JPH05297018A - Detection device with automatic diagnotic function - Google Patents

Detection device with automatic diagnotic function

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JPH05297018A
JPH05297018A JP5106691A JP5106691A JPH05297018A JP H05297018 A JPH05297018 A JP H05297018A JP 5106691 A JP5106691 A JP 5106691A JP 5106691 A JP5106691 A JP 5106691A JP H05297018 A JPH05297018 A JP H05297018A
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JP
Japan
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self
diagnosis
detection device
detection
acceleration
Prior art date
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Pending
Application number
JP5106691A
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Japanese (ja)
Inventor
Yoshihiro Yokota
吉弘 横田
Masanori Kubota
正則 久保田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Hitachi Automotive Systems Engineering Co Ltd
Original Assignee
Hitachi Automotive Engineering Co Ltd
Hitachi Ltd
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To confirm operation of a detection device and an entire system operating a self-diagnostic function at any moment since an assumed acceleration of 50-100G on collision does not occur during normal operation in an acceleration detection device for air bag of a vehicle. CONSTITUTION:The change in piezo resistance is taken out as an output by changing a weight part 4 of a silicon plate 1 by a needle 7 which is laid out in an outer case 5 and then self diagnosis is made by a control circuit. By adding a self-diagnosis function to an acceleration-detection device for air bag for vehicle, self diagnosis can be made without operating the main air bag at an arbitrary time.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は自動車等の移動体に係
り、特に衝突時に乗員を保護するエア・バッグのシステ
ムに用いられる好適な加速度センサ(スイッチ)に関す
るものであるが、その中の半導体方式に係る構成とその
方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a moving body such as an automobile, and more particularly to a suitable acceleration sensor (switch) used in an air bag system for protecting an occupant in the event of a collision. The present invention relates to a configuration related to the method and a method thereof.

【0002】[0002]

【従来の技術】特願昭62−309684(昭和62年12月9
日)のごとく、半導体容量式の加速度センサにおいては
使用目的が自動車用の中でもサスペンション等に用いる
1〜2G程度の加速度の検出であり、サスペンションの
動作に応じて常時センサとして稼動しているものであ
る。これらは半導体容量式の加速度センサだけでなく、
ICセンサーズ社で売出している半導体ピエゾ抵抗方式
の加速度センサにおいても検出加速度が1〜2G程度の
ものであれば上記と同様である。
2. Description of the Related Art Japanese Patent Application No. Sho 62-309684 (Dec. 9, 1987)
As described above, the purpose of the semiconductor capacitive acceleration sensor is to detect acceleration of about 1 to 2 G, which is used for suspensions even in automobiles, and it always operates as a sensor according to the operation of the suspension. is there. These are not only semiconductor capacitive acceleration sensors,
The same applies to the semiconductor piezoresistive acceleration sensor sold by IC Sensors, as long as the detected acceleration is about 1 to 2G.

【0003】しかし、上記の産業上の利用分野にて示し
たごとく、自動車用のエア・バックシステムに用いると
なれば検出加速度が50〜100G程度にもなり、衝突
でもなければ検出することが出来ない加速度である。こ
れらはセンサと云うよりはスイッチであり、衝突により
システムごと破かいされるため一回毎に再生するもので
ある。
However, as shown in the above-mentioned industrial application fields, when it is used in an air bag system for automobiles, the detected acceleration is about 50 to 100 G, and it can be detected if it is not a collision. There is no acceleration. These are switches rather than sensors, and they are regenerated each time because the system is broken by the collision.

