JPH05261652A - Bore inner surface polisher - Google Patents

Bore inner surface polisher

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Publication number
JPH05261652A
JPH05261652A JP6167892A JP6167892A JPH05261652A JP H05261652 A JPH05261652 A JP H05261652A JP 6167892 A JP6167892 A JP 6167892A JP 6167892 A JP6167892 A JP 6167892A JP H05261652 A JPH05261652 A JP H05261652A
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JP
Japan
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hole
polishing member
work
polishing
chuck
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP6167892A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hiroaki Takimoto
弘明 滝本
Masahiro Takagi
政浩 高城
Hiroshi Suganuma
寛 菅沼
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Sumitomo Electric Industries Ltd
Original Assignee
Sumitomo Electric Industries Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Sumitomo Electric Industries Ltd filed Critical Sumitomo Electric Industries Ltd
Priority to JP6167892A priority Critical patent/JPH05261652A/en
Publication of JPH05261652A publication Critical patent/JPH05261652A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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  • Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)

Abstract

PURPOSE:To provide a bore inner surface polisher that is able to finish the inner circumferential surface smoothly even if a work hole formed in a work forming a round bar form of brittle material, etc., is in an eccentric state. CONSTITUTION:This polisher is provided with two work holding means 13, 15 holding a cylindrical work formed with a work hole 16, three work rotating means 17, 19, 20 rotating the work hole 16 as the center together with the work 14, and a bar abrasive member 30 being inserted into this work hole 16. Also it is provided with two abrasive member supporting means 31, 37 supporting this abrasive member 30 free of rotation, two abrasive member energizing means 28, 36 energizing these abrasive member supporting means 31, 37 to an inner circumferential surface of the work hole 16 together with the abrasive member 30, and an abrasive member rotating means 29 being connected to the abrasive member 30 and driving and rotating this abrasive member 30, respectively.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、硬脆材料に形成された
穴の内周面を平滑に仕上げる研磨装置に関し、特に一対
の応力付与部材を挿入するための穴が偏心状態で形成さ
れたクラッド部となる偏波保持光ファイバ用母材に用い
て好適なものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a polishing apparatus for finishing the inner peripheral surface of a hole formed in a hard and brittle material to be smooth, and in particular, a hole for inserting a pair of stress applying members is formed in an eccentric state. It is suitable for use as a base material for polarization-maintaining optical fibers to be the clad portion.

【0002】[0002]

【従来の技術】屈折率が段階的に異なるコア部とクラッ
ド部とで構成された単一モード伝送用光ファイバは、コ
ア部の径に対してクラッド部の肉厚が非常に厚くなる傾
向を有する。かかる構造の光ファイバや、中心のコア部
を挾んで複数の応力付与部がコア部の周囲に対称に配置
された偏波モード保持用光ファイバ等を効率良く生産す
るためには、コア部材或いは応力付与部材を挿入するた
めの穴が形成されたクラッド部となる丸棒状の光ファイ
バ用母材を予め用意し、この光ファイバ用母材に対して
コア部或いは応力付与部となる棒状のコア部材或いは応
力付与部材を差し込み、これらを加熱一体化させた後に
線引きする方法が有効であると考えられている。
2. Description of the Related Art An optical fiber for single mode transmission composed of a core portion and a cladding portion whose refractive indexes are different stepwise has a tendency that the thickness of the cladding portion becomes very large relative to the diameter of the core portion. Have. In order to efficiently produce an optical fiber having such a structure, or a polarization mode maintaining optical fiber in which a plurality of stress applying portions sandwiching the central core portion are symmetrically arranged around the core portion, a core member or A rod-shaped core serving as a core portion or a stress imparting portion for the optical fiber preform is prepared in advance by preparing a round rod-shaped optical fiber preform that serves as a clad portion in which a hole for inserting a stress applying member is formed. It is considered effective to insert a member or a stress applying member, heat and integrate these members, and then draw the wire.

【0003】このような方法で光ファイバを製造する場
合、クラッド部となる光ファイバ用母材に形成されるコ
ア部材或いは応力付与部材を挿入する穴の内周面を予め
平滑にしておかないと、コア部或いは応力付与部となる
棒状のコア部材或いは応力付与部材を差し込んでこれら
を加熱一体化させた際に、コア部とクラッド部との界面
或いは応力付与部とクラッド部との界面に微小な気泡が
混入する結果、これによって得られる光ファイバの伝送
損失が大幅に増大してしまうこととなる。
When the optical fiber is manufactured by such a method, the inner peripheral surface of the hole for inserting the core member or the stress applying member formed in the optical fiber preform which becomes the clad portion must be made smooth beforehand. When a rod-shaped core member or a stress applying member to be the core part or the stress applying part is inserted and they are integrated by heating, a small amount is formed on the interface between the core part and the clad part or the interface between the stress applying part and the clad part. As a result of the inclusion of such bubbles, the transmission loss of the resulting optical fiber is significantly increased.

【0004】このため、クラッド部となる光ファイバ用
母材に形成されたコア部材或いは応力付与部材を挿入す
るための穴の内周面を平滑に仕上げる研磨装置が、特開
平3−75232号公報等で提案されている。
Therefore, a polishing apparatus for finishing the inner peripheral surface of the hole for inserting the core member or the stress applying member formed in the optical fiber preform to be the clad portion to be smooth is disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 3-75232. Etc. have been proposed.

【0005】この特開平3−75232号公報に開示さ
れた研磨装置の側面形状を表す図11及びそのXII−XII
矢視断面構造を表す図12に示すように、ベッド1上に
駆動回転自在に設置されたワークテーブル2には、コア
部挿入用の穴3を形成した円筒状をなす光ファイバ用母
材4がスクロールチャック5を介して垂直上向きに固定
されている。又、コラム6に対して昇降可能に設けられ
た昇降アーム7の先端部には、光ファイバ用母材4のコ
ア部挿入用の穴3に差し込まれる研磨ブラシ8を駆動回
転自在に支持するツールチャック9が取り付けられてい
る。
FIG. 11 showing the side shape of the polishing apparatus disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 3-75232 and its XII-XII.
As shown in FIG. 12 showing a sectional structure in the direction of the arrow, a work table 2 rotatably driven on a bed 1 has a cylindrical optical fiber preform 4 in which a hole 3 for inserting a core portion is formed. Are fixed vertically upward through the scroll chuck 5. A tool for rotatably supporting a polishing brush 8 to be inserted into a hole 3 for inserting a core portion of an optical fiber preform 4 is provided at a tip end portion of an ascending / descending arm 7 provided so as to be capable of ascending / descending with respect to the column 6. The chuck 9 is attached.

【0006】前記ワークテーブル2と同軸をなす研磨ブ
ラシ8には、図示しない無数の研磨砥粒が固定されてお
り、弾性変形を伴ってコア部挿入用の穴3に差し込まれ
る研磨ブラシ8と、ワークテーブル2に装着された光フ
ァイバ用母材4との相対回転運動により、コア部挿入用
の穴3の内周面が平滑に研磨されるようになっている。
Countless polishing grains (not shown) are fixed to the polishing brush 8 coaxial with the work table 2, and the polishing brush 8 is inserted into the hole 3 for inserting the core portion with elastic deformation. The inner peripheral surface of the hole 3 for inserting the core portion is smoothly polished by the relative rotational movement with the optical fiber preform 4 mounted on the work table 2.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】本発明者らの知見によ
ると、線引き後のコア部とクラッド部との界面に気泡を
発生させないためには、コア部装入用の穴3の内周面の
表面粗さを中心線平均粗さRaで0.1μm以下にするこ
とが望ましい。
According to the knowledge of the present inventors, in order to prevent bubbles from being generated at the interface between the core portion and the cladding portion after drawing, the inner peripheral surface of the hole 3 for inserting the core portion is formed. It is desirable that the surface roughness of the center line average roughness Ra be 0.1 μm or less.

