JPH0549397B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0549397B2 JPH0549397B2 JP63312915A JP31291588A JPH0549397B2 JP H0549397 B2 JPH0549397 B2 JP H0549397B2 JP 63312915 A JP63312915 A JP 63312915A JP 31291588 A JP31291588 A JP 31291588A JP H0549397 B2 JPH0549397 B2 JP H0549397B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- lens
- laser beam
- assist gas
- pressure chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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- Laser Beam Processing (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は、レーザ切断加工用ヘツドに関す
る。更に詳しくは、レーザ切断加工に使用される
アシストガスを高圧にして加工能率を向上させる
レーザ切断加工用ヘツドに関する。
る。更に詳しくは、レーザ切断加工に使用される
アシストガスを高圧にして加工能率を向上させる
レーザ切断加工用ヘツドに関する。
［従来技術］
レーザ光切断は、レーザ光を細く絞りこのレー
ザ光を板金材などに照射し、瞬間的に溶融蒸発さ
せて、小径のせん孔、狭い溝の作成や切断を行つ
ている。この溶融蒸発させたスラグは、加圧され
たアシストガスをこの溶融部分に吹き付けること
により、レーザ照射側より被加工物の裏面側へ物
理的に除去される。アシストガスの種類は、被切
断材により酸素ガス、空気、不活性ガスなどから
選択されるが一般に圧力を高くすると、切断速度
が増加することが知られている。
ザ光を板金材などに照射し、瞬間的に溶融蒸発さ
せて、小径のせん孔、狭い溝の作成や切断を行つ
ている。この溶融蒸発させたスラグは、加圧され
たアシストガスをこの溶融部分に吹き付けること
により、レーザ照射側より被加工物の裏面側へ物
理的に除去される。アシストガスの種類は、被切
断材により酸素ガス、空気、不活性ガスなどから
選択されるが一般に圧力を高くすると、切断速度
が増加することが知られている。
アシストガスは、レーザ光を照射するヘツドの
先端、すなわちフオーカス２部分から噴出する
（第５図参照）。フオーカス２部分は、レンズ７を
保持し、加圧されたアシストガスを一旦貯蔵し、
噴出させる空間である。アシストガスの圧力は、
フオーカス２部分とレーザ光を屈折させるレンズ
７とに囲まれた空間により保持されるので、レン
ズ７に加圧力がかかる。切断速度を上げるには、
レンズ７の耐圧強度を上げている。
先端、すなわちフオーカス２部分から噴出する
（第５図参照）。フオーカス２部分は、レンズ７を
保持し、加圧されたアシストガスを一旦貯蔵し、
噴出させる空間である。アシストガスの圧力は、
フオーカス２部分とレーザ光を屈折させるレンズ
７とに囲まれた空間により保持されるので、レン
ズ７に加圧力がかかる。切断速度を上げるには、
レンズ７の耐圧強度を上げている。
レンズ７に使用される材料、すなわちレーザ光
を透過するセレンなどが添加されたガラス系材料
と、フオーカス２に使用される金属材料とでは、
耐圧強度が異なる。通常レンズ７が弱いため、前
記したアシストガスの圧力は、レンズ７の許容耐
圧強度以上には設定できない。レンズ７の耐圧強
度を上げるためレンズ７の厚さを厚くする方法、
材質の改良などが行われている。しかし、現在こ
の許容耐圧強度は、通常５〜６Kg／cm2程度であ
り、これ以上アシストガスの圧力を上げることは
できない。これを無視するとレンズが破壊し、有
毒ガスが発生することもある。
を透過するセレンなどが添加されたガラス系材料
と、フオーカス２に使用される金属材料とでは、
