JPH05264333A - Analyzing device for vibration intensity - Google Patents
Analyzing device for vibration intensityInfo
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- JPH05264333A JPH05264333A JP6222292A JP6222292A JPH05264333A JP H05264333 A JPH05264333 A JP H05264333A JP 6222292 A JP6222292 A JP 6222292A JP 6222292 A JP6222292 A JP 6222292A JP H05264333 A JPH05264333 A JP H05264333A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、振動インテンシティ解
析に係り、特に測定対象物の非接触測定信号を入力し演
算処理するのに好適な振動インテンシティ解析装置に関
する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to vibration intensity analysis, and more particularly to a vibration intensity analysis apparatus suitable for inputting and processing non-contact measurement signals of a measurement object.
【０００２】[0002]
【従来の技術】振動インテンシティという物理量は、振
動が問題となる機器の振動源の探索や、エネルギ流れの
評価に用いられる。２点間の振動インテンシティｗは、
加速度和α1＋α2と速度差ｖ1−ｖ2の積（α1＋α2）・
（ｖ1−ｖ2）で求められる。振動インテンシティ解析の
基本原理については、例えば日本音響学会講演論文集、
昭和６１年１０月号Ｐ４２７〜４２８に記載されてい
る。2. Description of the Related Art A physical quantity called vibration intensity is used for searching for a vibration source of equipment in which vibration is a problem and for evaluating energy flow. The vibration intensity w between two points is
The product of the sum of acceleration α 1 + α 2 and the speed difference v 1 −v 2 (α 1 + α 2 ) ・
It is calculated by (v 1 −v 2 ). For the basic principle of vibration intensity analysis, for example,
It is described in the October 1987 issue of P427 to 428.
【０００３】振動センサを用いて検出した測定信号をア
ナログ回路を用いて演算処理し、振動インテンシティを
算出する回路の構成が特開昭６４−４４８２２号公報に
開示されている。また、２対の振動センサを用いて、振
動インテンシティベクトルを２次元的に分析する回路
が、特開平１−１９６５２１号公報に開示されている。
開示されている振動インテンシティ解析のための入力信
号は、いずれも振動センサを用いて、すなわち、加速度
のレベルを検出し、その信号を演算処理して振動インテ
ンシティを求めている。Japanese Patent Laid-Open No. 64-44822 discloses a circuit configuration for calculating a vibration intensity by arithmetically processing a measurement signal detected by a vibration sensor using an analog circuit. A circuit for two-dimensionally analyzing a vibration intensity vector using two pairs of vibration sensors is disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-196521.
The input signal for the disclosed vibration intensity analysis uses the vibration sensor, that is, the level of acceleration is detected, and the signal is arithmetically processed to obtain the vibration intensity.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】従来の振動インテンシ
ティ解析にあっては、微細な構造物を対象として振動の
大きさを検出するとき、加速度センサを用いると、その
センサの重量が測定対象物の振動特性に影響し、正確な
振動測定が行えない問題があった。In the conventional vibration intensity analysis, when the magnitude of vibration is detected for a fine structure, if an acceleration sensor is used, the weight of the sensor is measured. However, there was a problem that the accurate vibration measurement could not be performed because it affects the vibration characteristics.
【０００５】本発明の第１の目的は、このように加速度
センサを取り付けて振動計測を行うことが困難な微細な
構造物の振動の大きさを非接触測定し、その測定信号を
演算処理する振動インテンシティ解析装置を提供するこ
とにある。A first object of the present invention is to measure the magnitude of vibration of a fine structure which is difficult to measure vibration by mounting the acceleration sensor as described above in a non-contact manner, and process the measurement signal. It is to provide a vibration intensity analyzer.
【０００６】そして、本発明の第２の目的は、非接触信
号を演算処理して振動インテンシティを算出すると同時
に、測定対象物の多くの点の振動インテンシティを短時
間で測定することにある。A second object of the present invention is to calculate the vibration intensity by arithmetically processing the non-contact signal and at the same time measure the vibration intensity of many points of the object to be measured in a short time. ..
【０００７】また、本発明の第３の目的は、非接触信号
を演算処理して振動インテンシティを算出すると同時
に、測定対象物の多くの点の振動インテンシティを短時
間で測定し、そして測定した点の振動インテンシティを
視覚的に表示することにある。さらに本発明の第４の目
的は、非接触信号を演算処理して振動インテンシティを
算出すると同時に、測定対象物の多くの点の振動インテ
ンシティを短時間で測定し、そして測定した点の２次元
的な振動インテンシティベクトルを、視覚化し、表示す
ることにある。A third object of the present invention is to calculate the vibration intensity by arithmetically processing the non-contact signal, and at the same time, measure the vibration intensity of many points of the object to be measured in a short time, and measure the vibration intensity. The purpose is to visually display the vibration intensity of the selected point. Further, a fourth object of the present invention is to calculate the vibration intensity by processing the non-contact signal and at the same time measure the vibration intensity of many points of the object to be measured in a short time. It is to visualize and display the dimensional vibration intensity vector.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
め、本発明に係る振動インテンシティ解析装置は、測定
対象物の２点で非接触測定されたそれぞれの非接触測定
信号を入力する２個の速度信号入力端子と、それぞれの
速度信号入力端子に接続する演算回路部とよりなり、演
算回路部は、それぞれの速度信号入力端子より取り込ん
だそれぞれの入力信号の和を演算し微分する第１の演算
手段と、それぞれの入力信号を減算しその減算値と微分
した微分値とを掛け算する第２の演算手段とを具備して
いる構成とする。In order to achieve the above-mentioned object, the vibration intensity analyzing apparatus according to the present invention inputs respective non-contact measurement signals which are non-contact measured at two points of an object to be measured. A speed signal input terminal and an arithmetic circuit section connected to each speed signal input terminal, the arithmetic circuit section calculating and differentiating the sum of the respective input signals fetched from the respective speed signal input terminals. It is configured to include one calculating means and a second calculating means for subtracting each input signal and multiplying the subtracted value and the differentiated differential value.
【０００９】そして測定対象物の２点の速度を非接触測
定する速度検出プローブと速度検出回路とよりなる速度
検出器と、該速度検出器に接続しそれぞれの非接触測定
信号を入力する２個の速度信号入力端子と、それぞれの
速度信号入力端子に接続する演算回路部とよりなり、演
算回路部は、それぞれの速度信号入力端子より取り込ん
だそれぞれの入力信号の和を演算し微分する第１の演算
手段と、それぞれの入力信号を減算しその減算値と微分
した微分値とを掛け算する第２の演算手段とを具備して
いる構成でもよい。A speed detector comprising a speed detection probe and a speed detection circuit for measuring the speeds of two points of the object to be measured in a non-contact manner, and two speed detectors connected to the speed detector and inputted with respective non-contact measurement signals. No. 1 speed signal input terminal and an arithmetic circuit unit connected to each speed signal input terminal, and the arithmetic circuit unit calculates and differentiates the sum of the respective input signals fetched from the respective speed signal input terminals. The calculation means may be provided with a second calculation means for subtracting each input signal and multiplying the subtracted value by the differentiated differential value.
【００１０】また速度検出器に、測定対象物の速度検出
点を走査する走査機構を接続した構成てもよい。Further, the speed detector may be connected with a scanning mechanism for scanning the speed detection point of the object to be measured.
【００１１】さらに測定対象物の速度検出点の位置と、
それぞれの位置の振動インテンシティベクトルとを表示
する表示装置を接続した構成でもよい。Further, the position of the velocity detection point of the measuring object,
A configuration in which a display device that displays the vibration intensity vector at each position is connected may be used.
【００１２】そして測定対象物の２点で非接触測定され
たそれぞれの非接触測定信号を入力する２個の変位信号
入力端子と、それぞれの変位信号入力端子に接続する演
算回路部とよりなり、演算回路部は、それぞれの変位信
号入力端子より取り込んだそれぞれの入力信号の和を演
算し２階微分する第３の演算手段と、それぞれの入力信
号を減算して微分した微分値と２階微分した２階微分値
とを掛け算する第４の演算手段とを具備している構成で
もよい。Further, it comprises two displacement signal input terminals for inputting respective non-contact measurement signals which are non-contact measured at two points of the measuring object, and an arithmetic circuit section connected to the respective displacement signal input terminals, The arithmetic circuit unit calculates a sum of the respective input signals fetched from the respective displacement signal input terminals and performs a second-order differentiation, and a differential value and a second-order differentiation obtained by subtracting and differentiating the respective input signals. It may be configured to include a fourth calculation means for multiplying the above-mentioned second-order differential value.
【００１３】また測定対象物の２点の変位を非接触測定
する変位検出プローブと変位検出回路とよりなる変位検
出器と、変位検出器に接続しそれぞれの非接触測定信号
を入力する２個の変位信号入力端子と、それぞれの変位
信号入力端子に接続する演算回路部とよりなり、演算回
路部は、それぞれの変位信号入力端子より取り込んだそ
れぞれの入力信号の和を演算し２階微分する第３の演算
手段と、それぞれの入力信号を減算して微分した微分値
と２階微分した２階微分値とを掛け算する第４の演算手
段とを具備している構成でもよい。Further, a displacement detector comprising a displacement detection probe and a displacement detection circuit for non-contactly measuring the displacements of two points of an object to be measured, and two displacement detectors connected to the displacement detector for inputting respective non-contact measurement signals. A displacement signal input terminal and an arithmetic circuit unit connected to each displacement signal input terminal. The arithmetic circuit unit calculates the sum of the respective input signals fetched from the respective displacement signal input terminals and performs second-order differentiation. The third arithmetic means may be included, and the fourth arithmetic means may be configured to multiply the differential value obtained by subtracting each input signal to differentiate and the second differential value obtained by performing the second differential.
【００１４】さらに請求項６記載の振動インテンシティ
解析装置の変位検出器に、測定対象物の変位検出点を走
査する走査機構を接続した構成でもよい。Further, the displacement detector of the vibration intensity analyzer according to the sixth aspect may be connected with a scanning mechanism for scanning the displacement detection point of the measurement object.
【００１５】そして請求項７記載の振動インテンシティ
解析装置の測定対象物の速度検出点の位置と、それぞれ
の位置の振動インテンシティベクトルとを表示する表示
装置を接続した構成でもよい。Further, the vibration intensity analyzing apparatus according to the seventh aspect may have a configuration in which a display device for displaying the position of the velocity detection point of the measuring object and the vibration intensity vector at each position is connected.
【００１６】また測定対象物の２方向の２対の点で非接
触測定されたそれぞれの非接触測定信号を入力する２方
向の２対の速度信号入力端子と、それぞれの速度信号入
力端子に接続する演算回路部とよりなり、演算回路部
は、それぞれの速度信号入力端子より取り込んだそれぞ
れの入力信号の対ごとに和を演算し微分する第１の演算
手段と、それぞれの入力信号を対ごとに減算しその減算
値と微分した微分値とを掛け算する第２の演算手段とを
具備している構成でもよい。Further, two pairs of speed signal input terminals in two directions for inputting respective non-contact measurement signals which are non-contact measured at two points in two directions of the object to be measured and connected to the respective speed signal input terminals. The arithmetic circuit unit is configured to calculate the sum for each pair of input signals fetched from each speed signal input terminal and differentiate the sum, and each input signal for each pair. And a second arithmetic means for multiplying the subtracted value by the differentiated value.
【００１７】さらに測定対象物の２方向の２対の点の速
度を非接触測定する速度検出プローブと速度検出回路と
よりなる速度検出器と、速度検出器に接続しそれぞれの
非接触測定信号を入力する２方向の２対の速度信号入力
端子と、それぞれの速度信号入力端子に接続する演算回
路部とよりなり、演算回路部は、それぞれの速度信号入
力端子より取り込んだそれぞれの入力信号の対ごとに和
を演算し微分する第１の演算手段と、それぞれの入力信
号を対ごとに減算しその減算値と微分した微分値とを掛
け算する第２の演算手段とを具備している構成でもよ
い。Further, a speed detector comprising a speed detection probe and a speed detection circuit for measuring the speed of two pairs of points in two directions of the object to be measured, and a non-contact measurement signal for each non-contact connected to the speed detector. It is composed of two pairs of input speed signal input terminals in two directions and an arithmetic circuit unit connected to each speed signal input terminal. The arithmetic circuit unit includes a pair of input signals taken from each speed signal input terminal. Also, a configuration is provided that includes first computing means for computing and differentiating the sum for each pair, and second computing means for subtracting each input signal pair by pair and multiplying the subtracted value and the differentiated differential value. Good.
