JPH0547889A - 金属配線の信頼性評価方法 - Google Patents
金属配線の信頼性評価方法Info
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- JPH0547889A JPH0547889A JP3487991A JP3487991A JPH0547889A JP H0547889 A JPH0547889 A JP H0547889A JP 3487991 A JP3487991 A JP 3487991A JP 3487991 A JP3487991 A JP 3487991A JP H0547889 A JPH0547889 A JP H0547889A
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- metal wiring
- current
- coil
- wiring
- reliability
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 高周波電流による金属配線の信頼性を正確に
評価する。 【構成】 信頼性評価用半導体装置として、シリコン基
板１上に閉じた配線であるコイル状の金属配線５を形成
する。この信頼性評価用半導体装置を電磁シールドボッ
クス６中に入れる。電磁波の放射源となるマグネトロン
７を電磁シールドボックス６中に入れ、電磁シールドボ
ックス６の外に設置したマグネトロン用電源８と接続す
る。マグネトロン用電源８を操作してマグネトロン７か
ら電磁波を金属配線５に照射する。電磁波の照射により
金属配線５に高周波の交流電流が流れる。さらに電磁シ
ールドボックス６全体を温度制御する。その後、試験を
実施した金属配線５のコイル状の中心にコイル９を近づ
けて、交流電源３からコイル９に任意の周波数の交流電
流を流し、その電流値を交流電流計４で測定する。
評価する。 【構成】 信頼性評価用半導体装置として、シリコン基
板１上に閉じた配線であるコイル状の金属配線５を形成
する。この信頼性評価用半導体装置を電磁シールドボッ
クス６中に入れる。電磁波の放射源となるマグネトロン
７を電磁シールドボックス６中に入れ、電磁シールドボ
ックス６の外に設置したマグネトロン用電源８と接続す
る。マグネトロン用電源８を操作してマグネトロン７か
ら電磁波を金属配線５に照射する。電磁波の照射により
金属配線５に高周波の交流電流が流れる。さらに電磁シ
ールドボックス６全体を温度制御する。その後、試験を
実施した金属配線５のコイル状の中心にコイル９を近づ
けて、交流電源３からコイル９に任意の周波数の交流電
流を流し、その電流値を交流電流計４で測定する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体装置に形成さ
れる金属配線の信頼性評価方法に関するものである。
れる金属配線の信頼性評価方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、半導体装置の高集積化，微細化に
ともない、各半導体素子を接続する金属配線が細くなっ
てきており、金属配線に流れる電流の電流密度が高くな
るため、エレクトロマイグレーション現象による金属配
線の断線が発生しやすくなってきている。そのため、金
属配線の信頼性を評価することがますます重要となって
いる。
ともない、各半導体素子を接続する金属配線が細くなっ
てきており、金属配線に流れる電流の電流密度が高くな
るため、エレクトロマイグレーション現象による金属配
線の断線が発生しやすくなってきている。そのため、金
属配線の信頼性を評価することがますます重要となって
いる。
【０００３】従来、金属配線の信頼性を評価するのに直
流電流が用いられてきたが、半導体装置の実使用にそぐ
わないため、交流電流が用いられるようになってきてい
る。交流電流を用いる金属配線の信頼性評価方法を図面
を参照しながら説明する。図２に示すように、シリコン
基板１上に引き出し部２ａを設けた金属配線２を形成し
て信頼性評価用半導体装置とする。そして、引き出し部
２ａから交流電源３および交流電流計４を金属配線２と
直列に接続し、交流電流を流し、適当な温度環境の下で
信頼性評価を実施する。
流電流が用いられてきたが、半導体装置の実使用にそぐ
わないため、交流電流が用いられるようになってきてい
る。交流電流を用いる金属配線の信頼性評価方法を図面
を参照しながら説明する。図２に示すように、シリコン
基板１上に引き出し部２ａを設けた金属配線２を形成し
て信頼性評価用半導体装置とする。そして、引き出し部
２ａから交流電源３および交流電流計４を金属配線２と
直列に接続し、交流電流を流し、適当な温度環境の下で
信頼性評価を実施する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の方法では、引き出し部２ａを設けた金属配線２と交流
