JPH05243633A - Laminated piezoelectric actuator device - Google Patents
Laminated piezoelectric actuator deviceInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は積層圧電アクチュエータ
装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laminated piezoelectric actuator device.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来例には、特開昭６３−８１８７６号
がある。この従来例は、圧電素子（セグメント）を積層
させておき、単一電源から、ディジタル的な駆動を可能
にせしめることを目的とする。この目的達成のために、
端部側から順に圧電素子番号を＃１、＃２、＃３、……
という具合いに付加したとして、 ＃１の単独駆動（１個） ＃２、＃３の２個共通駆動（２個） ＃４〜＃７の４個共通駆動（４個） ＃８〜＃１５の８個共通駆動（８個） ……………………………………… の如く、１個、２個、４個、８個、……、２n個それぞ
れ独立駆動できるように、圧電素子への電極及びその選
択のためのスイッチを設けた。従って、スイッチを選ぶ
ことによって、２値化された個数の圧電素子の駆動がな
される。ここで、１個の圧電素子の単一電源電圧による
変位量をΔＰとすると、＃１の駆動では、ΔＰ、＃２、
＃３の駆動では２ΔＰ、＃４〜＃７の駆動では、４ΔＰ
の変位、即ち、ディジタル量に応じた変位量を得る。2. Description of the Related Art As a conventional example, there is JP-A-63-81876. The purpose of this conventional example is to stack piezoelectric elements (segments) and enable digital driving from a single power source. To achieve this goal,
The piezoelectric element numbers are # 1, # 2, # 3, ...
In addition to the above condition, # 1 is independently driven (1 unit) # 2 and # 3 are commonly driven by 2 units (2 units) # 4 to # 7 are commonly driven by 4 units (4 units) # 8 through # 15 8 common drive (8) ………………………………………… so that 1, 2, 4, 8 and 2 n can be driven independently. , An electrode for the piezoelectric element and a switch for selecting the electrode are provided. Therefore, by selecting the switch, the binarized number of piezoelectric elements are driven. Assuming that the displacement amount of one piezoelectric element due to a single power supply voltage is ΔP, in driving # 1, ΔP, # 2,
2ΔP for driving # 3, 4ΔP for driving # 4 to # 7
, That is, the displacement amount according to the digital amount is obtained.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】更に、上記従来例は、
スイッチによって駆動する圧電素子数のディジタル的な
選択が出来るとの利点があるが、駆動電圧は、単一電源
からのものであり、圧電素子の圧電特性にばらつきがあ
る場合には、素子毎に変位量がΔＰとならずアクチュエ
ータとして誤差の多いものとなってしまう。Further, in the above-mentioned conventional example,
Although there is an advantage that the number of piezoelectric elements driven by the switch can be selected digitally, the drive voltage is from a single power source, and if the piezoelectric characteristics of the piezoelectric elements vary, the The displacement amount does not become ΔP and the actuator has many errors.
【０００４】更に、上記従来例は、単一電源から電圧を
印加してプラス方向に変位させる場合と、電圧を取り去
りそのプラス方向の変位を元に戻す如き収縮変化（マイ
ナス変位）させる場合との相異が、駆動回路として考慮
されていない。Further, in the above-mentioned conventional example, there are a case where a voltage is applied from a single power source to displace in the positive direction, and a case where the voltage is removed and the displacement in the positive direction is restored to its original state (minus displacement). The difference is not considered as a drive circuit.
【０００５】本発明の目的は、圧電素子の印加電圧に対
する圧電特性のばらつきを補償可能にする積層圧電アク
チュエータ装置を提供するものである。An object of the present invention is to provide a laminated piezoelectric actuator device capable of compensating for variations in piezoelectric characteristics with respect to applied voltage of a piezoelectric element.
【０００６】更に本発明の目的は、圧電素子のマイナス
方向の変位の対応を高速化させる積層圧電アクチュエー
タ装置を提供するものである。A further object of the present invention is to provide a laminated piezoelectric actuator device capable of speeding up the negative displacement of the piezoelectric element.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明は、積層した圧電
素子群と、各圧電素子用に個別スイッチを介して設置し
た個別可変電源と、より成る（請求項１）。The present invention comprises a stacked piezoelectric element group and an individual variable power source installed via an individual switch for each piezoelectric element (claim 1).
