JPH0536017A - Magnetic head - Google Patents
Magnetic headInfo
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- JPH0536017A JPH0536017A JP19384691A JP19384691A JPH0536017A JP H0536017 A JPH0536017 A JP H0536017A JP 19384691 A JP19384691 A JP 19384691A JP 19384691 A JP19384691 A JP 19384691A JP H0536017 A JPH0536017 A JP H0536017A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は磁気記録,再生を行なう
装置に用いられる磁気ヘッドに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic head used in a magnetic recording / reproducing apparatus.
【0002】[0002]
【従来の技術】近年、磁気ディスク装置の小型,高容量
化にともない、高保磁力媒体にも充分対応し、高記録密
度を可能とする磁気ヘッドの開発が強く求められてい
る。これに応えるため、磁性体にコバルト系アモルファ
ス合金磁性体またはコバルト系超構造窒化合金磁性体
(コバルト−ニオブ−ジルコン−タンタル合金膜または
この窒化膜、以下磁性体と略称する)を使用した磁気ヘ
ッドが開発されてきている。図1はフェライトを基板と
したMIG(メタルインギャップ)磁気ヘッドの代表的
な構造を示している。フェライトからなる基板1のギャ
ップ部に磁性体2がスパッタリングによって形成されて
おり、その空隙はギャップガラス3で満たされ、非晶質
の封着ガラス4によって結合し、最後にコイル(図示せ
ず)を巻いて構成されている。2. Description of the Related Art In recent years, along with the miniaturization and high capacity of magnetic disk devices, there has been a strong demand for the development of a magnetic head which is compatible with a high coercive force medium and enables a high recording density. In order to meet this demand, a magnetic head using a cobalt-based amorphous alloy magnetic material or a cobalt-based superstructure nitride alloy magnetic material (cobalt-niobium-zircon-tantalum alloy film or this nitride film, hereinafter abbreviated as magnetic material) as a magnetic material. Has been developed. FIG. 1 shows a typical structure of a MIG (metal in gap) magnetic head using a ferrite substrate. A magnetic body 2 is formed by sputtering in a gap portion of a substrate 1 made of ferrite, the gap is filled with a gap glass 3, bonded by an amorphous sealing glass 4, and finally a coil (not shown). It is configured by winding.
【0003】上記構成においてギャップガラス3は封着
ガラス4の作業温度においても所定のギャップ幅を維持
するように石英ガラスやホウケイ酸ガラス(例えば岩城
硝子(株)製のパイレックス)のような高融点ガラス
が、スパッタリングや蒸着によって薄膜化されていた。
スパッタリングする場合のターゲットとしては石英ガラ
スやホウケイ酸ガラスが使用される。また石英ガラスの
場合、二酸化ケイ素(SiO2)が使用されることもあ
る。なぜなら二酸化ケイ素は薄膜化されると非晶質化し
て石英ガラスと同等になるからである。それゆえギャッ
プガラスとして、二酸化ケイ素を使用すると言ったとき
それは石英ガラスと同じ意味である。In the above structure, the gap glass 3 has a high melting point such as quartz glass or borosilicate glass (for example, Pyrex manufactured by Iwaki Glass Co., Ltd.) so as to maintain a predetermined gap width even at the working temperature of the sealing glass 4. The glass was thinned by sputtering or vapor deposition.
Quartz glass or borosilicate glass is used as a target for sputtering. In the case of quartz glass, silicon dioxide (SiO 2 ) may be used. This is because when silicon dioxide is made thin, it becomes amorphous and becomes equivalent to quartz glass. Therefore, when silicon dioxide is used as the gap glass, it has the same meaning as quartz glass.
【0004】また図2は非磁性セラミックスを基板とし
た積層形磁気ヘッドの代表的な構造を示している。非磁
性セラミックスの基板5の側面に磁性体とSiO2を交
互に積層したトラック部6があり、基板5は基板7と結
晶化ガラス8によって接着されている。ギャップの空隙
は図1と同様にギャップガラス3で満たされ、非晶質の
封着ガラス4によって結合し、最後にコイル(図示せ
ず)を巻いて構成されている。FIG. 2 shows a typical structure of a laminated magnetic head using a nonmagnetic ceramic substrate. A track portion 6 in which a magnetic material and SiO 2 are alternately laminated is provided on the side surface of a nonmagnetic ceramic substrate 5, and the substrate 5 is adhered to the substrate 7 by a crystallized glass 8. The gap is filled with the gap glass 3 as in FIG. 1, joined by the amorphous sealing glass 4, and finally wound with a coil (not shown).
