JPH05283083A - Method for washing carbon material parts - Google Patents

Method for washing carbon material parts

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JPH05283083A
JPH05283083A JP4080034A JP8003492A JPH05283083A JP H05283083 A JPH05283083 A JP H05283083A JP 4080034 A JP4080034 A JP 4080034A JP 8003492 A JP8003492 A JP 8003492A JP H05283083 A JPH05283083 A JP H05283083A
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JP
Japan
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ozone
ribbed electrode
electrode
ribbed
carbon material
Prior art date
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Application number
JP4080034A
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Japanese (ja)
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Kyotaro Iyasu
巨太郎 居安
Michio Suzuki
道雄 鈴木
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01MPROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
    • H01M4/00Electrodes
    • H01M4/86Inert electrodes with catalytic activity, e.g. for fuel cells
    • H01M4/96Carbon-based electrodes
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E60/00Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
    • Y02E60/30Hydrogen technology
    • Y02E60/50Fuel cells

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Abstract

PURPOSE:To provide the excellent method for washing carbon material parts to improve the electrode performance of a fuel cell and prolong the lifetime by preventing the burning at the time of burning catalyzer of a ribbed electrode of a fuel cell, and improving the gas permeability of the ribbed electrode to enable the even distribution of the electrolyte such as phosphoric acid. CONSTITUTION:Ozonized gas, which includes the ozone generated by an ozone generator 11, is fed to a diffusion cylinder 13 provided in the bottom of an ozone absorbing tower 12, and is poured as fine bubble in the water filled inside of the ozone absorbing tower 12 to obtain the ozone included water. The ozone included water inside of the ozone absorbing tower 12 is fed by a liquid feeding pump 14, and is blown from a nozzle 15 to the surface of the ribbed electrode 2 to contact to the ribbed electrode 2. The structure, in which the ozone absorbing tower 12 is omitted, or the structure, in which the ribbed electrode 2 is impregnated with the ozone included water, is possible.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、燃料電池の製造方法に
係り、特に、リン酸型燃料電池の電極性能を向上させ得
るようにした燃料電池のリブ付電極の前処理方法に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a fuel cell, and more particularly to a pretreatment method for a ribbed electrode of a fuel cell which can improve the electrode performance of a phosphoric acid fuel cell.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、燃料の有しているエネルギーを直
接電気的エネルギーに変換する装置として、燃料電池が
知られている。この燃料電池は、通常、電解質を含浸し
たマトリックスを挟んで一対の多孔質電極を配置すると
共に、一方の電極背面に、水素などの流体燃料を接触さ
せ、また、他方の電極背面に、酸素などの流体酸化剤を
接触させ、この時に起こる電気化学的反応を利用して、
上記両電極間から電気エネルギーを取り出すように構成
されたものである。この種の燃料電池においては、燃料
と酸化剤が供給されている限り、高い変換効率で電気エ
ネルギーを取り出すことができる。
2. Description of the Related Art Conventionally, a fuel cell has been known as a device for directly converting the energy of fuel into electric energy. In this fuel cell, usually, a pair of porous electrodes are arranged with an electrolyte-impregnated matrix sandwiched between them, and a fluid fuel such as hydrogen is brought into contact with the back surface of one of the electrodes, and oxygen is fed to the back surface of the other electrode. Contact with the fluid oxidant of the
The electric energy is taken out from between the electrodes. In this type of fuel cell, electric energy can be extracted with high conversion efficiency as long as the fuel and the oxidant are supplied.

【0003】このような燃料電池のうち、特に、リン酸
を電解質とした燃料電池の単位セルは、図12に示すよ
うに構成されている。この場合、図12は、単位セルを
示す縦断面斜視図である。すなわち、図12において
は、電解質であるリン酸を含浸したマトリックス1を挟
んで、一対のリブ付電極2が配置され、単位セル3が形
成されている。この場合、一対のリブ付電極2は、通常
炭素材からなる多孔質体で形成され、マトリックス1に
対向する前面には触媒が付加されている。また、この一
対のリブ付電極2の触媒付加面の反対面である背面に
は、流体燃料と流体酸化剤の流通路2aがそれぞれ形成
されている。そして、このように構成された単位セル3
が、ガス分離板4を介して交互に複数個積層され、燃料
電池積層体を構成している。
Among such fuel cells, a unit cell of a fuel cell using phosphoric acid as an electrolyte is constructed as shown in FIG. In this case, FIG. 12 is a vertical cross-sectional perspective view showing the unit cell. That is, in FIG. 12, a pair of ribbed electrodes 2 are arranged to sandwich a matrix 1 impregnated with phosphoric acid as an electrolyte, and a unit cell 3 is formed. In this case, the pair of ribbed electrodes 2 is usually formed of a porous material made of a carbon material, and a catalyst is added to the front surface facing the matrix 1. Further, flow passages 2a for the fluid fuel and the fluid oxidant are formed on the back surfaces of the pair of ribbed electrodes 2 which are the surfaces opposite to the catalyst application surface. Then, the unit cell 3 configured in this way
Are alternately stacked via the gas separation plate 4 to form a fuel cell stack.

【0004】ところで、リブ付電極2は、通常、炭素繊
維と炭化可能な樹脂との混合物により形成され、炭化、
黒鉛化処理を経て燃料電池用電極基質となる。そして、
このような炭化、黒鉛化処理後に厚さを均一にするため
に片面あるいは両面が研磨された後、さらに、触媒付加
及び焼成、溝加工、マトリックス塗布、リン酸含浸が順
次行われる。この後、最終的に、アノードとカソードの
リブ付電極板2が一体化され、図12に示すような単位
セル3が形成される。
By the way, the ribbed electrode 2 is usually made of a mixture of carbon fiber and carbonizable resin, and is carbonized.
After being graphitized, it becomes an electrode substrate for fuel cells. And
After such carbonization and graphitization, one or both sides are polished to make the thickness uniform, and then catalyst addition and firing, groove processing, matrix coating, and phosphoric acid impregnation are sequentially performed. After that, finally, the anode and cathode ribbed electrode plates 2 are integrated to form a unit cell 3 as shown in FIG.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ようにして形成された従来のリブ付電極には、触媒付加
後、焼成すると触媒の一部が燃えてしまうという問題が
あった。また、ガス透過性が悪く、リン酸のバラツキが
大きいという問題もあった。
However, the conventional ribbed electrode formed as described above has a problem that a part of the catalyst burns when it is fired after the catalyst is added. There is also a problem that the gas permeability is poor and the variation of phosphoric acid is large.

【0006】これらの問題のうち、触媒が燃える原因
は、リブ付電極表面の有機性汚れであると考えられる。
有機性汚れは、加工時における人体の皮脂からの油脂、
化粧品からの油脂、モータ、ポンプなどから大気中に飛
散し、浮遊している油脂、あるいは、切削、研磨などの
加工時に付着した機械油などが考えられる。そして、こ
れらのリブ付電極板表面の有機性汚れは、触媒焼成時、
触媒により比較的低温で燃焼する。
Among these problems, it is considered that the cause of the catalyst burning is the organic stain on the surface of the ribbed electrode.
Organic stains are oils and fats from the skin oils of the human body during processing,
Oils and fats from cosmetics, oils and fats that are scattered in the air from motors, pumps and the like and are floating, or machine oils that are attached during processing such as cutting and polishing are considered. Then, these organic stains on the ribbed electrode plate surface are
The catalyst burns at a relatively low temperature.

【0007】また、ガス透過性の悪い原因を調査した結
果、リブ付電極の厚さを均一にするために片面あるいは
両面を研磨した際における研磨カスの目詰まりによるも
のであることがわかった。すなわち、リブ付電極は、真
空チャックで吸引しながら研磨されるが、研磨カスは、
リブ付電極の比較的大きな気孔を通過する一方、小さな
気孔を通過できずに目詰まりを起こし、その結果、リブ
付電極のガス透過性が悪くなり、バラツキも生じること
がわかった。そして、このようにガス透過性が悪いと、
燃料電池の発電特性が低下してしまう。
Further, as a result of investigating the cause of the poor gas permeability, it was found that it was caused by clogging of polishing debris when polishing one or both surfaces of the ribbed electrode to make the thickness uniform. That is, the ribbed electrode is polished while being sucked by the vacuum chuck, but the polishing residue is
It was found that, while passing through the comparatively large pores of the ribbed electrode, it failed to pass through the small pores and caused clogging, resulting in poor gas permeability of the ribbed electrode and variation. And if the gas permeability is poor like this,
The power generation characteristics of the fuel cell will deteriorate.

【0008】ところで、リブ付電極のうち、前述のよう
な原因により目詰まりした部分は、目詰まりしなかった
部分と比較すると密度が高く、平均気孔径が小さい。そ
の結果、リン酸は、毛管現象により、平均気孔径の小さ
い部分(目詰まりした部分)に優先的に浸透するため、
リン酸の偏在が生じる。この状態で長期間運転した場
合、全体的には運転に支障のないリン酸量が存在して
も、局部的にリン酸不足が発生し、ついには運転不可能
となってしまう。
By the way, in the ribbed electrode, the portion that is clogged due to the above-mentioned causes has a higher density and a smaller average pore diameter than the portion that is not clogged. As a result, phosphoric acid preferentially penetrates into the area with a small average pore size (clogging area) due to the capillary phenomenon.
Uneven distribution of phosphoric acid occurs. When the vehicle is operated for a long time in this state, even if there is an amount of phosphoric acid that does not hinder the operation as a whole, a phosphoric acid deficiency occurs locally, and eventually operation becomes impossible.

【0009】さらに、以上のような問題は、燃料電池リ
ブ付電極に限らず、同様に、研磨などの一定の加工処理
を施される炭素材料部品一般に存在している。
Further, the above-mentioned problems are not limited to the fuel cell rib-equipped electrode, but similarly exist in general carbon material parts that are subjected to a certain processing such as polishing.

【0010】本発明は、上記のような問題を解決するた
めに提案されたものであり、その目的は、特に、燃料電
池リブ付電極における触媒焼成時の燃焼を防止し、リブ
付電極のガス透過性を改善し、リン酸などの電解質の均
一分布を可能とすることにより、燃料電池の電極性能を
向上させ、長寿命化に貢献し得るような、優れた炭素材
料部品の洗浄方法を提供することである。
The present invention has been proposed in order to solve the above problems, and its purpose is to prevent combustion at the time of burning a catalyst in a fuel cell rib electrode and to prevent gas in the rib electrode. Providing an excellent method for cleaning carbon material parts that improves the electrode performance of fuel cells and contributes to a longer life by improving the permeability and allowing the uniform distribution of electrolytes such as phosphoric acid It is to be.

【0011】また、燃料電池リブ付電極に限らず、同様
に、研磨などの一定の加工処理を施される炭素材料部品
一般の洗浄に有効な優れた洗浄方法を提供することも目
的の一つである。
Another object of the present invention is not only to provide an electrode with ribs for a fuel cell, but also to provide an excellent cleaning method that is effective for cleaning general carbon material parts that are similarly subjected to certain processing such as polishing. Is.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】請求項1に記載の方法
は、炭素材料部品を、溶存オゾンもしくはオゾン化ガス
気泡を含むオゾン含有水で洗浄することを特徴とし、請
求項2に記載の方法は、炭素材料部品を、酸化性溶液で
洗浄することを特徴とし、請求項3に記載の方法は、炭
素材料部品を、酸化性ガスと接触させた後、水で洗浄す
ることを特徴としている。
A method according to claim 1, wherein the carbon material component is washed with ozone-containing water containing dissolved ozone or ozonized gas bubbles, and the method according to claim 2 is characterized. Is characterized in that the carbon material component is cleaned with an oxidizing solution, and the method according to claim 3 is characterized in that the carbon material component is contacted with an oxidizing gas and then washed with water. ..

【0013】本発明のこれらの方法は、炭素材料から形
成され、一定の加工処理を施されてなる炭素材料部品一
般に適用可能であるが、特に、請求項4に記載のよう
に、燃料電池リブ付電極の洗浄方法として使用される。
These methods of the present invention are generally applicable to carbon material parts which are formed from a carbon material and which have been subjected to a certain processing treatment. In particular, the fuel cell rib according to claim 4 is used. It is used as a method of cleaning attached electrodes.

【0014】[0014]

【作用】以下には、本発明の各方法を、特に、燃料電池
リブ付電極の洗浄方法として使用した場合の作用を説明
する。
The operation of each of the methods of the present invention will be described below, particularly when it is used as a method for cleaning a ribbed electrode for a fuel cell.

【0015】まず、本発明の各方法においては、オゾン
(請求項1)、酸化性溶液(請求項2)、または酸化性
ガス(請求項3)により、リブ付電極表面の有機性汚れ
を酸化分解できると同時に、リブ付電極中に目詰まりし
た研磨カスを除去することができる。
First, in each method of the present invention, organic stains on the surface of the ribbed electrode are oxidized by ozone (claim 1), an oxidizing solution (claim 2), or an oxidizing gas (claim 3). At the same time as disassembling, it is possible to remove the polishing debris clogged in the ribbed electrode.

