JPH0527181A - Vertical dark-visual-field illuminating device - Google Patents
Vertical dark-visual-field illuminating deviceInfo
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- JPH0527181A JPH0527181A JP18485191A JP18485191A JPH0527181A JP H0527181 A JPH0527181 A JP H0527181A JP 18485191 A JP18485191 A JP 18485191A JP 18485191 A JP18485191 A JP 18485191A JP H0527181 A JPH0527181 A JP H0527181A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、システム顕微鏡の落射
暗視野観察に用いる照明装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an illuminating device used for epi-illumination dark field observation of a system microscope.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、この種の照明装置には、種々の観
察法に対応するユニバーサル落射投光管が用いられてい
る。このユニバーサル落射投光管は、主に、明視野観
察、暗視野観察、蛍光観察、偏光観察、ノマルスキー観
察等の観察が可能である。ここで、無限遠補正された光
学顕微鏡に用いられるユニバーサル落射投光管の構成及
び落射暗視野観察の原理を図７を参照しつつ説明する。2. Description of the Related Art Conventionally, a universal epi-illumination tube corresponding to various observation methods has been used for this type of illumination device. This universal epi-illumination tube can mainly perform observations such as bright field observation, dark field observation, fluorescence observation, polarization observation, Nomarski observation. Here, the configuration of a universal epi-illumination tube used for an infinity-corrected optical microscope and the principle of epi-illumination dark-field observation will be described with reference to FIG.
【０００３】図７に示すように、ランプハウス１に内蔵
されたフィラメント２から発光した照明光は、コレクタ
レンズ３で平行光束に規制され、鏡体１９に支持された
落射投光管１０に導光される。この落射投光管１０に導
光された照明光は、第１の照明レンズ４で集光され、開
口絞り５、視野絞り６、第２の照明レンズ７を経て、再
び、平行光束に規制され、暗視野リング８に照射され
る。この暗視野リング８に照射された照明光は、リング
状平行光束に変換され、キューブ１１に支持されたリン
グ状穴あきミラー９に照射される。リング状穴あきミラ
ー９に照射された照明光は、このリング状穴あきミラー
９で反射され、レボルバー２０に取付けられた対物レン
ズ１２に入射される。対物レンズ１２に入射された照明
光は、対物レンズ１２に内蔵された円環状ミラー１３又
は円環状レンズによって、対物面１４に集光される。こ
の対物面１４から反射される散乱光又は回折光は、対物
レンズ１２に内蔵されたレンズ１５によって、平行光束
に規制され、リング状穴あきミラー９を通過して結像レ
ンズ１６に照射される。この結像レンズ１６で結像され
た像を鏡筒１７を介して観察することによって、物体面
１４の落射暗視野観察が行われる。As shown in FIG. 7, the illumination light emitted from the filament 2 built in the lamp house 1 is regulated by the collector lens 3 into a parallel light flux, and is guided to the epi-illumination tube 10 supported by the mirror body 19. Be illuminated. The illumination light guided to the epi-illumination tube 10 is condensed by the first illumination lens 4, passes through the aperture stop 5, the field stop 6, and the second illumination lens 7, and is again regulated into a parallel light flux. , The dark field ring 8 is illuminated. The illumination light with which the dark-field ring 8 is irradiated is converted into a ring-shaped parallel light flux, and is irradiated onto the ring-shaped perforated mirror 9 supported by the cube 11. The illumination light applied to the ring-shaped perforated mirror 9 is reflected by the ring-shaped perforated mirror 9 and enters the objective lens 12 attached to the revolver 20. The illumination light incident on the objective lens 12 is condensed on the objective surface 14 by the annular mirror 13 or the annular lens incorporated in the objective lens 12. The scattered light or diffracted light reflected from the objective surface 14 is regulated into a parallel light flux by the lens 15 built in the objective lens 12, passes through the ring-shaped perforated mirror 9, and is applied to the imaging lens 16. . By observing the image formed by the image forming lens 16 through the lens barrel 17, the incident dark-field observation of the object plane 14 is performed.
【０００４】ところで、キューブ１１とは、ミラー及び
フィルタが内蔵可能であり、落射投光管１０に対して着
脱可能に構成されている。このようなキューブ１１は、
観察の種類によって、複数のキューブ１１を落射投光管
１０内で切り換えて使用されている。また、暗視野リン
グ８の構成に付いて、図８を参照しつつ説明する。By the way, a mirror and a filter can be built in the cube 11, and the cube 11 can be attached to and detached from the epi-illumination tube 10. Such a cube 11
Depending on the type of observation, a plurality of cubes 11 are switched and used in the epi-illumination tube 10. The configuration of the dark field ring 8 will be described with reference to FIG.
【０００５】図８に示すように、暗視野リング８は、一
般的に、平行光束の中心部をカットする絞り２１と、こ
の絞り２１を落射投光管１０又はキューブ１１（図７参
照）に固定させるため、略１２０°の角度間隔で配置さ
れた３本の支持部材、即ちステー２２ａ、２２ｂ、２２
ｃと、を備えている。As shown in FIG. 8, the dark-field ring 8 generally includes a diaphragm 21 for cutting the central portion of a parallel light flux, and the diaphragm 21 as an epi-illumination tube 10 or a cube 11 (see FIG. 7). In order to fix, three support members, that is, stays 22a, 22b, 22 arranged at an angular interval of about 120 °.
and c.
【０００６】また、観察光路内へのリング状照明光の混
入を防止するため、遮光筒１８を備えており、この遮光
筒１８は、一般的なシステム顕微鏡において、図７に示
すように、３つの遮光筒１８ａ、１８ｂ、１８ｃにより
構成されている。これら遮光筒１８ａ、１８ｂ、１８ｃ
のうち、鏡体１９には、遮光筒１８ａが配置され、レボ
ルバー２０を一体的に支持する部材２０ａには、遮光筒
１８ｂが配置され、対物レンズ１２には、遮光筒１８ｃ
が配置されている。図９には、上述した遮光筒１８の断
面が示されている。Further, in order to prevent the ring-shaped illumination light from entering the observation light path, a light-shielding cylinder 18 is provided, and this light-shielding cylinder 18 is 3 as shown in FIG. 7 in a general system microscope. It is composed of two light-shielding cylinders 18a, 18b, 18c. These light-shielding cylinders 18a, 18b, 18c
Among them, the light shielding cylinder 18a is arranged in the mirror body 19, the light shielding cylinder 18b is arranged in the member 20a which integrally supports the revolver 20, and the light shielding cylinder 18c is arranged in the objective lens 12.
Are arranged. FIG. 9 shows a cross section of the above-mentioned light-shielding cylinder 18.
