JPH0536375A - 四重極型質量分析計 - Google Patents
四重極型質量分析計Info
- Publication number
- JPH0536375A JPH0536375A JP3340854A JP34085491A JPH0536375A JP H0536375 A JPH0536375 A JP H0536375A JP 3340854 A JP3340854 A JP 3340854A JP 34085491 A JP34085491 A JP 34085491A JP H0536375 A JPH0536375 A JP H0536375A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cable
- electrode
- voltage
- quadrupole
- vacuum chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 電源接続用のケーブルおよびケーブル挿通用
のフィールドスルーの個数を削減し、装置の組み立ての
手間を省き、コストダウンを図る。 【構成】 真空室2内に直流阻止用のコンデンサCを設
け、四重極電極4に対して直流電圧と高周波交流電圧を
重畳してなる走査電圧を印加するためのケーブル14を
フィールドスルー18によって真空室2内に挿通し、こ
のケーブル14を四重極電極4に接続するとともに、コ
ンデンサCを介して補助電極8に接続した。
のフィールドスルーの個数を削減し、装置の組み立ての
手間を省き、コストダウンを図る。 【構成】 真空室2内に直流阻止用のコンデンサCを設
け、四重極電極4に対して直流電圧と高周波交流電圧を
重畳してなる走査電圧を印加するためのケーブル14を
フィールドスルー18によって真空室2内に挿通し、こ
のケーブル14を四重極電極4に接続するとともに、コ
ンデンサCを介して補助電極8に接続した。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、四重極型質量分析計に
関する。
関する。
【0002】
【従来の技術】従来、四重極型質量分析計は、図4およ
び図5に示す構造のものがある。
び図5に示す構造のものがある。
【0003】この四重極電極質量分析計は、金属製の分
析管1で囲まれた真空室2内に4本の電極棒3を互いに
平行配置してなる四重極電極4が設けられるとともに、
この四重極電極4のイオン入射側端部の外方に4本の電
極棒6からなる補助電極8が配置され、さらに、この補
助電極8の前にイオン源10が設けられる一方、四重極
電極4のイオン出射側端部の外方にイオン検出器12が
配置されている。
析管1で囲まれた真空室2内に4本の電極棒3を互いに
平行配置してなる四重極電極4が設けられるとともに、
この四重極電極4のイオン入射側端部の外方に4本の電
極棒6からなる補助電極8が配置され、さらに、この補
助電極8の前にイオン源10が設けられる一方、四重極
電極4のイオン出射側端部の外方にイオン検出器12が
配置されている。
【0004】そして、四重極電極4には直流電圧Uと高
周波交流電圧Vcosωtを重畳してなる走査電圧±(U+
Vcosωt)を印加するためのケーブル14が、また、補
助電極8には、高周波交流電圧±Vcosωtのみを印加す
るためのケーブル16がそれぞれ接続され、これらの各
ケーブル14,16が碍子やテフロンなどでできたフィ
ールドスルー18によって分析管1の外部にそれぞれ引
き出されている。
周波交流電圧Vcosωtを重畳してなる走査電圧±(U+
Vcosωt)を印加するためのケーブル14が、また、補
助電極8には、高周波交流電圧±Vcosωtのみを印加す
るためのケーブル16がそれぞれ接続され、これらの各
ケーブル14,16が碍子やテフロンなどでできたフィ
ールドスルー18によって分析管1の外部にそれぞれ引
き出されている。
【0005】上記の四重極電極4に対してケーブル14
を介して走査電圧±(U+Vcosωt)を印加することによ
って四重極電極4の内部に電界が形成され、かつ、U/
Vの比を一定に保ちながらVを変化させることにより、
四重極電極4の軸方向に沿って電界内に導入されたイオ
ンが質量分離される。
を介して走査電圧±(U+Vcosωt)を印加することによ
って四重極電極4の内部に電界が形成され、かつ、U/
Vの比を一定に保ちながらVを変化させることにより、
四重極電極4の軸方向に沿って電界内に導入されたイオ
ンが質量分離される。
【0006】また、四重極電極4だけでは、その左右の
端電場にみだれが生じて高質量数のイオンの透過率が低
下するなどの不都合を生じるので、四重極電極4の前段
に設けた補助電極8に対して高周波交流電圧±Vcosωt
のみをケーブル16を介して印加してその端電場の乱れ
を防止している。
端電場にみだれが生じて高質量数のイオンの透過率が低
下するなどの不都合を生じるので、四重極電極4の前段
に設けた補助電極8に対して高周波交流電圧±Vcosωt
のみをケーブル16を介して印加してその端電場の乱れ
