JPH05250982A - Manufacture of magnetron - Google Patents

Manufacture of magnetron

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JPH05250982A
JPH05250982A JP5038892A JP5038892A JPH05250982A JP H05250982 A JPH05250982 A JP H05250982A JP 5038892 A JP5038892 A JP 5038892A JP 5038892 A JP5038892 A JP 5038892A JP H05250982 A JPH05250982 A JP H05250982A
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JP
Japan
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filament
end shield
molybdenum
center lead
shield
Prior art date
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Pending
Application number
JP5038892A
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Japanese (ja)
Inventor
Mamoru Kurokuzuhara
守 黒葛原
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Abstract

PURPOSE:To stabilize characteristics while restraining dispersion in the pipe axial directional length by brazing both ends of a spiral filament after a side lead, a lower end shield, a monitor lead and an upper end shield are welded together. CONSTITUTION:A place, where a molybdenum center lead 4 is inserted into the center hole of a molybdenum upper end shield 2, is welded/fixed. A molybdenum lower end shield and the upper end of a molybdenum side shield are also welded/fixed together. Next, a solder material 7 of ruthenium-molybdenum eutectic alloy is arranged between a thorium tungsten filament 1 and a filament support part of the upper/lower end shields, and is heated in a reducing atmosphere such as hydrogen, and is brazed/fixed. In this way, a brazing work is carried out at a temperature lower than a melting point of molybdenum, so that dispersion in the pipe axial directional length between the upper/lower shields can be restrained.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、安定したマイクロ波発
振動作を行い、陰極からの無効電流が少ない製品が得ら
れるようにしたマグネトロンの製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing a magnetron, which is capable of performing stable microwave oscillation operation and obtaining a product with a small reactive current from the cathode.

【0002】[0002]

【従来の技術】図3と図4は、従来の製造方法で製造さ
れたマグネトロンの陰極構体の側断面図である。図中、
1は熱電子を放出する一般にトリウム入りタングステン
線で製作されたらせん状のフィラメント、2は上エンド
シールド、3は下エンドシールド、4はセンタリード、
5はサイドリード、6はペースト状にしたろう材、7は
板状に成形したろう材である。図示のように、上エンド
シールド2の中心には孔が設けてあって、センタリード
4はこの孔に係合しており、センタリード上で上エンド
シールドを摺動させて、螺旋状フィラメント1のセンタ
リード方向(使用状態では管軸方向)の長さを所定値に
調整して固着接続できるようになっている。また、陰極
加熱電力は、電源電極に接続されたセンタリードとサイ
ドリードから、それぞれ、上エンドシールドと下エンド
シールドを介してらせん状フィラメントに供給されるよ
うになっている。
2. Description of the Related Art FIGS. 3 and 4 are side sectional views of a cathode assembly of a magnetron manufactured by a conventional manufacturing method. In the figure,
1 is a spiral filament that is generally made of thorium-containing tungsten wire that emits thermoelectrons, 2 is an upper end shield, 3 is a lower end shield, 4 is a center lead,
Reference numeral 5 is a side lead, 6 is a paste-like brazing material, and 7 is a plate-like brazing material. As shown in the drawing, a hole is provided at the center of the upper end shield 2, and the center lead 4 is engaged with this hole, and the upper end shield is slid on the center lead, and the spiral filament 1 The length in the center lead direction (pipe axis direction in use) is adjusted to a predetermined value so that fixed connection can be made. Further, the cathode heating power is supplied to the spiral filament from the center lead and the side lead connected to the power electrode via the upper end shield and the lower end shield, respectively.

