JPH05248965A - 温度センサ - Google Patents
温度センサInfo
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- JPH05248965A JPH05248965A JP4575292A JP4575292A JPH05248965A JP H05248965 A JPH05248965 A JP H05248965A JP 4575292 A JP4575292 A JP 4575292A JP 4575292 A JP4575292 A JP 4575292A JP H05248965 A JPH05248965 A JP H05248965A
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- voltage
- resistance
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 マイグレーションによる劣化を防止するとと
もに、低コストで検出精度の高い温度センサを提供する
こと。 【構成】 温度センサ１の電気装置部４の回路は、測温
抵抗体７を帰還抵抗として含む非安定マルチバイブレー
タ１５と、非安定マルチバイブレータ１５から出力され
る信号（発振周波数）を用いて温度を測定する周波数・
温度変換部１６とから構成されている。つまり、測温抵
抗体７は、オペアンプ２０の出力電圧Ｖ oを＋入力端子
２０ａに帰還する抵抗として使用されている。
もに、低コストで検出精度の高い温度センサを提供する
こと。 【構成】 温度センサ１の電気装置部４の回路は、測温
抵抗体７を帰還抵抗として含む非安定マルチバイブレー
タ１５と、非安定マルチバイブレータ１５から出力され
る信号（発振周波数）を用いて温度を測定する周波数・
温度変換部１６とから構成されている。つまり、測温抵
抗体７は、オペアンプ２０の出力電圧Ｖ oを＋入力端子
２０ａに帰還する抵抗として使用されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば自動車用触媒温
度センサや自動車用ＥＧＲ温度センサ等に使用される温
度センサに関し、詳しくは測温抵抗体を用いた温度セン
サに関する。
度センサや自動車用ＥＧＲ温度センサ等に使用される温
度センサに関し、詳しくは測温抵抗体を用いた温度セン
サに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、周囲の温度を測定する素子と
して測温抵抗体が知られている。この測温抵抗体は、特
定の金属の比抵抗が温度とともにほぼ直線的に増加する
ことを利用したものであり、耐熱性が高いことから古く
より高温用温度センサとして利用されている。中でも白
金の極細線をコイル状に巻き、ガラスなどの耐熱性の高
い物質によってモールドしたものは代表的である。
して測温抵抗体が知られている。この測温抵抗体は、特
定の金属の比抵抗が温度とともにほぼ直線的に増加する
ことを利用したものであり、耐熱性が高いことから古く
より高温用温度センサとして利用されている。中でも白
金の極細線をコイル状に巻き、ガラスなどの耐熱性の高
い物質によってモールドしたものは代表的である。
【０００３】また、前記のガラスの代わりにセラミック
スを用いたものは、ガラスよりも耐熱性が高いために、
より高温の温度測定に適している。しかしながら、白金
の極細線をセラミックス中にモールドすることは、工程
的に容易ではなく、量産には適さない。
スを用いたものは、ガラスよりも耐熱性が高いために、
より高温の温度測定に適している。しかしながら、白金
の極細線をセラミックス中にモールドすることは、工程
的に容易ではなく、量産には適さない。
【０００４】そこで、この量産性を改善するために、白
金の粉末をペースト状にしたものをセラミックスのグリ
ーンシート上に印刷し、セラミックスと同時に焼成する
ことで測温抵抗体を形成した厚膜型の温度センサが開発
されている。この白金の測温抵抗体を用いた温度センサ
においては、温度検出回路には主に定電圧回路や定電流