【０００７】図９に示すように、遮光筒１８は、上述し
た暗視野リング８と同様に、この遮光筒１８を落射投光
管１０、鏡体１９、キューブ１１、レボルバー２０、部
材２０ａ及び対物レンズ１２に固定させるため、略１２
０°の角度間隔で配置された３本の支持部材、即ちステ
ー３１ａ、３１ｂ、３１ｃを備えている。As shown in FIG. 9, the light-shielding cylinder 18 is the same as the dark-field ring 8 described above. The light-shielding cylinder 18 is formed by an epi-illumination tube 10, a mirror body 19, a cube 11, a revolver 20, a member 20a and an objective. Since it is fixed to the lens 12, approximately 12
It is provided with three support members, that is, stays 31a, 31b, and 31c arranged at an angular interval of 0 °.
【０００８】また、近年、落射暗視野観察において、よ
り大きい照度でムラの少ない照明を行うため、光ファイ
バー束を備えた落射暗視野観察の方法が特願平３−７７
８８１号の明細書中に開示されている。この方法は、図
１１に示すように、リング状光ファイバ４２をレボルバ
ー２０に対して着脱可能に形成し、その出射光を暗視野
照明光として対物レンズ１２に供給するように構成され
ている。また、この場合も、照明光と観察光とを分離さ
せるために、上述と同様、３本のステー３１ａ、３１
ｂ、３１ｃでレボルバー２０に固定された遮光筒１８が
設けられている。Further, in recent years, in epi-illumination dark-field observation, a method of epi-illumination dark-field observation equipped with an optical fiber bundle is provided for performing illumination with higher illuminance and less unevenness.
No. 881. As shown in FIG. 11, this method is configured such that the ring-shaped optical fiber 42 is detachably attached to the revolver 20 and the emitted light is supplied to the objective lens 12 as dark field illumination light. Also in this case, in order to separate the illumination light and the observation light, the three stays 31a, 31 are used as described above.
A light shielding cylinder 18 fixed to the revolver 20 by b and 31c is provided.
【０００９】[0009]
【発明が解決しようとする課題】図８に示されている３
本のステー２２ａ、２２ｂ、２２ｃは、夫々、例えば、
ステー２２ａのように、その両端部Ａ、Ｃは曲率して形
成され、これら両端部Ａ、Ｃを結ぶ中央部Ｂは、直線状
に形成されている。また、図９に示されている３本のス
テー３１ａ、３１ｂ、３１ｃも同様に、夫々、例えば、
ステー３１ａのように、その両端部Ｄ、Ｆは曲率して形
成され、これら両端部Ｄ、Ｆを結ぶ中央部Ｅは、直線状
に形成されている。この結果、暗視野リング８又は遮光
筒１８を固定する３本のステーは、合計６箇所の直線部
分が存在することになる。この直線部分に照明光が照射
されると、この部分から回折光が発生される。この回折
光とステーの影とによって、これらステーを通過した照
明光には、明／暗の縞が生じる。そして、この縞の影響
が暗視野リング８及び遮光筒１８の数だけ繰り返された
照明光が、物体面１４に集光される。この状態で、落射
暗視野観察の顕微鏡写真を撮ると、特に、高倍率観察の
場合、図１０に示すように、シリコンウエハ２０４のパ
ターン２０１のエッジ２０２の部分に、ケバ２０３のよ
うなものが観察される。この結果、観察像又は写真か
ら、より微細な物を高精度に観察することが困難になる
という問題が生じる。Problems to be Solved by the Invention 3 shown in FIG.
The stays 22a, 22b, 22c of the book are, for example,
Like the stay 22a, both end portions A and C are formed to be curved, and a central portion B connecting the both end portions A and C is formed in a linear shape. Similarly, the three stays 31a, 31b, 31c shown in FIG.
Like the stay 31a, both end portions D and F are formed to be curved, and a central portion E connecting the both end portions D and F is formed in a linear shape. As a result, the three stays for fixing the dark-field ring 8 or the light-shielding cylinder 18 have a total of six linear portions. When the straight line portion is irradiated with the illumination light, diffracted light is generated from this portion. Due to the diffracted light and the shadow of the stay, bright / dark stripes are generated in the illumination light that has passed through these stays. Then, the illumination light in which the influence of the stripes is repeated by the number of the dark field ring 8 and the number of the light shielding tubes 18 is condensed on the object plane 14. In this state, when a micrograph of epi-illumination dark-field observation is taken, especially in the case of high-magnification observation, as shown in FIG. To be observed. As a result, there arises a problem that it becomes difficult to observe a finer object with high accuracy from an observation image or a photograph.
【００１０】また、特願平３−７７８８１号の明細書中
に開示されたような方法において、遮光筒１８を、上述
したような３本のステー３１ａ、３１ｂ、３１ｃで固定
した場合にも、同様に、より微細な物を高精度に観察す
ることが困難になるという問題が生じる。Further, in the method as disclosed in the specification of Japanese Patent Application No. 3-77881, when the light-shielding cylinder 18 is fixed by the three stays 31a, 31b, 31c as described above, Similarly, there arises a problem that it becomes difficult to observe a finer object with high accuracy.
【００１１】本発明は、このような問題点を解決するた
めになされ、その目的は、落射暗視野観察において、よ
り微細な物を高精度に観察することが可能な落射暗視野
照明装置を提供することにある。The present invention has been made to solve such a problem, and an object thereof is to provide an epi-illumination dark-field illumination device capable of observing a finer object with high accuracy in epi-illumination dark-field observation. To do.
【００１２】[0012]
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明の落射暗視野照明装置は、システム顕
微鏡の落射暗視野観察に用いられ、In order to achieve such an object, the epi-illumination dark-field illumination device of the present invention is used for epi-illumination dark-field observation of a system microscope,
【００１３】前記システム顕微鏡に内蔵可能な暗視野リ
ング及び遮光筒を、前記システム顕微鏡の所定位置に支
持可能で、且つ、円弧形状の支持部材を備えていること
を特徴とする。また、本発明は、システム顕微鏡の落射
暗視野観察に用いられ、前記システム顕微鏡に内蔵可能
な遮光筒を、前記システム顕微鏡の所定位置に支持可能
な透明な支持部材を備えていることを特徴とする。ま
た、本発明は、システム顕微鏡の落射暗視野観察に用い
られ、It is characterized in that the dark field ring and the light shielding tube which can be built in the system microscope are supported at predetermined positions of the system microscope and are provided with an arc-shaped support member. Further, the present invention is characterized by comprising a transparent support member used for epi-illumination dark field observation of a system microscope and capable of supporting a light-shielding cylinder that can be incorporated in the system microscope at a predetermined position of the system microscope. To do. Further, the present invention is used for episcopic dark field observation of a system microscope,
【００１４】前記システム顕微鏡の構成であるレボルバ
ーに着脱可能に装着され、且つ、光ファイバ束が光学的
に接続された部材に、前記システム顕微鏡に内蔵可能な
遮光筒を支持する支持手段を設けたことを特徴とする。A support means for supporting a light-shielding cylinder that can be built in the system microscope is provided on a member which is detachably attached to the revolver which is the structure of the system microscope and to which the optical fiber bundle is optically connected. It is characterized by
【００１５】[0015]
【作用】請求項１の発明において、円弧形状の支持部材
を通った照明光は、明／暗の差が少ない状態で、システ
ム顕微鏡内を導光される。この結果、より微細な物に対
して、鮮明な落射暗視野観察が行われる。According to the first aspect of the invention, the illumination light that has passed through the arc-shaped support member is guided through the system microscope with a small difference between bright and dark. As a result, clear episcopic dark-field observation is performed on a finer object.