【0003】通常、マグネトロンを動作させているとき
には、フィラメント1の中央部で約1,800℃、エン
ドシールド2、3との固着接続部で約1,200℃もの
高温になるため、上エンドシールド2、下エンドシール
ド3、センタリード4、及びサイドリード5は、それぞ
れ、モリブデン又はタングステンなどの高融点金属で製
作されている。また、各固着接続部の機械的固着、電気
的接続に用いられるろう材6または7の材料には、古く
は白金を用いたが、高価であるため、近年はルテニウム
とモリブデンの共晶合金や特開昭58−204436号
公報に開示されているルテニウムとモリブデンに更にニ
ッケルを添加したものを用いている。図3に示した従来
例では、上記ろう材の粉末を粘性のある揮発性液体に混
ぜてペースト状にしたろう材6を、予めサイドリード上
端に溶接固着させてある下エンドシールド3の内部のフ
ィラメント支持部に塗布してそこへフィラメント1の下
端を挿入し、次に上エンドシールド2の下面のフィラメ
ント支持部にペースト状ろう材6をあらかじめ塗布して
おいてフィラメント1の上端を上記フィラメント支持部
に挿入すると同時に、センタリード4をらせん状フィラ
メント1のらせん内部に差し込み、センタリード4の上
端を上エンドシールド2の中心孔に係合させて挿通して
から、更にセンタリード4の上エンドシールド2との係
合挿通部にもペースト状ろう材6を塗布して陰極構体を
組み上げる。その後、上記ペースト状ろう材6を乾燥さ
せ、陰極構体全体を還元性雰囲気中で加熱してろう付け
を一括して行っている。また、図4に示した従来例で
は、ペースト状にしたろう材の代りに板状に成形したろ
う材7を用い、上記図3に示した従来例の場合と同様な
手順で組み上げて、還元性雰囲気中で加熱してろう付け
を行っている。なお、ペースト状ろう材を使用するとろ
う材使用量のばらつきが多少大きくなる傾向があり、他
方、板状に成形したものを使用すればばらつきは無いが
ろう材の成形費が多少かさむ。
Normally, when the magnetron is operated, the temperature at the center of the filament 1 is about 1,800 ° C., and the temperature at the fixed connection with the end shields 2, 3 is about 1,200 ° C. 2, the lower end shield 3, the center lead 4, and the side lead 5 are each made of a high melting point metal such as molybdenum or tungsten. In addition, platinum was used as the material of the brazing material 6 or 7 used for mechanical fixing and electrical connection of each fixing connection part in the past, but since it is expensive, in recent years, a eutectic alloy of ruthenium and molybdenum or The ruthenium and molybdenum disclosed in JP-A-58-204436 are used, to which nickel is further added. In the conventional example shown in FIG. 3, a brazing material 6 formed by mixing the above-mentioned brazing material powder with a viscous volatile liquid to form a paste is provided inside the lower end shield 3 welded and fixed to the upper ends of the side leads in advance. The filament supporting portion is coated and the lower end of the filament 1 is inserted therein, and then the paste-like brazing material 6 is previously applied to the filament supporting portion on the lower surface of the upper end shield 2, and the upper end of the filament 1 is supported by the above-mentioned filament supporting portion. When the center lead 4 is inserted into the spiral of the spiral filament 1 at the same time as inserting it into the spiral part, and the upper end of the center lead 4 is engaged with the center hole of the upper end shield 2 and inserted, the upper end of the center lead 4 is further inserted. The paste brazing material 6 is also applied to the engaging and inserting portion with the shield 2 to assemble the cathode assembly. After that, the paste-like brazing material 6 is dried, and the entire cathode assembly is heated in a reducing atmosphere to perform brazing all at once. Further, in the conventional example shown in FIG. 4, a brazing material 7 formed in a plate shape is used instead of the paste-shaped brazing material, and the brazing material is assembled in the same procedure as in the conventional example shown in FIG. Brazing is performed by heating in a sex atmosphere. When the paste-like brazing filler metal is used, the amount of the brazing filler metal used tends to vary slightly. On the other hand, when the plate-shaped brazing filler metal is used, there is no variation, but the brazing material molding cost is somewhat high.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来の技
術により形成した陰極構体では、ろう材の加熱溶融作業
時に、らせん状フィラメントに、上エンドシールドの重
量がフィラメントの(センタリード方向の)長さを押し
縮めるように作用する。作業時の実際の加熱温度やフィ
ラメント材質に多少の変動は避けられないため、上記作
用によって生じたフィラメントの縮み量にはばらつきが
現われる。すなわち、フィラメントの縮みを考慮してろ
う付け作業を行っても、陰極構体の上エンドシールドと
下エンドシールドの管軸方向の間隔(即ちフィラメント
の長さ)の変動は避けられない。このような陰極構体の
ばらつきは、マグネトロンに組み込んだときに、上記間
隔が大き過ぎたときは陰極からの無効電流が増加した
り、小さ過ぎると安定した発振動作が妨げられるなどの
不具合が生ずる原因となる。
However, in the cathode assembly formed by the above-mentioned conventional technique, the weight of the upper end shield is increased by the length of the filament (in the center lead direction) in the spiral filament during the heating and melting operation of the brazing material. It acts to compress the sag. Since some variations in the actual heating temperature and the filament material during the work are unavoidable, the shrinkage amount of the filaments caused by the above-mentioned action varies. That is, even if the brazing operation is performed in consideration of the shrinkage of the filament, it is inevitable that the interval between the upper end shield and the lower end shield of the cathode assembly in the tube axis direction (that is, the length of the filament) changes. Such variations in the cathode structure may cause problems such as when the magnetron is assembled into the magnetron, the reactive current from the cathode increases when the interval is too large, or when it is too small, stable oscillation operation is disturbed. Becomes

