JPH05259612A - Production of printed wiring board - Google Patents

Production of printed wiring board

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JPH05259612A
JPH05259612A JP4057994A JP5799492A JPH05259612A JP H05259612 A JPH05259612 A JP H05259612A JP 4057994 A JP4057994 A JP 4057994A JP 5799492 A JP5799492 A JP 5799492A JP H05259612 A JPH05259612 A JP H05259612A
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JP
Japan
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resist
copper plating
electroless copper
substrate
printed wiring
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Pending
Application number
JP4057994A
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Japanese (ja)
Inventor
Hiroshi Yamazaki
宏 山崎
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Showa Denko Materials Co Ltd
Original Assignee
Hitachi Chemical Co Ltd
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Publication date
Application filed by Hitachi Chemical Co Ltd filed Critical Hitachi Chemical Co Ltd
Priority to JP4057994A priority Critical patent/JPH05259612A/en
Publication of JPH05259612A publication Critical patent/JPH05259612A/en
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  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)

Abstract

PURPOSE:To provide the production of a printed wiring board by full-additive method so as to permit high insulation resistance before and after the electrocorrosion test and ensure even a fine wiring pattern. CONSTITUTION:The production includes the following processes: 1) a process of forming pattern-shaped resist, which can be peeled off by alkali solution, on an insulating board, 2) a process of applying a catalyst which becomes the core of electroless copper plating, 3) a process of peeling off the resist by the alkali solution, 4) a process of forming resist for electroless copper plating and 5) a process of forming a wiring pattern by electroless copper plating.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、絶縁基板上に無電解銅
めっきにより配線パターンを形成するプリント配線板の
製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a printed wiring board in which a wiring pattern is formed on an insulating substrate by electroless copper plating.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、プリント配線板の製造には、表面
に金属薄膜を有する絶縁基板、すなわち銅張り積層板が
用いられており、これは主としてエポキシ樹脂、フェノ
ール樹脂などを含浸した紙又は布の所定量と接着剤を塗
布した銅箔とを重ね合わせ、熱圧積層して製造される。
プリント配線板は、銅張り積層板上の配線パターン部分
以外の銅箔をエッチング除去して絶縁物基板(積層板)
上に配線パターンを形成してなるものである。
2. Description of the Related Art Conventionally, an insulating substrate having a metal thin film on its surface, that is, a copper-clad laminate has been used in the manufacture of printed wiring boards, which is mainly paper or cloth impregnated with epoxy resin, phenol resin or the like. And a copper foil coated with an adhesive are superposed on each other and laminated by heat and pressure to manufacture.
The printed wiring board is an insulator substrate (laminated board) by etching away the copper foil other than the wiring pattern part on the copper-clad laminated board.
A wiring pattern is formed on the top.

【0003】このため、この銅張り積層板による方法で
は、基板上の銅箔の大部分をエッチング除去するため無
駄が多く、しかも穴あけ加工により形成された穴(スル
ーホール)には金属被覆が行われておらず、穴あけ後、
さらにスルーホールめっきが必要となる。
Therefore, in this method using a copper-clad laminate, most of the copper foil on the substrate is removed by etching, which is wasteful, and the holes (through holes) formed by drilling are metal-coated. Not drilled, after drilling,
Furthermore, through-hole plating is required.

【0004】一方、この方法に対して、絶縁基板上及び
スルーホール中の穴壁に直接無電解銅めっきを行って配
線パターンを形成するフルアディティブ法が重要視され
ている。このフルアディティブ法は、主としてエポキシ
樹脂、フェノール樹脂などを含浸した紙又は布の所定量
を熱圧積層して製造された絶縁基板上に、特公昭45−
9843号公報などに記載された無電解めっき用の下地
接着剤を形成する。その後、穴あけし、基板表面及び穴
内にPd を主成分とする無電解めっき用触媒を付与し、
さらに、配線パターンを除く部分に無電解銅めっき用レ
ジストを形成した後、無電解銅めっきにより配線パター
ンを形成する。また、絶縁基板及び接着剤中にPd を主
成分とする無電解めっき用触媒を混入しておき、その基
板上に無電解めっきレジストを形成して無電解銅めっき
により配線パターンを形成するフルアディティブ法もあ
る。
On the other hand, in contrast to this method, a full-additive method of forming a wiring pattern by directly performing electroless copper plating on the insulating substrate and on the hole walls in the through holes is emphasized. This full-additive method is applied to an insulating substrate manufactured by hot-pressing and laminating a predetermined amount of paper or cloth impregnated mainly with epoxy resin, phenol resin, etc.
A base adhesive for electroless plating described in Japanese Patent Publication No. 9843 is formed. After that, holes are drilled, and a catalyst for electroless plating containing Pd as a main component is provided on the substrate surface and in the holes,
Further, after forming a resist for electroless copper plating on the portion excluding the wiring pattern, the wiring pattern is formed by electroless copper plating. Further, a full additive method in which a catalyst for electroless plating containing Pd as a main component is mixed in an insulating substrate and an adhesive, an electroless plating resist is formed on the substrate, and a wiring pattern is formed by electroless copper plating. There is also a law.