【0008】ところが、図11及び図12に示す如き従
来の研磨装置の場合、研磨ブラシ8の弾性変形に伴う加
工圧力だけでは、充分な研磨圧力を発生させることがで
きず、しかも研磨ブラシ8の高速回転に伴って研磨ブラ
シ8の軸部自体が剛性不足により振れ回りを起こし、硬
脆材料である石英ガラス等にて形成された光ファイバ用
母材4のコア部挿入用の穴3の内周面の如きものに対し
ては、これを充分平滑に仕上げることが難しかった。こ
のため、光ファイバ用母材4に形成されたコア部挿入用
の穴3の内周面を研磨しているのにもかかわらず、線引
き後の光ファイバのコア部とクラッド部との界面に発生
する気泡を完全に除去しきれず、伝送損失の不良を大幅
に少なくすることが困難である。
However, in the case of the conventional polishing apparatus as shown in FIGS. 11 and 12, a sufficient polishing pressure cannot be generated only by the processing pressure associated with the elastic deformation of the polishing brush 8, and the polishing brush 8 The shaft itself of the polishing brush 8 swirls due to insufficient rigidity with high-speed rotation, and the inside of the hole 3 for inserting the core portion of the optical fiber preform 4 formed of quartz glass or the like which is a hard and brittle material It was difficult to finish it sufficiently smooth for things such as the peripheral surface. Therefore, although the inner peripheral surface of the hole 3 for inserting the core portion formed in the optical fiber preform 4 is polished, the interface between the core portion and the clad portion of the optical fiber after drawing is The generated bubbles cannot be completely removed, and it is difficult to significantly reduce the transmission loss defects.

【0009】又、図11及び図12に示す従来の研磨装
置は、コア部材挿入用の穴3を同軸状に形成した光ファ
イバ用母材4にしか対応できず、複数の応力付与部をコ
ア部の周囲に対称に配置した偏波モード保持光ファイバ
等のように、光ファイバ用母材に対して偏心した応力付
与部材挿入用の穴の内周面を加工することができない。
Further, the conventional polishing apparatus shown in FIGS. 11 and 12 is only applicable to the optical fiber preform 4 having the core member insertion hole 3 formed coaxially, and a plurality of stress applying portions are provided in the core. It is impossible to machine the inner peripheral surface of the hole for inserting the stress imparting member that is eccentric with respect to the optical fiber preform such as the polarization mode maintaining optical fiber symmetrically arranged around the portion.

【0010】[0010]

【発明の目的】本発明は、硬脆材料等の丸棒状をなすワ
ークに形成された被加工穴が偏心状態であっても、その
内周面の表面粗さを例えば中心線平均粗さRaで0.1μ
m以下に仕上げることが可能な穴内面研磨装置を提供す
ることを目的とする。
It is an object of the present invention to provide a surface roughness of the inner peripheral surface of a round bar-shaped work such as a hard brittle material even if the hole is eccentric. 0.1μ in a
It is an object of the present invention to provide a hole inner surface polishing apparatus that can be finished to m or less.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】第一番目の本発明による
穴内面研磨装置は、被加工穴が長手方向に沿って形成さ
れた円柱状のワークを保持するワーク保持手段と、この
ワーク保持手段を前記ワークと共に前記被加工穴を中心
として回転させるワーク回転手段と、前記被加工穴に差
し込まれる棒状の研磨部材と、この研磨部材を回転自在
に支持する研磨部材支持手段と、この研磨部材支持手段
を当該研磨部材と共に前記被加工穴の内周面に付勢する
研磨部材付勢手段と、前記研磨部材に連結されてこの研
磨部材を駆動回転させる研磨部材回転手段とを具えたも
のである。
A hole inner surface polishing apparatus according to the first aspect of the present invention is a work holding means for holding a cylindrical work having holes to be machined formed in the longitudinal direction, and the work holding means. A workpiece rotating means for rotating the workpiece together with the workpiece around the hole to be processed, a rod-shaped polishing member to be inserted into the hole to be processed, polishing member supporting means for rotatably supporting the polishing member, and support for the polishing member. The polishing member includes a polishing member urging means for urging the polishing member together with the polishing member toward the inner peripheral surface of the hole to be processed, and a polishing member rotating means connected to the polishing member and drivingly rotating the polishing member. ..

【0012】第二番目の本発明による穴内面研磨装置
は、上述した第一番目の本発明の構成に加えて、前記ワ
ーク保持手段及びワーク回転手段と、前記研磨部材及び
前記研磨部材支持手段及び前記研磨部材付勢手段及び研
磨部材回転手段とを前記被加工穴の長手方向に沿って相
対的に往復動させるワーク揺動手段を具えたものであ
る。
The hole inner surface polishing apparatus according to the second aspect of the present invention is, in addition to the above-mentioned configuration of the first aspect of the present invention, the work holding means and the work rotating means, the polishing member and the polishing member supporting means, and The polishing member urging means and the polishing member rotating means are provided with a work swinging means for relatively reciprocating along the longitudinal direction of the hole to be processed.

【0013】前記研磨部材としては、砥粒が固定された
帯状の研磨布を巻き付けた金属製の丸棒材等を採用する
ことができる。又、研磨部材付勢手段の付勢力としてば
ね力や重錘等を利用すれば良い。更に、研磨部材の安定
した回転を実現するため、この研磨部材の両端部を研磨
部材支持手段によって支持することが有効である。
As the polishing member, it is possible to employ a metal round bar member around which a strip-shaped polishing cloth having abrasive grains fixed is wound. Further, a spring force, a weight, or the like may be used as the urging force of the polishing member urging means. Furthermore, in order to realize stable rotation of the polishing member, it is effective to support both ends of the polishing member by the polishing member supporting means.

【0014】なお、研磨部材の外周面と被加工穴の内周
面との間に遊離砥粒を供給する砥粒供給手段を更に付加
することも可能である。この場合、ワークの長手方向を
垂直に向け、被加工穴の上方から遊離砥粒を流し込むよ
うにすれば良い。
It is also possible to further add abrasive grain supplying means for supplying loose abrasive grains between the outer peripheral surface of the polishing member and the inner peripheral surface of the hole to be processed. In this case, the longitudinal direction of the work may be oriented vertically and the loose abrasive grains may be poured from above the hole to be processed.

【0015】[0015]

【作用】円柱状のワークに形成された被加工穴の中心と
ワーク回転手段の回転中心とが同軸状をなすように、こ
のワークをワーク保持手段によって保持し、ワーク回転
手段を操作してワークをワーク保持手段と共に被加工穴
を中心として回転させる。一方、研磨部材回転手段を操
作して棒状の研磨部材を駆動回転させつつ被加工穴内に
差し込み、この研磨部材を回転自在に支持する研磨部材
支持手段を研磨部材と共に被加工穴の内周面に付勢する
ことにより、被加工物の内周面が研磨部材によって平滑
に研磨される。
The work is held by the work holding means so that the center of the hole to be machined formed in the cylindrical work and the rotation center of the work rotating means are coaxial, and the work rotating means is operated to operate the work. Is rotated around the hole to be processed together with the work holding means. On the other hand, by operating the polishing member rotating means, the rod-shaped polishing member is driven and rotated to be inserted into the hole to be processed, and the polishing member supporting means for rotatably supporting the polishing member is provided on the inner peripheral surface of the hole to be processed together with the polishing member. By urging, the inner peripheral surface of the workpiece is smoothly polished by the polishing member.