【００１６】また、請求項２の発明において、透明な部
材を透過した照明光は、支持部材の影と回折光との影響
を受けること無く、システム顕微鏡内を導光される。こ
の結果、より微細な物に対して、鮮明な落射暗視野観察
が行われる。また、請求項３の発明において、支持部材
の影と回折光との影響を受けること無く、より微細な物
に対して、鮮明な落射暗視野観察が行われる。In the invention of claim 2, the illumination light transmitted through the transparent member is guided through the system microscope without being affected by the shadow of the supporting member and the diffracted light. As a result, clear episcopic dark-field observation is performed on a finer object. Further, in the invention of claim 3, a clear incident dark-field observation is performed on a finer object without being affected by the shadow of the supporting member and the diffracted light.
【００１７】[0017]
【実施例】以下、本発明の第１の実施例に係る落射暗視
野照明装置について、図１及び図２を参照して説明す
る。図２には、本実施例の落射暗視野照明装置が設けら
れたシステム顕微鏡の主要な構成が示されている。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An epi-illumination dark field illumination device according to a first embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. FIG. 2 shows the main configuration of a system microscope provided with the epi-illumination dark field illumination device of this embodiment.
【００１８】図２に示すように、ランプハウス６０に内
蔵されたフィラメント６２から発光された照明光は、コ
レクタレンズ６３で平行光束に規制され、鏡体６９に支
持された落射投光管６８に導光される。この落射投光管
６８に導光された照明光は、第１の照明レンズ６４で集
光され、開口絞り６５、視野絞り６６、第２の照明レン
ズ６７を経て、再び、平行光束に規制され、キューブ７
０に支持された暗視野リング５０に照射される。この暗
視野リング５０に照射された照明光は、リング状平行光
束に変換され、キューブ７０に支持されたリング状穴あ
きミラー７１に照射される。リング状穴あきミラー７１
に照射された照明光は、このリング状穴あきミラー７１
で反射され、レボルバー７２に、着脱自在に取付けられ
た対物レンズ７３に入射される。対物レンズ７３に入射
された照明光は、対物レンズ７３に内蔵された円環状ミ
ラー７４又は円環状レンズによって、ステージ７９上の
対物面７５に集光される。この対物面７５から反射され
る散乱光又は回折光は、対物レンズ７３に内蔵されたレ
ンズ７６によって、平行光束に規制されて観察光路内を
進行する。そして、リング状穴あきミラー７１を通過し
て結像レンズ７７に照射される。この結像レンズ７７で
結像された像を鏡筒７８を介して観察することによっ
て、物体面７５の落射暗視野観察が行われる。なお、キ
ューブ７０とは、ミラー及びフィルタが内蔵可能であ
り、落射投光管６８に対して着脱可能に構成されてい
る。このようなキューブ７０は、観察の種類によって、
複数のキューブ７０を落射投光管６８内で切り換えて使
用されている。As shown in FIG. 2, the illumination light emitted from the filament 62 incorporated in the lamp house 60 is regulated into a parallel light flux by the collector lens 63, and is incident on the epi-illumination tube 68 supported by the mirror 69. Light is guided. The illumination light guided to the epi-illumination projection tube 68 is condensed by the first illumination lens 64, passes through the aperture stop 65, the field stop 66, and the second illumination lens 67, and is again regulated into a parallel light flux. , Cube 7
The dark field ring 50 supported at 0 is illuminated. The illumination light with which the dark-field ring 50 is irradiated is converted into a ring-shaped parallel light flux and is irradiated onto the ring-shaped perforated mirror 71 supported by the cube 70. Ring-shaped perforated mirror 71
The illumination light radiated to the ring-shaped perforated mirror 71
And is incident on the objective lens 73 that is detachably attached to the revolver 72. The illumination light incident on the objective lens 73 is condensed on the objective surface 75 on the stage 79 by the annular mirror 74 or the annular lens built in the objective lens 73. The scattered light or diffracted light reflected from the objective surface 75 is regulated into a parallel light flux by the lens 76 incorporated in the objective lens 73 and travels in the observation optical path. Then, it passes through the ring-shaped perforated mirror 71 and is irradiated onto the imaging lens 77. By observing the image formed by the image forming lens 77 through the lens barrel 78, the incident dark-field observation of the object plane 75 is performed. A mirror and a filter can be incorporated in the cube 70, and the cube 70 can be attached to and detached from the epi-illumination tube 68. Such a cube 70 is
A plurality of cubes 70 are used by being switched in the epi-illumination tube 68.
【００１９】図１の（ａ）には、本実施例の落射暗視野
照明装置に設けられた暗視野リング５０の断面が示され
ている。この暗視野リング５０は、照射された照明光の
中心部をカットする絞り５２と、この絞り５２を落射投
光管６８又はキューブ７０に固定させるため、略１２０
°の角度間隔で配置された３本の支持部材、即ちステー
５４ａ、５４ｂ、５４ｃと、を備えている。これらステ
ー５４ａ、５４ｂ、５４ｃは、夫々、円弧形状を有して
いる。好ましくは、各ステー５４ａ、５４ｂ、５４ｃの
Ｘ部分の曲率（Ｒ）を、暗視野リング５０と遮光筒５６
とで囲まれた照明光路の外周の曲率より小さく、且つ、
この照明光路の幅の１／２Ｒ以上に設定する。FIG. 1A shows a cross section of a dark field ring 50 provided in the epi-illumination dark field illumination device of this embodiment. The dark-field ring 50 has a diaphragm 52 that cuts the center of the emitted illumination light and a diaphragm 52 that fixes the diaphragm 52 to the epi-illumination tube 68 or the cube 70.
It is provided with three support members, that is, stays 54a, 54b, and 54c, arranged at angular intervals of °. Each of the stays 54a, 54b, 54c has an arc shape. Preferably, the curvature (R) of the X portion of each stay 54a, 54b, 54c is set to the dark field ring 50 and the light shielding tube 56.
Smaller than the curvature of the outer circumference of the illumination optical path surrounded by, and
The width is set to 1/2 R or more of the width of the illumination optical path.