【0005】いずれの方法でも、無電解銅めっきレジス
トの解像度を配線パターンに生じさせるため、高密度プ
リント配線板の製造が可能である。しかしながら、導電
性であるPd が絶縁基板及び接着剤の表面又は内部に存
在するため、絶縁抵抗が低いことや、高温高湿下で電圧
を印加する電食試験で絶縁抵抗が劣るという問題があ
る。特に、近年のプリント配線板の高密度化に伴い、電
食性が大きな問題となってきている。
In either method, since the resolution of the electroless copper plating resist is generated in the wiring pattern, it is possible to manufacture a high density printed wiring board. However, since conductive Pd exists on the surface or inside of the insulating substrate and the adhesive, there is a problem that the insulation resistance is low and the insulation resistance is inferior in the electrolytic corrosion test in which a voltage is applied under high temperature and high humidity. .. In particular, as the density of printed wiring boards has increased in recent years, electrolytic corrosion has become a serious problem.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】上述のように、フルア
ディティブ法によるプリント配線板の製造には、配線パ
ターンが微細になると、絶縁抵抗や電食試験での絶縁抵
抗が低下するという問題点があった。そこで、本発明
は、絶縁抵抗や電食試験での絶縁抵抗が高く、微細な配
線パターンでも確保できる、フルアディティブ法による
プリント配線板の製造方法を提供することを目的とす
る。
As described above, in the production of a printed wiring board by the full additive method, if the wiring pattern becomes fine, the insulation resistance and the insulation resistance in the electrolytic corrosion test decrease. there were. Therefore, an object of the present invention is to provide a method for manufacturing a printed wiring board by a full additive method, which has high insulation resistance and insulation resistance in an electrolytic corrosion test and can secure even a fine wiring pattern.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明は、絶縁基板上に
予めアルカリ水溶液で剥離可能なレジストを形成した後
に、無電解銅めっきの核となる触媒を付与してめっきす
べき部分のみに無電解銅めっき触媒を存在させることに
よって、上記目的を達成したものである。
According to the present invention, a resist that can be stripped with an alkaline aqueous solution is formed in advance on an insulating substrate, and then a catalyst that serves as a core of electroless copper plating is applied so that only a portion to be plated is left uncoated. The above object is achieved by the presence of the electrolytic copper plating catalyst.

【0008】すなわち、本発明は、無電解銅めっきによ
り配線パターンを形成するプリント配線板の製造方法に
おいて、絶縁基板上にアルカリ水溶液で剥離可能なパ
ターン状レジストを形成する工程、無電解銅めっきの
核となる触媒を付与する工程、アルカリ水溶液でレジ
ストを剥離する工程、無電解銅めっき用のレジストを
形成する工程及び無電解銅めっきにより配線パターン
を形成する工程を含むことを特徴とするプリント配線板
の製造方法に関する。
That is, according to the present invention, in a method for manufacturing a printed wiring board in which a wiring pattern is formed by electroless copper plating, a step of forming a patterned resist that can be peeled with an alkaline aqueous solution on an insulating substrate, A printed wiring characterized by including a step of applying a catalyst as a core, a step of peeling a resist with an alkaline aqueous solution, a step of forming a resist for electroless copper plating, and a step of forming a wiring pattern by electroless copper plating. The present invention relates to a method for manufacturing a plate.

