内部で流体クッシＩンの上に支持される。その流体は適当なガスとすることができる。

なお図６には、ハウジング１５内の一致する球状空所１６内部で支持されている球状回転子１２の流体力学的特性が示されている。したがって、ガスが回転子のスピン軸に垂直な穴２０と、回転子の中および回転子の周囲を、矢印に示すように流れて所要の回転子支持を行う。

スピンモータおよびトルク発生ｔ！Ａ８は永久磁石２２（図１１図２．１ｍ３、図６）と、スピンモータの巻ｌＩ２４とトルク発生機の巻線２Ｂ（ｒＩ！Ｊｌ）を支持する鉄心無し固定子２３とを含む。

と（に図２を参照すると、磁石２２は２極の円筒形永久磁石であって、回転子Ｉ２の中心に装着される（図１）。反射面２１を有する磁石２２はトルク発生機巻線２６により囲まれる。その巻線はさらにモータ巻線２４により囲まれる。それらのモータ巻線２４は実際には４つの別々の巻線装置である。適当な磁気シールド２８がモータ巻線２４を囲む。

モータ固定子巻線２４の中に一対のホール素子３０１３２が埋め込まれる。ホール素子３０，３２は、後で明らかになるように、連続２相閉ル一プ動作のために、磁石２２の磁極の位置に関連する出力を発生する。後で図４を参照して詳しく説明するように、ホール素子からの処理された帰還信号によってフンミュテータ装置が駆動され、適切な回転子極性を与え、同期をとるために駆動信号を与える。その信号は適当に増幅され、回転子を指令された特定の速さまで加速して、その速さを維持するために必要な電力を供給する。

トルク発生機巻線２６は磁石２２と協働して回転子１２をハウジング１５の空所１６の内部の適切な位置に保持する。これは、検出構成装置１ｏからの出力信号を零にするために必要な適切な力を加える、磁石２２と巻線２６を含むトルク発生機装置によって行われる。それらの出力信号は磁石の位置についての情報を連続して供給し、ホール素子３０．３２は回転子ハウジングに対する転流角度を与える。

出力信号は、転流信号とともに、通常の帰還ループ４８（図４）によって処理されて、電流出力を前記トルク発生機へ供給する０回転子離石２２の回転子の位置を修正するために正味の希望トルクが供給されるように、希望の強さおよび希望のタイミングの軸線方向磁界を発生させるために、その電流出力の大きさと位相がトルク発生機装置へ加えられる。加えられた速度情報をＸ軸とＹ軸のおのおのについて決定するために、電流は通常のレゾルバ回路（別に示されていない）によって分解される。

図３をと（に参照すると、センサの入力軸を中心としてセンサヘ加えられた速度の結果としての回転子１２の相対的な歳差運動を検出するために検出器１ｏが用 ℃）られる。したがって、検出器１０は発光ダイオード（ＬＥＤ）電源３４と、光ビーム分割器３６と、レンズ３８と、回転子磁石２２の反射面２５と、光学的象限検出器４０とを含む。

光学的象限検出器４０は４セル光ダイオード検出器であって、光エネルギーに応答して比例電流出力を発生する。各象限からの電流は、通常の検出電子装置（図示せず）によって加え合わされ、差動増幅される。検出器にお−）では、磁石２２の反射面２５から反射された光が検出器４ｏの４つの象限の全てを等しく照明する。これは回転子１２がハウジング１５の空所１６の中央に位置させられているときに起きる。

零外れ、すなわち、センサの回転子が歳差運動を行っている時は、反射されたビームは４つの象限を差動的に照明する。したがって、ある象限はより多く照明され、反対側の象限はより少なく照明される。この結果として差動電気出力が発生される。その差動電気出力は通常の処理電子装置（図示せず）によって、回転子の歳差連動させられた角度位置に比例する直線出力信号へ変換される。後で説明するように、それらの出力信号は前記帰還ループによって利用される。共通の基板上の光学的象限４０の構造は、場合に応じて、２輪速度情報を供給し、湿度による感度の影響を自己補償する傾向がある。

光源３４と象限検出器４０を実直線上に位置させる必要がないように、ビーム分割Ｗ３６は反射光ビームを再び送る。ビーム分割１１３Ｂが無い時は、象限検出器４０の中央穴を必要とし、別の機構が設けられる。