耐圧強度が異なる。通常レンズ７が弱いため、前
記したアシストガスの圧力は、レンズ７の許容耐
圧強度以上には設定できない。レンズ７の耐圧強
度を上げるためレンズ７の厚さを厚くする方法、
材質の改良などが行われている。しかし、現在こ
の許容耐圧強度は、通常５〜６Kg／cm2程度であ
り、これ以上アシストガスの圧力を上げることは
できない。これを無視するとレンズが破壊し、有
毒ガスが発生することもある。
アシストガスを高圧にするために、ヘツドに二
つのレンズを用いる方法も提案されている。第６
図に示すヘツドの構造は、この例である（第３回
国際レーザ加工会議の論文集（Proceedings the
3rd International Conference on Lasers in
manufacturing，1986，Birmingham，P35））。
上部のレンズ７ｂでレーザ光の焦点を絞り、この
絞つたレーザ光を小孔３ａを通し高圧のアシスト
ガス室に照射し、この高圧のアシストガス内の下
部レンズ７ａで前記レーザ光を受けて、更に加工
用に焦点を調節する。このタイプのレーザヘツド
は、小孔３ａ，噴出孔３の上下２か所から高圧の
アシストガスが噴出する。
つのレンズを用いる方法も提案されている。第６
図に示すヘツドの構造は、この例である（第３回
国際レーザ加工会議の論文集（Proceedings the
3rd International Conference on Lasers in
manufacturing，1986，Birmingham，P35））。
上部のレンズ７ｂでレーザ光の焦点を絞り、この
絞つたレーザ光を小孔３ａを通し高圧のアシスト
ガス室に照射し、この高圧のアシストガス内の下
部レンズ７ａで前記レーザ光を受けて、更に加工
用に焦点を調節する。このタイプのレーザヘツド
は、小孔３ａ，噴出孔３の上下２か所から高圧の
アシストガスが噴出する。
［発明が解決しようとする課題］
前記したアシストガスの高圧化の構造は、上
部、下部のレンズを必要とする。また高圧のアシ
ストガスを封入したレンズ筒の上部はレーザ光を
伝達するため小孔３ａが開孔している。この小孔
３ａからアシストガスが噴出するので、アシスト
ガスを浪費する結果になる。また、小孔３ａに焦
点を合わせなければならず調整が難しい。この発
明は、これらの問題点に着目して開発されたもの
であり、以下の目的を達成する。
部、下部のレンズを必要とする。また高圧のアシ
ストガスを封入したレンズ筒の上部はレーザ光を
伝達するため小孔３ａが開孔している。この小孔
３ａからアシストガスが噴出するので、アシスト
ガスを浪費する結果になる。また、小孔３ａに焦
点を合わせなければならず調整が難しい。この発
明は、これらの問題点に着目して開発されたもの
であり、以下の目的を達成する。
この発明の目的は、アシストガスの吐出圧力を
向上させるレーザ切断加工用ヘツドを提供するも
のである。
向上させるレーザ切断加工用ヘツドを提供するも
のである。
この発明の他の目的は、切断速度を向上させる
レーザ切断加工用ヘツドを提供するものである。
レーザ切断加工用ヘツドを提供するものである。
［前記課題を解決するための手段］
前記課題を解決するために次の手段を採る。
第１の手段は、レーザ光により被加工物を溶融
蒸発させて切断するレーザ光切断において、円筒
状のレンズ筒と、このレンズ筒内に気密に保持固
定されレーザ光を屈折させるレンズと、このレン
ズと直列に前記レンズ筒内に気密に固定された圧
力隔壁と、この圧力隔壁と前記レンズとの間の空
間に形成された中圧室と、前記レンズと前記レン
ズ筒との囲まれた空間に形成されアシストガスを
一時的に貯蔵し切断装置に噴出する高圧室とから
なるレーザ切断加工用ヘツドである。
蒸発させて切断するレーザ光切断において、円筒
状のレンズ筒と、このレンズ筒内に気密に保持固
定されレーザ光を屈折させるレンズと、このレン
ズと直列に前記レンズ筒内に気密に固定された圧
力隔壁と、この圧力隔壁と前記レンズとの間の空
間に形成された中圧室と、前記レンズと前記レン
ズ筒との囲まれた空間に形成されアシストガスを
一時的に貯蔵し切断装置に噴出する高圧室とから
なるレーザ切断加工用ヘツドである。