【0016】すなわち、本発明の各方法における液相ま
たは気相でのリブ付電極表面の有機性汚れの除去は、有
機性汚れの完全分解の必要はなく、酸化は部分酸化で十
分である。つまり、本発明の方法において、リブ付電極
表面の有機性汚れは、水中のオゾン、酸化性溶液、また
は酸化性ガスにより酸化され、アルデヒド、ケトン、カ
ルボン酸などの中程度の酸化物が生成され、これらの酸
化物が、水を媒体として洗浄、除去されるため、容易且
つ確実に有機性汚れを除去できる。そして、無機物質の
汚れ、例えば各種塩類なども、水に溶解させ、あるいは
懸濁させて除去することができる。
That is, the removal of organic stains on the surface of the ribbed electrode in the liquid phase or vapor phase in each method of the present invention does not require complete decomposition of the organic stains, and partial oxidation is sufficient for oxidation. That is, in the method of the present invention, the organic stain on the surface of the ribbed electrode is oxidized by ozone in water, an oxidizing solution, or an oxidizing gas to form a moderate oxide such as an aldehyde, a ketone, or a carboxylic acid. Since these oxides are washed and removed using water as a medium, organic stains can be easily and surely removed. Then, stains of inorganic substances, such as various salts, can be removed by dissolving or suspending them in water.

【0017】また、本発明の各方法において、リブ付電
極中に目詰まりした研磨カスは、オゾン含有水による洗
浄効果(請求項1)、酸化性溶液による洗浄効果(請求
項2)、または酸化性ガスとの接触及び水洗浄による洗
浄効果(請求項3)により除去することができる。特
に、オゾン含有水による洗浄の場合(請求項1)には、
水による除去効果だけでなく、オゾン化ガス共存による
洗浄効果がある。すなわち、この方法においては、オゾ
ンが、細かい気泡として水中に注入されるため、細かい
気泡による機械的洗浄効果も加わり、容易且つ確実に研
磨カスを除去することができ、極めて細かい研磨カスま
で除去することができる。この場合、オゾンの注入方法
としては、一般的に、オゾン化空気を、細かい気孔を有
する散気筒を通して水中に注入する方法が採用される。
In each of the methods of the present invention, the polishing dust clogged in the ribbed electrode is cleaned by ozone-containing water (Claim 1), cleaned by an oxidizing solution (Claim 2), or oxidized. It can be removed by the contact with a volatile gas and the cleaning effect by cleaning with water (claim 3). In particular, when cleaning with ozone-containing water (Claim 1),
Not only the removal effect by water, but also the cleaning effect by the coexistence of ozonized gas. That is, in this method, since ozone is injected into the water as fine bubbles, a mechanical cleaning effect due to the fine bubbles is added, and polishing debris can be easily and surely removed, and even extremely fine polishing debris is removed. be able to. In this case, as a method of injecting ozone, generally, a method of injecting ozonized air into water through a scattering cylinder having fine pores is adopted.

【0018】さらに、本発明の各方法においては、リブ
付電極の電解質の含浸性を向上することができる。リブ
付電極の基材であるカーボン繊維などの表面で、オゾン
(請求項1)、酸化性溶液(請求項2)、または酸化性
ガス(請求項3)による酸化により、水酸基、カルボキ
シル基などの親水基を付加することができる。付加され
た親水基により、表面の親水性が向上し、リン酸などの
電解質の含浸性を向上することができる。
Further, in each method of the present invention, the impregnation property of the ribbed electrode with the electrolyte can be improved. On the surface of the carbon fiber or the like which is the base material of the ribbed electrode, oxidation of ozone (Claim 1), an oxidizing solution (Claim 2), or an oxidizing gas (Claim 3) causes the formation of hydroxyl groups, carboxyl groups, etc. Hydrophilic groups can be added. By the added hydrophilic group, the hydrophilicity of the surface is improved and the impregnating property of the electrolyte such as phosphoric acid can be improved.

【0019】なお、本発明の各方法は、燃料電池リブ付
電極だけでなく、炭素材料から形成され、一定の加工処
理を施されてなる炭素材料部品一般の洗浄方法として広
く適用可能であり、同様に、優れた作用効果を得られる
ものである。
The methods of the present invention can be widely applied not only to the fuel cell ribbed electrode but also to a general cleaning method for carbon material parts which are formed of a carbon material and are subjected to a certain processing treatment. Similarly, an excellent effect can be obtained.

【0020】[0020]

【実施例】以下には、本発明の方法に従って燃料電池リ
ブ付電極を洗浄する場合の複数の実施例について、図1
乃至図11を参照して具体的に説明する。この場合、図
1乃至図5は、請求項1の方法に従う第1実施例乃至第
5実施例をそれぞれ示す処理フロー、図6乃至図9は、
請求項2の方法に従う第6実施例乃至第9実施例をそれ
ぞれ示す処理フロー、図10及び図11は、請求項3の
方法に従う第10実施例及び第11実施例をそれぞれ示
す処理フローである。
EXAMPLES Hereinafter, a plurality of examples for cleaning a fuel cell ribbed electrode according to the method of the present invention will be described with reference to FIG.
It will be specifically described with reference to FIGS. In this case, FIGS. 1 to 5 are process flows showing the first to fifth embodiments according to the method of claim 1, and FIGS. 6 to 9 are
Processing flows showing sixth to ninth embodiments according to the method of claim 2, respectively, and FIG. 10 and FIG. 11 are processing flows showing respectively tenth embodiment and eleventh embodiment according to the method of claim 3. ..

【0021】 (1) 第1実施例(オゾン含有水による洗浄)…図1 図1に示す第1実施例は、溶存オゾンもしくはオゾン化
ガス気泡を含むオゾン含有水をリブ付電極に散布するよ
うに構成した実施例である。すなわち、図1において、
オゾン発生器11で発生させたオゾンを含むオゾン化ガ
スは、オゾン吸収塔12の底部に設けられた散気筒13
に送られ、この散気筒13から、オゾン吸収塔12内に
充填された水に対して細かい気泡として注入される。注
入されたオゾン化ガスの大部分は、気液接触により水中
に移行し、溶存オゾンとなる。
(1) First Embodiment (Washing with Ozone-Containing Water) ... FIG. 1 In the first embodiment shown in FIG. 1, ozone-containing water containing dissolved ozone or ozonized gas bubbles is sprayed on the ribbed electrode. It is an embodiment configured as follows. That is, in FIG.
The ozonized gas containing ozone generated by the ozone generator 11 is dispersed in the cylinder 13 provided at the bottom of the ozone absorption tower 12.
And is injected into the ozone absorption tower 12 as fine bubbles from the dispersion cylinder 13. Most of the injected ozonized gas moves to water by gas-liquid contact and becomes dissolved ozone.

【0022】このようにして得られた溶存オゾンもしく
はオゾン化ガス気泡を含むオゾン含有水は、オゾン吸収
塔12内から、送液ポンプ14により送出され、リブ付
電極2の上部に配されたノズル15から、リブ付電極2
の表面に吹き付けられ、リブ付電極2に接触する。この
場合、リブ付電極2は、網目状のコンベア16上に載置
されており、洗浄に必要な一定時間の間、ノズル15に
対向する所定の洗浄位置に停止した後、次の工程に送ら
れるようになっている。なお、図面の簡略化の観点か
ら、前後の工程のコンベアは図示していない。
The ozone-containing water containing dissolved ozone or ozonized gas bubbles obtained in this way is delivered from the ozone absorption tower 12 by the liquid delivery pump 14, and is a nozzle arranged above the ribbed electrode 2. 15 to the ribbed electrode 2
Is sprayed on the surface of the and contacts the electrode 2 with ribs. In this case, the ribbed electrode 2 is placed on the mesh-shaped conveyor 16, and is stopped at a predetermined cleaning position facing the nozzle 15 for a certain time required for cleaning, and then sent to the next step. It is designed to be used. Note that, from the viewpoint of simplification of the drawing, the conveyors in the front and rear steps are not shown.

【0023】そして、このように、ノズル15から、溶
存オゾンもしくはオゾン化ガス気泡を含むオゾン含有水
を、リブ付電極2の表面に一定時間の間吹き付け、接触
させることにより、リブ付電極2の有機性汚れ及び研磨
カスは、オゾンによる酸化及びオゾン含有水による洗浄
効果により除去される。
As described above, the ozone-containing water containing the dissolved ozone or the ozonized gas bubbles is sprayed from the nozzle 15 onto the surface of the ribbed electrode 2 for a certain period of time to bring it into contact with the surface of the ribbed electrode 2. Organic stains and polishing debris are removed by the oxidation effect of ozone and the cleaning effect of ozone-containing water.

【0024】また、リブ付電極2と接触し溶存オゾンの
大部分を消費したオゾン化ガス気泡を含むオゾン含有水
は、以下のようにして回収され、再びオゾン吸収塔12
内に送られて再利用される。すなわち、ノズル15に対
向するコンベア16の下方の位置には、受水槽17が配
置されており、ノズル15からリブ付電極2に吹き付け
られ、リブ付電極2と接触して溶存オゾンの大部分を消
費したオゾン化ガス気泡を含むオゾン含有水は、この受
水槽17内に落下する。この場合、受水槽17は、仕切
り板18で間仕切りされ、沈殿部19と上澄部20とに
分けられている。この構成により、洗浄によってオゾン
含有水中に混入した酸化物や研磨カスのうち、比較的大
きな研磨カス粒子は、受水槽17の沈殿部19に滞留し
てその底部に沈殿し、沈殿物排出バルブ21から排出さ
れ、別途処理される。
Further, the ozone-containing water containing the ozonized gas bubbles, which has contacted the ribbed electrode 2 and consumed most of the dissolved ozone, is recovered as follows, and the ozone absorption tower 12 is again used.
It is sent inside and reused. That is, a water receiving tank 17 is disposed below the conveyor 16 facing the nozzle 15, and is sprayed from the nozzle 15 onto the ribbed electrode 2 to come into contact with the ribbed electrode 2 to remove most of the dissolved ozone. The ozone-containing water containing the consumed ozonized gas bubbles falls into the water receiving tank 17. In this case, the water receiving tank 17 is partitioned by a partition plate 18 and divided into a settling section 19 and a supernatant section 20. With this configuration, among oxides and polishing dust mixed in the ozone-containing water due to cleaning, relatively large polishing dust particles stay in the settling section 19 of the water receiving tank 17 and settle at the bottom thereof, and the sediment discharge valve 21. It is discharged from and treated separately.

【0025】このように比較的大きな研磨カスを除去し
た後、受水槽17内のオゾン含有水は、上澄部20から
送出され、フィルタ22を通されることにより、小さな
研磨カス粒子や酸化物粒子などの混入物を除去される。
さらに、フィルタ22でろ過されたオゾン含有水は、循
環ポンプ23でオゾン吸収塔12の上部より散布され、
再び、オゾンを含むオゾン化ガスと接触させられる。な
お、図中24は、ノズル15の上部に配置されたフード
であり、リブ付電極2に対するオゾン含有水の吹き付け
時に発生した微量のオゾンを回収するために設けられて
いる。そして、オゾン吸収塔12で吸収されなかったオ
ゾンは、フード24で回収されたオゾンと共に、排オゾ
ン分解筒25で分解された後、排ガス用ブロワ26で大
気中に放出される。
After removing the relatively large polishing dust as described above, the ozone-containing water in the water receiving tank 17 is sent out from the supernatant portion 20 and passed through the filter 22 so that small polishing dust particles and oxides can be obtained. The contaminants such as particles are removed.
Further, the ozone-containing water filtered by the filter 22 is sprayed from the upper part of the ozone absorption tower 12 by the circulation pump 23,
Again, it is contacted with ozonated gas containing ozone. Reference numeral 24 in the drawing denotes a hood arranged above the nozzle 15, and is provided to collect a small amount of ozone generated when the ozone-containing water is sprayed onto the ribbed electrode 2. Then, the ozone that has not been absorbed by the ozone absorption tower 12 is decomposed by the exhaust ozone decomposing tube 25 together with the ozone recovered by the hood 24, and then released into the atmosphere by the exhaust gas blower 26.

【0026】なお、本実施例の方法は、具体的に、以下
のような条件で行われることが望ましい。まず、リブ付
電極2と接触させ、有機性汚れを酸化し、研磨カスを洗
浄除去するための溶存オゾンもしくはオゾン化ガス気泡
を含むオゾン含有水の溶存オゾン濃度は、少なくとも
0.5mg/l以上とすることが必要であり、より望ま
しくは、0.5〜2mg/l程度である。すなわち、
0.5mg/l以上であれば、濃度が高い方がより反応
性に優れ反応速度が速い反面、排オゾン量は増加するた
め、効率を考えた場合には、2mg/l以下とすること
が好ましい。一方、0.5mg/lを下回る場合には、
有機性汚れの酸化が不十分となり、有機性汚れを確実に
除去できなくなる可能性がある。
The method of this embodiment is preferably carried out under the following conditions. First, the dissolved ozone concentration for contacting the ribbed electrode 2 to oxidize organic dirt and washing and removing polishing dust or ozone-containing water containing ozonized gas bubbles is at least 0.5 mg / l or more. It is necessary to set it, and more preferably about 0.5 to 2 mg / l. That is,
If the concentration is 0.5 mg / l or more, the higher the concentration, the better the reactivity and the faster the reaction rate, but the amount of ozone discharged increases. preferable. On the other hand, if it is less than 0.5 mg / l,
There is a possibility that the organic stain is not sufficiently oxidized and the organic stain cannot be reliably removed.

