JPH05341845A - Piezoelectric actuator control device - Google Patents

Piezoelectric actuator control device

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JPH05341845A
JPH05341845A JP4151823A JP15182392A JPH05341845A JP H05341845 A JPH05341845 A JP H05341845A JP 4151823 A JP4151823 A JP 4151823A JP 15182392 A JP15182392 A JP 15182392A JP H05341845 A JPH05341845 A JP H05341845A
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piezoelectric actuator
voltage
switch
control device
charge
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Noboru Aoki
登 青木
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Coorstek KK
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Toshiba Ceramics Co Ltd
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Abstract

PURPOSE:To provide a piezoelectric actuator control device which can keep the constant deformation value of a piezoelectric actuator with no usual application of the power voltage. CONSTITUTION:A 1st switch 13 is provided at the side of a variable voltage power supply 11. A capacitor 14, a resistance 15 and a charge value detector 16 are connected in parallel to a piezoelectric actuator 10. A 2nd switch 17 is put between the actuator 10 and the capacitor 14, and a 3rd switch 18 is put between the actuator 10 and the resistance 15. Then the switching is carried out among three switches 13, 17 and 18 based on the charge value detected by the detector 16.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、例えば空気の通路の流
量を制御する圧電アクチュエータに利用される圧電アク
チュエータ制御装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a piezoelectric actuator control device used in, for example, a piezoelectric actuator that controls the flow rate of air passages.

【0002】[0002]

【従来の技術】圧電アクチュエータは、印加電圧に応じ
て変形するものであり、各種の制御装置として利用され
ている。
2. Description of the Related Art Piezoelectric actuators are deformed according to an applied voltage and are used as various control devices.

【0003】例えば、図4〜図6は空気の通路の流量制
御に圧電アクチュエータを用いた場合を示している。
For example, FIGS. 4 to 6 show the case where a piezoelectric actuator is used for controlling the flow rate of the air passage.

【0004】これらの図において、1は圧電アクチュエ
ータであり、この圧電アクチュエータ1はシム2上に圧
電セラミックス3を貼付してなるものである。
In these drawings, reference numeral 1 denotes a piezoelectric actuator, and the piezoelectric actuator 1 is formed by attaching a piezoelectric ceramic 3 on a shim 2.

【0005】この圧電アクチュエータ1は板4に設けら
れた空気通路用の開口部5に配置され、圧電アクチュエ
ータ1の一端がボルト6により板4に固定されている。
This piezoelectric actuator 1 is arranged in an opening 5 for an air passage provided in a plate 4, and one end of the piezoelectric actuator 1 is fixed to the plate 4 with a bolt 6.

【0006】また、圧電アクチュエータ1は、図7に示
すように、例えば長路のケーブル7を介して遠方にある
可変電圧電源8による電圧の印加により制御されるよう
になっている。
Further, as shown in FIG. 7, the piezoelectric actuator 1 is controlled by applying a voltage from a variable voltage power source 8 located at a distance via a long cable 7, for example.

【0007】そして、電圧が印加されていないときに
は、圧電アクチュエータ1は変形しないので、図5に示
すように開口部5は塞がれた状態となる。
When no voltage is applied, the piezoelectric actuator 1 does not deform, so that the opening 5 is closed as shown in FIG.

【0008】一方、電圧が印加されると、圧電アクチュ
エータ1は変形して、図6に示すように開口部5は開い
た状態となる。
On the other hand, when a voltage is applied, the piezoelectric actuator 1 is deformed and the opening 5 is opened as shown in FIG.

