JPH05312729A - 半透明体または透明体の表面の微細欠陥及び汚れの有無を測定する装置及び方法 - Google Patents
半透明体または透明体の表面の微細欠陥及び汚れの有無を測定する装置及び方法Info
- Publication number
- JPH05312729A JPH05312729A JP14101092A JP14101092A JPH05312729A JP H05312729 A JPH05312729 A JP H05312729A JP 14101092 A JP14101092 A JP 14101092A JP 14101092 A JP14101092 A JP 14101092A JP H05312729 A JPH05312729 A JP H05312729A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 半透明体または透明体の表面の微細欠陥また
は汚れの検査において、対象物の裏面からの反射による
誤差をなくす。 【構成】 半透明体または透明体の表面の微細欠陥及び
汚れの有無を測定する検査装置において、検査すべき対
象物の法線に傾いた角度で投光する投光部と、投光部か
ら対象物に入射して反射した光を受光する受光部と、投
光部と受光部を保持してＸ−Ｙ軸方向に移動可能な手段
とを設ける。
は汚れの検査において、対象物の裏面からの反射による
誤差をなくす。 【構成】 半透明体または透明体の表面の微細欠陥及び
汚れの有無を測定する検査装置において、検査すべき対
象物の法線に傾いた角度で投光する投光部と、投光部か
ら対象物に入射して反射した光を受光する受光部と、投
光部と受光部を保持してＸ−Ｙ軸方向に移動可能な手段
とを設ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半透明または透明体の
表面の微細欠陥および汚れの有無を判定する検査装置お
よび方法に関する。
表面の微細欠陥および汚れの有無を判定する検査装置お
よび方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】図４ａ、図４ｂおよび図５は従来の差動
原理を利用した光ファイバセンサヘッドの形状の側面図
と平面図および使用態様を示す側面図であり、図６およ
び図７は使用状態を示す側面図であり、図８は、光ファ
イバセンサヘッドを駆動させる装置を示す斜視図であ
る。
原理を利用した光ファイバセンサヘッドの形状の側面図
と平面図および使用態様を示す側面図であり、図６およ
び図７は使用状態を示す側面図であり、図８は、光ファ
イバセンサヘッドを駆動させる装置を示す斜視図であ
る。
【０００３】図４ａ、図４ｂに示すように、従来の光フ
ァイバセンサヘッド（以下単にセンサヘッドという）１
は、例えば、周囲に配置された複数の光ファイバから成
る投光部２と、投光部２の中心に配置された複数の光フ
ァイバから成る受光部３とにより一体に構成されてい
る。このように構成されたセンサヘッド１は、図５に示
すように、検査すべき対象物４の表面５に対して垂直に
配置され、投光光源として高輝度赤色ＬＥＤが用いら
れ、この光源からの光をセンサヘッドの周囲の投光部２
を通して対象物４の表面５に照射してスポット光を当
て、表面からの反射光をセンサヘッドの中心の受光部３
を通して検出して、その反射光の強度から表面の微細欠
陥や汚れを検出するものであった。なお、図中、符号６
は対象物５の裏面を示す。
ァイバセンサヘッド（以下単にセンサヘッドという）１
は、例えば、周囲に配置された複数の光ファイバから成
る投光部２と、投光部２の中心に配置された複数の光フ
ァイバから成る受光部３とにより一体に構成されてい
る。このように構成されたセンサヘッド１は、図５に示
すように、検査すべき対象物４の表面５に対して垂直に
配置され、投光光源として高輝度赤色ＬＥＤが用いら
れ、この光源からの光をセンサヘッドの周囲の投光部２
を通して対象物４の表面５に照射してスポット光を当
て、表面からの反射光をセンサヘッドの中心の受光部３
を通して検出して、その反射光の強度から表面の微細欠
陥や汚れを検出するものであった。なお、図中、符号６
は対象物５の裏面を示す。
【０００４】また、図８は、対象物の表面全体の微細欠
陥、汚れを検査するため、対象物に対してセンサヘッド
を走査する従来例の装置を示すものである。装置は、セ