【0027】次に、リブ付電極2に対するオゾン化ガス
気泡を含むオゾン含有水の吹き付け時間であるところ
の、リブ付電極2とオゾン含有水との接触時間は、少な
くとも5分以上とすることが必要であり、望ましくは、
5〜15分程度である。すなわち、接触時間が長い程、
反応を完全に行わせることが可能となるが、本実施例に
おける液相での酸化は、部分酸化であり、アルデヒド、
ケトン、カルボン酸などの中程度の酸化物が生成され、
これらの酸化物が、水を媒体として洗浄、除去されるた
め、5〜15分程度の比較的短時間の接触時間により、
十分に有機性汚れを除去できる。また、リブ付電極2に
目詰まりした研磨カスの除去に関しても、5〜15分程
度の比較的短時間の接触時間により、十分に目的を達成
することができる。
Next, the contact time between the ribbed electrode 2 and the ozone-containing water, which is the time for spraying the ozone-containing water containing the ozonized gas bubbles to the ribbed electrode 2, should be at least 5 minutes or longer. Necessary, and preferably,
It takes about 5 to 15 minutes. That is, the longer the contact time,
Although it is possible to completely carry out the reaction, the oxidation in the liquid phase in this example is a partial oxidation, and the aldehyde,
Moderate oxides such as ketones and carboxylic acids are produced,
Since these oxides are washed and removed using water as a medium, a relatively short contact time of about 5 to 15 minutes
The organic dirt can be removed sufficiently. Further, also for the removal of the polishing dust clogged in the ribbed electrode 2, the purpose can be sufficiently achieved by the relatively short contact time of about 5 to 15 minutes.

【0028】さらに、本実施例のように、ノズル15を
使用して、リブ付電極2にオゾン含有水を吹き付ける方
法は、リブ付電極2に溶存オゾンもしくはオゾン化ガス
気泡を含むオゾン含有水を効果的に供給するための方法
として極めて有効であるが、より具体的には、ノズル1
5をできるだけリブ付電極2に接近させ、且つ、均等に
配置することによって、オゾン含有水を最も効率良く供
給できる。さらに望ましくは、オゾン含有水を加圧した
状態でノズルからリブ付電極に吹き付けることにより、
一層効果的な洗浄を行うことができる。付加的に、リブ
付電極2を反転させて両面処理すれば、より効果的であ
る。
Further, as in the present embodiment, the method of spraying the ozone-containing water to the ribbed electrode 2 using the nozzle 15 is performed by dissolving the ozone-containing water containing dissolved ozone or ozonized gas bubbles in the ribbed electrode 2. It is extremely effective as a method for supplying effectively, but more specifically, the nozzle 1
The ozone-containing water can be supplied most efficiently by arranging 5 as close as possible to the ribbed electrode 2 and arranging them evenly. More desirably, by spraying ozone-containing water under pressure from the nozzle to the ribbed electrode,
More effective cleaning can be performed. In addition, it is more effective if the ribbed electrode 2 is inverted and double-sided.

【0029】以上説明したように、本実施例において
は、溶存オゾンもしくはオゾン化ガス気泡を含むオゾン
含有水を、ノズルを使用してリブ付電極に吹き付けるこ
とにより、リブ付電極の表面に付着した有機性汚れは、
溶存オゾンと接触することにより液相で部分酸化され、
オゾン含有水に溶解し、あるいは懸濁して、容易且つ確
実に除去される。同時に、リブ付電極中に目詰まりした
研磨カスは、オゾン含有水による洗浄効果だけでなく、
細かいオゾン化ガス気泡による機械的洗浄効果も加わ
り、オゾン含有水と共に流出して、容易且つ確実に除去
される。
As described above, in the present embodiment, the ozone-containing water containing dissolved ozone or ozonized gas bubbles was sprayed onto the ribbed electrode by using the nozzle to adhere to the surface of the ribbed electrode. Organic stains
Partial oxidation in the liquid phase by contact with dissolved ozone,
It is easily or reliably removed by dissolving or suspending in ozone-containing water. At the same time, the polishing debris clogged in the ribbed electrode not only has the effect of cleaning with ozone-containing water,
The mechanical cleaning effect of fine ozonized gas bubbles is added, and it flows out together with ozone-containing water and is easily and surely removed.

【0030】このように、本実施例の洗浄方法により、
リブ付電極の表面に付着した有機性汚れを十分に除去す
ることができるため、この洗浄を行ったリブ付電極にお
いては、従来のように触媒焼成時における触媒の燃焼は
発生しない。具体的に、本実施例の洗浄を施したリブ付
電極と、本実施例の洗浄を施さない従来のリブ付電極と
における、1000枚の電極処理に対する触媒燃焼発生
数を調べたところ、以下の表1に示すような結果が得ら
れた。すなわち、表1に示すように、本実施例の洗浄を
施したリブ付電極においては、1000枚の電極処理に
対しても、触媒燃焼を発生したものは皆無であった。
As described above, according to the cleaning method of this embodiment,
Since the organic dirt adhering to the surface of the ribbed electrode can be sufficiently removed, in the thus cleaned ribbed electrode, combustion of the catalyst at the time of catalyst burning does not occur unlike the conventional case. Specifically, the number of catalytic combustion occurrences for 1000 electrode treatments in the cleaned ribbed electrode of the present example and the conventional non-cleaned ribbed electrode of the present example was examined. The results shown in Table 1 were obtained. That is, as shown in Table 1, none of the cleaned electrodes with ribs of the present example generated catalytic combustion even after the electrode treatment of 1000 sheets.

【0031】[0031]

【表1】 また、目詰まりした研磨カスが、オゾン含有水による洗
浄効果により十分に除去されるため、ガス透過性が向上
する。具体的に、一定の条件で、本実施例の洗浄を施し
たリブ付電極と、本実施例の洗浄を施さない従来のリブ
付電極とにおけるガス透過性の平均値を調べたところ、
以下の表2に示すような結果が得られた。すなわち、表
2に示すように、本実施例の洗浄を施したリブ付電極
は、従来のリブ付電極に比べて、平均で約14%も透過
性が向上した。
[Table 1] Further, since the clogged polishing dust is sufficiently removed by the cleaning effect of the ozone-containing water, the gas permeability is improved. Specifically, under a certain condition, the average value of the gas permeability of the cleaned ribbed electrode of the present example and the conventional ribbed electrode of the present example that was not cleaned was examined,
The results shown in Table 2 below were obtained. That is, as shown in Table 2, the ribbed electrode of the present example was improved in transparency by about 14% on average as compared with the conventional ribbed electrode.

【0032】[0032]

【表2】 以上の効果に加えて、本実施例の洗浄を施したリブ付電
極においては、表面親水性が向上し、リン酸濡れ性が良
くなる傾向が確認された。これは、本実施例の洗浄によ
り、リブ付電極の基材であるカーボン繊維などがオゾン
で表面酸化され、水酸基、カルボキシル基などの親水基
が表面に付加されたものと推測される。具体的に、本実
施例の洗浄を施したリブ付電極と、本実施例の洗浄を施
さない従来のリブ付電極とにおけるリン酸濡れ性を調べ
たところ、以下の表3に示すような結果が得られた。な
お、この表3の値は、リブ付電極からサンプル(20×
200m)を切り出し、その先端の約5mmを85%リ
ン酸溶液中に浸漬する形で垂直に立て、室温において放
置し、1時間あたりのリン酸浸透量を調べた結果を示し
ている。すなわち、表3に示すように、本実施例の洗浄
を施したリブ付電極は、従来のリブ付電極に比べて、約
17%もリン酸濡れ性が向上した。
[Table 2] In addition to the above effects, it was confirmed that in the cleaned ribbed electrode of this example, the surface hydrophilicity was improved and the phosphoric acid wettability was improved. It is presumed that this is because the cleaning performed in the present example resulted in surface oxidation of carbon fibers, which are the base material of the ribbed electrode, by ozone, and addition of hydrophilic groups such as hydroxyl groups and carboxyl groups to the surface. Specifically, when the phosphoric acid wettability of the cleaned ribbed electrode of this example and the conventional non-cleaned ribbed electrode of this example was examined, the results shown in Table 3 below were obtained. was gotten. In addition, the values in Table 3 are obtained by using a sample (20 ×
200 m) is cut out, and about 5 mm at the tip is vertically set so as to be immersed in an 85% phosphoric acid solution, left standing at room temperature, and the permeation amount of phosphoric acid per hour is examined. That is, as shown in Table 3, the ribbed electrode of the present example, which has been subjected to the cleaning, has improved phosphoric acid wettability by about 17% as compared with the conventional ribbed electrode.

【0033】[0033]

【表3】 さらに、前述のように、本実施例の洗浄を施したリブ付
電極においては、目詰まりした研磨カスが、オゾン含有
水により十分に除去されるため、リブ付電極に含浸した
リン酸の分布も改良され、ほぼ均一にリン酸が存在する
ことが確認された。すなわち、前述の通り、従来のリブ
付電極においては、研磨カスが目詰まりした部分としな
かった部分とで平均気孔径に差を生じ、その結果、リン
酸の偏在が生じる問題があったが、本実施例の洗浄を施
すことにより、研磨カスが十分に除去されるため、平均
気孔径が均一化され、その結果として、リン酸の均一分
布が可能となる。
[Table 3] Further, as described above, in the cleaned ribbed electrode of this example, the clogged polishing residue is sufficiently removed by the ozone-containing water, so that the distribution of phosphoric acid impregnated in the ribbed electrode is also It was confirmed that the phosphoric acid was improved and was almost uniformly present. That is, as described above, in the conventional ribbed electrode, there is a difference in the average pore diameter between the portion where the polishing residue is clogged and the portion where the polishing residue is not clogged, resulting in uneven distribution of phosphoric acid. By performing the cleaning of this embodiment, the polishing dust is sufficiently removed, so that the average pore diameter is made uniform, and as a result, the phosphoric acid can be uniformly distributed.

【0034】 (2) 第2実施例(オゾン含有水による洗浄)…図2 図2に示す第2実施例は、前記第1実施例と同様に、溶
存オゾンもしくはオゾン化ガス気泡を含むオゾン含有水
をリブ付電極に散布する一方、前記第1実施例とは異な
り、オゾン吸収塔を省略して構成を簡略化した実施例で
ある。なお、図2において、第1実施例と同一部分には
同一符号を付し、説明を省略する。
(2) Second Embodiment (Washing with Ozone-Containing Water) ... FIG. 2 The second embodiment shown in FIG. 2 contains dissolved ozone or ozone containing ozone-containing gas bubbles as in the first embodiment. Unlike the first embodiment, water is sprayed on the ribbed electrodes, and the ozone absorption tower is omitted to simplify the structure. In FIG. 2, the same parts as those in the first embodiment are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted.

【0035】すなわち、図2において、オゾン発生器1
1で発生させたオゾンを含むオゾン化ガスは、受水槽2
1の底部に設けられた散気筒13に送られ、この散気筒
13から、受水槽21内に充填された水に対して細かい
気泡として注入される。注入されたオゾン化ガスの大部
分は、気液接触により水中に移行し、溶存オゾンとな
る。受水槽17内の溶存オゾンもしくはオゾン化ガス気
泡を含むオゾン含有水は、上澄部20から送出され、フ
ィルタ22を通されることにより、小さな研磨カス粒子
や酸化物粒子などの混入物を除去される。このように、
フィルタ22でろ過されたオゾン含有水は、循環ポンプ
23で送出され、リブ付電極2の上部に配されたノズル
15から、リブ付電極2の表面に吹き付けられ、リブ付
電極2に接触する。
That is, in FIG. 2, the ozone generator 1
Ozonized gas containing ozone generated in 1 is received in the water receiving tank 2
The water is sent to a dispersion cylinder 13 provided at the bottom of No. 1 and is injected as fine bubbles into the water filled in the water receiving tank 21 from the dispersion cylinder 13. Most of the injected ozonized gas moves to water by gas-liquid contact and becomes dissolved ozone. The ozone-containing water containing dissolved ozone or ozonized gas bubbles in the water receiving tank 17 is sent from the supernatant section 20 and passed through the filter 22 to remove contaminants such as small polishing dust particles and oxide particles. To be done. in this way,
The ozone-containing water filtered by the filter 22 is delivered by the circulation pump 23, sprayed onto the surface of the ribbed electrode 2 from the nozzle 15 arranged above the ribbed electrode 2, and contacts the ribbed electrode 2.

