JPH0542349Y2 - - Google Patents
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- JPH0542349Y2 JPH0542349Y2 JP4931387U JP4931387U JPH0542349Y2 JP H0542349 Y2 JPH0542349 Y2 JP H0542349Y2 JP 4931387 U JP4931387 U JP 4931387U JP 4931387 U JP4931387 U JP 4931387U JP H0542349 Y2 JPH0542349 Y2 JP H0542349Y2
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Description
【考案の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本考案はフーリエ変換赤外分光光度計の干渉計
で用いられる固定鏡の傾きを調節する機構に関す
るものである。[Detailed Description of the Invention] (Industrial Application Field) The present invention relates to a mechanism for adjusting the inclination of a fixed mirror used in an interferometer of a Fourier transform infrared spectrophotometer.
（従来の技術）
第３図にフーリエ変換赤外分光光度計に用いら
れるマイケルソン干渉計を示す。(Prior Art) FIG. 3 shows a Michelson interferometer used in a Fourier transform infrared spectrophotometer.
２は赤外光源、４はビームスプリツタ、６は固
定鏡、８は移動鏡であり、光源からの赤外線はビ
ームスプリツタ４で２分され、一方は固定鏡６で
反射されてビームスプリツタ４に戻り、他方は移
動鏡８で反射されてビームスプリツタ４に戻り、
固定鏡６で反射された光と移動鏡８で反射された
光がビームスプリツタ４で合一して干渉波とな
り、デイテクタへ導かれて検出される。 2 is an infrared light source, 4 is a beam splitter, 6 is a fixed mirror, and 8 is a movable mirror.The infrared rays from the light source are split into two by the beam splitter 4, and one is reflected by the fixed mirror 6 and sent to the beam splitter. 4, the other is reflected by the moving mirror 8 and returns to the beam splitter 4,
The light reflected by the fixed mirror 6 and the light reflected by the movable mirror 8 are combined at the beam splitter 4 to form an interference wave, which is guided to a detector and detected.
固定鏡６には、外乱による干渉のずれを補正す
るために調節機構１０が設けられている。 The fixed mirror 6 is provided with an adjustment mechanism 10 to correct interference deviations caused by disturbances.
従来の調節機構としては、第４図及び第５図に
示されるものがある。第５図は第４図のＢ−Ｂ線
位置での断面図である。 Conventional adjustment mechanisms include those shown in FIGS. 4 and 5. FIG. 5 is a sectional view taken along line B--B in FIG. 4.
表面で固定鏡６を保持するミラーホルダ１２の
裏面の３点に調節部材として積層圧電アクチユエ
ータ１４−１〜１４−３が取りつけられている。
１６は積層圧電アクチユエータを保持する微調整
ホルダであり、積層圧電アクチユエータ１４−１
〜１４−３はネジ１８によつて微調整ホルダ１６
に取りつけられている。微調整ホルダ１６自体も
固定鏡６の法線方向の傾きを調整する調整機構を
独自に備えている。 Laminated piezoelectric actuators 14-1 to 14-3 are attached as adjustment members at three points on the back surface of the mirror holder 12, which holds the fixed mirror 6 on the front surface.
16 is a fine adjustment holder that holds the laminated piezoelectric actuator, and the laminated piezoelectric actuator 14-1
~14-3 is the fine adjustment holder 16 with the screw 18.
is attached to. The fine adjustment holder 16 itself also has its own adjustment mechanism for adjusting the inclination of the fixed mirror 6 in the normal direction.
積層圧電アクチユエータ１４−１〜１４−３は
それぞれ調節用の電圧が印加されることによつて
矢印で示されるように軸方向に伸縮し、３個の積
層圧電アクチユエータ１４−１〜１４−３の伸縮
の割合によつてミラーホルダ１２を介して固定鏡
６の傾きが調節される。 The laminated piezoelectric actuators 14-1 to 14-3 expand and contract in the axial direction as shown by the arrows when adjustment voltages are applied to each of the three laminated piezoelectric actuators 14-1 to 14-3. The inclination of the fixed mirror 6 is adjusted via the mirror holder 12 depending on the rate of expansion and contraction.