【0016】この場合、ワーク回転手段によって回転す
るワークの回転中心が被加工穴の中心と一致しているた
め、ワークに対して同軸状に被加工穴が形成されたワー
クのみならず、この被加工穴が偏心状態で形成されたワ
ークに対しても、何ら問題なく被加工穴の内周面を研磨
することができる。
In this case, since the center of rotation of the workpiece rotated by the workpiece rotating means coincides with the center of the hole to be machined, not only the workpiece in which the hole to be machined is formed coaxially with the workpiece but also the hole to be machined. The inner peripheral surface of the hole to be machined can be polished without any problem even for a workpiece in which the machined hole is formed in an eccentric state.

【0017】又、第二番目の本発明では、ワーク揺動手
段によりワークと研磨部材とが被加工穴の長手方向にも
相対的に往復動するため、被加工穴の内周面と研磨部材
の外周面との相対移動が、被加工穴の周方向と長手方向
との2方向の合成運動となり、長手方向に均一に研磨で
きると共にこれらの相対移動速度が更に高まることと相
俟って、被加工穴の内周面が更に平滑に研磨される。
Further, in the second aspect of the present invention, since the work and the polishing member reciprocate relatively in the longitudinal direction of the hole to be processed by the work swinging means, the inner peripheral surface of the hole to be processed and the polishing member. The relative movement with respect to the outer peripheral surface of the workpiece becomes a combined movement in two directions, that is, the circumferential direction and the longitudinal direction of the hole to be machined, so that polishing can be performed uniformly in the longitudinal direction and the relative movement speed of these is further increased. The inner peripheral surface of the hole to be processed is polished even more smoothly.

【0018】[0018]

【実施例】第一番目の本発明による穴内面研磨装置を偏
波モード保持用光ファイバを製造するための二つの応力
付与部材装入用の穴が隣接状態で形成された丸棒状をな
す光ファイバ用母材に対して応用した一実施例の外観を
表す図1に示すように、垂直に設置されたコラム11の
中央部には、加工テーブル12が水平に突設されてい
る。又、この加工テーブル12には、当該加工テーブル
12を上下に貫通する筒状のチャックホルダ13が垂直
な軸回りに回転自在に取り付けられている。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The first embodiment of the hole inner surface polishing apparatus according to the present invention is a round rod-shaped light in which two stress applying member charging holes for manufacturing an optical fiber for maintaining a polarization mode are formed adjacent to each other. As shown in FIG. 1 showing the appearance of one embodiment applied to a fiber preform, a processing table 12 is horizontally projected at the center of a vertically installed column 11. Further, a cylindrical chuck holder 13 that vertically penetrates the processing table 12 is attached to the processing table 12 so as to be rotatable around a vertical axis.

【0019】図1及びチャックホルダ13の部分の平面
形状を表す図2に示すように、チャックホルダ13に
は、このチャックホルダ13に差し込まれた光ファイバ
用母材14を当該チャックホルダ13に対して任意の偏
心状態で固定し得る複数(図示例では三つ)のチャック
爪15が取り付けられており、これらチャックホルダ1
3及びチャック爪15等で本発明のワーク保持手段が構
成されている。これらチャック爪15は、チャックホル
ダ13の径方向の任意の位置にそれぞれ独立して固定す
ることができるようになっており、光ファイバ用母材1
4にそれぞれ偏心状態で形成された二つのコア部装入用
の穴16の加工すべき穴16の中心とチャックホルダ1
3の中心Oとを同心に設定することができる。
As shown in FIG. 1 and FIG. 2 showing the planar shape of the chuck holder 13, the chuck holder 13 is provided with the optical fiber preform 14 inserted into the chuck holder 13 with respect to the chuck holder 13. A plurality (three in the illustrated example) of chuck claws 15 that can be fixed in an arbitrary eccentric state are attached.
3 and the chuck claws 15 and the like constitute the work holding means of the present invention. These chuck claws 15 can be independently fixed at arbitrary positions in the radial direction of the chuck holder 13, and the preform 1 for the optical fiber is provided.
4 and the center of the hole 16 to be machined and the chuck holder 1
The center O of 3 can be set concentrically.

【0020】垂直下向きにコラム11に設置されたホル
ダ駆動モータ17のスピンドル18には、駆動プーリ1
9が一体的に嵌着されており、この駆動プーリ19とチ
ャックホルダ13の外周面とには、無端の駆動ベルト2
0が巻き掛けられている。つまり、ホルダ駆動モータ1
7を作動させることにより、駆動ベルト20を介してチ
ャックホルダ13が加工テーブル12に対して駆動回転
するようになっており、これらチャックホルダ13,ホ
ルダ駆動モータ17,駆動プーリ19,駆動ベルト20等
で本発明のワーク回転手段が固定されている。
The spindle 18 of the holder drive motor 17 installed vertically downward on the column 11 has a drive pulley 1
9 is integrally fitted, and the endless drive belt 2 is attached to the drive pulley 19 and the outer peripheral surface of the chuck holder 13.
0 is wrapped around. That is, the holder drive motor 1
The chuck holder 13 is driven and rotated with respect to the processing table 12 via the drive belt 20 by operating the drive belt 7. The chuck holder 13, the holder drive motor 17, the drive pulley 19, the drive belt 20, etc. The work rotating means of the present invention is fixed.

【0021】それぞれ水平に延びる上下一対の退避用案
内レール21が形成された前記コラム11の上端部に
は、これら退避用案内レール21に沿って任意の摺動位
置に左右動可能なラムヘッド22が設けられている。
又、垂直に伸びる着脱用案内レール23が形成された当
該サドル22には、この着脱用案内レール23に沿って
任意の摺動位置に昇降可能なラム24が設けられてい
る。
At the upper end of the column 11 on which a pair of upper and lower evacuation guide rails 21 that extend horizontally are formed, a ram head 22 that can be moved left and right along the evacuation guide rails 21 at any sliding position. It is provided.
Further, the saddle 22 on which the vertically extending guide rail 23 for attachment and detachment is formed is provided with a ram 24 which can be moved up and down to an arbitrary sliding position along the guide rail 23 for attachment and detachment.

【0022】更に、エアシリンダ等の流体圧アクチュエ
ータ25を介して前記ラムヘッド22の移動方向に対し
て直角な水平方向に前後動し得るモータベース26がラ
ム24に設けられており、前記流体圧アクチュエータ2
5によるモータベース26の前後動を円滑に案内するた
め、これらモータベース26とラム24とは一対の直線
案内装置27を介して相互に連結されている他、本実施
例ではこれらモータベース26とラム24との間に戻し
ばね28を介装している。
Further, the ram 24 is provided with a motor base 26 which can be moved back and forth in a horizontal direction at right angles to the moving direction of the ram head 22 via a fluid pressure actuator 25 such as an air cylinder. Two
5, the motor base 26 and the ram 24 are connected to each other through a pair of linear guide devices 27 in order to smoothly guide the forward and backward movement of the motor base 26. In the present embodiment, the motor base 26 and the ram 24 are connected to each other. A return spring 28 is interposed between the ram 24 and the ram 24.