【0005】ここで非晶質の封着ガラス4の作業温度は
磁性体の磁気特性を損なわないように600℃以下でな
ければならない。Here, the working temperature of the amorphous sealing glass 4 must be 600 ° C. or lower so as not to impair the magnetic properties of the magnetic substance.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかし上記の従来の構
成においては、ギャップガラス3が高融点であるため、
それ自身では基板同士を結合させる役目は有していな
い。そのためこのようなギャップガラスを使用した磁気
ヘッドはヘッド前面研磨工程中に封着ガラスにクラック
が生じて割れ易いという問題点を有していた。However, in the above-mentioned conventional structure, since the gap glass 3 has a high melting point,
It does not serve to bond the substrates together by themselves. Therefore, the magnetic head using such a gap glass has a problem that the sealing glass is easily cracked during the head front surface polishing step.
【0007】本発明は上記の問題を解決し、ヘッド前面
研磨工程中に封着ガラスにクラックの生じない磁気ヘッ
ドの提供を目的とする。An object of the present invention is to solve the above problems and to provide a magnetic head in which cracks do not occur in the sealing glass during the head front surface polishing step.
【0008】[0008]
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め本発明の磁気ヘッドは、1対の基板の突き合せ面にコ
バルト系アモルファス合金またはコバルト系超構造窒化
合金からなる相対する磁性体を設け、その相対する磁性
体のギャップ部に石英ガラスまたはホウケイ酸ガラスと
作業温度が600℃以下の封着用ガラスの積層膜からな
るギャップガラスを設け、上記1対の基板を作業温度が
600℃以下の他の封着ガラスで封着した構成とする。In order to achieve the above object, the magnetic head of the present invention has a pair of substrates with opposing magnetic bodies made of a cobalt-based amorphous alloy or a cobalt-based superstructure nitride alloy on the abutting surfaces of the substrates. Providing a gap glass consisting of a laminated film of quartz glass or borosilicate glass and a sealing glass having a working temperature of 600 ° C or lower in the gap portion of the opposing magnetic body, and the working temperature of the pair of substrates is 600 ° C or lower. Other sealing glass is used for sealing.
【0009】[0009]
【作用】本発明は上記構成とすることにより、ギャップ
中の封着ガラスが溶融して封着強度を向上することにな
る。With the above-mentioned structure according to the present invention, the sealing glass in the gap is melted and the sealing strength is improved.
【0010】[0010]
【実施例】以下本発明の実施例について説明する。EXAMPLES Examples of the present invention will be described below.
【0011】(実施例1)重量%でSiO2=5%,B2
O3=9.7%,PbO=82%,Al2O3=3%,A
s2O3=0.3%のガラス(作業温度480℃)を封着
ガラスとして使用して、図1と同じ構成のMIG磁気ヘ
ッドを製造した。ギャップガラスは上記封着ガラスとホ
ウケイ酸ガラスの積層膜とした。それぞれの膜厚は、片
方の基板において0.03μm,0.12μmとした。
ここで磁性体はコバルト−ニオブ−ジルコン−タンタル
よりなるアモルファス合金膜(たとえば小俣雄二ほか、
National Technical Report,31,136(1985)に記載
のもの)である。比較例としてギャップガラスをホウケ
イ酸ガラスのみ(膜厚0.15μm)としたMIGヘッ
ドも製造した。これら2種類のMIGヘッドの各10チ
ップについて材料試験機による破壊試験をしたところ、
ギャップガラスを封着ガラスとホウケイ酸ガラスの積層
膜とした本実施例のものは110gで割れたが、ホウケ
イ酸ガラスのみとした比較例のものは50gで破壊し
た。(Example 1) SiO 2 = 5% by weight, B 2
O 3 = 9.7%, PbO = 82%, Al 2 O 3 = 3%, A
A glass with s 2 O 3 = 0.3% (working temperature 480 ° C.) was used as the sealing glass to manufacture an MIG magnetic head having the same configuration as in FIG. The gap glass was a laminated film of the sealing glass and borosilicate glass. The film thickness of each substrate was 0.03 μm and 0.12 μm.
