JPH0534567U - Hydrogen flame ionization analyzer - Google Patents
Hydrogen flame ionization analyzerInfo
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Abstract
(57)【要約】
【目的】安価で、且つ、精度の良い測定が可能な水素炎
イオン化分析計を提供すること。
【構成】助燃用空気供給路11からバイパス流路13を分岐
し、当該バイパス流路13をサンプルガス供給路９に接続
することにより、サンプルガスＳを燃焼室１内に供給す
る前に、サンプルガスＳに助燃用空気Ａを混合するよう
にしてある。
(57) [Abstract] [Purpose] To provide a hydrogen flame ionization analyzer that is inexpensive and enables accurate measurement. [Structure] By bypassing a bypass flow passage 13 from an auxiliary combustion air supply passage 11 and connecting the bypass flow passage 13 to a sample gas supply passage 9, a sample gas S is supplied to the combustion chamber 1 before the sample The gas S is mixed with the auxiliary combustion air A.
Description
【０００１】[0001]
本考案は、例えばＨ2 ガス中のトータルＨＣ濃度を測定するために用いられる 水素炎イオン化分析計に関する。The present invention relates to a flame ionization analyzer used for measuring the total HC concentration in H 2 gas, for example.
【０００２】[0002]
図２は従来の水素炎イオン化分析計の一例を示し、同図において、１は燃焼室 、２はサンプルガスＳと水素ガスＦとの混合ガスを供給するためのノズル、３は ノズル２の周囲に設けられるコレクタ電極で、信号線４を介して図外の信号処理 回路に接続されている。５は燃焼室１の下方に開設された助燃用空気Ａを導入す るための開口、６は燃焼室１の上方に設けられる着火装置、７は排気口である。 FIG. 2 shows an example of a conventional hydrogen flame ionization analyzer, in which 1 is a combustion chamber, 2 is a nozzle for supplying a mixed gas of a sample gas S and hydrogen gas F, and 3 is a periphery of the nozzle 2. It is a collector electrode provided in the and is connected to a signal processing circuit (not shown) via a signal line 4. Reference numeral 5 is an opening for introducing the auxiliary combustion air A opened below the combustion chamber 1, reference numeral 6 is an ignition device provided above the combustion chamber 1, and reference numeral 7 is an exhaust port.
【０００３】 そして、ノズル２の上流側にはそれぞれ流量制御手段を備えたサンプルガス供 給路９、水素ガス供給路10が接続してあり、開口５の上流側には流量制御手段を 備えた助燃用空気供給路11が接続してある。また、ノズル２は高圧配線12を介し て図外の高圧電源に接続してある。A sample gas supply passage 9 and a hydrogen gas supply passage 10 each having a flow rate control means are connected to the upstream side of the nozzle 2, and the flow rate control means is provided on the upstream side of the opening 5. An auxiliary combustion air supply passage 11 is connected. The nozzle 2 is connected to a high voltage power source (not shown) via a high voltage wiring 12.
【０００４】 而して、上記構成の水素炎イオン化分析計において、各流量制御手段によって サンプルガスＳ、水素ガスＦ、助燃用空気Ａをそれぞれ流量調整して燃焼室１内 に導入し、着火装置６によって例えば放電スパークを生じさせると、ノズル２の 先端に所望の炎Ｈが形成されると共に、そのときの炎Ｈのエネルギーでイオン化 が生じ、サンプルガスＳ中に含まれる炭素量に比例した電流出力が信号線４を介 して出力され、これによってたとえばサンプルガスＳ中のトータルＨＣ濃度を分 析することができる。In the hydrogen flame ionization analyzer having the above structure, the flow rate control means adjusts the flow rates of the sample gas S, the hydrogen gas F, and the auxiliary combustion air A, respectively, and introduces them into the combustion chamber 1 for ignition. When, for example, a discharge spark is generated by 6, a desired flame H is formed at the tip of the nozzle 2 and the energy of the flame H at that time causes ionization, resulting in a current proportional to the amount of carbon contained in the sample gas S. The output is output via the signal line 4, whereby the total HC concentration in the sample gas S can be analyzed, for example.