【０００８】更に本発明は、積層した圧電素子群と、各
圧電素子用に設置した個別駆動手段と、より成ると共
に、各個別駆動手段は、圧電素子に接続された電流制限
抵抗と、該抵抗に接続されアース側か電源側かのいずれ
かに選択可能なスイッチと、該スイッチの電源側に接続
された可変電源と、より成る（請求項２）。Further, the present invention comprises a laminated piezoelectric element group and individual driving means installed for each piezoelectric element, and each individual driving means includes a current limiting resistor connected to the piezoelectric element and the resistor. And a variable power source connected to the power source side of the switch and a switch selectable to either the ground side or the power source side (claim 2).
【０００９】更に本発明は、各圧電素子の構成の種々の
態様を提供する（請求項３〜６）。更に本発明は電圧印
加の仕方をディジタル的なものとした（請求項７）。Furthermore, the present invention provides various aspects of the constitution of each piezoelectric element (claims 3 to 6). Further, according to the present invention, the method of voltage application is digital (claim 7).
【００１０】[0010]
【作用】本発明によれば、各圧電素子に個別の可変電源
を設けたが故に、各圧電素子の圧電特性のばらつきへの
対応をはかれる。更に、放電時にクローズ回路が形成さ
れ、放電時間を短縮できる。According to the present invention, since each piezoelectric element is provided with an individual variable power source, it is possible to cope with variations in piezoelectric characteristics of each piezoelectric element. Further, a closed circuit is formed at the time of discharging, and the discharging time can be shortened.
【００１１】[0011]
【実施例】図１は本発明の積層圧電アクチュエータ装置
の実施例図を示す。本実施例では、圧電素子１ａ〜１ｄ
は積層されていると共に、正極側には、それぞれ、抵抗
２ａ−スイッチ３ａ−電源４ａ、抵抗２ｂ−スイッチ３
ｂ−電源４ｂ、……、抵抗２ｄ−スイッチ３ｄ−電源４
ｄなる直列回路が形成され、負極側は共通アース化され
ている。FIG. 1 shows an embodiment of a laminated piezoelectric actuator device according to the present invention. In the present embodiment, the piezoelectric elements 1a to 1d.
Are stacked, and the positive electrode side has a resistor 2a, a switch 3a, a power source 4a, and a resistor 2b, a switch 3, respectively.
b-power source 4b, ..., resistor 2d-switch 3d-power source 4
A series circuit of d is formed, and the negative electrode side is grounded in common.
【００１２】この実施例で、電源４ａ、４ｂ、……、４
ｄのそれぞれは、対応する圧電素子１ａ、１ｂ、……、
１ｄの圧電特性に応じて、同一変位量を得るようにした
可変化電源である。この電源調整は、手動、自動どちら
でも良い。例えば、圧電素子１ａが変位量ΔＰを得るの
に電圧Ｖaであり、圧電素子１ｂが変位量ΔＰを得るの
に電圧Ｖbであるとすれば、電源４ａの電圧をＶa、電源
４ｂの電圧をＶbに調整する。いずれにしろ、基準電圧
が与えられ、この電圧に対するプラス、マイナスの調整
を行う。In this embodiment, the power supplies 4a, 4b, ..., 4
d is the corresponding piezoelectric element 1a, 1b, ...
It is a variable power source that obtains the same amount of displacement according to the piezoelectric characteristic of 1d. This power adjustment may be manual or automatic. For example, a voltage V a to the piezoelectric element 1a to obtain the displacement amount [Delta] P, if the piezoelectric element 1b is a voltage V b to obtain the displacement amount [Delta] P, the voltage of the power supply 4a V a, the power supply 4b Adjust the voltage to V b . In any case, a reference voltage is given, and positive and negative adjustments are made to this voltage.