（考案が解決しようとする問題点）
第４図及び第５図に示されるように３点でミラ
ーホルダ１２を支持して調節する方式では、固定
鏡６の傾きを調節するために３個の積層圧電アク
チユエータ１４−１〜１４−３を全て動作させな
ければならず、その制御は容易ではない。(Problems to be solved by the invention) In the method of supporting and adjusting the mirror holder 12 at three points as shown in FIGS. 4 and 5, three points are used to adjust the inclination of the fixed mirror 6. All of the laminated piezoelectric actuators 14-1 to 14-3 must be operated, which is not easy to control.
積層圧電アクチユエータ１４−１〜１４−３の
先端をミラーホルダ１２の裏面に固定しておかな
くてはならないので、その固定部分で歪が発生
し、調節機構の寿命を短かくする問題がある。 Since the tips of the laminated piezoelectric actuators 14-1 to 14-3 must be fixed to the back surface of the mirror holder 12, distortion occurs at the fixed portions, resulting in a problem of shortening the life of the adjustment mechanism.
本考案は、固定鏡６の傾きの調節が容易で、し
かも積層圧電アクチユエータに歪が発生しにく
く、寿命を長くすることのできる固定鏡調節機構
を提供することを目的とするものである。 The object of the present invention is to provide a fixed mirror adjustment mechanism that can easily adjust the inclination of the fixed mirror 6, is less likely to cause distortion in the laminated piezoelectric actuator, and can extend its life.
（問題点を解決するための手段）
実施例を示す第１図及び第２図を参照して説明
すると、本考案固定鏡調節機構では、ミラーホル
ダ１２の裏面の中心にセンターバー２０を取りつ
けてミラーホルダの法線方向が調節できるように
支持し、ミラーホルダ２０の裏面上でセンターバ
ー２０の取りつけ位置を中心とする円上の互いに
90度をなす４点にそれぞれ調節部材２２，２２
ａ，２４，２４ａの先端のボール３０を点接触さ
せ、180度の位置に配置されている一対の調節部
材２２，２４，２２ａ，２４ａは一方が積層圧電
アクチユエータ、他方が皿バネ３６を備えたバネ
ユニツトであり、調節部材２２，２２ａ，２４，
２４ａはミラーホルダ１２を点接触で押しつける
ボール３０を先端に備えており、かつ、センター
バー２０及び調節部材２２，２２ａ，２４，２４
ａをハウジング１６，３８により支持し、ハウジ
ング１６，３８は固定鏡６の法線の上下方向及び
左右方向の傾きを調整する２方向の調整機構４
０，４４，４６を備えている。(Means for Solving the Problems) To explain with reference to FIGS. 1 and 2 showing an embodiment, in the fixed mirror adjustment mechanism of the present invention, a center bar 20 is attached to the center of the back surface of the mirror holder 12. The mirror holder 20 is supported so that its normal direction can be adjusted, and the mirror holder 20 is supported so that the normal direction thereof can be adjusted, and the mirror holder 20 is supported so that the normal direction of the mirror holder 20 can be adjusted.
Adjustment members 22, 22 are installed at four points forming 90 degrees, respectively.
A pair of adjustment members 22, 24, 22a, 24a are arranged at 180 degrees with the balls 30 at the ends of the adjustment members 22, 24, 24a in point contact with each other, one of which is equipped with a laminated piezoelectric actuator and the other with a disc spring 36. It is a spring unit, and adjustment members 22, 22a, 24,
24a is equipped with a ball 30 at the tip that presses the mirror holder 12 with point contact, and the center bar 20 and adjustment members 22, 22a, 24, 24
a is supported by housings 16 and 38, and the housings 16 and 38 are two-way adjustment mechanisms 4 that adjust the vertical and horizontal inclinations of the normal line of the fixed mirror 6.
0,44,46.
（実施例）
第１図は一実施例を示す縦断面図、第２図は第
１図のＡ−Ａ線位置での断面図である。(Embodiment) FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing one embodiment, and FIG. 2 is a sectional view taken along line A-A in FIG. 1.
