JPH05322581A - Oscillation gyroscope - Google Patents

Oscillation gyroscope

Info

Publication number
JPH05322581A
JPH05322581A JP4151533A JP15153392A JPH05322581A JP H05322581 A JPH05322581 A JP H05322581A JP 4151533 A JP4151533 A JP 4151533A JP 15153392 A JP15153392 A JP 15153392A JP H05322581 A JPH05322581 A JP H05322581A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vibrator
support plate
resonance frequency
vibrating
circuit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP4151533A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Katsumi Fujimoto
本 克 己 藤
Takeshi Nakamura
村 武 中
Kazuhiro Yoshitani
谷 和 博 吉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Priority to JP4151533A priority Critical patent/JPH05322581A/en
Publication of JPH05322581A publication Critical patent/JPH05322581A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

PURPOSE:To make it possible to measure and adjust the resonance frequency of a vibrator readily by containing terminal electrodes, which are formed on a supporting plate and electrically connected to the vibrator and, holes around which connecting electrodes are provided, and which are connected to the terminal electrodes. CONSTITUTION:When the resonance frequency of a vibrator is adjusted in an oscillation gyroscope 10, measuring devices are connected to terminal electrodes 36a-36c of a supporting plate 28. In this way, the resonance frequency of the vibrator 12 can be simply measured and adjusted. At this time, the supporting plate 28, on which the vibrator 12 is supported and the peripheral circuits such as an oscillating circuit and a detecting circuit, which are electrically connected to the vibrator 12, are independently manufactured so that these parts can be assembled. Therefore, the resonance frequency of the vibrator can be readily measured and adjusted without the effects of the parts of these peripheral circuits. Namely, in this oscillation gyroscope 10, the resonance frequency when the vibrator 12 is regarded as the single body can be correctly obtained.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は振動ジャイロに関し、
特にたとえば、自動車に搭載されるナビゲーションシス
テムに用いられる、振動ジャイロに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vibration gyro,
In particular, for example, it relates to a vibration gyro used in a navigation system mounted on an automobile.

【0002】[0002]

【従来の技術】図5(A)は従来の振動ジャイロの一例
を示す斜視図であり、図5(B)はその回路図である。
この振動ジャイロ1は振動子2を含む。振動子2は、3
角柱状の振動体3を含み、振動体3の3つの側面には、
圧電素子4a,4bおよび4cがそれぞれ形成される。
振動体3の稜線部分には、たとえばニッケルなどの材料
からなる2つの支持部材5aおよび5bが取り付けられ
る。2つの支持部材5aおよび5bは、振動体3のノー
ド点付近に、はんだ付けや溶接などによって固着され
る。さらに、2つの支持部材5aおよび5bは、取付け
基板6に、はんだ付けなどの方法で固着される。この2
つの支持部材5aおよび5bは、振動体3を取付け基板
6上に振動可能に支持するためのものである。
2. Description of the Related Art FIG. 5A is a perspective view showing an example of a conventional vibrating gyro, and FIG. 5B is a circuit diagram thereof.
The vibrating gyro 1 includes a vibrator 2. Oscillator 2 is 3
Including the prismatic vibrating body 3, the three side surfaces of the vibrating body 3 are
Piezoelectric elements 4a, 4b and 4c are respectively formed.
Two support members 5a and 5b made of a material such as nickel are attached to the ridge portion of the vibrating body 3. The two support members 5a and 5b are fixed near the node points of the vibrating body 3 by soldering or welding. Further, the two support members 5a and 5b are fixed to the mounting substrate 6 by a method such as soldering. This 2
The two support members 5a and 5b are for supporting the vibrating body 3 on the mounting substrate 6 in a vibrating manner.

【0003】また、取付け基板6の下には、たとえばプ
リント基板(図示せず)が形成される。このプリント基
板には、振動子2を駆動させるための発振回路、およ
び、振動子2の変位を検知するための検出回路などの周
辺回路が形成される。これらの周辺回路と振動子2と
は、電気的に接続される。取付け基板6とプリント基板
とは、たとえば接着剤などで一体的に固着される。
A printed board (not shown), for example, is formed below the mounting board 6. Peripheral circuits such as an oscillation circuit for driving the vibrator 2 and a detection circuit for detecting displacement of the vibrator 2 are formed on the printed board. These peripheral circuits and the vibrator 2 are electrically connected. The mounting substrate 6 and the printed circuit board are integrally fixed with, for example, an adhesive.