【００１３】スイッチ３ａ、３ｂ、……、３ｄは、電圧
印加時には電源４ａ、４ｂ、……、４ｄ側にＯＮとな
り、電圧遮断時には、アース側にＯＮとなるようにスイ
ッチング制御される。先の従来例では、電圧遮断時での
スイッチが電源から切り離される点は本実施例と同じで
あるが、切り離された後のスイッチの位置が異なる。即
ち、先の従来例では切り離されると、スイッチは浮いた
状態になるが、本実施例ではアース側にＯＮとなる。The switches 3a, 3b, ..., 3d are switched on so that they are turned on to the power supplies 4a, 4b ,. The above-mentioned conventional example is the same as the present embodiment in that the switch is disconnected from the power supply when the voltage is cut off, but the position of the switch after disconnection is different. That is, in the above-mentioned conventional example, when the switch is separated, the switch is in a floating state, but in this embodiment, it is turned on to the ground side.
【００１４】更に、抵抗２ａ、２ｂ、……、２ｄは電流
制限抵抗である。圧電素子は、一種のコンデンサと考え
てよく、プラス変位とは充電、マイナス変位とは放電と
みれる。そこで、この放電電流の制限のために、抵抗２
ａ、２ｂ、……、２ｄを設けた。これらの抵抗値は可変
調整可能になっており、圧電特性に応じて自在に抵抗値
が調整される。Further, the resistors 2a, 2b, ..., 2d are current limiting resistors. The piezoelectric element may be considered as a kind of capacitor, and positive displacement can be regarded as charging and negative displacement can be regarded as discharging. Therefore, in order to limit the discharge current, the resistor 2
a, 2b, ..., 2d are provided. These resistance values are variably adjustable, and the resistance values are freely adjusted according to the piezoelectric characteristics.
【００１５】圧電素子１ａ、１ｂ、……、１ｄの圧電特
性側を図２に示す。横軸が印加電圧、縦軸が変位量であ
る。圧電特性は、印加電圧の往きと帰りとで特性が異な
るヒステリンス特性を持っている。使い方としては、０
とΔＰとの２つの特性値を使用するようにした。即ち、
スイッチ３ａを４ａ側にＯＮすることによって、変位量
はΔＰとなり、スイッチ３ａをアース側にＯＮすること
によって、変位量をゼロ（マイナス変位させてゼロに持
ってゆく）にする。前述の圧電特性のばらつきとは、こ
の図２の特性が素子によってばらつくとの意味である。The piezoelectric characteristic side of the piezoelectric elements 1a, 1b, ..., 1d is shown in FIG. The horizontal axis is the applied voltage, and the vertical axis is the amount of displacement. The piezoelectric characteristic has a hysteresis characteristic that the characteristic varies depending on the applied voltage going forward and returning. As usage, 0
Two characteristic values, that is, ΔP and ΔP are used. That is,
When the switch 3a is turned on to the side of 4a, the displacement amount becomes ΔP, and when the switch 3a is turned to the side of the ground, the displacement amount is made zero (minus displacement and brought to zero). The above-mentioned variation in the piezoelectric characteristic means that the characteristic in FIG. 2 varies depending on the element.
【００１６】動作を説明する。先ず、積層した各圧電素
子１ａ、１ｂ、……、１ｄにばらつきがあるか否かを事
前チェックし、ばらつきのないように、電源４ａ、４
ｂ、……、４ｄ、抵抗２ａ、２ｂ、……、２ｄを調整す
る。この調整の終了後に、駆動すべき圧電素子の選択を
行い、対応するスイッチを電源側にＯＮする。例えば、
圧電素子１ａを選択したとすると、スイッチ３ａのみを
電源４ａ側にＯＮする。これによって、電源４ａ−スイ
ッチ３ａ−抵抗２ａ−圧電素子１ａ−アース（共通）の
系路が形成され、圧電素子２ａへの充電が行われる。か
くして、圧電素子１ａはΔＰだけ変位する。この変位を
なくすには、スイッチ３ａをアース側にＯＮにし、共通
アース−１ａ−抵抗２ａ−スイッチ３ａ−個別アースの
系路を形成し、この系路で放電を行わせる。放電によっ
てマイナス変位となり、変位ゼロの初期状態に戻る。こ
こで、スイッチ３ａを個別アース側にＯＮさせたことに
よって、先の従来例に比べて、放電は、急速に行われ
る。放電の系路がクローズ化されているためである。先
の従来例では放電の系路がオープン化されているため、
自然放電となり、放電時間は長い。この結果、本実施例
では、圧電素子の選択が高速に可能であるが、従来例で
は高速選択すると変位に過渡的なばらつきが多くなり、
事実上アクチュエータとしての機能を損ねる。The operation will be described. First, it is preliminarily checked whether or not the laminated piezoelectric elements 1a, 1b, ..., 1d have variations, and power sources 4a, 4
