JPH0531582A - Method for grooving short steel member - Google Patents
Method for grooving short steel memberInfo
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- JPH0531582A JPH0531582A JP18754591A JP18754591A JPH0531582A JP H0531582 A JPH0531582 A JP H0531582A JP 18754591 A JP18754591 A JP 18754591A JP 18754591 A JP18754591 A JP 18754591A JP H0531582 A JPH0531582 A JP H0531582A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、プラズマア−クを使っ
た切断（以下プラズマ切断という）により鉄鋼製品の短
尺部材の溝加工を行う方法に関するもので、特に溶接用
の開先加工に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for grooving a short member of a steel product by cutting using a plasma arc (hereinafter referred to as plasma cutting), and more particularly to a groove processing for welding. Is.
【０００２】[0002]
【従来の技術】例えば各種鉄鋼材を用いるボックス柱の
製造過程において、ボックス柱内部の所定箇所に挿入す
るダイヤフラムはフランジ材およびウェブ材にエレクト
ロスラグ溶接によって一体化される。2. Description of the Related Art For example, in the process of manufacturing a box column using various steel materials, a diaphragm inserted into a predetermined position inside the box column is integrated with a flange material and a web material by electroslag welding.
【０００３】図６の（ａ）に、ダイヤフラムを一体化し
た段階のボックス柱の外観を、図６の（ｂ）にボックス
柱の平面を、図６の（ｃ）にボックス柱のＩＣ−ＩＣ線
断面を示す。これらの図面において１がダイヤフラム、
２がフランジ材、３がウェブ材、４がエレクトロスラグ
溶接による溶接金属である。５は後にフランジ材２とウ
エブ材３とを工程のＣＯ2 ガスシ−ルドア−ク溶接又は
サブマ−ジア−ク溶接するための開先、６はエレクトロ
スラグ溶接用のタブすなわち短尺部材である。ダイヤフ
ラム１の端面とウエブ材３の間の空間に、フランジ材３
のタブ６の穴を通してエレクトロスラグ溶接電極が挿入
され、この電極を引き上げつつエレクトロスラグ溶接が
継続され、これによる溶接金属４によりダイヤフラム１
がウェブ３に溶接されている。このようにダイヤフラム
１を溶接したボックス柱のタブ６部の概要を図７の
（ａ）に拡大して示す。ダイヤフラム１の溶接を終了し
た時点で、タブ６は不要となり、図７の（ｂ）に示すよ
うに、タブ６が、開先６と連続するように除去される。
従来、前記エレクトロスラグ溶接後のスタ−トタブおよ
びエンドタブ部（６）は、ガス切断の吹管を開先表面よ
り開先底部に向って移動させガス切断の後、カ−ボン電
極によるア−クエア−ガウジングにより溝加工し、さら
にグラインダ−研磨による仕上げ，又はカ−ボン電極に
よるア−クエア−ガウジングによる溝加工の後、グライ
ンダ−研磨により、開先整形されていた。つまり除去さ
れていた。FIG. 6 (a) shows the appearance of the box column at the stage where the diaphragm is integrated, FIG. 6 (b) shows the plane of the box column, and FIG. 6 (c) shows the IC-IC of the box column. A line cross section is shown. In these drawings, 1 is a diaphragm,
2 is a flange material, 3 is a web material, and 4 is a weld metal by electroslag welding. Reference numeral 5 is a groove for later welding the flange material 2 and the web material 3 to CO 2 gas shield arc welding or sub-marque welding, and 6 is a tab or short member for electroslag welding. In the space between the end surface of the diaphragm 1 and the web material 3, the flange material 3
The electroslag welding electrode is inserted through the hole of the tab 6 and the electroslag welding is continued while pulling up the electrode.
Are welded to the web 3. An outline of the tab 6 portion of the box column in which the diaphragm 1 is thus welded is enlarged and shown in FIG. When the welding of the diaphragm 1 is completed, the tab 6 becomes unnecessary, and the tab 6 is removed so as to be continuous with the groove 6, as shown in FIG. 7B.
