JPH05273454A - Mirror supporting device of laser beam machine - Google Patents

Mirror supporting device of laser beam machine

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JPH05273454A
JPH05273454A JP4071246A JP7124692A JPH05273454A JP H05273454 A JPH05273454 A JP H05273454A JP 4071246 A JP4071246 A JP 4071246A JP 7124692 A JP7124692 A JP 7124692A JP H05273454 A JPH05273454 A JP H05273454A
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JP
Japan
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mirror
mirror holder
block
bush
adjusting screws
Prior art date
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Pending
Application number
JP4071246A
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Japanese (ja)
Inventor
Hiroyuki Takagi
洋征 高木
Hideyuki Motohara
秀幸 元原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Filing date
Publication date
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  • Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)

Abstract

PURPOSE:To reduce the inclination of a mirror where the mirror is invisible by fixing a mirror holder block without the intervention of the elastic holding force of a compression coil spring, etc. CONSTITUTION:The mirror supporting device of the laser beam machine is constituted by fixing a flange-shaped bush 2 to a bend block 1, engaging plural adjusting screws 5, composed of pipe-shaped special screws 5a and 5b in a flange shape, with the flange part of the bush 2, and engaging the mirror holder block 3 which stores a mirror holder 15 on the adjusting screws 5. Namely, the mirror holder block 3 which holds the mirror holder 15, adjusting screws 5, and bush 2 are united with a fixing screw 6, and the mirror holder 3 is held while the elastic holding force of the compression coil spring, etc., is removed. Then nuts 5b of the adjusting screws 5 are rotated respectively to vary the distance between the mirror holder block 3 and bush 2, and then the mirror holder block 3 slants to align the optical axes.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明はレーザ加工機に装着さ
れ、レーザ光を反射により屈曲させ進行方向を変更させ
るベンドミラーを保持するミラー支持装置に関するもの
である。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a mirror supporting device which is mounted on a laser beam machine and holds a bend mirror which bends a laser beam by reflection to change its traveling direction.

【0002】[0002]

