JPH0543491Y2 - - Google Patents
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- JPH0543491Y2 JPH0543491Y2 JP1987166455U JP16645587U JPH0543491Y2 JP H0543491 Y2 JPH0543491 Y2 JP H0543491Y2 JP 1987166455 U JP1987166455 U JP 1987166455U JP 16645587 U JP16645587 U JP 16645587U JP H0543491 Y2 JPH0543491 Y2 JP H0543491Y2
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- squeegee
- squeegees
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Landscapes
- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案は、印刷配線板(以下基板と略称する)
を製造するための装置に関し、特に表面回路導通
用のスルーホールを有する基板の回路を孔埋め工
程時に、基板の表裏面に付着した不必要なエツチ
ング用のレジストを掻き取り除去する装置に関す
る。[Detailed description of the invention] [Industrial application field] The invention is a printed wiring board (hereinafter abbreviated as a board).
The present invention relates to an apparatus for manufacturing a substrate, and more particularly to an apparatus for scraping off unnecessary etching resist attached to the front and back surfaces of a substrate during a hole-filling process for a circuit on a substrate having through holes for surface circuit conduction.
従来、この種のレジスト除去装置は第3図に示
すように、上下方向に配設され、両端が上下自在
に支持された一対のホルダ10と、各々のホルダ
10に当て板11を介してボルト12で固定され
た弾性体よりなる一対の帯板状のスキージ板13
とより成り、スキージ板13の先端角部が基板1
4の搬送ラインLに対して約50〜60℃の鋭角を形
成し合つて適切な隙間をもつて対向するよう構成
されている。
Conventionally, as shown in FIG. 3, this type of resist removing apparatus includes a pair of holders 10 that are arranged vertically and are vertically supported at both ends, and a bolt is attached to each holder 10 via a patch plate 11. A pair of strip-shaped squeegee plates 13 made of an elastic body fixed at 12
The tip corner of the squeegee plate 13 is connected to the substrate 1.
They are configured to form an acute angle of about 50 to 60° C. with respect to the conveyance line L of No. 4 and to face each other with an appropriate gap.
次に動作について説明すると、前工程の孔埋め
工程において、ロールコーター等の塗布装置(図
示省略)によつて、スルーホール14aの内部へ
のレジスト15の充填処理が行なわれた基板14
が搬送ラインLに沿つて一対のスキージ板13の
先端角部13a間のすきま16を通過する際に、
スキージ板13の先端角部13aがたわみ、その
ときに発生する弾性力がスキージ圧力として基板
の表裏面に作用し、その結果、表裏面に塗布され
た不必要なレジスト15が掻き取られる。 Next, the operation will be described. In the hole filling process of the previous process, the resist 15 is filled into the through holes 14a of the substrate 14 using a coating device such as a roll coater (not shown).
When passing through the gap 16 between the tip corners 13a of the pair of squeegee plates 13 along the conveyance line L,
The tip corner 13a of the squeegee plate 13 bends, and the elastic force generated at that time acts on the front and back surfaces of the substrate as squeegee pressure, and as a result, unnecessary resist 15 coated on the front and back surfaces is scraped off.
なお、一対のスキージ板13の先端角部13a
間のすきま16は、基板の厚さが変わつた場合に
はその都度スキージ板13の一方を上下方向に移
動させて適切な値(基板14の厚さより0.6mm程
小さい値)に調整する必要がある。なぜならば、
基板14の厚さが変化すると、それに伴い、スキ
ージ板13のたわみ量が変化し、その結果スキー
ジ圧力が変わつてしまい、レジスト15の掻き取
り状態にバラツキを生じるためである。 Note that the tip corners 13a of the pair of squeegee plates 13
When the thickness of the substrate changes, it is necessary to adjust the gap 16 to an appropriate value (about 0.6 mm smaller than the thickness of the substrate 14) by moving one of the squeegee plates 13 vertically each time. be. because,
This is because when the thickness of the substrate 14 changes, the amount of deflection of the squeegee plate 13 changes accordingly, and as a result, the squeegee pressure changes, causing variations in the scraped state of the resist 15.