固定鏡６はミラーホルダ１２の表面に取りつけ
られている。ミラーホルダ１２の裏面の中心には
センターバー２０がネジ留めされている。センタ
ーバー２０は微調整ホルダ１６を貫通して設けら
れ、センターバー２０の他端は微調整ホルダ１６
のミラーホルダ１２とは反対側の面でネジ留めさ
れている。センターバー２０が曲がることによつ
て固定鏡６の法線方向の角度が自由に変化する。 The fixed mirror 6 is attached to the surface of the mirror holder 12. A center bar 20 is screwed to the center of the back surface of the mirror holder 12. The center bar 20 is provided to pass through the fine adjustment holder 16, and the other end of the center bar 20 is attached to the fine adjustment holder 16.
It is screwed on the opposite side of the mirror holder 12. By bending the center bar 20, the angle in the normal direction of the fixed mirror 6 can be freely changed.
固定鏡６の法線方向の角度の調節可能な範囲は
±２分程度であるが、固定鏡６の調節範囲として
はこの程度の大きさで十分である。 The adjustable range of the angle in the normal direction of the fixed mirror 6 is about ±2 minutes, but this range is sufficient for the adjustable range of the fixed mirror 6.
微調整ホルダ１６にはセンターバー２０を中心
とする円の円周上に互いに90度の位置に４個の調
節部材２２，２２ａ，２４，２４ａが設けられて
いる。４個の調節部材２２，２２ａ，２４，２４
ａのうち、互いに180度の位置にある対をなす調
節部材２２と２４，２２ａと２４ａは、各対の一
方は積層圧電アクチユエータ２２，２２ａであ
り、他方はバネユニツト２４，２４ａである。 The fine adjustment holder 16 is provided with four adjustment members 22, 22a, 24, and 24a at positions 90 degrees apart from each other on the circumference of a circle centered on the center bar 20. Four adjustment members 22, 22a, 24, 24
Among the pairs of adjustment members 22 and 24, 22a and 24a, located at 180 degrees from each other, one of each pair is a laminated piezoelectric actuator 22, 22a, and the other is a spring unit 24, 24a.
積層圧電アクチユエータ２２，２２ａの基端部
はネジ２６に接着され、ネジ２６はミラーホルダ
１２とは反対側において微調整ホルダ１６にネジ
留めされる。積層圧電アクチユエータ２２，２２
ａの先端にはタングステンカーバイトを素材とす
る当接部材２８が設けられており、この当接部材
２８とミラーホルダ１２の間にはステンレス製の
ボール３０が設けられている。 The base ends of the laminated piezoelectric actuators 22 and 22a are glued to screws 26, and the screws 26 are screwed to the fine adjustment holder 16 on the side opposite to the mirror holder 12. Laminated piezoelectric actuator 22, 22
A contact member 28 made of tungsten carbide is provided at the tip of a, and a stainless steel ball 30 is provided between the contact member 28 and the mirror holder 12.
バネユニツト２４，２４ａでは、バネのガイド
３２の軸３２ａがネジ３４にスライドできるよう
に挿入されており、バネのガイド３２とネジ３４
の間の軸３２ａには皿バネ３６が複数枚組み合わ
されて嵌め込まれている。皿バネ３６としては、
例えば直径８mmのものを２枚重ねで12〜14枚を用
いる。 In the spring units 24, 24a, the shaft 32a of the spring guide 32 is slidably inserted into the screw 34, and the spring guide 32 and the screw 34 are slidably inserted into each other.
A plurality of disc springs 36 are fitted into the shaft 32a between them. As the disc spring 36,
For example, use 12 to 14 pieces of 8mm diameter pieces, stacked in pairs.
ネジ３４はミラーホルダ１２とは反対側で微調
整ホルダ１６にネジ留めされており、また、バネ
のガイド３２の先端部にはタングステンカーバイ
トを素材とする調節部材２８が設けられている。 The screw 34 is screwed to the fine adjustment holder 16 on the opposite side from the mirror holder 12, and an adjustment member 28 made of tungsten carbide is provided at the tip of the spring guide 32.
当接部材２８とミラーホルダ１２の間には、や
はりステンレス製のボール３０が設けられてい
る。 A ball 30 also made of stainless steel is provided between the abutting member 28 and the mirror holder 12.