【0004】この50〜100Gの検出加速度は衝突で
もなければ検出されないもので、サスペンションのごと
く1〜2Gにて常時検出し、動作を確認することが出来
るものではない。そこで危惧されるのが、自動車を購入
して数年間乗車した際に衝突のようなアクシデントもな
い場合、数年経過した後も果して加速度スイッチは動作
するか否かに掛って来る。似た様な特許として、特願平
1−271666 号(平成1年10月20日)の自己較正機能
付検出装置の場合は使用初期の諸特性値に対して変化が
あった場合は較正して新品同様の値にするものである
が、本発明の様に50〜100Gに相当する動作を起さ
せて本来の機能確認やシステムの動作確認を行うもので
はない。
The detected acceleration of 50 to 100 G cannot be detected unless it is a collision, and it is not possible to always detect and confirm the operation by 1 to 2 G like the suspension. Therefore, it is feared that if there is no accident such as a collision when you purchase a car and ride it for several years, the acceleration switch will work even after several years. As a similar patent, Japanese Patent Application
In the case of the detection device with self-calibration function of 1-271666 (October 20, 1991), if there are changes in the characteristic values at the beginning of use, the values are calibrated to the values as good as new. However, unlike the present invention, the operation corresponding to 50 to 100 G is not caused to perform the original function check and the system operation check.

【0005】従来技術と異なる点はいかなる加速度セン
サ(スイッチ)を用い様がエア・バックシステムのごと
く、衝突時にでなければ発生しない50〜100G相当
の動作を起させてセンサ(スイッチ)やシステムの動作
を確認することにより自己診断機能を設えた変位の検出
装置に係るもので、認位の時に強制的に重錘部を変化さ
せることにより、いざ(衝突)と云う時のためにいつで
も動作確認を容易にしたものである。
What is different from the prior art is that any acceleration sensor (switch) is used like an air bag system to cause an operation equivalent to 50 to 100 G which does not occur only at the time of a collision to cause a sensor (switch) or system. It relates to a displacement detection device that has a self-diagnosis function by confirming the operation. By forcibly changing the weight part during recognition, the operation can be confirmed at any time in case of an emergency (collision). Is made easy.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】前記従来技術の説明の
ごとく、いかなるセンサ(スイッチ)を用いようが、サ
スペンション等の加速度1〜2Gと異なり、エア・バッ
ク起動時の50〜100Gが通常のドライブ条件では出
て来ないので、強制的に動作させることにより、センサ
(スイッチ)やシステムの動作を確認することが出来る
ので、いかにして強制的な動作確認が可能かと云うこと
が課題となって来る。
As described in the above-mentioned prior art, no matter what sensor (switch) is used, unlike the acceleration of 1 to 2 G of the suspension or the like, 50 to 100 G when the air bag is started is a normal drive. Since it does not appear under the conditions, it is possible to confirm the operation of the sensor (switch) or system by forcibly operating it, so the issue is how to forcibly confirm the operation. come.

【0007】本発明のごとく、重錘のストッパーを駆動
ニードルとして用いたり、サブシステムとして、マイコ
ンにて制御したり、外部からの通信手段により動作させ
る等も考えられるが、直接アクチュエーターを用いてニ
ードルを動作させることが確実である。
As in the present invention, it is conceivable to use a stopper of a weight as a driving needle, control as a subsystem by a microcomputer, or operate by external communication means. Is sure to work.

【0008】更にシステムの確認のためにはメインのエ
ア・バックを動作させないで、ランプを点灯させるか、
ミニのエア・バックを動作させることにより全体を確認
することが出来るものである。
Further, in order to confirm the system, the main air bag is not operated and the lamp is turned on,
You can check the whole by operating the mini air bag.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】サスペンション用の1〜
2Gと異なり、50〜100Gのエア・バック用のもの
は加速度を検知する重錘の面積と重量が比べものになら
ない様に大きくなるので、強制的に動作させるニードル
(ストッパー兼)の作成も実装時に組立てることが容易
であるその他の手段も自動車の車載用マイコンを活用す
る等の手段で行うことが出来るので対応が可能である。
Means for Solving the Problems 1 to 1 for suspension
Unlike 2G, 50-100G airbags are so large that the weight of the weight detecting acceleration is not comparable to the weight, so the needle (stopper) to be forcibly operated is also mounted. Since other means that is easy to assemble can be performed by means such as utilizing an in-vehicle microcomputer of an automobile, it is possible to deal with it.