Conventionally, the start tab and the end tab portion (6) after the electroslag welding are moved by moving a blow tube for gas cutting from the groove surface toward the groove bottom, and after the gas cutting, arc air by a carbon electrode. Grooving was carried out by gouging, and further, finishing was carried out by grinder polishing, or after groove machining was carried out by arc air gouging with a carbon electrode, the groove was ground by grinder polishing. In other words, it was removed.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ガス切
断，ア−クエア−ガウジングおよびグラインダ−研磨に
よる、一辺が垂直で他辺が垂直よりも水平方向に傾斜し
たν型もしくは両辺共に垂直よりも水平方向に傾斜した
ｖ型の溝（以下両形状共にＶ型溝という表現に含まれる
ものとする）の溝加工では、多大の工数と時間を要す
る。また粉塵，騒音が発生する。さらに、溝加工した開
先部に炭素付着，浸炭層および窒化層ができ、ＣＯ2 ガ
スシ−ルドア−ク又は、サブマ−ジア−ク溶接時に、溶
接割れ,ピットおよびブロホ−ルなどの、溶接欠陥の発
生原因となる。このように従来は、タブ６等の短尺部材
の溝加工に多大の労力を要し、溝加工により作業環境が
悪化し、さらに、加工された溝の健全性が損なわれる、
という問題があった。However, by gas cutting, arc-air gouging and grinder polishing, one side is vertical and the other side is inclined in the horizontal direction more than the ν type or both sides are in the horizontal direction more than the vertical direction. Grooving of a v-shaped groove inclined below (both shapes are included in the expression V-shaped groove hereinafter) requires a great number of man-hours and time. In addition, dust and noise are generated. Further, the carbon adheres to the groove portion grooving can carburized layer and nitride layer, CO 2 Gasushi - Rudoa - click or Sabuma - Zia - when click welding, weld cracking, pits and Buroho - le, such as welding defects Cause the occurrence of. As described above, conventionally, a great deal of labor is required for the groove processing of the short member such as the tab 6, the working environment is deteriorated by the groove processing, and the soundness of the processed groove is impaired.
There was a problem.
【０００５】そこで、本発明者らは、粉塵，騒音の発生
が少なく、開先部に有害な成分を残さず、かつ短時間に
溝加工ができる方法を提供しようとするものである。Therefore, the inventors of the present invention intend to provide a method in which dust and noise are less likely to occur, harmful components are not left in the groove portion, and a groove can be formed in a short time.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】本発明の鉄鋼短尺部材の
溝加工方法は、短尺鉄鋼部材にＶ型溝の加工をプラズマ
ア−クを用いて行うに際し、一方の溝辺を所定の溝深さ
まで狭巾加工した後、他方の溝辺を該溝の先端まで狭巾
加工によって到達させてＶ型に削除して溝を形成し、さ
らに該溝の底部をプラズマア−クを用いて整形，清掃す
ることを特徴とする。The groove machining method for a short steel member according to the present invention is such that when a V-shaped groove is machined in a short steel member by using a plasma arc, one of the groove sides has a predetermined groove depth. After the narrow width processing, the other groove side is reached to the tip of the groove by the narrow width processing to delete it into a V shape to form a groove, and the bottom portion of the groove is shaped and cleaned using a plasma arc. It is characterized by
【０００７】[0007]
【作用】本発明者らは、プラズマ切断で目標のＶ型溝加
工を行うための予備試験を行った。まず、図２に示す態
様の溝加工で、鋼種ＳＭ４９０Ａ鋼の短尺試験片を用い
電流，速度およびト−チ角度θの、溝深さＨにおよぼす
影響を調べた。短尺試験片の板厚ｔは１５０ｍｍ、長さ
Ｌは５０ｍｍであった。図３に、電流，速度の溝深さＨ
におよぼす影響を示す。なお、条件として、 電流２５０Ａ，３００Ａ，３５０Ａ、 速度５０〜６００mm/min、 インサ−トチップ径：２．６mm、 プラズマガス：Ａｒ４０リットル/min＋Ｈ2 １０リット
ル/min、 ア−クスタンドオフ:１０mm、 である。図３より、電流が高くなる程、また速度が遅い
程溝深さＨが大きくなることがわかる。The present inventors conducted a preliminary test for performing the target V-shaped groove processing by plasma cutting. First, in the grooving of the embodiment shown in FIG. 2, the influence of the current, speed and torch angle θ on the groove depth H was examined using a short test piece of steel type SM490A steel. The plate thickness t of the short length test piece was 150 mm and the length L was 50 mm. Fig. 3 shows the groove depth H of current and speed.