【００１８】そして請求項１０記載の振動インテンシテ
ィ解析装置の速度検出器に、測定対象物の速度検出点を
走査する走査機構を接続した構成でもよい。Further, the speed detector of the vibration intensity analyzing apparatus according to the tenth aspect may be connected with a scanning mechanism for scanning the speed detecting point of the measuring object.
【００１９】また請求項１１記載の振動インテンシティ
解析装置の測定対象物の速度検出点の位置と、それぞれ
の位置の振動インテンシティベクトルとを表示する表示
装置を接続した構成でもよい。Further, the vibration intensity analyzing apparatus according to the eleventh aspect may have a configuration in which a display device for displaying the position of the velocity detection point of the measuring object and the vibration intensity vector at each position is connected.
【００２０】さらに測定対象物の２方向の２対の点を非
接触測定したそれぞれの非接触測定信号を入力する２方
向の２対の変位信号入力端子と、それぞれの変位信号入
力端子に接続する演算回路部とよりなり、演算回路部
は、それぞれの変位信号入力端子より取り込んだそれぞ
れの入力信号の対ごとに和を演算し２階微分する第３の
演算手段と、それぞれの入力信号を対ごとに減算して微
分した微分値と２階微分した２階微分値とを掛け算する
第４の演算手段とを具備している構成でもよい。Further, two pairs of displacement signal input terminals in two directions for inputting respective non-contact measurement signals obtained by non-contact measurement of two pairs of points in two directions of the object to be measured are connected to the respective displacement signal input terminals. The arithmetic circuit unit includes a third arithmetic means for performing a second-order differentiation by calculating a sum for each pair of the respective input signals fetched from the respective displacement signal input terminals, and the respective arithmetic signals for the respective input signals. It may be configured to include a fourth calculation unit that multiplies the differential value obtained by subtracting and differentiating each and the second-order differential value obtained by the second-order differentiation.
【００２１】そして測定対象物の２方向の２対の点の変
位を非接触測定する変位検出プローブと変位検出回路と
よりなる変位検出器と、変位検出器に接続しそれぞれの
非接触測定信号を入力する２方向の２対の変位信号入力
端子と、それぞれの変位信号入力端子に接続する演算回
路部とよりなり、演算回路部は、それぞれの変位信号入
力端子より取り込んだそれぞれの入力信号の対ごとに和
を演算し２階微分する第３の演算手段と、それぞれの入
力信号を対ごとに減算して微分した微分値と２階微分し
た２階微分値とを掛け算する第４の演算手段とを具備し
ている構成でもよい。A displacement detector comprising a displacement detection probe and a displacement detection circuit for non-contactly measuring the displacement of two pairs of points in two directions on the object to be measured, and a non-contact measurement signal for each non-contact measurement signal connected to the displacement detector. It is composed of two pairs of input displacement signal input terminals in two directions and an arithmetic circuit unit connected to each displacement signal input terminal. The arithmetic circuit unit is a pair of input signals input from each displacement signal input terminal. Third computing means for computing the sum for each second and second-order differentiation, and fourth computing means for multiplying the differential value obtained by subtracting each input signal for each pair and differentiating the second-order differential value It may be configured to include and.
【００２２】また請求項１４記載の振動インテンシティ
解析装置の変位検出器に、測定対象物の変位検出点を走
査する走査機構を接続した構成でもよい。The displacement detector of the vibration intensity analyzing apparatus according to claim 14 may be connected to a scanning mechanism for scanning the displacement detection point of the measuring object.
【００２３】さらに請求項１５記載の振動インテンシテ
ィ解析装置の測定対象物の速度検出点の位置と、それぞ
れの位置の振動インテンシティベクトルとを表示する表
示装置を接続した構成でもよい。Further, the vibration intensity analyzing apparatus according to the fifteenth aspect may have a configuration in which a display device for displaying the position of the velocity detection point of the measurement object and the vibration intensity vector at each position is connected.
【００２４】[0024]
【作用】本発明によれば、測定対象物の２点の振動速度
が非接触な検出器で測定され、２個の入力端子より検出
信号を取り込む。２個の入力信号の和の微分は加速度の
和α1＋α2であり、その結果を一旦バッファアンプに蓄
える。また一方、２個の入力信号を減算して得られる速
度差ｖ1−ｖ2を別のバッファアンプに蓄える。そして、
これらバッファアンプに蓄えられた信号を掛け算して出
力すると振動インテンシティｗ＝（α1＋α2）・（ｖ1
−ｖ2）が算出される。According to the present invention, the vibration velocities at two points of the object to be measured are measured by the non-contact detector, and the detection signals are fetched from the two input terminals. The derivative of the sum of the two input signals is the sum of acceleration α 1 + α 2 , and the result is temporarily stored in the buffer amplifier. On the other hand, the speed difference v 1 -v 2 obtained by subtracting the two input signals is stored in another buffer amplifier. And
When the signals stored in these buffer amplifiers are multiplied and output, the vibration intensity w = (α 1 + α 2 ) · (v 1
-V 2 ) is calculated.
【００２５】また、測定対象物の２点の振動変位が非接
触な検出器で測定され、２個の入力端子より検出信号を
取り込む。２個の入力信号の和の２階微分は加速度の和
α1＋α2であり、その結果を一旦バッファアンプに蓄え
る。また一方、２個の入力信号の減算結果を微分して得
られる速度差ｖ1−ｖ2を別のバッファアンプに蓄える。
そして、これらバッファアンプに蓄えられた信号を掛け
算して出力すると振動インテンシティｗ＝（α1＋α2）
・（ｖ1−ｖ2）が算出される。Further, vibration displacements at two points of the object to be measured are measured by a non-contact detector, and detection signals are taken in from two input terminals. The second derivative of the sum of the two input signals is the sum of accelerations α 1 + α 2 , and the result is temporarily stored in the buffer amplifier. On the other hand, the speed difference v 1 -v 2 obtained by differentiating the subtraction result of the two input signals is stored in another buffer amplifier.
When the signals stored in these buffer amplifiers are multiplied and output, the vibration intensity w = (α 1 + α 2 ).
· (V 1 -v 2) is calculated.
【００２６】[0026]
【実施例】本発明の第１の実施例を図１及び図２を参照
しながら説明する。図１に示すように、測定対象物の例
えばｘ軸方向の２点で非接触測定されたそれぞりの非接
触測定信号を入力する２個の速度信号入力端子１ｖと、
２個の速度信号入力端子１ｖに接続する演算回路部２ａ
とより構成される。２個の速度信号入力端子１ｖより速
度信号を取り込み、演算回路部２ａでは、２個の入力信
号の和の微分結果と、入力信号の減算結果とを掛け算し
て、振動インテンシティを求める。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. As shown in FIG. 1, two velocity signal input terminals 1v for inputting respective non-contact measurement signals which are non-contact measured at, for example, two points in the x-axis direction of an object to be measured,
Arithmetic circuit section 2a connected to two speed signal input terminals 1v
It consists of and. The velocity signal is taken in from the two velocity signal input terminals 1v, and the arithmetic circuit unit 2a multiplies the differential result of the sum of the two input signals and the subtraction result of the input signal to obtain the vibration intensity.
【００２７】演算回路部２ａは図２に示すように、入力
アンプ４、バンドパスフィルタ５、微分回路８、バッフ
ァアンプ９、および加算回路６、減算回路７及び乗算回
路１０で構成され、第１の演算手段は例えば加算回路６
及び微分回路８などよりなり、第２の演算手段は例えば
減算回路７及び乗算回路１０などよりなるものとする。As shown in FIG. 2, the arithmetic circuit section 2a is composed of an input amplifier 4, a bandpass filter 5, a differentiating circuit 8, a buffer amplifier 9, an adding circuit 6, a subtracting circuit 7 and a multiplying circuit 10. The calculation means is, for example, the adder circuit 6
And a differentiating circuit 8 and the like, and the second calculating means is composed of, for example, a subtracting circuit 7 and a multiplying circuit 10.
【００２８】対象とする構造物の２点の振動速度が非接
触な検出器で測定されたとき、２個の入力端子より検出
信号を取り込む。２個の入力信号は、それぞれ入力アン
プを経てバンドパスフィルタによって特定の帯域の信号
とされる。これら２個の入力信号の和の微分は加速度の
和α1＋α2であり、その結果を一旦バッファアンプに蓄
える。また一方、２個の入力信号を減算して得られる速
度差ｖ1−ｖ2を別のバッファアンプに蓄える。そして、
これらバッファアンプに蓄えられた信号を掛け算して出
力すると振動インテンシティｗ＝（α1＋α2）・（ｖ1
−ｖ2）が算出される。When the vibration velocity at two points of the target structure is measured by a non-contact detector, detection signals are taken in from two input terminals. The two input signals pass through input amplifiers and are converted into signals in specific bands by a bandpass filter. The derivative of the sum of these two input signals is the sum of acceleration α 1 + α 2 , and the result is temporarily stored in the buffer amplifier. On the other hand, the speed difference v 1 -v 2 obtained by subtracting the two input signals is stored in another buffer amplifier. And
When the signals stored in these buffer amplifiers are multiplied and output, the vibration intensity w = (α 1 + α 2 ) · (v 1
-V 2 ) is calculated.
【００２９】本実施例によれば、速度信号から振動イン
テンシティを求めることができるため、速度検出器など
により非接触測定された測定信号から振動インテンシテ
ィを算出することができる。According to this embodiment, since the vibration intensity can be obtained from the velocity signal, the vibration intensity can be calculated from the measurement signal which is non-contact measured by the velocity detector or the like.
【００３０】本発明の第２の実施例は、図３に示すよう
に、測定対象物の２点の速度を非接触測定する速度検出
プローブ１１ｖと速度検出回路１２ｖとよりなる２点の
速度を検出する速度検出器と、それぞれの非接触測定信
号を入力する２個の速度信号入力端子１ｖと、２個の速
度信号入力端子１ｖに接続する演算回路部２ａとよりな
る。In the second embodiment of the present invention, as shown in FIG. 3, the speed of two points consisting of a speed detection probe 11v and a speed detection circuit 12v for contactlessly measuring the speeds of two points of the measuring object are measured. It comprises a speed detector for detecting, two speed signal input terminals 1v for inputting respective non-contact measurement signals, and an arithmetic circuit section 2a connected to the two speed signal input terminals 1v.
【００３１】２個の速度信号入力端子１ｖと、演算回路
部２ａとは第１の実施例で述べた回路である。速度検出
プローブ１１ｖは、図４に示す先端にレンズ１３ａが付
いた光ファイバ１３ｂの上下の２本を束ねた構造になっ
ている。レンズ１３ａは光ファイバ１３ｂの端部より出
力されるレーザビームの広がりを防止し、ビーム径を小
さくしている。本実施例では、速度検出プローブ１１ｖ
と速度検出回路１２ｖとよりなる速度検出器は、ドップ
ラ効果を利用した速度計である。対象とする構造物の２
点の振動速度を上記の非接触な速度検出器で測定して、
２個の速度信号入力端子１ｖより検出信号を取り込む。
演算回路部２ａでは、第１の実施例で述べた演算処理を
行って、振動インテンシティを求める。The two speed signal input terminals 1v and the arithmetic circuit section 2a are the circuits described in the first embodiment. The velocity detection probe 11v has a structure in which two upper and lower optical fibers 13b having a lens 13a at the tip thereof are bundled as shown in FIG. The lens 13a prevents the laser beam output from the end of the optical fiber 13b from spreading and reduces the beam diameter. In this embodiment, the speed detection probe 11v
The speed detector including the speed detection circuit 12v and the speed detection circuit 12v is a speedometer utilizing the Doppler effect. 2 of target structure
Measure the vibration speed of the point with the above non-contact speed detector,
A detection signal is taken in from two speed signal input terminals 1v.