電源３の間の浮遊容量や浮遊インダクタンスの影響によ
り、金属配線２に高周波の電流を流すことができず、使
用する周波数に上限があった。このため、高周波用半導
体装置の金属配線の信頼性を正確に評価することが困難
であった。
の方法では、引き出し部２ａを設けた金属配線２と交流
電源３の間の浮遊容量や浮遊インダクタンスの影響によ
り、金属配線２に高周波の電流を流すことができず、使
用する周波数に上限があった。このため、高周波用半導
体装置の金属配線の信頼性を正確に評価することが困難
であった。
【０００５】この発明の目的は、高周波電流による金属
配線の信頼性を正確に評価することができる金属配線の
信頼性評価方法を提供することである。
配線の信頼性を正確に評価することができる金属配線の
信頼性評価方法を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明の金属配線の信
頼性評価方法は、半導体基板上に形成された閉じたコイ
ル状の金属配線に電磁波を照射することにより金属配線
に交流電流を発生させた後、金属配線に接近させたコイ
ルに電流を流してこのコイルに流れる電流値を測定し金
属配線の断線を検出するようにしている。
頼性評価方法は、半導体基板上に形成された閉じたコイ
ル状の金属配線に電磁波を照射することにより金属配線
に交流電流を発生させた後、金属配線に接近させたコイ
ルに電流を流してこのコイルに流れる電流値を測定し金
属配線の断線を検出するようにしている。
【０００７】
【作用】この発明の構成によれば、閉じたコイル状の金
属配線に電磁波を照射することにより金属配線に交流電
流が流れる。その後、金属配線に接近させたコイルに電
流を流したときに、金属配線が断線していなければ金属
配線に誘導電流が流れ測定値はコイルに本来流れる電流
値より増加した値となり、金属配線が断線していれば測
定値はコイルに本来流れる電流値となる。
属配線に電磁波を照射することにより金属配線に交流電
流が流れる。その後、金属配線に接近させたコイルに電
流を流したときに、金属配線が断線していなければ金属
配線に誘導電流が流れ測定値はコイルに本来流れる電流
値より増加した値となり、金属配線が断線していれば測
定値はコイルに本来流れる電流値となる。
【０００８】
【実施例】この発明の一実施例を図１を参照しながら説
明する。図１(a) はこの発明による金属配線の信頼性評
価方法における試験方法を示す図である。図１(a) に示
すように、信頼性評価用半導体装置として、シリコン基
板１上に閉じた配線であるコイル状の金属配線５を形成
する。そして、この信頼性評価用半導体装置を電磁シー
ルドボックス６中に入れる。さらに、電磁波の放射源と
なるマグネトロン７を電磁シールドボックス６中に入
れ、電磁シールドボックス６の外に設置したマグネトロ
ン用電源８と接続する。
明する。図１(a) はこの発明による金属配線の信頼性評
価方法における試験方法を示す図である。図１(a) に示
すように、信頼性評価用半導体装置として、シリコン基
板１上に閉じた配線であるコイル状の金属配線５を形成
する。そして、この信頼性評価用半導体装置を電磁シー
ルドボックス６中に入れる。さらに、電磁波の放射源と
なるマグネトロン７を電磁シールドボックス６中に入
れ、電磁シールドボックス６の外に設置したマグネトロ
ン用電源８と接続する。
【０００９】その後、マグネトロン用電源８を操作して
マグネトロン７から電磁波を金属配線５に照射する。こ
のとき高周波の磁束が金属配線５のコイル状の中心を通
るように予め配置しておく。電磁波の照射により金属配
線５に高周波の交流電流が流れる。さらに電磁シールド
ボックス６全体を温度制御することにより信頼性評価を
実施する。
マグネトロン７から電磁波を金属配線５に照射する。こ
のとき高周波の磁束が金属配線５のコイル状の中心を通
るように予め配置しておく。電磁波の照射により金属配
線５に高周波の交流電流が流れる。さらに電磁シールド
ボックス６全体を温度制御することにより信頼性評価を
実施する。
【００１０】つぎに、金属配線５が断線したかどうかを
測定する方法を図１(b) を参照しながら説明する。図１
(b) に示すように、コイル９と交流電源３と交流電流計
４とを直列接続する。試験を実施した金属配線５のコイ
ル状の中心にコイル９を近づけて、交流電源３からコイ
ル９に任意の周波数の交流電流を流し、その電流値を交
流電流計４で測定する。このとき交流電流計４は、金属
配線５が断線していればコイル９に本来流れる電流値を
示す。一方、金属配線５が断線していなければ金属配線
５に誘導電流が流れるため、コイル９に流れる電流は本
来流れる電流値より増加する。なお、測定感度の向上の
ためコイル９に強磁性金属の芯を設けてもよい。
測定する方法を図１(b) を参照しながら説明する。図１