Shows the effect on. Incidentally, as a condition, current 250A, 300A, 350A, speed 50~600mm / min, the insert - Tochippu diameter: 2.6 mm, plasma gas: AR40 l / min + H 2 10 liters / min, A - click Standoff: 10 mm in, is there. It can be seen from FIG. 3 that the groove depth H increases as the current increases and the speed decreases.
【０００８】図４に、ト−チ角度（θ）の影響を調べた
結果を示す。条件は、 ト−チ角度２５°，３０°，３５°、 電流：３００Ａ、 で他の条件は、前記と同様である。図４より、ト−チ角
度（θ）が小さい程溝深さは大きくなる。FIG. 4 shows the result of examining the influence of the torch angle (θ). The conditions are torch angles of 25 °, 30 ° and 35 °, current: 300 A, and other conditions are the same as above. From FIG. 4, the smaller the torch angle (θ), the larger the groove depth.
【０００９】次に、図５に示すように、目標溝深さにお
よぼす切断スタ−ト部からの距離の影響を調べた。試験
片は図２に示す形状で、 板厚（ｔ）：１５０mm、 板長さ（Ｌ）：１２０mm である。図５中、 Ａは、目標溝深さ４５mm、ト−チ角度(θ)：０°、電
流：３００Ａ，速度：４００mm/min、 Ｂは、目標溝深さ４５mm、ト−チ角度(θ)：３５°、電
流：３００Ａ，速度：３２０mm/min、 Ｃは、目標溝深さ８０mm、ト−チ角度(θ)：２５°、電
流：３００Ａ，速度：１２０mm/min である。他の条件は、前記と同様である。図５におい
て、いずれの条件も切断スタ−ト部から１００mm程度ま
で進むと、若干ドロスが上方へ吹上げ、さらに進んで切
断スタ−ト部から１１０mm以上になるとドロスが上方へ
激しく吹き上げ再溶着をするようになるとともに、目標
溝深さが得られなくなる。切断スタ−ト部から９０mm以
下であると、ドロスが切断スタ−ト部へ安定して流出
し、ほぼ目標溝深さが得られた。Next, as shown in FIG. 5, the effect of the distance from the cutting start portion on the target groove depth was investigated. The test piece has the shape shown in FIG. 2 and has a plate thickness (t) of 150 mm and a plate length (L) of 120 mm. In FIG. 5, A is a target groove depth of 45 mm, torch angle (θ): 0 °, current: 300 A, speed: 400 mm / min, B is a target groove depth of 45 mm, torch angle (θ). : 35 °, current: 300 A, speed: 320 mm / min, C has a target groove depth of 80 mm, torch angle (θ): 25 °, current: 300 A, speed: 120 mm / min. Other conditions are the same as above. In FIG. 5, under all the conditions, when the cutting start portion progresses up to about 100 mm, the dross blows up a little, and when it further goes to 110 mm or more from the cutting start portion, the dross blows up sharply and re-welding occurs. As a result, the target groove depth cannot be obtained. When it was 90 mm or less from the cutting start portion, the dross stably flowed out to the cutting start portion, and almost the target groove depth was obtained.
【００１０】また、いずれの実験においも、粉塵，騒音
の発生が少なく、付着物のない切断面が得られた。Further, in each of the experiments, a cut surface free of dust and noise and having no deposit was obtained.
【００１１】以上の内容から、本発明における短尺部材
とは、プラズマ切断の条件によって多少の差はあるが、
切断ドロスを排除して、良好な狭巾溝を加工できる長さ
であり、略１１０mm以下である。From the above contents, the short member of the present invention has some differences depending on the plasma cutting conditions.
The length is such that a good narrow groove can be processed without cutting dross, and is about 110 mm or less.