【従来の技術】図3は従来のレーザ加工機のミラー支持
装置を示す正面図で、図4は図3の図中Bにおける断面
図である。各図において、20は以下に詳述するミラー
支持装置を保持しレーザ加工機の所定の位置に固定する
ためのベンドブロック、21はミラーホルダで本体部2
1aとフランジ部21bからなるほぼリング状の部材で
ある。本体部21aの内周のベンドブロック20に近い
側には中心に向って突出した突出部によって段部21c
が形成されており、ここにミラー22が収納される。ま
た、段部21cの反対側端部には後述するリング40が
ベンドブロックの方に向ってはめ込まれる凹部が内周全
域に形成されている。フランジ部21bには後述するよ
うに、ベンドブロック20に固定するため、押しねじ3
4や光軸を調整するためにミラー22を傾ける調整ねじ
32、支点ボルト33及び圧縮コイルバネ41が設けら
れている。23はミラー押えでほぼカップ状に形成され
ており、側壁部23aの先端にはミラー22を押えるた
めの段部23bが全周に形成されている。底部23cに
は後述するハンドル24が設けられている。このミラー
押え23はミラーホルダ21に図示の如くはめ込まれ、
ミラー22を後述する押え板37の作用により、ベンド
ブロックの方へ押圧する。24はハンドルでミラー押え
23の底部23cに回り止め25と共締めされ、このハ
ンドル24を操作することによりミラーを取り外すと
き、ミラー22を把時する力を発生させる部材である。
26は押え円板でハンドル24に連結された軸に設けら
れた雄ねじで螺合しており、そのゆるみ止めを圧縮コイ
ルバネ27により、その位置決めを六角ナット28によ
り行なわれる部材である。この押え円板26の側面がミ
ラー押え23にブロック29を介して取付けられたカム
30のテーパ部分を押すことで、カム30がその回転軸
31を中心として回動し、その一端がミラー22の側面
を把持する。なお、カム30の配置される部分は側壁部
23aが切欠かれている。また、上記24、25、2
6、27、28、29、30、31によってミラー支持
装置が構成される。32はミラーホルダ21を動かして
その傾きを調整する調整ねじである。この調整ねじ32
はねじ部のヘッドに半球形スチールボルを内蔵したもの
である。33はその動きの支点となる支点ボルトであ
る。34、35及び36はベンドブロック20にミラー
ホルダ21を柔軟に固定するための押えねじ、平座金及
び圧縮コイルバネである。37は押え板でミラー押え2
3を介してミラー22をミラーホルダ21にはさむよう
にして、取付ねじ38、図示しないが圧縮コイルバネ、
スリーブ、六角ナットによりベントブロックの方へ一定
圧で押える部材である。39は押え板37の回り止めで
ミラーホルダに取付けられた六角穴付止めねじである。
この六角穴付止めねじの役割りは、いわゆるパイロット
ピンのようなもので押え板37を図3に示す位置に設定
するための位置決めである。
2. Description of the Related Art FIG. 3 is a front view showing a conventional mirror supporting device of a laser beam machine, and FIG. 4 is a sectional view taken along line B in FIG. In each drawing, 20 is a bend block for holding a mirror support device, which will be described in detail below, and fixing it at a predetermined position of a laser beam machine, and 21 is a mirror holder for the main body 2.
It is a substantially ring-shaped member composed of 1a and a flange portion 21b. On the side of the inner periphery of the main body portion 21a close to the bend block 20, a step portion 21c is formed by a protrusion portion protruding toward the center.
Is formed, and the mirror 22 is housed therein. A ring 40, which will be described later, is formed at the opposite end of the stepped portion 21c so as to be fitted toward the bend block. As will be described later, the flange portion 21b is provided with a push screw 3 for fixing to the bend block 20.
4, an adjusting screw 32 for tilting the mirror 22 for adjusting the optical axis, a fulcrum bolt 33, and a compression coil spring 41 are provided. Reference numeral 23 denotes a mirror retainer, which is formed in a substantially cup shape, and a step portion 23b for retaining the mirror 22 is formed on the entire circumference at the tip of the side wall portion 23a. A handle 24, which will be described later, is provided on the bottom portion 23c. The mirror retainer 23 is fitted into the mirror holder 21 as shown in the drawing,
The mirror 22 is pressed toward the bend block by the action of a pressing plate 37 described later. Reference numeral 24 denotes a handle, which is a member that is fastened to the bottom portion 23c of the mirror retainer 23 together with the detent 25 and that generates a force for gripping the mirror 22 when the mirror is removed by operating the handle 24.
Reference numeral 26 is a pressing disc, which is screwed with a male screw provided on a shaft connected to the handle 24, and is a member whose locking is prevented by a compression coil spring 27 and which is positioned by a hexagon nut 28. By pushing the taper part of the cam 30 attached to the mirror presser 23 through the block 29 by the side surface of the presser disk 26, the cam 30 rotates about its rotation shaft 31, and one end of the cam 30 rotates. Hold the side. The side wall portion 23a is cut out at the portion where the cam 30 is arranged. In addition, the above 24, 25, 2
6, 27, 28, 29, 30, 31 constitute a mirror support device. Reference numeral 32 is an adjusting screw for moving the mirror holder 21 to adjust its inclination. This adjusting screw 32
Is a hemispherical steel bolt built into the screw head. A fulcrum bolt 33 serves as a fulcrum for the movement. Denoted at 34, 35 and 36 are a cap screw, a flat washer and a compression coil spring for flexibly fixing the mirror holder 21 to the bend block 20. Numeral 37 is a presser plate which is a mirror presser foot 2
The mirror 22 is sandwiched between the mirror holder 21 and the mounting screw 38, a compression coil spring (not shown),
A member that presses the vent block toward the vent block with a constant pressure using a sleeve and hexagon nut. Denoted at 39 is a hexagon socket set screw attached to the mirror holder by the rotation stop of the pressing plate 37.
The role of the hexagon socket set screw is to position the pressing plate 37 at the position shown in FIG. 3 by using a so-called pilot pin.