【0009】ところで、圧電アクチュエータ1の変形量
δは、印加電圧をE、圧電アクチュエータ1の長さを
l、圧電セラミックス3の厚さをt、圧電定数をd31
すると、定数kに対して、δ=kd31(l/t)2 Eで
表すことができる(図8参照)。つまり、図8に示すよ
うに、圧電アクチュエータ1の変形量δは、印加電圧E
に依存する。
When the applied voltage is E, the length of the piezoelectric actuator 1 is 1, the thickness of the piezoelectric ceramics 3 is t, and the piezoelectric constant is d 31 , the deformation amount δ of the piezoelectric actuator 1 is relative to the constant k. , Δ = kd 31 (l / t) 2 E (see FIG. 8). That is, as shown in FIG. 8, the deformation amount δ of the piezoelectric actuator 1 is determined by the applied voltage E
Depends on.

【0010】また、圧電アクチュエータ1は、電気的に
は容量性の負荷とみなされるのが一般的である。したが
って、例えば図9に示すように、圧電アクチュエータ1
に直流電圧Eが印加されると、圧電アクチュエータ1の
内部抵抗をR、容量をCとしたとき、その電流はi=E
/R・ε-t/RC 、電圧はe=CE(1−ε-t/RC )と表
されるように、共に時間的に変化する。一方、圧電アク
チュエータ1に対する電圧の印加を止めると、e=CE
ε-t/RC と表されるように、時間的に減衰して変化す
る。
The piezoelectric actuator 1 is generally regarded as an electrically capacitive load. Therefore, for example, as shown in FIG.
When a DC voltage E is applied to the piezoelectric actuator 1, current is i = E, where R is the internal resistance and C is the capacitance of the piezoelectric actuator 1.
/ Rε -t / RC and the voltage both change with time as expressed by e = CE (1-ε -t / RC ). On the other hand, when the voltage application to the piezoelectric actuator 1 is stopped, e = CE
As represented by ε- t / RC , it decays and changes with time.

【0011】よって、圧電アクチュエータ1の変形量δ
を一定値に維持するためには、圧電アクチュエータ1に
対して可変電圧電源8により電圧を印加し続けなければ
ならない。
Therefore, the deformation amount δ of the piezoelectric actuator 1
In order to maintain a constant value, the voltage must be continuously applied to the piezoelectric actuator 1 by the variable voltage power supply 8.

【0012】しかしながら、このように電圧を印加し続
けることは、特に上述したように圧電アクチュエータ1
が長路のケーブル7を介して遠方にある可変電圧電源8
による電圧の印加により制御される場合に、電源の損失
が過大になり、また印加される電圧がかなり高電圧であ
ることから漏電や感電の危険性が高いという問題があ
る。
However, continuing to apply the voltage in this manner is particularly effective for the piezoelectric actuator 1 as described above.
Is a long-distance variable voltage power source 8 via a cable 7
There is a problem that the power loss becomes excessive when controlled by the application of a voltage due to, and the risk of electric leakage or electric shock is high because the applied voltage is considerably high.

【0013】[0013]

【発明が解決しようとする課題】このように圧電アクチ
ュエータを空気の通路の流量制御等に用いた場合、従来
は圧電アクチュエータの変形量を一定値に維持するため
に圧電アクチュエータに対して電圧を印加し続けなけれ
ばならないため、電源の損失が過大になり、圧電アクチ
ュエータに対して電源を供給するためのケーブルによる
漏電や感電の危険性が高いという問題があった。
When the piezoelectric actuator is used for controlling the flow rate of the air passage as described above, a voltage is conventionally applied to the piezoelectric actuator in order to maintain the deformation amount of the piezoelectric actuator at a constant value. Therefore, there is a problem in that the loss of the power source becomes excessive and there is a high risk of electric leakage or electric shock due to the cable for supplying power to the piezoelectric actuator.

【0014】本発明は、このような事情に基づきなされ
たもので、常時電源電圧を印加することなく、圧電アク
チュエータの変形量を一定値に維持することができる圧
電アクチュエータ制御装置を提供することを目的として
いる。
The present invention has been made under such circumstances, and it is an object of the present invention to provide a piezoelectric actuator control device capable of maintaining a constant amount of deformation of a piezoelectric actuator without constantly applying a power supply voltage. Has a purpose.