【０００５】[0005]
ところで、上記サンプルガスＳが自動車の排気ガスの場合、非常に安定した測 定結果が得られるが、サンプルガスＳがたとえば半導体製造ラインにおいて用い られるＨ2 ガスの場合には、燃焼条件が変わることにより炎の形状が変わり安定 した燃焼が困難となり、その上、上記自動車の排気ガスなどを用いた場合に比べ て分析計の測定感度が１／４程度になるため、測定能率が極めて低くなると共に 、測定結果の再現性が非常に悪い、といった欠点があった。By the way, when the sample gas S is exhaust gas of an automobile, a very stable measurement result can be obtained, but when the sample gas S is H 2 gas used in, for example, a semiconductor manufacturing line, the combustion condition changes. As a result, the shape of the flame changes and stable combustion becomes difficult. In addition, the measurement sensitivity of the analyzer is about 1/4 compared to when using the exhaust gas of the automobile, etc., and the measurement efficiency becomes extremely low. However, there was a defect that the reproducibility of the measurement result was very poor.
【０００６】 本考案は、上述の事柄に留意してなされたもので、その目的とするところは、 たとえば半導体製造ラインにおいて用いられるＨ2 ガス中のトータルＨＣを精度 良く測定できる水素炎イオン化分析計を提供することにある。The present invention has been made in view of the above matters, and an object thereof is, for example, a hydrogen flame ionization analyzer capable of accurately measuring total HC in H 2 gas used in a semiconductor manufacturing line. Is to provide.
【０００７】[0007]
上述の目的を達成するため、本考案に係る水素炎イオン化分析計は、サンプル ガスと水素ガスとの混合ガスを燃焼室内に供給するための流路と、助燃用空気を 燃焼室内に供給するための流路と、前記燃焼室内に位置すると共に前記混合ガス 供給流路に連通する混合ガス噴出ノズルを設けてある水素炎イオン化分析計にお いて、前記燃焼室内にサンプルガスを供給する前に、サンプルガスに前記助燃用 空気を混合するためのバイパス流路を設けた点に特徴がある。 In order to achieve the above object, the hydrogen flame ionization analyzer according to the present invention is provided with a flow path for supplying a mixed gas of a sample gas and hydrogen gas into the combustion chamber and an auxiliary combustion air into the combustion chamber. In a hydrogen flame ionization analyzer provided with a mixed gas jet nozzle which is located in the combustion chamber and communicates with the mixed gas supply flow passage, before supplying the sample gas into the combustion chamber, It is characterized in that a bypass channel for mixing the sample gas with the auxiliary combustion air is provided.
【０００８】[0008]
上記特徴構成によれば、燃焼室内のノズルにサンプルガスを供給する前に、サ ンプルガスに助燃用空気を混合するため、たとえサンプルガスとしてＯ2 が含ま れていないガス、たとえばＨ2 ガスを用いた場合においても燃焼条件を同様にで き、炎の形状も同様になり、常に安定した高精度な測定が行なえる。また、サン プルガスに混合する助燃用空気は燃焼室内に供給する助燃用空気をそのまま利用 することができるので低コスト化が可能となる。According to the above characteristic structure, since the sample gas is mixed with the auxiliary combustion air before the sample gas is supplied to the nozzle in the combustion chamber, even if the sample gas does not contain O 2 , for example, H 2 gas is used. The same combustion conditions and similar flame shapes can be used for stable measurements with high accuracy. Further, as the auxiliary combustion air mixed with the sample gas, the auxiliary combustion air supplied into the combustion chamber can be used as it is, so that the cost can be reduced.
【０００９】[0009]
以下、本考案の実施例を図面に基づいて説明する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００１０】 図１は、本考案に係る水素炎イオン化分析計を示し、これらの図において、図 ２に示す符号と同一のものは同一物または相当物を示す。FIG. 1 shows a flame ionization analyzer according to the present invention. In these figures, the same reference numerals as those shown in FIG. 2 designate the same or corresponding components.
