JPH05323321A - Production of liquid crystal display device - Google Patents

Production of liquid crystal display device

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Publication number
JPH05323321A
JPH05323321A JP13224092A JP13224092A JPH05323321A JP H05323321 A JPH05323321 A JP H05323321A JP 13224092 A JP13224092 A JP 13224092A JP 13224092 A JP13224092 A JP 13224092A JP H05323321 A JPH05323321 A JP H05323321A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
rubbing
liquid crystal
crystal display
substrate
roll
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP13224092A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yuji Osaki
裕司 大崎
Shiro Miyake
史郎 三宅
Kohei Adachi
光平 安達
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP13224092A priority Critical patent/JPH05323321A/en
Publication of JPH05323321A publication Critical patent/JPH05323321A/en
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  • Liquid Crystal (AREA)

Abstract

PURPOSE:To provide a method for producing a liq. crystal display device by which static electricity generated at the time of rubbing a film to be oriented on each electrode substrate of a liq. crystal display cell is easily reduced without requiring large-scale equipment and the breakdown of a switching element and the film to be oriented on the substrate is prevented. CONSTITUTION:When a liq. crystal orienting layer is formed, an electric conductive liq. is fed as vapor or mist from the inside of a rubbing roll 5 with wound rubbing cloth 4 to the cloth 4 through the pores 3 in the roll 1.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、液晶表示装置の製造
方法、特にその液晶配向層の形成方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing a liquid crystal display device, and more particularly to a method of forming a liquid crystal alignment layer thereof.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般に、液晶表示素子は、図5の断面図
に示すように、ガラスなどからなる上基板13および下
基板14が所定の間隔を持つように平行に配置され、そ
の周辺部が樹脂やガラスフリットなどのシール材15で
封着され、これらによって形成される内部空間に、上基
板13と下基板14との間隔を所定の幅に保つための、
樹脂やガラスなどからなるスペーサ16が配置され、液
晶17が封入されている。前記上基板13、下基板14
の内面上には、それぞれ透明電極膜からなる所定のパタ
ーンを有する上電極18、下電極19が形成され、さら
に液晶と接する面には、液晶を一定方向に配向させるた
めの配向層を有する配向膜20、21が形成されてい
る。このような配向膜20、21は上電極18、下電極
19を有する基板上に形成されたポリイミド、ポリアミ
ドなどからなる薄膜の表面をレーヨン布などで一定方向
にこする、いわゆるラビング処理を行うことにより形成
されている。現在最も多く用いられているツイスティッ
ドネマティック型(以下、TN型という)液晶表示素子
の場合には、上基板13上に形成された配向膜20によ
り液晶が配向する方向と、下基板14上に形成された配
向膜21により液晶が配向する方向がそれぞれ互いに直
行するように配置されている。また、上基板13、下基
板14の外側には、それぞれ上偏光板22、下偏光板2
3が各々の偏光軸方向が互いに直行または平行になるよ
うに配置されている。TN型液晶表示素子の中で、単純
マトリクス型と呼ばれるものは、上基板、下基板それぞ
れに帯状の透明電極を設け、それらが互いに直行するよ
うに配置したものである。また、アクティブマトリクス
型と呼ばれるものは、各画素にトランジスタなどのスイ
ッチング素子を設けたものである。
2. Description of the Related Art Generally, as shown in a sectional view of FIG. 5, a liquid crystal display element has an upper substrate 13 and a lower substrate 14 made of glass or the like, which are arranged in parallel with each other at a predetermined interval, and the peripheral portion thereof. In order to keep the space between the upper substrate 13 and the lower substrate 14 at a predetermined width in an internal space formed by sealing with a sealing material 15 such as resin or glass frit,
A spacer 16 made of resin or glass is arranged and a liquid crystal 17 is enclosed. The upper substrate 13 and the lower substrate 14
An upper electrode 18 and a lower electrode 19 each having a predetermined pattern made of a transparent electrode film are formed on the inner surface of the liquid crystal, and an alignment layer for aligning the liquid crystal in a certain direction is formed on the surface in contact with the liquid crystal. Membranes 20 and 21 are formed. Such alignment films 20 and 21 are subjected to a so-called rubbing treatment in which the surface of a thin film made of polyimide, polyamide or the like formed on a substrate having upper electrodes 18 and lower electrodes 19 is rubbed in a certain direction with rayon cloth or the like. It is formed by. In the case of a twisted nematic type (hereinafter, referred to as TN type) liquid crystal display element that is most often used at present, the alignment film 20 formed on the upper substrate 13 causes the liquid crystal to be aligned on the lower substrate 14. The formed alignment films 21 are arranged so that the directions in which the liquid crystals are aligned are orthogonal to each other. Further, outside the upper substrate 13 and the lower substrate 14, the upper polarizing plate 22 and the lower polarizing plate 2 are provided, respectively.
3 are arranged so that their polarization axis directions are orthogonal or parallel to each other. Among the TN type liquid crystal display elements, what is called a simple matrix type is one in which strip-shaped transparent electrodes are provided on each of an upper substrate and a lower substrate and arranged so as to be orthogonal to each other. The active matrix type has a switching element such as a transistor provided in each pixel.