【００１２】なお、プラズマガスをＡｒのみで流量４０
〜６０リットル/minでも同様の結果が得られた。以下実
施例により、本発明の効果を詳述する。The plasma gas is Ar only and the flow rate is 40
Similar results were obtained at ~ 60 liters / min. The effects of the present invention will be described in detail below with reference to examples.
【００１３】[0013]
【実施例】図１の（ａ）に示す、辺が垂直で他辺が垂直
よりも水平方向に傾斜したν型の開先溝５をフランジ材
２に形成した態様、および、図１の（ｂ）に示す、両辺
共に垂直よりも水平方向に傾斜したｖ型の開先溝５をウ
エブ材３とフランジ材２の当接境界部に形成した態様
の、ダイヤフラム１をエレクトロスラグ溶接したボック
ス柱の、溶接金属４を形成したタブ部（６）の、ウエブ
材３とフランジ材２とのＣＯ2 ガスシ−ルドア−クまた
はサブマ−ジア−-ク溶接をするための開先加工（すで
にある開先５と連続一体の溝加工）の例について説明す
る。なお、図１の（ｂ）のタブを溝加工すると図１の
（ｃ）に示す形となる。EXAMPLE A mode shown in FIG. 1 (a) in which a ν-shaped groove 5 having a vertical side and the other side inclined more horizontally than the vertical direction is formed in a flange member 2, and FIG. A box column in which the diaphragm 1 is electroslag-welded, in which the v-shaped groove 5 is formed at the contact boundary between the web material 3 and the flange material 2 as shown in FIG. Of the tab portion (6) on which the weld metal 4 is formed for the CO 2 gas shield arc or the submarine arc welding of the web material 3 and the flange material 2 An example of (continuously integrated groove processing with the above 5) will be described. When the tab of FIG. 1 (b) is grooved, the shape shown in FIG. 1 (c) is obtained.
【００１４】プラズマア−ク切断による溝加工の本発明
方法による条件例を第１表に、また比較例として従来技
術を第２表に示す。なお、図１の（ａ）では、板厚ｔ：
４５ｍｍ，タブ長さＬ（図示せず）：６０ｍｍである。
図１の（ｂ）では、板厚ｔ：８０ｍｍ，タブ長さＬ（図
示せず）：８０ｍｍである。Table 1 shows an example of conditions for the groove processing by plasma arc cutting according to the method of the present invention, and Table 2 shows a conventional technique as a comparative example. In addition, in FIG. 1A, the plate thickness t:
45 mm, tab length L (not shown): 60 mm.
In FIG. 1B, the plate thickness t is 80 mm and the tab length L (not shown) is 80 mm.
【００１５】[0015]
【表１】 [Table 1]
【００１６】[0016]
【表２】 [Table 2]
【００１７】まず、実験Ｎｏ．１は、プラズマ切断によ
り、ト−チ角度３５°で図１の（ａ）のＡ１方向より溝
深さ４５ｍｍまで狭巾溝加工し、次いで、ト−チ角度０
°でＡ２の方向より狭巾の溝を、Ａ１の方向からの溝底
部先端まで到達させ、ν型に削除し、最後にＡ３の方向
よりト−チ角度１５°で溝底部を整形，清掃した。前記
溝加工の後ＣＯ2 ガスシ−ルドア−ク溶接による多層盛
溶接，またサブマ−ジア−ク溶接による１層盛溶接を行
ったが、溶接部にピット，ブロホ−ルおよび割れなどの
溶接欠陥は生じなかった。First, the experiment No. In No. 1, a narrow groove was formed by plasma cutting at a torch angle of 35 ° from the A1 direction in FIG.
A groove narrower than the direction A2 was reached to the tip of the groove bottom from the direction A1, and was deleted in a ν shape. Finally, the groove bottom was shaped and cleaned from the direction A3 at a torch angle of 15 °. .. After the grooving, multi-layer welding by CO 2 gas shield arc welding and single-layer welding by submarine welding were carried out, but welding defects such as pits, blowholes and cracks were found at the welded portion. Did not happen.