上述した従来のレジスト除去装置では特に基板
の厚さが厚い場合、第4図a,b,cに示すよう
に、基板14の先端部がスキージ板13に当接し
た際に、スキージ板13の内側に掻き取られて付
着しているレジスト15および基板14の先端部
に塗布されたレジスト15aがスキージ板13の
先端角部のすきまより押し出されて漏れてしまう
(第4図b)。その結果、基板14の先端部がすき
まを通過する際に漏れ出たレジスト15が基板1
4の先端部分に再付着して残つてしまうという不
具合が生じる(第4図c)。従つて下記のような
手段を講じる必要があつた。すなわち、
(イ) 金属ブラシ又は研摩ベルト等で機械的に再付
着したレジスト15を後工程で除去する。
In the conventional resist removing apparatus described above, when the substrate is particularly thick, when the tip of the substrate 14 comes into contact with the squeegee plate 13, as shown in FIGS. 4a, b, and c, the squeegee plate 13 The resist 15 scraped and adhered to the inside and the resist 15a applied to the tip of the substrate 14 are pushed out from the gap at the corner of the tip of the squeegee plate 13 and leak (FIG. 4b). As a result, when the tip of the substrate 14 passes through the gap, the resist 15 leaks out from the substrate 14.
A problem arises in that it re-adheres to the tip of 4 and remains (Fig. 4c). Therefore, it was necessary to take the following measures. That is, (a) the re-adhered resist 15 is mechanically removed using a metal brush, an abrasive belt, or the like in a subsequent process.
(ロ) あらかじめ、基板の先端部にマスキング用の
テープを貼り付けておき、後でテープを剥がす
ことによりテープ表面に再付着したレジスト1
5を除去する。(b) Masking tape was pasted on the tip of the substrate in advance, and by peeling off the tape later, the resist 1 re-attached to the tape surface.
Remove 5.
よつて、前者の場合には、工程が増えることに
より、余分な工数および設備費用等が発生すると
いう欠点があり、後者の場合にも、同様にテープ
を貼つたり、剥がしたりする余分な工数や材料費
等が発生するという欠点がある。 Therefore, in the former case, there is a disadvantage that extra man-hours and equipment costs are incurred due to the increase in the number of steps, and in the latter case, similarly, extra man-hours are required for applying and peeling off the tape. However, there are disadvantages such as additional costs for materials and materials.
一方第3図に示すようにスキージ板13は、ホ
ルダ10に当て板11を介してボルト12で数箇
所を締め付けて固定する構造であるため、下記の
ような不具合が発生しやすいという欠点がある。
すなわち、
(イ) ボルト12の締め付けトルクの差によつてス
キージ板13の先端角部が波打ち状になり、そ
のためにレジスト15の掻き取りが不均一にな
り基板14の表・裏面に除去むらが発生し、後
の表面仕上げ処理工程での処理工数が増加した
り、レジスト残りによる回路パターンの断線等
の品質不具合が発生する。 On the other hand, as shown in FIG. 3, the squeegee plate 13 has a structure in which it is fixed to the holder 10 by tightening several bolts 12 through the backing plate 11, so it has the disadvantage that the following problems are likely to occur. .
That is, (a) the tip corner of the squeegee plate 13 becomes wavy due to the difference in the tightening torque of the bolts 12, and as a result, the resist 15 is scraped unevenly, resulting in uneven removal on the front and back surfaces of the substrate 14. This increases the number of processing steps in the subsequent surface finishing process, and causes quality defects such as circuit pattern disconnections due to resist residue.
(ロ) スキージ板13の交換および調整作業に多大
の時間を要するため、生産性が悪い。(b) Productivity is poor because it takes a lot of time to replace and adjust the squeegee plate 13.
本考案の目的は、スキージ間から漏出したレジ
ストが基板の先端に再付着することを防止したレ
ジスト除去装置を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a resist removal device that prevents resist leaking from between the squeegees from re-adhering to the tip of a substrate.