【0015】[0015]

【課題を解決するための手段】本発明は、かかる課題を
解決するため、電源より印加された電圧に応じて変形す
る圧電アクチュエータを制御する圧電アクチュエータ制
御装置において、前記電源と圧電アクチュエータとの間
の接続/切断を行う第1のスイッチと、前記圧電アクチ
ュエータと並列に接続された容量素子と、前記圧電アク
チュエータと前記容量素子との間の接続/切断を行う第
2のスイッチと、前記圧電アクチュエータに並列に接続
された放電素子と、前記圧電アクチュエータと前記放電
素子との間の接続/切断を行う第3のスイッチと、前記
圧電アクチュエータに蓄積された電荷量を検出する電荷
量検出手段と、この電荷量検出手段により検出された電
荷量に応じて前記第1、第2および第3のスイッチの切
り替えを制御する制御手段とを具備するものである。
In order to solve such a problem, the present invention provides a piezoelectric actuator control device for controlling a piezoelectric actuator which deforms in accordance with a voltage applied from a power source, wherein the power source and the piezoelectric actuator are connected to each other. Switch for connecting / disconnecting the piezoelectric actuator, a capacitive element connected in parallel with the piezoelectric actuator, a second switch for connecting / disconnecting the piezoelectric actuator and the capacitive element, and the piezoelectric actuator. A discharge element connected in parallel with the third actuator, a third switch for connecting / disconnecting the piezoelectric actuator and the discharge element, and a charge amount detecting means for detecting a charge amount accumulated in the piezoelectric actuator, Switching of the first, second and third switches is controlled according to the amount of electric charge detected by the electric charge amount detecting means. It is intended to and a control means.

【0016】[0016]

【作用】初期時には、第1および第2のスイッチを閉
じ、第3のスイッチを開く。これにより、電源より圧電
アクチュエータおよび容量素子に圧電アクチュエータの
設定変位に相当する電圧が印加される。
In the initial stage, the first and second switches are closed and the third switch is opened. As a result, a voltage corresponding to the set displacement of the piezoelectric actuator is applied from the power source to the piezoelectric actuator and the capacitive element.

【0017】この後、第1のスイッチを開く。これによ
り、電源より圧電アクチュエータおよび容量素子に対す
る電圧の印加が止まる。
After this, the first switch is opened. As a result, the application of voltage from the power source to the piezoelectric actuator and the capacitive element is stopped.

【0018】ここで、電源より電圧を印加されていない
圧電アクチュエータは、その内部抵抗により電荷が減衰
するが、圧電アクチュエータの内部抵抗は非常に大きく
自然放電が少なくしかも第1のスイッチが開いているた
め、減衰の変化は極めて小さい。よって、圧電アクチュ
エータは、容量素子が並列に接続されていることによ
り、電源より電圧を印加されなくても、かなりの長時間
に亙り設定変位に相当する電圧が維持されることにな
る。
Here, in the piezoelectric actuator to which the voltage is not applied from the power source, the charge is attenuated by the internal resistance of the piezoelectric actuator, but the internal resistance of the piezoelectric actuator is very large, the spontaneous discharge is small, and the first switch is open. Therefore, the change in attenuation is extremely small. Therefore, in the piezoelectric actuator, since the capacitive elements are connected in parallel, the voltage corresponding to the set displacement is maintained for a considerably long time even if the voltage is not applied from the power source.

【0019】しかる後、圧電アクチュエータに蓄積され
た電荷量が設定変位に相当する値よりも小さくなったと
きには、第1のスイッチを閉じる。これにより、電源よ
り圧電アクチュエータおよび容量素子に圧電アクチュエ
ータの設定変位に相当する電圧が印加される。
Thereafter, when the amount of electric charge accumulated in the piezoelectric actuator becomes smaller than the value corresponding to the set displacement, the first switch is closed. As a result, a voltage corresponding to the set displacement of the piezoelectric actuator is applied from the power source to the piezoelectric actuator and the capacitive element.