【００２０】また、図１の（ｂ）には、上述した落射暗
視野照明装置に設けられ、観察光路内へのリング状照明
光の混入を防止する遮光筒５６の断面が示されている。
この遮光筒５６は、３つの遮光筒５６ａ、５６ｂ、５６
ｃを備えている。これら遮光筒５６ａ、５６ｂ、５６ｃ
のうち、鏡体６９には遮光筒５６ａが、また、レボルバ
ー７２を一体的に支持する部材７２ａには遮光筒５６ｂ
が、そして、対物レンズ７３には、遮光筒５６ｃが配置
されている。Further, FIG. 1B shows a cross section of a light shielding tube 56 which is provided in the above-mentioned epi-illumination dark field illumination device and prevents the ring-shaped illumination light from entering the observation light path.
The light-blocking cylinder 56 includes three light-blocking tubes 56a, 56b, 56.
It has c. These light shielding tubes 56a, 56b, 56c
Among them, the mirror 69 has a light-shielding cylinder 56a, and the member 72a integrally supporting the revolver 72 has a light-shielding cylinder 56b.
However, a light blocking cylinder 56c is arranged in the objective lens 73.
【００２１】また、図１の（ｂ）には、上述した遮光筒
５６を鏡体６９、レボルバー７２を一体的に支持する部
材７２ａ及び対物レンズ７３に固定させるため、略１２
０°の角度間隔で配置された３本の支持部材、即ちステ
ー５８ａ、５８ｂ、５８ｃの断面が示されている。これ
らステー５８ａ、５８ｂ、５８ｃも、夫々、上述したス
テーと同様に、円弧形状を有している。好ましくは、各
ステー５８ａ、５８ｂ、５８ｃのＹ部分の曲率（Ｒ）
を、遮光筒５６の周囲に形成された照明光路の外周の曲
率より小さく、且つ、この照明光路の幅の１／２Ｒ以上
に設定する。Further, in FIG. 1B, in order to fix the above-mentioned light-shielding cylinder 56 to the mirror body 69, the member 72a integrally supporting the revolver 72 and the objective lens 73, approximately 12
Shown is a cross section of three support members, namely stays 58a, 58b, 58c, which are arranged at an angular spacing of 0 °. Each of the stays 58a, 58b, 58c also has an arc shape, like the stays described above. Preferably, the curvature (R) of the Y portion of each stay 58a, 58b, 58c
Is set to be smaller than the curvature of the outer circumference of the illumination light path formed around the light-shielding cylinder 56 and not less than 1 / 2R of the width of this illumination light path.
【００２２】このように、本実施例の落射暗視野照明装
置では、暗視野リング５０のステー５４ａ、５４ｂ、５
４ｃ及び遮光筒５６のステー５８ａ、５８ｂ、５８ｃ
が、互いに同一形状、且つ、円弧形状に加工されてい
る。このため、これらステーで生じる回折効果が弱めら
れ、明／暗の差の少ない照明光が、落射暗視野照明とし
て対物レンズ７３に供給される。この結果、観察像又は
写真から、より微細な物に対して、高精度な落射暗視野
観察を行うことができる。As described above, in the epi-illumination dark field illumination device of this embodiment, the stays 54a, 54b, 5 of the dark field ring 50 are arranged.
4c and stays 58a, 58b, 58c of the light shielding tube 56
Are machined into the same shape and arcuate shape. Therefore, the diffraction effect generated at these stays is weakened, and the illumination light with a small difference in brightness / darkness is supplied to the objective lens 73 as epi-illumination dark field illumination. As a result, highly accurate epi-illumination dark-field observation can be performed on a finer object from the observation image or photograph.
【００２３】次に、本発明の第２の実施例に係る落射暗
視野照明装置について、図３及び図４を参照して説明す
る。なお、本実施例の説明に際し、第１の実施例と同一
の構成には、同一符号を付して、その説明を省略する。
図３には、本実施例の落射暗視野照明装置が設けられた
システム顕微鏡の主要な構成が示されている。Next, an epi-illumination dark field illumination device according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 3 and 4. In the description of this embodiment, the same components as those in the first embodiment will be designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted.
FIG. 3 shows the main configuration of a system microscope provided with the epi-illumination dark field illumination device of this embodiment.
【００２４】図３に示すように、鏡体６９には、暗視野
照明光の光束径よりも大きい径の第１の嵌合溝８０が設
けられている。この第１の嵌合溝８０には、外径が第１
の嵌合溝８０と同径の第１の環状透明部材（例えば、ガ
ラス又はプラスチック）８２が嵌合されている。また、
レボルバー７２を一体的に支持する部材７２ａには、第
２の嵌合溝８４が設けられている。この第２の嵌合溝８
４内にも、第２の環状透明部材８６が嵌合されている。
また、対物レンズ７３には、暗視野照明光の光束径より
も大きい径の第３の嵌合溝８８が設けられている。この
第３の嵌合溝８８には、外径が第３の嵌合溝８８と同径
の第３の環状透明部材９０が嵌合されている。As shown in FIG. 3, the mirror 69 is provided with a first fitting groove 80 having a diameter larger than the luminous flux diameter of the dark field illumination light. The outer diameter of the first fitting groove 80 is the first
A first annular transparent member (for example, glass or plastic) 82 having the same diameter as the fitting groove 80 is fitted. Also,
A second fitting groove 84 is provided in the member 72a that integrally supports the revolver 72. This second fitting groove 8
The second ring-shaped transparent member 86 is also fitted in the inside of 4.
Further, the objective lens 73 is provided with a third fitting groove 88 having a diameter larger than the luminous flux diameter of the dark field illumination light. A third annular transparent member 90 having an outer diameter the same as that of the third fitting groove 88 is fitted in the third fitting groove 88.
【００２５】図４には、第１の環状透明部材８２の平面
が示されている。なお、第２及び第３の環状透明部材８
６、９０については、第１の環状透明部材８２と同様で
あるので、その説明を省略する。FIG. 4 shows the plane of the first annular transparent member 82. The second and third annular transparent members 8
Since 6 and 90 are the same as those of the first annular transparent member 82, description thereof will be omitted.
【００２６】図４に示すように、第１の環状透明部材８
２の中心部には、物体面７５から反射された観察光が通
過可能な円形穴９２が形成されている。なお、フィラメ
ント６２（図２参照）から発光されたリング状照明光
は、第１の環状透明部材８２の環状部分を透過するよう
に構成されている。As shown in FIG. 4, the first annular transparent member 8
A circular hole 92, through which the observation light reflected from the object surface 75 can pass, is formed in the center of 2. The ring-shaped illumination light emitted from the filament 62 (see FIG. 2) is configured to pass through the annular portion of the first annular transparent member 82.