4d, resistors 2a, 2b, ..., 2d are adjusted. After completion of this adjustment, the piezoelectric element to be driven is selected, and the corresponding switch is turned on to the power supply side. For example,
If the piezoelectric element 1a is selected, only the switch 3a is turned on to the power source 4a side. As a result, a system path of the power source 4a, the switch 3a, the resistor 2a, the piezoelectric element 1a, and the ground (common) is formed, and the piezoelectric element 2a is charged. Thus, the piezoelectric element 1a is displaced by ΔP. In order to eliminate this displacement, the switch 3a is turned on to the ground side, a common earth-1a-resistor 2a-switch 3a-individual earth path is formed, and discharge is performed in this path. Negative displacement occurs due to discharge and returns to the initial state of zero displacement. Here, since the switch 3a is turned on to the individual ground side, the discharge is performed more rapidly than in the conventional example described above. This is because the discharge system is closed. In the previous conventional example, since the discharge path is open,
It becomes a natural discharge and the discharge time is long. As a result, in the present embodiment, the piezoelectric element can be selected at high speed, but in the conventional example, when the high speed is selected, there are many transient variations in displacement,
In fact, the function as an actuator is impaired.
【００１７】図１は、各電源４ａ、４ｂ、……、４ｄが
同一変位量ΔＰとなる如く設定した例であるが、ディジ
タル的な設定も可能である。例えば、圧電素子１ａの変
位量をΔＱとなる如く電源４ａを設定、圧電素子１ｂの
変位量を２ΔＱとなる如く電源４ｂを設定、……………
……………………………………圧電素子１ｄの変位量を
２nΔＱとなる如く電源４ｄを設定、する。こうするこ
とによって、圧電素子の選択がディジタル的に可能とな
り、且つディジタル的な変位駆動が可能となる。尚、こ
の実施例では、各圧電素子の圧電特性を同一とした場
合、ΔＱ、２ΔＱ、……、２nΔＱの変位の設定は、飽
和しない範囲を使うため正確に行われないことが有り得
る。こうしたことを許容した上での使用には効果があ
る。Although FIG. 1 shows an example in which the power sources 4a, 4b, ..., 4d are set to have the same displacement amount ΔP, digital setting is also possible. For example, the power source 4a is set so that the displacement amount of the piezoelectric element 1a is ΔQ, and the power source 4b is set so that the displacement amount of the piezoelectric element 1b is 2ΔQ.
………………………………………… The power supply 4d is set so that the displacement of the piezoelectric element 1d becomes 2 n ΔQ. By doing so, the piezoelectric element can be selected digitally and the displacement driving can be performed digitally. In this embodiment, when the piezoelectric characteristics of the piezoelectric element and the same, ΔQ, 2ΔQ, ......, displacement of 2 n Delta] Q settings, it is likely not correctly performed for using a range not saturate. It is effective to use after allowing such things.
【００１８】図１の実施例は、圧電素子は、単一構成で
あったが、そうでない実施例を図３、図４に示す。図３
（イ）が単一構成側であり、図３（ロ）は、各圧電素子
１ａ、１ｂ、……が２個の圧電素子６ａ−１、６ａ−２
より成る例である。ここで、７ａ−１、７ａ−２がアー
ス側電極板、８ａが正極側電極板である。電極板８ａに
加える電圧によって、圧電素子６ａ−１、６ａ−２が同
時駆動される。In the embodiment of FIG. 1, the piezoelectric element had a single structure, but other embodiments are shown in FIGS. 3 and 4. Figure 3
(A) is a single configuration side, and in FIG. 3 (b), each piezoelectric element 1a, 1b, ... Has two piezoelectric elements 6a-1, 6a-2.