【0003】実際の工程においてラビング処理を行う方
法としては、図6の断面説明図のようにロール24の外
周にラビング布4を巻き付けたラビングローラー25を
回転させ、該ラビングローラー25の下を薄膜を表面に
有する被ラビング基板6を載せたステージ7を移動させ
る方法があげられる。
As a method of performing a rubbing process in an actual process, a rubbing roller 25 having a rubbing cloth 4 wound around the outer circumference of a roll 24 is rotated as shown in the sectional view of FIG. There is a method of moving the stage 7 on which the substrate to be rubbed 6 having the surface of is mounted.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ところが、配向膜とし
て用いられるポリイミド、ポリビニルアルコール(PV
A)や、ラビング布として用いられるレーヨン、ナイロ
ンなどは静電気を発生しやすい材料であり、ラビングの
過程でラビング布及び配向膜表面は通常1キロボルト以
上に帯電する。この静電気により、アクティブマトリク
ス型ではスイッチング素子が破壊される。また、アクテ
ィブマトリクス型、単純マトリクス型共に、静電気の放
電による電極および配向膜の損傷や、静電気力による異
物の吸着を原因とする表示不良を生じ、液晶表示素子の
歩留まり低下を招く。
However, polyimide and polyvinyl alcohol (PV
A), rayon and nylon used as a rubbing cloth are materials that easily generate static electricity, and the rubbing cloth and the surface of the alignment film are usually charged to 1 kV or more during the rubbing process. This static electricity destroys the switching element in the active matrix type. Further, in both the active matrix type and the simple matrix type, a display defect occurs due to damage of the electrodes and the alignment film due to static electricity discharge, and adsorption of foreign matter due to electrostatic force, leading to a reduction in yield of liquid crystal display elements.

【0005】従来、ラビング処理の際の静電気対策とし
ては、ラビング布及び被ラビング基板を接地してラビン
グを行う方法(特開昭63ー144325号公報)や、
導電性を有するラビング布を用いるラビング方法(特開
昭61ー123816号公報)など発生した静電気を逃
がす方法や、ラビング布及び被ラビング基板にイオン化
された空気を吹き付けながらラビングする方法(特開昭
62ー172323号公報)、ラビング処理を行う部屋
の湿度管理を行う方法、ラビング布あるいは被ラビング
基板に導電性液体を外部より付着させてラビングする方
法(特開昭61−67022号公報、特開昭61−24
9020号公報)など静電気の発生自体を抑える方法が
あった。
Conventionally, as a countermeasure against static electricity in the rubbing process, a method of rubbing by grounding a rubbing cloth and a substrate to be rubbed (JP-A-63-144325),
A method of releasing generated static electricity, such as a rubbing method using a conductive rubbing cloth (Japanese Patent Laid-Open No. 61-123816), or a method of rubbing while blowing ionized air on the rubbing cloth and the substrate to be rubbed (Japanese Patent Laid-Open No. Sho-61-13816). 62-172323), a method for controlling humidity in a room for rubbing treatment, and a method for rubbing by rubbing a conductive liquid from the outside on a rubbing cloth or a substrate to be rubbed (JP-A-61-67022). 61-24
No. 9020), there is a method of suppressing generation of static electricity itself.