【0005】本発明は上記のような従来の課題を解決
し、陰極構体の上エンドシールドと下エンドシールドの
管軸方向の間隔の変動が生ぜず、動作効率が高く、しか
も安定した動作が得られるマグネトロンの製造方法を提
供することを目的とする。
The present invention solves the above-mentioned conventional problems, does not cause a variation in the gap between the upper end shield and the lower end shield of the cathode assembly in the tube axis direction, and has high operation efficiency and stable operation. It is an object of the present invention to provide a method of manufacturing a magnetron.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明においては、管軸と同心に配置した熱電子を放
出するらせん状フィラメントと、その上端部を上エンド
シールドを介して支持するセンタリードと、その下端部
を下エンドシールドを介して支持するサイドリードを備
えた陰極構体を、作用空間を隔てて、陽極円筒とその内
周から管軸に向けて突出したベイン群よりなる偶数個の
空洞共振器群が囲むマグネトロンの製造方法において、
先ず予めサイドリード上端に溶接固着させた下エンドシ
ールドのフィラメント支持部にルテニウム・モリブデン
合金よりなるろう材と共にフィラメント下端を挿入し、
次に、フィラメント上端を上記合金ろう材と共に上エン
ドシールドのフィラメント支持部に挿入すると同時に、
らせん状フィラメントのらせん内部にセンタリードを差
し込み、センタリード上端を上エンドシールドの中心孔
に係合させて挿通してから、らせん状フィラメントのセ
ンタリード方向の長さが正しく所定値となるように上エ
ンドシールドのセンタリード上の位置を定め、センタリ
ードと上エンドシールドとを係合挿通個所で溶接して固
着させた後、上記合金ろう材を加熱溶融させてフィラメ
ントの両端を夫々上エンドシールドと下エンドシールド
にろう付けして陰極構体を形成させることにした。
In order to solve the above problems, in the present invention, a spiral filament for emitting thermoelectrons arranged concentrically with the tube axis and its upper end are supported via an upper end shield. A cathode assembly including a center lead and a side lead that supports the lower end of the center lead via a lower end shield is an even number of vane groups that protrude from the inner circumference of the anode cylinder toward the tube axis with a working space. In the manufacturing method of the magnetron surrounded by the individual cavity resonators,
First, insert the lower end of the filament together with the brazing material made of ruthenium-molybdenum alloy into the filament support part of the lower end shield that is welded and fixed to the upper end of the side lead in advance.
Next, at the same time as inserting the upper end of the filament into the filament supporting portion of the upper end shield together with the alloy brazing material,
Insert the center lead into the spiral of the spiral filament, insert the center lead upper end into the center hole of the upper end shield, and then insert it so that the length of the spiral filament in the center lead direction will be the correct value. The position of the upper end shield on the center lead is determined, and after the center lead and the upper end shield are welded and fixed at the engaging and inserting points, the alloy brazing material is heated and melted, and both ends of the filament are respectively attached to the upper end shield. I decided to braze to the lower end shield to form the cathode assembly.