回路が用いられているが、いずれも測温抵抗体を直流ブ
リッジ回路の一辺の抵抗として用い、抵抗値の変化を電
圧変化に換算して出力するものである。
金の粉末をペースト状にしたものをセラミックスのグリ
ーンシート上に印刷し、セラミックスと同時に焼成する
ことで測温抵抗体を形成した厚膜型の温度センサが開発
されている。この白金の測温抵抗体を用いた温度センサ
においては、温度検出回路には主に定電圧回路や定電流
回路が用いられているが、いずれも測温抵抗体を直流ブ
リッジ回路の一辺の抵抗として用い、抵抗値の変化を電
圧変化に換算して出力するものである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】前記の様な厚膜型の温
度センサは、例えば自動車用の触媒の温度を測定するた
めに使用されるが、自動車の触媒の温度は最大で約１０
００℃以上になることもあるので、その場合には、マイ
グレーションの発生によるセラミックスの劣化が大きな
問題になる。
度センサは、例えば自動車用の触媒の温度を測定するた
めに使用されるが、自動車の触媒の温度は最大で約１０
００℃以上になることもあるので、その場合には、マイ
グレーションの発生によるセラミックスの劣化が大きな
問題になる。
【０００６】このマイグレーションとは、セラミックス
中の不純物が直流電圧下でイオン化され、＋イオンは−
電極側に−イオンは＋電極側に移動する現象であり、そ
の結果、セラミックスの組織が変化（劣化）してその抵
抗値が変化するので、温度センサによる測定値が不正確
になってしまう。
中の不純物が直流電圧下でイオン化され、＋イオンは−
電極側に−イオンは＋電極側に移動する現象であり、そ
の結果、セラミックスの組織が変化（劣化）してその抵
抗値が変化するので、温度センサによる測定値が不正確
になってしまう。
【０００７】この対策として、例えば、イオン化し易い
不純物を含まないセラミックスを使用したり、或はダミ
ーパターンと呼ばれるイオン化物質を集積するパターン
を抵抗体パターンに沿って形成する等の改良によって、
マイグレーションによる劣化を抑えてきたが、必ずしも
十分に劣化を防ぎ切れず、更に、この対策を施すために
大きなコストがかかるという問題があった。
不純物を含まないセラミックスを使用したり、或はダミ
ーパターンと呼ばれるイオン化物質を集積するパターン
を抵抗体パターンに沿って形成する等の改良によって、
マイグレーションによる劣化を抑えてきたが、必ずしも
十分に劣化を防ぎ切れず、更に、この対策を施すために
大きなコストがかかるという問題があった。
【０００８】また、温度センサの検出回路として、従来
の定電圧回路或は定電流回路を用いた場合には、回路中
に用いるオペアンプのオフセット電圧による誤差が発生
するので、どうしても検出精度が落ちてしまうという問
題もあった。更に、温度センサの制御回路として、デジ
タル回路を使用した場合には、Ａ／Ｄコンバータの精度
が低いという問題や、Ａ／Ｄコンバータのコストが大き
いという問題があった。
の定電圧回路或は定電流回路を用いた場合には、回路中
に用いるオペアンプのオフセット電圧による誤差が発生
するので、どうしても検出精度が落ちてしまうという問
題もあった。更に、温度センサの制御回路として、デジ
タル回路を使用した場合には、Ａ／Ｄコンバータの精度
が低いという問題や、Ａ／Ｄコンバータのコストが大き
いという問題があった。
【０００９】本発明は、前記課題を解決するためになさ
れ、マイグレーションによる劣化を防止するとともに、
低コストで検出精度の高い温度センサを提供することを
目的とする。
れ、マイグレーションによる劣化を防止するとともに、
低コストで検出精度の高い温度センサを提供することを
目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
の本発明は、セラミックス基体に比抵抗が温度に伴って
変化する測温抵抗体を備えるとともに、該測温抵抗体に
接続された検出回路を用いて周囲の温度を測定する温度
センサにおいて、前記検出回路として、オペアンプの非