ビーム分割器４０は、各動作ごとに、対角線インターフェイスにおけるビームの５０％を反射するように構成される。残りの５０％は反射なしに透過させられる０反射された光ビームを正しく集束させる為にレンズが用いられる。

次に図４を参照する。前記のように情報を供給するホール素子３ｏの出力はコンミュテータ４２へ加えられ、同様に前記情報を供給するホール素子３２の出力はコンミエテータ４４へ加えられる。ホール素子３２の出力はフェーズロックドループ４６へ加えられる。

フェーズロックドループ４６がらの出力と検出器１ｏからの出力は帰還ループ４８へ加えられる。その帰還ループは制御出力をコンミュテータ４２．４４へ加える。フンミエチータ４２の出力は、巻線２４と磁石２２を含む２相センサモータの相Ａを駆動するドライバ装置４９へ加えられる。コンミ、テーク４４の出力は、２相センサモータの相Ｂを駆動するドライバ装置５ｏへ加えられる。

このようにして、図４に示すように、センサモータの連続２つの位相閉鎖ループの動作に対する磁極位置情報を供給する。コンミュチータ４２．４４はホール素子からの処理された帰還信号によって駆動されて、駆動信号を切り替えて適切なモータ回転子極性を与え、および同期をとる。Ｉ［励信号は、場合に応じて、ドライバ装置４９．５０により増幅され請求められているパワーを供給する、すなわちモータ回転子を指令された速さまで加速し、その速さを維持する。

したがって、本発明についての以上の説明から、主として戦略的な用途のための自由度が２度の超小型流体軸受センサが得られたことがわかるであろう、このセンサは球状流体力学的流体軸受回転子と、永久磁石モータ／トルク発生機と、光学的検出器とを含み、それにより、本発明の所期の目的であるように、２軸遼度情報が小さいパッケージで供給される。前記球面状流体力学的流体軸受回転子は、２４．ＯＯＯＲＰＭの回転速度において前記４０ｇの加速度を維持する支持装置を提供する。前記パッケージングの結果として、部品の数が非常に少なくなり、そのために静的釣り合いおよび動的釣り合いの影響が減少する。これは望ましいことである。上記球状回転子装置は、いまや理解されたであろうように、性能を低下することなしに、厳しい衝撃レベルでも動作できるために必要な頑丈さを有する。

以上述べた本発明の説明を念頭において、発明の範囲を定義するために個々に添付の請求の範囲を参照する。

ＦＩＧ、　／雪１ζｉ超小型戦略角速度センサ主として戦略用に用いられる自由度が２度の超小型角速度センサが球状流体カ学的流体軸受回転子と、永久磁石モータ／トルク発生機と、光学的検出器とを含む。それらは全て２輪速度情報を小さいパッケージで供給するように構成される。

個々の構成要素はサブアセンブリとして予め組み立てることができ、最終組み立てのために個々に保管され、試験される。

補正書の写しく翻訳文）提出書（特許法Ｍ２Ｂ５条の８）１、特許出願の表示第ＰＣＴ／ＵＳ９１１０１３４４号２、発明の名称超小型戦略角速度センサ３、特許出願人住　所　アメリカ合衆国　０７９８２　ニューシャーシー州・モリスカウンテイｅモリス　タウンシップ・ビイオーボックス２２４５　アール・コロンビア　ロード　アンド　パークアヴエニュウ・（番地なし）名　称　アライド−シグナル・インコーホレーテッド代表者　ウオルシュ、ロバートーエイ国　籍　アメリカ合衆国４、代理人〒１００居　所　東京都千代田区永田町二丁目４番２号秀和溜池ビル８階山川国際特許事務所内１９９２年１月２３日、１９９２年３月４日８、ｔ＃付書類の目録（１）　補正書の写しく翻訳文）　１通超小型鞍略角速度センサ発明の前景本発明は、主として岐路用、すなわち、発射から目標までミサイルを慣性誘導するための自由度が２度の超小型流体支持角速度センサに関するものである。