【００１８】実験Ｎｏ．２は、プラズマ切断によりト−
チ角度２５°で図１の（ｂ）のＡ１の方向より溝深さ８
０ｍｍまで狭巾溝加工し、次いでＡ２の方向よりト−チ
角度−２５°でＡ１の方向から狭巾溝加工の深さを溝底
部先端まで到達させてＶ字状に削除し溝を形成し、最後
にＡ３の方向よりト−チ角度０°で溝底部を整形，清掃
した。溝加工の後、サブマ−ジア−ク溶接による多層盛
溶接を行ったが、溶接部に欠陥は生じなかった。Experiment No. No. 2 is due to plasma cutting
The groove depth is 8 from the direction of A1 in FIG.
Narrow groove machining is performed to 0 mm, and then the depth of the narrow groove machining is reached from the direction A1 to the groove bottom tip at a torch angle of -25 ° from the direction A2 to delete it into a V shape to form a groove. Finally, the bottom of the groove was shaped and cleaned at a torch angle of 0 ° from the A3 direction. After grooving, multi-pass welding by sub-marque welding was carried out, but no defect was found in the welded part.
【００１９】比較例中、実験Ｎｏ．３は、図１の（ａ）
に示す開先を、カ−ボン電極によるア−クエア−ガウジ
ングで溝加工をした後、グラインダ−研磨で整形，清掃
した。加工時間は１０minでプラズマ切断による実験Ｎ
ｏ．１に比べ３．５倍もの時間を要した。In the comparative example, the experiment No. 3 is (a) of FIG.
The groove shown in (1) was grooved by arc-air gouging with a carbon electrode, then shaped and cleaned by grinder polishing. Processing time is 10 min and experiment N by plasma cutting
o. It took 3.5 times as long as that of 1.
【００２０】比較例中、実験Ｎｏ．４は、図１の（ｂ）
に示す開先を、ガス切断の吹管を開先表面より開先底部
に向って移動させ切断した後、カ−ボン電極によるア−
クエア−ガウジングで溝加工し、さらにグラインダ−研
磨により整形，清掃した。加工時間は２２．５minでプ
ラズマ切断による実験Ｎｏ．２に比べ５倍もの時間を要
した。また実験Ｎｏ．３および実験Ｎｏ．４は、粉塵お
よび騒音の発生が多いIn the comparative example, the experiment No. 4 is (b) of FIG.
After cutting the groove shown in Fig. 1 by moving the gas cutting blower tube from the groove surface toward the groove bottom, the carbon electrode is used to
Grooves were processed by queer gouging, and then shaped and cleaned by grinder polishing. The processing time was 22.5 min, and the experiment No. It took 5 times longer than 2. In addition, the experiment No. 3 and Experiment No. No. 4 generated much dust and noise
【００２１】。..
【発明の効果】以上、詳述したように本発明方法によれ
ば、短尺部材（６）の溝加工において、粉塵，騒音の発
生が少なく、開先部（５）に有害な成分を残さず、かつ
短時間に溝加工を行うことができる。As described above in detail, according to the method of the present invention, in the groove processing of the short member (6), generation of dust and noise is small, and no harmful component remains in the groove (5). Moreover, it is possible to perform groove processing in a short time.
【図１】 （ａ）は、本発明の実施例に用いた試験体の
部分断面を示す図である。（ｂ）は、本発明の実施例に
用いた試験体の部分断面を示す図である。（ｃ）は、
（ｂ）の溝加工後の断面を示す図である。FIG. 1A is a view showing a partial cross section of a test body used in an example of the present invention. (B) is a figure which shows the partial cross section of the test body used for the Example of this invention. (C) is
It is a figure which shows the cross section after groove | channel processing of (b).
【図２】 予備試験で実施した短尺試験材の加工態様を
示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing a processing mode of a short length test material carried out in a preliminary test.
【図３】 図２に示す態様で実施したプラズマ切断の加
工結果を示すグラフであり、プラズマ切断の電流および
速度と溝深さの関係を示す。FIG. 3 is a graph showing a processing result of plasma cutting performed in the mode shown in FIG. 2, showing a relationship between a current and a speed of plasma cutting and a groove depth.
【図４】 図２に示す態様で実施したプラズマ切断の加
工結果を示すグラフであり、ト−チ角度および速度に対
する溝深さの関係を示す。FIG. 4 is a graph showing a processing result of plasma cutting performed in the mode shown in FIG. 2, showing a relationship between a torch angle and a groove depth with respect to a speed.