【００１１】 本考案が図２に示す従来の水素炎イオン化分析計と大きく異なる点は、サンプ ルガスＳを燃焼室１内に供給する前に、サンプルガスＳに助燃用空気Ａを混合す るためのバイパス流路13を設けた点である。尚、14，15，16は流量調整用のキャ ピラリである。The present invention is greatly different from the conventional hydrogen flame ionization analyzer shown in FIG. 2 because the sample gas S is mixed with the auxiliary combustion air A before the sample gas S is supplied into the combustion chamber 1. The bypass flow path 13 is provided. Incidentally, 14, 15 and 16 are capillaries for flow rate adjustment.
【００１２】 即ち、開口５の上流側に備わる助燃用空気供給路11からバイパス流路13を分岐 し、当該バイパス流路13をサンプルガス供給路９に接続してある。なお、本実施 例ではまず、サンプルガスＳと水素ガスＦを混合し、この混合ガスに助燃用空気 Ａを供給するように構成してあるが、サンプルガスＳと水素ガスＦが混合する前 にサンプルガスＳに助燃用空気Ａを供給するようにしてもよい。That is, the bypass flow passage 13 is branched from the auxiliary combustion air supply passage 11 provided on the upstream side of the opening 5, and the bypass flow passage 13 is connected to the sample gas supply passage 9. In this embodiment, first, the sample gas S and the hydrogen gas F are mixed and the auxiliary combustion air A is supplied to the mixed gas. However, before the sample gas S and the hydrogen gas F are mixed, The auxiliary combustion air A may be supplied to the sample gas S.
【００１３】 而して、上記構成による水素炎イオン化分析計を用いてＨ2 ガス中のトータル ＨＣ濃度を測定する場合、各流路９，10, 13からのサンプルガスＳ、水素ガスＦ 、助燃用空気Ａによる混合ガスを燃焼室１内のノズル２に供給すると共に、助燃 用空気供給路11からの助燃用空気Ａを燃焼室１内に導入する。そして、着火装置 ６によって放電スパークを生じさせることにより、ノズル２の先端に炎Ｈが形成 される。このとき、ノズル２内には助燃用空気Ａが供給されているので、たとえ サンプルガスＳがＨ2 であっても、燃焼条件を同様にでき、炎の形状も同様にな り、その燃焼性も安定したものとなる。When the total HC concentration in the H 2 gas is measured using the hydrogen flame ionization analyzer having the above structure, the sample gas S, the hydrogen gas F 2, the auxiliary combustion gas from the respective flow paths 9, 10, 13 The mixed gas of the working air A is supplied to the nozzle 2 in the combustion chamber 1, and the auxiliary combustion air A from the auxiliary combustion air supply passage 11 is introduced into the combustion chamber 1. A flame H is formed at the tip of the nozzle 2 by generating an electric discharge spark by the ignition device 6. At this time, since the auxiliary combustion air A is supplied into the nozzle 2, even if the sample gas S is H 2 , the combustion conditions can be the same and the shape of the flame can be the same. Will also be stable.
【００１４】 この状態でコレクタ電極３に直流電圧を印加すれば、Ｈ2 ガス中に含まれる炭 素量に比例した微少イオン電流が流れ、この電流出力が信号線４および図外の高 抵抗を介して電圧信号に変換され、これによってサンプルガス中のトータルＨＣ 濃度を分析することができる。If a DC voltage is applied to the collector electrode 3 in this state, a minute ion current proportional to the amount of carbon contained in the H 2 gas will flow, and this current output will flow through the signal line 4 and a high resistance not shown. Is converted into a voltage signal via which the total HC concentration in the sample gas can be analyzed.