【0036】また、受水槽17の沈殿部19に沈殿した
大きな研磨カス粒子は、前記第1実施例と同様に、沈殿
物排出バルブ21で処理され、受水槽17中で水に吸収
されなかったオゾンは、前記第1実施例と同様に、ノズ
ル15の上部に配置されたフード24によって回収さ
れ、排オゾン分解筒25で分解された後、排ガス用ブロ
ワ26で大気中に放出される。
Further, the large abrasive dust particles settled in the settling section 19 of the water receiving tank 17 were treated by the sediment discharge valve 21 as in the first embodiment, and were not absorbed by water in the water receiving tank 17. As in the first embodiment, ozone is collected by the hood 24 arranged above the nozzle 15, decomposed by the exhaust ozone decomposing tube 25, and then released into the atmosphere by the exhaust gas blower 26.

【0037】以上のような構成を有する本実施例におい
ては、前記第1実施例と同様の作用効果を得られること
に加えて、第1実施例において使用していたオゾン吸収
塔12及び送液ポンプ14を省略し、受水槽17中で直
接気液接触させて溶存オゾンを生成させる方式であるた
め、システムが簡単であるという長所がある。なお、受
水槽17中での気液接触による水中へのオゾン吸収効率
は、オゾン吸収塔12を使用した場合に比べて低いた
め、その分だけ受水槽の水深を深くする必要がある。
In the present embodiment having the above-mentioned structure, in addition to obtaining the same effects as the first embodiment, the ozone absorption tower 12 and the liquid sending used in the first embodiment are obtained. Since the pump 14 is omitted and the dissolved ozone is generated by direct gas-liquid contact in the water receiving tank 17, there is an advantage that the system is simple. Since the ozone absorption efficiency in water due to the gas-liquid contact in the water receiving tank 17 is lower than that in the case where the ozone absorption tower 12 is used, it is necessary to make the water depth of the water receiving tank deeper accordingly.

【0038】 (3) 第3実施例(オゾン含有水による洗浄)…図3 図3に示す第3実施例は、前記第1実施例と同様に、オ
ゾン吸収塔を使用して溶存オゾンを生成する一方、前記
第1実施例とは異なり、溶存オゾンもしくはオゾン化ガ
ス気泡を含むオゾン含有水中に直接リブ付電極を浸漬す
るように構成した実施例である。なお、図3において、
第1実施例と同一部分には同一符号を付し、説明を省略
する。
(3) Third Example (Washing with Ozone-Containing Water) ... FIG. 3 In the third example shown in FIG. 3, dissolved ozone is produced using an ozone absorption tower, as in the first example. On the other hand, unlike the first embodiment, this is an embodiment in which the ribbed electrode is directly immersed in ozone-containing water containing dissolved ozone or ozonized gas bubbles. In addition, in FIG.
The same parts as those in the first embodiment are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted.

【0039】すなわち、図3において、リブ付電極2
は、溶存オゾンもしくはオゾン化ガス気泡を含むオゾン
含有水を充填した反応槽27の上部に固定される。この
場合、リブ付電極2は、機械的強度が弱く、そのままで
は固定できないため、例えば、粗い目の金網に挟んで固
定される。また、リブ付電極2周囲からのオゾン含有水
のショートパスを防止するように、その周囲はシール材
28でシールされる。そして、オゾン吸収塔12内の、
溶存オゾンもしくはオゾン化ガス気泡を含むオゾン含有
水は、送液ポンプ14により送出され、反応槽27の底
部より流入し、反応槽27の上部に固定されたリブ付電
極2と接触しながら、リブ付電極2の隙間を通過する。
この時、リブ付電極2の有機性汚れは、オゾンによる酸
化を受け、また、研磨カスは、オゾン含有水による洗浄
効果、及び細かいオゾン化ガス気泡による機械的洗浄効
果により除去される。
That is, referring to FIG. 3, the ribbed electrode 2
Is fixed to the upper part of the reaction tank 27 filled with ozone-containing water containing dissolved ozone or ozonized gas bubbles. In this case, the ribbed electrode 2 is weak in mechanical strength and cannot be fixed as it is, and therefore, the ribbed electrode 2 is fixed by being sandwiched between coarse meshes. Further, the periphery of the ribbed electrode 2 is sealed with a sealing material 28 so as to prevent a short pass of the ozone-containing water from the periphery thereof. And in the ozone absorption tower 12,
The ozone-containing water containing dissolved ozone or ozonized gas bubbles is delivered by the liquid delivery pump 14, flows in from the bottom of the reaction tank 27, and comes into contact with the ribbed electrode 2 fixed to the upper portion of the reaction tank 27, It passes through the gap between the attached electrodes 2.
At this time, the organic stains on the ribbed electrode 2 are oxidized by ozone, and the polishing dust is removed by the cleaning effect of the ozone-containing water and the mechanical cleaning effect of the fine ozonized gas bubbles.

【0040】このようにしてリブ付電極2の隙間を通過
したオゾン含有水は、反応槽27の上部から送出され、
フィルタ22によって、小さな研磨カスや酸化物粒子な
どの混入物を除去された後、循環ポンプ23でオゾン吸
収塔12の上部より散布され、再び、オゾンを含むオゾ
ン化ガスと接触させられる。なお、図示していないが、
比較的大きな研磨カスやその他の混入物が多い場合に
は、フィルタ22の負荷が大きくなるので、反応槽27
の一部を沈殿部とするか、あるいは、フィルタ22の前
に沈殿槽を別に設け、予め大きな研磨カスを除去するよ
うに構成することが望ましい。
The ozone-containing water that has passed through the gap between the ribbed electrodes 2 in this manner is sent out from the upper portion of the reaction tank 27,
After the filter 22 removes contaminants such as small polishing dust and oxide particles, it is sprayed from the upper part of the ozone absorption tower 12 by the circulation pump 23 and again brought into contact with ozone-containing gas containing ozone. Although not shown,
When a relatively large amount of polishing debris and other contaminants are present, the load on the filter 22 increases, so the reaction tank 27
It is desirable that a part of the above is used as a settling section, or that a settling tank is separately provided before the filter 22 to remove large polishing dust in advance.

【0041】以上のような構成を有する本実施例におい
ては、溶存オゾンもしくはオゾン化ガス気泡を含むオゾ
ン含有水が、リブ付電極2の隙間を必ず通過するため、
確実にオゾン洗浄できる利点がある。また、本実施例の
構成においては、リブ付電極2の隙間を通過するオゾン
含有水の流速を適切に管理することが重要である。さら
に、本実施例では、反応槽27内におけるオゾン含有水
の流れ方向が上昇流となるように構成したが、逆に、オ
ゾン含有水を反応槽27の上部から流入させ、底部から
送出して、反応槽27内におけるオゾン含有水の流れ方
向が下降流となるように構成することも可能である。こ
の場合、オゾン含有水による洗浄効果は上昇流とした場
合よりも若干低下する傾向にあるが、オゾン吸収効率は
向上し、有機性汚れは分解し易くなるという利点があ
る。
In the present embodiment having the above-mentioned structure, since ozone-containing water containing dissolved ozone or ozonized gas bubbles always passes through the gap between the ribbed electrodes 2,
There is an advantage that ozone cleaning can be surely performed. Further, in the configuration of the present embodiment, it is important to properly control the flow velocity of ozone-containing water that passes through the gap between the ribbed electrodes 2. Further, in the present embodiment, the flow direction of the ozone-containing water in the reaction tank 27 is configured to be an upward flow, but conversely, the ozone-containing water is made to flow in from the upper part of the reaction tank 27 and sent out from the bottom part. It is also possible that the flow direction of the ozone-containing water in the reaction tank 27 is a downward flow. In this case, the cleaning effect by the ozone-containing water tends to be slightly lower than that in the case of using the upward flow, but there is an advantage that the ozone absorption efficiency is improved and the organic dirt is easily decomposed.

【0042】 (4) 第4実施例(オゾン含有水による洗浄)…図4 図4に示す第4実施例は、前記第3実施例の構成に加え
て、紫外線ランプを設置した実施例である。すなわち、
図4において、反応槽27の上部に固定されたリブ付電
極2の下部には、紫外線ランプ29が設置され、紫外線
が照射される。このように構成した場合には、前記第3
実施例の作用効果に加えて、さらに、紫外線の照射によ
って、水中でのオゾンの自己分解が促進され、より酸化
力の強い酸素ラジカル、ヒドロキシルラジカル、過酸化
水素ラジカルが生成され、これらのラジカル類によっ
て、有機性汚れの分解が促進される。この場合、ラジカ
ル類は、活性が高く寿命が短いため、紫外線ランプ29
は、なるべくリブ付電極2の表面近くに設置されること
が望ましい。
(4) Fourth Embodiment (Washing with Ozone-Containing Water) ... FIG. 4 The fourth embodiment shown in FIG. 4 is an embodiment in which an ultraviolet lamp is installed in addition to the configuration of the third embodiment. .. That is,
In FIG. 4, an ultraviolet lamp 29 is installed below the ribbed electrode 2 fixed to the upper part of the reaction tank 27 and is irradiated with ultraviolet rays. When configured in this way, the third
In addition to the action and effect of the example, further, by irradiation of ultraviolet rays, the self-decomposition of ozone in water is promoted, and oxygen radicals, hydroxyl radicals, and hydrogen peroxide radicals having stronger oxidizing power are generated. This accelerates the decomposition of organic dirt. In this case, the radicals have a high activity and a short life, so that the ultraviolet lamp 29
Is preferably installed as close to the surface of the ribbed electrode 2 as possible.

【0043】 (5) 第5実施例(オゾン含有水による洗浄)…図5 図5に示す第5実施例は、前記第3実施例と同様に、溶
存オゾンもしくはオゾン化ガス気泡を含むオゾン含有水
中に直接リブ付電極を浸漬する一方、前記第3実施例と
は異なり、オゾン吸収塔12を省略して構成を簡略化し
た実施例であり、反応槽27の底部に設けた散気筒13
から直接反応槽27中にオゾン化ガスを注入するように
構成されている。このように構成した場合には、システ
ムをより簡略化できるという利点がある。
(5) Fifth Embodiment (Washing with Ozone-Containing Water) ... FIG. 5 The fifth embodiment shown in FIG. 5 is similar to the third embodiment, and contains ozone containing dissolved ozone or ozonized gas bubbles. Unlike the third embodiment, the electrode with ribs is directly immersed in water, but the ozone absorption tower 12 is omitted to simplify the structure. The cylinder 13 is provided at the bottom of the reaction tank 27.
Is configured to directly inject the ozonized gas into the reaction tank 27. With such a configuration, there is an advantage that the system can be simplified.

【0044】 (6) 第6実施例(酸化性溶液による洗浄)…図6 図6に示す第6実施例は、酸化性溶液をリブ付電極に散
布するように構成した実施例である。すなわち、受水槽
17の上澄部20の酸化性溶液は、フィルタ22で、小
さな研磨カス粒子や酸化物粒子などの混入物を除去され
た後、循環ポンプ23により送出され、リブ付電極2の
上部に配されたノズル15から、リブ付電極2の表面に
一定時間吹き付けられ、リブ付電極2に接触する。
(6) Sixth Embodiment (Washing with Oxidizing Solution) ... FIG. 6 The sixth embodiment shown in FIG. 6 is an embodiment in which the oxidizing solution is sprayed on the ribbed electrodes. That is, the oxidizing solution in the supernatant portion 20 of the water receiving tank 17 is filtered by the filter 22 to remove contaminants such as small polishing dust particles and oxide particles, and then sent out by the circulation pump 23, so that the ribbed electrode 2 of the ribbed electrode 2 is discharged. From the nozzle 15 arranged on the upper portion, the surface of the ribbed electrode 2 is sprayed for a certain period of time and comes into contact with the ribbed electrode 2.

【0045】そして、このように、ノズル15から、酸
化性溶液をリブ付電極2の表面に一定時間吹き付け、接
触させることにより、リブ付電極2の有機性汚れ及び研
磨カスは、酸化性溶液による酸化及び洗浄効果により除
去される。
As described above, by spraying the oxidizing solution from the nozzle 15 onto the surface of the ribbed electrode 2 for a certain period of time and bringing them into contact with each other, organic stains and polishing debris on the ribbed electrode 2 are caused by the oxidizing solution. It is removed by the effect of oxidation and washing.