【0009】次に、本発明のプリント配線板の製造方法
について詳細に説明する。本発明において絶縁基板とし
ては、特に制限はなく、各種のものを使用でき、例え
ば、フェノール樹脂を含浸した紙を積層した紙フェノー
ル板、エポキシ樹脂を含浸したガラス布を積層したガラ
スエポキシ板などが挙げられる。これらの基板のさらに
具体的なものとしては、無電解銅めっきの触媒を含有し
ないもので、例えば、日立化成工業株式会社製の商品名
LP−461F、LE−67N等の製品として入手でき
るものがある。
Next, the method for manufacturing the printed wiring board of the present invention will be described in detail. In the present invention, the insulating substrate is not particularly limited and various ones may be used, for example, a paper phenol plate laminated with paper impregnated with phenol resin, a glass epoxy plate laminated with epoxy resin impregnated glass cloth, and the like. Can be mentioned. More specific examples of these substrates include those that do not contain a catalyst for electroless copper plating, and are available as products such as product names LP-461F and LE-67N manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd. is there.

【0010】また、基板表面に無電解銅のめっき用下地
接着剤層が形成されていてもよい。この接着剤層は、ゴ
ム、フェノール、エポキシ樹脂等からなる液状の接着剤
をディップコート法、カーテンコート法などにより塗
布、乾燥し、硬化したものや、その接着剤を予め支持体
フィルム上に塗布、乾燥し、フィルム化した接着剤フィ
ルムを基板にラミネート(熱圧接着)し、硬化したもの
である。ラミネートは、プリント配線板製造の分野で周
知のラミネータを用いて行うことができる。すなわち、
接着剤フィルムにポリエチレン等の保護フィルムが無い
場合はそのまま、保護フィルムがある場合は保護フィル
ムを剥離して又は剥離しながら接着剤面を基板側にし
て、基板の両面又は片面に加熱加圧ラミネートする。
Further, a base adhesive layer for electroless copper plating may be formed on the surface of the substrate. This adhesive layer is obtained by applying a liquid adhesive composed of rubber, phenol, epoxy resin or the like by a dip coating method, a curtain coating method, etc., dried and cured, or applying the adhesive in advance on a support film. The adhesive film, which has been dried and formed into a film, is laminated (thermocompression bonded) on a substrate and cured. Lamination can be performed using a laminator well known in the field of printed wiring board manufacturing. That is,
When the adhesive film does not have a protective film such as polyethylene, it is as it is, and when there is a protective film, the protective film is peeled or the adhesive side is the substrate side while peeling, and heat and pressure lamination is performed on both sides or one side of the substrate. To do.

【0011】その後、接着剤層を有する場合には、クロ
ム酸・硫酸の混合液などの化学粗化液を用いて表面を粗
化する処理を行うこともできる。
After that, when the adhesive layer is provided, the surface can be roughened by using a chemical roughening liquid such as a mixed liquid of chromic acid and sulfuric acid.

【0012】本発明の工程において、絶縁基板上にア
ルカリ水溶液で剥離可能なレジストを形成するには、プ
リント配線板用感光性フィルムとして市販されているフ
ィルムをラミネートして基板上に感光層を形成するか又
は液状の感光剤を基板上にディップ法等により塗布、乾
燥して感光層を形成する。感光層材料としては、アルカ
リ水溶液で剥離可能なレジストを形成しうるものであれ
ば、特に制限はない。前者のフィルムとしては、例えば
日立化成工業(株)製の商品名フォテック(登録商標)
HF240、H−S433等として入手できるものがあ
る。これらのフィルムの基板へのラミネートは、接着剤
フィルムのラミネートと同様にプリント配線板製造の分
野で周知のラミネータを用いて同様に行うことができ
る。
In the process of the present invention, in order to form a resist that can be peeled off with an alkaline aqueous solution on an insulating substrate, a film commercially available as a photosensitive film for printed wiring boards is laminated to form a photosensitive layer on the substrate. Alternatively, a liquid photosensitizer is applied on the substrate by a dipping method or the like and dried to form a photosensitive layer. The photosensitive layer material is not particularly limited as long as it can form a resist that can be peeled with an alkaline aqueous solution. The former film is, for example, a product name of Fotec (registered trademark) manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.
Some are available as HF240, H-S433, etc. Lamination of these films on the substrate can be similarly carried out using a laminator well known in the field of printed wiring board production, as in the case of laminating the adhesive film.