を防止している。
【0007】なお、20,22は絶縁体の各ホルダであ
る。
る。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の上記
構成のものでは、分析管1の外部において走査電圧±
(U+Vcosωt)と高周波交流電圧±Vcosωtとをそれぞ
れ生成し、走査電圧±(U+Vcosωt)はケーブル14を
介して四重極電極4に、また、高周波交流電圧±Vcos
ωtはケーブル16を介して補助電極8にそれぞれ個別
に供給するようにしている。
構成のものでは、分析管1の外部において走査電圧±
(U+Vcosωt)と高周波交流電圧±Vcosωtとをそれぞ
れ生成し、走査電圧±(U+Vcosωt)はケーブル14を
介して四重極電極4に、また、高周波交流電圧±Vcos
ωtはケーブル16を介して補助電極8にそれぞれ個別
に供給するようにしている。
【0009】このため、電源部と各電極4,8を結ぶ長
尺のケーブル14,16がそれぞれ必要となるばかり
か、高耐圧のフィールドスルー18をそれぞれ別個に設
ける(全部で4箇所に設ける)必要があり、装置の組み立
て工数が増えるだけでなく、コストアップになる。さら
に、補助電極8に高周波交流電圧±Vcosωtを供給する
ケーブル16は真空室2の外部に引き出されているの
で、このケーブル16にノイズ成分が乗り易くなるなど
の不具合もあった。
尺のケーブル14,16がそれぞれ必要となるばかり
か、高耐圧のフィールドスルー18をそれぞれ別個に設
ける(全部で4箇所に設ける)必要があり、装置の組み立
て工数が増えるだけでなく、コストアップになる。さら
に、補助電極8に高周波交流電圧±Vcosωtを供給する
ケーブル16は真空室2の外部に引き出されているの
で、このケーブル16にノイズ成分が乗り易くなるなど
の不具合もあった。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明は、従来のこのよ
うな課題を解決するためになされたものであって、真空
室内において、四重極電極に対して印加される走査電圧
±(U+Vcosωt)から高周波交流電圧±Vcosωtを生成
してこれを補助電極に印加できるようにして、ケーブル
およびフィールドスルーの個数を削減できるようにする
ものである。
うな課題を解決するためになされたものであって、真空
室内において、四重極電極に対して印加される走査電圧
±(U+Vcosωt)から高周波交流電圧±Vcosωtを生成
してこれを補助電極に印加できるようにして、ケーブル
およびフィールドスルーの個数を削減できるようにする
ものである。
【0011】そのため、本発明の四重極型質量分析計で
は、真空室2内に直流阻止用のコンデンサCを設け、四
重極電極4に対して直流電圧と高周波交流電圧を重畳し
てなる走査電圧を印加するためのケーブル14をフィー
ルドスルー18によって真空室2内に挿通し、このケー
ブル14を四重極電極4に接続するとともに、コンデン
サCを介して補助電極8に接続している。
は、真空室2内に直流阻止用のコンデンサCを設け、四
重極電極4に対して直流電圧と高周波交流電圧を重畳し
てなる走査電圧を印加するためのケーブル14をフィー
ルドスルー18によって真空室2内に挿通し、このケー
ブル14を四重極電極4に接続するとともに、コンデン
サCを介して補助電極8に接続している。
【0012】
【作用】上記構成において、真空室2の外部で生成され
た走査電圧±(U+Vcosωt)はフィールドスルー18に
よって真空室2内に挿通されたケーブル14から四重極
電極4に供給される。また、この走査電圧±(U+Vcos
ωt)の直流電圧UはコンデンサCで阻止されて高周波交
流電圧±Vcosωtのみが補助電極8に供給される。
た走査電圧±(U+Vcosωt)はフィールドスルー18に
よって真空室2内に挿通されたケーブル14から四重極
電極4に供給される。また、この走査電圧±(U+Vcos
ωt)の直流電圧UはコンデンサCで阻止されて高周波交
流電圧±Vcosωtのみが補助電極8に供給される。
【0013】したがって、真空室内にケーブルを挿通す
るためのフィールドスルーは、走査電圧±(U+Vcosω
tを供給するためのケーブルに対応する数だけあればよ
いので、従来よりも個数が削減される。
るためのフィールドスルーは、走査電圧±(U+Vcosω
tを供給するためのケーブルに対応する数だけあればよ
いので、従来よりも個数が削減される。
【0014】
【実施例】図1は本発明の実施例に係る四重極型質量分
析計の全体を示す概略構成図、図2は図1のA−A線矢
視図であり、図4および図5に示した従来例に対応する
部分には同一の符号を付す。
析計の全体を示す概略構成図、図2は図1のA−A線矢
視図であり、図4および図5に示した従来例に対応する
部分には同一の符号を付す。
【0015】図1および図2において、1は金属製の分
析管、2は真空室、3は電極棒、4は四重極電極、6は
電極棒、8は補助電極、10はイオン源、12はイオン
検出器、20,22は各電極棒3,6のホルダであり、