【0020】一方、設定変位の変更等により圧電アクチ
ュエータに蓄積された電荷量が設定変位に相当する値よ
りも大きくなったときには、第1および第2のスイッチ
を開き、第3のスイッチを閉じる。これにより、圧電ア
クチュエータの電荷は放電素子により放電され、圧電ア
クチュエータの電圧が設定変位に相当する値となる。
On the other hand, when the amount of electric charge accumulated in the piezoelectric actuator becomes larger than the value corresponding to the set displacement due to the change of the set displacement or the like, the first and second switches are opened and the third switch is closed. As a result, the charge of the piezoelectric actuator is discharged by the discharge element, and the voltage of the piezoelectric actuator becomes a value corresponding to the set displacement.

【0021】[0021]

【実施例】以下、本発明の実施例を図面を用いて説明す
る。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0022】図1は本発明の一実施例に係る圧電アクチ
ュエータ制御装置の構成を示す図である。
FIG. 1 is a diagram showing the configuration of a piezoelectric actuator control apparatus according to an embodiment of the present invention.

【0023】同図において、10は圧電アクチュエータ
であり、この圧電アクチュエータ10は図4〜図6に示
したようにその変形により空気の通路の流量を制御する
ものである。
In the figure, 10 is a piezoelectric actuator, and this piezoelectric actuator 10 controls the flow rate of the air passage by its deformation as shown in FIGS.

【0024】11は圧電アクチュエータ10に電圧を印
加する可変電圧電源である。すでに説明したように圧電
アクチュエータ10の変形量は印加電圧に依存するた
め、可変電圧電源11の電圧を変えることで空気の通路
の流量を制御することができる。 この可変電圧電源1
1は、例えば建造物内の制御室に配置され、長路のケー
ブル12を介して建造物の天井裏等に配置された圧電ア
クチュエータ10に接続されている。
Reference numeral 11 is a variable voltage power source for applying a voltage to the piezoelectric actuator 10. Since the deformation amount of the piezoelectric actuator 10 depends on the applied voltage as described above, the flow rate of the air passage can be controlled by changing the voltage of the variable voltage power supply 11. This variable voltage power supply 1
1 is arranged in a control room in a building, for example, and is connected via a long-distance cable 12 to a piezoelectric actuator 10 arranged in the ceiling or the like of the building.

【0025】可変電圧電源11側には、可変電圧電源1
1と圧電アクチュエータ10との間の接続/切断を行う
第1のスイッチ13が配置されている。
The variable voltage power source 1 is connected to the variable voltage power source 1 side.
A first switch 13 for connecting / disconnecting 1 and the piezoelectric actuator 10 is arranged.

【0026】圧電アクチュエータ10側では、コンデン
サ14、抵抗15および圧電アクチュエータ10に蓄積
された電荷量を検出する電荷量検出装置16がそれぞれ
圧電アクチュエータ10と並列に接続されている。ま
た、圧電アクチュエータ10とコンデンサ14との間に
は、接続/切断を行う第2のスイッチ17が介挿され、
圧電アクチュエータ10と抵抗15との間にも、接続/
切断を行う第3のスイッチ18が介挿されている。さら
に、電荷量検出装置16には、この電荷量検出装置16
により検出された電荷量に応じて第1、第2および第3
のスイッチ13、17、18の切り替えを制御する制御
装置19が接続されている。
On the piezoelectric actuator 10 side, a capacitor 14, a resistor 15 and a charge amount detector 16 for detecting the amount of charge accumulated in the piezoelectric actuator 10 are connected in parallel with the piezoelectric actuator 10. Further, a second switch 17 for connecting / disconnecting is inserted between the piezoelectric actuator 10 and the capacitor 14,
Connection / connection between the piezoelectric actuator 10 and the resistor 15
A third switch 18 for cutting is inserted. Further, the charge amount detecting device 16 includes the charge amount detecting device 16
Depending on the amount of charge detected by the first, second and third
A control device 19 for controlling switching of the switches 13, 17, and 18 is connected.