【0010】[0010]

【作用】半導体ピエゾ抵抗式加速度センサ(スイッチ)
〔又は半導体容量式でも同様〕において50〜100G
の加速度は衝突でもしない限り発生しない。そこで、外
側ケースに設えたニードルに直接アクチュエータで動か
す等によりニードルをSi部の重錘部を変化させ梁部に
配置したピエゾ抵抗(50〜100Gに相当する変化を
与える)に変化を与えてシステムを動作(ランプの点灯
やミニ・エア・バック稼動)させることにより、50〜
100Gの加速度に代って動作確認を行うものである。
[Function] Semiconductor piezoresistive acceleration sensor (switch)
[Or the same applies to the semiconductor capacitance type] 50 to 100G
The acceleration of does not occur unless a collision occurs. Therefore, by moving the needle directly mounted on the outer case with an actuator, the weight of the Si portion of the needle is changed to change the piezo resistance (change corresponding to 50 to 100 G) arranged on the beam portion of the system. By operating the lamp (lighting the lamp or operating the mini air bag)
The operation is confirmed instead of the acceleration of 100 G.

【0011】[0011]

【実施例】以下、本発明の一実施例を図1により説明す
る。図1の制御系統のブロックダイヤグラムを示したの
が図2であり、そのマイコンによる制御例を示したブロ
ックダイヤグラムが図3であり、図1のピエゾ抵抗式に
代って示した容量式が図4である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG. FIG. 2 shows a block diagram of the control system of FIG. 1, FIG. 3 shows a block diagram showing an example of control by the microcomputer, and FIG. 3 shows a capacitive formula instead of the piezoresistive formula of FIG. It is 4.

【0012】図1は本発明の断面図を示したものであ
り、シリコン板1にガラス台2を接合させ、シリコン板
1に加工した梁部にピエゾ抵抗部3を配設し、その先に
加速度によって変化する重錘部4を設けその動きによっ
て梁部のピエゾ抵抗部3が変化して加速度に対応した値
を検出するものである。これらは外側ケース5にガラス
台2ごと接着部6にて接着固定されるものである。これ
にストッパー兼自己診断のための負荷ニードル7を保持
具8にて外側ケース5に設置されるものである。エア・
バック用の加速度検出は衝突時50〜100Gと予定さ
れ、自動車の通常運転時には検出されないものであり、
設定した重錘部4はほとんど動かずピエゾ抵抗部3には
システムをトリガーするだけの抵抗変化は検出されない
ことになる。そこで本発明では負荷ニードル7を動か
し、先端のストッパー点7′を重錘部4に接触させピエ
ゾ抵抗部3がシステムをトリガーするだけの抵抗変化を
起させて、端子引出し部9から記号として取り出すもの
である。これによって認意の時に衝突時に相当する変化
を検出し、検出部とシステム全体を自己診断することが
出来るものである。
FIG. 1 is a cross-sectional view of the present invention, in which a glass plate 2 is joined to a silicon plate 1, a piezoresistive portion 3 is arranged on a beam portion processed on the silicon plate 1, and at the tip thereof. The weight portion 4 that changes according to the acceleration is provided, and the piezoresistive portion 3 of the beam portion changes due to the movement thereof to detect a value corresponding to the acceleration. These are adhered and fixed to the outer case 5 together with the glass table 2 at the adhesive portion 6. A load needle 7 that also serves as a stopper and for self-diagnosis is installed on the outer case 5 with a holder 8. air·
The acceleration detection for the back is planned to be 50 to 100 G at the time of a collision, and is not detected during the normal operation of the vehicle.
The set weight 4 hardly moves, and the piezoresistor 3 cannot detect a resistance change enough to trigger the system. Therefore, in the present invention, the load needle 7 is moved to bring the stopper point 7'of the tip into contact with the weight portion 4 so that the piezoresistive portion 3 causes a resistance change enough to trigger the system and is taken out from the terminal lead-out portion 9 as a symbol. It is a thing. As a result, it is possible to detect a change corresponding to a collision at the time of approval and self-diagnose the detection unit and the entire system.