【0013】上記のようにして基板上に感光層を形成し
た後、超高圧水銀灯、メタルハライドランプなどを光源
とする露光機を用いて像的に露光し(この場合、ネガフ
ィルムには、めっきレジストのパターンと同一パターン
を用いる)、ポリエステルフィルム等の支持体フィルム
を除去した後、アルカリ水溶液で現像することによっ
て、パターン状レジストを形成する。ここで、アルカリ
水溶液としては、特に制限はなく、様々なものを用いる
ことができ、例えば、アルカリ金属の水酸化物の水溶
液、アルカリ金属のリン酸塩の水溶液、炭酸ナトリウム
等のアルカリ金属の炭酸塩の水溶液などが挙げられる。
特に炭酸ナトリウムの水溶液が好ましい。
After the photosensitive layer is formed on the substrate as described above, it is imagewise exposed by using an exposure device having a light source such as an ultra-high pressure mercury lamp or a metal halide lamp (in this case, the negative film is coated with a plating resist). (The same pattern as the above pattern is used), the support film such as the polyester film is removed, and then the resist film is developed with an alkaline aqueous solution to form a patterned resist. Here, the alkaline aqueous solution is not particularly limited and various ones can be used. Examples thereof include an aqueous solution of salt.
An aqueous solution of sodium carbonate is particularly preferable.

【0014】本発明の方法における工程は、無電解銅
めっきの核となる触媒を付与する工程である。ここで、
触媒としては、無電解銅めっきに使用される任意の触媒
であってよく、例えば、塩化パラジウム等のパラジウム
化合物、塩化ロジウム等のロジウム化合物などを含有す
る触媒液、例えば、日立化成工業(株)製の商品名HS
101Bなどが挙げられる。触媒を付与する工程は、上
記のような触媒液に工程でレジストを形成した基板を
浸漬し、その後水洗することによって行うことができ
る。その後、さらに蓚酸等を用いて活性化処理を行うこ
とができる。
The step in the method of the present invention is a step of applying a catalyst which becomes a nucleus of electroless copper plating. here,
The catalyst may be any catalyst used in electroless copper plating, for example, a catalyst liquid containing a palladium compound such as palladium chloride, a rhodium compound such as rhodium chloride, for example, Hitachi Chemical Co., Ltd. Product name made by HS
101B and the like. The step of applying the catalyst can be carried out by immersing the substrate on which the resist has been formed in the step in the above-mentioned catalyst solution and then washing with water. After that, activation treatment can be further performed using oxalic acid or the like.

【0015】次に行う工程は、アルカリ水溶液でレジ
ストを剥離する工程であり、プリント配線板製造の分野
で周知のレジスト剥離機を用いて行うことができる。ま
た、レジスト剥離に用いられるアルカリ水溶液は、水酸
化カリウム、水酸化ナトリウム等のアルカリ金属水酸化
物の水溶液、該水溶液にさらにアルコール等を含有させ
た溶液等である。
The next step is a step of stripping the resist with an alkaline aqueous solution, which can be performed using a resist stripping machine well known in the field of printed wiring board manufacturing. The alkaline aqueous solution used for stripping the resist is, for example, an aqueous solution of an alkali metal hydroxide such as potassium hydroxide or sodium hydroxide, or a solution obtained by further containing alcohol or the like.

【0016】次に、無電解銅めっき用のレジストを形成
する工程を行う。この工程は、前記のアルカリ水溶液
で剥離可能なレジストを形成する工程と同様に行うこと
ができる。すなわち、無電解銅めっき用のレジストとし
ては、特に制限はなく、液状レジスト又は感光性フィル
ムを用いることができる。液状レジストを用いる場合に
は、基板上にディップコート法、カーテンコート法など
各種な方法で液状レジストを塗布し、乾燥する。また、
感光性フィルムを用いる場合には、公知のラミネータを
用いてラミネートする。
Next, a step of forming a resist for electroless copper plating is performed. This step can be performed in the same manner as the above-mentioned step of forming a resist that can be stripped with an alkaline aqueous solution. That is, the resist for electroless copper plating is not particularly limited, and a liquid resist or a photosensitive film can be used. When a liquid resist is used, the liquid resist is applied on the substrate by various methods such as a dip coating method and a curtain coating method, and dried. Also,
When a photosensitive film is used, it is laminated using a known laminator.