【0006】これらの静電気対策のうち、基板やラビン
グ布を接地したり、導電性のラビング布を用いることな
どにより発生した静電気を逃がす方法は、電荷の移動を
ともなうことになるため、スイッチング素子や電極に損
傷を与える危険性が残っている。したがって、静電気対
策としては、静電気の発生自体を抑える方法のほうが望
ましいが、ラビング布及び被ラビング基板にイオン化さ
れた空気を吹き付けながらラビングする方法は除電効果
が低く、部屋全体の湿度管理を行う方法は設備費、維持
コストが高い。また、外部より導電性液体を付着させる
方法は、余分の液体が飛散し、機械の保守が困難となる
等の問題があった。
Among these measures against static electricity, the method of discharging static electricity generated by grounding a substrate or a rubbing cloth or using a conductive rubbing cloth involves the movement of electric charges, and therefore switching elements and The risk of damaging the electrodes remains. Therefore, as a measure against static electricity, it is preferable to suppress the generation of static electricity itself, but the method of rubbing while blowing ionized air on the rubbing cloth and the substrate to be rubbed has a low static elimination effect and is a method of controlling the humidity of the entire room. Has high equipment and maintenance costs. Further, the method of adhering the conductive liquid from the outside has a problem that the excess liquid is scattered and maintenance of the machine becomes difficult.

【0007】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、大がかりな設備を必要とせず、
余分の液体を飛散させることなく、液晶表示素子の電極
基板上の配向膜にラビング処理を行う際に発生する静電
気を低減できる液晶表示装置の製造方法を提供すること
を目的とする。
The present invention has been made to solve the above problems, and does not require large-scale equipment,
An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a liquid crystal display device capable of reducing static electricity generated when rubbing an alignment film on an electrode substrate of a liquid crystal display element without scattering extra liquid.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】この発明の液晶表示装置
の製造方法は、液晶配向層を形成する際にラビング材を
巻装したラビングローラー内部より導電性液体を蒸気、
あるいは霧の状態で、または多孔質体を介して上記ラビ
ング材に供給するようにしたものである。ラビングロー
ラ内部より、導電性液体を蒸気あるいは霧の状態で、ま
たは多孔質体を介して適量ずつラビング布に供給しなが
らラビング処理をすることにより静電気の発生を抑制す
ることを可能としたものである。
A method of manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention comprises a method of vaporizing a conductive liquid from the inside of a rubbing roller wound with a rubbing material when forming a liquid crystal alignment layer,
Alternatively, it is supplied to the above rubbing material in a mist state or through a porous body. It is possible to suppress the generation of static electricity by rubbing the conductive liquid from the inside of the rubbing roller in the state of vapor or mist, or while supplying it to the rubbing cloth in an appropriate amount through the porous body. is there.

【0009】[0009]

【作用】この発明におけるラビング方法によれば、ラビ
ング布上および基板上に導電性液体が存在する状態でラ
ビング処理を行うことができるので、ラビングにともな
い発生する静電気を抑制できる。
According to the rubbing method of the present invention, since the rubbing treatment can be performed in the state where the conductive liquid is present on the rubbing cloth and the substrate, the static electricity generated by the rubbing can be suppressed.

【0010】[0010]

【実施例】【Example】

実施例1.図1は、この発明の一実施例の液晶表示装置
の製造方法で用いられるラビング装置のラビングロール
を示す斜視図である。ロール1は、軸2より蒸気または
霧を導入できるようになっており、ロール表面に軸2よ
り導入した蒸気または霧を吹き出すことのできる小孔3
を有している。図2はこの一実施例に係わるラビング方
法をラビングロール部分を示して説明する断面説明図で
ある。前記ロール1の外周にラビング布4を巻き付けた
ラビングローラー5を回転させ、その下を表面に配向膜
を形成した被ラビング基板6を載せたステージ7を移動
させてラビングを行う。
Example 1. FIG. 1 is a perspective view showing a rubbing roll of a rubbing device used in a method of manufacturing a liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention. The roll 1 can introduce steam or mist from the shaft 2, and the small holes 3 through which the steam or mist introduced from the shaft 2 can be blown to the roll surface.
have. FIG. 2 is a cross-sectional explanatory view for explaining the rubbing method according to this embodiment showing the rubbing roll portion. A rubbing roller 5 having a rubbing cloth 4 wound around the outer periphery of the roll 1 is rotated, and a stage 7 on which a rubbing substrate 6 having an alignment film formed on the surface thereof is placed is moved underneath to perform rubbing.