ンサヘッド１を対象物に対して垂直に保持してＸ軸方向
に往復動するＸ軸走査アーム９と、このＸ軸走査アーム
９を保持してＹ軸方向に往復動するＹ軸走査アーム１０
とから成る。
陥、汚れを検査するため、対象物に対してセンサヘッド
を走査する従来例の装置を示すものである。装置は、セ
ンサヘッド１を対象物に対して垂直に保持してＸ軸方向
に往復動するＸ軸走査アーム９と、このＸ軸走査アーム
９を保持してＹ軸方向に往復動するＹ軸走査アーム１０
とから成る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】このようなセンサヘッ
ドの使い方による対象物の表面の微細欠陥、汚れの有無
を判定する場合、照射したスポット光が対象物の表面を
透過しない場合、即ち対象物が不透明体の場合、図６に
示すように、表面以外の反射光がないため、検出エリア
以外からの光を受光部３で取り込むこともなく、不透明
体の表面の微細欠陥、汚れの有無を判定する場合は有効
な手段である。
ドの使い方による対象物の表面の微細欠陥、汚れの有無
を判定する場合、照射したスポット光が対象物の表面を
透過しない場合、即ち対象物が不透明体の場合、図６に
示すように、表面以外の反射光がないため、検出エリア
以外からの光を受光部３で取り込むこともなく、不透明
体の表面の微細欠陥、汚れの有無を判定する場合は有効
な手段である。
【０００６】しかしながら、対象物が半透明体または透
明体の場合、上記方法を用いると、図７に示すように、
照射したスポット光の一部は対象物を透過するため従来
のセンサヘッドの投光光源では受光部で取り込む光の強
度が不足したり、スポット光の一部には対象物裏面で反
射して再び受光部に到達するものもあるため受けた光の
強弱の変化に裏面の状態の影響が現れてしまう。さら
に、照射光量に関しては、投光部と受光部が同一ヘッド
に一体となっているため投光ファイバの断面積の広さの
限界から照射光量を上げることが制限されている。半透
明体または透明体の表面の微細欠陥、汚れの有無を判定
する場合、これらの原因によるＳ／Ｎ比の悪化からの検
出分解能の低下は無視できない。
明体の場合、上記方法を用いると、図７に示すように、
照射したスポット光の一部は対象物を透過するため従来
のセンサヘッドの投光光源では受光部で取り込む光の強
度が不足したり、スポット光の一部には対象物裏面で反
射して再び受光部に到達するものもあるため受けた光の
強弱の変化に裏面の状態の影響が現れてしまう。さら
に、照射光量に関しては、投光部と受光部が同一ヘッド
に一体となっているため投光ファイバの断面積の広さの
限界から照射光量を上げることが制限されている。半透
明体または透明体の表面の微細欠陥、汚れの有無を判定
する場合、これらの原因によるＳ／Ｎ比の悪化からの検
出分解能の低下は無視できない。
【０００７】したがって、本発明の目的は、前述の欠点
を解消して、対象物の裏面からの反射光をセンサヘッド
の受光部に入射させないように構成した検査装置および
検査方法を提供することにある。
を解消して、対象物の裏面からの反射光をセンサヘッド
の受光部に入射させないように構成した検査装置および
検査方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】以上の目的を達成するた
めに、本発明は、検査すべき対象物の法線に傾いた角度
で投光する投光部と、投光部から対象物に入射して反射
した光を受光する受光部と、投光部と受光部を保持して
Ｘ−Ｙ軸方向に移動可能な手段とを有することを特徴と
する半透明体または透明体の表面の微細欠陥及び汚れの
有無を測定する検査装置を採用するものである。
めに、本発明は、検査すべき対象物の法線に傾いた角度
で投光する投光部と、投光部から対象物に入射して反射
した光を受光する受光部と、投光部と受光部を保持して
Ｘ−Ｙ軸方向に移動可能な手段とを有することを特徴と
する半透明体または透明体の表面の微細欠陥及び汚れの
有無を測定する検査装置を採用するものである。
【０００９】また、本発明は、検査すべき対象物の法線
に傾いた角度で投光し、投光部から対象物に入射して反
射した光を受光し、受光した光の強弱の変化を検出する
ことを特徴とする半透明体または透明体の表面の微細欠
陥及び汚れの有無を測定する検査方法を採用するもので
ある。
に傾いた角度で投光し、投光部から対象物に入射して反
射した光を受光し、受光した光の強弱の変化を検出する