【００２７】円形穴９２の直径は、上述した遮光筒５６
ａの外径と同径である。遮光筒５６ａは、円形穴９２に
嵌合されて、鏡体６９内に固定されている。また、遮光
筒５６ｂ、５６ｃも、同様に、第２及び第３の環状透明
部材８６、９０に嵌合されて、レボルバー７２を一体的
に支持する部材７２ａ及び対物レンズ７３に固定されて
いる。The diameter of the circular hole 92 is the same as that of the light-shielding cylinder 56 described above.
It has the same diameter as the outer diameter of a. The light-shielding cylinder 56a is fitted in the circular hole 92 and is fixed in the mirror body 69. Similarly, the light-shielding cylinders 56b and 56c are also fitted to the second and third annular transparent members 86 and 90 and fixed to the member 72a and the objective lens 73 that integrally support the revolver 72.
【００２８】本実施例の落射暗視野照明装置は、第１の
実施例で説明したようなステー５４ａ〜５４ｃ、５８ａ
〜５８ｃを必要としないため、これらステーから生じる
影及び回折効果の影響を全く受けず、且つ、明／暗の差
の生じない理想的な落射暗視野照明光が、対物レンズ７
３に供給される。この結果、観察像又は写真から、より
微細な物に対して、極めて高精度な落射暗視野観察を行
うことができる。また、第１ないし第３の環状透明部材
８２、８６、９０は、夫々、必ずしも環状に限定される
ことはなく、透明部材であればいかなる形状の部材でも
よい。The epi-illumination dark-field illumination device of this embodiment has stays 54a to 54c and 58a as described in the first embodiment.
Since ~ 58c is not required, the ideal incident dark-field illumination light that is not affected by the shadow and diffraction effect generated from these stays and has no difference in light / dark is the objective lens 7.
3 is supplied. As a result, from the observed image or photograph, it is possible to perform extremely highly accurate epi-dark field observation for a finer object. Further, the first to third annular transparent members 82, 86, 90 are not necessarily limited to annular shapes, and may be members of any shape as long as they are transparent members.
【００２９】次に、本発明の第３の実施例に係る落射暗
視野照明装置について、図５及び図６を参照して説明す
る。なお、本実施例の説明に際し、第１の実施例と同一
の構成には、同一符号を付して、その説明を省略する。
図５には、本実施例の落射暗視野照明装置が設けられた
システム顕微鏡の主要な構成が示されている。Next, an epi-illumination dark field illumination device according to a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 5 and 6. In the description of this embodiment, the same components as those in the first embodiment will be designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted.
FIG. 5 shows the main configuration of a system microscope provided with the epi-illumination dark field illumination device of this embodiment.
【００３０】図５の（ａ）、（ｂ）に示すように、レボ
ルバー７２には、物体面７５から反射された観察光が通
過可能な観察穴９４を有した固定部材９６が着脱自在に
装着されている。この固定部材９６には、落射暗視野照
明光を導光するリング状光ファイバ９８が、光学的に接
続されている。このような固定部材９６の観察穴９４の
直径は、観察光路内へのリング状照明光の混入を防止す
る遮光筒２００の外径と同径に構成されている。この遮
光筒２００は、その一端側の縁部が観察穴９４内に嵌合
されている。また、対物レンズ７３には、第２の実施例
と同様に、暗視野照明光の光束径よりも大きい径の嵌合
溝１０２が設けられている。この嵌合溝１０２には、外
径が嵌合溝１０２と同径の環状透明部材１０４が嵌合さ
れている。この環状透明部材１０４の中心部には、物体
面７５から反射された観察光が通過可能な円形穴（図示
しない）が形成されている。この円形穴の直径は、遮光
筒１００の外径と同径であり、遮光筒１００は、円形穴
に嵌合されている。As shown in FIGS. 5A and 5B, a fixing member 96 having an observation hole 94 through which the observation light reflected from the object surface 75 can pass is removably attached to the revolver 72. Has been done. A ring-shaped optical fiber 98 that guides the incident dark-field illumination light is optically connected to the fixing member 96. The diameter of the observation hole 94 of the fixing member 96 is configured to be the same as the outer diameter of the light shielding tube 200 that prevents the ring-shaped illumination light from entering the observation optical path. The light-shielding cylinder 200 has an edge portion on one end side fitted in the observation hole 94. Further, the objective lens 73 is provided with a fitting groove 102 having a diameter larger than the luminous flux diameter of the dark field illumination light, as in the second embodiment. An annular transparent member 104 having an outer diameter equal to that of the fitting groove 102 is fitted in the fitting groove 102. A circular hole (not shown) through which the observation light reflected from the object surface 75 can pass is formed in the center of the annular transparent member 104. The diameter of the circular hole is the same as the outer diameter of the light shielding tube 100, and the light shielding tube 100 is fitted in the circular hole.
【００３１】図６には、本実施例の落射暗視野照明装置
を用いて落射暗視野観察を行ったとき、観察された観察
像が示されている。この図からも明らかなように、従来
の観察像（図１０参照）に比べて、パターン２０１のエ
ッジ２０２の部分に発生するケバ２０３が少なくなって
いることが分かる。FIG. 6 shows an observation image observed when epi-illumination dark-field observation was performed using the epi-illumination dark-field illumination device of this embodiment. As is apparent from this figure, it can be seen that the fluff 203 generated at the edge 202 of the pattern 201 is less than in the conventional observed image (see FIG. 10).
【００３２】本実施例の落射暗視野照明装置は、遮光筒
１００、２００をレボルバー７２及び対物レンズ７３に
固定するステーを必要としないため、ステーから生じる
影及び回折効果の影響を全く受けず、且つ、明／暗の差
の生じない理想的な落射暗視野照明光が、対物レンズ７
３に供給される。また、透明部材１０４の数も１つで足
りるため、装置の部品点数が減少し、製造コストも減少
する。更に、このように部品点数が少ないため、暗視野
照明の照度低下が防止される。この結果、観察像又は写
真から、より微細な物に対して、極めて高精度な落射暗
視野観察を行うことができる。また、本実施例の構成で
ある環状透明部材１０４も、必ずしも環状に限定される
ことはなく、透明部材であればいかなる形状の部材でも
よい。Since the epi-illumination dark-field illumination device of this embodiment does not require a stay for fixing the light-shielding cylinders 100 and 200 to the revolver 72 and the objective lens 73, it is not affected by the shadow and diffraction effect generated by the stay at all. In addition, the ideal epi-illumination dark-field illumination light that does not cause the difference between bright and dark is the objective lens 7
3 is supplied. Moreover, since the number of the transparent members 104 is only one, the number of parts of the apparatus is reduced and the manufacturing cost is also reduced. Further, since the number of parts is small as described above, the illuminance of the dark field illumination is prevented from decreasing. As a result, from the observed image or photograph, it is possible to perform extremely highly accurate epi-dark field observation for a finer object. Further, the ring-shaped transparent member 104 having the configuration of the present embodiment is not necessarily limited to the ring shape, and may be a member having any shape as long as it is a transparent member.