【0011】この実施例の方法では、軸2から水を水蒸
気または超音波で霧状にしてラビング布4に供給する機
構を有するラビングローラー5を回転させ、該ラビング
ローラー5の下を表面に配向膜を形成した被ラビング基
板6を通過させることによりラビング処理を行う。な
お、この実施例において、軸1からの水蒸気または霧状
にして供給する水の供給量は毎分0.5〜1ml、ラビン
グローラー5の回転数は毎分200〜400回転、被ラ
ビング基板6表面のポリイミド配向膜の膜厚は200〜
1000Å、ラビング荷重は200〜500g、用いる
ラビング布4の厚さは約2mm、ステージ7の移動速度は
5〜20mm/sec、被ラビング基板6の進行方向とラビン
グローラー5の角度は45°が適当である。
In the method of this embodiment, a rubbing roller 5 having a mechanism for atomizing water from the shaft 2 with steam or ultrasonic waves to supply it to the rubbing cloth 4 is rotated, and the bottom of the rubbing roller 5 is oriented on the surface. The rubbing treatment is performed by passing the film-formed rubbing substrate 6. In this embodiment, the amount of water vapor or water atomized to be supplied from the shaft 1 is 0.5 to 1 ml per minute, the rotation speed of the rubbing roller 5 is 200 to 400 rotations per minute, and the substrate to be rubbed 6 is rubbed. The thickness of the polyimide alignment film on the surface is 200-
1000 Å, rubbing load is 200-500 g, thickness of rubbing cloth 4 used is about 2 mm, moving speed of stage 7 is 5-20 mm / sec, angle of the rubbing roller 5 and the traveling direction of the substrate 6 to be rubbed is 45 ° is suitable. Is.

【0012】この実施例の方法を用いて液晶表示素子を
製造した結果、従来よりも表示欠陥の少ない液晶表示素
子を製造することができた。
As a result of manufacturing a liquid crystal display element using the method of this embodiment, it was possible to manufacture a liquid crystal display element with fewer display defects than before.

【0013】実施例2.図3は、この発明の他の実施例
で用いられるラビング装置のラビングロールを示す斜視
図である。ロール8は軸9より液体を導入できるように
なっており、表面に軸9より導入した液体を放出するこ
とのできる小孔10を有する。図4はこの他の実施例に
係わるラビング方法をラビングロール部分を示して説明
する断面説明図である。ロール8の外周に多孔質体11
を巻き付け、さらにその外周にラビング布4を巻き付け
たラビングローラー12を回転させ、その下を表面に配
向膜を形成した被ラビング基板6を載せたステージ7を
移動させてラビングを行う。
Embodiment 2. FIG. 3 is a perspective view showing a rubbing roll of a rubbing device used in another embodiment of the present invention. The roll 8 can introduce the liquid through the shaft 9, and has a small hole 10 on the surface through which the liquid introduced through the shaft 9 can be discharged. FIG. 4 is a cross-sectional explanatory view illustrating a rubbing roll portion of a rubbing method according to another embodiment. The porous body 11 is provided around the roll 8.
Then, the rubbing roller 12 having the rubbing cloth 4 wound around it is rotated, and the stage 7 on which the rubbing substrate 6 having the alignment film formed on the surface thereof is placed under the rubbing roller 12 is moved to perform rubbing.