The arithmetic circuit unit 2a performs the arithmetic processing described in the first embodiment to obtain the vibration intensity.
【００３２】本実施例によれば、速度信号から振動イン
テンシティを求めることができるため、速度検出器によ
り非接触測定された測定信号から振動インテンシティを
算出することができる。また２個の速度検出ロープの相
対的な位置関係が固定されており、設定が簡単で取扱い
が容易となる。According to this embodiment, since the vibration intensity can be obtained from the velocity signal, the vibration intensity can be calculated from the measurement signal which is non-contact measured by the velocity detector. In addition, the relative positional relationship between the two speed detection ropes is fixed, and the setting is simple and the handling is easy.
【００３３】本発明の第３の実施例は、図５に示すよう
に、測定対象物の２点の速度を非接触測定する速度検出
プローブ１１ｖと速度検出回路１２ｖとよりなる２点の
速度を検出する速度検出器と、それぞれの非接触測定信
号を入力する２個の速度信号入力端子１ｖと、演算回路
部２ａと、測定対象物の速度検出点を走査する走査用ミ
ラー（走査機構）２１とよりなる。In the third embodiment of the present invention, as shown in FIG. 5, the speed of two points consisting of a speed detection probe 11v and a speed detection circuit 12v for contactlessly measuring the speeds of two points of an object to be measured are measured. A speed detector for detection, two speed signal input terminals 1v for inputting respective non-contact measurement signals, an arithmetic circuit section 2a, and a scanning mirror (scanning mechanism) 21 for scanning a speed detection point of a measurement object. And consists of.
【００３４】２個の速度信号入力端子１ｖと、演算回路
部２ａとは第１の実施例で述べた回路である。速度検出
プローブ１１ｖと速度検出回路１２ｖよりなる速度検出
器は、第２の実施例で述べたドップラ効果を利用した速
度計である。The two speed signal input terminals 1v and the arithmetic circuit section 2a are the circuits described in the first embodiment. The speed detector including the speed detection probe 11v and the speed detection circuit 12v is the speedometer utilizing the Doppler effect described in the second embodiment.
【００３５】対象とする構造物の２点の振動速度を上記
の非接触な速度検出器で測定して、２個の速度信号入力
端子１ｖより検出信号を取り込む。演算回路部２ａで
は、第１の実施例で述べた演算を行って、振動インテン
シティを求める。走査用ミラー２１を微小角度回転さ
せ、光軸１４の反射方向をわずかに変化させて振動速度
の測定点を走査し、逐次速度信号を取り込んで振動イン
テンシティを計算する。The vibration velocity at two points of the target structure is measured by the non-contact velocity detector, and a detection signal is taken in from the two velocity signal input terminals 1v. The arithmetic circuit unit 2a calculates the vibration intensity by performing the arithmetic operation described in the first embodiment. The scanning mirror 21 is rotated by a slight angle, the reflection direction of the optical axis 14 is slightly changed to scan the measurement point of the vibration velocity, and the velocity signal is sequentially captured to calculate the vibration intensity.
【００３６】本実施例によれば、速度信号から振動イン
テンシティを求めることができるため、速度検出器によ
り非接触測定し、その測定信号から振動インテンシティ
を算出することができる。According to this embodiment, since the vibration intensity can be obtained from the velocity signal, it is possible to perform non-contact measurement by the velocity detector and calculate the vibration intensity from the measurement signal.
【００３７】また本実施例によれば、対象とする構造物
の多くの点の振動インテンシティを短時間で測定するこ
とができる。Further, according to this embodiment, it is possible to measure the vibration intensity at many points of the target structure in a short time.
【００３８】本発明の第４の実施例は、図６に示すよう
に、速度検出プローブ１１ｖと速度検出回路１２ｖとよ
りなる２点の速度を検出する速度検出器と、２個の速度
信号入力端子１ｖと、演算回路部２ａと、測定対象物を
搭載した走査台（走査機構）２２とよりなる。２個の速
度信号入力端子１ｖと、演算回路部２ａとは第１の実施
例で述べた回路である。速度検出プローブ１１ｖと速度
検出回路１２ｖとよりなる速度検出器とは、第２の実施
例で述べたドップラ効果を利用した速度計である。The fourth embodiment of the present invention is, as shown in FIG. 6, a speed detector composed of a speed detection probe 11v and a speed detection circuit 12v for detecting speeds at two points, and two speed signal inputs. The terminal 1v, the arithmetic circuit unit 2a, and the scanning table (scanning mechanism) 22 on which the measurement target is mounted. The two speed signal input terminals 1v and the arithmetic circuit section 2a are the circuits described in the first embodiment. The speed detector including the speed detection probe 11v and the speed detection circuit 12v is the speedometer utilizing the Doppler effect described in the second embodiment.
【００３９】対象とする構造物の２点の振動速度を上記
の非接触な速度検出器で測定して、２個の速度信号入力
端子１ｖより検出信号を取り込む。演算回路部２ａで
は、第１の実施例で述べた演算処理を行って、振動イン
テンシティを求める。走査台２２を微小変位移動させ
て、振動速度の測定点を走査し、逐次速度信号を取り込
んで振動インテンシティを計算する。The vibration speeds at two points of the target structure are measured by the non-contact speed detector, and detection signals are taken in from the two speed signal input terminals 1v. The arithmetic circuit unit 2a performs the arithmetic processing described in the first embodiment to obtain the vibration intensity. The scanning table 22 is moved by a slight displacement to scan the measurement point of the vibration velocity, and the velocity signal is sequentially captured to calculate the vibration intensity.
【００４０】本実施例によれば、速度信号から振動イン
テンシティを求めることができるため、速度検出器によ
り非接触測定し、その測定信号から振動インテンシティ
を算出することができる。According to this embodiment, since the vibration intensity can be obtained from the velocity signal, it is possible to perform non-contact measurement with the velocity detector and calculate the vibration intensity from the measurement signal.
【００４１】また本実施例によれば、対象とする構造物
の多くの点の振動インテンシティを短時間で測定するこ
とができる。Further, according to this embodiment, it is possible to measure the vibration intensity of many points of the target structure in a short time.
【００４２】本発明の第５の実施例は、図７に示すよう
に、速度検出プローブ１１ｖと速度検出回路１２ｖとよ
りなる２点の速度を検出する速度検出器と、２個の速度
信号入力端子１ｖと、インテンシティ出力端子３と、演
算回路部２ａと、走査用ミラー２１と、表示装置３１と
よりなる。２個の速度信号入力端子１ｖと、演算回路部
２とは第１の実施例で述べた回路である。速度検出プロ
ーブ１１ｖと速度検出回路１２ｖとよりなる速度検出器
は、第２の実施例で述べたドップラ効果を利用した速度
計である。In the fifth embodiment of the present invention, as shown in FIG. 7, a speed detector composed of a speed detection probe 11v and a speed detection circuit 12v for detecting speeds at two points, and two speed signal inputs. The terminal 1v, the intensity output terminal 3, the arithmetic circuit section 2a, the scanning mirror 21, and the display device 31. The two speed signal input terminals 1v and the arithmetic circuit unit 2 are the circuits described in the first embodiment. The speed detector including the speed detection probe 11v and the speed detection circuit 12v is the speedometer utilizing the Doppler effect described in the second embodiment.
【００４３】対象とする構造物の２点の振動速度を上記
の非接触な速度検出器で測定して、２個の速度信号入力
端子１ｖより検出信号を取り込む。演算回路部２ａで
は、第１の実施例で述べた演算を行って、振動インテン
シティを求める。走査用ミラー２１を微小角度回転させ
て、振動速度の測定点を走査し、逐次速度信号を取り込
んで振動インテンシティを計算する。走査用ミラー２１
の回転角度と、測定対象上の振動インテンシティの信号
はともに表示装置３１に接続され、測定点に対応して振
動インテンシティの大きさと方向が表示装置３１に表示
される。The vibration speeds at two points of the target structure are measured by the non-contact speed detector, and detection signals are taken in from the two speed signal input terminals 1v. The arithmetic circuit unit 2a calculates the vibration intensity by performing the arithmetic operation described in the first embodiment. The scanning mirror 21 is rotated by a slight angle to scan the measurement point of the vibration velocity, and the velocity signal is successively captured to calculate the vibration intensity. Scanning mirror 21
The rotation angle and the signal of the vibration intensity on the measurement target are both connected to the display device 31, and the magnitude and direction of the vibration intensity corresponding to the measurement point are displayed on the display device 31.
【００４４】本実施例によれば、速度信号から振動イン
テンシティを求めることができるため、速度検出器によ
り非接触測定し、その測定信号から振動インテンシティ
を算出することができる。According to this embodiment, since the vibration intensity can be obtained from the velocity signal, it is possible to perform non-contact measurement with the velocity detector and calculate the vibration intensity from the measurement signal.
【００４５】本実施例によれば、速度信号から振動イン
テンシティを求めることができるため、速度検出器によ
り非接触測定し、その測定信号から振動インテンシティ
を算出することができる。According to this embodiment, since the vibration intensity can be obtained from the velocity signal, it is possible to perform non-contact measurement with the velocity detector and calculate the vibration intensity from the measurement signal.
【００４６】また本実施例によれば、対象とする構造物
の多くの点の振動インテンシティを短時間で測定するこ
とができる。Further, according to this embodiment, it is possible to measure the vibration intensity at many points of the target structure in a short time.
【００４７】また本実施例によれば、測定した点の振動
インテンシティの分布（振動インテンシティベクトル）
を視覚的に表示することができる。Further, according to this embodiment, the distribution of the vibration intensity of the measured points (vibration intensity vector)
Can be displayed visually.
【００４８】本発明の第６の実施例は、図８に示すよう
に、２個の変位信号入力端子１ｄと、演算回路部２ｂと
より構成される。２個の変位信号入力端子１ｄより変位
信号を取り込み、演算回路部２ｂでは、２個の入力信号
の和の２階微分の結果と、入力信号の減算の微分結果と
を掛け算して、振動インテンシティを求める。As shown in FIG. 8, the sixth embodiment of the present invention comprises two displacement signal input terminals 1d and an arithmetic circuit section 2b. The displacement signal is fetched from the two displacement signal input terminals 1d, and the arithmetic circuit unit 2b multiplies the result of the second differential of the sum of the two input signals and the differential result of the subtraction of the input signal to obtain the vibration intensities. Ask for the city.
【００４９】演算回路部２ｂは図９に示すように、入力
アンプ４、バンドパスフィルタ５、２階微分回路１８、
微分回路８、バッファアンプ９、加算回路６、減算回路
７及び乗算回路１０で構成される。第３の演算手段は例
えば加算回路６及び２階微分回路１８などよりなり、第
３の演算手段は例えば減算回路７及び乗算回路１０より
なるものとする。As shown in FIG. 9, the arithmetic circuit section 2b includes an input amplifier 4, a bandpass filter 5, a second differential circuit 18,
It is composed of a differentiating circuit 8, a buffer amplifier 9, an adding circuit 6, a subtracting circuit 7 and a multiplying circuit 10. The third calculation means is, for example, an adder circuit 6 and a second-order differentiation circuit 18, and the third calculation means is, for example, a subtraction circuit 7 and a multiplication circuit 10.
【００５０】対象とする構造物の２点の振動変位が非接
触な検出器で測定されたとき、２個の入力端子より検出
信号を取り込む。２個の入力信号は、それぞれ入力アン
プを経てバンドパスフィルタによって特定の帯域の信号
とされる。これら２個の信号の和の２階微分は加速度の
和α1＋α2であり、その結果を一旦バッファアンプに蓄
える。また一方、２個の信号を減算、さらに微分して得
られる速度差ｖ1−ｖ2を別のバッファアンプに蓄える。
そして、これらバッファアンプに蓄えられた信号を掛け
算して出力すると振動インテンシティｗ＝（α1＋α2）
・（ｖ1−ｖ2）が算出される。When the vibration displacements at two points of the target structure are measured by the non-contact detector, the detection signals are fetched from the two input terminals. The two input signals pass through input amplifiers and are converted into signals in specific bands by a bandpass filter. The second derivative of the sum of these two signals is the sum of accelerations α 1 + α 2 , and the result is temporarily stored in the buffer amplifier. On the other hand, the speed difference v 1 -v 2 obtained by subtracting and further differentiating the two signals is stored in another buffer amplifier.