【0046】また、リブ付電極2と接触し、酸化能力の
低下した酸化性溶液は、受水槽17に落下し、洗浄によ
って酸化性溶液中に混入した酸化物や研磨カスのうち、
比較的大きな研磨カス粒子は、受水槽17の沈殿部19
に滞留してその底部に沈殿し、沈殿物排出バルブ21か
ら排出され、別途処理される。このように比較的大きな
研磨カスを除去した後、受水槽17内の酸化性溶液は、
上澄部20から送出され、フィルタ22を通されること
により、小さな研磨カス粒子や酸化物粒子などの混入物
を除去される。さらに、フィルタ22でろ過された酸化
性溶液は、循環ポンプ23でノズル15に送られ、再び
リブ付電極2の表面に吹き付けられる。このような酸化
性溶液とリブ付電極2との接触により、微量の酸化性溶
液のミスト及び酸化性ガスが発生するが、これらのミス
ト及びガスは、ノズル15の上部に配置されたフード2
4から排出され、排ガス処理筒31で分解された後、ブ
ロワ26で大気中に放出される。
Further, the oxidizing solution which has come into contact with the ribbed electrode 2 and whose oxidizing ability has been lowered falls into the water receiving tank 17, and out of oxides and polishing dust mixed in the oxidizing solution by washing,
The relatively large abrasive dust particles are collected in the settling portion 19 of the water receiving tank 17.
Accumulated on the bottom of the tank and settles on the bottom of the tank, and is discharged from the precipitate discharge valve 21 and separately processed. After removing the relatively large polishing dust, the oxidizing solution in the water receiving tank 17 is
By being sent out from the supernatant portion 20 and passed through the filter 22, contaminants such as small polishing dust particles and oxide particles are removed. Further, the oxidizing solution filtered by the filter 22 is sent to the nozzle 15 by the circulation pump 23 and is again sprayed on the surface of the ribbed electrode 2. Due to such contact between the oxidizing solution and the ribbed electrode 2, a small amount of mist and oxidizing gas of the oxidizing solution are generated. These mist and gas are generated in the hood 2 arranged above the nozzle 15.
4, is decomposed in the exhaust gas processing cylinder 31, and then is discharged into the atmosphere by the blower 26.

【0047】さらに、酸化性溶液の酸化能力の低下を補
うために、酸化性溶液タンク32から、高濃度酸化性溶
液が、薬注ポンプ33により、一定流量で受水槽17の
上澄部20に注入される。この結果、酸化能力の低下し
た酸化性溶液は、高濃度酸化性溶液の注入分に応じて、
受水槽17の沈殿部19側から、オーバーフロー管34
を経て、系外に排出される。
Further, in order to compensate for the decrease in the oxidizing ability of the oxidizing solution, the highly concentrated oxidizing solution is supplied from the oxidizing solution tank 32 to the supernatant part 20 of the water receiving tank 17 at a constant flow rate by the chemical injection pump 33. Injected. As a result, the oxidative solution with reduced oxidative capacity, depending on the injection amount of the high-concentration oxidative solution,
From the settling part 19 side of the water receiving tank 17, the overflow pipe 34
And then discharged to the outside of the system.

【0048】また、図示していないが、必要によって
は、この後の工程で、水洗浄により、リブ付電極2表面
に付着している酸化性溶液を除去する。
Although not shown, if necessary, the oxidizing solution adhering to the surface of the ribbed electrode 2 is removed by washing with water in the subsequent step.

【0049】なお、本実施例の方法は、具体的に、以下
のような条件で行われることが望ましい。まず、リブ付
電極2と接触させ、有機性汚れを酸化し、研磨カスを洗
浄除去するための酸化性溶液は、過酸化水素、次亜塩素
酸、過マンガン酸、フッ化水素酸、硝酸の少なくとも1
種であり、より望ましくは、過酸化水素である。すなわ
ち、過酸化水素は、前記の酸化性溶液の中では、フッ化
水素酸に次いで酸化力が強く、リブ付電極の表面に付
着、残留しても容易に分解し、無害化するため、完成し
た燃料電池に悪影響を及ぼさないという利点がある。こ
れに対し、フッ化水素酸は、最も酸化力が強いが、取扱
いが困難である。また、次亜塩素酸は、通常、ナトリウ
ム塩として使用され、ナトリウムが残留するため、後段
の工程で水洗浄する必要があり、その分だけ工程数が増
えてしまう。過マンガン酸も同様に水洗浄が必要であ
る。一方、硝酸は、酸化力が弱いため、酸化に長時間を
要し、処理時間が長くなる。
The method of this embodiment is preferably carried out under the following conditions. First, an oxidizing solution for contacting the ribbed electrode 2 to oxidize organic stains and washing and removing polishing dust is hydrogen peroxide, hypochlorous acid, permanganic acid, hydrofluoric acid or nitric acid. At least 1
Seed, more preferably hydrogen peroxide. In other words, hydrogen peroxide has the strongest oxidizing power next to hydrofluoric acid in the above-mentioned oxidizing solution, and is easily decomposed even if it adheres to and remains on the surface of the ribbed electrode, making it harmless. There is an advantage that it does not adversely affect the fuel cell. On the other hand, hydrofluoric acid has the strongest oxidizing power, but is difficult to handle. In addition, hypochlorous acid is usually used as a sodium salt, and since sodium remains, it is necessary to wash with water in a subsequent step, and the number of steps increases accordingly. Similarly, permanganate requires washing with water. On the other hand, since nitric acid has a weak oxidizing power, it takes a long time to oxidize and the treatment time becomes long.

【0050】次に、リブ付電極2に対する酸化性溶液の
吹き付け時間、すなわち、リブ付電極2と酸化性溶液と
の接触時間は、溶存オゾンもしくはオゾン化ガス気泡を
含むオゾン含有水を使用した場合(第1実施例)と同様
に、少なくとも5分以上とすることが必要であり、望ま
しくは、5〜15分程度である。すなわち、接触時間が
長い程、反応を完全に行わせることが可能となるが、本
実施例における液相での酸化は、部分酸化であり、アル
デヒド、ケトン、カルボン酸などの中程度の酸化物が生
成され、これらの酸化物が、水を媒体として洗浄、除去
されるため、5〜15分程度の比較的短時間の接触時間
により、十分に有機性汚れを除去できる。また、リブ付
電極2に目詰まりした研磨カスの除去に関しても、5〜
15分程度の比較的短時間の接触時間により、十分に目
的を達成することができる。
Next, the time for spraying the oxidizing solution onto the ribbed electrode 2, that is, the contact time between the ribbed electrode 2 and the oxidizing solution, is the case when dissolved ozone or ozone-containing water containing ozonized gas bubbles is used. As in the case of the first embodiment, it is necessary to set at least 5 minutes or more, and preferably about 5 to 15 minutes. That is, the longer the contact time, the more completely the reaction can be carried out, but the oxidation in the liquid phase in this example is partial oxidation, and a medium-grade oxide such as an aldehyde, a ketone or a carboxylic acid is used. Are generated and these oxides are washed and removed using water as a medium, so that the organic stains can be sufficiently removed by a relatively short contact time of about 5 to 15 minutes. In addition, regarding the removal of the polishing dust clogging the ribbed electrode 2,
A relatively short contact time of about 15 minutes can sufficiently achieve the purpose.

【0051】さらに、本実施例のように、ノズル15を
使用して、リブ付電極2に酸化性溶液を吹き付ける方法
は、リブ付電極2に酸化性溶液を効果的に供給するため
の方法として極めて有効であるが、より具体的には、ノ
ズル15をできるだけリブ付電極2に接近させ、且つ、
均等に配置することによって、オゾン含有水を最も効率
良く供給できる。付加的に、リブ付電極2を反転させて
両面処理すれば、より効果的である。
Further, the method of spraying the oxidizing solution onto the ribbed electrode 2 using the nozzle 15 as in this embodiment is a method for effectively supplying the oxidizing solution to the ribbed electrode 2. It is extremely effective, but more specifically, the nozzle 15 is brought as close as possible to the ribbed electrode 2, and
By arranging them evenly, ozone-containing water can be supplied most efficiently. In addition, it is more effective if the ribbed electrode 2 is inverted and double-sided.

【0052】以上説明したように、本実施例において
は、酸化性溶液を、ノズルを使用してリブ付電極に吹き
付けることにより、リブ付電極の表面に付着した有機性
汚れは、酸化性溶液と接触することにより液相で部分酸
化され、酸化性溶液に溶解し、あるいは懸濁して、容易
且つ確実に除去される。同時に、リブ付電極中に目詰ま
りした研磨カスは、酸化性溶液による洗浄効果により、
酸化性溶液と共に流出して、容易且つ確実に除去され
る。また、酸化性溶液を加圧した状態でノズルからリブ
付電極に吹き付けることにより、さらに効果的な洗浄を
行うことができる。
As described above, in this embodiment, the oxidizing solution is sprayed onto the ribbed electrode using the nozzle so that the organic stains adhering to the surface of the ribbed electrode are treated with the oxidizing solution. Upon contact, it is partially oxidized in the liquid phase and dissolved or suspended in an oxidizing solution to be easily and surely removed. At the same time, the polishing debris clogged in the ribbed electrode is due to the cleaning effect of the oxidizing solution,
It flows out with the oxidizing solution and is easily and reliably removed. Further, by spraying the oxidizing solution on the ribbed electrode from the nozzle in a pressurized state, more effective cleaning can be performed.

【0053】このように、本実施例の洗浄方法により、
リブ付電極の表面に付着した有機性汚れを十分に除去す
ることができるため、この洗浄を行ったリブ付電極にお
いては、従来のように触媒焼成時における触媒の燃焼は
発生しない。具体的に、本実施例の洗浄を施したリブ付
電極と、本実施例の洗浄を施さない従来のリブ付電極と
における、1000枚の電極処理に対する触媒燃焼発生
数を調べたところ、前記の表1に示した第1実施例の結
果と同様の結果が得られた。すなわち、本実施例の洗浄
を施したリブ付電極においては、1000枚の電極処理
に対しても、触媒燃焼を発生したものは皆無であった。
As described above, according to the cleaning method of this embodiment,
Since the organic dirt adhering to the surface of the ribbed electrode can be sufficiently removed, in the thus cleaned ribbed electrode, combustion of the catalyst at the time of catalyst burning does not occur unlike the conventional case. Specifically, the number of occurrences of catalytic combustion for 1000 electrode treatments of the cleaned ribbed electrode of this example and the conventional non-cleaned ribbed electrode of this example was examined. The same result as the result of the first embodiment shown in Table 1 was obtained. That is, in the cleaned ribbed electrode of this example, no catalytic combustion occurred even after the treatment of 1000 electrodes.

【0054】また、目詰まりした研磨カスが、酸化性溶
液による洗浄効果により十分に除去されるため、ガス透
過性が向上する。具体的に、一定の条件で、本実施例の
洗浄を施したリブ付電極と、本実施例の洗浄を施さない
従来のリブ付電極とにおけるガス透過性の平均値を調べ
たところ、前記の表2に示した第1実施例の結果と同様
の結果が得られた。すなわち、本実施例の洗浄を施した
リブ付電極は、従来のリブ付電極に比べて、平均で約1
4%も透過性が向上した。
Further, since the clogged polishing dust is sufficiently removed by the cleaning effect of the oxidizing solution, the gas permeability is improved. Specifically, under a certain condition, the average value of the gas permeability of the cleaned ribbed electrode of the present example and the conventional ribbed electrode of the present example which was not cleaned was examined, Results similar to those of the first embodiment shown in Table 2 were obtained. That is, the cleaned ribbed electrode of this example is about 1 on average as compared with the conventional ribbed electrode.
The transparency was improved by 4%.

【0055】以上の効果に加えて、本実施例の洗浄を施
したリブ付電極においては、表面親水性が向上し、リン
酸濡れ性が良くなる傾向が確認された。これは、本実施
例の洗浄により、リブ付電極の基材であるカーボン繊維
などが酸化性溶液で表面酸化され、水酸基、カルボキシ
ル基などの親水基が表面に付加されたものと推測され
る。具体的に、本実施例の洗浄を施したリブ付電極と、
本実施例の洗浄を施さない従来のリブ付電極とにおける
リン酸濡れ性について、前記の第1実施例と同様の条件
で調べたところ、前記の表3に示した第1実施例の結果
と同様の結果が得られた。すなわち、本実施例の洗浄を
施したリブ付電極は、従来のリブ付電極に比べて、約1
7%もリン酸濡れ性が向上した。
In addition to the above effects, it was confirmed that in the cleaned ribbed electrode of this example, surface hydrophilicity was improved and phosphoric acid wettability was improved. It is presumed that this is because the cleaning performed in the present example caused surface oxidation of the carbon fiber, which is the base material of the ribbed electrode, by the oxidizing solution, and the addition of hydrophilic groups such as hydroxyl groups and carboxyl groups to the surface. Specifically, the ribbed electrode of the present example,
Phosphoric acid wettability of the conventional non-cleaned ribbed electrode of this example was examined under the same conditions as in the first example, and the results of the first example shown in Table 3 above were obtained. Similar results were obtained. That is, the cleaned ribbed electrode of the present embodiment is about 1 compared to the conventional ribbed electrode.
The wettability of phosphoric acid was improved by 7%.