【0003】上記のように構成されたレーザ加工機のベ
ンドミラーの支持装置の光軸調整とミラー22の取り外
し及び取り付けの動作について説明する。まず、光軸調
整について説明する。光軸調整に先だちミラー22は図
4に示すようにベンドブロック20に装着されているも
のとする。この状態で支点ボルト33を支点として2個
の調整ねじ32を夫々回すことによりベンドブロック2
0との距離が夫々変化し、ミラーホルダ21が傾いて光
軸を合わせることができる。なお、圧縮コイルバネ36
によりミラーホルダ21は常にベンドブロックの方へ押
される力を受け柔軟に固定されている。次にミラー22
を取り外す動作について説明する。まずハンドル24を
倒す。この動作によりハンドルに連結された軸が引込ま
れ軸に取付けられた押え円板26も同様に動くことで、
この押え円板26の側面がカム30のテーパ部分に接触
し移動することにより、カム30が回転軸31を中心に
回動し、カム30の一端がミラー22の側面を把持す
る。次に押え板37を指で引張り回転させ、ミラー押え
23からずらす。するとミラー押え23はミラー22を
把持した状態で自由な状態となる。そこでハンドル24
を持って引き上げると、ミラー22はミラーホルダ21
から取り外される。
The operation of adjusting the optical axis of the supporting device for the bend mirror of the laser beam machine constructed as above and removing and attaching the mirror 22 will be described. First, the optical axis adjustment will be described. Prior to the adjustment of the optical axis, the mirror 22 is assumed to be attached to the bend block 20 as shown in FIG. In this state, the bend block 2 is rotated by turning the two adjusting screws 32 with the fulcrum bolt 33 as a fulcrum.
The distance from 0 changes, and the mirror holder 21 can be tilted to align the optical axis. The compression coil spring 36
As a result, the mirror holder 21 is flexibly fixed under the force always pushed toward the bend block. Then the mirror 22
The operation of removing the will be described. First, the handle 24 is tilted. By this operation, the shaft connected to the handle is pulled in, and the presser disk 26 attached to the shaft also moves,
When the side surface of the pressing disk 26 comes into contact with the tapered portion of the cam 30 and moves, the cam 30 rotates about the rotation shaft 31, and one end of the cam 30 holds the side surface of the mirror 22. Next, the pressing plate 37 is pulled and rotated with a finger to move it from the mirror pressing member 23. Then, the mirror retainer 23 becomes free while holding the mirror 22. Then handle 24
When you pull it up, the mirror 22 will move to the mirror holder 21.
Removed from.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】従来のレーザ加工機の
ミラー支持装置は以上のように圧縮コイルバネ41によ
りベンドブロック20へ柔軟に固定されているため、何
らかの理由でミラーホルダ21に力が加わった場合、弾
性保持力により元の状態に復元するがミラーに不可視的
な傾きが生じ、加工機最終端である加工ヘッドから出る
集光したレーザ光の位置ずれ、レーザ光の傾きによるパ
ワーダウンが発生し加工不良が起こりやすいといった問
題点があった。
Since the conventional mirror supporting device of the laser beam machine is flexibly fixed to the bend block 20 by the compression coil spring 41 as described above, force is applied to the mirror holder 21 for some reason. In this case, the elastic holding force restores the original state, but an invisible tilt occurs in the mirror, the position of the focused laser light emitted from the processing head, which is the final end of the processing machine, and power down due to the tilt of the laser light occur. However, there was a problem that processing defects were likely to occur.

【0005】この発明は上記のような問題点を解決する
ためになされたもので、何らかの理由でミラーホルダー
に力が加わった場合でもミラーの不可視的な傾きが極力
少なくなる様なレーザ加工機のミラー支持装置を得るこ
とを目的とする。
The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems, and a laser beam machine capable of minimizing the invisible tilt of the mirror even when a force is applied to the mirror holder for some reason. The purpose is to obtain a mirror support device.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】この発明に係るレーザ加
工機のミラー支持装置はベンドブロックにフランジ形状
を有するブッシュを固定させ、更にブッシュのフランジ
部にフランジ形状を有するパイプ状の特殊ねじとナット
から成る複数個の調整ねじを係合し調整ねじの上にミラ
ーホルダを収納するミラーホルダブロックが係合したも
のである。
A mirror supporting device of a laser beam machine according to the present invention has a bush having a flange shape fixed to a bend block, and a pipe-shaped special screw and nut having a flange shape at the flange portion of the bush. A plurality of adjusting screws consisting of are engaged and a mirror holder block for accommodating the mirror holder is engaged on the adjusting screws.