【0004】振動子2の1つの圧電素子4cは、図5
(B)に示すように、発振回路7の入力端に電気的に接
続され、発振回路7の出力端は、他の2つの圧電素子4
aおよび4bに電気的に接続される。そのため、振動子
2は自励振駆動する。また、2つの圧電素子4aおよび
4bは、たとえば差動増幅器からなる検出回路8の2つ
の入力端にそれぞれ電気的に接続される。したがって、
検出回路8の出力によって、振動ジャイロ1の回転角速
度が検出される。
One piezoelectric element 4c of the vibrator 2 is shown in FIG.
As shown in (B), it is electrically connected to the input end of the oscillation circuit 7, and the output end of the oscillation circuit 7 is connected to the other two piezoelectric elements 4.
It is electrically connected to a and 4b. Therefore, the vibrator 2 is self-excited. Further, the two piezoelectric elements 4a and 4b are electrically connected to the two input ends of the detection circuit 8 including, for example, a differential amplifier. Therefore,
The output of the detection circuit 8 detects the rotational angular velocity of the vibration gyro 1.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】従来の振動ジャイロ1
では、通常、振動子2が、たとえばケース(図示せず)
などの中に組み込まれて収納されている。また、従来の
振動ジャイロ1では、取付け基板6とプリント基板とが
一体化されているため、たとえば振動子2の共振周波数
などを測定して調整する場合、プリント基板に形成され
た周辺回路の部品の影響を受けて、振動子2の共振周波
数を正しく測定することが困難であった。言い換える
と、従来の振動ジャイロ1では、振動子2を単体として
みたときの共振周波数を把握することが困難であった。
A conventional vibrating gyro 1
Then, usually, the vibrator 2 is, for example, a case (not shown).
It is built in and stored in. Further, in the conventional vibrating gyro 1, since the mounting substrate 6 and the printed circuit board are integrated, when measuring and adjusting the resonance frequency of the vibrator 2, for example, the components of the peripheral circuit formed on the printed circuit board. Under the influence of, it was difficult to correctly measure the resonance frequency of the vibrator 2. In other words, it is difficult for the conventional vibration gyro 1 to grasp the resonance frequency when the vibrator 2 is viewed as a single unit.

【0006】しかしながら、周辺回路の影響を防止する
ためには、振動子2をケースに組み込む前に、取付け基
板6とプリント基板とを取り外し、一端、振動子2と周
辺回路との電気的接続を切断する。さらに、振動子2の
3つの圧電素子4a,4bおよび4cに、たとえばリー
ド線を接続して、その振動子2の共振周波数を測定し調
整していた。そして、共振周波数の調整が終わった後、
再び、それらのリード線を取り外して、取付け基板6と
プリント基板とを電気的に接続して一体化し、ケース内
に収納していた。このように、従来の振動ジャイロ1に
おいて、振動子2の共振周波数を正確に測定して、調整
することは、非常に手間のかかるものであった。
However, in order to prevent the influence of the peripheral circuit, the mounting substrate 6 and the printed circuit board are removed before the vibrator 2 is assembled in the case, and the electric connection between the vibrator 2 and the peripheral circuit is made at one end. Disconnect. Further, for example, lead wires were connected to the three piezoelectric elements 4a, 4b and 4c of the vibrator 2, and the resonance frequency of the vibrator 2 was measured and adjusted. And after adjusting the resonance frequency,
Again, those lead wires were removed, the mounting substrate 6 and the printed circuit board were electrically connected and integrated, and they were housed in the case. As described above, in the conventional vibration gyro 1, it is very troublesome to accurately measure and adjust the resonance frequency of the vibrator 2.

【0007】それゆえに、この発明の主たる目的は、振
動子に電気的に接続される周辺回路の影響を受けること
なく、しかも、振動子を組み込んだ後でも、その振動子
の共振周波数を容易に測定して調整することができる、
振動ジャイロを提供することである。
Therefore, the main object of the present invention is not to be affected by the peripheral circuit electrically connected to the vibrator, and moreover, even after the vibrator is incorporated, the resonance frequency of the vibrator can be easily adjusted. Can be measured and adjusted,
It is to provide a vibrating gyro.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】この発明は、振動子と、
振動子を支持する支持板と、支持板に形成され、振動子
と電気的に接続される端子電極と、端子電極に接続さ
れ、その周囲に接続電極が設けられた孔とを含む、振動
ジャイロである。
The present invention provides a vibrator,
A vibrating gyroscope including a support plate that supports the vibrator, a terminal electrode formed on the support plate and electrically connected to the vibrator, and a hole that is connected to the terminal electrode and around which a connection electrode is provided. Is.

【0009】[0009]

【作用】振動子は支持板に支持される。振動子と端子電
極とは、電気的に接続されている。そのため、端子電極
にたとえば測定器を電気的に接続することによって、振
動子の共振周波数特性が測定される。また、支持板に、
たとえば振動子を振動させるための発振回路およびその
振動子の変位を検知するための検知回路などの周辺回路
を有する回路基板を取付ける場合、支持板と回路基板と
は、孔を介して接続される。さらに、孔の周縁部に形成
された接続電極と振動子とを電気的に接続することによ
って、振動子と周辺回路とが電気的に接続される。
Function: The vibrator is supported by the support plate. The vibrator and the terminal electrode are electrically connected. Therefore, the resonance frequency characteristic of the vibrator is measured by electrically connecting, for example, a measuring device to the terminal electrode. Also, on the support plate,
For example, when mounting a circuit board having a peripheral circuit such as an oscillation circuit for vibrating the vibrator and a detection circuit for detecting the displacement of the vibrator, the support plate and the circuit board are connected through a hole. .. Further, by electrically connecting the connection electrode formed on the peripheral portion of the hole and the vibrator, the vibrator and the peripheral circuit are electrically connected.

【0010】[0010]

【発明の効果】この発明によれば、振動子に電気的に接
続される周辺回路の影響を受けることなく、しかも、振
動子を組み込んだ後でも、その振動子の共振周波数を容
易に測定して調整することができる、振動ジャイロが得
られる。
According to the present invention, the resonance frequency of a vibrator can be easily measured without being affected by peripheral circuits electrically connected to the vibrator and even after the vibrator is incorporated. A vibrating gyro that can be adjusted by

【0011】この発明の上述の目的,その他の目的,特
徴および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳
細な説明から一層明らかとなろう。
The above-mentioned objects, other objects, features and advantages of the present invention will become more apparent from the detailed description of the following embodiments with reference to the drawings.