ことを特徴とする半透明体または透明体の表面の微細欠
陥及び汚れの有無を測定する検査方法を採用するもので
ある。
【００１０】
【実施例】次に、図面を参照して本発明の好ましい実施
例を説明する。図１は本発明の測定装置のセンサヘッド
の配置を示す概略側面図である。投光部７は対象物の表
面に垂直ではなく或る角度で配置されており、一方、受
光部８は、投光部７から対象物に照射されて反射した光
を受光できるような或る角度で対象物の表面に対して配
置されている。即ち、対象物の表面の反射点の垂直線に
対して同一角度をなす反対側にそれぞれ配置されてい
る。
例を説明する。図１は本発明の測定装置のセンサヘッド
の配置を示す概略側面図である。投光部７は対象物の表
面に垂直ではなく或る角度で配置されており、一方、受
光部８は、投光部７から対象物に照射されて反射した光
を受光できるような或る角度で対象物の表面に対して配
置されている。即ち、対象物の表面の反射点の垂直線に
対して同一角度をなす反対側にそれぞれ配置されてい
る。
【００１１】このようにセンサヘッドの投光部７と受光
部８を配置すると、投光部と受光部は分離できるため投
光部の光ファイバの断面積を増やせかつスポット性を良
くでき従来より光の強度を上げることができるので、受
光部での光の強度不足を防ぐことができる。また、投光
部７とセンサヘッドの受光部８を傾けることで、対象物
の表面を透過する光の割合を減少できかつ透過して裏面
で反射する光があっても、図２に示すように、この光は
ほとんど受光部には入射しないので対象物の裏面の影響
を抑えられる。図２において、入射角をθ1 、屈折角を
θ2 、対象物の厚さをｔとすると、表面反射光と裏面か
らの反射光との受光面での距離ｌはｌ＝２ｔ・ｔａｎθ
2 ｃｏｓθ1 で得られる。対象物の屈折率をｎとすれ
ば、ｓｉｎθ2 ＝ｓｉｎθ1 ／ｎであるから、θ1 が大
きくなれば、ｔａｎθ2 も大きくなる。即ち、θ1 を大
きくすれば、ｌが大きくなるので、裏面からの反射光も
受光部に入光しなくなる。以上のことから問題となって
いたＳ／Ｎ比の悪化からの検出分解能の低下を抑えられ
る。
部８を配置すると、投光部と受光部は分離できるため投
光部の光ファイバの断面積を増やせかつスポット性を良
くでき従来より光の強度を上げることができるので、受
光部での光の強度不足を防ぐことができる。また、投光
部７とセンサヘッドの受光部８を傾けることで、対象物
の表面を透過する光の割合を減少できかつ透過して裏面
で反射する光があっても、図２に示すように、この光は
ほとんど受光部には入射しないので対象物の裏面の影響
を抑えられる。図２において、入射角をθ1 、屈折角を
θ2 、対象物の厚さをｔとすると、表面反射光と裏面か
らの反射光との受光面での距離ｌはｌ＝２ｔ・ｔａｎθ
2 ｃｏｓθ1 で得られる。対象物の屈折率をｎとすれ
ば、ｓｉｎθ2 ＝ｓｉｎθ1 ／ｎであるから、θ1 が大
きくなれば、ｔａｎθ2 も大きくなる。即ち、θ1 を大
きくすれば、ｌが大きくなるので、裏面からの反射光も
受光部に入光しなくなる。以上のことから問題となって
いたＳ／Ｎ比の悪化からの検出分解能の低下を抑えられ
る。
【００１２】図３は、対象物の表面全体の微細欠陥、汚
れを検査するため、対象物に対してセンサヘッドを走査
する本発明の検査装置を示すものである。この検査装置
は、前述のように投光部から照射された光が対象物の表
面から反射して受光部に入射するが対象物の裏面からの
反射光が受光部に入射しないように、センサヘッド１の
投光部７と受光部８を対象物の表面に対して或る角度で
保持してＸ軸方向に往復動するＸ軸走査アーム９と、こ
のＸ軸走査アーム９を保持してＹ軸方向に往復動するＹ
軸走査アーム１０とから成る。
れを検査するため、対象物に対してセンサヘッドを走査
する本発明の検査装置を示すものである。この検査装置
は、前述のように投光部から照射された光が対象物の表
面から反射して受光部に入射するが対象物の裏面からの
反射光が受光部に入射しないように、センサヘッド１の
投光部７と受光部８を対象物の表面に対して或る角度で
保持してＸ軸方向に往復動するＸ軸走査アーム９と、こ
のＸ軸走査アーム９を保持してＹ軸方向に往復動するＹ
軸走査アーム１０とから成る。
【００１３】次に、本発明の検査装置と従来例の検査装
置の実験結果について説明する。用いた検査装置は、本
発明については図３に示すように別個の投光部７と受光