Here, the magnetic substance is an amorphous alloy film made of cobalt-niobium-zircon-tantalum (for example, Yuji Omata et al.
National Technical Report, 31, 136 (1985)). As a comparative example, a MIG head in which the gap glass was borosilicate glass only (film thickness 0.15 μm) was also manufactured. When a destructive test was performed on each of the 10 chips of these two types of MIG heads using a material testing machine,
The gap glass, which was a laminated film of sealing glass and borosilicate glass, cracked at 110 g, whereas the comparative example, which only made borosilicate glass, broke at 50 g.
【0012】さらにMIGヘッドの前面を円錐状に仕上
げるため2000番の研磨テープ(富士フィルム(株)
製)で研磨したとき、比較例では50個中16個に封着
ガラスにクラックが生じたが、本実施例では2個しかク
ラックを生じなかった。Further, polishing tape No. 2000 (Fuji Film Co., Ltd.) is used to finish the front surface of the MIG head into a conical shape.
16 of 50 pieces in the comparative example had cracks in the sealing glass, but only 2 pieces in the present example.
【0013】なお、上記実施例ではホウケイ酸ガラスを
用いたが、石英ガラスの場合でも同等の効果が得られ
た。Although borosilicate glass was used in the above-mentioned examples, the same effect was obtained even in the case of quartz glass.
【0014】(実施例2)重量%でSiO2=22%,
B2O3=4.9%,PbO=66.5%,ZnO=2
%,Al2O3=1.5%,K2O=3%の封着ガラス
(作業温度600℃)を使用して図2の積層形磁気ヘッ
ドを製造した。ギャップガラスは上記封着ガラスと石英
ガラスの積層膜とした。それぞれの膜厚は、片方の基板
において0.03μm,0.12μmとした。ここで磁
性体はコバルト−ニオブ−ジルコンよりなる超構造窒化
合金膜(たとえば、榊間博ほか、電子情報通信学会技術
研究報告MR−86−4(1986),87−14(1
987)に記載のもの)である。(Example 2) SiO 2 = 22% in weight%,
B 2 O 3 = 4.9%, PbO = 66.5%, ZnO = 2
%, Al 2 O 3 = 1.5%, K 2 O = 3% sealing glass (working temperature 600 ° C.) was used to manufacture the laminated magnetic head of FIG. The gap glass was a laminated film of the sealing glass and quartz glass. The film thickness of each substrate was 0.03 μm and 0.12 μm. Here, the magnetic substance is a superstructure nitride alloy film made of cobalt-niobium-zircon (for example, Hiroshi Sakaki et al., IEICE Technical Report MR-86-4 (1986), 87-14 (1).
987)).
【0015】比較例としてギャップガラスを石英ガラス
(膜厚0.15μm)のみとした積層形ヘッドも製造し
た。これら2種類の積層形ヘッドの各10チップについ
て材料試験機による破壊試験をしたところ、本実施例の
ものは190gで割れたが、比較例のものは90gで破
壊した。As a comparative example, a laminated head was also manufactured in which the gap glass was only quartz glass (film thickness 0.15 μm). When each of the 10 chips of these two types of laminated heads was subjected to a destructive test using a material testing machine, the sample of this example cracked at 190 g, but the comparative example fractured at 90 g.
【0016】さらにヘッドの前面を円錐状に仕上げるた
め2000番の研磨テープ(富士フィルム(株)製)で
研磨したとき、比較例では50個中14個に封着ガラス
にクラックが生じたが、本実施例ではクラックを生じな
かった。Further, when polishing was performed with a No. 2000 polishing tape (manufactured by Fuji Film Co., Ltd.) in order to finish the front surface of the head into a conical shape, 14 out of 50 cracks were generated in the sealing glass in the comparative example. In this example, no crack was generated.