【0007】[0007]

【作用】この発明においては、ミラーホルダを保持する
ミラーホルダブロック、調整ねじ及びブッシュが固定ね
じにより一体になっており、圧縮コイルバネ等による弾
性保持力を排除した状態でミラーホルダを保持してい
る。
According to the present invention, the mirror holder block for holding the mirror holder, the adjusting screw and the bush are integrated by the fixing screw, and the mirror holder is held in a state where the elastic holding force of the compression coil spring or the like is eliminated. ..

【0008】[0008]

【実施例】【Example】

実施例1.以下、この発明の一実施例を図について説明
する。図1はこの発明の一実施例を示す正面図で、図2
は図1の図中Aにおける断面図である。各図において1
は以下に詳述するミラー支持装置を保持し、レーザ加工
機の所定の位置に固定するためのベンドブロック、2は
ブッシュで本体部2aとフランジ部2bからなるリング
状の部材であり、ベンドブロック1に複数本のねじ10
で固定される。3はミラーホルダブロックで本体部3a
とフランジ部3bからなるリング状の部材で本体部3a
の内周のベンドブロック1に近い側には中心に向って突
出した突出部によって段部3cが形成されており、ここ
にフランジ部4aを有するミラー4が収納される。5は
前記ブッシュ2のフランジ部2bとミラーホルダブロッ
ク3のフランジ部3bの間にスペーサ9と共にあり、ブ
ッシュ2とミラーホルダブロック3の距離を変える調整
ねじである。また調整ねじ5は特殊ねじ5aとナット5
bからなり、組合わせた際に特殊ねじ5a、ナットb相
方の中心に穴があいており、後述すつ固定ねじ6が貫通
可能となっている。さらに、特殊ねじ5aはピン7によ
りミラーホルダブロック3に固定され、回り止めされて
いる。また、ナット5bは側面にねじ穴が加工されてお
り、止めねじ8を挿入し締めつけることにより固定ねじ
6との固定を可能としている。9はスペーサでブッシュ
2と調整ねじ5との間にあり調整ねじ5のナット5bの
滑り(回転)を良くするためのものである。6は前記
2、3、5、9を一体構造とするための固定ねじであ
る。11はウォーターチャンバーでほぼカップ状に形成
されており、フランジ部を有するチャンバーフタ12を
はめ込むことによりカップ状の内底に冷却水路13を有
する。また、ウォーターチャンバー11とチャンバーフ
タ12はパイプ形状の複数個のニップル14によりフラ
ンジ部を有するミラーホルダ15と係合しニップル14
を軸として一定距離のスライドが可能となる。また、ニ
ップル14はパイプ形状であるため、前記ウォーターチ
ャンバー11とチャンバーフタ12の間に形成される冷
却水路13に通水をする。さらに、前記ミラーホルダー
15と係合されたチャンバーフタ12との間に複数個の
圧縮コイルバネ16がミラーホルダ15とチャンバーフ
タ12との距離を広げる方向に力が働く様、配設されて
いる。17は前記圧縮コイルバネ16の加圧力を変える
ための押ねじである。18はウォーターチャンバー11
の横に配設されたリング形状のミラー受けで下部には中
心に向かって突出した突出部によって段部18aが形成
されており、ここにミラー4のフランジ部4aが把持さ
れる。上記11、12、14、15、16、17及び1
8によってミラー把持装置が構成されミラー4を把持し
ミラーホルダブロック3に収納される。この状態で固定
ねじ20により、ミラーホルダブロック3とミラーホル
ダ15のフランジ部が固定される。この時、前述のウォ
ーターチャンバー11がミラー4のフランジ部側端面に
接し、さらに固定ねじ20を締め込むことにより、ウォ
ーターチャンバー11はニップル14を軸としてスライ
ドする。この様にしてミラー4は一定押圧力で保持され
る。
Example 1. An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a front view showing an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a sectional view taken along line A in FIG. 1 in each figure
Is a bend block for holding a mirror support device, which will be described in detail below, and fixing it at a predetermined position of the laser beam machine. Reference numeral 2 is a bush-shaped ring-shaped member including a main body portion 2a and a flange portion 2b. Multiple screws 10 in 1
Fixed in. 3 is a mirror holder block, which is a main body 3a
A ring-shaped member including a flange portion 3b and a body portion 3a
A step portion 3c is formed by a protruding portion protruding toward the center on a side closer to the bend block 1 on the inner periphery of, and a mirror 4 having a flange portion 4a is housed therein. Reference numeral 5 is an adjusting screw which is provided between the flange portion 2b of the bush 2 and the flange portion 3b of the mirror holder block 3 together with the spacer 9 and changes the distance between the bush 2 and the mirror holder block 3. The adjusting screw 5 is a special screw 5a and a nut 5
When a combination is made, a hole is formed at the center of the special screw 5a and the nut b, so that a sock fixing screw 6 which will be described later can pass through. Further, the special screw 5a is fixed to the mirror holder block 3 by a pin 7 and is prevented from rotating. Further, the nut 5b is formed with a screw hole on its side surface, and can be fixed to the fixing screw 6 by inserting and tightening the set screw 8. A spacer 9 is provided between the bush 2 and the adjusting screw 5 to improve sliding (rotation) of the nut 5b of the adjusting screw 5. Reference numeral 6 is a fixing screw for making the above-mentioned 2, 3, 5, 9 into an integrated structure. Reference numeral 11 denotes a water chamber, which is formed in a substantially cup shape, and has a cooling water passage 13 in the cup-shaped inner bottom by fitting a chamber lid 12 having a flange portion. Further, the water chamber 11 and the chamber lid 12 are engaged with a mirror holder 15 having a flange portion by a plurality of pipe-shaped nipples 14 so that the nipples 14 are engaged.
It is possible to slide a certain distance around the axis. Further, since the nipple 14 has a pipe shape, water is passed through the cooling water passage 13 formed between the water chamber 11 and the chamber lid 12. Further, a plurality of compression coil springs 16 are arranged between the mirror holder 15 and the chamber lid 12 engaged therewith so that a force acts in a direction to increase the distance between the mirror holder 15 and the chamber lid 12. Reference numeral 17 is a set screw for changing the pressing force of the compression coil spring 16. 18 is a water chamber 11
A stepped portion 18a is formed in the lower part of the ring-shaped mirror receiver arranged side by side by a protruding portion projecting toward the center, and the flange portion 4a of the mirror 4 is held there. 11, 12, 14, 15, 16, 17 and 1 above
A mirror holding device is constituted by 8 and holds the mirror 4 and is housed in the mirror holder block 3. In this state, the fixing screw 20 fixes the flange portions of the mirror holder block 3 and the mirror holder 15. At this time, the water chamber 11 comes into contact with the end surface of the mirror 4 on the flange side, and the fixing screw 20 is further tightened, so that the water chamber 11 slides around the nipple 14. In this way, the mirror 4 is held with a constant pressing force.