【0023】モータベース26に下向きに設置されて本
発明の研磨部材回転手段を構成する砥石駆動モータ29
には、図示しない微細な砥粒が外周面に固定され且つ光
ファイバ用母材14の加工すべき穴16に貫通状態で装
入される丸棒状の棒砥石30の上端部を把持し得る砥石
チャック31が一体的に嵌着されており、前記砥石駆動
モータ29を駆動することによって、棒砥石30を垂直
な軸回りに駆動回転させることができるようになってい
る。
A grindstone drive motor 29 installed downward on the motor base 26 and constituting the polishing member rotating means of the present invention.
Is a grindstone capable of gripping the upper end of a round bar-shaped grindstone 30 in which fine abrasive grains (not shown) are fixed to the outer peripheral surface and are inserted into the holes 16 to be processed of the optical fiber preform 14 in a penetrating state. The chuck 31 is integrally fitted, and by driving the grindstone drive motor 29, the rod grindstone 30 can be driven and rotated about a vertical axis.

【0024】なお、本実施例では流体圧アクチュエータ
25に流体圧を供給することにより、前記砥石チャック
31の回転中心とチャックホルダ13の回転中心Oとが
同心状をなすように設定されており、この流体圧アクチ
ュエータ25から流体圧を排出することにより、戻しば
ね28のばね力が作用してモータベース26がラム24
側に付勢されるようになっている。
In this embodiment, by supplying fluid pressure to the fluid pressure actuator 25, the rotation center of the grindstone chuck 31 and the rotation center O of the chuck holder 13 are set to be concentric. By discharging the fluid pressure from the fluid pressure actuator 25, the spring force of the return spring 28 acts to cause the motor base 26 to move to the ram 24.
It is designed to be biased to the side.

【0025】一方、前記コラム11の下端部に設置され
た固定ラム32には、前記流体圧アクチュエータ25と
同一構成の流体圧アクチュエータ33を介して前記モー
タベース26と平行に前後動し得るチャックベース34
が設けられており、前記流体圧アクチュエータ33によ
るチャックベース34の前後動を円滑に案内するため、
これらチャックベース34と固定ラム32とは一対の直
線案内装置35を介して相互に連結されている他、本実
施例ではこれらチャックベース34と固定ラム32との
間に戻しばね36を介装している。
On the other hand, the fixed ram 32 installed at the lower end of the column 11 has a chuck base which can be moved back and forth in parallel with the motor base 26 via a fluid pressure actuator 33 having the same structure as the fluid pressure actuator 25. 34
Is provided for smoothly guiding the back and forth movement of the chuck base 34 by the fluid pressure actuator 33,
The chuck base 34 and the fixed ram 32 are connected to each other via a pair of linear guides 35. In the present embodiment, a return spring 36 is interposed between the chuck base 34 and the fixed ram 32. ing.

【0026】これら流体圧アクチュエータ33やチャッ
クベース34,直線案内装置35,戻しばね36は、先に
説明した流体圧アクチュエータ25やモータベース2
6,直線案内装置27,戻しばね28と全く同一の機能を
有し、これらで本発明の研磨部材付勢手段を構成してい
る。つまり、流体圧アクチュエータ33に流体圧を供給
することにより、砥石チャック37の回転中心とチャッ
クホルダ13の回転中心Oとが同心状をなすように設定
されており、この流体圧アクチュエータ33から流体圧
を排出することにより、戻しばね36のばね力が作用し
てチャックベース34が固定ラム32側に付勢されるよ
うになっている。
The fluid pressure actuator 33, the chuck base 34, the linear guide device 35, and the return spring 36 are the same as the fluid pressure actuator 25 and the motor base 2 described above.
6, the linear guide device 27 and the return spring 28 have exactly the same functions, and these constitute the polishing member urging means of the present invention. That is, by supplying the fluid pressure to the fluid pressure actuator 33, the rotation center of the grindstone chuck 37 and the rotation center O of the chuck holder 13 are set to be concentric. Is discharged, the spring force of the return spring 36 acts to bias the chuck base 34 toward the fixed ram 32.

【0027】前記チャックベース34には、棒砥石30
の下端部を把持し得る砥石チャック37がチャックホル
ダ38を介して回転自在に設けられており、このチャッ
クホルダ38と共に本発明の研磨部材支持手段を構成す
るこれら上下一対の砥石チャック31,37によって、
棒砥石30の両端部が安定状態で保持される。
The chuck base 34 has a rod grindstone 30.
A grindstone chuck 37 capable of holding the lower end of the grindstone chuck 37 is rotatably provided via a chuck holder 38, and a pair of upper and lower grindstone chucks 31 and 37 constituting the polishing member supporting means of the present invention together with the chuck holder 38. ,
Both ends of the rod grindstone 30 are held in a stable state.

【0028】このように、本実施例では棒砥石30の上
下両端部を砥石チャック31,37によって保持するよ
うにしているが、棒砥石30や研磨部材回転手段である
砥石駆動モータ29が連結された上側の砥石チャック3
1の剛性が充分高い場合には、光ファイバ用母材14の
加工すべき穴16の上下で棒砥石30の押圧力をほぼ均
一に保持することができるため、下側の砥石チャック3
7を含めて固定ラム32,流体圧アクチュエータ33,チ
ャックベース34,直線案内装置35,戻しばね36,チ
ャックホルダ38を省略しても何ら問題はない。
As described above, in this embodiment, the upper and lower end portions of the rod grindstone 30 are held by the grindstone chucks 31 and 37, but the rod grindstone 30 and the grindstone drive motor 29 which is the polishing member rotating means are connected. Upper grindstone chuck 3
When the rigidity of No. 1 is sufficiently high, the pressing force of the rod grindstone 30 can be maintained substantially even above and below the hole 16 to be processed in the optical fiber preform 14, so that the lower grindstone chuck 3
There is no problem even if the fixed ram 32, the fluid pressure actuator 33, the chuck base 34, the linear guide device 35, the return spring 36, and the chuck holder 38 are omitted, including 7.

【0029】図1及び本実施例における加工液供給シス
テムの概念を表す図3に示すように、光ファイバ用母材
14の加工すべき穴16の直上には、この穴16と棒砥
石30との隙間に遊離砥粒を含む加工液39を供給する
ための加工液供給管40の上端部が図示しないブラケッ
トを介して固定されている。途中に加工液供給ポンプ4
1が介装されたこの加工液供給管40の下端は、下側の
砥石チャック37の下方に設けられた加工液溜め42内
に固定され、この加工液溜め42内に蓄えられた加工液
39が加工液供給ポンプ41の作動により、加工液供給
管40を介して光ファイバ用母材14の加工すべき穴1
6の上側から、この穴16と棒砥石30との隙間に供給
される。
As shown in FIG. 1 and FIG. 3 showing the concept of the working fluid supply system in this embodiment, the hole 16 and the rod grindstone 30 are provided directly above the hole 16 to be processed in the optical fiber preform 14. An upper end portion of a machining liquid supply pipe 40 for supplying the machining liquid 39 containing free abrasive grains is fixed to the gap of the above through a bracket (not shown). Machining liquid supply pump 4 on the way
The lower end of the machining fluid supply pipe 40 in which 1 is interposed is fixed in a machining fluid reservoir 42 provided below the lower grindstone chuck 37, and the machining fluid 39 stored in the machining fluid reservoir 42 is fixed. When the machining liquid supply pump 41 is operated, the hole 1 to be machined in the optical fiber preform 14 is processed through the machining liquid supply pipe 40.
It is supplied to the gap between the hole 16 and the rod grindstone 30 from the upper side of 6.