When the signals stored in these buffer amplifiers are multiplied and output, the vibration intensity w = (α 1 + α 2 ).
· (V 1 -v 2) is calculated.
【００５１】本実施例によれば、変位信号から振動イン
テンシティを求めることができるため、変位検出器によ
り非接触測定された測定信号から振動インテンシティを
算出することができる。According to this embodiment, since the vibration intensity can be obtained from the displacement signal, the vibration intensity can be calculated from the measurement signal which is non-contact measured by the displacement detector.
【００５２】本発明の第７の実施例は、図１０に示すよ
うに、変位検出プローブ１１ｄと変位検出回路１２ｄと
よりなる２点の変位を検出する変位検出器と、２個の変
位信号入力端子１ｄと、演算回路部２ｂとよりなる。In the seventh embodiment of the present invention, as shown in FIG. 10, a displacement detector composed of a displacement detection probe 11d and a displacement detection circuit 12d for detecting displacement at two points and two displacement signal inputs. It is composed of a terminal 1d and an arithmetic circuit section 2b.
【００５３】２個の変位信号入力端子１ｄと、演算回路
部２とは第６の実施例で述べた回路である。変位検出プ
ローブ１１ｄは、本実施例では、照射光と反射光の干渉
による明暗をカウントする変位計である。The two displacement signal input terminals 1d and the arithmetic circuit section 2 are the circuits described in the sixth embodiment. In this embodiment, the displacement detection probe 11d is a displacement meter that counts the brightness and darkness due to the interference between the irradiation light and the reflected light.
【００５４】対象とする構造物の２点の振動変位を上記
の非接触な変位検出器で測定して、２個の変位信号入力
端子１ｄより検出信号を取り込む。演算回路部２ｂで
は、第６の実施例で述べた演算を行って、振動インテン
シティを求める。Vibration displacements at two points of the target structure are measured by the non-contact displacement detectors described above, and detection signals are fetched from the two displacement signal input terminals 1d. The arithmetic circuit section 2b performs the arithmetic operation described in the sixth embodiment to obtain the vibration intensity.
【００５５】本実施例によれば、変位信号から振動イン
テンシティを求めることができるため、変位検出器によ
り非接触測定された測定信号から振動インテンシティを
算出することができる。According to this embodiment, since the vibration intensity can be obtained from the displacement signal, the vibration intensity can be calculated from the measurement signal which is non-contact measured by the displacement detector.
【００５６】本発明の第８の実施例は、図１１に示すよ
うに、変位検出プローブ１１ｄと変位検出回路１２ｄと
よりなる２点の変位を検出する変位検出器と、２個の変
位信号入力端子１ｄと、インテンシティ出力端子３と、
演算回路部２ｂと、走査用ミラー２１と、表示装置３１
とよりなる。In the eighth embodiment of the present invention, as shown in FIG. 11, a displacement detector composed of a displacement detection probe 11d and a displacement detection circuit 12d for detecting displacement at two points, and two displacement signal inputs. Terminal 1d, intensity output terminal 3,
Arithmetic circuit section 2b, scanning mirror 21, and display device 31
And consists of.
【００５７】２個の変位信号入力端子１ｄと、演算回路
部２ｂとは第６の実施例で述べた回路である。変位検出
プローブ１１ｄと変位検出回路１２ｄとよりなる変位検
出器は、第７の実施例で述べた照射光と反射光の干渉に
よる明暗をカウントする変位計である。The two displacement signal input terminals 1d and the arithmetic circuit section 2b are the circuits described in the sixth embodiment. The displacement detector including the displacement detection probe 11d and the displacement detection circuit 12d is a displacement meter that counts the light and darkness due to the interference between the irradiation light and the reflected light described in the seventh embodiment.
【００５８】対象とする構造物の２点の振動変位を上記
の非接触な変位検出器で測定して、２個の変位信号入力
端子１ｄより検出信号を取り込む。演算回路部２ｂで
は、第６の実施例で述べた演算処理を行って、振動イン
テンシティを求める。走査用ミラー２１を微小角度回転
させて、振動変位の測定点を走査し、逐次変位信号を取
り込んで振動インテンシティを計算する。Vibration displacements at two points of the target structure are measured by the non-contact displacement detectors described above, and detection signals are fetched from the two displacement signal input terminals 1d. The arithmetic circuit unit 2b performs the arithmetic processing described in the sixth embodiment to obtain the vibration intensity. The scanning mirror 21 is rotated by a slight angle to scan the measurement point of the vibration displacement, and the displacement signal is sequentially captured to calculate the vibration intensity.
【００５９】本実施例によれば、速度信号から振動イン
テンシティを求めることができるため、速度検出器によ
り非接触測定し、その測定信号から振動インテンシティ
を算出することができる。According to this embodiment, since the vibration intensity can be obtained from the velocity signal, it is possible to perform non-contact measurement by the velocity detector and calculate the vibration intensity from the measurement signal.
【００６０】また本実施例によれば、対象とする構造物
の多くの点の振動インテンシティを短時間で測定するこ
とができる。Further, according to this embodiment, it is possible to measure the vibration intensity of many points of the target structure in a short time.
【００６１】本発明の第９の実施例は、図１２に示すよ
うに、変位検出プローブ１１ｄと変位検出回路１２ｄと
よりなる２点の変位検出する変位検出器と、２個の変位
信号入力端子１ｄと、演算回路部２ｂと、測定対象を搭
載した走査台２２とよりなる。The ninth embodiment of the present invention is, as shown in FIG. 12, a displacement detector for detecting displacement at two points, which comprises a displacement detection probe 11d and a displacement detection circuit 12d, and two displacement signal input terminals. 1d, an arithmetic circuit unit 2b, and a scanning table 22 on which a measurement target is mounted.
【００６２】２個の変位信号入力端子１ｄと、演算回路
部２ｂとは第６の実施例で述べた回路である。変位検出
プローブ１１ｖと変位検出回路１２ｄとよりなる変位検
出器は、第７の実施例で述べた照射光と反射光の干渉に
よる明暗をカウントする変位計である。The two displacement signal input terminals 1d and the arithmetic circuit section 2b are the circuits described in the sixth embodiment. The displacement detector including the displacement detection probe 11v and the displacement detection circuit 12d is a displacement meter that counts the light and darkness due to the interference between the irradiation light and the reflected light described in the seventh embodiment.
【００６３】対象とする構造物の２点の振動変位を上記
の非接触な変位検出器で測定して、２個の変位信号入力
端子１ｄより検出信号を取り込む。演算回路部２ｂで
は、第６の実施例で述べた演算を行って、振動インテン
シティを求める。走査台２２を微小変位移動させて、振
動変位の測定点を走査し、逐次変位信号を取り込んで振
動インテンシティを計算する。Vibration displacements at two points of the target structure are measured by the non-contact displacement detectors described above, and detection signals are fetched from the two displacement signal input terminals 1d. The arithmetic circuit section 2b performs the arithmetic operation described in the sixth embodiment to obtain the vibration intensity. The scanning table 22 is moved by a small displacement to scan the measurement point of the vibration displacement, and the displacement signal is sequentially captured to calculate the vibration intensity.
【００６４】本実施例によれば、変位信号から振動イン
テンシティを求めることができるため、変位検出器によ
り非接触測定し、その測定信号から振動インテンシティ
を算出することができる。According to this embodiment, since the vibration intensity can be obtained from the displacement signal, the displacement detector can perform non-contact measurement and the vibration intensity can be calculated from the measured signal.
【００６５】また本実施例によれば、対象とする構造物
の多くの点の振動インテンシティを短時間で測定するこ
とができる。Further, according to this embodiment, it is possible to measure the vibration intensity of many points of the target structure in a short time.
【００６６】本発明の第１０の実施例は、図１３に示す
ように、変位検出プローブ１１ｄと変位検出回路１２ｄ
とよりなる２点の変位を検出する変位検出器と、２個の
変位信号入力端子１ｄと、インテンシティ出力端子３
と、演算回路部２ｂと、走査用ミラー２１と、表示装置
３１とよりなる。In the tenth embodiment of the present invention, as shown in FIG. 13, a displacement detecting probe 11d and a displacement detecting circuit 12d are provided.
Displacement detector for detecting displacement at two points, consisting of two displacement signal input terminals 1d, and intensity output terminal 3
And an arithmetic circuit unit 2b, a scanning mirror 21, and a display device 31.
【００６７】２個の変位信号入力端子１ｄと、演算回路
部２ｂとは第６の実施例で述べた回路である。変位検出
プローブ１１ｄと変位検出回路１２ｄとよりなる変位検
出器は、第７の実施例で述べた照射光と反射光の干渉に
よる明暗をカウントする変位計である。The two displacement signal input terminals 1d and the arithmetic circuit section 2b are the circuits described in the sixth embodiment. The displacement detector including the displacement detection probe 11d and the displacement detection circuit 12d is a displacement meter that counts the light and darkness due to the interference between the irradiation light and the reflected light described in the seventh embodiment.
【００６８】対象とする構造物の２点の振動変位を上記
の非接触な変位検出器で測定して、２個の変位信号入力
端子１ｖより検出信号を取り込む。演算回路部２ｂで
は、第６の実施例で述べた演算を行って、振動インテン
シティを求める。走査用ミラー２１を微小角度回転させ
て、振動変位の測定点を走査し、逐次変位信号を取り込
んで振動インテンシティを計算する。走査用ミラー２１
の回転角度と、測定対象上の振動インテンシティの信号
とはともに表示装置３１に接続され、測定点に対応して
振動インテンシティの大きさと方向とが表示装置３１に
表示される。The vibration displacements at two points of the target structure are measured by the non-contact displacement detectors described above, and the detection signals are fetched from the two displacement signal input terminals 1v. The arithmetic circuit section 2b performs the arithmetic operation described in the sixth embodiment to obtain the vibration intensity. The scanning mirror 21 is rotated by a slight angle to scan the measurement point of the vibration displacement, and the displacement signal is sequentially captured to calculate the vibration intensity. Scanning mirror 21
The rotation angle and the signal of the vibration intensity on the measurement target are both connected to the display device 31, and the magnitude and direction of the vibration intensity corresponding to the measurement point are displayed on the display device 31.
【００６９】本実施例によれば、速度信号から振動イン
テンシティを求めることができるため、速度検出器によ
り非接触測定し、その測定信号から振動インテンシティ
を算出することができる。According to this embodiment, since the vibration intensity can be obtained from the velocity signal, it is possible to perform non-contact measurement by the velocity detector and calculate the vibration intensity from the measurement signal.
【００７０】本実施例によれば、速度信号から振動イン
テンシティを求めることができるため、速度検出器によ
り非接触測定し、その測定信号から振動インテンシティ
を算出することができる。According to this embodiment, since the vibration intensity can be obtained from the velocity signal, it is possible to perform non-contact measurement with the velocity detector and calculate the vibration intensity from the measurement signal.
【００７１】また本実施例によれば、対象とする構造物
の多くの点の振動インテンシティを短時間で測定するこ
とができる。Further, according to this embodiment, it is possible to measure the vibration intensity at many points of the target structure in a short time.
【００７２】また本実施例によれば、測定した点の振動
インテンシティの分布を視覚的に表示することができ
る。Further, according to the present embodiment, it is possible to visually display the distribution of the vibration intensity of the measured points.