前記目的を達成するため、本考案に係るレジス
ト除去装置は、一対の回転軸と、一対の掻き取り
部材と、ストツパーピンとストツパープレートの
組と、一対の押圧部とを有するレジスト除去装置
であつて、
一対の回転軸は、基板の搬送ラインに対して等
間隔の位置に回動可能に設けられたものであり、
一対の掻き取り部材は、回転軸に基板の搬送ラ
インを挾んで対称に取付けられ、それぞれスキー
ジを有し、
スキージは、弾性を有する角棒状であり、掻き
取り部材の先端に取付けられ、基板上からレジス
トを掻き取るものであり、
ストツパーピンは、回転軸の近傍に固定し設け
られたものであり、
ストツパープレートは、回転軸に一体に取付け
られ、回転軸の角回転によりストツパーピンに当
接するものであり、
組をなすストツパーピンとストツパープレート
とは、両者が当接したときに、一対の掻き取り部
材に取付けられたスキージが基板の搬送ライン上
で密着する位置に回転軸を固定するものであり、
一対の押圧部は、スキージ間の隙間調整を行う
ものであつて、スキージ間に基板が不在の場合に
は、押圧力を掻き取り部材に使用させストツパー
ピンにストツパープレートを押付けて回転軸の回
転を規制しスキージ間を密着させ、スキージ間を
基板が通過する場合には、押圧力を緩めてスキー
ジ間の隙間を基板の先端で拡開可能に調整するも
のである。
In order to achieve the above object, a resist removing device according to the present invention includes a pair of rotating shafts, a pair of scraping members, a set of a stopper pin and a stopper plate, and a pair of pressing parts. The pair of rotating shafts are rotatably provided at positions equidistant from each other with respect to the substrate transport line, and the pair of scraping members are symmetrically arranged with the substrate transport line sandwiched between the rotating shafts. The squeegee is an elastic rectangular bar and is attached to the tip of the scraping member to scrape off the resist from the substrate. The stopper pin is fixed near the rotation axis. The stopper plate is integrally attached to the rotating shaft and comes into contact with the stopper pin due to the angular rotation of the rotating shaft. Sometimes, the rotating shaft is fixed at a position where the squeegees attached to the pair of scraping members are in close contact with each other on the substrate conveyance line, and the pair of pressing parts is used to adjust the gap between the squeegees. When there is no substrate between the squeegees, the scraping member uses the pressing force to press the stopper plate against the stopper pin to restrict the rotation of the rotating shaft and bring the squeegees into close contact, and when the substrate passes between the squeegees. In this method, the pressing force is loosened to adjust the gap between the squeegees so that they can be expanded at the tip of the substrate.
基板不在の場合、すなわち基板14の先端部が
スキージ6に当接するまでの間は、シリンダ9の
押圧力によりスキージ6間を密閉し、レジスト1
5がスキージ間から漏出することを阻止する。ま
たスキージ6間を基板14が通過する場合には、
スキージ6間を基板の厚味分だけ開き、基板14
を通過させて余分なレジストを掻き取り、基板1
4の先端部へのレジストの再付着を防止する。
When the substrate is not present, that is, until the tip of the substrate 14 comes into contact with the squeegee 6, the space between the squeegees 6 is sealed by the pressing force of the cylinder 9, and the resist 1
5 to prevent leakage from between the squeegees. Further, when the substrate 14 passes between the squeegees 6,
Open the space between the squeegees 6 by the thickness of the board, and then remove the board 14.
The excess resist is scraped off by passing through the substrate 1.
This prevents the resist from re-adhering to the tip of No. 4.
次に本考案について図面を参照して説明する。 Next, the present invention will be explained with reference to the drawings.
第1図において、本考案に係るレジスト除去装
置は、一対の回転軸2,2と、一対の帯板状の掻
き取り部材8と、ストツパープレート4とストツ
パーピン3の組と、一対の押圧部9,9とを有し
ている。 In FIG. 1, the resist removing device according to the present invention includes a pair of rotating shafts 2, 2, a pair of strip-shaped scraping members 8, a set of a stopper plate 4 and a stopper pin 3, and a pair of pressing parts. 9,9.
一対の回転軸2,2は、側板1に横架され、基
板14の搬送ラインLに対して上下に等間隔の位
置に回動可能に設けられている。 The pair of rotation shafts 2, 2 are horizontally suspended on the side plate 1, and are rotatably provided at positions equidistant vertically with respect to the conveyance line L of the substrate 14.