【0017】その後、超高圧水銀灯、メタルハライドラ
ンプ等を光源とする露光機を用いて像的に露光する。こ
の場合、アルカリ水溶液で剥離可能なレジストを露光す
るときに用いたネガフィルムを用いる。次に、感光性フ
ィルムを用いた場合には、ポリエステルフィルム等の支
持体フィルムを剥離した後、トリクロロエタン等の有機
溶剤又は1重量%炭酸ナトリウム水溶液等のアルカリ水
溶液で現像することによりレジストを形成する。さら
に、紫外線照射や150℃前後の熱により硬化を行って
もよい。
After that, imagewise exposure is performed by using an exposure device having a light source such as an ultra-high pressure mercury lamp or a metal halide lamp. In this case, the negative film used when exposing the resist capable of peeling with an alkaline aqueous solution is used. Next, when a photosensitive film is used, after peeling the support film such as a polyester film, the resist is formed by developing with an organic solvent such as trichloroethane or an alkaline aqueous solution such as a 1 wt% sodium carbonate aqueous solution. .. Further, curing may be performed by irradiation with ultraviolet rays or heat at about 150 ° C.

【0018】最後に、工程として無電解銅めっきによ
り配線パターンを形成する工程を行う。この工程は、常
法により、硫酸銅、ホルムアルデヒド等を主成分とする
各種の無電解銅めっき液に基板を浸漬することによって
行うことができる。ここで、無電解銅めっき前に、めっ
き触媒の活性化処理を行ってもよい。
Finally, as a step, a step of forming a wiring pattern by electroless copper plating is performed. This step can be performed by a conventional method by immersing the substrate in various electroless copper plating solutions containing copper sulfate, formaldehyde, etc. as a main component. Here, activation treatment of the plating catalyst may be performed before electroless copper plating.

【0019】無電解銅めっきの完了した基板には、液状
レジストやドライフィルムタイプのソルダレジストを形
成してもよい。
A liquid resist or a dry film type solder resist may be formed on the substrate on which the electroless copper plating has been completed.

【0020】本発明方法により製造されたフルアディテ
ィブ法のプリント配線板は、めっきレジストの下部にめ
っき触媒が存在しないため、絶縁抵抗や電食試験での絶
縁抵抗が向上し、微細な配線パターンのプリント配線板
を製造することができる。
The printed wiring board of the full-additive method manufactured by the method of the present invention has no plating catalyst under the plating resist, so that the insulation resistance and the insulation resistance in the electrolytic corrosion test are improved, and a fine wiring pattern is formed. A printed wiring board can be manufactured.

【0021】[0021]

【実施例】次に、実施例により本発明をさらに詳しく説
明するが、本発明はこれによって制限されるものではな
い。
EXAMPLES Next, the present invention will be described in more detail by way of examples, which should not be construed as limiting the invention.

【0022】実施例1 接着剤フィルム(日立化成工業株式会社製、商品名フォ
テック(登録商標)AP−1530)をガラスエポキシ
板(日立化成工業株式会社製、商品名LE67N、厚さ
0.8mm、500mm×300mm)の両表面に、ホットロ
ールラミネータ(日立化成工業株式会社製、商品名HL
M−1500型)を用いてホットロール温度150℃、
ホットロール圧4kgf/cm2 、ラミネートスピード1.0
m/分の条件で、ポリエチレンフィルムを剥離しながら
ラミネートし、基板サイズに接着剤フィルムを切断し
た。
Example 1 An adhesive film (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., trade name: Fotec (registered trademark) AP-1530) was used as a glass epoxy plate (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., trade name LE67N, thickness 0.8 mm, Hot roll laminator (Hitachi Chemical Co., Ltd., trade name HL) on both surfaces of 500 mm x 300 mm
M-1500) using a hot roll temperature of 150 ° C,
Hot roll pressure 4kgf / cm 2 , laminating speed 1.0
The polyethylene film was peeled off and laminated under the condition of m / min, and the adhesive film was cut into a substrate size.

【0023】次に、紫外線と赤外線が同時に放射される
平行光照射型反射板を有する80W/cmの高圧水銀灯2
本を有する紫外線照射機(株式会社オーク製作所製、商
品名HMW−514型)を用い、365nmセンサーで
1.2J/cm2 の紫外線を照射した。次に、ポリエステ
ルフィルムを剥離し、150℃の雰囲気温度を有する硬
化炉内で30分間加熱した。次に、ネガフィルムの位置
合わせ用の穴をあけた。
Next, a high-pressure mercury lamp 2 of 80 W / cm having a parallel light irradiation type reflection plate which simultaneously emits ultraviolet rays and infrared rays.
Using a UV irradiator having a book (manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd., trade name HMW-514 type), 1.2 J / cm 2 of UV light was irradiated with a 365 nm sensor. Next, the polyester film was peeled off and heated for 30 minutes in a curing oven having an ambient temperature of 150 ° C. Next, holes for aligning the negative film were opened.