【0013】図2は本発明の制御系を示すブロックダイ
ヤグラムである。コントロールユニット10にて信号を
受けて制御すると共にニードル7の制御もアクチュエー
ター11にて行ない、スイッチングユニット12にてコ
ントロールユニット10にフィードバック制御されるも
ので、その結果、負荷駆動13によってランプ点灯やミ
ニエア・バック等の動作を行って自己診断を行うもので
ある。これによって主のエア・バックを動作させること
がなく、検出部やシステム全体の自己診断を行うことが
出来るものである。
FIG. 2 is a block diagram showing the control system of the present invention. The control unit 10 receives a signal and controls the needle 7, and the actuator 11 also controls the needle 7, and the switching unit 12 performs feedback control to the control unit 10. As a result, the load drive 13 causes the lamp to light up and the mini air to flow.・ Self-diagnosis is performed by performing operations such as backing. This enables self-diagnosis of the detection unit and the entire system without operating the main air bag.

【0014】図3は同様の制御系ブロックダイヤグラム
であるがコントロールユニット10の一部又は全体をマ
イクロコンピュータ14にて制御する例を示したもの
で、同様にこれら制御系を外部の通信系15により外部
から指示コントロール出来ることは云うまでもない。
FIG. 3 is a similar control system block diagram, but shows an example in which a part or the whole of the control unit 10 is controlled by the microcomputer 14. Similarly, these control systems are controlled by an external communication system 15. It goes without saying that the instructions can be controlled from the outside.

【0015】図4は図1に示したピエゾ抵抗式の検出部
に代って容量式のものに対して本発明の例を示したもの
である。これらは図1と同様にシリコン板1′を加工し
て重錘部4′と上部ガラス板17との間に設けた容量検
出用のギャップ16を設えたもので、その他の全体構成
は図1と同様のものである。即ち、シリコン板1′にガ
ラス台2′を接合し、上部に上部ガラス板17を配設
し、それらを外側ケース5′に接着部6により固定さ
せ、ギャップ16の変化をスルーホールを含む電極18
とシリコン板1′とから信号の変化として端子引出し部
9′を通じてコントロールユニット10側に取り出すの
は容量式検出装置の例であり、本発明はその外側ケース
5′に保持具8′を設えたニードル7″により強制的に
シリコン板1′の重錘部4′を変化させることにより、
容量検出用のギャップ16を変え、システムのトリガー
値まで変化させることにより図1と同様に負荷のランプ
点灯やミニ・エア・バックを動作させることにより自己
診断を行う容量式検出装置を示したものである。
FIG. 4 shows an example of the present invention for a capacitive type sensor instead of the piezoresistive type detecting section shown in FIG. Similar to FIG. 1, these are obtained by processing a silicon plate 1'and providing a gap 16 for capacitance detection provided between a weight portion 4'and an upper glass plate 17, and the other whole structure is shown in FIG. Is similar to. That is, the glass plate 2'is joined to the silicon plate 1 ', the upper glass plate 17 is disposed on the upper part, and they are fixed to the outer case 5'by the adhesive portion 6, and the change of the gap 16 is changed to the electrode including the through hole. 18
It is an example of a capacitive detection device that the signal is extracted from the silicon plate 1'and the silicon plate 1'through the terminal lead-out portion 9'to the control unit 10 side. In the present invention, the holder 8'is provided on the outer case 5 '. By forcibly changing the weight 4'of the silicon plate 1'by the needle 7 ",
As in the case of FIG. 1, by changing the capacitance detection gap 16 and changing the trigger value of the system, a capacitance type detection device for performing self-diagnosis by operating the lamp of the load or operating the mini air bag is shown. Is.

【0016】図1におけるニードル7の駆動方法はFは
動作を示しているごとく、具体的にはニードルのストロ
ークを決めて外部から電磁弁にてON−OFFすること
により負荷をかけるものである。ニードル7の動作はス
ムースに上下する動作やニードル7の中に穴を通してエ
アの導入により重錘4を動かす等は云うまでもない。
In the driving method of the needle 7 in FIG. 1, F indicates the operation, and specifically, the stroke of the needle is determined and a load is applied by externally turning on and off by a solenoid valve. Needless to say, the operation of the needle 7 moves up and down smoothly, and the weight 4 is moved by introducing air through a hole in the needle 7.