【0014】この実施例において、軸8からの水の供給
量は0.5〜1ml、その他のラビング条件は実施例1と
同様である。また、同様にこの実施例の方法を用いて液
晶表示素子を製造した結果、従来よりも表示欠陥の少な
い液晶表示素子を製造することができた。
In this embodiment, the amount of water supplied from the shaft 8 is 0.5 to 1 ml, and other rubbing conditions are the same as in the first embodiment. Similarly, as a result of manufacturing a liquid crystal display element by using the method of this example, it was possible to manufacture a liquid crystal display element with fewer display defects than before.

【0015】[0015]

【発明の効果】以上のように、この発明によれば、液晶
配向層を形成する際にラビング材を巻装したラビングロ
ーラー内部より導電性液体を蒸気、あるいは霧の状態
で、または多孔質体を介して上記ラビング材に供給し、
適度の湿度を与えるようにしているので、ラビングの際
に発生する静電気を低減することができるため、静電気
によるスイッチング素子の破壊やゴミの吸着による表示
不良を防ぐことができ、液晶表示素子の歩留まり向上及
び品質改善を図ることができる。
As described above, according to the present invention, when the liquid crystal alignment layer is formed, the conductive liquid is vaporized or fog from the inside of the rubbing roller wound with the rubbing material, or the porous body is used. Supplied to the rubbing material via
Since an appropriate amount of humidity is applied, static electricity generated during rubbing can be reduced, so it is possible to prevent damage to the switching elements due to static electricity and display defects due to adsorption of dust, and to improve the yield of liquid crystal display elements. It is possible to improve the quality and quality.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明の一実施例に用いられるラビングロー
ルを示す斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view showing a rubbing roll used in an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の一実施例のラビング方法を示す断面説
明図である。
FIG. 2 is an explanatory sectional view showing a rubbing method according to an embodiment of the present invention.

【図3】この発明の他の実施例に用いられるラビングロ
ールを示す斜視図である。
FIG. 3 is a perspective view showing a rubbing roll used in another embodiment of the present invention.

【図4】この発明の他の実施例のラビング方法を示す断
面説明図である。
FIG. 4 is a sectional explanatory view showing a rubbing method of another embodiment of the present invention.

【図5】この発明に係わる代表的なTN形液晶表示素子
の構造を示す断面図である。
FIG. 5 is a sectional view showing a structure of a typical TN type liquid crystal display element according to the present invention.

【図6】従来のラビング方法を示す断面説明図である。FIG. 6 is a cross-sectional explanatory view showing a conventional rubbing method.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ロール 2 ロール軸 3 小孔 4 ラビング布 5 ラビングローラー 6 被ラビング基板 7 ステージ 8 ロール 9 ロール軸 10 小孔 11 多孔質体 12 ラビングローラー 1 roll 2 roll shaft 3 small hole 4 rubbing cloth 5 rubbing roller 6 rubbing substrate 7 stage 8 roll 9 roll shaft 10 small hole 11 porous body 12 rubbing roller

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 電極を有する基板上の液晶と接触する薄
膜表面にラビング材を転接させて液晶配向層を形成する
液晶表示装置の製造方法において、液晶配向層を形成す
る際に上記ラビング材を巻装したラビングローラー内部
より導電性液体を蒸気、あるいは霧の状態で、または多
孔質体を介して上記ラビング材に供給するようにしたこ
とを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
1. A method of manufacturing a liquid crystal display device, comprising forming a liquid crystal alignment layer by rolling a rubbing material on a surface of a thin film which is in contact with liquid crystal on a substrate having an electrode, wherein the rubbing material is formed when the liquid crystal alignment layer is formed. A method for manufacturing a liquid crystal display device, characterized in that a conductive liquid is supplied from the inside of a rubbing roller wound with the above to the above rubbing material in a vapor or mist state or via a porous body.
JP13224092A 1992-05-25 1992-05-25 Production of liquid crystal display device Pending JPH05323321A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101340230B1 (en) * 2011-12-07 2013-12-10 하이디스 테크놀로지 주식회사 Apparatus of forming an alignment layer for a liquid crystal display device

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101340230B1 (en) * 2011-12-07 2013-12-10 하이디스 테크놀로지 주식회사 Apparatus of forming an alignment layer for a liquid crystal display device

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