【0056】さらに、前述のように、本実施例の洗浄を
施したリブ付電極においては、目詰まりした研磨カス
が、酸化性溶液により十分に除去されるため、リブ付電
極に含浸したリン酸の分布も改良され、ほぼ均一にリン
酸が存在することが確認された。すなわち、本実施例の
洗浄を施すことにより、研磨カスが十分に除去されるた
め、リブ付電極の平均気孔径が均一化され、その結果と
して、リン酸の均一分布が可能となる。
Further, as described above, in the cleaned ribbed electrode of this embodiment, the clogged polishing residue is sufficiently removed by the oxidizing solution, so that the phosphoric acid impregnated in the ribbed electrode is removed. Was also improved, and it was confirmed that phosphoric acid was present almost uniformly. That is, by performing the cleaning of this example, the polishing dust is sufficiently removed, so that the average pore diameter of the ribbed electrode is made uniform, and as a result, the phosphoric acid can be uniformly distributed.

【0057】 (7) 第7実施例(酸化性溶液による洗浄)…図7 図7に示す第7実施例は、前記第6実施例とは異なり、
酸化性溶液中に直接リブ付電極を浸漬するように構成し
た実施例である。すなわち、図7において、リブ付電極
2は、酸化性溶液を充填した反応槽27の上部に固定さ
れる。この場合、リブ付電極2は、機械的強度が弱く、
そのままでは固定できないため、例えば、粗い目の金網
に挟んで固定される。また、リブ付電極2周囲からの酸
化性溶液のショートパスを防止するように、その周囲は
シールされる。
(7) Seventh Embodiment (Washing with Oxidizing Solution) ... FIG. 7 The seventh embodiment shown in FIG. 7 is different from the sixth embodiment.
This is an example in which the ribbed electrode is directly immersed in an oxidizing solution. That is, in FIG. 7, the ribbed electrode 2 is fixed to the upper part of the reaction tank 27 filled with the oxidizing solution. In this case, the ribbed electrode 2 has weak mechanical strength,
Since it cannot be fixed as it is, it is fixed, for example, by sandwiching it with a coarse mesh. Further, the periphery of the ribbed electrode 2 is sealed so as to prevent a short pass of the oxidizing solution from the periphery thereof.

【0058】そして、反応槽27内の酸化性溶液は、反
応槽27の上部から送出され、フィルタ22によって、
研磨カスや酸化物粒子などの混入物を除去された後、循
環ポンプ23で反応槽27の下部から流入し、反応槽2
7の上部に固定されたリブ付電極と接触しながら、リブ
付電極2の隙間を通過する。この時、リブ付電極2の有
機性汚れは、酸化性溶液による酸化を受け、また、研磨
カスは、酸化性溶液による洗浄効果により除去される。
Then, the oxidizing solution in the reaction tank 27 is sent out from the upper part of the reaction tank 27, and by the filter 22,
After the contaminants such as polishing dust and oxide particles are removed, the circulating pump 23 flows in from the lower part of the reaction tank 27, and the reaction tank 2
While passing through the ribbed electrode fixed to the upper portion of the rib 7, the ribbed electrode 2 passes through the gap. At this time, the organic stains on the ribbed electrode 2 are oxidized by the oxidizing solution, and the polishing dust is removed by the cleaning effect of the oxidizing solution.

【0059】このようにしてリブ付電極2の隙間を通過
したオゾン含有水は、フィルタ22によって、小さな研
磨カスや酸化物粒子などを除去された後、循環ポンプ2
3により、再び反応槽27内に注入される。なお、図示
していないが、比較的大きな研磨カスやその他の混入物
が多い場合には、フィルタ22の負荷が大きくなるの
で、反応槽27の一部を沈殿部とするか、あるいは、フ
ィルタ22の前に沈殿槽を別に設け、予め大きな研磨カ
スを除去するように構成することが望ましい。
The ozone-containing water that has passed through the gaps between the ribbed electrodes 2 in this way is filtered by the filter 22 to remove small polishing debris and oxide particles, and then the circulation pump 2
Then, it is re-injected into the reaction tank 27 again. Although not shown, the load of the filter 22 increases when a relatively large amount of polishing debris and other contaminants are present. Therefore, a part of the reaction tank 27 is used as a sedimentation section or the filter 22 is used. It is desirable that a separate settling tank be provided before the above, and that large polishing debris be removed in advance.

【0060】以上のような構成を有する本実施例におい
ては、酸化性溶液が、リブ付電極2の隙間を必ず通過す
るため、確実に洗浄できる利点がある。また、本実施例
の構成においては、リブ付電極2の隙間を通過する酸化
性溶液の流速を適切に管理することが重要である。さら
に、本実施例では、反応槽27内における酸化性溶液の
流れ方向が上昇流となるように構成したが、逆に、酸化
性溶液を反応槽27の上部から流入させ、底部から送出
して、反応槽27内における酸化性溶液の流れ方向が下
降流となるように構成することも可能である。
In the present embodiment having the above-mentioned structure, the oxidizing solution always passes through the gap between the ribbed electrodes 2, so that there is an advantage that the cleaning can be surely performed. Further, in the configuration of the present embodiment, it is important to properly control the flow rate of the oxidizing solution passing through the gap between the ribbed electrodes 2. Furthermore, in the present embodiment, the oxidizing solution is configured to flow upward in the reaction tank 27, but conversely, the oxidizing solution is introduced from the upper portion of the reaction tank 27 and discharged from the bottom portion. The flow direction of the oxidizing solution in the reaction tank 27 may be a downward flow.

【0061】 (8) 第8実施例(酸化性溶液による洗浄)…図8 図8に示す第8実施例は、前記第7実施例の構成に加え
て、反応槽内に気泡を注入するように構成した実施例で
ある。すなわち、図8において、反応槽27内の底部に
は、細かい気孔を有する散気筒13が設置されており、
外部のコンプレッサ35によって発生させた加圧空気
は、散気筒13から酸化性溶液内に細かい気泡として注
入され、反応槽27内の上部に固定されたリブ付電極2
と接触する。このように構成した場合には、リブ付電極
2の隙間を通過する酸化性溶液による洗浄効果に、細か
い気泡による機械的洗浄効果が加わり、より効果的な洗
浄が行われ、より細かい研磨カスまで十分に除去するこ
とが可能となる。なお、この構成において、最も効果的
な洗浄効果を得るためには、散気筒13をできるだけリ
ブ付電極2の表面近くに設置して、より細かい気泡の状
態でリブ付電極2に接触させることが望ましい。
(8) Eighth Embodiment (Washing with Oxidizing Solution) ... FIG. 8 In addition to the configuration of the seventh embodiment, the eighth embodiment shown in FIG. 8 is designed to inject bubbles into the reaction tank. It is an embodiment configured as follows. That is, in FIG. 8, the scattering cylinder 13 having fine pores is installed at the bottom of the reaction tank 27.
The pressurized air generated by the external compressor 35 is injected into the oxidizing solution as fine bubbles from the scattering cylinder 13, and the ribbed electrode 2 fixed to the upper portion of the reaction tank 27 is used.
Contact with. In this case, the mechanical cleaning effect of fine air bubbles is added to the cleaning effect of the oxidizing solution passing through the gaps between the ribbed electrodes 2, so that more effective cleaning is performed and even finer polishing residue is obtained. It becomes possible to remove it sufficiently. In this configuration, in order to obtain the most effective cleaning effect, the scattering cylinders 13 should be installed as close as possible to the surface of the ribbed electrode 2 so that the ribbed electrode 2 is brought into contact with the ribbed electrode 2 in the form of finer bubbles. desirable.

【0062】 (9) 第9実施例(酸化性溶液による洗浄)…図9 図9に示す第9実施例は、前記第7実施例の構成に加え
て、反応槽27内の上部壁面に超音波振動子36を設置
した実施例である。このように構成した場合には、リブ
付電極2の隙間を通過する酸化性溶液による洗浄効果
に、超音波振動子36により発生させた超音波による超
音波洗浄効果が加わり、リブ付電極2でキャビテーショ
ン現象が生じる。従って、有機性汚れ及び研磨カスをリ
ブ付電極2から確実に剥離することができるため、より
効果的且つ短時間に、有機性汚れ及びより細かい研磨カ
スまで十分に除去することができる。
(9) Ninth Embodiment (Washing with Oxidizing Solution) ... FIG. 9 In addition to the configuration of the seventh embodiment, the ninth embodiment shown in FIG. This is an example in which a sound wave oscillator 36 is installed. In the case of such a configuration, the ultrasonic cleaning effect of the ultrasonic waves generated by the ultrasonic transducer 36 is added to the cleaning effect of the oxidizing solution that passes through the gaps of the ribbed electrode 2, and Cavitation phenomenon occurs. Therefore, since the organic dirt and the polishing dust can be reliably peeled from the ribbed electrode 2, the organic dirt and the finer polishing dust can be sufficiently removed more effectively and in a shorter time.

【0063】(10) 第10実施例(酸化性ガスとの
接触及び水洗浄)…図10 図10に示す第10実施例は、酸化性ガスとしてオゾン
を使用し、オゾンをリブ付電極に接触させた後、水洗浄
を行うように構成した実施例である。すなわち、図10
において、オゾン発生器11で発生させたオゾンを含む
オゾン化ガスは、昇圧装置41で加圧され、リブ付電極
2の上部に配されたガス噴出用ノズル42から、リブ付
電極2の表面に吹き付けられ、リブ付電極2に接触す
る。この場合、リブ付電極2は、網目状のガス接触用コ
ンベア16a上に載置されており、洗浄に必要な一定時
間の間、ガス噴出用ノズル42に対向する所定の洗浄位
置に停止した後、次の工程に送られる。そして、このよ
うに、リブ付電極2をオゾン化ガスと一定時間接触させ
ることにより、リブ付電極2の有機性汚れは、中程度の
酸化を受け、アルデヒド、ケトン、カルボン酸などが生
成され、これらの生成物及び研磨カスは、ガス吹き付け
による洗浄効果により除去される。
(10) Tenth Embodiment (Contact with Oxidizing Gas and Water Cleaning) ... FIG. 10 In the tenth embodiment shown in FIG. 10, ozone is used as the oxidizing gas and ozone is brought into contact with the ribbed electrode. In this embodiment, the cleaning is performed with water after the cleaning. That is, FIG.
In the above, the ozonized gas containing ozone generated by the ozone generator 11 is pressurized by the pressure increasing device 41, and is applied to the surface of the ribbed electrode 2 from the gas ejection nozzle 42 arranged above the ribbed electrode 2. It is sprayed and comes into contact with the ribbed electrode 2. In this case, the ribbed electrode 2 is placed on the mesh-shaped gas contacting conveyor 16a, and after stopping at a predetermined cleaning position facing the gas ejection nozzle 42 for a certain time required for cleaning. , Sent to the next step. Then, by contacting the ribbed electrode 2 with the ozonized gas for a certain period of time, the organic stains on the ribbed electrode 2 are subjected to moderate oxidation to generate aldehydes, ketones, carboxylic acids, and the like, These products and polishing debris are removed by the cleaning effect of gas blowing.

【0064】また、ガス噴出用ノズル42の上部には、
リブ付電極2と接触した後のオゾン化ガスを回収するフ
ード24が配置されている。すなわち、リブ付電極2と
接触した後のオゾン化ガスのほとんどは、まだ酸化能力
を十分に有しており、フード24によって回収され、ガ
ス用フィルタ43によって細かい研磨カスの粉塵を除去
された後、循環用ブロワ44によって昇圧装置41の手
前の配管に戻され、オゾン化ガスと合流した後、再び昇
圧装置41で加圧され、循環使用される。一方、リブ付
電極2の隙間を通過し、酸化能力の低下したオゾン化ガ
スは、研磨カスと共に、ガス接触用コンベア16aの下
方に配置された受槽45内に流入する。ここで、酸化能
力の低下したオゾン化ガスは、排ガス用フィルタ46に
よって細かい研磨カスの粉塵を除去され、さらに、排オ
ゾン分解筒25で排オゾンを分解された後、排ガス用ブ
ロワ26により大気中に放出される。また、オゾン化ガ
スの吹き付けによってリブ付電極2から除去された研磨
カスは、受槽45の底部に設けられた研磨カス収納部4
7に落下し、別途廃棄される。
In addition, on the upper part of the gas jet nozzle 42,
A hood 24 for collecting the ozonized gas after contacting the ribbed electrode 2 is arranged. That is, most of the ozonized gas after contacting the ribbed electrode 2 still has a sufficient oxidizing ability, and is collected by the hood 24, and after fine dust of polishing dust is removed by the gas filter 43. After being returned to the pipe in front of the booster 41 by the circulation blower 44 and joined with the ozonized gas, it is pressurized again by the booster 41 and is circulated for use. On the other hand, the ozonized gas, which has passed through the gap between the ribbed electrodes 2 and has a reduced oxidizing ability, flows into the receiving tank 45 arranged below the gas contacting conveyor 16a together with the polishing dust. Here, the exhaust gas filter 46 removes the fine dust of the polishing dust from the ozonized gas having the reduced oxidizing ability, and the exhaust ozone is decomposed by the exhaust ozone decomposing tube 25, and then the ozonized gas is exhausted to the atmosphere by the exhaust gas blower 26. Is released to. Further, the polishing residue removed from the ribbed electrode 2 by spraying the ozonized gas is the polishing residue storage unit 4 provided at the bottom of the receiving tank 45.
Dropped to 7 and discarded separately.