【図５】 図２に示す態様で実施したプラズマ切断の加
工結果を示すグラフであり、切断スタ−トからの加工距
離と目標溝深さに対する実際の溝深さの偏差を示すグラ
フである。FIG. 5 is a graph showing a processing result of plasma cutting performed in the mode shown in FIG. 2, and is a graph showing a processing distance from a cutting start and a deviation of an actual groove depth from a target groove depth.
【図６】 （ａ）は、加工途中のボックス柱の外観を示
す斜視図であり、（ｂ）は平面図、（ｃ）はＩＣ−ＩＣ
線断面図である。6A is a perspective view showing the appearance of a box column in the process of processing, FIG. 6B is a plan view, and FIG. 6C is an IC-IC.
It is a line sectional view.
【図７】 （ａ）は、ν型開先を形成したボックス柱の
タブ部の拡大斜視図であり、（ｂ）は、タブ部の切除加
工後の斜視図である。FIG. 7A is an enlarged perspective view of a tab portion of a box column in which a ν-shaped groove is formed, and FIG. 7B is a perspective view after the tab portion is cut off.
１：ダイヤフラム ２：フランジ材 ３：ウエブ材 ４：エレクトロスラグ溶接による溶接金属 ５：開先部 ６：タブ部 ７：プラズマ切断ト−チ ｔ：板厚 Ｌ：加工長（タ
ブ長さ） θ：ト−チ角度 Ｈ：溝深さ1: Diaphragm 2: Flange material 3: Web material 4: Weld metal by electroslag welding 5: Groove portion 6: Tab portion 7: Plasma cutting torch t: Plate thickness L: Processing length (tab length) θ: Torch angle H: Groove depth
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 作 野 文 彦 千葉県習志野市東習志野７丁目６番１号 日鐵溶接工業株式会社機器事業部内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Fumihiko Nono 7-6-1, Higashi Narashino, Narashino City, Chiba Prefecture Nittetsu Welding Industry Co., Ltd.
Claims (1)
よりも水平方向に傾斜したν型もしくは両辺共に垂直よ
りも水平方向に傾斜したｖ型の溝加工を、プラズマア−
クを用いて行うに際し、一方の溝辺を所定の溝深さまで
狭巾加工した後、他方の溝辺を該溝の先端まで狭巾加工
によって到達させてν型もしくはｖ型に削除して溝を形
成し、さらに該溝の底部をプラズマア−クを用いて整
形，清掃することを特徴とする、鉄鋼短尺部材の溝加工
方法。Claim: What is claimed is: 1. A short steel member is provided with a ν type groove in which one side is vertical and the other side is inclined more horizontally than vertical, or a v type groove in which both sides are inclined more horizontally than vertical. , Plasma
When one groove side is narrowed to a predetermined groove depth, the other groove side is made to reach the tip of the groove by narrowing and the groove is formed into a ν shape or v shape to form a groove. And further, the bottom of the groove is shaped and cleaned by using a plasma arc, and a groove processing method for a steel short member.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18754591A JP2889740B2 (en) | 1991-07-26 | 1991-07-26 | Box column tab beveling method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18754591A JP2889740B2 (en) | 1991-07-26 | 1991-07-26 | Box column tab beveling method |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0531582A true JPH0531582A (en) | 1993-02-09 |
| JP2889740B2 JP2889740B2 (en) | 1999-05-10 |
Family
ID=16207960
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18754591A Expired - Lifetime JP2889740B2 (en) | 1991-07-26 | 1991-07-26 | Box column tab beveling method |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2889740B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009241147A (en) * | 2008-03-31 | 2009-10-22 | Nissan Tanaka Corp | Grooving method, control program, computation program, control system, and plasma processing apparatus |
-
1991
- 1991-07-26 JP JP18754591A patent/JP2889740B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009241147A (en) * | 2008-03-31 | 2009-10-22 | Nissan Tanaka Corp | Grooving method, control program, computation program, control system, and plasma processing apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2889740B2 (en) | 1999-05-10 |
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