積層圧電アクチユエータ２２とバネユニツト２
４の一対の調節部材の先端間の方向は、他の一対
の調節部材である積層圧電アクチユエータ２２ａ
とバネユニツト２４ａの先端間の方向と直交して
いる。積層圧電アクチユエータ２２と２２ａは同
じ構造をしており、バネユニツト２４と２４ａは
同じ構造をしている。 Laminated piezoelectric actuator 22 and spring unit 2
The direction between the tips of the pair of adjusting members 4 is the same as that of the laminated piezoelectric actuator 22a, which is the other pair of adjusting members.
and the direction between the tips of the spring unit 24a. The laminated piezoelectric actuators 22 and 22a have the same structure, and the spring units 24 and 24a have the same structure.
ハウジングは微調整ホルダ１６と微調整ベース
３８の２つの部分からなつている。微調整ホルダ
１６は微調整ベース３８にピン４０によつて支持
され、矢印４２で示す方向に回転して固定鏡６の
法線方向を上下方向に調整することができる。ピ
ン４０の周りの微調整ホルダ１６の回転は締めつ
けネジ４３によつて固定することができる。 The housing consists of two parts: a fine adjustment holder 16 and a fine adjustment base 38. The fine adjustment holder 16 is supported by a pin 40 on the fine adjustment base 38, and can be rotated in the direction shown by an arrow 42 to adjust the normal direction of the fixed mirror 6 in the vertical direction. The rotation of the fine adjustment holder 16 around the pin 40 can be fixed by a tightening screw 43.
微調整ベース３８はネジ４４，４６によつてベ
ース（図示略）に取り付けられており、これらの
ネジ４４，４６を緩めてベースの孔の範囲で微調
整ベース３８を移動させ、再びネジ４４，４６を
固定することによつて、固定鏡６の法線方向の角
度を左右方向に調整することができる。微調整ホ
ルダ１６と微調整ベース３８による調整は、光軸
合わせや干渉合わせとして行なわれ、積層圧電ア
クチユエータ２２，２２ａとバネユニツト２４，
２４ａをセンター位置に設定した後、調節部材の
調節とは独立に粗調整として行なわれる。 The fine adjustment base 38 is attached to a base (not shown) by screws 44 and 46. Loosen these screws 44 and 46 to move the fine adjustment base 38 within the hole of the base, and then tighten the screws 44 and 46 again. By fixing 46, the angle of the fixed mirror 6 in the normal direction can be adjusted in the left-right direction. Adjustment by the fine adjustment holder 16 and the fine adjustment base 38 is performed as optical axis alignment or interference alignment, and is performed by the laminated piezoelectric actuators 22, 22a, the spring unit 24,
After setting 24a to the center position, a coarse adjustment is made independently of the adjustment of the adjustment member.
ミラーホルダ１２の裏面において４個のボール
３０と当接する部分にはタングステンカーバイト
を素材とする当接部材４８がそれぞれ設けられて
いる。 Contact members 48 made of tungsten carbide are provided on the back surface of the mirror holder 12 at portions that contact the four balls 30, respectively.
次に、本実施例の動作について説明する。 Next, the operation of this embodiment will be explained.
積層圧電アクチユエータ２２，２２ａとバネユ
ニツト２４，２４ａをセンター位置に設定し、微
調整ホルダ１６と微調整ベース３８を粗調整した
後、干渉計を動作させる。 After the laminated piezoelectric actuators 22, 22a and the spring units 24, 24a are set at the center position, and the fine adjustment holder 16 and fine adjustment base 38 are roughly adjusted, the interferometer is operated.
干渉計の動作中に外乱によつて干渉のずれが発
生した場合、積層圧電アクチユエータ２２と２２
ａの一方又は両方に印加する電圧を変化させる。
この印加電圧の変化によつて積層圧電アクチユエ
ータ２２，２２ａが変位してその軸方向の長さが
変化する。この変化に伴なつてミラーホルダ１２
と固定鏡６がセンターバー２０を中心として回転
し、それらの法線方向の傾きが調節される。 If interference deviation occurs due to disturbance during operation of the interferometer, the laminated piezoelectric actuators 22 and 22
The voltage applied to one or both of a is changed.