部８をそれぞれＸ軸走査アームに取付けたものであり、
従来例については図８で示すように投光部と受光部が一
体のセンサヘッド１をＸ軸走査アームに取付けたもので
ある。可能な範囲内で同一条件で検査するため、いずれ
の装置でもセンサヘッド走査速度を３００ｍｍ／分、セ
ンサヘッドの受光部と対象物の表面の検出エリアとの距
離を１．５ｍｍに設定した。投光量については、従来例
の装置では、既存のセンサのスポット光を規定値とおり
に設定し、本発明の装置では、Ｓ／Ｎ比が最も良くなる
程度に調整した。以上の条件で、透明体の表面に長さと
幅寸法既知の欠陥のある種々の対象物上でセンサヘッド
を走査させ、センサ信号出力をデジタルストレージオシ
ロスコープで計測した。このとき、センサ信号出力のＳ
／Ｎ比が５倍以下となる限界時点に対象としていた欠陥
の幅寸法をそれぞれの検出系による分解能とした。この
結果、従来装置では、検出分解能は１０μｍであった
が、本発明の装置では、検出分解能は２．５μｍであっ
た。これから本発明の装置は従来装置より１／４の幅寸
法の表面欠陥も検出できることがわかる。
置の実験結果について説明する。用いた検査装置は、本
発明については図３に示すように別個の投光部７と受光
部８をそれぞれＸ軸走査アームに取付けたものであり、
従来例については図８で示すように投光部と受光部が一
体のセンサヘッド１をＸ軸走査アームに取付けたもので
ある。可能な範囲内で同一条件で検査するため、いずれ
の装置でもセンサヘッド走査速度を３００ｍｍ／分、セ
ンサヘッドの受光部と対象物の表面の検出エリアとの距
離を１．５ｍｍに設定した。投光量については、従来例
の装置では、既存のセンサのスポット光を規定値とおり
に設定し、本発明の装置では、Ｓ／Ｎ比が最も良くなる
程度に調整した。以上の条件で、透明体の表面に長さと
幅寸法既知の欠陥のある種々の対象物上でセンサヘッド
を走査させ、センサ信号出力をデジタルストレージオシ
ロスコープで計測した。このとき、センサ信号出力のＳ
／Ｎ比が５倍以下となる限界時点に対象としていた欠陥
の幅寸法をそれぞれの検出系による分解能とした。この
結果、従来装置では、検出分解能は１０μｍであった
が、本発明の装置では、検出分解能は２．５μｍであっ
た。これから本発明の装置は従来装置より１／４の幅寸
法の表面欠陥も検出できることがわかる。
【００１４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は従来例よ
り４倍の分解能を得ることができる。
り４倍の分解能を得ることができる。
【図１】図１は、本発明の検査装置のセンサヘッドの投
光部と受光部の対象物に対する配置を示す側面図であ
る。
光部と受光部の対象物に対する配置を示す側面図であ
る。
【図２】図２は、本発明の検査装置の検査動作を説明す
るための側面図である。
るための側面図である。
【図３】図３は、本発明の検査装置全体を示す斜視図で
ある。
ある。
【図４】図４ａは、従来例の検査装置のセンサヘッドの
側面図であり、図４ｂは、その平面図である。
側面図であり、図４ｂは、その平面図である。
【図５】図５は、従来例の検査装置の使用態様を説明す
るための側面図である。
るための側面図である。
【図６】図６は、従来例の検査装置の検査動作を説明す
るための側面図である。
るための側面図である。
【図７】図７は、従来例の検査装置の検査動作を説明す
るための側面図である。
るための側面図である。
【図８】図８は、従来例の検査装置全体を示す斜視図で
ある。
ある。
１ センサヘッド ２ 投光部 ３ 受光部 ４ 対象物 ５ 対象物表面 ６ 対象物裏面 ７ 投光部 ８ 受光部 ９ Ｘ軸走査アーム １０ Ｙ軸走査アーム
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成５年２月１８日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００２】
【従来の技術】図４、図５および図６は従来の差動原理
を利用した光ファイバセンサヘッドの形状の側面図と平
面図および使用態様を示す側面図であり図７および図８
は使用状態を示す側面図であり、図９は、光ファイバセ
ンサヘッドを駆動させる装置を示す斜視図である。
を利用した光ファイバセンサヘッドの形状の側面図と平
面図および使用態様を示す側面図であり図７および図８
は使用状態を示す側面図であり、図９は、光ファイバセ