【0027】次に、このように構成された圧電アクチュ
エータ制御装置の動作を図2に基づき説明する。
Next, the operation of the piezoelectric actuator control device thus constructed will be described with reference to FIG.

【0028】まず、可変電圧電源11を所望の空気の通
路の流量に応じた電圧に設定する。すると、制御装置1
9では、設定された電圧に応じた電荷基準値が設定され
る。 この後、制御装置19は、第1および第2のスイ
ッチ13、17を閉じ、第3のスイッチ18を開く。こ
れにより、可変電圧電源11より圧電アクチュエータ1
0およびコンデンサ14に電圧が印加される。
First, the variable voltage power supply 11 is set to a voltage according to a desired flow rate of the air passage. Then, the control device 1
In 9, the charge reference value is set according to the set voltage. After that, the control device 19 closes the first and second switches 13 and 17 and opens the third switch 18. As a result, the piezoelectric actuator 1 is
Voltage is applied to 0 and the capacitor 14.

【0029】そして、制御装置19は、第1のスイッチ
を開く。これにより、可変電圧電源11より圧電アクチ
ュエータ10およびコンデンサ14に対する電圧の印加
が止まる。
Then, the control device 19 opens the first switch. As a result, the voltage application from the variable voltage power supply 11 to the piezoelectric actuator 10 and the capacitor 14 is stopped.

【0030】この後、制御装置19は、例えば数分毎
に、電荷量検出装置16による電荷量の測定結果と電荷
基準値とを比較する。なお、空気の通路の流量の制御は
比較的緩慢でよいことから、このように数分間隔で調整
を行えば足りる。
Thereafter, the control device 19 compares the measurement result of the charge amount by the charge amount detection device 16 and the charge reference value, for example, every several minutes. Since the control of the flow rate of the air passage may be comparatively slow, it is sufficient to make the adjustment at intervals of several minutes.

【0031】そして、電荷量の測定結果が電荷基準値よ
り低くなった場合、制御装置19は、第1および第2の
スイッチ13、17を閉じ、第3のスイッチ18を開
く。これにより、可変電圧電源11より圧電アクチュエ
ータ10およびコンデンサ14に電圧が印加され、再び
もとの電圧に戻る。
When the measurement result of the charge amount becomes lower than the charge reference value, the control device 19 closes the first and second switches 13 and 17 and opens the third switch 18. As a result, the voltage is applied from the variable voltage power supply 11 to the piezoelectric actuator 10 and the capacitor 14, and the voltage returns to the original voltage again.

【0032】一方、可変電圧電源1の設定で電圧が変更
され電荷基準値が変更される等の理由により電荷量の測
定結果が電荷基準値より高くなった場合、制御装置19
は、第1および第2のスイッチ13、17を開き、第3
のスイッチ18を閉じる。これにより、圧電アクチュエ
ータ10の電荷は抵抗15により放電され、圧電アクチ
ュエータ10の電圧が可変電圧電源11で設定された電
圧まで下がる。
On the other hand, if the measurement result of the charge amount becomes higher than the charge reference value because the voltage is changed by the setting of the variable voltage power supply 1 and the charge reference value is changed, the control device 19
Opens the first and second switches 13, 17 and opens the third switch
The switch 18 is closed. As a result, the electric charge of the piezoelectric actuator 10 is discharged by the resistor 15, and the voltage of the piezoelectric actuator 10 drops to the voltage set by the variable voltage power supply 11.