【0017】[0017]

【発明の効果】本発明によれば、自動車エア・バックの
加速度検出装置に自己診断部を設けることにより、衝突
時に想定している50〜100Gに達しなくても、認意
の時に自己診断システムを動作させることにより、検出
部と全体システムを確認することが出来るものである。
According to the present invention, by providing a self-diagnosis unit in an acceleration detecting device for an automobile airbag, a self-diagnosis system can be used at the discretion even if the expected 50 to 100 G is not reached at the time of a collision. It is possible to confirm the detection unit and the entire system by operating.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明による自己診断機能付ピエゾ抵抗方式の
加速度検出装置の断面図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view of a piezoresistance type acceleration detection device with a self-diagnosis function according to the present invention.

【図2】本自己診断機能を含んだ加速度検出装置の制御
用ブロックダイヤグラムを示す図である。
FIG. 2 is a diagram showing a control block diagram of an acceleration detection device including the self-diagnosis function.

【図3】図2の制御をマイクロコンピュータや外部から
の通信指示によるブロックダイヤグラムを示す図であ
る。
FIG. 3 is a diagram showing a block diagram of the control of FIG. 2 according to a communication instruction from a microcomputer or the outside.

【図4】図1のピエゾ抵抗式に代って容量式の自己診断
機能付加速度検出装置の断面図である。
FIG. 4 is a sectional view of a capacitive type self-diagnosis function added speed detection device instead of the piezoresistive type of FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1,1′…シリコン板、2,2′…ガラス台、3…シリ
コン部のピエゾ抵抗部、4,4′…シリコン部の重錘
部、5,5′…外側ケース、6…ケースに台座を接着す
る接着部、7…ストッパー兼自己診断のための負荷用ニ
ードル、7′…先端のストッパー点、7″…自己診断用
ニードル、8,8′ニードル保持具、9,9′…端子引
出し部、10…コントロールユニット、11…アクチュ
エータ、12…スイッチングユニット、13…負荷駆動
部、14…マイクロコンピュータ、15…外部通信手
段、16…容量検出用ギャップ、17…上部ガラス板、
18…スルーホールを含む電極。
1, 1 '... Silicon plate, 2, 2' ... Glass base, 3 ... Piezoresistive part of silicon part, 4, 4 '... Weight part of silicon part, 5, 5' ... Outer case, 6 ... Pedestal in case Adhesive part for adhering 7 ... Stopper / load needle for self-diagnosis, 7 '... Tip stopper point, 7 "... Self-diagnosis needle, 8, 8'Needle holder, 9, 9' ... Terminal lead-out Parts, 10 ... Control unit, 11 ... Actuator, 12 ... Switching unit, 13 ... Load drive unit, 14 ... Microcomputer, 15 ... External communication means, 16 ... Gap for capacitance detection, 17 ... Upper glass plate,
18 ... Electrodes including through holes.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 久保田 正則 茨城県勝田市大字高場字鹿島谷津2477番地 3 日立オートモティブエンジニアリング 株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (72) Inventor Masanori Kubota 2477 Kashima Yatsu Kashima, Katsuta City, Ibaraki Prefecture 3 Hitachi Automotive Engineering Co., Ltd.