第１の手段において、前記圧力隔壁が複数の枚
数を有しこの圧力隔壁間の空間を前記高圧室より
低い中圧室として順次大気圧まで低下させる複数
の中圧室を形成するとなお効果的である。
数を有しこの圧力隔壁間の空間を前記高圧室より
低い中圧室として順次大気圧まで低下させる複数
の中圧室を形成するとなお効果的である。
第２の手段は、レーザ光により被加工物を溶融
蒸発させて切断するレーザ光切断において、 円筒状のレンズ筒と、 このレンズ筒内に後記アシストガスが自由に通
過するように保持固定されレーザ光を屈折させる
レンズと、 このレンズと直列に前記レンズ筒内に気密に固
定された圧力隔壁と、 前記圧力隔壁と前記レンズ筒とで囲まれた空間
に形成され、アシストガスを一時的に貯蔵し切断
位置に噴出する高圧室とからなり、 前記圧力隔壁が複数の枚数を有し、この圧力隔
壁間の空間を前記高圧室より低い中圧室として順
次大気圧まで低下させる複数の中圧室を有するこ
とを特徴とするレーザ切断加工用ヘツドである。
蒸発させて切断するレーザ光切断において、 円筒状のレンズ筒と、 このレンズ筒内に後記アシストガスが自由に通
過するように保持固定されレーザ光を屈折させる
レンズと、 このレンズと直列に前記レンズ筒内に気密に固
定された圧力隔壁と、 前記圧力隔壁と前記レンズ筒とで囲まれた空間
に形成され、アシストガスを一時的に貯蔵し切断
位置に噴出する高圧室とからなり、 前記圧力隔壁が複数の枚数を有し、この圧力隔
壁間の空間を前記高圧室より低い中圧室として順
次大気圧まで低下させる複数の中圧室を有するこ
とを特徴とするレーザ切断加工用ヘツドである。
［作用］
まず、最初に、中圧ガス供給口から中圧力の加
圧ガスを供給する。この中圧ガスの供給で圧力隔
壁、レンズの表面にパスカルの原理により均一な
加圧力が負荷される。しかしこの加圧力は、許容
圧力の範囲内なので、レンズ、圧力隔壁を損傷す
ることはない。この中圧ガスを加圧した状態で、
高圧室内に高圧ガス供給口から高圧のアシストガ
スを供給する。
圧ガスを供給する。この中圧ガスの供給で圧力隔
壁、レンズの表面にパスカルの原理により均一な
加圧力が負荷される。しかしこの加圧力は、許容
圧力の範囲内なので、レンズ、圧力隔壁を損傷す
ることはない。この中圧ガスを加圧した状態で、
高圧室内に高圧ガス供給口から高圧のアシストガ
スを供給する。
高圧のアシストガスは、噴出孔から噴出すると
共に、レンズの表面を加圧する。レンズは、高圧
ガスの注入により中圧ガスの加圧力と逆方向の加
圧力を受けることになる。しかし、その単位面積
当りの加圧力は、高圧のアシストガスの加圧力
と、中圧ガスの加圧力との差圧力のみである。こ
のため、アシストガスに高圧を用いても、レンズ
には大きな加圧力は付加されない。
共に、レンズの表面を加圧する。レンズは、高圧
ガスの注入により中圧ガスの加圧力と逆方向の加
圧力を受けることになる。しかし、その単位面積
当りの加圧力は、高圧のアシストガスの加圧力
と、中圧ガスの加圧力との差圧力のみである。こ
のため、アシストガスに高圧を用いても、レンズ
には大きな加圧力は付加されない。
［実施例］
以下、この発明の実施例を図面にしたがつて説
明する。第１図に示すものは、レーザ光を出力す
るレンズ筒１部分の断面図である。レンズ筒１
は、円筒状の筒でありアルミなど金属製の公知の
材料で作られている。レンズ筒１の先端は、フオ
ーカス２が一体に形成されている。フオーカス２
の先端は、レーザ光を通しかつ後述するアシスト
ガスを噴出する小孔の噴出孔３が設けてある。レ
ンズ筒１の内周面には、円筒状のレンズ保持筒４
が挿入してある。
明する。第１図に示すものは、レーザ光を出力す
るレンズ筒１部分の断面図である。レンズ筒１
は、円筒状の筒でありアルミなど金属製の公知の
材料で作られている。レンズ筒１の先端は、フオ
ーカス２が一体に形成されている。フオーカス２
の先端は、レーザ光を通しかつ後述するアシスト
ガスを噴出する小孔の噴出孔３が設けてある。レ
ンズ筒１の内周面には、円筒状のレンズ保持筒４
が挿入してある。
レンズ保持筒４の下端外周には、溝が形成して
あり、この溝に合致するようにレンズ筒１の内周
面に溝が形成してある。この両溝で冷却室５を作