ンサヘッドを駆動させる装置を示す斜視図である。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００３】図４、図５に示すように、従来の光ファイ
バセンサヘッド（以下単にセンサヘッドという）１は、
例えば、周囲に配置された複数の光ファイバから成る投
光部２と、投光部２の中心に配置された複数の光ファイ
バから成る受光部３とにより一体に構成されている。こ
のように構成されたセンサヘッド１は、図６に示すよう
に、検査すべき対象物４の表面５に対して垂直に配置さ
れ、投光光源として高輝度赤色ＬＥＤが用いられ、この
光源からの光をセンサヘッドの周囲の投光部２を通して
対象物４の表面５に照射してスポット光を当て、表面か
らの反射光をセンサヘッドの中心の受光部３を通して検
出して、その反射光の強度から表面の微細欠陥や汚れを
検出するのものであった。なお、図中、符号６は対象物
４の裏面を示す。
バセンサヘッド（以下単にセンサヘッドという）１は、
例えば、周囲に配置された複数の光ファイバから成る投
光部２と、投光部２の中心に配置された複数の光ファイ
バから成る受光部３とにより一体に構成されている。こ
のように構成されたセンサヘッド１は、図６に示すよう
に、検査すべき対象物４の表面５に対して垂直に配置さ
れ、投光光源として高輝度赤色ＬＥＤが用いられ、この
光源からの光をセンサヘッドの周囲の投光部２を通して
対象物４の表面５に照射してスポット光を当て、表面か
らの反射光をセンサヘッドの中心の受光部３を通して検
出して、その反射光の強度から表面の微細欠陥や汚れを
検出するのものであった。なお、図中、符号６は対象物
４の裏面を示す。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００４】また、図９は、対象物の表面全体の微細欠
陥、汚れを検査するため、対象物に対してセンサヘッド
を走査する従来例の装置を示すものである。装置は、セ
ンサヘッド１を対象物に対して垂直に保持してＸ軸方向
に往復動するＸ軸走査アーム９と、このＸ軸走査アーム
９を保持してＹ軸方向に往復動するＹ軸走査アーム１０
とから成る。
陥、汚れを検査するため、対象物に対してセンサヘッド
を走査する従来例の装置を示すものである。装置は、セ
ンサヘッド１を対象物に対して垂直に保持してＸ軸方向
に往復動するＸ軸走査アーム９と、このＸ軸走査アーム
９を保持してＹ軸方向に往復動するＹ軸走査アーム１０
とから成る。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】このようなセンサヘッ
ドの使い型による対象物の表面の微細欠陥、汚れの有無
を判定する場合、照射したスポット光が対象物の表面を
透過しない場合、即ち対象物が不透明体の場合、図７に
示すように、表面以外の反射光がないため、検出エリア
以外からの光を受光部３で取り込むこともなく、不透明
体の表面の微細欠陥、汚れの有無を判定する場合は有効
な手段である。
ドの使い型による対象物の表面の微細欠陥、汚れの有無
を判定する場合、照射したスポット光が対象物の表面を
透過しない場合、即ち対象物が不透明体の場合、図７に
示すように、表面以外の反射光がないため、検出エリア
以外からの光を受光部３で取り込むこともなく、不透明
体の表面の微細欠陥、汚れの有無を判定する場合は有効
な手段である。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００６】しかしながら、対象物が半透明体または透
明体の場合、上記方法を用いると、図８に示すように、
照射したスポット光の一部は対象物を透過するため従来
のセンサヘッドの投光光源では受光部で取り組む光の強
度が不足したり、スポット光の一部には対象物裏面で反
射して再び受光部に到達するものもあるため受けた光の
強弱の変化に裏面の状態の影響が現れてしまう。さら
に、照射光量に関しては、投光部と受光部が同一ヘッド
に一体となっているため投光ファイバの断面積の広さの
限界から照射光量を上げることが制限されている。半透
明体または透明体の表面の微細欠陥、汚れの有無を判定
する場合、これらの原因によるＳ／Ｎ比の悪化からの検
出分解能の低下は無視できない。
明体の場合、上記方法を用いると、図８に示すように、
照射したスポット光の一部は対象物を透過するため従来
のセンサヘッドの投光光源では受光部で取り組む光の強