これらの構成は従来例の場合と同様である。
析管、2は真空室、3は電極棒、4は四重極電極、6は
電極棒、8は補助電極、10はイオン源、12はイオン
検出器、20,22は各電極棒3,6のホルダであり、
これらの構成は従来例の場合と同様である。
【0016】この実施例では、真空室2内に直流阻止用
のコンデンサCおよび抵抗Rが設けられており、四重極
電極4に対して走査電圧±(U+Vcosωt)を印加するた
めの一対のケーブル14が各フィールドスルー18によ
って真空室2内に挿通され、これらの各ケーブル14が
四重極電極4の各電極棒6に接続されるとともに、コン
デンサCを介して補助電極8に接続されている。さら
に、このケーブル14は、抵抗Rを介して分析管1に接
続され、分析管1は接地されている。
のコンデンサCおよび抵抗Rが設けられており、四重極
電極4に対して走査電圧±(U+Vcosωt)を印加するた
めの一対のケーブル14が各フィールドスルー18によ
って真空室2内に挿通され、これらの各ケーブル14が
四重極電極4の各電極棒6に接続されるとともに、コン
デンサCを介して補助電極8に接続されている。さら
に、このケーブル14は、抵抗Rを介して分析管1に接
続され、分析管1は接地されている。
【0017】上記構成において、真空室2の外部で生成
された走査電圧±(U+Vcosωt)はフィールドスルー1
8によって真空室2内に挿通されたケーブル14から四
重極電極4に供給される。
された走査電圧±(U+Vcosωt)はフィールドスルー1
8によって真空室2内に挿通されたケーブル14から四
重極電極4に供給される。
【0018】また、この走査電圧±(U+Vcosωt)の直
流電圧UはコンデンサCで阻止されて高周波交流電圧±
Vcosωtのみが補助電極8に供給される。
流電圧UはコンデンサCで阻止されて高周波交流電圧±
Vcosωtのみが補助電極8に供給される。
【0019】したがって、真空室2内にケーブル14を
挿通するためのフィールドスルー18は、走査電圧±
(U+Vcosωt)を供給するためのケーブル14に対応す
る数、すなわち2つだけあればよいので、従来よりも個
数が削減される。
挿通するためのフィールドスルー18は、走査電圧±
(U+Vcosωt)を供給するためのケーブル14に対応す
る数、すなわち2つだけあればよいので、従来よりも個
数が削減される。
【0020】また、上記のコンデンサCと抵抗Rは、図
3に示すように、セラミック基板24上にパターン形成
し、このセラミック基板24を分析管1の内壁の適宜箇
所、あるいは、ホルダ20または22に取り付けるのが
好ましい。
3に示すように、セラミック基板24上にパターン形成
し、このセラミック基板24を分析管1の内壁の適宜箇
所、あるいは、ホルダ20または22に取り付けるのが
好ましい。
【0021】すなわち、選択イオンモニタ(SIM)法等
の分析手法を適用する場合には、四重極電極4に印加さ
れる高周波交流電圧±Vcosωtが短時間で段階的に変化
されるので、これに応じて、補助電極8にもこの高周波
交流電圧±Vcosωtが遅れることなく印加されることが
要求される。この補助電極8への高周波交流電圧±Vco
sωtを迅速に変えるためには、上記のコンデンサCと抵
抗Rとで決まる時定数をできるだけ小さく設定する必要
があるが、抵抗Rの値を小さく設定すると、これに伴
い、発熱が大きくなる。そして、これが分析管1の真空
雰囲気内にそのまま配置されていると、殆ど放熱されな
くなるため好ましくない。そこで、上記のように、コン
デンサCと抵抗Rとをセラミック基板24上に形成し、
これを分析管1の内壁等に密着して取り付ければ、抵抗
Rの発熱が、セラミック基板24から分析管1に伝導し
て分析管1の外部の大気中に放熱される。また、コンデ
ンサCと抵抗Rの取り付けも容易でかつコンパクトにな
るので、この点でも好ましいと言える。
の分析手法を適用する場合には、四重極電極4に印加さ
れる高周波交流電圧±Vcosωtが短時間で段階的に変化
されるので、これに応じて、補助電極8にもこの高周波
交流電圧±Vcosωtが遅れることなく印加されることが
要求される。この補助電極8への高周波交流電圧±Vco
sωtを迅速に変えるためには、上記のコンデンサCと抵
抗Rとで決まる時定数をできるだけ小さく設定する必要
があるが、抵抗Rの値を小さく設定すると、これに伴
い、発熱が大きくなる。そして、これが分析管1の真空
雰囲気内にそのまま配置されていると、殆ど放熱されな
くなるため好ましくない。そこで、上記のように、コン
デンサCと抵抗Rとをセラミック基板24上に形成し、
これを分析管1の内壁等に密着して取り付ければ、抵抗
Rの発熱が、セラミック基板24から分析管1に伝導し
て分析管1の外部の大気中に放熱される。また、コンデ
ンサCと抵抗Rの取り付けも容易でかつコンパクトにな
るので、この点でも好ましいと言える。
【0022】なお、この実施例では、四重極電極4のイ
オン導入側にのみ補助電極8を設けた場合について説明
したが、イオン出力側に補助電極を設けた場合について
も本発明を適用することができるのは勿論である。