つている。この冷却室５には、供給口６から温度
コントロールされた冷却用水が供給されており、
常にレンズ筒１を冷却する。レンズ保持筒４内
に、レンズ７が挿入してある。レンズ７は、レー
ザ光を屈折させて焦点を作る公知のレーザ光用の
レンズである。レンズ７と、フオーカス２とで囲
まれた閉じた空間は、高圧室８を形成する。この
高圧室８は、高圧のアシストガスを一時的に貯蔵
し、かつ噴出孔３から噴出させるための空間であ
る。
あり、この溝に合致するようにレンズ筒１の内周
面に溝が形成してある。この両溝で冷却室５を作
つている。この冷却室５には、供給口６から温度
コントロールされた冷却用水が供給されており、
常にレンズ筒１を冷却する。レンズ保持筒４内
に、レンズ７が挿入してある。レンズ７は、レー
ザ光を屈折させて焦点を作る公知のレーザ光用の
レンズである。レンズ７と、フオーカス２とで囲
まれた閉じた空間は、高圧室８を形成する。この
高圧室８は、高圧のアシストガスを一時的に貯蔵
し、かつ噴出孔３から噴出させるための空間であ
る。
高圧のアシストガスは、高圧ガス供給口９から
供給される。一方、レンズ７は、円筒状のスペー
サ１０の一端に接して加圧されている。スペーサ
１０の他端は圧力隔壁１１に接している。圧力隔
壁１１は、均一の厚さを有し、レーザ光を透過す
るものであり、光学的には単にレーザ光を透過さ
せるだけの機能である。圧力隔壁１１は、更に他
のスペーサ１２に接している。スペーサ１２の他
端は、ねじなどの手段（図示せず）で止められ、
圧力隔壁１１、レンズ７を軸線方向に加圧してい
る。
供給される。一方、レンズ７は、円筒状のスペー
サ１０の一端に接して加圧されている。スペーサ
１０の他端は圧力隔壁１１に接している。圧力隔
壁１１は、均一の厚さを有し、レーザ光を透過す
るものであり、光学的には単にレーザ光を透過さ
せるだけの機能である。圧力隔壁１１は、更に他
のスペーサ１２に接している。スペーサ１２の他
端は、ねじなどの手段（図示せず）で止められ、
圧力隔壁１１、レンズ７を軸線方向に加圧してい
る。
レンズ７、圧力隔壁１１と、スペーサ１０，１
２との間はＯリングなどの手段で気密が保持され
ている。レンズ７と圧力隔壁１１との間の空間
は、中圧室１３を形成している。中圧室１３に
は、高圧室８へ供給するガスより圧力が低いガス
が中圧ガス供給口１４から供給されている。な
お、中圧室１３に供給されるガスは、アシストガ
スと同一成分のガスでなくても良く、単に高圧の
アシストガスより低い加圧ガスであれば良い。圧
力隔壁１１を挟んで中圧室１３と反対側は大気圧
室１５である。
２との間はＯリングなどの手段で気密が保持され
ている。レンズ７と圧力隔壁１１との間の空間
は、中圧室１３を形成している。中圧室１３に
は、高圧室８へ供給するガスより圧力が低いガス
が中圧ガス供給口１４から供給されている。な
お、中圧室１３に供給されるガスは、アシストガ
スと同一成分のガスでなくても良く、単に高圧の
アシストガスより低い加圧ガスであれば良い。圧
力隔壁１１を挟んで中圧室１３と反対側は大気圧
室１５である。
大気圧室１５は、加圧されていない空気、すな
わち大気圧と同じ圧力の空気を有する空間であ
る。
わち大気圧と同じ圧力の空気を有する空間であ
る。
［第２実施例］
第２図に示すものは、第２の実施例を示すレン
ズ筒１の断面図である。圧力隔壁１１を複数個設
けた点で第１の実施例と相違する。高圧室８と大
気圧室１５との間には、多段階に中圧室１３ａ，
１３ｂ，１３ｃが設けてある。高圧室８のアシス
トガスの加圧力をPn、中圧室１３ａの圧力をP3、
中圧室１３ｂの圧力P2、中圧室１３ｃの圧力P1
とすれば、大気圧＜P1＜P2＜P3＜Pnの関係が成
立するようにガス圧を選択する。
ズ筒１の断面図である。圧力隔壁１１を複数個設
けた点で第１の実施例と相違する。高圧室８と大
気圧室１５との間には、多段階に中圧室１３ａ，
１３ｂ，１３ｃが設けてある。高圧室８のアシス
トガスの加圧力をPn、中圧室１３ａの圧力をP3、
中圧室１３ｂの圧力P2、中圧室１３ｃの圧力P1
とすれば、大気圧＜P1＜P2＜P3＜Pnの関係が成
立するようにガス圧を選択する。
レンズ７と各圧力隔壁１１に負荷される一方へ