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】物理量を電気量として検出する装置であっ
て、検出手段とこれを自己診断する手段及び信号処理手
段を有し、該自己診断手段から発し、スイッチング回路
を通じて自己診断用信号を前記検出手段に与え、検出手
段が強制的に負荷の駆動する状態を測定し、その変化分
を主駆動部以外のサブ駆動部を動作させ検出機能が良好
であることが確認出来ることを備えたことを特徴とする
自己診断機能付検出装置。
1. An apparatus for detecting a physical quantity as an electric quantity, comprising a detecting means, a means for self-diagnosing the same, and a signal processing means, the self-diagnosing signal being emitted from the self-diagnosing means and passing through a switching circuit. It was provided to the detection means, the detection means forcibly measures the driving state of the load, and the change can be operated by the sub-driving section other than the main driving section to confirm that the detection function is good. A detection device with a self-diagnosis function.
【請求項2】物理量を電気量として検出する装置のデー
タ処理方法であって、自己診断手段から発し、スイッチ
ング回路を通じて自己診断用信号を検出手段に与え、検
出手段の応答信号を測定し自己診断処理を行い、予め測
定した診断特性と比較しその動作確認をしなくとも済む
ことを特徴とするデータ処理法。
2. A data processing method for an apparatus for detecting a physical quantity as an electric quantity, comprising: issuing from a self-diagnosis means, applying a self-diagnosis signal to the detection means through a switching circuit, and measuring a response signal of the detection means to perform self-diagnosis. A data processing method which is characterized in that it is not necessary to perform a process and compare it with a previously measured diagnostic characteristic to confirm its operation.
【請求項3】通信機又はマイクロコンピュータからの指
令を受け、請求項2記載の自己診断を行うことを特徴と
する検出装置システム。
3. A detection device system, which receives a command from a communication device or a microcomputer and performs the self-diagnosis according to claim 2.
【請求項4】請求項2記載の検出装置であって、自己診
断結果を処理装置または通信機及びマイクロコンピュー
タに設けた表示手段に表示し、記憶手段に記憶すること
を特徴とする検出装置システム。
4. The detection device system according to claim 2, wherein the self-diagnosis result is displayed on a display means provided in the processing device or the communication device and the microcomputer, and is stored in the storage means. ..
【請求項5】請求項1記載の検出装置であって、検出手
段,自己診断手段及び処理手段がシリコン基板に形成さ
れたことを特徴とする検出装置。
5. The detection device according to claim 1, wherein the detection means, the self-diagnosis means, and the processing means are formed on a silicon substrate.
【請求項6】請求項5記載の検出装置であって、検出手
段と自己診断手段がシリコン単結晶基板に一体又は近接
して形成され、基板上に形成した重錘部のストッパー部
が上下することにより強制的に変位させることにしたこ
とを特徴とする検出装置。
6. The detection device according to claim 5, wherein the detection means and the self-diagnosis means are formed integrally with or in close proximity to the silicon single crystal substrate, and the stopper portion of the weight portion formed on the substrate moves up and down. Accordingly, the detection device is characterized in that it is forcibly displaced.
【請求項7】請求項1記載の検出装置であって、検出手
段がピエゾ抵抗素子を形成した起歪体からなり、自己診
断手段として該起歪体の中央部に形成した重錘部へニー
ドルの上下により又は空気圧等により、前記ピエゾ抵抗
素子の抵抗に変化を与えて、これを測定しこの変化に基
づいて自己診断を行うことを特徴とする検出装置。
7. The detection device according to claim 1, wherein the detection means comprises a strain-generating body formed with a piezoresistive element, and a needle is attached to a weight portion formed in the central portion of the strain-generating body as a self-diagnosis means. 2. A detection apparatus, characterized in that the resistance of the piezoresistive element is changed by the vertical movement of the piezoresistive element, air pressure, or the like, and the resistance is measured and self-diagnosis is performed based on this change.
【請求項8】請求項1記載の検出装置であって、検出手
段が支持された可動電極と固定電極とからなる可変静電
容量であり、自己診断手段として前記可動電極ともう一
つの固定電極とで形成した隙間をニードル等にて強制的
に可動電極を変化させ前記可変静電容量の容量を測定し
この変化に基づいて自己診断を行うことを特徴とする検
出装置。
8. The detection device according to claim 1, wherein the detection means is a variable electrostatic capacitance composed of a movable electrode and a fixed electrode supported thereon, and the movable electrode and another fixed electrode as self-diagnosis means. A detecting device characterized in that the movable electrode is forcibly changed by a needle or the like in the gap formed by and the capacitance of the variable capacitance is measured, and self-diagnosis is performed based on this change.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006284552A (en) * 2004-06-11 2006-10-19 Okutekku:Kk Device for inspecting micro structure, method for inspecting micro structure, and program for inspecting micro structure
JP2006284553A (en) * 2004-06-11 2006-10-19 Okutekku:Kk Device for inspecting micro structure, method for inspecting micro structure, and program for inspecting micro structure

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