【００３３】なお、本実施例は、上述した構成に限定さ
れることはなく、例えば、光ファイバ９８を、レボルバ
ー７２を一体的に支持する部材７２ａに対して着脱可能
に構成してもよい。The present embodiment is not limited to the above-mentioned configuration, and for example, the optical fiber 98 may be detachably attached to the member 72a integrally supporting the revolver 72.
【００３４】[0034]
【発明の効果】本発明の落射暗視野照明装置には、暗視
野リング及び遮光筒を支持する円弧形状の支持部材が設
けられている。このように支持部材を円弧形状に形成し
たことによって、この支持部材で生じる回折効果が弱め
られ、明／暗の差の少ない落射暗視野照明光を対物レン
ズに供給させることができる。この結果、落射暗視野観
察において、より微細な物を高精度に観察することがで
きる。The epi-illumination dark-field illumination device of the present invention is provided with an arc-shaped support member for supporting the dark-field ring and the light-shielding cylinder. By thus forming the support member in the shape of an arc, the diffraction effect generated by the support member is weakened, and the incident dark-field illumination light with a small difference between bright and dark can be supplied to the objective lens. As a result, a finer object can be observed with high accuracy in epi-illumination dark-field observation.
【００３５】また、遮光筒を支持する支持部材を透明部
材としたことによって、回折効果の影響を全く受けるこ
と無く、且つ、明／暗の差の生じない理想的な落射暗視
野照明光を対物レンズに供給させることができる。この
結果、落射暗視野観察において、より微細な物を高精度
に観察することができる。Further, since the supporting member for supporting the light-shielding tube is made of a transparent member, ideal incident dark-field illumination light that is not affected by the diffraction effect and has no difference in light / dark is objective. Can be supplied to the lens. As a result, a finer object can be observed with high accuracy in epi-illumination dark-field observation.
【００３６】照明光を出射する光ファイバが接続された
部材に、遮光筒を支持する支持手段を設けたことによっ
て、遮光筒を支持する部品点数が減少できると共に、回
折効果の影響を全く受けること無く、且つ、明／暗の差
の生じない理想的な落射暗視野照明光を対物レンズに供
給させることができる。この結果、落射暗視野観察にお
いて、より微細な物を高精度に観察することができる。By providing the member to which the optical fiber for emitting the illuminating light is connected with the supporting means for supporting the light shielding tube, the number of parts supporting the light shielding tube can be reduced and the diffraction effect is completely affected. It is possible to supply the objective lens with ideal epi-illumination dark field illumination light that does not exist and has no difference between bright and dark. As a result, a finer object can be observed with high accuracy in epi-illumination dark-field observation.
【図１】本発明の第１の実施例に係る落射暗視野照明装
置の構成の断面図を示しており、（ａ）は暗視野リング
の拡大断面図、（ｂ）は遮光筒の拡大断面図。1A and 1B are cross-sectional views of the structure of an epi-illumination dark-field illumination device according to a first embodiment of the present invention, where FIG. 1A is an enlarged cross-sectional view of a dark-field ring, and FIG. Fig.
【図２】本発明の第１の実施例に係る落射暗視野照明装
置が設けられたシステム顕微鏡の主要な構成を概略的に
示す部分断面図。FIG. 2 is a partial cross-sectional view schematically showing the main configuration of a system microscope provided with the epi-illumination dark field illumination device according to the first embodiment of the present invention.
【図３】本発明の第２の実施例に係る落射暗視野照明装
置が設けられたシステム顕微鏡の主要な構成を概略的に
示す部分拡大断面図。FIG. 3 is a partially enlarged cross-sectional view schematically showing a main configuration of a system microscope provided with an epi-illumination dark field illumination device according to a second embodiment of the present invention.
【図４】図３の落射暗視野照明装置に設けられた環状透
明部材の拡大平面図。4 is an enlarged plan view of an annular transparent member provided in the epi-illumination dark field illumination device of FIG.
【図５】（ａ）は、本発明の第３の実施例に係る落射暗
視野照明装置が設けられたシステム顕微鏡の主要な構成
を概略的に示す部分拡大断面図、（ｂ）は、（ａ）に示
す対物レンズの部分を拡大して示す部分拡大断面図。5A is a partially enlarged cross-sectional view schematically showing a main configuration of a system microscope provided with an epi-illumination dark field illumination device according to a third embodiment of the present invention, and FIG. The partial expanded sectional view which expands and shows the part of the objective lens shown to a).
【図６】図５のシステム顕微鏡を用いて落射暗視野観察
を行ったとき、観察された観察像の拡大平面図。6 is an enlarged plan view of an observed image observed when epi-illumination dark field observation is performed using the system microscope of FIG.
【図７】従来の落射暗視野照明装置が設けられたシステ
ム顕微鏡の主要な構成を概略的に示す部分断面図。FIG. 7 is a partial cross-sectional view schematically showing a main configuration of a system microscope provided with a conventional epi-illumination dark field illumination device.
【図８】図７の落射暗視野照明装置に設けられた暗視野
リングの構成を示す拡大断面図。8 is an enlarged cross-sectional view showing the configuration of a dark field ring provided in the epi-illumination dark field illumination device of FIG.
【図９】図７の落射暗視野照明装置に設けられた遮光
筒、及び、この遮光筒を支持するステーの拡大断面図。9 is an enlarged cross-sectional view of a light-shielding cylinder provided in the epi-illumination dark-field illumination device of FIG. 7 and a stay supporting the light-shielding cylinder.
【図１０】従来の落射暗視野照明装置が設けられたシス
テム顕微鏡を用いて落射暗視野観察を行ったとき、観察
された観察像の拡大平面図。FIG. 10 is an enlarged plan view of an observation image observed when epi-illumination dark-field observation is performed using a system microscope provided with a conventional epi-illumination dark-field illumination device.
【図１１】（ａ）は、光ファイバを有する従来の落射暗
視野照明装置が設けられたシステム顕微鏡の主要な構成
を概略的に示す部分拡大断面図、（ｂ）は、（ａ）に示
す対物レンズの部分を拡大して示す部分拡大断面図。FIG. 11A is a partially enlarged cross-sectional view schematically showing a main configuration of a system microscope provided with a conventional epi-illumination dark field illumination device having an optical fiber, and FIG. 11B is shown in FIG. The partial expanded sectional view which expands and shows the part of an objective lens.
５０…暗視野リング、５２…絞り、５６…遮光筒、５４
ａ、５４ｂ、５４ｃ、５８ａ、５８ｂ、５８ｃ…ステ
ー。50 ... Dark field ring, 52 ... Aperture, 56 ... Shade tube, 54
a, 54b, 54c, 58a, 58b, 58c ... Stay.