反転入力端子に基準電圧が印加されるとともに、反転入
力端子にコンデンサが接続され、更に各入力端子と出力
端子との間に各々帰還抵抗が接続された発振器を用い、
前記帰還抵抗のいずれか一方に前記測温抵抗体を使用し
たことを特徴とする温度センサを要旨とする。
の本発明は、セラミックス基体に比抵抗が温度に伴って
変化する測温抵抗体を備えるとともに、該測温抵抗体に
接続された検出回路を用いて周囲の温度を測定する温度
センサにおいて、前記検出回路として、オペアンプの非
反転入力端子に基準電圧が印加されるとともに、反転入
力端子にコンデンサが接続され、更に各入力端子と出力
端子との間に各々帰還抵抗が接続された発振器を用い、
前記帰還抵抗のいずれか一方に前記測温抵抗体を使用し
たことを特徴とする温度センサを要旨とする。
【００１１】ここで、前記測温抵抗体としては、白金が
好適である。
好適である。
【００１２】
【作用】本発明の温度センサでは、測温抵抗体を使用し
た検出回路として、オペアンプを用いた発振器を採用し
ている。つまり、オペアンプの非反転入力端子には基準
電圧が印加され、一方オペアンプの反転入力端子にはコ
ンデンサが接続され、更に各入力端子と出力端子との間
には各々帰還抵抗が接続されている。よって、この構成
の発振器では、発振周波数（又は発振周期）は帰還抵抗
に応じて変化する。
た検出回路として、オペアンプを用いた発振器を採用し
ている。つまり、オペアンプの非反転入力端子には基準
電圧が印加され、一方オペアンプの反転入力端子にはコ
ンデンサが接続され、更に各入力端子と出力端子との間
には各々帰還抵抗が接続されている。よって、この構成
の発振器では、発振周波数（又は発振周期）は帰還抵抗
に応じて変化する。
【００１３】そして、本発明では、前記帰還抵抗のいず
れか一方に、比抵抗が温度に伴って変化する測温抵抗体
を採用しているので、この測温抵抗体の抵抗値が温度に
応じて変化した場合に、発振器の発振周波数（又は発振
周期）も変化することになる。よって、図１に例示する
様に、温度と発振周波数との相関関係が得られるので、
この検出回路の発振周波数（又は発振周期）を測定する
ことによって、温度を測定することができる。
れか一方に、比抵抗が温度に伴って変化する測温抵抗体
を採用しているので、この測温抵抗体の抵抗値が温度に
応じて変化した場合に、発振器の発振周波数（又は発振
周期）も変化することになる。よって、図１に例示する
様に、温度と発振周波数との相関関係が得られるので、
この検出回路の発振周波数（又は発振周期）を測定する
ことによって、温度を測定することができる。
【００１４】尚、発振器から出力された周期的な信号を
入力し、その信号に基づいて温度を検出する装置として
は、発振周波数を計数する例えば１０進カウンタ等のＩ
Ｃのカウンタ等を使用できる。また、発振周期を測定す
る場合には、ＣＰＵの同期カウンタを使用して、１周期
の出力がされる時間を測定してもよい。
入力し、その信号に基づいて温度を検出する装置として
は、発振周波数を計数する例えば１０進カウンタ等のＩ
Ｃのカウンタ等を使用できる。また、発振周期を測定す
る場合には、ＣＰＵの同期カウンタを使用して、１周期
の出力がされる時間を測定してもよい。
【００１５】
【実施例】以下本発明の温度センサの一実施例を、図面
を参照して説明する。図２に示す様に、本実施例の温度
センサ１は、主として、温度測定部位に配置される感温
部２と、この感温部２に接続されて電気信号の処理を行
なう電気装置部４とから構成されている。
を参照して説明する。図２に示す様に、本実施例の温度
センサ１は、主として、温度測定部位に配置される感温
部２と、この感温部２に接続されて電気信号の処理を行
なう電気装置部４とから構成されている。
【００１６】前記感温部２は、アルミナからなるセラミ
ックス基板６上に、白金からなる（温度に応じて抵抗値
Ｒｈが変化する）測温抵抗体７が同時焼成によって形成
されたものであり、その表面にはアルミナからなる保護
層８が形成されている。また、測温抵抗体７からは、電
圧の印加や出力が行われるリード線１０，１１が導出さ