【００１５】[0015]
以上説明したように、本考案によれば、燃焼室内のノズルにサンプルガスを供 給する前に、サンプルガスに助燃用空気を混合するため、たとえサンプルガスに Ｈ2 を用いた場合においても燃焼条件を同様にでき、炎の形状も同様になり、安 定した燃焼が可能になるので、常に高精度な測定が行なえる。また、サンプルガ スに混合する助燃用空気は燃焼室内に供給する助燃用空気をそのまま利用するこ とができるので低コスト化が可能となる、といった優れた効果が発揮されるに至 った。As described above, according to the present invention, before the sample gas subjected feeding into a combustion chamber of the nozzle, for mixing aid燃用air to the sample gas, even combustion in the case where H 2 is used to sample gas The conditions can be made the same, the shape of the flame will be the same, and stable combustion will be possible, so high-accuracy measurement can always be performed. Moreover, since the auxiliary combustion air to be mixed with the sample gas can be used as it is, the auxiliary combustion air supplied into the combustion chamber can be achieved, which has brought about an excellent effect that the cost can be reduced.
【図１】本考案の一実施例を示す水素炎イオン化分析計
の縦断面図である。FIG. 1 is a vertical sectional view of a hydrogen flame ionization analyzer showing an embodiment of the present invention.
【図２】従来例を示す水素炎イオン化分析計の縦断面図
である。FIG. 2 is a vertical sectional view of a hydrogen flame ionization analyzer showing a conventional example.
１…燃焼室、２…噴出ノズル、９…サンプルガス供給
路、10…水素ガス供給路、11…助燃用空気供給路DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Combustion chamber, 2 ... Jet nozzle, 9 ... Sample gas supply path, 10 ... Hydrogen gas supply path, 11 ... Combustion air supply path
Claims (1)
燃焼室内に供給するための流路と、助燃用空気を燃焼室
内に供給するための流路と、前記燃焼室内に位置すると
共に前記混合ガス供給流路に連通する混合ガス噴出ノズ
ルを設けてある水素炎イオン化分析計において、前記燃
焼室内にサンプルガスを供給する前に、サンプルガスに
前記助燃用空気を混合するためのバイパス流路を設けて
あることを特徴とする水素炎イオン化分析計。1. A flow path for supplying a mixed gas of a sample gas and a hydrogen gas into a combustion chamber, a flow path for supplying an auxiliary combustion air into the combustion chamber, and the flow path being located in the combustion chamber and being mixed. In a hydrogen flame ionization analyzer provided with a mixed gas ejection nozzle communicating with a gas supply flow path, before supplying a sample gas into the combustion chamber, a bypass flow path for mixing the auxiliary combustion air with the sample gas is provided. A hydrogen flame ionization analyzer characterized by being provided.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991064044U JP2555637Y2 (en) | 1991-07-18 | 1991-07-18 | Flame ionization analyzer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991064044U JP2555637Y2 (en) | 1991-07-18 | 1991-07-18 | Flame ionization analyzer |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0534567U true JPH0534567U (en) | 1993-05-07 |
| JP2555637Y2 JP2555637Y2 (en) | 1997-11-26 |
Family
ID=13246716
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1991064044U Expired - Lifetime JP2555637Y2 (en) | 1991-07-18 | 1991-07-18 | Flame ionization analyzer |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2555637Y2 (en) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5125991U (en) * | 1974-08-19 | 1976-02-25 | ||
| JPS5940261A (en) * | 1982-08-31 | 1984-03-05 | Matsushita Electric Works Ltd | Encoder |
| JPS60231161A (en) * | 1984-04-30 | 1985-11-16 | Shimadzu Corp | Gas chromatograph mass spectrometer |
-
1991
- 1991-07-18 JP JP1991064044U patent/JP2555637Y2/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS5125991U (en) * | 1974-08-19 | 1976-02-25 | ||
| JPS5940261A (en) * | 1982-08-31 | 1984-03-05 | Matsushita Electric Works Ltd | Encoder |
| JPS60231161A (en) * | 1984-04-30 | 1985-11-16 | Shimadzu Corp | Gas chromatograph mass spectrometer |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2555637Y2 (en) | 1997-11-26 |
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