─────────────────────────────────────────────────────
─────────────────────────────────────────────────── ───
【手続補正書】[Procedure amendment]
【提出日】平成４年３月１０日[Submission date] March 10, 1992
【手続補正１】[Procedure Amendment 1]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】請求項２[Name of item to be corrected] Claim 2
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【手続補正２】[Procedure Amendment 2]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】０００８[Correction target item name] 0008
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【０００８】また、近年、落射暗視野観察において、よ
り大きい照度でムラの少ない照明を行うため、光ファイ
バー束を備えた落射暗視野観察の方法が特願平３−７７
８８１号の明細書中に開示されている。この方法は、図
１１に示すように、リング状光ファイバ４２をレボルバ
ー２０に対して着脱可能に形成し、その出射光を暗視野
照明光として対物レンズ１２に供給するように構成され
ている。また、この場合も、照明光と観察光とを分離さ
せるために、上述と同様、３本のステー３１ａ、３１
ｂ、３１ｃでレボルバー２０に固定された遮光筒１８ｄ
が設けられている。Further, in recent years, in epi-illumination dark-field observation, a method of epi-illumination dark-field observation equipped with an optical fiber bundle is provided for performing illumination with higher illuminance and less unevenness.
No. 881. As shown in FIG. 11, this method is configured such that the ring-shaped optical fiber 42 is detachably attached to the revolver 20 and the emitted light is supplied to the objective lens 12 as dark field illumination light. Also in this case, in order to separate the illumination light and the observation light, the three stays 31a, 31 are used as described above.
Light-blocking cylinder 18d fixed to the revolver 20 by b and 31c
Is provided.
【手続補正３】[Procedure 3]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００１３[Correction target item name] 0013
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【００１３】前記システム顕微鏡に内蔵可能な暗視野リ
ング及び遮光筒を、前記システム顕微鏡の所定位置に支
持可能で、且つ、円弧形状の支持部材を備えていること
を特徴とする。また、本発明は、システム顕微鏡の落射
暗視野観察に用いられ、前記システム顕微鏡に内蔵可能
な暗視野リング及び遮光筒を、前記システム顕微鏡の所
定位置に支持可能な透明な支持部材を備えていることを
特徴とする。また、本発明は、システム顕微鏡の落射暗
視野観察に用いられ、It is characterized in that the dark field ring and the light shielding tube which can be built in the system microscope are supported at predetermined positions of the system microscope and are provided with an arc-shaped support member. Further, the present invention includes a transparent support member that is used for epi-illumination dark-field observation of a system microscope and that can support a dark-field ring and a light-shielding cylinder that can be built in the system microscope at a predetermined position of the system microscope. It is characterized by Further, the present invention is used for episcopic dark field observation of a system microscope,
【手続補正４】[Procedure amendment 4]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００１９[Correction target item name] 0019
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【００１９】図１の（ａ）には、本実施例の落射暗視野
照明装置に設けられた暗視野リング５０の断面が示され
ている。この暗視野リング５０は、照射された照明光の
中心部をカットする絞り５２と、この絞り５２を落射投
光管６８又はキューブ７０に固定させるため、略１２０
°の角度間隔で配置された３本の支持部材、即ちステー
５４ａ、５４ｂ、５４ｃと、を備えている。これらステ
ー５４ａ、５４ｂ、５４ｃは、夫々、円弧形状を有して
いる。好ましくは、各ステー５４ａ、５４ｂ、５４ｃの
Ｘ部分の曲率（Ｒ）を、暗視野リング５０と遮光筒５６
とで囲まれた照明光路の幅の１／２Ｒ以上に設定する。FIG. 1A shows a cross section of a dark field ring 50 provided in the epi-illumination dark field illumination device of this embodiment. The dark-field ring 50 has a diaphragm 52 that cuts the center of the emitted illumination light and a diaphragm 52 that fixes the diaphragm 52 to the epi-illumination tube 68 or the cube 70.
It is provided with three support members, that is, stays 54a, 54b, and 54c, arranged at angular intervals of °. Each of the stays 54a, 54b, 54c has an arc shape. Preferably, the curvature (R) of the X portion of each stay 54a, 54b, 54c is set to the dark field ring 50 and the light shielding tube 56.
Set to 1 / 2R or more of the width of the illumination optical path surrounded by and.
【手続補正５】[Procedure Amendment 5]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００２１[Correction target item name] 0021
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【００２１】また、図１の（ｂ）には、上述した遮光筒
５６を鏡体６９、レボルバー７２を一体的に支持する部
材７２ａ及び対物レンズ７３に固定させるため、略１２
０°の角度間隔で配置された３本の支持部材、即ちステ
ー５８ａ、５８ｂ、５８ｃの断面が示されている。これ
らステー５８ａ、５８ｂ、５８ｃも、夫々、上述したス
テーと同様に、円弧形状を有している。好ましくは、各
ステー５８ａ、５８ｂ、５８ｃのＹ部分の曲率（Ｒ）
を、遮光筒５６の周囲に形成された照明光路の幅の１／
２Ｒ以上に設定する。Further, in FIG. 1B, in order to fix the above-mentioned light-shielding cylinder 56 to the mirror body 69, the member 72a integrally supporting the revolver 72 and the objective lens 73, approximately 12
Shown is a cross section of three support members, namely stays 58a, 58b, 58c, which are arranged at an angular spacing of 0 °. Each of the stays 58a, 58b, 58c also has an arc shape, like the stays described above. Preferably, the curvature (R) of the Y portion of each stay 58a, 58b, 58c
Is 1 / the width of the illumination light path formed around the light-shielding cylinder 56.
Set to 2R or higher.
【手続補正６】[Procedure correction 6]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００２８[Correction target item name] 0028
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【００２８】本実施例の落射暗視野照明装置は、第１の
実施例で説明したようなステー５４ａ〜５４ｃ、５８ａ
〜５８ｃを必要としないため、これらステーから生じる
影及び回折効果の影響を全く受けず、且つ、明／暗の差
の生じない理想的な落射暗視野照明光が、対物レンズ７
３に供給される。この結果、観察像又は写真から、より
微細な物に対して、極めて高精度な落射暗視野観察を行
うことができる。また、第１ないし第３の環状透明部材
８２、８６、９０は、夫々、必ずしも環状に限定される
ことはなく、透明部材であればいかなる形状の部材でも
よい。また、暗視野リングを上記形状にしても全く同様
の効果が得られる。 The epi-illumination dark-field illumination device of this embodiment has stays 54a to 54c and 58a as described in the first embodiment.
Since ~ 58c is not required, the ideal incident dark-field illumination light that is not affected by the shadow and diffraction effect generated from these stays and has no difference in light / dark is the objective lens 7.
3 is supplied. As a result, from the observed image or photograph, it is possible to perform extremely highly accurate epi-dark field observation for a finer object. Further, the first to third annular transparent members 82, 86, 90 are not necessarily limited to annular shapes, and may be members of any shape as long as they are transparent members. Also, even if the dark field ring is shaped as above, it is exactly the same.
