JPH0542334Y2 - - Google Patents
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- JPH0542334Y2 JPH0542334Y2 JP4506887U JP4506887U JPH0542334Y2 JP H0542334 Y2 JPH0542334 Y2 JP H0542334Y2 JP 4506887 U JP4506887 U JP 4506887U JP 4506887 U JP4506887 U JP 4506887U JP H0542334 Y2 JPH0542334 Y2 JP H0542334Y2
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- Measuring Volume Flow (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本考案は、セラミツクス製の測定管を有するセ
ラミツクス電磁流量計に関するものである。[Detailed Description of the Invention] (Industrial Application Field) The present invention relates to a ceramic electromagnetic flowmeter having a measuring tube made of ceramics.
（従来の技術）
第２図は従来より一般に使用されている従来例
の構成説明図である。(Prior Art) FIG. 2 is a diagram illustrating the configuration of a conventional example that has been commonly used.
図において、１はセラミツクス製の円筒状の測
定管である。１１，１２は測定管１に対向して配
置され導電性粉末を混合し測定管１と一体に焼成
して形成された柱状のサーメツトの電極である。 In the figure, 1 is a cylindrical measuring tube made of ceramics. Reference numerals 11 and 12 are columnar cermet electrodes arranged opposite to the measuring tube 1 and formed by mixing conductive powder and firing the mixture together with the measuring tube 1.
（考案が解決しようとする問題点）
このような電極においては、
導電性粉末の材質としては、導電性粉末の融点
が、セラミツク製の測定管の焼成温度より高いこ
と、かつ、高耐食性を有することが必要で、たと
えば、アルミナ（Al2O3）、ジルコニア（ZrO2）
等の酸化物セラミツクスに白金（Pt）あるいは
パラジウム（Pd）を混合する組み合わせが適当
である。(Problems to be solved by the invention) In such an electrode, the material of the conductive powder must be one that has a melting point higher than the firing temperature of the ceramic measuring tube and has high corrosion resistance. For example, alumina (Al 2 O 3 ), zirconia (ZrO 2 )
A suitable combination is mixing platinum (Pt) or palladium (Pd) with oxide ceramics such as oxide ceramics.
次に、混合する導電性粉末の割合は、シール性
能の信頼性及びコストの面からは導電性が得られ
る範囲内でなるべく少い方が良い。電極部１１，
１２と測定管１との境界でのシール性能からは、
導電性微粉末の含有率は少なければ少いほどよ
い。なぜならば、含有率が増すほど焼成時の収縮
率が小さくなり、周囲の素地セラミツクスとの収
縮率差が大きくなり、シール性の信頼性が低下す
る。このため、導電性が得られる範囲内で含有率
はなるべく少い方がよい。 Next, the proportion of the conductive powder to be mixed is preferably as small as possible within the range that provides conductivity from the viewpoint of reliability of sealing performance and cost. electrode part 11,
From the sealing performance at the boundary between 12 and measuring tube 1,
The lower the content of the conductive fine powder, the better. This is because the higher the content, the smaller the shrinkage rate during firing, the larger the difference in shrinkage rate with the surrounding base ceramics, and the lower the reliability of sealing performance. Therefore, the content should be as low as possible within the range that provides conductivity.
すなわち、一体に焼成される際に発生するセラ
ミツクス材よりなる測定管１の収縮は第３図に示
す如く、電極１１，１２の半径方向のＸ方向及び
電極１１，１２の軸方向Ｙとがある。電極１１，
１２の導電性微粉末の体積含有率が高いと、セラ
ミツクス材よりなる測定管１に比べて殆んど収縮
しないため、その境界には、収縮Ｙによるせん断
応力が、さらに境界近傍の測定管側には、収縮Ｘ
により周方向の引張り応力が発生する。このよう
に応力の発生した状態で、セラミツクスの焼成が
進むため、境界には、クラツクが発生しやすく、
このクラツクが漏れ孔を形成し十分な気密性が確
保できない。 That is, as shown in FIG. 3, the contraction of the measurement tube 1 made of ceramic material that occurs when the two are fired together is in the radial X direction of the electrodes 11 and 12 and in the axial direction Y of the electrodes 11 and 12. . electrode 11,
When the volume content of the conductive fine powder 12 is high, it hardly shrinks compared to the measurement tube 1 made of ceramic material. is the contraction
This generates tensile stress in the circumferential direction. As the firing of ceramics proceeds in this stress-generated state, cracks are likely to occur at the boundaries.