ここで述べる目的用の角速度センサは小型、頑丈で、製造費用が低（なければならない。例を示すために、自由度が２度の戦略角速度センサは、直径が約２゜５４Ｃ−（１インチ）、長さが約３．１８ｃｍ（１インチ４分の１）である、２輪角達度情報を供給するための計器を必要とする。その計器は１秒間当たり３００ｆｔまでの一定の角速度に対して設計せねばならない。センサの回転子軸受は、性能を低下すること無しに４０グラムの直線加速度を支持できなければならない、所期の目的を最も良く果たすために、センサの部品の数はできるだけ少な（なければならない。

１９８６年５月１７日にダンカン他へ付与された米国特許第３．２５１．２３３号はここに開示する本発明に関連するようである。その特許は、球状回転子（３１）と、内部にその回転子を支持する球状の空所を有するハウジングとを備える自由度が２度の角速度センサを開示している（図２）。このハウジング空所の中に球状回転子を流体力学的に支持するための手段が設けられ、その手段は回転子を回転させるために、支持されている球状回転子と共に配置される。更に、その手段は互いに垂直な２本の出力軸を中心とする、角速度によるその回転子の位置を検出し、対応する出力信号を発生して「２輸出力」を供給するために、回転する支持されている球状回転子と共に配置される。その特許は閉ループジャイロスコープを明らかには開示していないが、そのようなジャイロスコープはこの技術において周知である。本発明は、後で明らかになる理由から、その特許に開示されている発明とは区別されることがわかる。

本発明は、球状流体力学的流体軸受回転子構成装置と、永久磁石モータ／トルク発生機部品と、光学的検出構成装置とを有する超小型戦略角速度センサを提供することにより上記諸要求を達成するものである。この装置は各構成装置をサブアセンブリとして予め組み立て、試験し、最終組み立てのために保管しておくようなものである。このやり方は有利であるとｖｌ識されている。

本発明は、厳しい環境に耐えることができる、自由度が２度の、簡単で、経済的な超小型角速度センサを提供するものである。このセンサは検出した角速度に対応する２軸アナログ出力を供給する。

球面状流体力学的流体軸受回転子構成装置は２つの部品、すなわち、回転子軸受と、反射面を有する円筒形の２極永久磁石とを含む、その磁石は光学的検出のための反射面となるとともにトルク発生機とスピンモータの動作のために用いられる。

１つの永久磁石回転子と、センサスピンモータ巻線およびトルク発生機巻線を含む鉄無し固定子とが、モータ／トルク発生機（磁気）構成装置の主な構成部品である。

したがって、本発明は、球状回転子と、その中で回転子が支持される一致する球状の空所を有するハウジングとを備える自由度が２度の角速度センサを提供するものである。一致するハウジング空所の内部に、球状回転子を流体力学的に支持する手段が設けられ、その手段は前記回転子を回転させるために、支持されて０る球状回転子と共に配置される。その手段はまた、互いに垂直な２つの軸を中心とする、センサによって検出された角速度による、回転するように支持されている球状回転子の位置を検出し、したがって、対応する出力信号を供給するために回転するように支持されている球状回転子と共に配置され、前記出力信号が零であるように前記回転子を位置させるために回転するように支持されて１１１る球状回転子と共に配置される。検出された角速度に相応して前記回転子位置決め手段を附勢して出力信号を零に維持するために、前記手段が位置検出手段および前記回転子位置決め手段と共に配置される。球状回転子の中心を通って球状回転子へ２極円筒形永久磁石が装着され、前記回転子を回転させるために支持されている球状回転子と共に配置される手段は、互いに垂直な２つの軸を中心とする、センづによって検出された角速度による球状回転子の位置を検出し、したがって、対応する出力信号を発生するために、回転するように支持されている球状回転子とともに配置された手段は、光反射面を有する２極円筒形永久磁石を含む。光を光反射面へ送り、それから反射された光を検出する光学手段が設けられる。検出された光の置は球状回転子の位置に相応し、光学手段は検出された光に応じて出力信号を発生する。