度が不足したり、スポット光の一部には対象物裏面で反
射して再び受光部に到達するものもあるため受けた光の
強弱の変化に裏面の状態の影響が現れてしまう。さら
に、照射光量に関しては、投光部と受光部が同一ヘッド
に一体となっているため投光ファイバの断面積の広さの
限界から照射光量を上げることが制限されている。半透
明体または透明体の表面の微細欠陥、汚れの有無を判定
する場合、これらの原因によるＳ／Ｎ比の悪化からの検
出分解能の低下は無視できない。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図面の簡単な説明
【補正方法】変更
【補正内容】
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明の検査装置のセンサヘッドの投
光部と受光部の対象物に対する配置を示す側面図であ
る。
光部と受光部の対象物に対する配置を示す側面図であ
る。
【図２】図２は、本発明の検査装置の検査動作を説明す
るための側面図である。
るための側面図である。
【図３】図３は、本発明の検査装置全体を示す斜視図で
ある。
ある。
【図４】図４は、従来例の検査装置のセンサヘッドの側
面図である。
面図である。
【図５】図５は、図４の平面図である。
【図６】図６は、従来例の検査装置の使用態様を説明す
るための側面図である。
るための側面図である。
【図７】図７は、従来例の検査装置の検査動作を説明す
るための側面図である。
るための側面図である。
【図８】図８は、従来例の検査装置の検査動作を説明す
るための側面図である。
るための側面図である。
【図９】図９は、従来例の検査装置全体を示す斜視図で
ある。
ある。
【手続補正７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
Claims (3)
- 【請求項１】 検査すべき対象物の法線に傾いた角度で
投光する投光部と、投光部から対象物に入射して反射し
た光を受光する受光部と、投光部と受光部を保持してＸ
−Ｙ軸方向に移動可能な手段とを有することを特徴とす
る半透明体または透明体の表面の微細欠陥及び汚れの有
無を測定する検査装置。 - 【請求項２】 請求項１記載の検査装置において、前記
手段は、投光部および受光部を支持するＸ軸走査アーム
と、該アームを支持するＹ軸走査アームとから成ること
を特徴とする検査装置。 - 【請求項３】 検査すべき対象物の法線に傾いた角度で
投光し、投光部から対象物に入射して反射した光を受光
し、受光した光の強弱の変化を検出することを特徴とす
る半透明体または透明体の表面の微細欠陥及び汚れの有
無を測定する検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14101092A JPH05312729A (ja) | 1992-05-06 | 1992-05-06 | 半透明体または透明体の表面の微細欠陥及び汚れの有無を測定する装置及び方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14101092A JPH05312729A (ja) | 1992-05-06 | 1992-05-06 | 半透明体または透明体の表面の微細欠陥及び汚れの有無を測定する装置及び方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05312729A true JPH05312729A (ja) | 1993-11-22 |
Family
ID=15282098
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14101092A Pending JPH05312729A (ja) | 1992-05-06 | 1992-05-06 | 半透明体または透明体の表面の微細欠陥及び汚れの有無を測定する装置及び方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05312729A (ja) |
-
1992
- 1992-05-06 JP JP14101092A patent/JPH05312729A/ja active Pending
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