【0012】[0012]

【実施例】図1(A)はこの発明の一実施例を示すその
一部を切欠いた斜視図であり、図1(B)はその側面図
解図である。図2は図1に示す振動ジャイロの分解斜視
図である。図3は図1に示す振動ジャイロの要部斜視図
であり、図4は図1に示す振動ジャイロの回路図であ
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT FIG. 1A is a partially cutaway perspective view showing an embodiment of the present invention, and FIG. 1B is a side view thereof. FIG. 2 is an exploded perspective view of the vibrating gyro shown in FIG. 3 is a perspective view of a main part of the vibration gyro shown in FIG. 1, and FIG. 4 is a circuit diagram of the vibration gyro shown in FIG.

【0013】この振動ジャイロ10は、振動子12を含
む。振動子12は、特に図3に示すように、たとえば断
面3角形で柱状の振動体14を含む。この振動体14
は、たとえばニッケル,鉄,クロム,チタンあるいはそ
れらの合金たとえばエリンバ,鉄−ニッケル合金などの
恒弾性金属材料で形成される。なお、振動体14は、た
とえば、石英,ガラス,水晶,セラミックなどのように
一般的に機械的な振動が生じる金属以外の材料で形成さ
れてもよい。
The vibrating gyro 10 includes a vibrator 12. As shown in FIG. 3 in particular, the vibrator 12 includes a vibrating body 14 having, for example, a triangular cross section and a columnar shape. This vibrating body 14
Is formed of a constant elastic metal material such as nickel, iron, chromium, titanium or an alloy thereof such as elimba or iron-nickel alloy. The vibrating body 14 may be formed of a material other than a metal that generally causes mechanical vibration, such as quartz, glass, crystal, or ceramic.

【0014】振動体14には、特に図4に示すように、
その3つの側面の略中央に、圧電素子16a,16bお
よび16cがそれぞれ固着される。これらの圧電素子1
6a〜16cは、それぞれ、たとえば圧電セラミックか
らなる圧電層18を含み、圧電層18の両主面には、電
極20aおよび20bがそれぞれ形成される。そして、
これらの圧電素子16a〜16cの一方主面の電極20
aが、振動体14の側面にたとえば導電性接着剤で接着
される。なお、この実施例では、2つの圧電素子16a
および16bが、振動体14を振動ないし駆動させるた
めの駆動用かつ振動体14の変位を検出するための検出
用として用いられ、他の1つの圧電素子16cが2つの
圧電素子16aおよび16bへ駆動信号を帰還するため
の帰還用として用いられる。
As shown in FIG. 4, the vibrating body 14 includes
Piezoelectric elements 16a, 16b and 16c are fixed to approximately the centers of the three side surfaces. These piezoelectric elements 1
Each of 6a to 16c includes a piezoelectric layer 18 made of, for example, a piezoelectric ceramic, and electrodes 20a and 20b are formed on both main surfaces of the piezoelectric layer 18, respectively. And
Electrodes 20 on one main surface of these piezoelectric elements 16a to 16c
a is bonded to the side surface of the vibrating body 14 with, for example, a conductive adhesive. In this embodiment, the two piezoelectric elements 16a are
And 16b are used for driving for vibrating or driving the vibrating body 14 and for detecting for detecting the displacement of the vibrating body 14, and another piezoelectric element 16c drives two piezoelectric elements 16a and 16b. It is used as a feedback for returning a signal.

【0015】振動子12は、特に図2および図3に示す
ように、2つの支持部材22aおよび22bで支持され
る。支持部材22aおよび22bは、それぞれ、たとえ
ば金属などの線材でコ字形に形成される。そして、支持
部材22aおよび22bの中央部分が、2つの圧電素子
16aおよび16bで挟まれる振動体14の1つの稜線
部分に固着される。この場合、支持部材22aおよび2
2bは、振動体14の振動に悪影響を及ぼしにくくする
ために、振動体14のノード点の近傍に固着される。こ
の実施例では、振動体14の長さをLとすると、これら
の支持部材22aおよび22bは、振動体14の両端か
ら0.224Lの位置に固着される。
The vibrator 12 is supported by two support members 22a and 22b, particularly as shown in FIGS. Each of the support members 22a and 22b is formed in a U shape by a wire material such as metal. Then, the central portions of the support members 22a and 22b are fixed to one ridge portion of the vibrating body 14 sandwiched by the two piezoelectric elements 16a and 16b. In this case, the support members 22a and 2a
2b is fixed near the node point of the vibrating body 14 in order to make it difficult for the vibration of the vibrating body 14 to be adversely affected. In this embodiment, assuming that the length of the vibrating body 14 is L, these support members 22a and 22b are fixed at positions of 0.224L from both ends of the vibrating body 14.

【0016】これらの支持部材22aおよび22bは、
たとえば接着剤で接着し、はんだ付けし、または溶接す
ることによって、振動体14に固着されるが、はんだ付
けあるいは溶接することによって固着する場合には、支
持部材の強度と振動体への支持部材のはんだ付け性ない
し溶接性との双方を考慮すれば、たとえばモリブデン,
チタンなどの強度の強い金属線の周囲に、たとえばニッ
ケル,白金,金,銀,銅,ステンレス,鉄などのはんだ
付け性および溶接性のよい材料を被覆した線材で、支持
部材を形成することが好ましい。
These support members 22a and 22b are
The vibrating body 14 is fixed to the vibrating body 14 by, for example, bonding with an adhesive, soldering, or welding. However, when the vibrating body 14 is fixed by soldering or welding, the strength of the supporting member and the supporting member for the vibrating body are fixed. Considering both the solderability and weldability of molybdenum,
It is possible to form a supporting member with a wire material that is coated with a material having good solderability and weldability such as nickel, platinum, gold, silver, copper, stainless steel, and iron around a metal wire having high strength such as titanium. preferable.