一対の帯板状の掻き取り部材8は、2本の回転
軸2,2に基板14の搬送ラインLを挾んで対称
に取付けられており、ホルダ5とスキージ6と押
え板7とを含んでいる。ホルダ5は、各回転軸
2,2に横方向に突き出して取付けられ、その先
端に凹状の溝部5aが設けられている。スキージ
6は、弾性を有する正四角棒状であり、ホルダ5
の溝部5aに嵌合されている。押え板7は、ホル
ダ5の内側に取付けられており、スキージ6の先
端角部6aを除いてスキージ6を押え付けて該ス
キージ6をホルダ5の溝部5a内に固定保持して
いる。 A pair of strip-shaped scraping members 8 are attached symmetrically to the two rotating shafts 2, 2 with the conveyance line L of the substrate 14 in between, and include a holder 5, a squeegee 6, and a presser plate 7. There is. The holder 5 is attached to each rotating shaft 2, 2 so as to protrude laterally, and a concave groove 5a is provided at the tip thereof. The squeegee 6 has an elastic square bar shape, and is attached to the holder 5.
The groove 5a is fitted into the groove 5a. The presser plate 7 is attached to the inside of the holder 5, and presses down the squeegee 6 except for the tip corner 6a of the squeegee 6 to securely hold the squeegee 6 in the groove 5a of the holder 5.
ストツパープレート4は、各回転軸2に横方向
に突き出して一体に取付けられており、ストツパ
ーピン3は、側板1に植設されて回転軸2の近傍
に固定して設けられている。組をなすストツパー
プレート4とストツパーピン3は、回転軸2が一
定範囲角回転した時点でストツパープレートがス
トツパーピン3に当接し、スキージ6の先端角部
6aが基板14の搬送ラインLに対して各々約50
〜60°なる鋭角をもつて互いに密着する位置に回
転軸2を固定するようになつている。 The stopper plate 4 is integrally attached to each rotary shaft 2 so as to protrude laterally, and the stopper pin 3 is implanted in the side plate 1 and fixedly provided near the rotary shaft 2. The stopper plate 4 and the stopper pin 3 form a pair, and when the rotating shaft 2 rotates within a certain range, the stopper plate contacts the stopper pin 3, and the tip corner 6a of the squeegee 6 is brought into contact with the conveyance line L of the substrate 14. Approximately 50 each
The rotating shafts 2 are fixed at positions where they are in close contact with each other with an acute angle of ~60°.
一対の押圧部は、押圧(スキージ圧)用のシリ
ンダ9を有しており、各シリンダ9は各掻き取り
部材8にそれぞれ連結してスキージ6間の隙間調
整を行なうものであつて、スキージ6間に基板1
4が不在の場合には、押圧力を掻き取り部材8に
作用させストツパーピン3にストツパープレート
4を押し付けて回転軸2の回転を規制しスキージ
6間を密着させ、スキージ6間を基板14が通過
する場合には、押圧力を緩めてスキージ6間の隙
間を基板14の先端で拡開可能に調整するもので
ある。 The pair of pressing parts have cylinders 9 for pressing (squeegee pressure), and each cylinder 9 is connected to each scraping member 8 to adjust the gap between the squeegees 6. Board 1 between
4 is absent, a pressing force is applied to the scraping member 8 to press the stopper plate 4 against the stopper pin 3 to restrict the rotation of the rotary shaft 2 and bring the squeegees 6 into close contact, so that the substrate 14 is placed between the squeegees 6. When passing, the pressing force is loosened to adjust the gap between the squeegees 6 so that they can be expanded at the tip of the substrate 14.
次に、動作について第2図a,b,cを参照し
て説明すると、まず前工程の孔埋め工程(図示省
略)より搬送された基板14の先端部がスキージ
6に当接するまでの間は、シリンダ9の押圧力P
によりストツパープレート4とストツパーピン3
とは当接しており、スキージ6の先端角部6aは
互いに密着した状態に保持されている(第2図
a,b参照)。そのため、基板14の先端部がス
キージ6に当接した際にスキージ6の内側に掻き
取られて付着しているレジスト15および基板1
4の先端部に塗布されたレジスト15が一対のス
キージ6の先端角部6a間より漏れ出すのを防ぐ
ことができる(第2図b参照)。 Next, the operation will be explained with reference to FIG. , the pressing force P of the cylinder 9
The stopper plate 4 and stopper pin 3 are
are in contact with each other, and the tip corners 6a of the squeegee 6 are held in close contact with each other (see FIGS. 2a and 2b). Therefore, when the tip of the substrate 14 comes into contact with the squeegee 6, the resist 15 and the substrate 1 are scraped off and adhered to the inside of the squeegee 6.