【0065】以上のようにして、ガス接触処理を施した
後のリブ付電極2は、ガス接触用コンベア16aから水
洗浄用コンベア16bに送られ、水洗浄用ノズル48に
対向する所定の洗浄位置に停止し、一定時間、水洗浄用
ノズル48から水が吹き付けられる。そして、この水洗
浄により、リブ付電極2に残存する中程度の酸化生成
物、すなわち、アルデヒド、ケトン、カルボン酸など
は、水を媒体として、洗浄、除去される。また、リブ付
電極22に残存する研磨カスも、同様にして除去され
る。
The ribbed electrode 2 that has been subjected to the gas contact treatment as described above is sent from the gas contact conveyor 16a to the water cleaning conveyor 16b and faces the water cleaning nozzle 48 at a predetermined cleaning position. Then, water is sprayed from the water washing nozzle 48 for a certain period of time. By this water washing, the intermediate oxidation products remaining on the ribbed electrode 2, that is, aldehydes, ketones, carboxylic acids and the like are washed and removed using water as a medium. Further, polishing debris remaining on the ribbed electrode 22 is similarly removed.

【0066】この場合、水洗浄後の水は、水洗浄用コン
ベア16bの下方に配置された受水槽17に落下する。
そして、洗浄によって水中に混入した酸化物や研磨カス
のうち、比較的大きな研磨カス粒子は、受水槽17の沈
殿部19に滞留してその底部に沈殿し、沈殿物排出バル
ブ21から排出され、別途処理される。このように比較
的大きな研磨カス粒子を除去した後、受水槽17内の水
は、上澄部20から送出され、フィルタ22によりろ過
され、さらに、循環ポンプ23で水洗浄用ノズル48に
送られ、再びリブ付電極2の表面に吹き付けられる。
In this case, the water after water washing falls into the water receiving tank 17 arranged below the water washing conveyor 16b.
Then, among the oxides and polishing dust mixed in the water due to the cleaning, relatively large polishing dust particles stay in the settling section 19 of the water receiving tank 17 and settle at the bottom thereof, and are discharged from the precipitate discharge valve 21. It is processed separately. After removing the relatively large abrasive dust particles, the water in the water receiving tank 17 is sent from the supernatant section 20, filtered by the filter 22, and further sent to the water washing nozzle 48 by the circulation pump 23. , Is again sprayed on the surface of the ribbed electrode 2.

【0067】なお、本実施例の方法は、具体的に、以下
のような条件で行われることが望ましい。まず、リブ付
電極2と接触させ、有機性汚れを酸化し、研磨カスをガ
ス吹き付けにより洗浄処理するための酸化性ガスは、オ
ゾン、フッ素、塩素の少なくとも1種であり、より望ま
しくは、オゾンガスである。すなわち、オゾンガスは、
前記の酸化性ガスの中では、フッ素に次いで酸化力が強
く、オゾン発生器の電圧を変えることにより、濃度のコ
ントロールを容易に行うことができることに加えて、リ
ブ付電極の表面に付着、残留しても容易に分解し、無害
化するため、完成した燃料電池に悪影響を及ぼさないと
いう利点がある。これに対し、フッ素ガスは、最も酸化
力が強いが、取扱いが困難である。また、塩素ガスは、
酸化力が弱いため、多量のガス量による長時間の処理が
必要である。
The method of this embodiment is preferably carried out under the following conditions. First, the oxidizing gas for contacting with the ribbed electrode 2 to oxidize organic stains and for cleaning the polishing dust by gas blowing is at least one of ozone, fluorine and chlorine, and more preferably ozone gas. Is. That is, ozone gas is
Among the above-mentioned oxidizing gases, it has the strongest oxidizing power next to fluorine, and the concentration can be easily controlled by changing the voltage of the ozone generator. Even though it is easily decomposed and rendered harmless, there is an advantage that it does not adversely affect the completed fuel cell. On the other hand, although fluorine gas has the strongest oxidizing power, it is difficult to handle. Also, chlorine gas is
Since it has a weak oxidizing power, it requires long-term treatment with a large amount of gas.

【0068】そして、本実施例のように、酸化性ガスと
してオゾン化ガスを使用した場合、そのオゾン濃度は、
少なくとも1ppm以上であることが望ましい。すなわ
ち、1ppm以上であれば、濃度が高い方が、より反応
性に優れ、反応速度も速くなる。しかしながら、濃度が
高すぎると未反応オゾン量が増加し効率は悪くなるた
め、この点を考慮して適切な濃度を選択することが必要
である。
When an ozonized gas is used as the oxidizing gas as in this embodiment, the ozone concentration is
It is preferably at least 1 ppm or more. That is, when the concentration is 1 ppm or more, the higher the concentration, the more excellent the reactivity and the faster the reaction rate. However, if the concentration is too high, the amount of unreacted ozone increases and the efficiency deteriorates. Therefore, it is necessary to select an appropriate concentration in consideration of this point.

【0069】また、リブ付電極2に対する酸化性ガスの
吹き付け時間であるところの、リブ付電極2と酸化性ガ
スの接触時間は、少なくとも0.5分以上とすることが
必要であり、より望ましくは、1〜5分程度である。す
なわち、接触時間が長い程、反応を完全に行わせること
が可能となるが、本実施例における気相での酸化は、部
分酸化であり、アルデヒド、ケトン、カルボン酸などの
中程度の酸化物が生成され、これらの酸化物が、後段の
水洗浄工程において、水を媒体として洗浄、除去される
ため、1〜5分程度の比較的短時間の接触時間により、
必要な中程度の酸化を行うことができる。また、リブ付
電極2に目詰まりした研磨カスの除去に関しても、1〜
5分程度の比較的短時間の接触時間により、十分に目的
を達成することができる。
The contact time between the ribbed electrode 2 and the oxidizing gas, which is the time for blowing the oxidizing gas onto the ribbed electrode 2, must be at least 0.5 minutes, and is more preferable. Is about 1 to 5 minutes. That is, the longer the contact time, the more completely the reaction can be carried out, but the oxidation in the gas phase in this example is partial oxidation, which is a medium-grade oxide such as aldehyde, ketone and carboxylic acid. Are produced, and these oxides are washed and removed using water as a medium in the subsequent water washing step. Therefore, by a relatively short contact time of about 1 to 5 minutes,
The required moderate oxidation can be carried out. In addition, regarding the removal of the polishing dust clogging the ribbed electrode 2,
A relatively short contact time of about 5 minutes can sufficiently achieve the purpose.

【0070】さらに、本実施例のように、ガス噴出用ノ
ズル42及び昇圧装置41を使用して、リブ付電極2に
加圧した酸化性ガスを吹き付ける方法は、リブ付電極2
に酸化性ガスを効果的に供給しする方法として極めて有
効であり、前述のように、ガスによる洗浄効果をも得る
ことが可能であるが、より具体的には、ガス噴出用ノズ
ル42をできるだけリブ付電極2に接近させ、且つ、均
等に配置することによって、酸化性ガスを最も効率良く
供給でき、高い洗浄効果を得ることができる。付加的
に、リブ付電極2を反転させて両面処理すれば、より効
果的である。
Further, as in this embodiment, the method of spraying the oxidizing gas under pressure to the ribbed electrode 2 using the gas jet nozzle 42 and the booster 41 is the ribbed electrode 2
It is extremely effective as a method for effectively supplying an oxidizing gas to the above, and as described above, it is possible to obtain the cleaning effect by the gas, but more specifically, the gas jet nozzle 42 can be used as much as possible. By providing the ribbed electrode 2 close to and evenly disposing it, the oxidizing gas can be supplied most efficiently and a high cleaning effect can be obtained. In addition, it is more effective if the ribbed electrode 2 is inverted and double-sided.

【0071】そして、続く水洗浄工程における、リブ付
電極2に対する水の吹き付け時間であるところの、リブ
付電極2と水との接触時間についても、同様に、1〜5
分であることが望ましい。この接触時間により、前段の
ガス接触工程で生成されたアルデヒド、ケトン、カルボ
ン酸などの酸か中間生成物を溶解または懸濁させて確実
に除去することができる。この水洗浄工程での洗浄方法
として、本実施例のように、水洗浄用ノズル48を使用
して、リブ付電極2に水を吹き付ける方法は、極めて有
効であるが、より具体的には、水洗浄用ノズル48をで
きるだけリブ付電極2に接近させ、且つ、均等に配置す
ることによって、最も効率良く洗浄を行うことができ
る。さらに望ましくは、水を加圧した状態で水洗浄用ノ
ズル48からリブ付電極2に吹き付けることにより、一
層効果的な洗浄を行うことができる。付加的に、リブ付
電極2を反転させて両面を水洗浄すれば、より効果的で
ある。
The contact time between the ribbed electrode 2 and water, which is the time for spraying water on the ribbed electrode 2 in the subsequent water washing step, is similarly 1-5.
Minutes are desirable. By this contact time, it is possible to dissolve or suspend an acid such as an aldehyde, a ketone, or a carboxylic acid or an intermediate product generated in the gas contacting step of the first stage, and surely remove it. As a cleaning method in this water cleaning step, a method of spraying water on the ribbed electrode 2 by using the water cleaning nozzle 48 as in the present embodiment is extremely effective, but more specifically, By arranging the water washing nozzle 48 as close as possible to the ribbed electrode 2 and evenly arranging the ribbed electrode 2, washing can be performed most efficiently. More desirably, by spraying water on the ribbed electrode 2 from the water cleaning nozzle 48 in a pressurized state, more effective cleaning can be performed. In addition, it is more effective to invert the ribbed electrode 2 and wash both surfaces with water.

【0072】以上説明したように、本実施例において
は、酸化性ガスを、ノズルを使用してリブ付電極に吹き
付けることにより、リブ付電極の表面に付着した有機性
汚れは、酸化性ガスと接触することにより気相で部分酸
化され、部分酸化された有機性汚れは、後段の水洗浄工
程により、水中に溶解し、あるいは懸濁して、容易且つ
確実に除去される。同時に、リブ付電極中に目詰まりし
た研磨カスは、ガス吹き付けによる洗浄効果及び水洗浄
効果により容易且つ確実に除去される。
As described above, in the present embodiment, the oxidizing gas is sprayed onto the ribbed electrode by using the nozzle so that the organic dirt attached to the surface of the ribbed electrode is converted into oxidizing gas. The organic soil that has been partially oxidized in the gas phase due to the contact and partially oxidized is dissolved or suspended in water by the subsequent water washing step, and is easily and reliably removed. At the same time, the polishing dust clogged in the ribbed electrode is easily and surely removed by the cleaning effect by the gas spraying and the water cleaning effect.

【0073】このように、本実施例の洗浄方法により、
リブ付電極の表面に付着した有機性汚れを十分に除去す
ることができるため、この洗浄を行ったリブ付電極にお
いては、従来のように触媒焼成時における触媒の燃焼は
発生しない。具体的に、本実施例の洗浄を施したリブ付
電極と、本実施例の洗浄を施さない従来のリブ付電極と
における、1000枚の電極処理に対する触媒燃焼発生
数を調べたところ、前記の表1に示した第1実施例の結
果と同様の結果が得られた。すなわち、本実施例の洗浄
を施したリブ付電極においては、1000枚の電極処理
に対しても、触媒燃焼を発生したものは皆無であった。
As described above, according to the cleaning method of this embodiment,
Since the organic dirt adhering to the surface of the ribbed electrode can be sufficiently removed, in the thus cleaned ribbed electrode, combustion of the catalyst at the time of catalyst burning does not occur unlike the conventional case. Specifically, the number of occurrences of catalytic combustion for 1000 electrode treatments of the cleaned ribbed electrode of this example and the conventional non-cleaned ribbed electrode of this example was examined. The same result as the result of the first embodiment shown in Table 1 was obtained. That is, in the cleaned ribbed electrode of this example, no catalytic combustion occurred even after the treatment of 1000 electrodes.

【0074】また、目詰まりした研磨カスが、酸化性ガ
ス及び水による洗浄効果により十分に除去されるため、
ガス透過性が向上する。具体的に、一定の条件で、本実
施例の洗浄を施したリブ付電極と、本実施例の洗浄を施
さない従来のリブ付電極とにおけるガス透過性の平均値
を調べたところ、前記の表2に示した第1実施例の結果
と同様の結果が得られた。すなわち、本実施例の洗浄を
施したリブ付電極は、従来のリブ付電極に比べて、平均
で約14%も透過性が向上した。
Further, since the clogged polishing residue is sufficiently removed by the cleaning effect of the oxidizing gas and water,
Gas permeability is improved. Specifically, under a certain condition, the average value of the gas permeability of the cleaned ribbed electrode of the present example and the conventional ribbed electrode of the present example which was not cleaned was examined, Results similar to those of the first embodiment shown in Table 2 were obtained. That is, the cleaned ribbed electrode of this example had an improved transparency of about 14% on average as compared with the conventional ribbed electrode.