【0024】基板上の硬化した接着剤層を無水クロム酸
65g/lと濃硫酸250ml/lとからなる化学粗化液
で50℃で7分間処理し、水洗後、50℃の湯洗処理を
10分間行った。次に、6g/lの水酸化ナトリウム水
溶液で50℃で約10分間処理して、接着剤表面の粗化
残渣物を除去し、さらに水洗した。
The hardened adhesive layer on the substrate was treated with a chemical roughening solution consisting of chromic anhydride 65 g / l and concentrated sulfuric acid 250 ml / l at 50 ° C. for 7 minutes, washed with water and then washed with hot water at 50 ° C. It went for 10 minutes. Next, it was treated with a 6 g / l sodium hydroxide aqueous solution at 50 ° C. for about 10 minutes to remove the roughening residue on the surface of the adhesive, and further washed with water.

【0025】こうして粗化した基板にアルカリ水溶液で
剥離可能なレジストを形成するため、感光性フィルム
(日立化成工業株式会社製、商品名フォテック(登録商
標)PHT−887AF−25)を基板の両表面に、ポ
リエチレンフィルムを剥離しながらホットロールラミネ
ータで、ホットロール温度100℃、ホットロール圧3
kgf/cm2 、ラミネートスピード1.5m/分の条件で
ラミネートし、基板サイズに感光性フィルムを切断し
た。
In order to form a resist which can be peeled off with an alkaline aqueous solution on the substrate thus roughened, a photosensitive film (PHITECH-887AF-25, trade name, Photec (registered trademark), manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) is used on both surfaces of the substrate. While peeling off the polyethylene film, hot roll laminator, hot roll temperature 100 ℃, hot roll pressure 3
Lamination was carried out under the conditions of kgf / cm 2 and laminating speed of 1.5 m / min, and the photosensitive film was cut into a substrate size.

【0026】次に、ネガフィルムとして、幅1cm×長さ
10cmの長方形パターンを遮光部として有する銅箔引き
剥がし(ピール)強度測定用パターンと、一辺が2.5
cmの正方形パターンを遮光部として有する260℃のは
んだ耐熱性測定用パターンと、電極部に幅100μm×
長さ10cmのくしの歯が、+電極側と−電極側を組み合
わせたときに、100μmの間隔で並ぶように結合され
たくし形パターンを遮光部として有する電食試験の絶縁
抵抗測定用パターンを用いて、基準穴で位置合わせし、
超高圧水銀灯(株式会社オーク製作所製、商品名HMW
−201B)で露光量60mJ/cm2 で露光した。次
に、感光性フィルムの支持体のポリエステルフィルムを
剥離除去した後、1重量%炭酸ナトリウム水溶液で38
秒間スプレー現像(液温30℃)し、水洗後、80℃で
10分間乾燥してパターン状レジストを得た。
Next, as a negative film, a copper foil peeling strength measuring pattern having a rectangular pattern having a width of 1 cm and a length of 10 cm as a light-shielding portion, and a side of 2.5.
260 ° C solder heat resistance measurement pattern having a square cm pattern as a light-shielding portion, and the electrode portion has a width of 100 μm ×
Use the insulation resistance measurement pattern of the electrolytic corrosion test, which has comb-shaped patterns with the comb teeth of 10 cm in length, which are combined so as to line up at intervals of 100 μm when the + electrode side and the − electrode side are combined, as the light-shielding portion. Align with the reference hole,
Ultra-high pressure mercury lamp (Oak Seisakusho Co., Ltd., trade name HMW
-201B) at an exposure dose of 60 mJ / cm 2 . Next, after removing the polyester film of the support of the photosensitive film by peeling,
After spray developing for 30 seconds (liquid temperature 30 ° C.), washing with water and drying at 80 ° C. for 10 minutes, a patterned resist was obtained.

【0027】次に、無電解銅めっきの触媒となるPd を
含有する触媒液(日立化成工業株式会社製、商品名HS
101B)中にレジストを形成した基板を2分間浸漬し
て触媒を付与した。水洗後、蓚酸1g/lと36重量%
の塩酸10ml/lとからなる活性化液に5分間浸漬し、
さらに水洗した。
Next, a catalyst solution containing Pd which serves as a catalyst for electroless copper plating (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., trade name HS
The substrate on which the resist was formed was immersed in 101B) for 2 minutes to apply a catalyst. After washing with water, 1g / l oxalic acid and 36wt%
Dip for 5 minutes in an activation solution consisting of 10 ml / l of hydrochloric acid,
Further washed with water.