This crack forms a leak hole, making it impossible to ensure sufficient airtightness.
また、焼成直後では、漏れ孔を形成するまでの
クラツクには至らなかつたとしても、境界部分に
は、応力が残留していることとなり、その後、使
用中に生じる繰り返し応力、たとえば、熱衝撃等
により漏れ孔が形成されることがあり、シール性
の信頼性に問題がある。 In addition, even if the crack does not reach the point where a leak hole is formed immediately after firing, stress remains in the boundary area, and after that, repeated stress that occurs during use, such as thermal shock, etc. This may cause leakage holes to form, resulting in problems with sealing reliability.
また、一般にセラミツクスへの導電性物質の混
入は、体積含有率において、19％以下では、絶縁
性が確保されることが、たとえば、特開昭55−
91949号公報等で知られている。 In addition, it is generally known that insulation properties can be ensured when the volume content of conductive substances mixed into ceramics is 19% or less.
It is known from Publication No. 91949, etc.
本考案はこれ等の問題点を解決するものであ
る。 The present invention solves these problems.
本考案の目的は、電極部のシール性について高
信頼性を確保し得ると共に、測定管の耐熱衝撃性
を向上し得るセラミツクス電磁流量計を提供する
にある。 An object of the present invention is to provide a ceramic electromagnetic flowmeter that can ensure high reliability in the sealing performance of the electrode portion and improve the thermal shock resistance of the measuring tube.
（問題点を解決するための手段）
この目的を達成するために、本願は、測定流体
が流れセラミツクス材よりなる測定管中の電極部
分に導電性物質が埋込み焼成されたセラミツクス
電磁流量計において、導電性物質が混入されたセ
ラミツクスよりなり導電性を有する電極部分と、
導電性の金属物質が混入されたセラミツクスより
なり絶縁性を有する測定管とを具備したことを特
徴とするセラミツクス電磁流量計を構成したもの
である。(Means for Solving the Problems) In order to achieve this object, the present application provides a ceramic electromagnetic flowmeter in which a conductive material is embedded and fired in the electrode portion of a measuring tube made of ceramic material through which a measuring fluid flows. a conductive electrode part made of ceramics mixed with a conductive substance;
The present invention is a ceramic electromagnetic flowmeter characterized by comprising an insulating measuring tube made of ceramic mixed with a conductive metal substance.
（作用）
以上の構成において、本考案装置は、導電性の
金属物質が混入されたセラミツクスよりなる測定
管の電極取付け用孔に、導電性物質が混入された
セラミツクスよりなり導電性を有する仮成形され
た電極部分を嵌挿した後、焼成して、電極部分と
測定管とを一体化して作る。(Function) With the above configuration, the device of the present invention has a pre-formed conductive material made of ceramics mixed with a conductive metal material in the electrode mounting hole of the measuring tube made of ceramics mixed with a conductive metal material. After fitting and inserting the electrode part, the electrode part and the measurement tube are integrated by firing.
以下、実施例に基づき詳細に説明する。 Hereinafter, a detailed explanation will be given based on examples.
（実施例）
第１図は、本考案の一実施例の構成説明図であ
る。(Embodiment) FIG. 1 is an explanatory diagram of the configuration of an embodiment of the present invention.