【0017】これらの支持部材22aおよび22bの両
端部分は、図1,図2および図3などに示すように、た
とえば鉄,ニッケル,ステンレスなどの金属材料からな
るたとえば略矩形の取付基板24に、固着される。すな
わち、取付基板24には、それぞれ、2つずつの孔(図
示せず)が形成される。そして、一方の支持部材22a
の両端部分が、一方の取付基板24の2つの孔に挿通さ
れてはんだ付けされる。同様に、他方の支持部材22b
の両端部分が、他方の取付基板24の2つの孔に挿通さ
れてはんだ付けされる。
As shown in FIGS. 1, 2 and 3, the both end portions of the support members 22a and 22b are mounted on a mounting board 24 made of a metal material such as iron, nickel or stainless steel, which is substantially rectangular, for example. Fixed. That is, two holes (not shown) are formed in each of the mounting substrates 24. And one support member 22a
Both end portions are inserted into the two holes of the one mounting substrate 24 and soldered. Similarly, the other support member 22b
Both end portions are inserted into the two holes of the other mounting substrate 24 and soldered.

【0018】さらに、取付基板24は、図1,図2およ
び図3に示すように、たとえばゴム性発砲体などの弾性
シートからなる緩衝材26によって、支持板28の一方
主面上に固着される。取付基板24は、支持板28の幅
方向の中央よりもその幅方向の一端側に寄った位置に固
着される。すなわち、振動子12は、取付基板24とと
もに、緩衝材26を介して、支持板28によって、その
一方主面上に支持される。支持板28は、たとえば矩形
の面部材30を含み、この面部材30の長手方向の一端
および他端には、それぞれ、突出部32および34が形
成される。突出部32および34は、それぞれ、面部材
30の幅方向の中央よりも一端側に寄った位置に形成さ
れる。これらの面部材30,突出部32および34は、
たとえば鉄,ニッケル,ステンレスなどの磁性および導
電性を有する材料で一体的に形成される。
Further, as shown in FIGS. 1, 2 and 3, the mounting substrate 24 is fixed on one main surface of the support plate 28 by a cushioning member 26 made of an elastic sheet such as a rubber foam. It The mounting substrate 24 is fixed to a position closer to one end side in the width direction than the center of the support plate 28 in the width direction. That is, the vibrator 12 is supported on the one main surface by the support plate 28 together with the mounting substrate 24 via the cushioning material 26. The support plate 28 includes, for example, a rectangular face member 30, and protrusions 32 and 34 are formed at one end and the other end of the face member 30 in the longitudinal direction, respectively. Each of the protrusions 32 and 34 is formed at a position closer to one end side than the center of the surface member 30 in the width direction. These face members 30, protrusions 32 and 34 are
For example, it is integrally formed of a magnetic and conductive material such as iron, nickel, and stainless.

【0019】さらに、この支持板28の一方主面上に
は、その幅方向の中央よりも他端側に寄った位置に、た
とえば金属からなるたとえば短冊状の7つの端子電極3
6a,36b,36c,36d,36e,36fおよび
36gが形成される。これらの端子電極36a〜36g
は、支持板28の長手方向に間隔を隔てて形成される。
これらの端子電極36a〜36gは、それぞれ、支持板
28の幅方向の他端から、その支持板28の幅方向の中
央に、延びて形成される。
Further, on one main surface of the support plate 28, seven strip-shaped terminal electrodes 3 made of metal, for example, are formed at a position closer to the other end side than the center in the width direction.
6a, 36b, 36c, 36d, 36e, 36f and 36g are formed. These terminal electrodes 36a to 36g
Are formed at intervals in the longitudinal direction of the support plate 28.
Each of these terminal electrodes 36a to 36g is formed to extend from the other end of the support plate 28 in the width direction to the center of the support plate 28 in the width direction.

【0020】また、支持板28の一方主面上には、その
ほぼ中央で、その支持板28の長手方向に間隔を隔て
て、たとえば7つの孔38a,38b,38c,38
d,38e,38fおよび38gが設けられる。これら
の孔38a〜38gの周縁には、それぞれ、たとえば金
属からなるリング状の接続電極40a,40b,40
c,40d,40e,40fおよび40gが形成され
る。これらの接続電極40a〜40gは、それぞれ、端
子電極36a〜36fの先端部と接続される。
Further, on the one main surface of the support plate 28, there are, for example, seven holes 38a, 38b, 38c, 38 at approximately the center thereof and spaced in the longitudinal direction of the support plate 28.
d, 38e, 38f and 38g are provided. Ring-shaped connection electrodes 40a, 40b, 40 made of, for example, metal are provided around the peripheries of these holes 38a-38g, respectively.
c, 40d, 40e, 40f and 40g are formed. These connection electrodes 40a-40g are connected to the tip portions of the terminal electrodes 36a-36f, respectively.