【0009】上記のように構成されたレーザ加工機のミ
ラー保持装置のミラー光軸調整及びミラー把持装置の取
り付け、取り外しについて説明する。光軸調整に先だ
ち、ミラー4は図2に示すようにベンドブロックに装置
されているものとする。この状態で止めねじ8をゆる
め、さらに固定ねじ6をゆるめる。次に調整ねじ5のナ
ット5bを夫々回すことによりミラーホルダブロック3
とブッシュ2との距離が夫々変化し、ミラーホルダブロ
ック3が傾いて光軸を合わせることができる。光軸を合
わせた後は、固定ねじ19、止めねじ6の順に締めてゆ
き固定をする。次にミラー4の取り付け、取り外し動作
について説明する。取り外しは固定ねじ19をゆるめミ
ラーホルダ15を引張り出すことにより一体構造となっ
たミラー把持装置を取り外すことができ、ミラー受け1
8を取り外すことによりミラー4が取り外せる。取り付
けは取り外しと逆の手順で一体構造とした後ミラーホル
ダブロック3に挿入し固定ねじ19を締め固定する。
The adjustment of the mirror optical axis of the mirror holding device of the laser processing machine and the mounting / removing of the mirror holding device will be described. Prior to the optical axis adjustment, it is assumed that the mirror 4 is mounted on the bend block as shown in FIG. In this state, the set screw 8 is loosened, and further the fixing screw 6 is loosened. Next, by turning the nuts 5b of the adjusting screws 5 respectively, the mirror holder block 3
And the bush 2 change, and the mirror holder block 3 tilts to align the optical axis. After aligning the optical axes, the fixing screw 19 and the set screw 6 are tightened in this order to be fixed. Next, the operation of attaching and detaching the mirror 4 will be described. For removal, the fixing screw 19 is loosened and the mirror holder 15 is pulled out, so that the integrated mirror holding device can be removed.
The mirror 4 can be removed by removing 8. The mounting procedure is the reverse of the removal procedure, and the integrated structure is then inserted into the mirror holder block 3 and the fixing screw 19 is tightened and fixed.