図において、２は白金あるいはパラジウムの体
積含有率が10％に混入されたセラミツクスよりな
る測定管である。２１，２２は測定管２に設けら
れた電極取付け用の孔である。２３，２４は電極
取付用の孔２１，２２に嵌挿され測定管２と一体
的に構成された柱状の電極部分である。電極部分
２３，２４は白金あるいはパラジウムの体積含有
率が40％混入されたセラミツクスよりなり導電性
を有する。 In the figure, 2 is a measuring tube made of ceramics mixed with platinum or palladium at a volumetric content of 10%. Reference numerals 21 and 22 are holes provided in the measuring tube 2 for attaching electrodes. Reference numerals 23 and 24 denote columnar electrode portions that are fitted into the electrode mounting holes 21 and 22 and are integrally constructed with the measurement tube 2. The electrode portions 23 and 24 are made of ceramics mixed with platinum or palladium at a volumetric content of 40% and have electrical conductivity.
以上の構成において、このセラミツクス電磁流
量計は、白金あるいはパラジウムの体積含有率が
10％混入されたセラミツクスよりなる測定管２の
電極取付用の孔２１，２２に、白金あるいはパラ
ジウムの体積が40％混入されたセラミツクスより
なり導電性を有する仮成形された柱状の電極部分
２３，２４を嵌挿した後、焼成して、電極部分２
３，２４と測定管２とを一体的に構成して製作す
る。 With the above configuration, this ceramic electromagnetic flowmeter has a volume content of platinum or palladium.
In the electrode mounting holes 21 and 22 of the measuring tube 2 made of ceramics mixed with 10%, a temporarily formed columnar electrode part 23 made of ceramics mixed with 40% volume of platinum or palladium and having conductivity is inserted. After inserting the electrode part 24, it is fired to form the electrode part 2.
3, 24 and the measuring tube 2 are integrally constructed and manufactured.
このような装置においては、測定管２は、白金
あるいはパラジウムの体積含有率が10％に混入さ
れたセラミツクスよりなり、電極部分２３，２４
は白金あるいはパラジウムの体積含有率が40％に
混入され導電性を有するセラミツクスよりなる。
したがつて、測定管２がセラミツクスのみの場合
に比して、白金あるいはパラジウムの体積含有率
の相対的差は少ない。この結果、クラツク等が発
生しやすいおそれはなく、シール性について高信
頼性を確保し得る。 In such a device, the measuring tube 2 is made of ceramics mixed with platinum or palladium at a volume content of 10%, and the electrode portions 23, 24
is made of conductive ceramics mixed with platinum or palladium at a volumetric content of 40%.
Therefore, the relative difference in the volume content of platinum or palladium is smaller than when the measuring tube 2 is made only of ceramics. As a result, there is no possibility that cracks or the like are likely to occur, and high reliability in sealing performance can be ensured.
一方、測定管２には、10％の体積含有率の白金
あるいはパラジウムが含有されており、この金属
層の変形により熱応力を緩和することができるた
め、耐熱衝撃性を向上し得ると共に、白金あるい
はパラジウムの含有率は19％以下であるので、絶
縁性は確保できる。 On the other hand, the measurement tube 2 contains platinum or palladium with a volume content of 10%, and thermal stress can be alleviated by deforming this metal layer, so that thermal shock resistance can be improved and platinum Alternatively, since the palladium content is 19% or less, insulation can be ensured.
他方、電極部分２３，２４は、白金あるいはパ
ラジウムの体積含有率が40％であるので、導電性
を充分確保し得る。 On the other hand, since the volume content of platinum or palladium in the electrode portions 23 and 24 is 40%, sufficient electrical conductivity can be ensured.
なお、前述の実施例においては、導電性物質は
白金あるいはパラジウムと説明したが、これに限
ることはなく、要するに導電性を有しかつ、十分
に延性を有しているものであればよい。たとえ
ば、炭化珪素（SiC）、炭化チタン（TiC）の導電
性セラミツクスでもよい。 In the above embodiments, the conductive substance is platinum or palladium, but the conductive substance is not limited to this, and may be any substance as long as it has conductivity and sufficient ductility. For example, conductive ceramics such as silicon carbide (SiC) and titanium carbide (TiC) may be used.