【0028】こうして無電解銅めっきの触媒付与をした
基板上の、アルカリ水溶液で剥離可能なレジストを3重
量%水酸化ナトリウム水溶液(液温45℃)で30秒間
スプレーし、剥離し、水洗し、120℃で10分間乾燥
した。
A resist which can be stripped with an alkaline aqueous solution on the substrate thus provided with the catalyst for electroless copper plating is sprayed with a 3 wt% sodium hydroxide aqueous solution (liquid temperature 45 ° C.) for 30 seconds, stripped, and washed with water, It was dried at 120 ° C. for 10 minutes.

【0029】その後、剥離の完了した基板の表面に、無
電解銅めっき用のレジストを形成するため、感光性フィ
ルム(日立化成工業株式会社製、商品名フォテック(登
録商標)SR−3200−35)を基板の両表面に、ポ
リエチレンフィルムを剥離しながらホットラミネータで
ラミネート(ホートロール温度100℃、ラミネート圧
3kgf/cm2 、ラミネートスピード1.2m/分)し、
基板サイズに感光性フィルムを切断した。
Then, in order to form a resist for electroless copper plating on the surface of the substrate which has been peeled off, a photosensitive film (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., trade name Photec SR-3200-35). Is laminated on both surfaces of the substrate with a hot laminator while peeling off the polyethylene film (hot roll temperature 100 ° C., laminating pressure 3 kgf / cm 2 , laminating speed 1.2 m / min),
The photosensitive film was cut into a substrate size.

【0030】次いで、アルカリ水溶液で剥離可能なレジ
ストを形成する時に用いたネガフィルムを用い、基準穴
で位置合わせ(同じ位置に同じパターンが残るように)
し、超高圧水銀灯(株式会社オーク製作所製、商品名H
MW−590)で露光量200mJ/cm2 で露光した。
次に、感光性フィルムの支持体のポリエステルフィルム
を剥離除去した後、1,1,1−トリクロロエタン(液
温15℃)で50秒間スプレー現像し、水洗後、80℃
で10分間乾燥した。
Next, using the negative film used for forming the resist which can be peeled off with an alkaline aqueous solution, the reference film is used for alignment (so that the same pattern remains at the same position).
Ultra high pressure mercury lamp (Oak Seisakusho Co., Ltd., trade name H
MW-590) at an exposure dose of 200 mJ / cm 2 .
Next, after peeling off the polyester film of the support of the photosensitive film, spray development with 1,1,1-trichloroethane (liquid temperature 15 ° C.) for 50 seconds, washing with water, and then at 80 ° C.
And dried for 10 minutes.

【0031】こうして得られた基板を、硫酸銅・五水塩
15g/l、エチレンジアミン四酢酸30g/l、37
%HCHO水溶液10ml/l及びシアン化ナトリウム2
5mg/lを含み、水酸化ナトリウムでpH12.5に調整
した無電解銅めっき液に70℃で15時間浸漬し、各配
線パターン形成部に約30μm厚の銅めっき膜を形成し
た。次に、水洗し、150℃で30分間乾燥した。
The substrate thus obtained was treated with copper sulfate / pentahydrate 15 g / l, ethylenediaminetetraacetic acid 30 g / l, 37
% HCHO aqueous solution 10 ml / l and sodium cyanide 2
An electroless copper plating solution containing 5 mg / l and adjusted to pH 12.5 with sodium hydroxide was immersed at 70 ° C. for 15 hours to form a copper plating film having a thickness of about 30 μm on each wiring pattern forming portion. Next, it was washed with water and dried at 150 ° C. for 30 minutes.

【0032】その後、電食試験用のくし型パターンで両
極以外の部分へ、熱硬化型ソルダーレジスト(太陽イン
キ製造株式会社製、商品名S−222MJ6)をスクリ
ーン印刷し、150℃で30分間熱硬化した。
Thereafter, a thermosetting solder resist (Taiyo Ink Mfg. Co., Ltd., trade name S-222MJ6) was screen-printed on a portion other than the both electrodes with a comb pattern for an electrolytic corrosion test, and heated at 150 ° C. for 30 minutes. Cured.