れて、前記電気装置部４に接続されている。
ックス基板６上に、白金からなる（温度に応じて抵抗値
Ｒｈが変化する）測温抵抗体７が同時焼成によって形成
されたものであり、その表面にはアルミナからなる保護
層８が形成されている。また、測温抵抗体７からは、電
圧の印加や出力が行われるリード線１０，１１が導出さ
れて、前記電気装置部４に接続されている。
【００１７】一方、前記電気装置部４の回路は、図３に
示す様に、測温抵抗体７を帰還抵抗として含む非安定マ
ルチバイブレータ１５と、非安定マルチバイブレータ１
５から出力される信号（発振周波数）を用いて温度を測
定する周波数・温度変換部１６とから構成されている。
つまり、測温抵抗体７は、オペアンプ２０の出力電圧Ｖ
oを＋入力端子２０ａに帰還する抵抗として使用されて
いる。
示す様に、測温抵抗体７を帰還抵抗として含む非安定マ
ルチバイブレータ１５と、非安定マルチバイブレータ１
５から出力される信号（発振周波数）を用いて温度を測
定する周波数・温度変換部１６とから構成されている。
つまり、測温抵抗体７は、オペアンプ２０の出力電圧Ｖ
oを＋入力端子２０ａに帰還する抵抗として使用されて
いる。
【００１８】また、＋入力端子２０ａには、測温抵抗体
７と同程度の大きさで互いに等しい抵抗値Ｒａを有する
２本の抵抗２３，２４が接続されており、この抵抗２
３，２４の一方は、電源端子２５（電圧：Ｖcc）に、も
う一方はアースに接続されている。更に、オペアンプ２
０の−入力端子２０ｂには、適当な大きさ（抵抗値：Ｒ
ｔ）の抵抗２６とコンデンサ２７（電気容量：Ｃ）が接
続されており、この抵抗２６はオペアンプ２０の出力端
子２９側に接続され、コンデンサ２７はアースに接続さ
れている。
７と同程度の大きさで互いに等しい抵抗値Ｒａを有する
２本の抵抗２３，２４が接続されており、この抵抗２
３，２４の一方は、電源端子２５（電圧：Ｖcc）に、も
う一方はアースに接続されている。更に、オペアンプ２
０の−入力端子２０ｂには、適当な大きさ（抵抗値：Ｒ
ｔ）の抵抗２６とコンデンサ２７（電気容量：Ｃ）が接
続されており、この抵抗２６はオペアンプ２０の出力端
子２９側に接続され、コンデンサ２７はアースに接続さ
れている。
【００１９】一方、周波数・温度変換部１６は、出力端
子２９から出力される信号のパルス数を計数するＩＣか
らなるカウンタ３０や、このカウンタ３０によって計数
されたパルスを温度に換算する（周知のＣＰＵ，ＲＯ
Ｍ，ＲＡＭ等からなる）電子回路３１等から構成されて
いる。
子２９から出力される信号のパルス数を計数するＩＣか
らなるカウンタ３０や、このカウンタ３０によって計数
されたパルスを温度に換算する（周知のＣＰＵ，ＲＯ
Ｍ，ＲＡＭ等からなる）電子回路３１等から構成されて
いる。
【００２０】次に、前記構成の温度センサ１の動作を、
図４のタイミングチャートに基づいて説明する。まず、
時刻ｔ0（ｔ＝０）でオペアンプ２０の−入力端子２０
ｂの電圧Ｖ-が０Ｖであったとすると、＋入力端子２０
ａにはいくらかの電圧Ｖ+が発生しているから、出力電
圧Ｖ0は電源電圧Ｖccまで上昇する。この時、電圧Ｖ+は
下記数式（１）にて示される。
図４のタイミングチャートに基づいて説明する。まず、
時刻ｔ0（ｔ＝０）でオペアンプ２０の−入力端子２０
ｂの電圧Ｖ-が０Ｖであったとすると、＋入力端子２０
ａにはいくらかの電圧Ｖ+が発生しているから、出力電
圧Ｖ0は電源電圧Ｖccまで上昇する。この時、電圧Ｖ+は
下記数式（１）にて示される。
【００２１】
【数１】
【００２２】その後、−入力端子２０ｂには、出力端子
２９側から抵抗２６を通して帰還電流が流れ、コンデン
サ２７を充電するので、電圧が上昇し、（１）式の電圧
Ｖ+に到達する。その瞬間（時刻ｔ1）にオペアンプ２０
の出力電圧Ｖ0は急変し、今度はアース電位まで下降す
る。すると、＋入力端子２０ａの電圧は、測温抵抗体７
を通して出力電圧Ｖ0が帰還されるから電圧が減少す
る。従って、＋入力端子２０ａの電圧と−入力端子２０
ｂの電圧は、大小が反転するから、出力電圧Ｖ0の反転
が保持される。この時、電圧Ｖ+は下記数式（２）にて
示される。