The effect of is obtained.
【手続補正７】[Procedure Amendment 7]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００３０[Name of item to be corrected] 0030
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【００３０】図５の（ａ）、（ｂ）に示すように、レボ
ルバー７２には、物体面７５から反射された観察光が通
過可能な観察穴９４を有した固定部材９６が着脱自在に
装着されている。この固定部材９６には、落射暗視野照
明光を導光するリング状光ファイバ９８が、光学的に接
続されている。このような固定部材９６の観察穴９４の
一部には、観察光路内へのリング状照明光の混入を防止
する遮光筒２００の外径と同径に構成されている。この
遮光筒２００は、その一端側の縁部が観察穴９４内に嵌
合固定されている。また、対物レンズ７３には、第２の
実施例と同様に、暗視野照明光の光束径よりも大きい径
の嵌合溝１０２が設けられている。この嵌合溝１０２に
は、外径が嵌合溝１０２と同径の環状透明部材１０４が
嵌合されている。この環状透明部材１０４の中心部に
は、物体面７５から反射された観察光が通過可能な円形
穴（図示しない）が形成されている。この円形穴の直径
は、遮光筒１００の外径と同径であり、遮光筒１００
は、円形穴に嵌合固定されている。As shown in FIGS. 5A and 5B, a fixing member 96 having an observation hole 94 through which the observation light reflected from the object surface 75 can pass is removably attached to the revolver 72. Has been done. A ring-shaped optical fiber 98 that guides the incident dark-field illumination light is optically connected to the fixing member 96. Such an observation hole 94 of the fixing member 96
A part thereof is configured to have the same diameter as the outer diameter of the light shielding tube 200 that prevents the ring-shaped illumination light from entering the observation light path. The light shielding tube 200 has an edge portion on one end side fitted and fixed in the observation hole 94. Further, the objective lens 73 is provided with a fitting groove 102 having a diameter larger than the luminous flux diameter of the dark field illumination light, as in the second embodiment. An annular transparent member 104 having an outer diameter equal to that of the fitting groove 102 is fitted in the fitting groove 102. A circular hole (not shown) through which the observation light reflected from the object surface 75 can pass is formed in the center of the annular transparent member 104. The diameter of this circular hole is the same as the outer diameter of the light-shielding cylinder 100.
Is fitted and fixed in the circular hole.
【手続補正８】[Procedure Amendment 8]
【補正対象書類名】図面[Document name to be corrected] Drawing
【補正対象項目名】図２[Name of item to be corrected] Figure 2
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【図２】 [Fig. 2]
【手続補正９】[Procedure Amendment 9]
【補正対象書類名】図面[Document name to be corrected] Drawing
【補正対象項目名】図５[Name of item to be corrected] Figure 5
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【図５】 [Figure 5]
【手続補正１０】[Procedure Amendment 10]
【補正対象書類名】図面[Document name to be corrected] Drawing
【補正対象項目名】図７[Name of item to be corrected] Figure 7
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【図７】 [Figure 7]
【手続補正１１】[Procedure Amendment 11]
【補正対象書類名】図面[Document name to be corrected] Drawing
【補正対象項目名】図１１[Name of item to be corrected] Fig. 11
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【図１１】 FIG. 11
Claims (4)
られ、 前記システム顕微鏡に内蔵可能な暗視野リング及び遮光
筒を、前記システム顕微鏡の所定位置に支持可能で、且
つ、円弧形状の支持部材を備えていることを特徴とする
落射暗視野照明装置。1. An arc-shaped support member, which is used for epi-illumination dark-field observation of a system microscope and can support a dark-field ring and a light-shielding cylinder that can be built in the system microscope at a predetermined position of the system microscope. An epi-illumination dark-field illumination device characterized by being provided.
られ、 前記システム顕微鏡に内蔵可能な遮光筒を、前記システ
ム顕微鏡の所定位置に支持可能な透明な支持部材を備え
ていることを特徴とする落射暗視野照明装置。2. A transparent support member, which is used for episcopic dark-field observation of a system microscope and can support a light-shielding cylinder that can be built in the system microscope at a predetermined position of the system microscope. Epi-illumination dark field illuminator.
られ、 前記システム顕微鏡の構成であるレボルバーに着脱可能
に装着され、且つ、光ファイバ束が光学的に接続された
部材に、前記システム顕微鏡に内蔵可能な遮光筒を支持
する支持手段を設けたことを特徴とする落射暗視野照明
装置。3. A member for use in epi-illumination dark field observation of a system microscope, which is detachably attached to a revolver which is a configuration of the system microscope, and which has an optical fiber bundle optically connected to the system microscope. An epi-illumination dark-field illuminating device comprising a support means for supporting a light-shielding cylinder which can be built in.
及び不透明な非直線形状の部材のいずれか一方の部材を
備えていることを特徴とする請求項３に記載の落射暗視
野照明装置。4. The epi-illumination dark-field illumination device according to claim 3, wherein the supporting means includes at least one of a transparent member and an opaque non-linear member.
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18485191A JPH0527181A (en) | 1991-07-24 | 1991-07-24 | Vertical dark-visual-field illuminating device |
| US07/854,333 US5325231A (en) | 1991-03-22 | 1992-03-19 | Microscope illuminating apparatus |
| AT92104924T ATE183589T1 (en) | 1991-03-22 | 1992-03-20 | ILLUMINATION DEVICE FOR A MICROSCOPE |
| DE69229808T DE69229808T2 (en) | 1991-03-22 | 1992-03-20 | Illumination device for a microscope |
| EP92104924A EP0504940B1 (en) | 1991-03-22 | 1992-03-20 | Microscope illuminating apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18485191A JPH0527181A (en) | 1991-07-24 | 1991-07-24 | Vertical dark-visual-field illuminating device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0527181A true JPH0527181A (en) | 1993-02-05 |
Family
ID=16160420
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18485191A Withdrawn JPH0527181A (en) | 1991-03-22 | 1991-07-24 | Vertical dark-visual-field illuminating device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0527181A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002202459A (en) * | 2000-12-28 | 2002-07-19 | Yoshihiro Ota | Dark visual field vertical illumination microscope |
| JP2007532982A (en) * | 2004-04-16 | 2007-11-15 | オーバーン ユニバーシティ | Microscope illumination device and adapter for microscope illumination device |
-
1991
- 1991-07-24 JP JP18485191A patent/JPH0527181A/en not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002202459A (en) * | 2000-12-28 | 2002-07-19 | Yoshihiro Ota | Dark visual field vertical illumination microscope |
| JP2007532982A (en) * | 2004-04-16 | 2007-11-15 | オーバーン ユニバーシティ | Microscope illumination device and adapter for microscope illumination device |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
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