オン導入側にのみ補助電極8を設けた場合について説明
したが、イオン出力側に補助電極を設けた場合について
も本発明を適用することができるのは勿論である。
【0023】
【発明の効果】本発明によれば、従来、真空室外から内
部の補助電極に高周波交流電圧を供給するために専用に
設けられていた、電源接続用の長尺のケーブルおよびケ
ーブル挿通用のフィールドスルーが不要となるので、装
置の組み立て工数が削減されるとともに、コストダウン
が図れる。さらに、分析管が金属製の場合には、そのシ
ールド効果により、補助電極に不要なノイズ成分が重畳
するなどの不具合も回避される。
部の補助電極に高周波交流電圧を供給するために専用に
設けられていた、電源接続用の長尺のケーブルおよびケ
ーブル挿通用のフィールドスルーが不要となるので、装
置の組み立て工数が削減されるとともに、コストダウン
が図れる。さらに、分析管が金属製の場合には、そのシ
ールド効果により、補助電極に不要なノイズ成分が重畳
するなどの不具合も回避される。
【図1】本発明の実施例に係る四重極型質量分析計の全
体を示す概略構成図である。
体を示す概略構成図である。
【図2】図1のA−A線矢視図である。
【図3】コンデンサと抵抗とをセラミック基板上に形成
した場合の正面図である。
した場合の正面図である。
【図4】従来の四重極型質量分析計の全体を示す概略構
成図である。
成図である。
【図5】図3のB−B線矢視図である。
1…分析管、2…真空室、4…四重極電極、8…補助電
極、10…イオン源、12…イオン検出器、14…ケー
ブル、18…フィールドスルー、C…コンデンサ、R…
抵抗。
極、10…イオン源、12…イオン検出器、14…ケー
ブル、18…フィールドスルー、C…コンデンサ、R…
抵抗。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項1】 真空室(2)内に四重極電極(4)が設けら
れ、この四重極電極(4)の軸心方向に沿う両端部のうち
の少なくともイオン導入側の端部の前方位置には、補助
電極(8)が配置されている四重極型質量分析計におい
て、 前記真空室(2)内に直流阻止用のコンデンサ(C)を設
け、 前記四重極電極(4)に対して直流電圧と高周波交流電圧
を重畳してなる走査電圧を印加するためのケーブル(1
4)をフィールドスルー(18)によって前記真空室(2)
内に挿通し、このケーブル(14)を四重極電極(4)に接
続するとともに、前記コンデンサ(C)を介して補助電極
(8)に接続したことを特徴とする四重極型質量分析計。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3-63194 | 1991-03-27 | ||
JP6319491 | 1991-03-27 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0536375A true JPH0536375A (ja) | 1993-02-12 |
Family
ID=13222173
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3340854A Pending JPH0536375A (ja) | 1991-03-27 | 1991-12-24 | 四重極型質量分析計 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0536375A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013543549A (ja) * | 2010-09-15 | 2013-12-05 | エミテック ゲゼルシヤフト フユア エミツシオンステクノロギー ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 排ガスシステムのコンポーネントの電源用装置 |
-
1991
- 1991-12-24 JP JP3340854A patent/JPH0536375A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013543549A (ja) * | 2010-09-15 | 2013-12-05 | エミテック ゲゼルシヤフト フユア エミツシオンステクノロギー ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 排ガスシステムのコンポーネントの電源用装置 |
US9893505B2 (en) | 2010-09-15 | 2018-02-13 | Emitec Gesellschaft Fuer Emissionstechnologie Mbh | Configuration for a power supply of a component in an exhaust gas system |
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