２９側から抵抗２６を通して帰還電流が流れ、コンデン
サ２７を充電するので、電圧が上昇し、（１）式の電圧
Ｖ+に到達する。その瞬間（時刻ｔ1）にオペアンプ２０
の出力電圧Ｖ0は急変し、今度はアース電位まで下降す
る。すると、＋入力端子２０ａの電圧は、測温抵抗体７
を通して出力電圧Ｖ0が帰還されるから電圧が減少す
る。従って、＋入力端子２０ａの電圧と−入力端子２０
ｂの電圧は、大小が反転するから、出力電圧Ｖ0の反転
が保持される。この時、電圧Ｖ+は下記数式（２）にて
示される。
【００２３】
【数２】
【００２４】その後、−入力端子２０ｂ側から出力端子
２９側に、コンデンサ２７から放電されることによって
抵抗２６を通して電流が流れるので、−入力端子２０ｂ
の電圧が下がり、（２）式の電圧Ｖ+まで減少する。そ
の瞬間（時刻ｔ2）に、オペアンプ２０の出力電圧Ｖ0は
電源電圧Ｖccまで上昇する。すると、＋入力端子２０ａ
の電圧は再び（１）式の電圧Ｖ+になるから、＋入力端
子２０ａの電圧と−入力端子２０ｂの電圧の大小が反転
し、出力電圧Ｖ0の反転は保持される。
２９側に、コンデンサ２７から放電されることによって
抵抗２６を通して電流が流れるので、−入力端子２０ｂ
の電圧が下がり、（２）式の電圧Ｖ+まで減少する。そ
の瞬間（時刻ｔ2）に、オペアンプ２０の出力電圧Ｖ0は
電源電圧Ｖccまで上昇する。すると、＋入力端子２０ａ
の電圧は再び（１）式の電圧Ｖ+になるから、＋入力端
子２０ａの電圧と−入力端子２０ｂの電圧の大小が反転
し、出力電圧Ｖ0の反転は保持される。
【００２５】それ以降は、この様な動作を繰り返す非安
定マルチバイブレータとして機能する。つまり、上述し
た回路動作において、測温抵抗体７の両端にかかる電圧
は、期間Ａと期間Ｂとで方向が反転しているので、交流
電圧となっている。よって、この交流電圧がかかること
によって、直流印加時の様なマイグレーションの発生を
防止できる。尚、多少のオフセット電圧があったとして
も、電圧Ｖ-は、図示する様に上下する変動幅は一定で
あるので、オフセット電圧の影響は除かれる。
定マルチバイブレータとして機能する。つまり、上述し
た回路動作において、測温抵抗体７の両端にかかる電圧
は、期間Ａと期間Ｂとで方向が反転しているので、交流
電圧となっている。よって、この交流電圧がかかること
によって、直流印加時の様なマイグレーションの発生を
防止できる。尚、多少のオフセット電圧があったとして
も、電圧Ｖ-は、図示する様に上下する変動幅は一定で
あるので、オフセット電圧の影響は除かれる。
【００２６】また、前記期間Ａと期間Ｂとの反転の周期
τは、最初の１回目の反転以外はコンデンサ２７の電圧
が、（１）式と（２）式の電圧Ｖ+を往復する時間で決
まる。ところで、前記測温抵抗体７の抵抗値Ｒｈが大き
いと、（１）式の電圧Ｖ+は小さく（２）式の電圧Ｖ+は
大きくなるので、その幅（差）は小さくなり、一方、抵
抗値Ｒｈが小さいと、（１）式の電圧Ｖ+は大きく
（２）式の電圧Ｖ+は小さくなるので、その幅は大きく
なる。
τは、最初の１回目の反転以外はコンデンサ２７の電圧
が、（１）式と（２）式の電圧Ｖ+を往復する時間で決
まる。ところで、前記測温抵抗体７の抵抗値Ｒｈが大き
いと、（１）式の電圧Ｖ+は小さく（２）式の電圧Ｖ+は
大きくなるので、その幅（差）は小さくなり、一方、抵
抗値Ｒｈが小さいと、（１）式の電圧Ｖ+は大きく
（２）式の電圧Ｖ+は小さくなるので、その幅は大きく
なる。
【００２７】そして、この（１）式から（２）式の電圧
Ｖ+まで変化する時間は、下記（３）式にて示される。
尚、（２）式から（１）式の電圧Ｖ+まで変化する時間
も同一である。
Ｖ+まで変化する時間は、下記（３）式にて示される。
尚、（２）式から（１）式の電圧Ｖ+まで変化する時間
も同一である。
【００２８】
【数３】
【００２９】この様に、前記（３）式は、測温抵抗体７
の抵抗値Ｒｈを含んでおり、温度センサ１の出力とし
て、発振周期（或はその逆数である発振周波数）を用い
ることができるのである。即ち上述した図１に示す様
に、温度に応じて変化する発振周波数又は発振周期が得