【0010】[0010]

【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、ミラー
ホルダブロック3の固定方法が圧縮コイルバネ等の弾性
保持力を介すことなく固定されるため、何らかの理由で
ミラーホルダブロック3に力が加わった場合でもミラー
の不可視的な傾きを極力少なくすることができ、レーザ
加工機最終端である加工ヘッドから出る集光されたレー
ザ光の位置ずれ、レーザ光の傾きによるパワーダウンを
極力少なくし、加工不良を少なくする効果がある。
As described above, according to the present invention, the method of fixing the mirror holder block 3 is fixed without the elastic holding force of the compression coil spring or the like, so that the force is applied to the mirror holder block 3 for some reason. Even when added, the invisible tilt of the mirror can be reduced as much as possible, and the position shift of the focused laser light emitted from the processing head, which is the final end of the laser processing machine, and the power down due to the laser light inclination are minimized. It has the effect of reducing processing defects.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明の一実施例を示す正面図である。FIG. 1 is a front view showing an embodiment of the present invention.

【図2】図1のA−A線による断面図である。FIG. 2 is a sectional view taken along the line AA of FIG.

【図3】従来のレーザ加工機のミラー支持装置を示す正
面図である。
FIG. 3 is a front view showing a mirror support device of a conventional laser processing machine.

【図4】図3のB−B線による断面図である。FIG. 4 is a sectional view taken along line BB of FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ベンドブロック 2 ブッシュ 3 ミラーホルダブロック 4 ミラー 5 調整ねじ 6 固定ねじ 15 ミラーホルダ 1 Bend block 2 Bush 3 Mirror holder block 4 Mirror 5 Adjustment screw 6 Fixing screw 15 Mirror holder

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 レーザビームを用いて被加工物に照射し
加工を行なうレーザ加工機の光路系に配設されるミラー
支持装置であり、該装置がベンドブロックにフランジ形
状を有するブッシュを固定させ、更にブッシュのフラン
ジ部にフランジ形状を有するパイプ状の特殊ねじとナッ
トから成る複数個の調整ねじを係合し、調整ねじの上に
ミラーホルダを収納するミラーホルダブロックが係合し
たことを特徴とするレーザ加工機のミラー支持装置。
1. A mirror support device arranged in an optical path system of a laser processing machine for irradiating a workpiece with a laser beam to perform processing, wherein the device fixes a bush having a flange shape to a bend block. Further, a plurality of adjusting screws including a pipe-shaped special screw having a flange shape and a nut are engaged with the flange portion of the bush, and the mirror holder block for housing the mirror holder is engaged on the adjusting screws. A mirror support device for a laser processing machine.
JP4071246A 1992-03-27 1992-03-27 Mirror supporting device of laser beam machine Pending JPH05273454A (en)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102096173A (en) * 2010-12-28 2011-06-15 江苏扬力数控机床有限公司 Laser mirror assembly
CN110383131A (en) * 2017-05-01 2019-10-25 株式会社岛津制作所 Beam splitter component

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