Due to this change in applied voltage, the laminated piezoelectric actuators 22, 22a are displaced and their axial lengths are changed. Along with this change, the mirror holder 12
The fixed mirror 6 rotates around the center bar 20, and the inclination in the normal direction thereof is adjusted.
バネユニツト２４，２４ａのネジ３４を閉め込
むことによつて皿バネ３６の反力を大きくするこ
とができる。皿バネ３６はバネ定数が非常に大き
いので、微小な変位で大きい反力を得ることがで
きる。例えば積層圧電アクチユエータ２２，２２
ａの最大パワーＰ＝85KgFに対して皿バネ３６
では50〜60KgF程度の反力を得ることができ、
十分に釣り合うことができる。 By tightening the screws 34 of the spring units 24, 24a, the reaction force of the disc spring 36 can be increased. Since the disc spring 36 has a very large spring constant, a large reaction force can be obtained with a small displacement. For example, laminated piezoelectric actuators 22, 22
Disc spring 36 for maximum power P = 85KgF of a
It is possible to obtain a reaction force of about 50 to 60KgF,
can be adequately balanced.
実施例ではボール３０と当接する部分にタング
ステンカーバイト（WC）を素材とする当接部材
２８，４８を設けている。この当接部材２８，４
８の材質をWCとCoの焼結合金、TiC，TiN、も
しくはTaCなどの焼結合金、又はこれらの混合
物の焼結合金、それらの合金の表面にアルミナを
コーテイングした複合材、割れにくいセラミツク
など、ロツクウエル硬さで87以上程度の硬さをも
つものを使用するのが好都合である。 In the embodiment, contact members 28 and 48 made of tungsten carbide (WC) are provided at the portions that contact the ball 30. This contact member 28, 4
The material in item 8 can be a sintered alloy of WC and Co, a sintered alloy of TiC, TiN, or TaC, a sintered alloy of a mixture of these, a composite material made of these alloys coated with alumina, a ceramic that is hard to break, etc. It is convenient to use a material with a Rockwell hardness of 87 or higher.
本考案ではミラーホルダ１２の当接部分にボー
ル３０を用いて点接触によつて当接するようにし
ているので、ミラーホルダ１２や積層圧電アクチ
ユエータ２２，２２ａ及びバネユニツトのガイド
３２に過大な応力がかかり、それらの部分が凹む
などの変形がおこり、固定鏡６の正確な傾き調整
が困難になることがある。また、積層圧電アクチ
ユエータ２２，２２ａに過大な圧力がかかつて組
立て時にクラツクが入ることがある。そこで実施
例のように高度の高い材質の当接部材２８，４８
を設けることによつてボール３０との当接部分の
変形やクラツクの発生を防止し、固定鏡６の調節
の誤差をなくしたり、組立て時の積層圧電アクチ
ユエータ２２，２２ａの破損を防止することがで
きる。 In the present invention, since the ball 30 is used in the abutting portion of the mirror holder 12 to make point contact, excessive stress is applied to the mirror holder 12, the laminated piezoelectric actuators 22, 22a, and the guide 32 of the spring unit. , deformation such as denting of these parts may occur, making it difficult to accurately adjust the tilt of the fixed mirror 6. Further, excessive pressure may be applied to the laminated piezoelectric actuators 22, 22a, which may cause cracks during assembly. Therefore, as in the embodiment, the contact members 28, 48 made of a high quality material are used.
By providing this, it is possible to prevent deformation and cracking of the contact portion with the ball 30, eliminate errors in adjustment of the fixed mirror 6, and prevent damage to the laminated piezoelectric actuators 22, 22a during assembly. can.
センターバー２０としてはステンレス、アルミ
ニウム又はFRP樹脂などを用いることができる。
しかしながら、これらの材質は積層圧電アクチユ
エータ２２，２２ａと線膨張係数が大きく違うた
め、温度変化によつて固定鏡６の傾きが変化し、
温度変化が大きくなるとその温度変化による固定
鏡６の傾きを補正するので困難になることがあ
る。そこで、センターバー２０と積層圧電アクチ
ユエータ２２，２２ａとの軸方向の熱膨張量を等
しく又はほぼ等しくするために、センターバー２
０の材質としてコバールを使用することができ
る。コバールはまた、動作時のセンターバー２０
の曲げに対しても、弾性係数が小さいので好都合
である。 The center bar 20 can be made of stainless steel, aluminum, FRP resin, or the like.