補正請求の範囲１、自由度が２度の角速度センサにおいて、球状回転子（１２）およびこの回転子（１２）を内部で支持する球状の空所（１Ｂ）を有するハウジング（１５）と、ハウジング空所（１６）の内部に球状回転子（１２）を流体力学的に支持する手段（１４，２０）と、前記回転子（１２）を回転させるために、支持されている球状回転子（１２）と共に配置される手段（２２，２４）と、センサによって検出された角速度による互いに垂直な２つの出力軸（Ｘ、Ｙ）を中心とする、回転するように支持されている球状回転子（１２）の位置を検出し、対応する出力信号を供給するために回転するように支持されて〜する球状回転子（１２）と共に配置される手段（２５，１０１４０）と、前記出力信号が零であるように前記回転子（１２）を位置させるために回転するように支持されている球状回転子（１２）と共に配置される手段（２２，２Ｂ）と、検出された角速度に相応して前記回転子位置決め手段（２２，２Ｂ）を附勢して出力信号を零に維持するために位置検出手段（２５，１０，４０）および回転子位置決め手段（２２，２６）と共に配置される手段（４８）とを備え、前記角速度センサはさらに、球状回転子（１２）の中心に装着される２極円筒形永久磁石（２２）と、光を光反射１１ｉｉ（２５）へ向けて、それから反射された光を検出する光学手段（３４，３６，３８，４０）とを備え、センサによりて検出された角速度による互いに垂直な２つの出力軸（Ｘ、Ｙ）を中心とする、回転するように支持されている球状回転子（１２）の位置を検出し、対応する出力信号を供給するために回転するように支持されている球状回転子（１２）と共に配置される手段（２５，１０，４０）は、光度射面（２５）を有する球状回転子（１２）に装着される２極円筒形永久磁石（２２）を備え、検出される光の量は球状回転子（１２）の位置に相応し、前記光学手段（３４，３Ｂ、３８．４０）は検出された光に応じて出力信号を発生する、自由度が２度の角速度センサ。

２、請求項１記載のセンサにおいて、球状回転子（１２）を球状空所（１６）の内部に流体力学的に支持する手段は、スピン軸（Ｚ）を有する回転子（１２）と、流体を含むハウジング空所（１６）と、を備え、回転子（１２）はスピン軸（Ｚ）に対してほぼ垂直な貫通穴（２０）を有し、空所（１６）の内部の流体がその穴を通って流れ、かつ回転子（１２）の周囲を流れて回転子（１２）を流体で支持し、回転子（１２）はそれの表面にらせん溝パターン（１３）を有し、それにより回転子の回転が、空所（１６）の内部で回転子を支持するための加圧された流体層を発生し、そこで回転子が相互に垂直な２本の軸（Ｘ、Ｙ）とスピン軸（Ｚ）とを中心として自由に回転するセンサ。

３、請求項１記戦のセンサにおいて、支持されている球状回転子（１２）を回転させるためにその回転子と共に配置されて〜する手段は、球状回転子（１２）に装置された２極円筒形永久磁石である回転子要素（２２）と、この回転子要素と磁気的に協働関係にあるように、回転子要素を囲む複数のコイル部を支持する固定子（２３）とを有するモータ（８）を有するセンサ。

４、請求項３記戦のセンサにおいて、前記回転子を回転させるために支持されている球状回転子（１２）と共に配置される手段は、球状回転子（１２）へ装置された２極円筒形永久磁石（２２）であるトルク発生要素と、固定子！素（２３）により支持され、複数のコイル部（２４）により囲まれたトルク発生機巻線（２６）とを有するトルク発生機（８）、を備え、前記トルク発生機巻ＩＩ　（２８）はトルク発生要素（２２）と磁気的に協働する関係にあるようにトルク発生夏！Ｉ（２Ｂ）を囲み、位置検出手段と共に配置されている手段と共に配置され、出力信号を零に維持するように、検出された角速度に相応して回転子（１２）を位置させるために、トルク発生機巻線（２６）は回転子位置決め手段に作用する、を含むセンサ。

５、請求項３記戦のセンサにおいて、固定子要素を囲む磁気シールド（２８）を育するセンナ。

ｓ、請求項４記戦のセンサにおいて、複数のコイル部（２４）のうちの少なくとも２つによって支持され、円筒形永久磁石（２２）の２つの磁極の位置に対応する信号を供給する手段（３０１３２）と、この位置信号供給手段へ接続され、それからの信号に応じてモータを駆動する手段（図４）と、を有するセンサ。

７、請求項８記載のセンサにおいて、センサによって検出された角速度による互いに垂直な２つの軸を中心とする球状回転子の位置に対応する出力信号を供給する手段と、円筒形永久磁石の２つの極に対応する出力信号を供給する手段と、トルク発生機とへ接続される手段（４８）、を備え、その手段（４８）は、前記信号の全てに応答して、検出された角速度に相応してトルク発生機を附勢し、それにより、出力信号が零であって、零に維持されるように、トルク発生機は球状回転子を位置させるセンサ。