（考案の効果）
以上説明したように、本考案は、測定流体が流
れセラミツクス材よりなる測定管中の電極部分に
導電性物質が埋込み焼成されたセラミツクス電磁
流量計において、導電性物質が混入されたセラミ
ツクスよりなり導電性を有する電極部分と、導電
性の金属物質が混入されたセラミツクスよりなり
絶縁性を有する測定管とを具備したことを特徴と
するセラミツクス電磁流量計を構成したので、測
定管がセラミツクスのみの場合に比して、導電性
物質の混入率の相対的差は少く、熱膨張差が相対
的に小さくなるので、クラツク等の発生の防止が
でき、シール性について高信頼性を確保し得ると
共に、測定管は導電性物質の変形により熱応力を
緩和できるため、耐熱衝撃性が向上でき、かつ、
絶縁性は保持できる。(Effects of the invention) As explained above, the present invention is a ceramic electromagnetic flowmeter in which a conductive substance is embedded and fired in the electrode part of the measuring tube made of ceramic material through which the measuring fluid flows. The ceramic electromagnetic flowmeter is characterized by having an electrode part made of conductive ceramics, and a measuring tube made of ceramics mixed with a conductive metal substance and having insulating properties. Compared to the case where only ceramics are used, the relative difference in the percentage of conductive substances mixed in is small, and the difference in thermal expansion is also relatively small, making it possible to prevent the occurrence of cracks and achieve high reliability in terms of sealing performance. At the same time, thermal stress can be alleviated by deforming the conductive material in the measurement tube, improving thermal shock resistance.
Insulation can be maintained.
一方、電極部分は導電性物質が混入され導電性
を有するので、導電性を充分確保できる。 On the other hand, since the electrode portion is mixed with a conductive substance and has conductivity, sufficient conductivity can be ensured.
したがつて、本考案によれば、電極部のシール
性について、高信頼性を確保し得ると共に、測定
管の、耐熱衝撃性を向上し得るセラミツクス電磁
流量計を実現することができる。 Therefore, according to the present invention, it is possible to realize a ceramic electromagnetic flowmeter that can ensure high reliability with respect to the sealing performance of the electrode portion and can improve the thermal shock resistance of the measuring tube.
第１図は本考案の一実施例の構成説明図、第２
図は従来より一般に使用されている従来例の構成
説明図、第３図は第２図の動作説明図である。
２……測定管、２１，２２……電極取付孔、２
３，２４……電極部分。
Figure 1 is an explanatory diagram of the configuration of one embodiment of the present invention;
The figure is an explanatory diagram of the configuration of a conventional example that has been generally used, and FIG. 3 is an explanatory diagram of the operation of FIG. 2. 2...Measuring tube, 21, 22...Electrode mounting hole, 2
3, 24... Electrode part.
Claims (1)
中の電極部分に導電性物質が埋込み焼成されたセ
ラミツクス電磁流量計において、 導電性物質が混入されたセラミツクスよりなり
導電性を有する電極部分と、 導電性の金属物質が混入されたセラミツクスよ
りなり絶縁性を有する測定管とを具備したことを
特徴とするセラミツクス電磁流量計。[Scope of Claim for Utility Model Registration] A ceramic electromagnetic flowmeter in which a conductive material is embedded and fired in the electrode part of a measurement tube made of a ceramic material through which the fluid to be measured flows, which is made of ceramic mixed with a conductive material and has conductivity. What is claimed is: 1. A ceramic electromagnetic flowmeter comprising: an electrode portion having a conductive metal substance mixed therein; and an insulating measuring tube made of ceramics mixed with a conductive metal substance.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4506887U JPH0542334Y2 (en) | 1987-03-27 | 1987-03-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4506887U JPH0542334Y2 (en) | 1987-03-27 | 1987-03-27 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63153133U JPS63153133U (en) | 1988-10-07 |
| JPH0542334Y2 true JPH0542334Y2 (en) | 1993-10-26 |
Family
ID=30863471
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4506887U Expired - Lifetime JPH0542334Y2 (en) | 1987-03-27 | 1987-03-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0542334Y2 (en) |
-
1987
- 1987-03-27 JP JP4506887U patent/JPH0542334Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63153133U (en) | 1988-10-07 |
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