られるので、この出力信号の周波数或は周期を用いて、
周囲の温度の測定ができる。
の抵抗値Ｒｈを含んでおり、温度センサ１の出力とし
て、発振周期（或はその逆数である発振周波数）を用い
ることができるのである。即ち上述した図１に示す様
に、温度に応じて変化する発振周波数又は発振周期が得
られるので、この出力信号の周波数或は周期を用いて、
周囲の温度の測定ができる。
【００３０】次に、実際に出力周波数と温度との相関関
係を確認した実験例について説明する。本実験例では、
図５に示す様に、各抵抗やコンデンサ等の値を設定し、
前記実施例のカウンタ３０等を使用して温度と出力電圧
Ｖ0の発振周波数（出力周波数）の関係を求めた。その
結果を下記表１に記す。尚、保護抵抗として、オフセッ
ト抵抗を使用したが、このオフセット抵抗とは、測温抵
抗体７の抵抗値が常温では低すぎるので、オペアンプ２
０の能力が足りず電流が流しきれない現象を防止するた
めのものである。
係を確認した実験例について説明する。本実験例では、
図５に示す様に、各抵抗やコンデンサ等の値を設定し、
前記実施例のカウンタ３０等を使用して温度と出力電圧
Ｖ0の発振周波数（出力周波数）の関係を求めた。その
結果を下記表１に記す。尚、保護抵抗として、オフセッ
ト抵抗を使用したが、このオフセット抵抗とは、測温抵
抗体７の抵抗値が常温では低すぎるので、オペアンプ２
０の能力が足りず電流が流しきれない現象を防止するた
めのものである。
【００３１】
【表１】
【００３２】この表１から明らかな様に、温度が２００
℃上昇する毎に出力周波数が約１ｋＨｚ上昇しており、
温度上昇に比例して出力周波数が増加しているのが分か
る。よって、出力周波数を測定すれば、周囲の温度を精
密に測定することができる。また、この実験を１０００
℃において２００時間継続して実施したところ、マイグ
レーションの発生は見られず好適であった。
℃上昇する毎に出力周波数が約１ｋＨｚ上昇しており、
温度上昇に比例して出力周波数が増加しているのが分か
る。よって、出力周波数を測定すれば、周囲の温度を精
密に測定することができる。また、この実験を１０００
℃において２００時間継続して実施したところ、マイグ
レーションの発生は見られず好適であった。
【００３３】尚、本発明は上述した実施例の何等限定さ
れることなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内におい
て各種の態様で実施できることは勿論である。
れることなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内におい
て各種の態様で実施できることは勿論である。
【００３４】
【発明の効果】上述した様に、本発明の温度センサは、
検出回路として、オペアンプの非反転入力端子に基準電
圧が印加されるとともに、反転入力端子にコンデンサが
接続され、更に各入力端子と出力端子との間に各々帰還
抵抗が接続された発振器を用い、この帰還抵抗のいずれ
か一方に測温抵抗体を使用したので、温度センサの高温
での劣化の原因であるマイグレーションを防止して精密
な温度測定が可能である。このため、１０００℃以上で
の連続温度測定を行うことができる。
検出回路として、オペアンプの非反転入力端子に基準電
圧が印加されるとともに、反転入力端子にコンデンサが
接続され、更に各入力端子と出力端子との間に各々帰還
抵抗が接続された発振器を用い、この帰還抵抗のいずれ
か一方に測温抵抗体を使用したので、温度センサの高温
での劣化の原因であるマイグレーションを防止して精密
な温度測定が可能である。このため、１０００℃以上で
の連続温度測定を行うことができる。
【００３５】従って、従来の様にイオン化し易い不純物
を含まないセラミックスやダミーパターンを使用しなく
とも、低いコストで高精度の温度測定ができる。また、
回路中のオペアンプのオフセット電圧による誤差が発生
しないので、高い検出精度を得ることができる。
を含まないセラミックスやダミーパターンを使用しなく
とも、低いコストで高精度の温度測定ができる。また、
回路中のオペアンプのオフセット電圧による誤差が発生