【0007】[0007]

【作用】センタリードが上エンドシールドの中心孔を挿
通する個所で、溶接によって両者が固着されると、セン
タリードと上エンドシールドとは、何れもモリブデンな
どの高融点金属で製作されているので、これら両者の高
融点金属を一旦溶融させて固着させた溶接個所では、そ
こをルテニウム・モリブデン共晶合金よりなるろう材が
溶融するろう付け温度まで加熱しても、溶接個所での素
材の溶融は起こらず(下エンドシールドのサイドリード
上端への固着も溶接であるから同様)、従って溶接され
た両部材相対位置の摺動によるフィラメントの管軸方向
の長さの変動などは生じない。
When the center lead is inserted through the center hole of the upper end shield and the two are fixed by welding, both the center lead and the upper end shield are made of a refractory metal such as molybdenum. At the welding point where the refractory metals of both of these are once melted and fixed, even if the brazing material made of the ruthenium-molybdenum eutectic alloy is heated to the brazing temperature, the melting of the material at the welding point Does not occur (this is also the case because the lower end shield is fixed to the upper ends of the side leads by welding), and therefore the length of the filament along the tube axis does not fluctuate due to sliding of the welded relative positions of both members.

【0008】[0008]

【実施例】図1は本発明一実施例の陰極構体の側断面
図、図2は同実施例のマグネトロン全体の側断面図であ
る。
1 is a side sectional view of a cathode assembly according to one embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a side sectional view of the entire magnetron of the same embodiment.

【0009】まず、図2について説明する。図中、1は
フィラメント、2は上エンドシールド、3は下エンドシ
ールド、4はセンタリード、5はサイドリード、7はろ
う材、8は陽極円筒、8aはベイン、9は磁極、10は
永久磁石、11は外部継鉄、12はマイクロ波電力取り
出し部、13はフィルタケース、14はアンテナ、15
は冷却フィンである。磁極9、永久磁石10、外部継鉄
11の3者によって陰極(フィラメント1)とベイン8
aの端部に挾まれた作用空間に管軸方向の静磁界が形成
される。フィラメントから放出された電子はフィラメン
ト1に対して高い正電圧を印加されている陽極側へ吸引
されて作用空間内で次第に加速されるが、作用空間内に
管軸方向すなわち電子軌道に直角な方向に上記静磁界が
存在するから電子軌道と磁界に直交する方向に作用する
ローレンツの力により作用空間内で電子雲を形成して高
速で周回運動をするようになる。このため、種々の条件
が整えば、陽極円筒とベインとで形成され、陰極を作用
空間を隔てて取り囲む空洞共振器群内に、隣接共振器同
士でπずつ位相が異なるマイクロ波発振が生ずる。この
空洞共振器内に生じたマイクロ波の電力を通称アンテナ
14によってマイクロ波電力取り出し部12に導き、図
示してない導波管などを経由して負荷に与えて利用す
る。陰極構体に加熱電力を供給する電源側に給電線に載
ってマイクロ波電力が漏洩すると雑音源として問題にな
るから、センタリード4とサイドリード5が真空外囲器
の外部に出たところに、直列チョークコイルと所謂貫通
コンデンサよりなるフィルタを設置してマイクロ波をト
ラップするようにしており、このフィルタの外側を更に
フィルタケース13で被覆密閉してマイクロ波の漏洩を
防止している。フィラメントから放出された電子は作用
空間内でこそマイクロ波発振に有効に用いられるが、作
用空間の外部に迷い出た電子は周囲の陽極と同電位にあ
る部材にただ吸収されるだけで発振には関与しない。
上、下エンドシールドはこのような電子の無用な損失を
抑制する。すなわち、上下エンドシールド間の管軸方向
距離が長過ぎれば、作用空間外へ迷い出る電子により無
効電流が増加することになる。短過ぎれば作用空間内の
電子密度が高くなり、マイクロ波発振条件を満足させ難
い場合も生じ、マイクロ波発振状態が不安定になること
がある。
First, FIG. 2 will be described. In the figure, 1 is a filament, 2 is an upper end shield, 3 is a lower end shield, 4 is a center lead, 5 is a side lead, 7 is a brazing filler metal, 8 is an anode cylinder, 8a is a vane, 9 is a magnetic pole, 10 is a permanent wire. Magnet, 11 is an external yoke, 12 is a microwave power extraction part, 13 is a filter case, 14 is an antenna, 15
Is a cooling fin. The cathode (filament 1) and the vane 8 are made by the magnetic pole 9, the permanent magnet 10, and the external yoke 11.
A static magnetic field in the tube axis direction is formed in the working space sandwiched at the end of a. The electrons emitted from the filament are attracted to the anode side to which a high positive voltage is applied to the filament 1 and gradually accelerated in the working space, but in the working space, the tube axis direction, that is, the direction perpendicular to the electron orbit. Since the above static magnetic field exists, the electron cloud forms an electron cloud in the working space by the Lorentz force acting in the direction orthogonal to the electron orbit and the magnetic field moves at a high speed. Therefore, if various conditions are adjusted, microwave oscillation having a phase difference of π between adjacent resonators is generated in the cavity resonator group formed by the anode cylinder and the vane and surrounding the cathode with the working space therebetween. The electric power of the microwave generated in the cavity resonator is commonly referred to by the antenna 14 to the microwave electric power extraction unit 12, and is applied to the load through a waveguide (not shown) and used. If microwave power is leaked by being placed on a power supply line that supplies heating power to the cathode structure, it becomes a problem as a noise source. Therefore, when the center lead 4 and the side lead 5 are outside the vacuum envelope, A filter including a series choke coil and a so-called feedthrough capacitor is installed to trap microwaves, and the outside of the filter is further covered and sealed with a filter case 13 to prevent microwave leakage. The electrons emitted from the filament are effectively used for microwave oscillation in the working space, but the electrons that stray outside the working space are only absorbed by the member at the same potential as the surrounding anode and oscillate. Does not get involved.
The upper and lower end shields suppress such unnecessary loss of electrons. That is, if the distance between the upper and lower end shields in the tube axis direction is too long, the reactive current will increase due to the electrons wandering out of the working space. If it is too short, the electron density in the working space becomes high, and it may be difficult to satisfy the microwave oscillation conditions, and the microwave oscillation state may become unstable.