【0021】支持板28の他方主面には、シート状のク
ッション材42が接着剤で接着される。このクッション
材42は、支持板28とほぼ同じ大きさおよび同じ形状
に形成される。このクッション材42は、たとえばブチ
ルゴムなどのゴムやウレタンなどの合成樹脂をそれぞれ
の気泡がつながらないように発泡いわゆる独立発泡した
材料で形成される。
A sheet-shaped cushion material 42 is adhered to the other main surface of the support plate 28 with an adhesive. The cushion material 42 is formed to have substantially the same size and shape as the support plate 28. The cushion material 42 is formed of a material in which rubber such as butyl rubber or synthetic resin such as urethane is foamed so as not to be connected to each other, that is, so-called independent foaming.

【0022】支持板28の一方主面側には、図1および
図2に示すように、たとえば金属からなる中継部材46
a,46b,46c,46d,46e,46fおよび4
6gを介して、たとえばハイブリッドICを有するたと
えば矩形の回路基板44が取付けられる。この場合、支
持板28の孔38a〜38gに、それぞれ、中継部材4
6a,46b,46c,46d,46e,46fおよび
46gが挿通され、接続電極40a〜40gにそれぞれ
はんだ付けされる。
On one main surface side of the support plate 28, as shown in FIGS. 1 and 2, a relay member 46 made of, for example, metal.
a, 46b, 46c, 46d, 46e, 46f and 4
A rectangular circuit board 44 having a hybrid IC, for example, is attached via 6g. In this case, the relay member 4 is inserted into the holes 38a to 38g of the support plate 28, respectively.
6a, 46b, 46c, 46d, 46e, 46f and 46g are inserted and soldered to the connection electrodes 40a-40g, respectively.

【0023】中継部材46a〜46gは、同じ構造を有
するので1つの中継部材46aについて説明する。中継
部材46aは、たとえば矩形状の中継基板48aを含
む。この中継基板48aは、その長手方向の一端に、た
とえばU字状の挟持部50aが形成され、その長手方向
の他端に短冊状の端子部52aが形成される。この場
合、挟持部50aは、その一端が中継基板48aの長手
方向の一端と直交するように形成される。また、端子部
52aは、中継基板の長手方向の他端から、その中継基
板の主面に平行に延びて、形成される。挟持部50a
は、回路基板の幅方向の一端を挟み込むためのものであ
る。
Since the relay members 46a to 46g have the same structure, one relay member 46a will be described. The relay member 46a includes, for example, a rectangular relay substrate 48a. The relay board 48a has, for example, a U-shaped holding portion 50a formed at one end in the longitudinal direction, and a strip-shaped terminal portion 52a formed at the other end in the longitudinal direction. In this case, the holding portion 50a is formed so that one end thereof is orthogonal to one end in the longitudinal direction of the relay board 48a. The terminal portion 52a is formed extending from the other end of the relay board in the longitudinal direction in parallel with the main surface of the relay board. Holding part 50a
Is for sandwiching one end in the width direction of the circuit board.

【0024】回路基板44は、その幅方向の一端が中継
部材48a〜48gの挟持部50a〜50gに挟み込ま
れ、はんだ付けされることによって、それらの中継部材
48a〜48gに固着される。さらに、中継部材48a
〜48gは、それらの端子部52a〜52gが支持板2
8の孔38a〜38gにそれぞれ挿通され、かつ、それ
らの端子部52a〜52gが孔38a〜38gの周縁の
接続電極40a〜40gにそれぞれはんだ付けされるこ
とによって、支持板28に固着される。したがって、回
路基板44は、中継部材48a〜48gによって、支持
板28の一方主面から浮かされた状態で、支持板28に
固着される。
One end in the width direction of the circuit board 44 is sandwiched between the sandwiching portions 50a to 50g of the relay members 48a to 48g and soldered, so that the circuit board 44 is fixed to the relay members 48a to 48g. Further, the relay member 48a
~ 48g, those terminal portions 52a ~ 52g is the support plate 2
8 of the holes 38a to 38g, and the terminal portions 52a to 52g thereof are soldered to the connection electrodes 40a to 40g at the peripheral edges of the holes 38a to 38g, respectively, thereby being fixed to the support plate 28. Therefore, the circuit board 44 is fixed to the support plate 28 while being floated from the one main surface of the support plate 28 by the relay members 48a to 48g.

【0025】一方、3つの圧電素子16a〜16cの他
方主面の電極20bには、それぞれ、リード線54a,
54bおよび54cの一端がはんだ付けされる。また、
これらのリード線54a,54bおよび54cの一端側
は、振動をダンピングする効果を有するシリコンなどの
弾性接着剤56によって、電極20bおよび振動体14
に固着される。さらに、リード線54aの他端は、図3
に示すように、支持板28の他方主面側に設けられた導
体パターン58bに接続され、リード線54bの他端
は、導体パターン58aに接続され、リード線54cの
他端は、導体パターン58cに接続される。この場合、
導体パターン54a,54bおよび54cは、それぞ
れ、接続電極40a,40bおよび40cに接続される
ので、リード線54a,54bおよび54cは、それぞ
れ、端子電極38b,38aおよび38cに電気的に接
続される。また、支持板28の他方主面側に設けられた
アースパターン60は、接続電極40gに接続されるこ
とによって、端子電極36gと電気的に接続される。
On the other hand, the electrodes 20b on the other main surface of the three piezoelectric elements 16a to 16c have lead wires 54a,
One end of 54b and 54c is soldered. Also,
One end of each of the lead wires 54a, 54b and 54c is connected to the electrode 20b and the vibrating body 14 by an elastic adhesive 56 such as silicon having an effect of damping vibration.
Stuck to. Further, the other end of the lead wire 54a has
As shown in FIG. 6, the other end of the lead wire 54b is connected to the conductor pattern 58a, and the other end of the lead wire 54c is connected to the conductor pattern 58b provided on the other main surface side of the support plate 28. Connected to. in this case,
Since the conductor patterns 54a, 54b and 54c are connected to the connection electrodes 40a, 40b and 40c, respectively, the lead wires 54a, 54b and 54c are electrically connected to the terminal electrodes 38b, 38a and 38c, respectively. Further, the ground pattern 60 provided on the other main surface side of the support plate 28 is electrically connected to the terminal electrode 36g by being connected to the connection electrode 40g.