【００７３】本発明の第１１の実施例は、図１４に示す
ように、測定対象物の２方向例えばｘ軸方向及びｙ軸方
向のそれぞれの２対の点でそれぞれの非接触測定信号を
入力する２方向の２対の速度信号入力端子１ｖと、２対
の速度信号入力端子１ｖに接続する演算回路部２ｃとよ
り構成される。２対の速度信号入力端子１ｖより速度信
号を取り込み、演算回路部２ｃでは、各対ごとに２個の
入力信号の和の微分結果と、入力信号の減算結果とを掛
け算して、振動インテンシティを求める。In the eleventh embodiment of the present invention, as shown in FIG. 14, non-contact measurement signals are input at two pairs of points in each of two directions, for example, the x-axis direction and the y-axis direction of the object to be measured. It is composed of two pairs of speed signal input terminals 1v in two directions and an arithmetic circuit section 2c connected to the two pairs of speed signal input terminals 1v. The velocity signal is taken in from the two pairs of velocity signal input terminals 1v, and the arithmetic circuit unit 2c multiplies the differential result of the sum of the two input signals for each pair by the subtraction result of the input signal to obtain the vibration intensity. Ask for.
【００７４】演算回路部２ｃは図１５に示すように、入
力アンプ４、バンドパスフィルタ５、微分回路８、バッ
ファアンプ９、加算回路６、減算回路８及び乗算回路１
０で構成される。As shown in FIG. 15, the arithmetic circuit section 2c includes an input amplifier 4, a bandpass filter 5, a differentiating circuit 8, a buffer amplifier 9, an adding circuit 6, a subtracting circuit 8 and a multiplying circuit 1.
It consists of 0.
【００７５】対象とする構造物の４点の振動速度が非接
触な検出器で測定されたとき、２対、４個の入力端子よ
り検出信号を取り込む。各対の２個の入力信号は、それ
ぞれ入力アンプを経てバンドパスフィルタによって特定
の帯域の信号とされる。これら２個の信号の和の微分は
加速度の和α1＋α2であり、その結果を一旦バッファア
ンプに蓄える。また一方、２個の信号を減算して得られ
る速度差ｖ1−ｖ2を別のバッファアンプに蓄える。そし
て、これらバッファアンプに蓄えられた信号を掛け算し
て出力すると各対における振動インテンシティｗ＝（α
1＋α2）・（ｖ1−ｖ2）が算出される。When the vibration speeds at four points of the target structure are measured by the non-contact detector, the detection signals are fetched from the two pairs and four input terminals. The two input signals of each pair pass through an input amplifier and are converted into signals in a specific band by a bandpass filter. The derivative of the sum of these two signals is the sum of accelerations α 1 + α 2 , and the result is temporarily stored in the buffer amplifier. On the other hand, the speed difference v 1 -v 2 obtained by subtracting the two signals is stored in another buffer amplifier. Then, when the signals stored in these buffer amplifiers are multiplied and output, the vibration intensity w = (α
1 + α 2 ) · (v 1 −v 2 ) is calculated.
【００７６】本実施例によれば、速度信号から振動イン
テンシティを求めることができるので、速度検出器によ
り非接触測定された測定信号から振動インテンシティを
算出することができる。According to this embodiment, since the vibration intensity can be obtained from the velocity signal, the vibration intensity can be calculated from the measurement signal which is non-contact measured by the velocity detector.
【００７７】本発明の第１２の実施例は、図１６に示す
ように、速度検出プローブ１１ｖと速度検出回路１２ｖ
とよりなる４点の速度を検出する速度検出器と、２対の
速度信号入力端子１ｖと、演算回路部２ｃとよりなる。The twelfth embodiment of the present invention, as shown in FIG. 16, includes a speed detection probe 11v and a speed detection circuit 12v.
And a speed detector for detecting speeds at four points, two pairs of speed signal input terminals 1v, and an arithmetic circuit unit 2c.
【００７８】２対の速度信号入力端子１ｖと、演算回路
部２ｃは第１１の実施例で述べた回路である。速度検出
プローブ１１ｖは、図１７に示す先端にレンズが付いた
光ファイバ４本を９０°ピッチで配置し、束ねた構造に
なっており、対向する２個が対となっている。本実施例
では、速度検出プローブ１１ｖと速度検出回路１２ｖと
よりなる速度検出器は、ドップラ効果を利用した速度計
である。The two pairs of speed signal input terminals 1v and the arithmetic circuit section 2c are the circuits described in the eleventh embodiment. The velocity detection probe 11v has a structure in which four optical fibers having lenses at the tip shown in FIG. 17 are arranged at a 90 ° pitch and bundled, and two opposing fibers form a pair. In this embodiment, the speed detector including the speed detection probe 11v and the speed detection circuit 12v is a speedometer utilizing the Doppler effect.
【００７９】対象とする構造物の２点の振動速度を上記
の非接触な速度検出器で測定して、２個の速度信号入力
端子１ｖより検出信号を取り込む。演算回路部２ｃで
は、第１１の実施例で述べた演算を行って、振動インテ
ンシティを求める。The vibration speeds at two points of the target structure are measured by the non-contact speed detector, and detection signals are taken in from the two speed signal input terminals 1v. The arithmetic circuit unit 2c calculates the vibration intensity by performing the arithmetic operation described in the eleventh embodiment.
【００８０】本実施例によれば、速度信号から振動イン
テンシティを求めることができるため、速度検出器によ
り非接触測定された測定信号から振動インテンシティを
算出することができる。According to the present embodiment, the vibration intensity can be obtained from the velocity signal, so that the vibration intensity can be calculated from the measurement signal which is non-contact measured by the velocity detector.
【００８１】本発明の第１３の実施例は、図１８に示す
ように、速度検出プローブ１１ｖと速度検出回路１２ｖ
とよりなる４点の速度を検出する速度検出器と、２対の
速度信号入力端子１ｖと、演算回路部２ｃと、走査用ミ
ラー２１とよりなる。The thirteenth embodiment of the present invention, as shown in FIG. 18, includes a speed detection probe 11v and a speed detection circuit 12v.
And a speed detector for detecting speeds at four points, two pairs of speed signal input terminals 1v, an arithmetic circuit section 2c, and a scanning mirror 21.
【００８２】２対の速度信号入力端子１ｖと、演算回路
部２ｃとは第１１の実施例で述べた回路である。速度検
出プローブ１１ｖと速度検出回路１２ｖよりなる速度検
出器は、第１２の実施例で述べたドップラ効果を利用し
た速度計である。The two pairs of speed signal input terminals 1v and the arithmetic circuit section 2c are the circuits described in the eleventh embodiment. The speed detector including the speed detection probe 11v and the speed detection circuit 12v is the speedometer utilizing the Doppler effect described in the twelfth embodiment.
【００８３】対象とする構造物の４点の振動速度を上記
の非接触な速度検出器で測定して、２対の速度信号入力
端子１ｖより検出信号を取り込む。演算回路部２ｃで
は、第１１の実施例で述べた演算を行って、振動インテ
ンシティを求める。走査用ミラー２１を微小角度回転さ
せて、振動速度の測定点を走査し、逐次速度信号を取り
込んで振動インテンシティを計算する。The vibration velocity at four points of the target structure is measured by the non-contact velocity detector, and the detection signal is taken in from the two pairs of velocity signal input terminals 1v. The arithmetic circuit unit 2c calculates the vibration intensity by performing the arithmetic operation described in the eleventh embodiment. The scanning mirror 21 is rotated by a slight angle to scan the measurement point of the vibration velocity, and the velocity signal is successively captured to calculate the vibration intensity.
【００８４】本実施例によれば、速度信号から振動イン
テンシティを求めることができるので、速度検出器によ
り非接触測定し、その測定信号から振動インテンシティ
を算出することができる。According to this embodiment, since the vibration intensity can be obtained from the velocity signal, it is possible to perform non-contact measurement by the velocity detector and calculate the vibration intensity from the measurement signal.
【００８５】また本実施例によれば、対象とする構造物
の多くの点の振動インテンシティを短時間で測定するこ
とができる。Further, according to this embodiment, it is possible to measure the vibration intensity of many points of the target structure in a short time.
【００８６】本発明の第１４の実施例は、図１９に示す
ように、速度検出プローブ１１ｖと速度検出回路１２ｖ
とよりなる４点の速度を検出する速度検出器と、２対の
速度信号入力端子１ｖと、演算回路部２ｃと、測定対象
を搭載した走査台２２とよりなる。The fourteenth embodiment of the present invention, as shown in FIG. 19, includes a speed detection probe 11v and a speed detection circuit 12v.
And a speed detector for detecting speeds at four points, two pairs of speed signal input terminals 1v, an arithmetic circuit section 2c, and a scanning table 22 on which a measurement target is mounted.
【００８７】２対の速度信号入力端子１ｖと、演算回路
部２ｃとは第１１の実施例で述べた回路である。速度検
出プローブ１１ｖと速度検出回路１２ｖとよりなる速度
検出器は、第１２の実施例で述べたドップラ効果を利用
した速度計である。The two pairs of speed signal input terminals 1v and the arithmetic circuit section 2c are the circuits described in the eleventh embodiment. The speed detector including the speed detection probe 11v and the speed detection circuit 12v is the speedometer utilizing the Doppler effect described in the twelfth embodiment.
【００８８】対象とする構造物の４点の振動速度を上記
の非接触な速度検出器で測定して、２対の速度信号入力
端子１ｖより検出信号を取り込む。演算回路部２ｃで
は、第１１の実施例で述べた演算を行って、振動インテ
ンシティを求める。走査台２２を微小変位移動させて、
振動速度の測定点を走査し、逐次速度信号を取り込んで
振動インテンシティを計算する。The vibration velocity at four points of the target structure is measured by the non-contact velocity detector, and the detection signal is taken in from the two pairs of velocity signal input terminals 1v. The arithmetic circuit unit 2c calculates the vibration intensity by performing the arithmetic operation described in the eleventh embodiment. By moving the scanning table 22 by a small displacement,
The measurement point of the vibration velocity is scanned, and the velocity signal is sequentially captured to calculate the vibration intensity.
【００８９】本実施例によれば、速度信号から振動イン
テンシティを求めることができるので、速度検出器によ
り非接触測定し、その測定信号から振動インテンシティ
を算出することができる。According to this embodiment, since the vibration intensity can be obtained from the velocity signal, it is possible to perform non-contact measurement with the velocity detector and calculate the vibration intensity from the measurement signal.
【００９０】また本実施例によれば、対象とする構造物
の多くの点の振動インテンシティを短時間で測定するこ
とができる。Further, according to the present embodiment, the vibration intensity at many points of the target structure can be measured in a short time.
【００９１】本発明の第１５の実施例は、図２０に示す
ように、速度検出プローブ１１ｖと速度検出回路１２ｖ
とよりなる４点の速度を検出する速度検出器と、２対の
速度信号入力端子１ｖと、インテンシティ出力端子３
と、演算回路部ｃ２と、走査用ミラー２１と、表示装置
３１とよりなる。The fifteenth embodiment of the present invention, as shown in FIG. 20, includes a speed detection probe 11v and a speed detection circuit 12v.
And a speed detector for detecting speeds at four points, two pairs of speed signal input terminals 1v, and an intensity output terminal 3
And an arithmetic circuit section c2, a scanning mirror 21, and a display device 31.
【００９２】２対の速度信号入力端子１ｖと、演算回路
部２ｃとは第１１の実施例で述べた回路である。速度検
出プローブ１１ｖと速度検出回路１２ｖとよりなる速度
検出器は、第１２の実施例で述べたドップラ効果を利用
した速度計である。The two pairs of speed signal input terminals 1v and the arithmetic circuit section 2c are the circuits described in the eleventh embodiment. The speed detector including the speed detection probe 11v and the speed detection circuit 12v is the speedometer utilizing the Doppler effect described in the twelfth embodiment.