【0033】得られた配線パターンを有する基板につい
て、JIS−C6481法に準拠してピール強度及びは
んだ耐熱性を測定した。また、電食試験用パターンにつ
いては、両極にリード線をはんだ付けし、直流電圧50
0Vを1分間印加し、初期の絶縁抵抗を測定した後、直
流電圧100Vを印加しながら85℃、湿度85%の恒
温恒湿槽に入れ、240時間後に取り出し、印加を停止
した。その後、直流電圧500Vを1分間印加し、電食
試験後の絶縁抵抗を測定した。測定結果を表1に示し
た。
With respect to the substrate having the obtained wiring pattern, peel strength and solder heat resistance were measured according to JIS-C6481 method. For the electrolytic corrosion test pattern, solder the lead wires to both electrodes and apply DC voltage 50
After applying 0 V for 1 minute and measuring the initial insulation resistance, the sample was placed in a thermo-hygrostat at 85 ° C. and a humidity of 85% while applying a DC voltage of 100 V, taken out after 240 hours, and the application was stopped. Then, a DC voltage of 500 V was applied for 1 minute, and the insulation resistance after the electrolytic corrosion test was measured. The measurement results are shown in Table 1.

【0034】比較例1 実施例1でアルカリ水溶液で剥離可能なレジストを形成
する工程と、それを剥離する工程を行わない以外は、全
く同様に行って、無電解銅めっきの配線パターンを有す
る基板を作成した。また、実施例1と同様にピール強
度、はんだ耐熱性及び電食試験を行い、結果を表1に示
した。
COMPARATIVE EXAMPLE 1 A substrate having a wiring pattern of electroless copper plating was carried out in the same manner as in Example 1 except that the step of forming a resist that can be peeled off with an alkaline aqueous solution and the step of peeling it off were not performed. It was created. Further, peel strength, solder heat resistance and electrolytic corrosion tests were conducted in the same manner as in Example 1, and the results are shown in Table 1.

【0035】[0035]

【表1】 [Table 1]

【0034】上記の結果から明らかなとおり、本発明の
実施例で得られたプリント配線板は、ピール強度、はん
だ耐熱性ともに良好であり、さらに、めっきレジストの
下部にめっき触媒が存在しないため、初期の絶縁抵抗が
著しく高く、電食試験後の絶縁抵抗も1012Ω以上と優
れた特性を示した。これに対し、比較例では、ピール強
度及びはんだ耐熱性は良好であったものの、電食試験後
の絶縁抵抗は1010Ωと低い値であった。
As is clear from the above results, the printed wiring boards obtained in the examples of the present invention have good peel strength and solder heat resistance, and further, since there is no plating catalyst below the plating resist, The initial insulation resistance was remarkably high, and the insulation resistance after the electrolytic corrosion test was 10 12 Ω or more, showing excellent characteristics. On the other hand, in the comparative example, although the peel strength and the solder heat resistance were good, the insulation resistance after the electrolytic corrosion test was a low value of 10 10 Ω.

【0035】[0035]

【発明の効果】本発明の方法によれば、フルアディティ
ブ法でピール強度及びはんだ耐熱性に優れるとともに、
電食試験後の絶縁抵抗などの絶縁抵抗に優れたプリント
配線板を得ることができる。
According to the method of the present invention, the full additive method is excellent in peel strength and solder heat resistance, and
It is possible to obtain a printed wiring board having excellent insulation resistance such as insulation resistance after the electrolytic corrosion test.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 無電解銅めっきにより配線パターンを形
成するプリント配線板の製造方法において、絶縁基板
上にアルカリ水溶液で剥離可能なパターン状レジストを
形成する工程、無電解銅めっきの核となる触媒を付与
する工程、アルカリ水溶液でレジストを剥離する工
程、無電解銅めっき用のレジストを形成する工程及び
無電解銅めっきにより配線パターンを形成する工程を
含むことを特徴とするプリント配線板の製造方法。
1. A method of manufacturing a printed wiring board in which a wiring pattern is formed by electroless copper plating, a step of forming a patterned resist that can be stripped with an alkaline aqueous solution on an insulating substrate, and a catalyst serving as a core of electroless copper plating. And a step of peeling the resist with an alkaline aqueous solution, a step of forming a resist for electroless copper plating, and a step of forming a wiring pattern by electroless copper plating. ..
【請求項2】 絶縁基板が、表面に接着剤層を有するも
のである請求項1記載のプリント配線板の製造方法。
2. The method for manufacturing a printed wiring board according to claim 1, wherein the insulating substrate has an adhesive layer on its surface.
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