(b) に示すように、コイル９と交流電源３と交流電流計
４とを直列接続する。試験を実施した金属配線５のコイ
ル状の中心にコイル９を近づけて、交流電源３からコイ
ル９に任意の周波数の交流電流を流し、その電流値を交
流電流計４で測定する。このとき交流電流計４は、金属
配線５が断線していればコイル９に本来流れる電流値を
示す。一方、金属配線５が断線していなければ金属配線
５に誘導電流が流れるため、コイル９に流れる電流は本
来流れる電流値より増加する。なお、測定感度の向上の
ためコイル９に強磁性金属の芯を設けてもよい。
【００１１】この実施例によれば、浮遊容量や浮遊イン
ダクタンスの影響を受けにくいため、高周波電流による
金属配線の信頼性を正確に評価することができる。
ダクタンスの影響を受けにくいため、高周波電流による
金属配線の信頼性を正確に評価することができる。
【００１２】
【発明の効果】この発明の金属配線の信頼性評価方法
は、閉じたコイル状の金属配線に電磁波を照射して金属
配線に交流電流を流すようにしたことにより、浮遊容量
や浮遊インダクタンスの影響を受けにくく、高周波電流
による金属配線の信頼性を正確に評価することができ
る。
は、閉じたコイル状の金属配線に電磁波を照射して金属
配線に交流電流を流すようにしたことにより、浮遊容量
や浮遊インダクタンスの影響を受けにくく、高周波電流
による金属配線の信頼性を正確に評価することができ
る。
【図１】(a) はこの発明の一実施例の金属配線の信頼性
評価方法における試験方法を示す図、(b) は同実施例に
おける測定方法を示す図である。
評価方法における試験方法を示す図、(b) は同実施例に
おける測定方法を示す図である。
【図２】従来の金属配線の信頼性評価方法を示す図であ
る。
る。
１ シリコン基板 ３ 交流電源 ４ 交流電流計 ５ 金属配線 ７ マグネトロン ９ コイル
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成４年７月３１日
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１】
【図２】
Claims (1)
- 【請求項１】 半導体基板上に形成された閉じたコイル
状の金属配線に電磁波を照射することにより前記金属配
線に交流電流を発生させた後、前記金属配線に接近させ
たコイルに電流を流してこのコイルに流れる電流値を測
定し前記金属配線の断線を検出する金属配線の信頼性評
価方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3487991A JPH0547889A (ja) | 1991-03-01 | 1991-03-01 | 金属配線の信頼性評価方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3487991A JPH0547889A (ja) | 1991-03-01 | 1991-03-01 | 金属配線の信頼性評価方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0547889A true JPH0547889A (ja) | 1993-02-26 |
Family
ID=12426431
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3487991A Pending JPH0547889A (ja) | 1991-03-01 | 1991-03-01 | 金属配線の信頼性評価方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0547889A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100372051C (zh) * | 2001-03-19 | 2008-02-27 | 株式会社半导体能源研究所 | 半导体器件的制造方法 |
| CN109585322A (zh) * | 2018-08-31 | 2019-04-05 | 友达光电股份有限公司 | 晶粒检测方法及系统 |
-
1991
- 1991-03-01 JP JP3487991A patent/JPH0547889A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100372051C (zh) * | 2001-03-19 | 2008-02-27 | 株式会社半导体能源研究所 | 半导体器件的制造方法 |
| CN109585322A (zh) * | 2018-08-31 | 2019-04-05 | 友达光电股份有限公司 | 晶粒检测方法及系统 |
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