【００９３】対象とする構造物の４点の振動速度を上記
の非接触な速度検出器で測定して、２対の速度信号入力
端子１ｖより検出信号を取り込む。演算回路部２ｃで
は、第１１の実施例で述べた演算を行って、振動インテ
ンシティを求める。走査用ミラー２１を微小角度回転さ
せて、振動速度の測定点を走査し、逐次速度信号を取り
込んで振動インテンシティを計算する。走査用ミラー２
１の回転角度と、測定対象上の振動インテンシティの信
号はともに表示装置３１に接続され、測定点に対応して
振動インテンシティの大きさと方向が表示装置３１に表
示される。The vibration velocity at four points of the target structure is measured by the non-contact velocity detector, and the detection signal is taken in from two pairs of velocity signal input terminals 1v. The arithmetic circuit unit 2c calculates the vibration intensity by performing the arithmetic operation described in the eleventh embodiment. The scanning mirror 21 is rotated by a slight angle to scan the measurement point of the vibration velocity, and the velocity signal is successively captured to calculate the vibration intensity. Scanning mirror 2
The rotation angle of 1 and the signal of the vibration intensity on the measurement target are both connected to the display device 31, and the magnitude and direction of the vibration intensity are displayed on the display device 31 corresponding to the measurement point.
【００９４】本実施例によれば、速度信号から振動イン
テンシティを求めることができるため、速度検出器によ
り非接触測定し、その測定信号から振動インテンシティ
を算出することができる。According to this embodiment, since the vibration intensity can be obtained from the velocity signal, it is possible to perform non-contact measurement with the velocity detector and calculate the vibration intensity from the measurement signal.
【００９５】本実施例によれば、速度信号から振動イン
テンシティを求めることができるため、速度検出器によ
り非接触測定し、その測定信号から振動インテンシティ
を算出することができる。According to this embodiment, since the vibration intensity can be obtained from the velocity signal, it is possible to perform non-contact measurement with the velocity detector and calculate the vibration intensity from the measurement signal.
【００９６】また本実施例によれば、対象とする構造物
の多くの点の振動インテンシティを短時間で測定するこ
とができる。Further, according to this embodiment, it is possible to measure the vibration intensity at many points of the target structure in a short time.
【００９７】また本実施例によれば、測定した点の振動
インテンシティの分布を視覚的に表示することができ
る。Further, according to this embodiment, it is possible to visually display the distribution of the vibration intensity of the measured points.
【００９８】本発明の第１６の実施例は、図２１に示す
ように、２対の変位信号入力端子１ｄと、演算回路部２
ｄとより構成される。２対の変位信号入力端子１ｄより
変位信号を取り込み、演算回路部２ｄでは、各対におい
て２個の入力信号の和の２階微分の結果と、入力信号の
減算の微分結果とを掛け算して、振動インテンシティを
求める。In the sixteenth embodiment of the present invention, as shown in FIG. 21, two pairs of displacement signal input terminals 1d and an arithmetic circuit section 2 are provided.
and d. The displacement signals are taken in from the two pairs of displacement signal input terminals 1d, and in the arithmetic circuit unit 2d, the result of the second differential of the sum of the two input signals in each pair is multiplied by the differential result of the subtraction of the input signals. , Find the vibration intensity.
【００９９】演算回路部２ｄは図２２に示すように、入
力アンプ４、バンドパスフィルタ５、２階微分回路１
８、微分回路８、バッファアンプ９、加算回路６、減算
回路７及び乗算回路１０で構成される。As shown in FIG. 22, the arithmetic circuit section 2d includes an input amplifier 4, a bandpass filter 5, and a second-order differentiation circuit 1.
8, a differentiating circuit 8, a buffer amplifier 9, an adding circuit 6, a subtracting circuit 7 and a multiplying circuit 10.
【０１００】対象とする構造物の４点の振動変位が非接
触な検出器で測定されたとき、２対の入力端子より検出
信号を取り込む。各対の２個の入力信号は、それぞれ入
力アンプを経てバンドパスフィルタによって特定の帯域
の信号とされる。これら２個の信号の和の２階微分は加
速度の和α1＋α2であり、その結果を一旦バッファアン
プに蓄える。また一方、２個の信号を減算、さらに微分
して得られる速度差ｖ1−ｖ2を別のバッファアンプに蓄
える。そして、これらバッファアンプに蓄えられた信号
を掛け算して出力すると各対の振動インテンシティｗ＝
（α1＋α2）・（ｖ1−ｖ2）が算出される。When the vibration displacements at four points of the target structure are measured by the non-contact detector, the detection signals are fetched from the two pairs of input terminals. The two input signals of each pair pass through an input amplifier and are converted into signals in a specific band by a bandpass filter. The second derivative of the sum of these two signals is the sum of accelerations α 1 + α 2 , and the result is temporarily stored in the buffer amplifier. On the other hand, the speed difference v 1 -v 2 obtained by subtracting and further differentiating the two signals is stored in another buffer amplifier. When the signals stored in these buffer amplifiers are multiplied and output, the vibration intensity of each pair w =
(Α 1 + α 2 ) · (v 1 −v 2 ) is calculated.
【０１０１】本実施例によれば、変位信号から振動イン
テンシティを求めることができるため、変位検出器によ
り非接触測定された測定信号から振動インテンシティを
算出することができる。According to this embodiment, since the vibration intensity can be obtained from the displacement signal, the vibration intensity can be calculated from the measurement signal which is non-contact measured by the displacement detector.
【０１０２】本発明の第１７の実施例は、図２３に示す
ように、変位検出プローブ１１ｄと変位検出回路１２ｄ
とよりなる４点の変位を検出する変位検出器と、２対の
変位信号入力端子１ｄと、演算回路部２ｄとよりなる。The seventeenth embodiment of the present invention, as shown in FIG. 23, includes a displacement detection probe 11d and a displacement detection circuit 12d.
And a displacement detector for detecting displacements at four points, two pairs of displacement signal input terminals 1d, and an arithmetic circuit unit 2d.
【０１０３】２対の変位信号入力端子１ｄと、演算回路
部２ｄとは第１６の実施例で述べた回路である。変位検
出プローブ１１ｄは、本実施例では、照射光と反射光の
干渉による明暗をカウントする変位計である。The two pairs of displacement signal input terminals 1d and the arithmetic circuit section 2d are the circuits described in the sixteenth embodiment. The displacement detection probe 11d is, in the present embodiment, a displacement meter that counts the brightness and darkness due to the interference between the irradiation light and the reflected light.
【０１０４】対象とする構造物の４点の振動変位を上記
の非接触な変位検出器で測定して、２対の変位信号入力
端子１ｄより検出信号を取り込む。演算回路部２ｄで
は、第１６の実施例で述べた演算を行って、振動インテ
ンシティを求める。Vibration displacements at four points of the target structure are measured by the non-contact displacement detectors described above, and detection signals are fetched from two pairs of displacement signal input terminals 1d. The arithmetic circuit unit 2d calculates the vibration intensity by performing the arithmetic operation described in the sixteenth embodiment.
【０１０５】本実施例によれば、変位信号から振動イン
テンシティを求めることができるため、変位検出器によ
り非接触測定された測定信号から振動インテンシティを
算出することができる。According to this embodiment, since the vibration intensity can be obtained from the displacement signal, the vibration intensity can be calculated from the measurement signal which is non-contact measured by the displacement detector.
【０１０６】本発明の第１８の実施例は、図２４に示す
ように、変位検出プローブ１１ｄと変位検出回路１２ｄ
とよりなる４点の変位を検出する変位検出器と、２個の
変位信号入力端子１ｄと、インテンシティ出力端子３
と、演算回路部２ｄと、走査用ミラー２１と、表示装置
３１とよりなる。In the eighteenth embodiment of the present invention, as shown in FIG. 24, a displacement detection probe 11d and a displacement detection circuit 12d are provided.
Displacement detector for detecting displacement at 4 points, 2 displacement signal input terminals 1d, and intensity output terminal 3
And an arithmetic circuit unit 2d, a scanning mirror 21, and a display device 31.
【０１０７】２対の変位信号入力端子１ｄと、演算回路
部２ｄとは第１６の実施例で述べた回路である。変位検
出プローブ１１ｄと変位検出回路１２ｄとよりなる変位
検出器は、第１７の実施例で述べた照射光と反射光の干
渉による明暗をカウントする変位計である。The two pairs of displacement signal input terminals 1d and the arithmetic circuit section 2d are the circuits described in the sixteenth embodiment. The displacement detector including the displacement detection probe 11d and the displacement detection circuit 12d is a displacement meter that counts the brightness and darkness due to the interference between the irradiation light and the reflected light described in the seventeenth embodiment.
【０１０８】対象とする構造物の４点の振動変位を上記
の非接触な変位検出器で測定して、２対の変位信号入力
端子１ｄより検出信号を取り込む。演算回路部２ｄで
は、第１６の実施例で述べた演算を行って、振動インテ
ンシティを求める。走査用ミラー２１を微小角度回転さ
せて、振動変位の測定点を走査し、逐次変位信号を取り
込んで振動インテンシティを計算する。The vibration displacements at four points of the target structure are measured by the non-contact displacement detectors described above, and the detection signals are fetched from the two pairs of displacement signal input terminals 1d. The arithmetic circuit unit 2d calculates the vibration intensity by performing the arithmetic operation described in the sixteenth embodiment. The scanning mirror 21 is rotated by a slight angle to scan the measurement point of the vibration displacement, and the displacement signal is sequentially captured to calculate the vibration intensity.
【０１０９】本実施例によれば、速度信号から振動イン
テンシティを求めることができるため、速度検出器によ
り非接触測定し、その測定信号から振動インテンシティ
を算出することができる。According to this embodiment, since the vibration intensity can be obtained from the velocity signal, it is possible to perform non-contact measurement with the velocity detector and calculate the vibration intensity from the measurement signal.
【０１１０】また本実施例によれば、対象とする構造物
の多くの点の振動インテンシティを短時間で測定するこ
とができる。Further, according to this embodiment, it is possible to measure the vibration intensity at many points of the target structure in a short time.
【０１１１】本発明の第１９の実施例は、図２５に示す
ように、変位検出プローブ１１ｄと変位検出回路１２ｄ
とよりなる４点の変位検出する変位検出器と、２対の変
位信号入力端子１ｄと、演算回路部２ｄと、測定対象を
搭載した走査台２２とよりなる。The nineteenth embodiment of the present invention is, as shown in FIG. 25, a displacement detection probe 11d and a displacement detection circuit 12d.
A displacement detector for detecting displacement at 4 points, 2 pairs of displacement signal input terminals 1d, an arithmetic circuit unit 2d, and a scanning table 22 on which a measurement target is mounted.
【０１１２】２対の変位信号入力端子１ｄと、演算回路
部２ｄとは第１６の実施例で述べた回路である。変位検
出プローブ１１ｖと変位検出回路１２ｄとよりなる変位
検出器は、第１７の実施例で述べた照射光と反射光の干
渉による明暗をカウントする変位計である。The two pairs of displacement signal input terminals 1d and the arithmetic circuit section 2d are the circuits described in the sixteenth embodiment. The displacement detector including the displacement detection probe 11v and the displacement detection circuit 12d is a displacement meter that counts the brightness and darkness due to the interference between the irradiation light and the reflected light described in the seventeenth embodiment.
【０１１３】対象とする構造物の４点の振動変位を上記
の非接触な変位検出器で測定して、２対の変位信号入力
端子１ｄより検出信号を取り込む。演算回路部２ｄで
は、第１６の実施例で述べた演算を行って、振動インテ
ンシティを求める。走査台２２を微小変位移動させて、
振動変位の測定点を走査し、逐次変位信号を取り込んで
振動インテンシティを計算する。Vibration displacements at four points of the target structure are measured by the non-contact displacement detectors described above, and detection signals are fetched from two pairs of displacement signal input terminals 1d. The arithmetic circuit unit 2d calculates the vibration intensity by performing the arithmetic operation described in the sixteenth embodiment. By moving the scanning table 22 by a small displacement,
The vibration intensity is calculated by scanning the vibration displacement measurement points and sequentially capturing displacement signals.
【０１１４】本実施例によれば、変位信号から振動イン
テンシティを求めることができるため、変位検出器によ
り非接触測定し、その測定信号から振動インテンシティ
を算出することができる。According to this embodiment, since the vibration intensity can be obtained from the displacement signal, it is possible to perform non-contact measurement with the displacement detector and calculate the vibration intensity from the measured signal.
【０１１５】また本実施例によれば、対象とする構造物
の多くの点の振動インテンシティを短時間で測定するこ
とができる。Further, according to this embodiment, the vibration intensity at many points of the target structure can be measured in a short time.