国際調査報告国際調査報告 υＳ　９１０１３４４Ｓ＾　４９０９１

Claims

【特許請求の範囲】

１．球状回転子、およびこの回転子を内部で支持する球状の空所を有するハウジングと、前部ハウジング空所の内部に球状回転子を流体力学的に支持する手段と、前記回転子を回転させるために、支持されている球状回転子と共に配置される手段と、センサによって検出された互いに垂直な２つの軸を中心とする角速度により回転するように支持されている球状回転子の位置を検出し、対応する出力信号を供給するために前記球状回転子と共に位置される手段と、前記出力信号が零であるように前記回転子を位置させるために回転するように支持されている球状回転子と共に配置される手段と、検出された角速度に相応して前記回転子位置決め手段を附勢して出力信号を零に維持するために位置検出手段および前記回転子位置決め手段と共に配置される手段と、を備える自由度が２度の角速度センサ。
２．請求項１記載のセンサにおいて、球状回転子を球状空所の内部に流体力学的に支持する手段は、スピン軸を有する回転子と、流体を含むハウジング空所と、を備え、回転子はスピン軸に対してほぼ垂直な貫通穴を有し、空所の内部の流体がその穴を通って流れ、かつ回転子の周囲を流れて回転子を流体で支持し、回転子はそれの表面にらせん溝パターンを有し、それにより回転子の回転が、回転子を空所の内部で回転子を支持するための加圧された流体層を発生し、そこで回転子が相互に垂直な２本の軸とスピン軸とを中心として自由に回転するセンサ。
３．請求項１記載のセンサにおいて、球状回転子の中心に装置された２極円筒形永久磁石を有するセンサ。
４．請求項３記載のセンサにおいて、前記回転子を回転させるために支持されている球状回転子と共に位置される手段は、球状回転子へ装置された２極円筒形永久磁石である回転子要素と、この回転子要素と磁気的に協働する関係にあるように、回転子要素を囲む複数のコイル部を支持する固定子要素とを有するモータを有するセンサ。
５．請求項４記載のセンサにおいて、前記出力信号が零であるように前記回転子を位置させるために支持されている球状回転子と共に配置される手段は、球状回転子へ装置された２極円筒形永久磁石であるトルク発生要素と、固定子要素により支持され、複数のコイル部により囲まれたトルク発生機巻線とを有するトルク発生機を備え、前記トルク発生機巻線はトルク発生機と磁気的に協働する関係にあるようにトルク発生要素を囲み、トルク発生機巻線は、位置検出手段と共に配置されている手段と共に配置され、出力信号を零に維持するように検出された角速度に相応して回転子を位置させるために、回転子位置決め手段に作用する、センサ。
６．請求項４記載のセンサにおいて、固定子要素を囲む磁気シールドを有するセンサ。
７．請求項５記載のセンサにおいて、複数のコイル部のうちの少なくとも２つによって支持され、円筒形永久磁石の２つの磁極の位置に対応する信号を供給する手段と、この位置信号供給手段へ接続され、それからの信号に応じてモータを駆動ずる手段と、を有するセンサ。
８．請求項７記載のセンサにおいて、センサによって検出された角速度による互いに垂直な２つの軸を中心とする球状回転子の位置に対応する出力信号を供給する手段と、円筒形永久磁石の２つの極に対応する出力信号を供給する手段と、トルク発生機とへ接続される手段、を備え、その手段は、前記信号の全てに応答して、検出された角速度に相応してトルク発生機を附勢し、それにより、出力信号が零であって、零に維持されるように、トルク発生機は球状回転子を位置させるセンサ。
９．請求項３記載のセンサにおいて、センサによって検出された互いに垂直な２つの軸を中心とする角速度による球状回転子の位置を検出し、対応する信号を供給するために、回転するように支持されている球状回転子とともに配置された手段は、光反射面を有する球状回転子へ装着された２極円筒形永久磁石と、光を光反射面へ送り、それから反射された光を検出する光学手段と、を有し、検出された光の量は球状回転子の位置に相応し、前記光学手段は検出された光に応答して出力信号を供給するセンサ。