【0030】更に、本実施例では加工すべき穴16と棒
砥石30との隙間から流れ落ちる加工液39を回収する
加工液溜め42内に攪拌用駆動モータ43に連結された
攪拌羽根44を配置しており、これによって加工液溜め
42内の加工液39が均一に攪拌されるようになってい
る。
Further, in this embodiment, the stirring blade 44 connected to the stirring drive motor 43 is arranged in the processing liquid reservoir 42 for collecting the processing liquid 39 which flows down from the gap between the hole 16 to be processed and the rod grindstone 30. As a result, the working fluid 39 in the working fluid reservoir 42 is uniformly stirred.

【0031】実際の作業に際しては、まずラムヘッド2
2を退避用案内レール21に沿ってコラム11の左右何
れかに退避させ、次いで光ファイバ用母材14をチャッ
クホルダ13に通し、チャック爪15をそれぞれ操作し
て図2に示すように光ファイバ用母材14の加工すべき
穴16の中心とチャックホルダ13の中心Oとを一致さ
せる。そして、この加工すべき穴16に棒砥石30を通
し、その下端を下側の砥石チャック37で把持した後、
ラムヘッド22が固定ラム32の上方に位置するように
ラムヘッド22を図1に示す加工位置に戻す。更に、ラ
ムヘッド22の上昇端に位置するラム24を下降し、棒
砥石30の上端部を上側の砥石チャック31にて把持す
る。
In the actual work, first, the ram head 2
2 is retracted to either the right or left of the column 11 along the retracting guide rail 21, the optical fiber preform 14 is then passed through the chuck holder 13, and the chuck claws 15 are respectively operated to move the optical fiber as shown in FIG. The center of the hole 16 to be machined in the base material 14 and the center O of the chuck holder 13 are aligned. Then, after the rod grindstone 30 is passed through the hole 16 to be processed and the lower end thereof is held by the grindstone chuck 37 on the lower side,
The ram head 22 is returned to the processing position shown in FIG. 1 so that the ram head 22 is located above the fixed ram 32. Further, the ram 24 located at the rising end of the ram head 22 is lowered, and the upper end of the rod grindstone 30 is gripped by the upper grindstone chuck 31.

【0032】ここまでは、流体圧アクチュエータ25,
33にそれぞれ流体圧が供給されているため、棒砥石3
0も光ファイバ用母材14の加工すべき穴16と同心状
に保持されており、この状態からホルダ駆動モータ17
及び砥石駆動モータ29を駆動して光ファイバ用母材1
4をチャックホルダ13と共に低速で駆動回転する一
方、棒砥石30をこれらの回転方向とは逆の方向に高速
で駆動回転する。
Up to this point, the fluid pressure actuator 25,
Since fluid pressure is supplied to each of 33, the rod grindstone 3
0 is also held concentrically with the hole 16 to be machined in the optical fiber preform 14, and from this state the holder drive motor 17
And the grindstone drive motor 29 to drive the optical fiber preform 1
4 is driven and rotated at a low speed together with the chuck holder 13, while the rod grindstone 30 is driven and rotated at a high speed in a direction opposite to the rotational direction thereof.

【0033】そして、流体圧アクチュエータ25,33
から流体圧を抜き、戻しばね28,36のばね力を利用
してモータベース26をラム24側に付勢すると共にチ
ャックベース34を固定ラム32側に付勢することによ
り、チャックホルダ13と共に駆動回転する光ファイバ
用母材14の加工すべき穴16の内周面にこれと逆方向
に駆動回転する棒砥石30の外周面が押し付けられる。
これと同時に、加工液供給ポンプ41を駆動し、攪拌用
駆動モータ43の作動により攪拌羽根44を介して均一
に攪拌されている加工液39を加工すべき穴16と棒砥
石30との間に供給することにより、穴16の内周面全
域が順次効率良く平滑に研磨されて行く。
The fluid pressure actuators 25, 33
It is driven together with the chuck holder 13 by releasing the fluid pressure from the motor and urging the motor base 26 toward the ram 24 side and the chuck base 34 toward the fixed ram 32 side by utilizing the spring force of the return springs 28 and 36. The outer peripheral surface of the rod grindstone 30 that is driven and rotated in the opposite direction is pressed against the inner peripheral surface of the hole 16 to be machined in the rotating optical fiber preform 14.
At the same time, the machining fluid supply pump 41 is driven, and the machining fluid 39, which is uniformly agitated by the agitation blade 44 by the operation of the agitation drive motor 43, is formed between the hole 16 and the whetstone 30 to be machined. By supplying, the entire inner peripheral surface of the hole 16 is sequentially and smoothly polished smoothly.

【0034】穴16の内周面の加工が終了した場合に
は、流体圧アクチュエータ25,33に流体圧を供給
し、戻しばね28,36のばね力に抗してモータベース
26及びチャックベース34を元の待機位置に押し戻
し、棒砥石30を穴16と同心状に保持してホルダ駆動
モータ17及び砥石駆動モータ29の作動を停止させ、
更に加工液供給ポンプ41の作動を停止させる。次い
で、上側の砥石チャック31を操作して棒砥石30に対
する砥石チャック31の把持を開放し、ラム24をラム
ヘッド22の上昇端まで引き上げた後、ラムヘッド22
をコラム11の左右何れかに退避移動させる。そして、
下側の砥石チャック38を操作して棒砥石30に対する
砥石チャック38の把持を開放し、棒砥石30を穴16
から引き抜き、更にチャック爪15を操作してチャック
ホルダ13から光ファイバ用母材14を取り外す。
When the machining of the inner peripheral surface of the hole 16 is completed, the fluid pressure is supplied to the fluid pressure actuators 25 and 33 to resist the spring force of the return springs 28 and 36 and the motor base 26 and the chuck base 34. Back to the original standby position, hold the rod grindstone 30 concentrically with the hole 16, and stop the operation of the holder drive motor 17 and the grindstone drive motor 29.
Further, the operation of the machining liquid supply pump 41 is stopped. Then, the upper grindstone chuck 31 is operated to release the grip of the grindstone chuck 31 from the rod grindstone 30, and the ram 24 is pulled up to the rising end of the ram head 22.
Is moved to the left or right of the column 11. And
The lower grindstone chuck 38 is operated to release the grip of the grindstone chuck 38 from the rod grindstone 30, and the rod grindstone 30 is inserted into the hole 16
The optical fiber preform 14 is detached from the chuck holder 13 by pulling out from the chuck holder 13 and operating the chuck claw 15 further.

【0035】このように、本実施例ではラムヘッド22
をコラム11の側方に退避させ、棒砥石30を上方に引
き抜くようにしているが、ラム24の昇降ストローク2
4を充分長く設定することができる場合には、退避用案
内レール21やラムヘッド22を省略して着脱用案内レ
ール23をコラム11に直接形成することが可能であ
る。又、コラム11に設けられたラムヘッド22や固定
ラム32等の上下関係を逆に設定して棒砥石30を下方
に引き抜くようにしても良い。
Thus, in this embodiment, the ram head 22 is used.
Is retracted to the side of the column 11 and the rod grindstone 30 is pulled out upward.
When 4 can be set to be sufficiently long, it is possible to omit the evacuation guide rail 21 and the ram head 22 and form the attachment / detachment guide rail 23 directly on the column 11. Further, the vertical relationship of the ram head 22 and the fixed ram 32 provided on the column 11 may be set upside down so that the rod grindstone 30 is pulled out downward.