【0033】したがって、本実施例の圧電アクチュエー
タ制御装置では、常に可変電圧電源11より圧電アクチ
ュエータ10に電圧を印加することなく、圧電アクチュ
エータ10が設定された電圧に維持され、その変形量が
一定値に維持される。
Therefore, in the piezoelectric actuator control apparatus according to the present embodiment, the piezoelectric actuator 10 is maintained at the set voltage without constantly applying the voltage from the variable voltage power supply 11 to the piezoelectric actuator 10, and the amount of deformation is constant. Maintained at.

【0034】つまり、可変電圧電源11より電圧を印加
されていない圧電アクチュエータ10は、その内部抵抗
により電荷が減衰する。しかし、圧電アクチュエータ1
0の内部抵抗は非常に大きいため、自然放電が少なく、
しかも第1のスイッチ13が開いているため、ケーブル
12による損失はない。このため、上記の減衰の変化
は、極めて小さく、並列に接続されたコンデンサ14の
容量により決定されることになる。すなわち、圧電アク
チュエータ10では、コンデンサ14が並列に接続され
ていることにより、可変電圧電源11より電圧を印加さ
れなくても、かなりの長時間に亙り設定変位に相当する
電圧が維持されることになる。
That is, in the piezoelectric actuator 10 to which the voltage is not applied from the variable voltage power supply 11, the charge is attenuated by the internal resistance. However, the piezoelectric actuator 1
The internal resistance of 0 is very large, so there is little spontaneous discharge,
Moreover, since the first switch 13 is open, there is no loss due to the cable 12. Therefore, the above-mentioned change in attenuation is extremely small and is determined by the capacitance of the capacitor 14 connected in parallel. That is, in the piezoelectric actuator 10, since the capacitor 14 is connected in parallel, the voltage corresponding to the set displacement is maintained for a considerably long time even if the voltage is not applied from the variable voltage power supply 11. Become.

【0035】かくして、本実施例の圧電アクチュエータ
制御装置では、ケーブル12上に電圧が印加される機会
が激減するので、可変電圧電源11の損失を必要最小限
に抑えることができ、またケーブル12による漏電や感
電の危険性を回避することができる。
Thus, in the piezoelectric actuator control apparatus of this embodiment, the chances of applying a voltage to the cable 12 are drastically reduced, so that the loss of the variable voltage power supply 11 can be suppressed to the necessary minimum, and the cable 12 can be used. The risk of electric leakage and electric shock can be avoided.

【0036】なお、本発明は、上述した実施例に限定さ
れない。
The present invention is not limited to the above embodiment.

【0037】例えば、図3に示すように複数の圧電アク
チュエータ10を並設した場合にも本発明を適用するこ
とができる。この場合、複数の圧電アクチュエータ10
に対して第1、第2および第3のスイッチ13、17、
18、コンデンサ14、抵抗15、電荷量検出装置16
および制御装置19は1組とし、群制御を行うようにし
てもよい。
For example, the present invention can be applied to a case where a plurality of piezoelectric actuators 10 are arranged in parallel as shown in FIG. In this case, the plurality of piezoelectric actuators 10
With respect to the first, second and third switches 13, 17,
18, capacitor 14, resistor 15, charge amount detection device 16
Alternatively, the control devices 19 may be one set, and group control may be performed.

【0038】また、本発明は、コンデンサ14に対応す
る第2のスイッチ17を省略して単に接続するものであ
っても構わない。
In the present invention, the second switch 17 corresponding to the capacitor 14 may be omitted and simply connected.

【0039】さらに、本発明は、上述した空気の通路の
流量の制御ばかりでなく、圧電アクチュエータを用いた
種々の制御装置にも適用できる。
Furthermore, the present invention can be applied not only to the above-mentioned control of the flow rate of the air passage but also to various control devices using a piezoelectric actuator.