【０１１６】本発明の第２０の実施例は、図２６に示す
ように、変位検出プローブ１１ｄと変位検出回路１２ｄ
とよりなる４点の速度を検出する変位検出器と、２対の
変位信号入力端子１ｄと、インテンシティ出力端子３
と、演算回路部２と、走査用ミラー２１と、表示装置３
１とよりなる。In the twentieth embodiment of the present invention, as shown in FIG. 26, the displacement detection probe 11d and the displacement detection circuit 12d are arranged.
Displacement detector for detecting speed at 4 points, 2 pairs of displacement signal input terminals 1d, and intensity output terminal 3
, Arithmetic circuit unit 2, scanning mirror 21, and display device 3
It consists of 1.
【０１１７】２対の変位信号入力端子１ｄと、演算回路
部２ｄとは第１６の実施例で述べた回路である。変位検
出プローブ１１ｄと変位検出回路１２ｄよりなる変位検
出器は、第１７の実施例で述べた照射光と反射光の干渉
による明暗をカウントする変位計である。The two pairs of displacement signal input terminals 1d and the arithmetic circuit section 2d are the circuits described in the sixteenth embodiment. The displacement detector including the displacement detection probe 11d and the displacement detection circuit 12d is a displacement meter that counts the brightness and darkness due to the interference between the irradiation light and the reflected light described in the seventeenth embodiment.
【０１１８】対象とする構造物の４点の振動変位を上記
の非接触な変位検出器で測定して、２対の変位信号入力
端子１ｖより検出信号を取り込む。演算回路部２ｄで
は、第１６の実施例で述べた演算を行って、振動インテ
ンシティを求める。走査用ミラー２１を微小角度回転さ
せて、振動変位の測定点を走査し、逐次変位信号を取り
込んで振動インテンシティを計算する。走査用ミラー２
１の回転角度と、測定対象上の振動インテンシティの信
号はともに表示装置３１に接続され、測定点に対応して
振動インテンシティの大きさと方向が表示装置３１に表
示される。Vibration displacements at four points of the target structure are measured by the non-contact displacement detectors described above, and detection signals are fetched from two pairs of displacement signal input terminals 1v. The arithmetic circuit unit 2d calculates the vibration intensity by performing the arithmetic operation described in the sixteenth embodiment. The scanning mirror 21 is rotated by a slight angle to scan the measurement point of the vibration displacement, and the displacement signal is sequentially captured to calculate the vibration intensity. Scanning mirror 2
The rotation angle of 1 and the signal of the vibration intensity on the measurement target are both connected to the display device 31, and the magnitude and direction of the vibration intensity are displayed on the display device 31 corresponding to the measurement point.
【０１１９】本実施例によれば、速度信号から振動イン
テンシティを求めることができるので、速度検出器によ
り非接触測定し、その測定信号から振動インテンシティ
を算出することができる。According to this embodiment, since the vibration intensity can be obtained from the velocity signal, it is possible to perform non-contact measurement with the velocity detector and calculate the vibration intensity from the measurement signal.
【０１２０】本実施例によれば、速度信号から振動イン
テンシティを求めることができるので、速度検出器によ
り非接触測定し、その測定信号から振動インテンシティ
を算出することができる。According to this embodiment, since the vibration intensity can be obtained from the speed signal, it is possible to perform non-contact measurement with the speed detector and calculate the vibration intensity from the measured signal.
【０１２１】また本実施例によれば、対象とする構造物
の多くの点の振動インテンシティを短時間で測定するこ
とができる。Further, according to this embodiment, it is possible to measure the vibration intensity at many points of the target structure in a short time.
【０１２２】また本実施例によれば、測定した点の振動
インテンシティの分布を視覚的に表示することができ
る。Further, according to this embodiment, the distribution of the vibration intensity at the measured points can be visually displayed.
【０１２３】以上の実施例では、非接触測定の手段に、
レーザ光のドップラ効果や干渉による明暗変化を用いて
いるが、光量変化型のセンサや静電容量変化型のセン
サ、うず電流型のセンサを非接触計測手段に用い、その
測定信号を演算処理して振動インテンシティを算出する
こともできる。In the above embodiments, the non-contact measurement means is
Although the light and dark changes due to the Doppler effect and interference of laser light are used, the light intensity change type sensor, the capacitance change type sensor, and the eddy current type sensor are used as the non-contact measuring means, and the measurement signal is processed. It is also possible to calculate the vibration intensity.
【０１２４】[0124]
【発明の効果】本発明によれば、２個の速度信号入力端
子より検出信号を取り込み、それら２個の入力信号の和
の微分結果と、２個の入力信号の減算結果とを掛け算し
振動インテンシティを算出すること、２個の変位信号入
力端子より検出信号を取り込み、それら２個の入力信号
の和の２階微分結果と、２個の入力信号の差の微分結果
とを掛け算し振動インテンシティを算出することが可能
となるため、微細な測定対象物の振動を非接触測定し、
その測定信号を処理して振動インテンシティを求めるこ
とができる。そして、走査機構を設けることによって、
測定対象物の多くの点の振動インテンシティを短時間で
測定することができる。また、表示装置を設けることに
よって、測定した点の振動インテンシティを視覚的に表
示することができる。According to the present invention, a detection signal is taken in from two speed signal input terminals, and the result of differentiation of the sum of these two input signals and the result of subtraction of the two input signals are multiplied to cause vibration. Intensity is calculated by taking in the detection signal from the two displacement signal input terminals, multiplying the second-order differential result of the sum of these two input signals and the differential result of the difference between the two input signals, and vibrating. Since it becomes possible to calculate the intensity, non-contact measurement of the vibration of a fine measurement object,
The measurement signal can be processed to determine vibration intensity. And by providing a scanning mechanism,
It is possible to measure the vibration intensity at many points of the measurement target in a short time. Further, by providing the display device, the vibration intensity of the measured point can be visually displayed.
【０１２５】さらに、２方向の２対の速度信号入力端子
より検出信号を取り込み、各対の入力信号の和の微分結
果と、各対の入力信号の減算結果とを掛け算し、あるい
は各対の変位信号入力端子より検出信号を取り込み、そ
れら各対の入力信号の和の２階微分結果と、各対の入力
信号の差の微分結果とを掛け算して振動インテンシティ
を算出し、走査機構と表示装置とを設けることによっ
て、測定対象物の速度検出点の各位置の振動インテンシ
ティを短時間で測定し、２次元的な振動インテンシティ
ベクトルを視覚化し表示することができる。Further, the detection signals are taken in from two pairs of speed signal input terminals in two directions, and the differential result of the sum of the input signals of each pair and the subtraction result of the input signals of each pair are multiplied, or The detection signal is taken in from the displacement signal input terminal, and the vibration intensity is calculated by multiplying the second-order differential result of the sum of the input signals of each pair and the differential result of the difference of the input signal of each pair, and By providing the display device, the vibration intensity at each position of the velocity detection point of the measurement object can be measured in a short time, and the two-dimensional vibration intensity vector can be visualized and displayed.
【図１】本発明の第１の実施例を示す速度信号を入力す
る装置の斜視図である。FIG. 1 is a perspective view of an apparatus for inputting a speed signal showing a first embodiment of the present invention.
【図２】図１の演算回路部を示す回路図である。FIG. 2 is a circuit diagram showing an arithmetic circuit unit of FIG.
【図３】本発明の第２の実施例を示す速度検出器を備え
た装置の斜視図である。FIG. 3 is a perspective view of an apparatus including a speed detector showing a second embodiment of the present invention.
【図４】図３の速度検出プローブの拡大図である。FIG. 4 is an enlarged view of the speed detection probe of FIG.
【図５】本発明の第３の実施例を示す速度検出器と走査
機構とを備えた装置の斜視図である。FIG. 5 is a perspective view of an apparatus including a speed detector and a scanning mechanism showing a third embodiment of the present invention.
【図６】本発明の第４の実施例を示す速度検出器と走査
機構とを備えた装置の斜視図である。FIG. 6 is a perspective view of an apparatus including a speed detector and a scanning mechanism showing a fourth embodiment of the present invention.
【図７】本発明の第５の実施例を示す速度検出器と走査
機構と表示装置とを備えた装置の斜視図である。FIG. 7 is a perspective view of an apparatus including a speed detector, a scanning mechanism, and a display device showing a fifth embodiment of the present invention.
【図８】本発明の第６の実施例を示す変位信号を入力と
する装置の斜視図である。FIG. 8 is a perspective view of an apparatus for inputting a displacement signal, showing a sixth embodiment of the present invention.
【図９】図８の演算回路部を示す回路図である。9 is a circuit diagram showing the arithmetic circuit unit of FIG.
【図１０】本発明の第７の実施例を示す変位検出器を備
えた装置の斜視図である。FIG. 10 is a perspective view of an apparatus including a displacement detector showing a seventh embodiment of the present invention.
【図１１】本発明の第８の実施例を示す変位検出器と走
査機構とを備えた装置の斜視図である。FIG. 11 is a perspective view of an apparatus including a displacement detector and a scanning mechanism showing an eighth embodiment of the present invention.
【図１２】本発明の第９の実施例を示す変位検出器と走
査機構とを備えた装置の斜視図である。FIG. 12 is a perspective view of an apparatus including a displacement detector and a scanning mechanism showing a ninth embodiment of the present invention.
【図１３】本発明の第１０の実施例を示す変位検出器と
走査機構と表示装置とを備えた装置の斜視図である。FIG. 13 is a perspective view of an apparatus including a displacement detector, a scanning mechanism, and a display device showing a tenth embodiment of the present invention.
【図１４】本発明の第１１の実施例を示す２対の速度信
号を入力とする装置の斜視図である。FIG. 14 is a perspective view of an apparatus for inputting two pairs of speed signals, showing an eleventh embodiment of the present invention.
【図１５】図１４の演算回路部を示す回路図である。15 is a circuit diagram showing the arithmetic circuit unit of FIG.
【図１６】本発明の第１２の実施例を示す速度検出器を
備えた装置の斜視図である。FIG. 16 is a perspective view of an apparatus including a speed detector showing a twelfth embodiment of the present invention.
【図１７】図１６の速度検出プローブの拡大図である。17 is an enlarged view of the speed detection probe of FIG.
【図１８】本発明の第１３の実施例を示す速度検出器と
走査機構とを備えた装置の斜視図である。FIG. 18 is a perspective view of an apparatus including a speed detector and a scanning mechanism showing a thirteenth embodiment of the present invention.
【図１９】本発明の第１４の実施例を示す速度検出器と
走査機構とを備えた装置の斜視図である。FIG. 19 is a perspective view of an apparatus including a speed detector and a scanning mechanism showing a fourteenth embodiment of the present invention.
【図２０】本発明の第１５の実施例を示す速度検出器と
走査機構と表示装置とを備えた装置の斜視図である。FIG. 20 is a perspective view of an apparatus including a speed detector, a scanning mechanism, and a display device showing a fifteenth embodiment of the present invention.
【図２１】本発明の第１６の実施例を示す２対の変位度
信号を入力とする装置の斜視図である。FIG. 21 is a perspective view of an apparatus which receives two pairs of displacement degree signals as an input, showing a sixteenth embodiment of the present invention.
【図２２】図２１の演算回路部を示す回路図である。22 is a circuit diagram showing the arithmetic circuit unit of FIG. 21. FIG.
【図２３】本発明の第１７の実施例を示す変位検出器を
備えた装置の斜視図である。FIG. 23 is a perspective view of an apparatus including a displacement detector showing a seventeenth embodiment of the present invention.
【図２４】本発明の第１８の実施例を示す変位検出器と
走査機構とを備えた装置の斜視図である。FIG. 24 is a perspective view of an apparatus including a displacement detector and a scanning mechanism showing an eighteenth embodiment of the present invention.
【図２５】本発明の第１９の実施例を示す変位検出器と
走査機構とを備えた装置の斜視図である。FIG. 25 is a perspective view of an apparatus including a displacement detector and a scanning mechanism showing a nineteenth embodiment of the present invention.