【0026】支持板28には、振動子12および回路基
板44を囲むようにして、たとえば平面矩形の枠部材6
2が、取付けられる。枠部材62は、図2に示すよう
に、たとえばコ字状の正面部材64を含み、この正面部
材64の下端の両側には、2つの突起部66aおよび6
6bが形成される。正面部材64には、その長手方向の
両端から直角に延びるたとえば矩形状の側面部材68,
68がそれぞれ形成される。これらの側面部材68,6
8の上端には、それぞれ、その長手方向に間隔を隔て
て、2つの突起部70aおよび70bが形成される。ま
た、これらの側面部材68,68の下端の両側には、そ
れぞれ、2つの突起部72aおよび72bが形成され
る。2つの側面部材68,68間には、たとえば矩形状
の背面部材74が形成される。背面部材74の上端に
は、その長手方向に間隔を隔てて、2つの突起部76a
および76bが形成される。なお、正面部材64,突起
部66a,66b,2つの側面部材68,突起部70
a,70b,72a,72b,背面部材74,突起部7
6aおよび76bは、たとえば合成樹脂材料で一体的に
形成される。
The support plate 28 surrounds the vibrator 12 and the circuit board 44, and is, for example, a frame member 6 having a rectangular plane shape.
2 is attached. As shown in FIG. 2, the frame member 62 includes, for example, a U-shaped front member 64, and two protrusions 66 a and 6 are provided on both sides of the lower end of the front member 64.
6b is formed. The front surface member 64 has, for example, a rectangular side surface member 68 extending at right angles from both ends in the longitudinal direction,
68 are formed respectively. These side members 68, 6
Two projecting portions 70a and 70b are formed at the upper end of 8 at intervals in the longitudinal direction thereof. Further, two protrusions 72a and 72b are formed on both sides of the lower ends of the side members 68, 68, respectively. A rectangular back member 74, for example, is formed between the two side members 68. At the upper end of the back member 74, there are two protrusions 76a spaced apart in the longitudinal direction.
And 76b are formed. The front member 64, the protrusions 66a and 66b, the two side members 68, and the protrusion 70
a, 70b, 72a, 72b, back member 74, protrusion 7
6a and 76b are integrally formed of, for example, a synthetic resin material.

【0027】枠部材62は、その正面部材64の2つの
突起部66aおよび66b間に、支持板28の幅方向の
一端側が係止され、かつ、その2つの側面部材の突起部
72aおよび72b間に、それぞれ、支持板28の突出
部32および34の端部が係止される。この場合、枠部
材62の4辺の下端部と支持板28の4辺の周端部と
は、たとえば接着剤で固着される。
In the frame member 62, one end side of the support plate 28 in the width direction is locked between the two protrusions 66a and 66b of the front member 64, and between the protrusions 72a and 72b of the two side members. The end portions of the projecting portions 32 and 34 of the support plate 28 are respectively locked to. In this case, the lower ends of the four sides of the frame member 62 and the peripheral ends of the four sides of the support plate 28 are fixed to each other with an adhesive, for example.

【0028】さらに、枠部材62の上端には、蓋部材7
8が取付けられる。この蓋部材78は、矩形状の主面部
材80を含み、主面部材80には、回路基板44上に設
けられる可変抵抗器の調整ねじに対応する2つの孔82
aおよび82bが形成される。この主面部材80の長手
方向の両端には、それぞれ、その幅方向に間隔を隔て
て、2つの突出部84および86が形成される。蓋部材
78は、その突出部86が枠部材62の突起部70aと
70bとの間で保持されるように枠部材62に被せら
れ、たとえば接着剤で接着される。
Further, the lid member 7 is provided on the upper end of the frame member 62.
8 is attached. The lid member 78 includes a rectangular main surface member 80, and the main surface member 80 has two holes 82 corresponding to the adjusting screws of the variable resistor provided on the circuit board 44.
a and 82b are formed. Two protrusions 84 and 86 are formed at both ends in the longitudinal direction of the main surface member 80 at intervals in the width direction thereof. The lid member 78 is covered on the frame member 62 so that the protrusion 86 thereof is held between the projecting portions 70a and 70b of the frame member 62, and is bonded by, for example, an adhesive.