【0040】[0040]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
常に電源より圧電アクチュエータに電圧を印加すること
なく、圧電アクチュエータが設定された電圧に維持さ
れ、その変形量が一定値に維持される。したがって、ケ
ーブル上に電圧が印加される機会が激減し、電源の損失
を必要最小限に抑えることができ、またケーブルによる
漏電や感電の危険性を回避することができる。
As described above, according to the present invention,
The piezoelectric actuator is maintained at the set voltage without constantly applying a voltage to the piezoelectric actuator from the power supply, and the amount of deformation thereof is maintained at a constant value. Therefore, it is possible to drastically reduce the chances of applying a voltage on the cable, minimize the loss of the power source, and avoid the risk of electric leakage or electric shock due to the cable.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例に係る圧電アクチュエータ制
御装置の構成を示す図である。
FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a piezoelectric actuator control device according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の一実施例に係る圧電アクチュエータ制
御装置の動作を示す制御ブロックダイヤグラムである。
FIG. 2 is a control block diagram showing the operation of the piezoelectric actuator control device according to the embodiment of the present invention.

【図3】本発明の他の実施例を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing another embodiment of the present invention.

【図4】従来の圧電アクチュエータを示す図である。FIG. 4 is a diagram showing a conventional piezoelectric actuator.

【図5】従来の圧電アクチュエータを示す図である。FIG. 5 is a diagram showing a conventional piezoelectric actuator.

【図6】従来の圧電アクチュエータを示す図である。FIG. 6 is a diagram showing a conventional piezoelectric actuator.

【図7】従来の圧電アクチュエータの回路図である。FIG. 7 is a circuit diagram of a conventional piezoelectric actuator.

【図8】圧電アクチュエータの変位と電圧の関係を示す
図である。
FIG. 8 is a diagram showing a relationship between displacement of a piezoelectric actuator and voltage.

【図9】圧電アクチュエータの電圧の時間的変位を示す
図である。
FIG. 9 is a diagram showing a time displacement of a voltage of a piezoelectric actuator.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10…圧電アクチュエータ、11…可変電圧電源、12
…ケーブル、13…第1のスイッチ、14…コンデン
サ、15…抵抗、16…電荷量検出装置、17…第2の
スイッチ、18…第3のスイッチ、19…制御装置。
10 ... Piezoelectric actuator, 11 ... Variable voltage power supply, 12
... Cable, 13 ... First switch, 14 ... Capacitor, 15 ... Resistance, 16 ... Charge amount detecting device, 17 ... Second switch, 18 ... Third switch, 19 ... Control device.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 電源より印加された電圧に応じて変形す
る圧電アクチュエータを制御する圧電アクチュエータ制
御装置において、前記電源と圧電アクチュエータとの間
の接続/切断を行う第1のスイッチと、前記圧電アクチ
ュエータと並列に接続された容量素子と、前記圧電アク
チュエータと前記容量素子との間の接続/切断を行う第
2のスイッチと、前記圧電アクチュエータに並列に接続
された放電素子と、前記圧電アクチュエータと前記放電
素子との間の接続/切断を行う第3のスイッチと、前記
圧電アクチュエータに蓄積された電荷量を検出する電荷
量検出手段と、この電荷量検出手段により検出された電
荷量に応じて前記第1、第2および第3のスイッチの切
り替えを制御する制御手段とを具備することを特徴とす
る圧電アクチュエータ制御装置。
1. A piezoelectric actuator control device for controlling a piezoelectric actuator that deforms according to a voltage applied from a power source, a first switch for connecting / disconnecting between the power source and the piezoelectric actuator, and the piezoelectric actuator. A capacitive element connected in parallel with the piezoelectric actuator, a second switch for connecting / disconnecting the piezoelectric actuator and the capacitive element, a discharge element connected in parallel with the piezoelectric actuator, the piezoelectric actuator and the A third switch for connecting / disconnecting to / from the discharge element, a charge amount detecting means for detecting the amount of charge accumulated in the piezoelectric actuator, and the charge amount detecting means for detecting the amount of charge accumulated in the piezoelectric actuator. A piezoelectric actuator comprising: a control unit that controls switching of the first, second and third switches. Control device.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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