However, since the linear expansion coefficient of these materials is significantly different from that of the laminated piezoelectric actuators 22 and 22a, the tilt of the fixed mirror 6 changes due to temperature changes.
If the temperature change becomes large, it may become difficult to correct the tilt of the fixed mirror 6 due to the temperature change. Therefore, in order to make the amount of axial thermal expansion of the center bar 20 and the laminated piezoelectric actuators 22, 22a equal or almost equal, the center bar 20 and the laminated piezoelectric actuators 22, 22a are
Kovar can be used as the material of 0. Kovar also has a center bar 20 during operation.
It is also advantageous for bending due to its small elastic modulus.
（考案の効果）
本考案では固定鏡を保持するミラーホルダの裏
面の中央をセンターバーで支持し、その周囲の４
点を調節部材で調節するようにしたので、固定鏡
の調節の制御が容易になる。(Effect of the invention) In this invention, the center of the back of the mirror holder that holds the fixed mirror is supported by a center bar, and the four
Since the point is adjusted by the adjustment member, the adjustment of the fixed mirror can be easily controlled.
互いに180度の位置にある一対の調節部材の一
方を積層圧電アクチユエータ、他方をバネユニツ
トとしたので、それらの調節部材の先端とミラー
ホルダとの間を固定する必要がなく、したがつて
積層圧電アクチユエータなどに歪が入らない。 Since one of the pair of adjustment members located at 180 degrees from each other is a laminated piezoelectric actuator and the other is a spring unit, there is no need to fix between the tips of these adjustment members and the mirror holder, and therefore the laminated piezoelectric actuator No distortion occurs.
ミラーホルダと調節部材の間にはボールを介在
させて点接触によつてミラーホルダを押しつける
ようにしたので、調節部材の先端の形状や加工精
度によつてミラーホルダの当接部分の位置が変化
せず、調節の精度が向上する。 Since a ball is interposed between the mirror holder and the adjustment member to press the mirror holder through point contact, the position of the contact part of the mirror holder changes depending on the shape of the tip of the adjustment member and the processing accuracy. This improves the accuracy of adjustment.
調節部材のバネユニツトのバネとして皿バネを
使用したので、固定鏡の角度の調節の応答速度を
速くすることができる。もしバネユニツトにコイ
ルバネを用いた場合には、コイルバネのバネ定数
が小さく、時定数が大きいため応答速度が遅くな
る。また、積層圧電アクチユエータの出す力と比
較してコイルバネの反力が小さいため、固定鏡の
角度調節の応答速度が遅くなる。 Since a disc spring is used as the spring of the spring unit of the adjustment member, the response speed for adjusting the angle of the fixed mirror can be increased. If a coil spring is used in the spring unit, the spring constant of the coil spring is small and the time constant is large, resulting in a slow response speed. Furthermore, since the reaction force of the coil spring is smaller than the force exerted by the laminated piezoelectric actuator, the response speed for adjusting the angle of the fixed mirror is slow.
バネユニツトに皿バネを用いると、バネユニツ
ト及び積層圧電アクチユエータの位置を少し変化
させても皿バネの反力が大きく変化する。そこで
本考案では、ハウジングで調節部材と独立に粗調
整される調整機構を備えたので、積層圧電アクチ
ユエータやバネユニツトのセンター位置の設定後
はそれらの調節部材の条件を変えないで粗調整を
行なうことができる。 When a disc spring is used as the spring unit, the reaction force of the disc spring changes greatly even if the positions of the spring unit and the laminated piezoelectric actuator are slightly changed. Therefore, in the present invention, since the housing is equipped with an adjustment mechanism that allows coarse adjustment independently of the adjustment member, after setting the center position of the laminated piezoelectric actuator or spring unit, coarse adjustment can be performed without changing the conditions of those adjustment members. Can be done.