の圧力は、隣接する加圧室の圧力との差圧のみで
あるから大きくない。例えば、第２実施例の場
合、レンズ７、圧力隔壁１１の許容圧力を５Kg／
cm2とすれば、アシストガスの圧力は20Kg／cm2にで
きる効果がある。なお、この圧力隔壁１１の枚数
は、必要に応じて何枚でも良い。
の圧力は、隣接する加圧室の圧力との差圧のみで
あるから大きくない。例えば、第２実施例の場
合、レンズ７、圧力隔壁１１の許容圧力を５Kg／
cm2とすれば、アシストガスの圧力は20Kg／cm2にで
きる効果がある。なお、この圧力隔壁１１の枚数
は、必要に応じて何枚でも良い。
［第３実施例］
前記した第１，２実施例は、いずれもレンズ７
自身にもアシストガスの加圧力が付加されるタイ
プである。しかし、レンズ７は、加圧力に耐えう
るように強化された材質が用いられているが、単
純な平面構造ではないため機械的な強度は圧力隔
壁１１より弱い。前記したように、レーザ光など
で焼損すると有毒ガスが出ることもある。第３図
に示す第３実施例のレンズ筒１の断面図は、レン
ズ７に付加されるアシストガスの加圧力をきわめ
て小さくした例である。
自身にもアシストガスの加圧力が付加されるタイ
プである。しかし、レンズ７は、加圧力に耐えう
るように強化された材質が用いられているが、単
純な平面構造ではないため機械的な強度は圧力隔
壁１１より弱い。前記したように、レーザ光など
で焼損すると有毒ガスが出ることもある。第３図
に示す第３実施例のレンズ筒１の断面図は、レン
ズ７に付加されるアシストガスの加圧力をきわめ
て小さくした例である。
レンズ７の外周、すなわちレーザ光が通過しな
い領域にアシストガスが自由に通過できる貫通孔
２０を設けた例である。貫通孔２０は、本実施例
ではレンズ７と一体の外周の縁に設けたが、レン
ズ保持筒４など他の設けても良い。レンズ７の表
裏のアシストガスの圧力を同一圧に保てば良い。
なお、中圧室１３ａ，１３ｂ，１３ｃが多段階に
設けられている点は、前記第２実施例と同様であ
る。レンズ７の全表面には、アシストガスの圧力
が均等に加圧されるのみであり、最もレンズが弱
い曲げ応力は生じない利点がある。したがつて、
レンズ７の寿命も伸びる。
い領域にアシストガスが自由に通過できる貫通孔
２０を設けた例である。貫通孔２０は、本実施例
ではレンズ７と一体の外周の縁に設けたが、レン
ズ保持筒４など他の設けても良い。レンズ７の表
裏のアシストガスの圧力を同一圧に保てば良い。
なお、中圧室１３ａ，１３ｂ，１３ｃが多段階に
設けられている点は、前記第２実施例と同様であ
る。レンズ７の全表面には、アシストガスの圧力
が均等に加圧されるのみであり、最もレンズが弱
い曲げ応力は生じない利点がある。したがつて、
レンズ７の寿命も伸びる。
なお、以上各実施例を説明したが、前記した実
施例中の冷却室５、レンズ保持筒４、スペーサ１
０，１２、各ガスの供給口９，１４などの構造、
位置、個数は必要に応じて種々の設計変更が可能
なことは、前記説明から明白であり、またこれら
の手段はレーザ切断技術分野で公知でもある。
施例中の冷却室５、レンズ保持筒４、スペーサ１
０，１２、各ガスの供給口９，１４などの構造、
位置、個数は必要に応じて種々の設計変更が可能
なことは、前記説明から明白であり、またこれら
の手段はレーザ切断技術分野で公知でもある。
［発明の効果］
以上詳記したように、この発明はレンズに大き
な加圧力、特に曲げ圧力を付加することなく、ア
シストガスの圧力を高くできる。結果として、レ
ーザ切断の速度を速くできる。
な加圧力、特に曲げ圧力を付加することなく、ア
シストガスの圧力を高くできる。結果として、レ
ーザ切断の速度を速くできる。
第１図は第１実施例のレンズ筒の断面図、第２
図は第２実施例のレンズ筒の断面図、第３図は第
３実施例のレンズ筒の断面図、第４図は従来技術
を示すレンズ筒の断面図、第５図は更に他の従来
技術を示すレンズ筒の断面図である。 １……レンズ筒、２……フオーカス部、３……
噴出孔、５……冷却室、７……レンズ、１１……
圧力隔壁、２０……貫通孔。
図は第２実施例のレンズ筒の断面図、第３図は第
３実施例のレンズ筒の断面図、第４図は従来技術
を示すレンズ筒の断面図、第５図は更に他の従来