【0029】一方、回路基板44には、図3に示す発振
回路88および検出回路90が搭載される。発振回路8
8は、振動子12を駆動ないし振動させるためのもので
あって、発振周波数を安定させるための水晶や発振周波
数を調整するための位相補正回路を含む。この発振回路
88の入力端は、特に図3および図4に示すように、端
子電極36c,接続電極40cおよび導体パターン58
cなどを介して、振動子12の圧電素子16cの電極2
0bに電気的に接続される。発振回路88の出力端子
は、可変抵抗器92aにて分割され、端子電極36aお
よび36b,接続電極40aおよび40b,導体パター
ン58aおよび58bなどを介して、圧電素子16bお
よび16aの電極20bにそれぞれ接続される。
On the other hand, on the circuit board 44, the oscillation circuit 88 and the detection circuit 90 shown in FIG. 3 are mounted. Oscillation circuit 8
Reference numeral 8 is for driving or vibrating the vibrator 12, and includes a crystal for stabilizing the oscillation frequency and a phase correction circuit for adjusting the oscillation frequency. The input terminal of the oscillator circuit 88 has a terminal electrode 36c, a connection electrode 40c and a conductor pattern 58, as shown in FIGS.
the electrode 2 of the piezoelectric element 16c of the vibrator 12 via
It is electrically connected to 0b. The output terminal of the oscillator circuit 88 is divided by the variable resistor 92a and connected to the electrodes 20b of the piezoelectric elements 16b and 16a via the terminal electrodes 36a and 36b, the connection electrodes 40a and 40b, the conductor patterns 58a and 58b, etc., respectively. To be done.

【0030】検出回路90は、振動子12の変位を検出
するためのものであって、たとえば差動増幅器などから
なる。この検出回路90の2つの入力端は、端子電極3
6aおよび36b,接続電極40aおよび40b,導体
パターン58aおよび58bなどを介して、圧電素子1
6bおよび16aの電極20bにそれぞれ接続される。
The detection circuit 90 is for detecting the displacement of the vibrator 12, and is composed of, for example, a differential amplifier. The two input ends of the detection circuit 90 are connected to the terminal electrode 3
6a and 36b, connection electrodes 40a and 40b, conductor patterns 58a and 58b, etc.
Electrodes 20b of 6b and 16a are respectively connected.

【0031】さらに、回路基板44には、図2に示すよ
うに、2つの可変抵抗器92a,92bが搭載される。
一方の可変抵抗器92aは、発振回路88の出力をバラ
ンスよく圧電素子16aおよび16bに分配するもので
ある。また、他方の可変抵抗器92bは、検出回路90
に入力される入力信号のレベルを調整するためのもので
あって、図4に示すように、検出回路90の2つの入力
端間に接続される。さらに、検出回路90の出力信号の
レベルを調整するための別の可変抵抗器(図示せず)
が、検出回路90の出力端とアースとの間に接続され
る。
Further, as shown in FIG. 2, two variable resistors 92a and 92b are mounted on the circuit board 44.
The one variable resistor 92a distributes the output of the oscillation circuit 88 to the piezoelectric elements 16a and 16b in a well-balanced manner. Further, the other variable resistor 92b is connected to the detection circuit 90.
It is for adjusting the level of the input signal input to the input terminal, and is connected between the two input terminals of the detection circuit 90 as shown in FIG. Further, another variable resistor (not shown) for adjusting the level of the output signal of the detection circuit 90.
Are connected between the output end of the detection circuit 90 and ground.

【0032】さらに、支持板28には、図1および図2
に示すように、振動子12,回路基板44,枠部材62
および蓋部材78などを覆うようにして、たとえば鉄,
ニッケル,ステンレスなどの磁性および導電性を有する
材料からなるたとえば箱形のケース94が、取付けられ
る。このケース94は、その下端に開放部94aを有
し、その上端部には、可変抵抗器92aおよび92bの
調整ねじに対応して、それらの調整ねじを外部から調整
するための2つの孔96aおよび96bが形成され。ま
た、このケース94には、その幅方向の下端部の両側
に、2つの突出片98が形成される。この場合、ケース
94は、2つの突出片98が支持板28の他方主面側に
折り曲げられて、それらの折り曲げ部分が、たとえばは
んだ付けされることによって、支持板28に取付けられ
る。このようにして、振動子12,回路基板44,中継
部材46a〜46g,枠部材62および蓋部材78など
がケース94内に収納される。
Further, the support plate 28 has a structure shown in FIGS.
As shown in, the vibrator 12, the circuit board 44, the frame member 62
And the cover member 78 and so on, for example, iron,
A box-shaped case 94 made of a material having magnetism and conductivity such as nickel or stainless is attached. This case 94 has an opening 94a at its lower end, and has two holes 96a at its upper end for adjusting the adjusting screws of the variable resistors 92a and 92b from the outside, corresponding to the adjusting screws. And 96b are formed. Further, the case 94 is formed with two projecting pieces 98 on both sides of the lower end in the width direction. In this case, the case 94 is attached to the support plate 28 by bending the two protruding pieces 98 to the other main surface side of the support plate 28 and soldering the bent portions. In this way, the vibrator 12, the circuit board 44, the relay members 46a to 46g, the frame member 62, the lid member 78, and the like are housed in the case 94.

【0033】この振動ジャイロ10では、支持板28に
形成された孔38a〜38gに、中継部材46a〜46
gを挿通して、かつ、それらの端子部52a〜52gを
接続電極40a〜40gにはんだ付けすることによっ
て、簡単に、回路基板44を取付けて、ケース94内に
収納することができる。そのため、この振動ジャイロ1
0では、振動子12と、回路基板44とを別個に製作
し、それらを中継部材46a〜46gを介して、コンパ
クトに組み合わすことができる。
In this vibrating gyro 10, the relay members 46a to 46g are formed in the holes 38a to 38g formed in the support plate 28.
By inserting g and soldering the terminal portions 52a to 52g to the connection electrodes 40a to 40g, the circuit board 44 can be easily attached and housed in the case 94. Therefore, this vibration gyro 1
In No. 0, the vibrator 12 and the circuit board 44 can be manufactured separately, and they can be combined in a compact manner via the relay members 46a to 46g.