【0036】又、本実施例では穴16の内周面に対する
棒砥石30の加工圧を戻しばね28,36のばね力によ
って得ているが、磁力やゴム状弾性体或いは真空吸着力
等を利用して加工圧を発生させることも可能であり、流
体圧アクチュエータ25,33を複動型として戻しばね
28,36を省略し、これら流体圧アクチュエータ25,
33により一定の加工圧を得るようにしても良い。
Further, in the present embodiment, the processing pressure of the rod grindstone 30 against the inner peripheral surface of the hole 16 is obtained by the spring force of the return springs 28 and 36, but magnetic force, rubber-like elastic body, vacuum suction force or the like is used. It is also possible to generate the processing pressure by making the fluid pressure actuators 25 and 33 double acting and omitting the return springs 28 and 36.
A constant processing pressure may be obtained by 33.

【0037】更に、戻しばね28,36の代わりに重錘
を用いて棒砥石30の加工圧を確保することも可能であ
り、このような本発明による穴内面研磨装置を先の図1
に示す実施例に適用した場合の下側の砥石チャック38
の部分を抽出した外観を表す図4に示すように、砥石チ
ャック38が設けられたチャックベース34を一対の流
体圧アクチュエータ33を介して保持する固定ラム32
には、ブラケット45を介してプーリ46が回転自在に
取り付けられている。このプーリ46に巻き掛けられ且
つ下端に下端に重錘47が取り付けられたケーブル48
の先端は、チャックベース34に連結されており、この
構造は、上側のモータベース26も全く同様となってい
る。
Further, it is possible to secure the processing pressure of the rod grindstone 30 by using a weight in place of the return springs 28 and 36, and such a hole inner surface polishing apparatus according to the present invention as shown in FIG.
When applied to the embodiment shown in FIG.
As shown in FIG. 4 showing the appearance of the extracted portion, a fixed ram 32 for holding a chuck base 34 provided with a grindstone chuck 38 via a pair of fluid pressure actuators 33.
A pulley 46 is rotatably attached to the bracket via a bracket 45. A cable 48 wound around this pulley 46 and having a weight 47 attached to the lower end.
Is connected to the chuck base 34, and this structure is exactly the same for the upper motor base 26.

【0038】従って、流体圧アクチュエータ33から流
体圧を抜くと、重錘47の自重によってチャックベース
34が固定ラム32側に引き寄せられる結果、砥石チャ
ック38に把持された棒砥石30が図示しない光ファイ
バ用母材14の加工すべき穴16の内周面に付勢され、
重錘47の重さに対応する加工圧を発生させることがで
きる。
Therefore, when the fluid pressure is released from the fluid pressure actuator 33, the chuck base 34 is attracted to the fixed ram 32 side by the weight of the weight 47. As a result, the rod grindstone 30 gripped by the grindstone chuck 38 is not shown in the optical fiber. Urged by the inner peripheral surface of the hole 16 to be machined in the base material 14,
A processing pressure corresponding to the weight of the weight 47 can be generated.

【0039】なお、加工すべき穴16が同心状に形成さ
れた光ファイバ用母材14に対しては、この光ファイバ
用母材14をチャックホルダ13の中心Oに対して単に
同心状に保持すれば良く、この場合には全てのチャック
爪15が連動して動くスクロール形式等のチャックを採
用することができる。
For the optical fiber preform 14 in which the holes 16 to be processed are formed concentrically, the optical fiber preform 14 is simply held concentrically with respect to the center O of the chuck holder 13. It suffices to do so. In this case, a chuck of a scroll type or the like in which all the chuck claws 15 move in conjunction with each other can be adopted.

【0040】このような調心機能を有するスクロール形
式等のチャックを用いた本発明による穴内面研磨装置の
他の一実施例の外観を表す図5及びそのチャックホルダ
の部分の外観を表す図6及びその平面形状を表す図7に
示すように、下端部の外周面に駆動ベルト20が巻き掛
けられた筒状をなすチャックホルダ13の上端部には、
矩形の板状をなすスライドベース49が一体的に固定さ
れている。このスライドベース49上には、光ファイバ
用母材14を把持するスクロールチャック50を搭載し
たスライダ51が図7中、左右方向に水平に摺動自在に
取り付けられており、このスライダ51にはブラケット
52を介してスライドベース49の一端部に装着された
マイクロメータ53のスピンドルヘッド54が連結され
ている。これ以外の構成は、図1に示した先の実施例と
同一で良く、これら図5〜図7中の符号で図1に示した
先の実施例と同一機能の部材には、これと同一の符号を
記してある。
FIG. 5 is an external view of another embodiment of the hole inner surface polishing apparatus according to the present invention using a scroll type chuck having such an aligning function, and FIG. 6 is an external view of the chuck holder portion thereof. And, as shown in FIG. 7 showing the planar shape thereof, at the upper end of the cylindrical chuck holder 13 in which the drive belt 20 is wound around the outer peripheral surface of the lower end,
A slide base 49 having a rectangular plate shape is integrally fixed. A slider 51 having a scroll chuck 50 for holding the optical fiber preform 14 is mounted on the slide base 49 so as to be horizontally slidable in the horizontal direction in FIG. A spindle head 54 of a micrometer 53 attached to one end of a slide base 49 is connected via 52. Other configurations may be the same as those of the previous embodiment shown in FIG. 1, and the members having the same functions as those of the previous embodiment shown in FIG. Is marked.

【0041】従って、光ファイバ用母材14の加工すべ
き穴16の偏心方向とスライダ51の摺動方向とが一致
するように、光ファイバ用母材14をスクロールチャッ
ク50にて把持し、次いで、光ファイバ用母材14の中
心に対する加工すべき穴16の偏心量に相当する分だけ
マイクロメータ53を操作し、スライダ51をスライド
ベース49に対して移動させることにより、チャックホ
ルダ13の中心Oに対して光ファイバ用母材14の加工
すべき穴16を同心状に位置決めすることができる。
Therefore, the optical fiber preform 14 is gripped by the scroll chuck 50 so that the eccentric direction of the hole 16 to be machined in the optical fiber preform 14 and the sliding direction of the slider 51 coincide with each other, then By moving the slider 51 with respect to the slide base 49 by operating the micrometer 53 by an amount corresponding to the eccentric amount of the hole 16 to be machined with respect to the center of the optical fiber preform 14, the center O of the chuck holder 13 is moved. On the other hand, the hole 16 to be processed in the optical fiber preform 14 can be positioned concentrically.

【0042】この場合、スライドベース49とスライダ
51との間に第二のスライドベースを介在させ、スライ
ダ51を図中、上下方向にも水平に摺動できるようにす
ることも可能である。又、チャック爪15の代わりにV
溝状のものを少なくとも一方に形成した一対のブロック
をチャックホルダ13に組み付けて光ファイバ用母材1
4を把持するようにしても良い。
In this case, it is also possible to interpose a second slide base between the slide base 49 and the slider 51 so that the slider 51 can slide horizontally also in the vertical direction in the figure. Also, instead of the chuck claw 15, V
A pair of blocks each having a groove shape formed on at least one side are assembled to the chuck holder 13 to form the optical fiber preform 1
4 may be grasped.