It is an example consisting of. Here, 7a-1 and 7a-2 are earth side electrode plates, and 8a is a positive electrode side electrode plate. The piezoelectric elements 6a-1 and 6a-2 are simultaneously driven by the voltage applied to the electrode plate 8a.
【００１９】図４（イ）は、圧電素子１ａを１個の圧電
素子９ａ（１０ａ−１、１０ａ−２が電極板）とし、圧
電素子１ｂを２個の圧電素子９ｂ−１、９ｂ−２（１０
ｂ−１、１０ｂ−２、１０ｂ−３が電極板）とし、以下
４個、……、２n個の圧電素子で構成した例である。こ
の実施例は、先の第２の実施例たる単一圧電素子への印
加電圧によってΔＱ、２ΔＱ、……、２nΔＱの変位を
行わせる例に対比できる。即ち、第２の実施例に比し
て、全ての素子が飽和値で使用できることになり、変位
精度は向上する。図４（ロ）は、圧電素子１ａを１個の
圧電素子９ａ、圧電素子１ｂを３個の圧電素子９ｂ−
１、９ｂ−２、９ｂ−３（１１ｂ−１、１１ｂ−２、が
正極電極板、１１ｂ−３、１１ｂ−４が負極電極板）で
構成した例である。他の圧電素子１ｃ、……、１ｄの数
も任意とした。この図４（ロ）の構成を用いても、各セ
グメントの印加電圧は独立に設定できるため、各セグメ
ントにΔＱ、２ΔＱ、……、２nΔＱの変位を行わせる
ことが可能である。In FIG. 4A, the piezoelectric element 1a is one piezoelectric element 9a (10a-1, 10a-2 are electrode plates), and the piezoelectric element 1b is two piezoelectric elements 9b-1, 9b-2. (10
In this example, b-1, 10b-2, and 10b-3 are electrode plates), and the piezoelectric elements are composed of 4 ... 2n piezoelectric elements. This example can be compared with the example of the second example, in which the displacement of ΔQ, 2ΔQ, ..., 2 n ΔQ is performed by the applied voltage to the single piezoelectric element. That is, as compared with the second embodiment, all the elements can be used at the saturation value, and the displacement accuracy is improved. In FIG. 4B, the piezoelectric element 1a is one piezoelectric element 9a, and the piezoelectric element 1b is three piezoelectric elements 9b-.
1, 9b-2, 9b-3 (11b-1, 11b-2 are positive electrode plates, 11b-3, 11b-4 are negative electrode plates). The number of other piezoelectric elements 1c, ..., 1d is also arbitrary. Even if the configuration of FIG. 4B is used, the applied voltage of each segment can be set independently, so that each segment can be displaced by ΔQ, 2ΔQ, ..., 2 n ΔQ.
【００２０】尚、抵抗２ａ〜２ｄは充電と放電とで共通
化したが、充電と放電とで別抵抗値となるような回路と
すれば、充放電特性の均一化や自在の特性値を得ること
が可能となる。その実施例を図５に示す。スイッチ３ａ
の位置を素子１ａ側とし、並列抵抗２ａ−１、２ａ−２
を選択することにした。ここで、２ａ−１が充電用、２
ａ−２が放電用となる。更に、スイッチ３ａ〜３ｄをト
ランジスタ等の半導体スイッチで構成すれば、小型化で
きる。Although the resistors 2a to 2d are commonly used for charging and discharging, if the circuit has different resistance values for charging and discharging, uniform charging / discharging characteristics and free characteristic values can be obtained. It becomes possible. An example thereof is shown in FIG. Switch 3a
Is set to the element 1a side, and the parallel resistors 2a-1 and 2a-2
Decided to choose. Here, 2a-1 is for charging, 2a-1
a-2 is for discharging. Further, if the switches 3a to 3d are semiconductor switches such as transistors, the size can be reduced.