技術を示すレンズ筒の断面図である。 １……レンズ筒、２……フオーカス部、３……
噴出孔、５……冷却室、７……レンズ、１１……
圧力隔壁、２０……貫通孔。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ レーザ光により被加工物を溶融蒸発させて切
断するレーザ光切断において、 円筒状のレンズ筒１と、 このレンズ筒内に気密に保持固定されレーザ光
を屈折させるレンズ７と、 このレンズと直列に前記レンズ筒内に気密に固
定された圧力隔壁１１と、 この圧力隔壁と前記レンズとの間の空間に形成
された中圧室１３と、 前記レンズと前記レンズ筒とで囲まれた空間に
形成され、アシストガスを一時的に貯蔵し切断位
置に噴出する高圧室８と からなることを特徴とするレーザ切断加工用ヘツ
ド。 ２ 請求項１において、 前記圧力隔壁が複数の枚数１１，１１，１１を
有し、この圧力隔壁間の空間を前記高圧室より低
い中圧室として順次大気圧まで低下させる複数の
中圧室１３ａ，１３ｂ，１３ｃを有することを特
徴とするレーザ切断加工用ヘツド。 ３ レーザ光により被加工物を溶融蒸発させて切
断するレーザ光切断において、 円筒状のレンズ筒１と、 このレンズ筒内に後記アシストガスが自由に通
過するように保持固定されレーザ光を屈折させる
レンズ７と、 このレンズと直列に前記レンズ筒内に気密に固
定された圧力隔壁１１と、 前記圧力隔壁と前記レンズ筒とで囲まれた空間
に形成され、アシストガスを一時的に貯蔵し切断
位置に噴出する高圧室１８とからなり、 前記圧力隔壁が複数の枚数１１，１１，１１を
有し、この圧力隔壁間の空間を前記高圧室より低
い中圧室として順次大気圧まで低下させる複数の
中圧室１３ａ，１３ｂ，１３ｃを有することを特
徴とするレーザ切断加工用ヘツド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63312915A JPH02160194A (ja) | 1988-12-13 | 1988-12-13 | レーザ切断加工用ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63312915A JPH02160194A (ja) | 1988-12-13 | 1988-12-13 | レーザ切断加工用ヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02160194A JPH02160194A (ja) | 1990-06-20 |
| JPH0549397B2 true JPH0549397B2 (ja) | 1993-07-26 |
Family
ID=18034997
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63312915A Granted JPH02160194A (ja) | 1988-12-13 | 1988-12-13 | レーザ切断加工用ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02160194A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2804206B2 (ja) * | 1992-09-22 | 1998-09-24 | 三菱電機株式会社 | レーザ加工ヘッド |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS645694A (en) * | 1987-06-29 | 1989-01-10 | Mitsubishi Electric Corp | Laser beam machine |
-
1988
- 1988-12-13 JP JP63312915A patent/JPH02160194A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02160194A (ja) | 1990-06-20 |
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