【0075】以上の効果に加えて、本実施例の洗浄を施
したリブ付電極においては、表面親水性が向上し、リン
酸濡れ性が良くなる傾向が確認された。これは、本実施
例の洗浄により、リブ付電極の基材であるカーボン繊維
などが酸化性ガスで表面酸化され、水酸基、カルボキシ
ル基などの親水基が表面に付加されたものと推測され
る。具体的に、本実施例の洗浄を施したリブ付電極と、
本実施例の洗浄を施さない従来のリブ付電極とにおける
リン酸濡れ性について、前記の第1実施例と同様の条件
で調べたところ、前記の表3に示した第1実施例の結果
と同様の結果が得られた。すなわち、本実施例の洗浄を
施したリブ付電極は、従来のリブ付電極に比べて、約1
7%もリン酸濡れ性が向上した。
In addition to the above effects, it was confirmed that in the cleaned electrode with ribs of this example, surface hydrophilicity was improved and phosphoric acid wettability was improved. It is presumed that this is because the cleaning of the present example caused the surface of the carbon fiber, which is the base material of the ribbed electrode, to be oxidized by the oxidizing gas, so that hydrophilic groups such as hydroxyl groups and carboxyl groups were added to the surface. Specifically, the ribbed electrode of the present example,
Phosphoric acid wettability of the conventional non-cleaned ribbed electrode of this example was examined under the same conditions as in the first example, and the results of the first example shown in Table 3 above were obtained. Similar results were obtained. That is, the cleaned ribbed electrode of the present embodiment is about 1 compared to the conventional ribbed electrode.
The wettability of phosphoric acid was improved by 7%.

【0076】さらに、前述のように、本実施例の洗浄を
施したリブ付電極においては、目詰まりした研磨カス
が、酸化性ガス及び水による洗浄効果により十分に除去
されるため、リブ付電極に含浸したリン酸の分布も改良
され、ほぼ均一にリン酸が存在することが確認された。
すなわち、本実施例の洗浄を施すことにより、研磨カス
が十分に除去されるため、リブ付電極の平均気孔径が均
一化され、その結果として、リン酸の均一分布が可能と
なる。
Further, as described above, in the cleaned ribbed electrode of this embodiment, the clogged polishing debris is sufficiently removed by the cleaning effect of the oxidizing gas and water. The distribution of phosphoric acid impregnated in was also improved, and it was confirmed that phosphoric acid was present almost uniformly.
That is, by performing the cleaning of this example, the polishing dust is sufficiently removed, so that the average pore diameter of the ribbed electrode is made uniform, and as a result, the phosphoric acid can be uniformly distributed.

【0077】(11) 第11実施例(酸化性ガスとの
接触及び水洗浄)…図11 図11に示す第11実施例は、前記第10実施例の構成
に加えて、紫外線ランプを設置した実施例である。すな
わち、図11において、ガス噴出用ノズル42とリブ付
電極2の間には、紫外線ランプ29が設置され、紫外線
が照射される。このように構成した場合には、前記第1
0実施例の作用効果に加えて、さらに、紫外線の照射に
よって、気中でのオゾンの自己分解が促進され、より酸
化力の強い酸素ラジカルなどのラジカル類が生成され、
これらのラジカル類によって、有機性汚れの分解が促進
される。この場合、前述の通り、ラジカル類は、活性が
高く寿命が短いため、紫外線ランプ29は、なるべくリ
ブ付電極2の表面近くに設置されることが望ましい。
(11) Eleventh embodiment (contact with oxidizing gas and washing with water) ... FIG. 11 In the eleventh embodiment shown in FIG. 11, an ultraviolet lamp is installed in addition to the structure of the tenth embodiment. This is an example. That is, in FIG. 11, an ultraviolet lamp 29 is installed between the gas ejection nozzle 42 and the ribbed electrode 2, and ultraviolet rays are emitted. When configured in this way, the first
In addition to the action and effect of Example 0, further, the irradiation of ultraviolet rays promotes the self-decomposition of ozone in the air to generate radicals such as oxygen radicals having a stronger oxidizing power,
These radicals accelerate the decomposition of organic stains. In this case, as described above, the radicals have a high activity and a short life. Therefore, it is desirable that the ultraviolet lamp 29 is installed as close to the surface of the ribbed electrode 2 as possible.

【0078】(12) その他の実施例 なお、前記の各実施例においては、いずれも、燃料電池
リブ付電極の洗浄方法を説明したが、本発明の対象は、
燃料電池リブ付電極に限定されるものではなく、炭素材
料から形成され、一定の加工処理を施されてなる炭素材
料部品一般の洗浄方法として広く適用可能であり、同様
に、優れた作用効果を得られるものである。
(12) Other Examples In each of the above examples, the method for cleaning the electrode with the fuel cell rib has been described, but the object of the present invention is:
The electrode is not limited to the fuel cell rib-equipped electrode, and is widely applicable as a general cleaning method for carbon material parts formed of a carbon material and subjected to a certain processing treatment. Is what you get.

【0079】[0079]

【発明の効果】以上説明したように、本発明の方法によ
れば、炭素材料部品を、溶存オゾンもしくはオゾン化ガ
ス気泡を含むオゾン含有水、または、酸化性溶液で洗浄
するか、あるいは、酸化性ガスと接触させた後、水で洗
浄することにより、特に、リブ付電極における触媒焼成
時の燃焼を防止し、リブ付電極のガス透過性を改善し、
リン酸などの電解質の均一分布を可能とすることができ
るため、燃料電池の電極性能を向上させ、長寿命化に貢
献することができる。
As described above, according to the method of the present invention, the carbon material part is washed with dissolved ozone or ozone-containing water containing ozonized gas bubbles or an oxidizing solution, or is oxidized. After contacting with a reactive gas, by washing with water, in particular, to prevent combustion at the time of catalyst burning in the ribbed electrode, to improve the gas permeability of the ribbed electrode,
Since the electrolyte such as phosphoric acid can be uniformly distributed, the electrode performance of the fuel cell can be improved and the life can be extended.

【0080】また、本発明の方法は、燃料電池リブ付電
極に限らず、同様に、研磨などの一定の加工処理を施さ
れる炭素材料部品一般の洗浄方法として広く適用可能で
あり、その場合にも優れた作用効果を得られるものであ
る。
Further, the method of the present invention is not limited to electrodes with fuel cell ribs, but can be widely applied as a general cleaning method for carbon material parts that are subjected to a certain processing such as polishing. Also, it is possible to obtain an excellent effect.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明による炭素材料部品の洗浄方法の第1実
施例を示す処理フロー。
FIG. 1 is a process flow showing a first embodiment of a method for cleaning a carbon material component according to the present invention.

【図2】本発明による炭素材料部品の洗浄方法の第2実
施例を示す処理フロー。
FIG. 2 is a processing flow showing a second embodiment of the method for cleaning a carbon material component according to the present invention.

【図3】本発明による炭素材料部品の洗浄方法の第3実
施例を示す処理フロー。
FIG. 3 is a processing flow showing a third embodiment of the cleaning method for carbon material parts according to the present invention.

【図4】本発明による炭素材料部品の洗浄方法の第4実
施例を示す処理フロー。
FIG. 4 is a processing flow showing a fourth embodiment of the cleaning method for carbon material parts according to the present invention.

【図5】本発明による炭素材料部品の洗浄方法の第5実
施例を示す処理フロー。
FIG. 5 is a process flow showing a fifth embodiment of the method for cleaning a carbon material component according to the present invention.

【図6】本発明による炭素材料部品の洗浄方法の第6実
施例を示す処理フロー。
FIG. 6 is a processing flow showing a sixth embodiment of the method for cleaning a carbon material component according to the present invention.

【図7】本発明による炭素材料部品の洗浄方法の第7実
施例を示す処理フロー。
FIG. 7 is a processing flow showing a seventh embodiment of the cleaning method for carbon material parts according to the present invention.

【図8】本発明による炭素材料部品の洗浄方法の第8実
施例を示す処理フロー。
FIG. 8 is a processing flow showing an eighth embodiment of the cleaning method for carbon material parts according to the present invention.

【図9】本発明による炭素材料部品の洗浄方法の第9実
施例を示す処理フロー。
FIG. 9 is a processing flow showing a ninth embodiment of the cleaning method for carbon material parts according to the present invention.

【図10】本発明による炭素材料部品の洗浄方法の第1
0実施例を示す処理フロー。
FIG. 10 is a first method of cleaning a carbon material component according to the present invention.
The processing flow which shows 0 Example.

【図11】本発明による炭素材料部品の洗浄方法の第1
1実施例を示す処理フロー。
FIG. 11 is a first method of cleaning a carbon material component according to the present invention.
The process flow which shows 1 Example.

【図12】リブ付電極を含む燃料電池の単位セルを示す
縦断面斜視図。
FIG. 12 is a vertical cross-sectional perspective view showing a unit cell of a fuel cell including a ribbed electrode.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…マトリックス 2…リブ付電極 2a…流通路 3…単位セル 4…ガス分離板 11…オゾン発生器 12…オゾン吸収塔 13…散気筒 14…送液ポンプ 15…ノズル 16,16a,16b…コンベア 17…受水槽 18…仕切り板 19…沈殿部 20…上澄部 21…沈殿物排出バルブ 22…フィルタ 23…循環ポンプ 24…フード 25…排オゾン分解筒 26…排ガス用ブロワ 27…反応槽 28…シール材 29…紫外線ランプ 31…排ガス処理筒 32…酸化性溶液タンク 33…薬注ポンプ 34…オーバーフロー管 35…コンプレッサ 36…超音波振動子 41…昇圧装置 42…ガス噴出用ノズル 43…ガス用フィルタ 44…循環用ブロワ 45…受槽 46…排ガス用フィルタ 47…研磨カス収納部 48…水洗浄用ノズル DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Matrix 2 ... Rib electrode 2a ... Flow path 3 ... Unit cell 4 ... Gas separation plate 11 ... Ozone generator 12 ... Ozone absorption tower 13 ... Dispersion cylinder 14 ... Liquid feed pump 15 ... Nozzle 16, 16a, 16b ... Conveyor 17 ... Water tank 18 ... Partition plate 19 ... Sedimentation part 20 ... Supernatant part 21 ... Sediment discharge valve 22 ... Filter 23 ... Circulation pump 24 ... Hood 25 ... Exhaust ozone decomposition cylinder 26 ... Exhaust gas blower 27 ... Reaction tank 28 ... Sealing material 29 ... Ultraviolet lamp 31 ... Exhaust gas treatment cylinder 32 ... Oxidizing solution tank 33 ... Chemical injection pump 34 ... Overflow pipe 35 ... Compressor 36 ... Ultrasonic transducer 41 ... Booster device 42 ... Gas ejection nozzle 43 ... Gas filter 44 ... Circulation blower 45 ... Receiving tank 46 ... Exhaust gas filter 47 ... Abrasive waste storage 48 ... Water cleaning nozzle

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 炭素材料から形成され、一定の加工処理
を施されてなる炭素材料部品の洗浄方法において、 前記炭素材料部品を、溶存オゾンもしくはオゾン化ガス
気泡を含むオゾン含有水で洗浄することを特徴とする炭
素材料部品の洗浄方法。
1. A method for cleaning a carbon material part formed of a carbon material and subjected to a certain processing treatment, wherein the carbon material part is cleaned with ozone-containing water containing dissolved ozone or ozonized gas bubbles. And a method for cleaning a carbon material component.
【請求項2】 炭素材料から形成され、一定の加工処理
を施されてなる炭素材料部品の洗浄方法において、 前記炭素材料部品を、酸化性溶液で洗浄することを特徴
とする炭素材料部品の洗浄方法。
2. A method of cleaning a carbon material part, which is formed of a carbon material and which has been subjected to a certain processing treatment, wherein the carbon material part is cleaned with an oxidizing solution. Method.
【請求項3】 炭素材料から形成され、一定の加工処理
を施されてなる炭素材料部品の洗浄方法において、 前記炭素材料部品を、酸化性ガスと接触させた後、水で
洗浄することを特徴とする炭素材料部品の洗浄方法。
3. A method of cleaning a carbon material part formed of a carbon material and subjected to a certain processing treatment, wherein the carbon material part is brought into contact with an oxidizing gas and then washed with water. Cleaning method for carbon material parts.
【請求項4】 炭素材料部品が、電解質を含むマトリッ
クスを挟んで一対の電極が配置されることで燃料電池の
単位セルを構成する燃料電池リブ付電極であり、その一
面に流体燃料と流体酸化剤の流通溝をそれぞれ有するも
のであることを特徴とする請求項1、2、または3に記
載の炭素材料部品の洗浄方法。
4. The carbon material component is a fuel cell rib-equipped electrode that constitutes a unit cell of a fuel cell by arranging a pair of electrodes with a matrix containing an electrolyte interposed therebetween. The method for cleaning a carbon material component according to claim 1, 2 or 3, wherein each of the cleaning agents has a groove for flowing the agent.
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Cited By (4)

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