このように、本考案によれば固定鏡の傾きの調
節が容易になり、しかも調節の周波数を高くする
ことができ、外乱による干渉のずれの補正を良好
に行なうことができる。 As described above, according to the present invention, the inclination of the fixed mirror can be easily adjusted, and the frequency of adjustment can be increased, so that interference deviations caused by disturbances can be effectively corrected.
第１図は一実施例を示す縦断面図、第２図は第
１図のＡ−Ａ線位置での断面図、第３図は本考案
が適用されるマイケルソン干渉計を示す概略図、
第４図は従来の固定鏡調節機構を示す縦断面図、
第５図は第４図のＢ−Ｂ線位置での断面図であ
る。
６……固定鏡、１２……ミラーホルダ、１６…
…微調整ホルダ、２０……センターバー、２２，
２２ａ……積層圧電アクチユエータ、２４，２４
ａ……バネユニツト、３０……ボール、３６……
皿バネ、３８……微調整ベース、４０……ピン、
４４，４６……ネジ。
FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing one embodiment, FIG. 2 is a sectional view taken along line A-A in FIG. 1, and FIG. 3 is a schematic diagram showing a Michelson interferometer to which the present invention is applied.
FIG. 4 is a longitudinal sectional view showing a conventional fixed mirror adjustment mechanism;
FIG. 5 is a sectional view taken along line B--B in FIG. 4. 6...Fixed mirror, 12...Mirror holder, 16...
... Fine adjustment holder, 20 ... Center bar, 22,
22a...Laminated piezoelectric actuator, 24, 24
a... Spring unit, 30... Ball, 36...
Belleville spring, 38...fine adjustment base, 40...pin,
44, 46...screw.
Claims (1)
中心にセンターバーを取りつけてミラーホルダの
法線方向が調節できるように支持し、ミラーホル
ダの裏面上で前記センターバーの取りつけ位置を
中心とする円上の互いに90度をなす４点にそれぞ
れの調節部材の先端のボールを点接触させ、180
度の位置に配置されている一対の調節部材は一方
が積層圧電アクチユエータ、他方が皿バネを備え
たバネユニツトであり、各調節部材はミラーホル
ダを点接触で押しつけるボールを先端に備えてお
り、かつ、前記センターバー及び前記４個の調節
部材をハウジングにより支持し、このハウジング
は固定鏡の法線の上下方向及び左右方向の傾きを
調整する２方向の調整機構を備えているフーリエ
変換赤外分光光度計の固定鏡調節機構。 A center bar is attached to the center of the back surface of a mirror holder that holds a fixed mirror on the front surface, and the normal direction of the mirror holder is supported so as to be adjustable, and a circle centered on the mounting position of the center bar is formed on the back surface of the mirror holder. Point the ball at the tip of each adjustment member to the four points on the top that are at 90 degrees to each other, and
The pair of adjusting members arranged at the same position are each a spring unit with one having a laminated piezoelectric actuator and the other having a disc spring, and each adjusting member has a ball at its tip that presses the mirror holder with point contact, and , the center bar and the four adjustment members are supported by a housing, and the housing is equipped with a two-way adjustment mechanism for adjusting the vertical and horizontal inclinations of the normal line of the fixed mirror. Fixed mirror adjustment mechanism of photometer.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4931387U JPH0542349Y2 (en) | 1987-03-31 | 1987-03-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4931387U JPH0542349Y2 (en) | 1987-03-31 | 1987-03-31 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63156036U JPS63156036U (en) | 1988-10-13 |
| JPH0542349Y2 true JPH0542349Y2 (en) | 1993-10-26 |
Family
ID=30871648
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4931387U Expired - Lifetime JPH0542349Y2 (en) | 1987-03-31 | 1987-03-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0542349Y2 (en) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2590713B2 (en) * | 1993-11-15 | 1997-03-12 | 日本電気株式会社 | Reflector device for mounting on a spacecraft and distortion correction device for the reflector device |
| JP5574941B2 (en) * | 2010-12-20 | 2014-08-20 | 株式会社東芝 | Mirror holder |
-
1987
- 1987-03-31 JP JP4931387U patent/JPH0542349Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63156036U (en) | 1988-10-13 |
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