【0017】なお、上記実施例では石英ガラスを用いた
が、ホウケイ酸ガラスの場合でも同等の効果が得られ
た。Although quartz glass was used in the above embodiment, the same effect was obtained even in the case of borosilicate glass.
【0018】[0018]
【発明の効果】以上のように本発明によれば、ギャップ
ガラスとして石英ガラスまたはホウケイ酸ガラスと作業
温度が600℃以下の封着用ガラスの積層膜からなるも
のを用いて同じ封着ガラスで封着するのでギャップ中の
封着ガラスが溶融して封着強度を向上することになり、
ヘッド前面研磨工程中に封着ガラスにクラックの生じな
い磁気ヘッドが得られる。As described above, according to the present invention, the gap glass is made of a laminated film of quartz glass or borosilicate glass and sealing glass having a working temperature of 600 ° C. or less, and sealed with the same sealing glass. As it is attached, the sealing glass in the gap will melt and improve the sealing strength,
It is possible to obtain a magnetic head in which cracks do not occur in the sealing glass during the head front surface polishing step.
【図1】MIG磁気ヘッドの斜視図FIG. 1 is a perspective view of a MIG magnetic head.
【図2】積層形磁気ヘッドの斜視図FIG. 2 is a perspective view of a laminated magnetic head.
1,5,7 基板 2 磁性体 3 ギャップガラス 4 封着ガラス 6 トラック部 1,5,7 substrate 2 magnetic material 3 gap glass 4 sealing glass 6 track section
フロントページの続き (72)発明者 吉田 昭彦 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内Continued front page (72) Inventor Akihiko Yoshida 1006 Kadoma, Kadoma-shi, Osaka Matsushita Electric Sangyo Co., Ltd.
Claims (2)
ルファス合金またはコバルト系超構造窒化合金からなる
相対する磁性体を設け、その相対する磁性体のギャップ
部に石英ガラスまたはホウケイ酸ガラスと作業温度が6
00℃以下の封着用ガラスの積層膜からなるギャップガ
ラスを設け、上記1対の基板を作業温度が600℃以下
の他の封着ガラスで封着した磁気ヘッド。1. A pair of substrates are provided with opposing magnetic bodies made of a cobalt-based amorphous alloy or a cobalt-based superstructure nitride alloy on the abutting surfaces, and quartz glass or borosilicate glass is provided in the gap between the opposing magnetic bodies. Working temperature is 6
A magnetic head in which a gap glass made of a laminated film of glass for sealing at 00 ° C or lower is provided and the pair of substrates is sealed with another sealing glass at a working temperature of 600 ° C or lower.
アモルファス合金またはコバルト系超構造窒化合金から
なる磁性体が交互に積層されたトラック部からなる一方
の磁気コアと前記磁気コアと同じ構成の他方の磁気コア
の突き合せ面のギャップ部に石英ガラスまたはホウケイ
酸ガラスと作業温度が600℃以下の封着用ガラスの積
層膜からなるギャップガラスを設け、上記1対の磁気コ
アを作業温度が600℃以下の他の封着ガラスで封着し
た磁気ヘッド。2. The same magnetic core as one magnetic core consisting of a track portion in which magnetic materials composed of silicon oxide and a cobalt-based amorphous alloy or a cobalt-based superstructure nitride alloy are alternately laminated between a pair of substrates. In the gap portion of the abutting surface of the other magnetic core of the constitution, a gap glass composed of a laminated film of quartz glass or borosilicate glass and sealing glass having a working temperature of 600 ° C. or less is provided, and the pair of magnetic cores are set at the working temperature. A magnetic head sealed with another sealing glass whose temperature is 600 ° C or less.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19384691A JPH0536017A (en) | 1991-08-02 | 1991-08-02 | Magnetic head |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19384691A JPH0536017A (en) | 1991-08-02 | 1991-08-02 | Magnetic head |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0536017A true JPH0536017A (en) | 1993-02-12 |
Family
ID=16314722
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19384691A Pending JPH0536017A (en) | 1991-08-02 | 1991-08-02 | Magnetic head |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0536017A (en) |
-
1991
- 1991-08-02 JP JP19384691A patent/JPH0536017A/en active Pending
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