【図２６】本発明の第２０の実施例を示す変位検出器と
走査機構と表示装置とを備えた装置の斜視図である。FIG. 26 is a perspective view of an apparatus including a displacement detector, a scanning mechanism, and a display device showing a twentieth embodiment of the present invention.
１ｖ 速度入力端子 １ｄ 変位入力端子 ２ 演算回路部 ３ インテンシティ出力端子 １１ｖ 速度検出プローブ １１ｄ 変位検出プローブ １２ｖ 速度検出回路 １２ｄ 変位検出回路 １３ａ レンズ １３ｂ 光ファイバ １４ 光軸 ２１ 走査用ミラー（走査機構） ２２ 走査台（走査機構） ２３ 測定対象物 ３１ 表示装置 1v speed input terminal 1d displacement input terminal 2 arithmetic circuit section 3 intensity output terminal 11v speed detection probe 11d displacement detection probe 12v speed detection circuit 12d displacement detection circuit 13a lens 13b optical fiber 14 optical axis 21 scanning mirror (scanning mechanism) 22 Scanning table (scanning mechanism) 23 Measuring object 31 Display device
Claims (16)
れぞれの非接触測定信号を入力する２個の速度信号入力
端子と、それぞれの速度信号入力端子に接続する演算回
路部とよりなり、該演算回路部は、それぞれの速度信号
入力端子より取り込んだそれぞれの入力信号の和を演算
し微分する第１の演算手段と、それぞれの入力信号を減
算しその減算値と前記微分した微分値とを掛け算する第
２の演算手段とを具備していることを特徴とする振動イ
ンテンシティ解析装置。1. A velocity signal input terminal for inputting each non-contact measurement signal which is non-contact measured at two points of an object to be measured, and an arithmetic circuit section connected to each velocity signal input terminal. The arithmetic circuit section calculates a sum of the respective input signals fetched from the respective speed signal input terminals and differentiates the first arithmetic means, and subtracts the respective input signals to obtain a subtracted value and the differentiated differential value. A vibration intensity analysis device, comprising: a second calculation means for multiplying and.
る速度検出プローブと速度検出回路とよりなる速度検出
器と、該速度検出器に接続しそれぞれの非接触測定信号
を入力する２個の速度信号入力端子と、それぞれの速度
信号入力端子に接続する演算回路部とよりなり、該演算
回路部は、それぞれの速度信号入力端子より取り込んだ
それぞれの入力信号の和を演算し微分する第１の演算手
段と、それぞれの入力信号を減算しその減算値と前記微
分した微分値とを掛け算する第２の演算手段とを具備し
ていることを特徴とする振動インテンシティ解析装置。2. A speed detector comprising a speed detection probe and a speed detection circuit for contactlessly measuring the speeds of two points of an object to be measured, and a speed detector connected to the speed detector for inputting respective noncontact measurement signals. Each speed signal input terminal and an arithmetic circuit unit connected to each speed signal input terminal. The arithmetic circuit unit calculates and differentiates the sum of the respective input signals fetched from the respective speed signal input terminals. A vibration intensity analysis device comprising: a first calculation means; and a second calculation means for subtracting each input signal and multiplying the subtracted value and the differentiated differential value.
を走査する走査機構を接続したことを特徴とする請求項
２記載の振動インテンシティ解析装置。3. The vibration intensity analyzing apparatus according to claim 2, wherein the speed detector is connected to a scanning mechanism that scans a speed detection point of the object to be measured.
ぞれの位置の振動インテンシティベクトルとを表示する
表示装置を接続したことを特徴とする請求項３記載の振
動インテンシティ解析装置。4. The vibration intensity analysis device according to claim 3, further comprising a display device connected to display the position of the velocity detection point of the measurement object and the vibration intensity vector at each position.
れぞれの非接触測定信号を入力する２個の変位信号入力
端子と、それぞれの変位信号入力端子に接続する演算回
路部とよりなり、該演算回路部は、それぞれの変位信号
入力端子より取り込んだそれぞれの入力信号の和を演算
し２階微分する第３の演算手段と、それぞれの入力信号
を減算して微分した微分値と前記２階微分した２階微分
値とを掛け算する第４の演算手段とを具備していること
を特徴とする振動インテンシティ解析装置。5. A displacement signal input terminal for inputting each non-contact measurement signal which is non-contact measured at two points of an object to be measured, and an arithmetic circuit section connected to each displacement signal input terminal. The arithmetic circuit unit calculates a sum of the respective input signals fetched from the respective displacement signal input terminals and performs second-order differentiation, and a differential value obtained by subtracting and differentiating the respective input signals and the differential value. A vibration intensity analysis device, comprising: a fourth calculation means for multiplying a second-order differential value obtained by performing a second-order differentiation.
る変位検出プローブと変位検出回路とよりなる変位検出
器と、該変位検出器に接続しそれぞれの非接触測定信号
を入力する２個の変位信号入力端子と、それぞれの変位
信号入力端子に接続する演算回路部とよりなり、該演算
回路部は、それぞれの変位信号入力端子より取り込んだ
それぞれの入力信号の和を演算し２階微分する第３の演
算手段と、それぞれの入力信号を減算して微分した微分
値と前記２階微分した２階微分値とを掛け算する第４の
演算手段とを具備していることを特徴とする振動インテ
ンシティ解析装置。6. A displacement detector comprising a displacement detection probe and a displacement detection circuit for non-contactly measuring displacements of two points of an object to be measured, and a displacement detector connected to the displacement detector for inputting respective non-contact measurement signals. The displacement signal input terminals and an arithmetic circuit section connected to the respective displacement signal input terminals, the arithmetic circuit section calculates the sum of the respective input signals fetched from the respective displacement signal input terminals, and the second floor A third calculating means for differentiating, and a fourth calculating means for multiplying a differential value obtained by subtracting and differentiating each input signal and a second-order differential value obtained by the second-order differentiation. Vibration intensity analysis device.
を走査する走査機構を接続したことを特徴とする請求項
６記載の振動インテンシティ解析装置。7. The vibration intensity analysis device according to claim 6, wherein the displacement detector is connected to a scanning mechanism for scanning the displacement detection point of the measurement object.
ぞれの位置の振動インテンシティベクトルとを表示する
表示装置を接続したことを特徴とする請求項７記載の振
動インテンシティ解析装置。8. The vibration intensity analysis apparatus according to claim 7, further comprising a display device connected to display the position of the velocity detection point of the measurement object and the vibration intensity vector at each position.
測定されたそれぞれの非接触測定信号を入力する２方向
の２対の速度信号入力端子と、それぞれの速度信号入力
端子に接続する演算回路部とよりなり、該演算回路部
は、それぞれの速度信号入力端子より取り込んだそれぞ
れの入力信号の対ごとに和を演算し微分する第１の演算
手段と、それぞれの入力信号を対ごとに減算しその減算
値と前記微分した微分値とを掛け算する第２の演算手段
とを具備していることを特徴とする振動インテンシティ
解析装置。9. Two pairs of velocity signal input terminals in two directions for inputting respective non-contact measurement signals that are non-contact measured at two pairs of points in two directions of an object to be measured, and to each velocity signal input terminal. And a first arithmetic means for calculating and differentiating the sum for each pair of the input signals fetched from the respective speed signal input terminals, and the respective input signals. A vibration intensity analysis device, comprising: a second calculation means for subtracting each pair and multiplying the subtracted value and the differentiated differential value.
を非接触測定する速度検出プローブと速度検出回路とよ
りなる速度検出器と、該速度検出器に接続しそれぞれの
非接触測定信号を入力する２方向の２対の速度信号入力
端子と、それぞれの速度信号入力端子に接続する演算回
路部とよりなり、該演算回路部は、それぞれの速度信号
入力端子より取り込んだそれぞれの入力信号の対ごとに
和を演算し微分する第１の演算手段と、それぞれの入力
信号を対ごとに減算しその減算値と前記微分した微分値
とを掛け算する第２の演算手段とを具備していることを
特徴とする振動インテンシティ解析装置。10. A speed detector comprising a speed detection probe and a speed detection circuit for contactlessly measuring the speed of two pairs of points in two directions of an object to be measured, and each contactless measurement connected to the speed detector. It is composed of two pairs of speed signal input terminals in two directions for inputting a signal and an arithmetic circuit unit connected to each speed signal input terminal, and the arithmetic circuit unit inputs each input from each speed signal input terminal. It is provided with a first calculating means for calculating a sum for each pair of signals and differentiating it, and a second calculating means for subtracting each input signal for each pair and multiplying the subtracted value and the differentiated differential value. Vibration intensity analysis device characterized in that
点を走査する走査機構を接続したことを特徴とする請求
項１０記載の振動インテンシティ解析装置。11. The vibration intensity analysis device according to claim 10, wherein the speed detector is connected to a scanning mechanism for scanning the speed detection point of the measurement object.
れぞれの位置の振動インテンシティベクトルとを表示す
る表示装置を接続したことを特徴とする請求項１１記載
の振動インテンシティ解析装置。12. The vibration intensity analysis device according to claim 11, further comprising a display device connected to display the position of the velocity detection point of the measurement object and the vibration intensity vector at each position.
触測定したそれぞれの非接触測定信号を入力する２方向
の２対の変位信号入力端子と、それぞれの変位信号入力
端子に接続する演算回路部とよりなり、該演算回路部
は、それぞれの変位信号入力端子より取り込んだそれぞ
れの入力信号の対ごとに和を演算し２階微分する第３の
演算手段と、それぞれの入力信号を対ごとに減算して微
分した微分値と前記２階微分した２階微分値とを掛け算
する第４の演算手段とを具備していることを特徴とする
振動インテンシティ解析装置。13. Two pairs of displacement signal input terminals in two directions for inputting respective non-contact measurement signals obtained by non-contact measurement of two pairs of points in two directions of an object to be measured and connected to the respective displacement signal input terminals. Third arithmetic means for calculating the sum for each pair of the respective input signals fetched from the respective displacement signal input terminals and performing second-order differentiation, and the respective input signals. A vibration intensity analysis device comprising: a fourth calculation unit that multiplies a differential value obtained by subtracting and differentially dividing each pair with a second differential value obtained by performing the second differential.
を非接触測定する変位検出プローブと変位検出回路とよ
りなる変位検出器と、該変位検出器に接続しそれぞれの
非接触測定信号を入力する２方向の２対の変位信号入力
端子と、それぞれの変位信号入力端子に接続する演算回
路部とよりなり、該演算回路部は、それぞれの変位信号
入力端子より取り込んだそれぞれの入力信号の対ごとに
和を演算し２階微分する第３の演算手段と、それぞれの
入力信号を対ごとに減算して微分した微分値と前記２階
微分した２階微分値とを掛け算する第４の演算手段とを
具備していることを特徴とする振動インテンシティ解析
装置。14. A displacement detector comprising a displacement detection probe and a displacement detection circuit for non-contactly measuring the displacement of two pairs of points in two directions of an object to be measured, and each non-contact measurement connected to the displacement detector. It consists of two pairs of displacement signal input terminals in two directions for inputting signals, and an arithmetic circuit unit connected to each displacement signal input terminal, and the arithmetic circuit unit inputs each input from each displacement signal input terminal. Third calculating means for calculating a sum for each pair of signals and differentiating second-order, and multiplying a differential value obtained by subtracting each input signal for each pair and differentiating with the second-order differential value obtained by the second-order differentiation. 4. A vibration intensity analysis device, comprising: a calculation unit of 4.
点を走査する走査機構を接続したことを特徴とする請求
項１４記載の振動インテンシティ解析装置。15. The vibration intensity analyzing apparatus according to claim 14, wherein the displacement detector is connected to a scanning mechanism for scanning a displacement detection point of the measuring object.
れぞれの位置の振動インテンシティベクトルとを表示す
る表示装置を接続したことを特徴とする請求項１５記載
の振動インテンシティ解析装置。16. The vibration intensity analysis apparatus according to claim 15, further comprising a display device connected to display the position of the velocity detection point of the measurement object and the vibration intensity vector at each position.
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|---|---|---|---|---|
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