This can prevent the resist 15 applied to the tips of the squeegees 4 from leaking out from between the tip corners 6a of the pair of squeegees 6 (see FIG. 2b).
次に基板14がスキージ6の先端角部6aを通
過し終るまでの間は、スキージ6の先端角部6a
が常にシリンダ9による一定の押圧力(即ち、ス
キージ圧力)でもつて基板14の表・裏面を挾み
込んだ状態を保持している。その結果、基板の
表・裏面に塗布された不必要なレジスト15はス
キージ6の先端角部6aにて掻き取り除去される
(第2図c参照)。 Next, until the substrate 14 finishes passing through the tip corner 6a of the squeegee 6, the tip corner 6a of the squeegee 6 is
is always held between the front and back surfaces of the substrate 14 by a constant pressing force (ie, squeegee pressure) by the cylinder 9. As a result, unnecessary resist 15 coated on the front and back surfaces of the substrate is scraped off with the tip corner 6a of the squeegee 6 (see FIG. 2c).
以上、本実施例ではスキージ6の形状は正四角
棒状としたが、正三角棒状等の角棒としても有効
である。 As mentioned above, in this embodiment, the shape of the squeegee 6 is a regular square bar, but a square bar such as a regular triangular bar is also effective.
本実施例ではスキージ6はホルダ5の凹状溝5
aへ嵌め込むだけで装着することが可能であり、
短時間でかつ精度よく取り付けることが可能であ
るため、スキージ交換時の時間短縮による生産性
の向上、及びスキージの取付け精度の向上により
基板表裏面のレジスト除去むらが改善され、品質
の向上を図ることができる。 In this embodiment, the squeegee 6 is attached to the concave groove 5 of the holder 5.
It can be installed by simply fitting it into a.
Since it can be installed in a short time and with high precision, it improves productivity by reducing the time required to replace the squeegee, and improves the unevenness of resist removal on the front and back surfaces of the board by improving the installation accuracy of the squeegee, improving quality. be able to.
以上説明したように本考案によれば、基板の先
端がスキージに当接するまでの間はスキージ間を
押圧部で密閉するため、レジストの一部がスキー
ジ間から漏出することを防止することができ、し
たがつて、漏出したレジストの基板の先端への再
付着を防止することができる。さらに、基板先端
がスキージに当接した時点で押圧部により押圧力
が緩められてスキージ間が基板先端で押し開けら
れ、基板がスキージ間を通過するため、基板上の
レジストを掻き取ることができる。しかも、スキ
ージは角棒状のものであるため、波打ち状となら
ず、レジストの掻き取りが均一となり、基板の表
裏面での除去むらをなくすことができ、高品質の
印刷配線板を製造できる。
As explained above, according to the present invention, since the space between the squeegees is sealed by the pressing part until the tip of the substrate comes into contact with the squeegee, it is possible to prevent part of the resist from leaking from between the squeegee. Therefore, it is possible to prevent leaked resist from re-adhering to the tip of the substrate. Furthermore, when the tip of the substrate comes into contact with the squeegee, the pressing force is loosened by the pressing part, and the gap between the squeegees is pushed open by the tip of the substrate, and the substrate passes between the squeegees, making it possible to scrape off the resist on the substrate. . Moreover, since the squeegee is shaped like a square rod, the resist is scraped off uniformly without waving, and uneven removal on the front and back surfaces of the substrate can be eliminated, making it possible to manufacture high-quality printed wiring boards.
第1図は本考案のレジスト除去装置の側断面
図、第2図a,b,cは基板の表・裏面に塗布さ
れたレジストの掻き取り除去状態を示す断面図、
第3図は従来のレジスト除去装置の側断面図、第
4図a,b,cは基板の表裏面に塗布されたレジ
ストの掻き取り除去状態を示す断面図である。
1……側板、2……回転軸、3……ストツパー
ピン、4……ストツパープレート、5……ホル
ダ、6……スキージ、7……押え板、8……掻き
取り部材、9……シリンダ(押圧部)。
FIG. 1 is a side sectional view of the resist removing apparatus of the present invention, and FIGS. 2 a, b, and c are sectional views showing the state of scraping and removing the resist coated on the front and back surfaces of the substrate.