【0010】図1は本発明一実施例の陰極構体のろう付
け直前の状態の側断面図で、図示したようにモリブデン
製センタリード4がモリブデン製上エンドシールド2の
中心の孔に挿通された個所で、両者を溶接して固定して
ある。トリウムタングステン製フィラメント1と上下エ
ンドシールドのフィラメント支持部の間にはルテニウム
・モリブデン共晶合金の板状に加工したろう材7が配置
されており、陰極構体を水素などの還元性雰囲気で満た
された炉内を通過させて加熱すると、溶融してフィラメ
ント両端を上下エンドシールドのフィラメント支持部に
ろう付けする。なお、既述のようにモリブデン製下エン
ドシールドとモリブデン製サイドリード上端も溶接によ
って固着されている。従って、モリブデンの融点よりは
かなり低温で行う上記ろう付け作業に際して、上下エン
ドシールド間の管軸方向の長さが狂う恐れはない。
FIG. 1 is a side sectional view of a cathode assembly according to an embodiment of the present invention immediately before brazing. As shown in the drawing, a molybdenum center lead 4 is inserted into a central hole of a molybdenum upper end shield 2. The two parts are welded together and fixed in place. Between the filament 1 made of thorium-tungsten and the filament supporting portions of the upper and lower end shields, a brazing material 7 processed into a plate shape of a ruthenium-molybdenum eutectic alloy is arranged, and the cathode assembly is filled with a reducing atmosphere such as hydrogen. When heated by passing through the furnace, both ends of the filament are melted and brazed to the filament supporting portions of the upper and lower end shields. As described above, the molybdenum lower end shield and the molybdenum side lead upper ends are also fixed by welding. Therefore, in the brazing work performed at a temperature considerably lower than the melting point of molybdenum, there is no fear that the length of the upper and lower end shields in the axial direction of the pipe will change.