【0043】このようなワーク保持手段を採用した本発
明による穴内面研磨装置の別な一実施例の外観をそれぞ
れ図8及び図9に示す。図8に示した実施例では、チャ
ックホルダ13と一体のスライドベースに対して水平に
摺動自在に取り付けられるスライダ51上に、光ファイ
バ用母材14を把持する山形の保持ブロック55をボル
ト等の複数本の締結金具56を介して固定し、この保持
ブロック55とこの保持ブロック55に対応する山形の
保持ブロック57とをボルト等の締結金具58にて連結
し、これら一対の保持ブロック55,57とで光ファイ
バ用母材14を挾持するようにしたものである。又、図
9に示した実施例は図8の実施例における山形の保持ブ
ロック57に代えて平板59を用い、この平板59と保
持ブロック55とで光ファイバ用母材14を挾持するよ
うにしたものである。これ以外の構成は、図5に示した
先の実施例と同一で良く、これら図8及び図9中の符号
で図5に示した先の実施例と同一機能の部材には、これ
と同一の符号を記してある。
The external appearance of another embodiment of the hole inner surface polishing apparatus according to the present invention which employs such a work holding means is shown in FIGS. 8 and 9, respectively. In the embodiment shown in FIG. 8, a chevron-shaped holding block 55 for holding the optical fiber preform 14 is mounted on a slider 51 which is horizontally slidably attached to a slide base integrated with the chuck holder 13 by bolts or the like. The holding block 55 and the mountain-shaped holding block 57 corresponding to the holding block 55 are connected to each other by fastening fittings 58 such as bolts, and the pair of holding blocks 55, 57 holds the optical fiber preform 14. Further, in the embodiment shown in FIG. 9, a flat plate 59 is used in place of the chevron-shaped holding block 57 in the embodiment of FIG. 8, and the flat plate 59 and the holding block 55 hold the optical fiber preform 14. It is a thing. The rest of the configuration may be the same as that of the previous embodiment shown in FIG. 5, and the members having the same functions as those of the previous embodiment shown in FIG. Is marked.

【0044】ところで、第二番目の本発明による穴内面
研磨装置は、ワーク保持手段及びワーク回転手段と、研
磨部材及び研磨部材支持手段及び研磨部材付勢手段及び
研磨部材回転手段とを被加工穴の長手方向に沿って相対
的に往復動させるワーク揺動手段を更に有しており、こ
のワーク揺動手段を図1に示す実施例に組み込んだ第二
番目の本発明による一実施例の外観を図10に示す。即
ち、垂直に設置されたコラム11の中央部には、このコ
ラム11から水平に突出する加工テーブル12の基端部
が昇降可能に保持されている。この加工テーブル12と
コラム11との間には、テーブル揺動手段60が介装さ
れ、このテーブル揺動手段60を駆動することにより、
加工テーブル12がコラム11に対して上下に揺動する
ようになっている。
In the hole inner surface polishing apparatus according to the second aspect of the present invention, the workpiece holding means and the workpiece rotating means, the polishing member, the polishing member supporting means, the polishing member biasing means and the polishing member rotating means are processed holes. Of the second embodiment of the present invention in which the work swinging means for relatively reciprocating along the longitudinal direction of the workpiece is incorporated into the embodiment shown in FIG. Is shown in FIG. That is, in the central portion of the vertically installed column 11, a base end portion of the processing table 12 which horizontally projects from the column 11 is held so as to be able to move up and down. A table rocking means 60 is interposed between the processing table 12 and the column 11, and by driving the table rocking means 60,
The processing table 12 swings up and down with respect to the column 11.

【0045】従って、ホルダ駆動モータ17及び砥石駆
動モータ29を作動して光ファイバ用母材14の加工す
べき穴16の内周面を加工する際、テーブル揺動手段6
0を作動して加工テーブル12の昇降動作を組み合わせ
ることにより、加工すべき穴16の内周面に発生する砥
粒の条痕の方向性がキャンセルされる結果、この加工す
べき穴16の内周面の平滑性が一段と向上する。これ以
外の構成は、図1にて先に説明した実施例と全く同一で
良く、図10中の符号で図1に示した先の実施例と同一
機能の部材には、これと同一の符号を記してある。
Therefore, when the holder driving motor 17 and the grindstone driving motor 29 are operated to machine the inner peripheral surface of the hole 16 to be machined in the optical fiber preform 14, the table swinging means 6 is used.
By operating 0 to combine the raising and lowering operations of the processing table 12, the directionality of the scratches of the abrasive grains generated on the inner peripheral surface of the hole 16 to be processed is canceled, and as a result, The smoothness of the peripheral surface is further improved. Otherwise, the configuration may be exactly the same as that of the embodiment described above with reference to FIG. 1, and the reference numerals in FIG. 10 denote the same functions as those of the previous embodiment shown in FIG. Is written.

【0046】なお、これらの本実施例では光ファイバ用
母材に形成された応力付与部材装入用の穴の内周面を研
磨する場合について説明したが、他の硬脆材料に形成さ
れた穴の内面研磨にも当然応用することが可能であり、
光ファイバ用母材14を鉛直に保持するようにしたが、
傾斜状態で保持したり、或いは水平に保持するようにし
ても良い。又、上述した複数の実施例を適宜組み合わ
せ、更に別な構成を採用することも当然可能である。
In these examples, the case of polishing the inner peripheral surface of the hole for inserting the stress applying member formed in the optical fiber preform has been described, but it is formed of another hard and brittle material. Of course, it can also be applied to the inner surface polishing of holes,
Although the optical fiber preform 14 is held vertically,
It may be held in an inclined state or may be held horizontally. Further, it is of course possible to appropriately combine the above-mentioned plurality of embodiments and to adopt another configuration.

【0047】[0047]

【発明の効果】本発明の穴内面研磨装置によると、円柱
材に対して偏心状態で形成された穴の内面を効率良く平
滑に研磨することができるため、この穴の内部にコア部
を構成する棒状のガラスを差し込み、これらを加熱一体
化して偏波モード保持用の光ファイバを製造する際、そ
の界面に気泡が残留して光ファイバの特性に悪影響を与
えるような不具合がなくなり、良好な偏波モード保持用
の光ファイバを得ることができる。
According to the hole inner surface polishing apparatus of the present invention, the inner surface of the hole formed in an eccentric state with respect to the cylindrical member can be efficiently and smoothly ground, so that the core portion is formed inside the hole. When a rod-shaped glass is inserted, and these are integrated by heating to manufacture an optical fiber for maintaining the polarization mode, there is no problem that bubbles remain at the interface and adversely affect the characteristics of the optical fiber. An optical fiber for maintaining the polarization mode can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】第一番目の本発明による穴内面研磨装置の一実
施例の外観を表す斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view showing an appearance of an embodiment of a hole inner surface polishing apparatus according to the first present invention.

【図2】本実施例におけるチャックホルダの部分の平面
図である。
FIG. 2 is a plan view of a portion of a chuck holder in this embodiment.

【図3】本実施例における加工液供給システムの概念図
である。
FIG. 3 is a conceptual diagram of a working liquid supply system in the present embodiment.

【図4】棒砥石に加工圧を発生させるための本発明によ
る穴内面研磨装置の他の一実施例における砥石チャック
の部分の外観を表す斜視図である。
FIG. 4 is a perspective view showing an external appearance of a portion of a grindstone chuck in another embodiment of the hole inner surface polishing apparatus according to the present invention for generating a processing pressure on a rod grindstone.

【図5】光ファイバ用母材を偏心状態で把持するための
本発明による穴内面研磨装置の他の一実施例の外観を表
す斜視図である。
FIG. 5 is a perspective view showing the outer appearance of another embodiment of the hole inner surface polishing apparatus according to the present invention for holding the optical fiber preform in an eccentric state.

【図6】そのチャックの部分を抽出した外観の正面図で
ある。
FIG. 6 is a front view of an appearance in which a chuck portion is extracted.

【図7】その平面図である。FIG. 7 is a plan view thereof.