しないので、高い検出精度を得ることができる。
【００３６】更に、周波数出力とすることによって、デ
ジタル回路とのマッチングが良くなるとともに、温度検
出の精度が向上するという利点がある。
ジタル回路とのマッチングが良くなるとともに、温度検
出の精度が向上するという利点がある。
【図１】本発明の作用を説明するグラフである。
【図２】本実施例の温度センサの感温部を一部破断して
示す斜視図である。
示す斜視図である。
【図３】本実施例の温度センサの回路を説明する回路図
である。
である。
【図４】温度センサの動作を説明するタイミングチャー
トである。
トである。
【図５】実験例の温度センサの回路を説明する回路図で
ある。
ある。
１…温度センサ， ２…感温部，６…セ
ラミックス基板， ７…測温抵抗体，１５…非
安定マルチバイブレータ，２０…オペアンプ，３０…カ
ウンタ
ラミックス基板， ７…測温抵抗体，１５…非
安定マルチバイブレータ，２０…オペアンプ，３０…カ
ウンタ
Claims (1)
- 【請求項１】 セラミックス基体に比抵抗が温度に伴っ
て変化する測温抵抗体を備えるとともに、該測温抵抗体
に接続された検出回路を用いて周囲の温度を測定する温
度センサにおいて、 前記検出回路として、 オペアンプの非反転入力端子に基準電圧が印加されると
ともに、反転入力端子にコンデンサが接続され、更に各
入力端子と出力端子との間に各々帰還抵抗が接続された
発振器を用い、 前記帰還抵抗のいずれか一方に、前記測温抵抗体を使用
したことを特徴とする温度センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4575292A JPH05248965A (ja) | 1992-03-03 | 1992-03-03 | 温度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4575292A JPH05248965A (ja) | 1992-03-03 | 1992-03-03 | 温度センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05248965A true JPH05248965A (ja) | 1993-09-28 |
Family
ID=12728038
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4575292A Pending JPH05248965A (ja) | 1992-03-03 | 1992-03-03 | 温度センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05248965A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006180639A (ja) * | 2004-12-22 | 2006-07-06 | Fujitsu Ltd | 圧電アクチュエータの駆動方法 |
| CN113261960A (zh) * | 2021-03-23 | 2021-08-17 | 微传智能科技（上海）有限公司 | 女性盆底肌压力检测方法 |
-
1992
- 1992-03-03 JP JP4575292A patent/JPH05248965A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006180639A (ja) * | 2004-12-22 | 2006-07-06 | Fujitsu Ltd | 圧電アクチュエータの駆動方法 |
| JP4594069B2 (ja) * | 2004-12-22 | 2010-12-08 | 富士通株式会社 | 圧電アクチュエータの駆動方法 |
| CN113261960A (zh) * | 2021-03-23 | 2021-08-17 | 微传智能科技（上海）有限公司 | 女性盆底肌压力检测方法 |
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