【0011】[0011]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、陰
極構体の上エンドシールドと下エンドシールドの間の管
軸方向の長さの製造時のばらつきが抑制されるため、動
作効率が高く、しかも安定した動作が得られるマグネト
ロンを製造することができる。
As described above, according to the present invention, since the variation in the length in the tube axis direction between the upper end shield and the lower end shield of the cathode assembly at the time of manufacturing is suppressed, the operation efficiency is high. Moreover, it is possible to manufacture a magnetron capable of obtaining stable operation.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明一実施例の陰極構体のろう付け直前の状
態の側断面図である。
FIG. 1 is a side sectional view of a cathode assembly according to an embodiment of the present invention immediately before brazing.

【図2】同実施例のマグネトロン全体の側断面図であ
る。
FIG. 2 is a side sectional view of the entire magnetron of the same embodiment.

【図3】従来の製造方法でペースト状ろう材を用いて製
造するマグネトロンの陰極構体の側断面図である。
FIG. 3 is a side sectional view of a cathode assembly of a magnetron manufactured by using a pasty brazing material by a conventional manufacturing method.

【図4】従来の製造方法で板状に加工したろう材を用い
て製造するマグネトロンの陰極構体の側断面図である。
FIG. 4 is a side sectional view of a cathode assembly of a magnetron manufactured by using a brazing filler metal processed into a plate shape by a conventional manufacturing method.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…フィラメント、 2…上エンドシールド、 3…下
エンドシールド、 4…センタリード、 5…サイドリ
ード、 7…ろう材。
1 ... Filament, 2 ... Upper end shield, 3 ... Lower end shield, 4 ... Center lead, 5 ... Side lead, 7 ... Brazing material.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】管軸と同心に配置した熱電子を放出するら
せん状フィラメントと、その上端部を上エンドシールド
を介して支持するセンタリードと、その下端部を下エン
ドシールドを介して支持するサイドリードを備えた陰極
構体を、作用空間を隔てて、陽極円筒とその内周から管
軸に向けて突出したベイン群よりなる偶数個の空洞共振
器群が囲むマグネトロンの製造方法において、先ず予め
サイドリード上端に溶接固着させた下エンドシールドの
フィラメント支持部にルテニウム・モリブデン合金より
なるろう材と共にフィラメント下端を挿入し、次に、フ
ィラメント上端を上記合金ろう材と共に上エンドシール
ドのフィラメント支持部に挿入すると同時に、らせん状
フィラメントのらせん内部にセンタリードを差し込み、
センタリード上端を上エンドシールドの中心孔に係合さ
せて挿通してから、らせん状フィラメントのセンタリー
ド方向の長さが正しく所定値となるように上エンドシー
ルドのセンタリード上の位置を定め、センタリードと上
エンドシールドとを係合挿通個所で溶接して固着させた
後、上記合金ろう材を加熱溶融させてフィラメントの両
端を夫々上エンドシールドと下エンドシールドにろう付
けして陰極構体を形成させたことを特徴とするマグネト
ロンの製造方法。
1. A spiral filament which is arranged concentrically with a tube axis and which emits thermoelectrons, a center lead which supports its upper end through an upper end shield, and its lower end which supports through a lower end shield. In the method of manufacturing a magnetron, in which a cathode assembly having side leads is surrounded by an even number of cavity resonator groups consisting of an anode cylinder and a vane group protruding toward the tube axis from the inner circumference of the cathode cylinder, with a working space in between, Insert the lower end of the filament together with the brazing material made of ruthenium molybdenum alloy into the filament supporting part of the lower end shield welded and fixed to the upper ends of the side leads, and then insert the upper end of the filament into the filament supporting part of the upper end shield together with the alloy brazing material. At the same time as inserting, insert the center lead inside the spiral of the spiral filament,
Insert the upper end of the center lead into the center hole of the upper end shield by inserting it, and then position the upper end shield on the center lead so that the length of the spiral filament in the center lead direction will be the correct value. After the center lead and the upper end shield are welded and fixed at the engaging and inserting points, the brazing alloy material is heated and melted, and both ends of the filament are brazed to the upper end shield and the lower end shield, respectively, to form the cathode assembly. A method for manufacturing a magnetron, which is characterized by being formed.
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