【図8】光ファイバ用母材を偏心状態で把持するための
本発明による穴内面研磨装置の別な一実施例の外観を表
す斜視図である。
FIG. 8 is a perspective view showing the appearance of another embodiment of the hole inner surface polishing apparatus according to the present invention for holding the optical fiber preform in an eccentric state.

【図9】光ファイバ用母材を偏心状態で把持するための
本発明による穴内面研磨装置の更に他の一実施例の外観
を表す斜視図である。
FIG. 9 is a perspective view showing the appearance of yet another embodiment of the hole inner surface polishing apparatus according to the present invention for holding the optical fiber preform in an eccentric state.

【図10】第二番目の本発明による穴内面研磨装置の一
実施例の外観を表す斜視図である。
FIG. 10 is a perspective view showing an appearance of an embodiment of a hole inner surface polishing apparatus according to the second invention.

【図11】従来の穴の内周面研磨装置の外観を表す側面
図である。
FIG. 11 is a side view showing the appearance of a conventional hole inner peripheral surface polishing apparatus.

【図12】図11中のXII−XII矢視断面図である。12 is a sectional view taken along the line XII-XII in FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11はコラム、12は加工テーブル、13はチャックホ
ルダ、14は光ファイバ用母材、15はチャック爪、1
6は穴、17はホルダ駆動モータ、18はスピンドル、
19は駆動プーリ、20は駆動ベルト、21は退避用案
内レール、22はラムヘッド、23は着脱用案内レー
ル、24はラム、25は流体圧アクチュエータ、26は
モータベース、27は直線案内装置、28は戻しばね、
29は砥石駆動モータ、30は棒砥石、31は砥石チャ
ック、32は固定ラム、33は流体圧アクチュエータ、
34はチャックベース、35は直線案内装置、36は戻
しばね、37は砥石チャック、38はチャックホルダ、
39は加工液、40は加工液供給管、41は加工液供給
ポンプ、42は加工液溜め、43は攪拌用駆動モータ、
44は攪拌羽根、45はブラケット、46はプーリ、4
7は重錘、48はケーブル、49はスライドベース、5
0はスクロールチャック、51はスライダ、52はブラ
ケット、53はマイクロメータ、54はスピンドルヘッ
ド、55は保持ブロック、56は締結金具、57は保持
ブロック、58せ締結金具、59は平板、60はテーブ
ル揺動手段、Oはチャックホルダの中心である。
11 is a column, 12 is a processing table, 13 is a chuck holder, 14 is an optical fiber preform, 15 is a chuck claw, and 1
6 is a hole, 17 is a holder drive motor, 18 is a spindle,
Reference numeral 19 is a drive pulley, 20 is a drive belt, 21 is a retracting guide rail, 22 is a ram head, 23 is a detachable guide rail, 24 is a ram, 25 is a fluid pressure actuator, 26 is a motor base, 27 is a linear guide device, 28 Is a return spring,
29 is a grindstone driving motor, 30 is a rod grindstone, 31 is a grindstone chuck, 32 is a fixed ram, 33 is a fluid pressure actuator,
34 is a chuck base, 35 is a linear guide device, 36 is a return spring, 37 is a grindstone chuck, 38 is a chuck holder,
39 is a working fluid, 40 is a working fluid supply pipe, 41 is a working fluid supply pump, 42 is a working fluid reservoir, 43 is a drive motor for stirring,
44 is a stirring blade, 45 is a bracket, 46 is a pulley, 4
7 is a weight, 48 is a cable, 49 is a slide base, 5
0 is a scroll chuck, 51 is a slider, 52 is a bracket, 53 is a micrometer, 54 is a spindle head, 55 is a holding block, 56 is a fastening bracket, 57 is a holding block, 58 is a fastening bracket, 59 is a flat plate, and 60 is a table. The swinging means, O, is the center of the chuck holder.

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 被加工穴が長手方向に沿って形成された
円柱状のワークを保持するワーク保持手段と、このワー
ク保持手段を前記ワークと共に前記被加工穴を中心とし
て回転させるワーク回転手段と、前記被加工穴に差し込
まれる棒状の研磨部材と、この研磨部材を回転自在に支
持する研磨部材支持手段と、この研磨部材支持手段を当
該研磨部材と共に前記被加工穴の内周面に付勢する研磨
部材付勢手段と、前記研磨部材に連結されてこの研磨部
材を駆動回転させる研磨部材回転手段とを具えた穴内面
研磨装置。
1. A work holding means for holding a cylindrical work having holes to be machined formed in the longitudinal direction, and a work rotating means for rotating the work holding means together with the work around the hole to be machined. A rod-shaped polishing member to be inserted into the hole to be processed, a polishing member support means for rotatably supporting the polishing member, and the polishing member support means together with the polishing member for biasing the inner peripheral surface of the hole to be processed. And a polishing member rotating means that is connected to the polishing member and drives and rotates the polishing member.
【請求項2】 被加工穴が長手方向に沿って形成された
円柱状のワークを保持するワーク保持手段と、このワー
ク保持手段を前記ワークと共に前記被加工穴を中心とし
て回転させるワーク回転手段と、前記被加工穴に差し込
まれる棒状の研磨部材と、この研磨部材を回転自在に支
持する研磨部材支持手段と、この研磨部材支持手段を当
該研磨部材と共に前記被加工穴の内周面に付勢する研磨
部材付勢手段と、前記研磨部材に連結されてこの研磨部
材を駆動回転させる研磨部材回転手段と、前記ワーク保
持手段及びワーク回転手段と前記研磨部材及び前記研磨
部材支持手段及び前記研磨部材付勢手段及び研磨部材回
転手段とを前記被加工穴の長手方向に沿って相対的に往
復動させるワーク揺動手段とを具えた穴内面研磨装置。
2. A work holding means for holding a cylindrical work having holes to be machined formed in the longitudinal direction, and a work rotating means for rotating the work holding means together with the work around the hole to be machined. A rod-shaped polishing member to be inserted into the hole to be processed, a polishing member support means for rotatably supporting the polishing member, and the polishing member support means together with the polishing member for biasing the inner peripheral surface of the hole to be processed. Polishing member urging means, polishing member rotating means connected to the polishing member and drivingly rotating the polishing member, the work holding means and the work rotating means, the polishing member, the polishing member supporting means and the polishing member. A hole inner surface polishing apparatus comprising: a biasing means and a polishing member rotating means, and a work rocking means for relatively reciprocating along a longitudinal direction of the hole to be processed.
【請求項3】 研磨部材の外周面と被加工穴の内周面と
の間に遊離砥粒を供給する砥粒供給手段を具えたことを
特徴とする請求項1又は請求項2に記載した穴内面研磨
装置。
3. The abrasive grain supply means for supplying loose abrasive grains between the outer peripheral surface of the polishing member and the inner peripheral surface of the hole to be processed, as set forth in claim 1 or claim 2. Hole inner surface polishing device.
【請求項4】 研磨部材支持手段は研磨部材の両端部を
それぞれ回転自在に支持するものであることを特徴とす
る請求項1又は請求項2に記載した穴内面研磨装置。
4. The hole inner surface polishing apparatus according to claim 1, wherein the polishing member supporting means rotatably supports both ends of the polishing member.
【請求項5】 ワークに対して被加工穴が偏心状態で形
成されていることを特徴とする請求項1又は請求項2に
記載した穴内面研磨装置。
5. The hole inner surface polishing apparatus according to claim 1 or 2, wherein the hole to be processed is formed in an eccentric state with respect to the workpiece.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11349354A (en) * 1998-06-08 1999-12-21 Nikon Corp Substrate for information recording medium and its production
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