FIG. 3 is a side cross-sectional view of a conventional resist removing apparatus, and FIGS. 4a, b, and c are cross-sectional views showing the state of scraping off the resist coated on the front and back surfaces of a substrate. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1... Side plate, 2... Rotating shaft, 3... Stopper pin, 4... Stopper plate, 5... Holder, 6... Squeegee, 7... Holding plate, 8... Scraping member, 9... Cylinder (pressing part).
Claims (1)
ツパーピンとストツパープレートの組と、一対の
押圧部とを有するレジスト除去装置であつて、 一対の回転軸は、基板の搬送ラインに対して等
間隔の位置に回動可能に設けられたものであり、 一対の掻き取り部材は、回転軸に基板の搬送ラ
インを挾んで対称に取付けられ、それぞれスキー
ジを有し、 スキージは、弾性を有する角棒状であり、掻き
取り部材の先端に取付けられ、基板上からレジス
トを掻き取るものであり、 ストツパーピンは、回転軸の近傍に固定して設
けられたものであり、 ストツパープレートは、回転軸に一体に取付け
られ、回転軸の角回転によりストツパーピンに当
接するものであり、 組をなすストツパーピンとストツパープレート
とは、両者が当接したときに、一対の掻き取り部
材に取付けられたスキージが基板の搬送ライン上
で密着する位置に回転軸を固定するものであり、 一対の押圧部は、スキージ間の隙間調整を行う
ものであつて、スキージ間に基板が不在の場合に
は、押圧力を掻き取り部材に使用させストツパー
ピンにストツパープレートを押付けて回転軸の回
転を規制しスキージ間を密着させ、スキージ間を
基板が通過する場合には、押圧力を緩めてスキー
ジ間の隙間を基板の先端で拡開可能に調整するも
のであることを特徴とするレジスト除去装置。[Claims for Utility Model Registration] A resist removing device having a pair of rotating shafts, a pair of scraping members, a set of a stopper pin and a stopper plate, and a pair of pressing parts, the pair of rotating shafts comprising: The scraping members are rotatably installed at equal intervals with respect to the substrate transport line, and the pair of scraping members are symmetrically attached to the rotating shaft with the substrate transport line in between, and each has a squeegee. The squeegee is an elastic square bar-shaped and is attached to the tip of the scraping member to scrape off the resist from the substrate. The stopper pin is fixedly provided near the rotation axis. The stopper plate is integrally attached to the rotating shaft and comes into contact with the stopper pin due to the angular rotation of the rotating shaft, and when the stopper pin and stopper plate make a pair, a pair of scraping The rotating shaft is fixed at a position where the squeegee attached to the member is in close contact with the substrate conveyance line, and the pair of pressing parts are used to adjust the gap between the squeegees, so that there is no substrate between the squeegees. In this case, use the pressing force on the scraping member and press the stopper plate against the stopper pin to restrict the rotation of the rotating shaft and make the squeegees come into close contact, and when the substrate passes between the squeegees, loosen the pressing force. A resist removing device characterized in that the gap between the squeegee can be adjusted to be expandable at the tip of the substrate.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1987166455U JPH0543491Y2 (en) | 1987-10-30 | 1987-10-30 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP1987166455U JPH0543491Y2 (en) | 1987-10-30 | 1987-10-30 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JPH0171469U JPH0171469U (en) | 1989-05-12 |
JPH0543491Y2 true JPH0543491Y2 (en) | 1993-11-02 |
Family
ID=31453851
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP1987166455U Expired - Lifetime JPH0543491Y2 (en) | 1987-10-30 | 1987-10-30 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JPH0543491Y2 (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5301120B2 (en) * | 2007-07-03 | 2013-09-25 | 東京応化工業株式会社 | Cleaning device, cleaning method, preliminary discharge device, and coating device |
-
1987
- 1987-10-30 JP JP1987166455U patent/JPH0543491Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0171469U (en) | 1989-05-12 |
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