【0034】さらに、この振動ジャイロ10では、その
振動子12の共振周波数を調整する場合、支持板28の
端子電極36a〜36gに測定器を接続することによっ
て、簡単に、その振動子12の共振周波数を測定して調
整することができる。この場合、振動子12が支持され
る支持板28と、その振動子12に電気的に接続される
発振回路88および検知回路90などの周辺回路とが、
組み合わせ可能に別個に製作されるため、それらの周辺
回路の部品などの影響を受けることなく、その振動子1
2の共振周波数を容易に測定し、調整することができ
る。すなわち、この振動ジャイロ10では、振動子12
を単体としてみたときの共振周波数を正しく把握するこ
とができる。
Further, in the vibrating gyroscope 10, when adjusting the resonance frequency of the vibrator 12, the resonance of the vibrator 12 can be easily performed by connecting the measuring device to the terminal electrodes 36a to 36g of the support plate 28. The frequency can be measured and adjusted. In this case, the support plate 28 supporting the vibrator 12 and the peripheral circuits such as the oscillation circuit 88 and the detection circuit 90 electrically connected to the vibrator 12 are
Since they are manufactured separately so that they can be combined, the vibrator 1 is not affected by the peripheral circuit components.
The resonant frequency of 2 can be easily measured and adjusted. That is, in this vibrating gyroscope 10, the vibrator 12
It is possible to correctly grasp the resonance frequency when viewed as a single unit.

【0035】なお、上述の実施例では、振動子12の振
動体14が断面3角形に形成されているが、振動体14
は、断面4角形,あるいは多角形に形成されてもよい。
また、圧電素子は、振動体の平行でない隣合う少なくと
も2つの側面に形成されていればよい。
In the above-described embodiment, the vibrating body 14 of the vibrator 12 is formed to have a triangular cross section.
May have a quadrangular or polygonal cross section.
In addition, the piezoelectric element may be formed on at least two adjacent non-parallel side surfaces of the vibrating body.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】(A)はこの発明の一実施例を示す斜視図であ
り、(B)はその側面図解図である。
FIG. 1A is a perspective view showing an embodiment of the present invention, and FIG. 1B is a side view solution thereof.

【図2】図1に示す振動ジャイロの分解斜視図である。FIG. 2 is an exploded perspective view of the vibration gyro shown in FIG.

【図3】図1に示す振動ジャイロの要部斜視図である。FIG. 3 is a perspective view of a main part of the vibrating gyro shown in FIG.

【図4】図1に示す振動ジャイロの回路図である。FIG. 4 is a circuit diagram of the vibration gyro shown in FIG.

【図5】(A)は従来の振動ジャイロの一例を示す斜視
図であり、(B)はその回路図である。
5A is a perspective view showing an example of a conventional vibration gyro, and FIG. 5B is a circuit diagram thereof.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 振動ジャイロ 12 振動子 14 振動体 16a〜16c 圧電素子 22a,22b 支持部材 32 支持板 36a〜36g 端子電極 38a〜38g 孔 40a〜40g 接続電極 44 回路基板 46a〜46g 中継部材 10 vibrating gyro 12 vibrator 14 vibrating body 16a-16c piezoelectric element 22a, 22b support member 32 support plate 36a-36g terminal electrode 38a-38g hole 40a-40g connection electrode 44 circuit board 46a-46g relay member

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 振動子、 前記振動子を支持する支持板、 前記支持板に形成され、前記振動子と電気的に接続され
る端子電極、および前記端子電極に接続され、その周囲
に接続電極が設けられた孔を含む、振動ジャイロ。
1. A vibrator, a support plate for supporting the vibrator, a terminal electrode formed on the support plate and electrically connected to the vibrator, and a connection electrode connected to and around the terminal electrode. A vibrating gyro including a hole provided with.
JP4151533A 1992-05-18 1992-05-18 Oscillation gyroscope Pending JPH05322581A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4151533A JPH05322581A (en) 1992-05-18 1992-05-18 Oscillation gyroscope

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4151533A JPH05322581A (en) 1992-05-18 1992-05-18 Oscillation gyroscope

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH05322581A true JPH05322581A (en) 1993-12-07

Family

ID=15520598

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4151533A Pending JPH05322581A (en) 1992-05-18 1992-05-18 Oscillation gyroscope

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH05322581A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0520467B1 (en) Vibratory gyroscope
EP2947422B1 (en) Angular velocity sensor
US6288478B1 (en) Vibrating gyroscope
EP0553718B1 (en) Supporting structure for a vibrator
EP0800058B1 (en) Vibrating gyroscope
JPH10197254A (en) Supporting device for vibrator
JPH08159779A (en) Vibration gyro
JPH0518755A (en) Vibrating gyro
JPH05322581A (en) Oscillation gyroscope
JP3275597B2 (en) Vibrating gyro
JP2666617B2 (en) Vibrating gyro
EP0800057B1 (en) Vibrating gyroscope
JP3593197B2 (en) Piezoelectric vibration gyro
JPH0518754A (en) Vibrating gyro
JPH08159778A (en) Vibration gyro
JPH0374851B2 (en)
EP0751375B1 (en) Vibrating gyroscope
JPH0518756A (en) Vibrating gyro
JPH0518760A (en) Vibrating gyro
JPH07243857A (en) Vibration gyro
JPH0518759A (en) Vibrating gyro
JPH05296772A (en) Vibrogyro
JPH0518758A (en) Vibrating gyro
JPH0854244A (en) Oscillation gyro
JPH1030928A (en) Supporting device for vibrator