【００２１】[0021]
【発明の効果】本発明によれば、各圧電素子セグメント
が専用の圧電印加手段を有し、電圧も可変なので各セグ
メントに目的の変位量を与えることができるので、各セ
グメントの変位量特性のばらつきによる影響を受けない
という効果がある。更に放電時には、電流制限抵抗を通
して放電するので、充電時と同じ応答特性が得られる効
果がある。According to the present invention, since each piezoelectric element segment has a dedicated piezoelectric applying means and the voltage is variable, a desired displacement amount can be given to each segment. The effect is that it is not affected by variations. Further, at the time of discharging, since the discharging is performed through the current limiting resistor, the same response characteristic as that at the time of charging is obtained.
【図１】本発明の積層圧電アクチュエータ装置の実施例
図である。FIG. 1 is an embodiment diagram of a laminated piezoelectric actuator device of the present invention.
【図２】本発明の圧電素子の特性図である。FIG. 2 is a characteristic diagram of a piezoelectric element of the present invention.
【図３】本発明の各圧電素子の実施例図である。FIG. 3 is a diagram showing an embodiment of each piezoelectric element of the present invention.
【図４】本発明の各圧電素子の実施例図である。FIG. 4 is a diagram showing an embodiment of each piezoelectric element of the present invention.
【図５】本発明の駆動回路の実施例図である。FIG. 5 is a diagram showing an embodiment of a drive circuit of the present invention.
１ａ〜１ｄ 圧電素子（セグメント） ２ａ〜２ｄ 電流制限抵抗 ３ａ〜３ｄ スイッチ ４ａ〜４ｄ 可変電源 1a-1d Piezoelectric element (segment) 2a-2d Current limiting resistance 3a-3d Switch 4a-4d Variable power supply
Claims (7)
個別スイッチを介して設置した個別可変電源と、より成
る積層圧電アクチュエータ装置。1. A laminated piezoelectric actuator device comprising: a laminated piezoelectric element group; and an individual variable power source installed via an individual switch for each piezoelectric element.
設置した個別駆動手段と、より成ると共に、各個別駆動
手段は、圧電素子に接続された電流制限抵抗と、該抵抗
に接続されアース側か電源側かのいずれかに選択可能な
スイッチと、該スイッチの電源側に接続された可変電源
と、より成る積層圧電アクチュエータ装置。2. A laminated piezoelectric element group and individual drive means installed for each piezoelectric element, wherein each individual drive means is connected to the current limiting resistor connected to the piezoelectric element. A laminated piezoelectric actuator device comprising a switch selectable on either the ground side or the power supply side, and a variable power supply connected to the power supply side of the switch.
タ装置において、各圧電素子は、同一大きさ、同一形状
の単層圧電素子とする積層圧電アクチュエータ装置。3. The laminated piezoelectric actuator device according to claim 1, wherein each piezoelectric element is a single-layer piezoelectric element having the same size and the same shape.
タ装置において、各圧電素子は、それぞれ同一大きさ、
同一形状の単層圧電素子を複数個有したものとする積層
圧電アクチュエータ装置。4. The laminated piezoelectric actuator device according to claim 1, wherein each piezoelectric element has the same size,
A laminated piezoelectric actuator device having a plurality of single-layer piezoelectric elements having the same shape.
において、各圧電素子を構成する単層圧電素子数は同一
数とする積層圧電アクチュエータ装置。5. The laminated piezoelectric actuator device according to claim 4, wherein the number of single-layer piezoelectric elements forming each piezoelectric element is the same.
タ装置において、各圧電素子は、１個の単層圧電素子、
２個の単層圧電素子、……、２n個の単層圧電素子で構
成した積層圧電アクチュエータ装置。6. The laminated piezoelectric actuator device according to claim 1, wherein each piezoelectric element is one single-layer piezoelectric element,
A laminated piezoelectric actuator device composed of two single-layer piezoelectric elements ... 2 n single-layer piezoelectric elements.
タ装置において、各個別駆動手段での可変電源は、圧電
素子対応に、１、２、２2、……、２nの如き２のべき乗
の比率の電圧になるように設定して成る積層圧電アクチ
ュエータ装置。7. The laminated piezoelectric actuator device according to claim 1 or 2, wherein the variable power source in each individual driving means is a power of 2 such as 1, 2 , 2 2 , ..., 2 n corresponding to the piezoelectric element. A laminated piezoelectric actuator device configured to have a ratio voltage.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4079040A JPH05243633A (en) | 1992-02-28 | 1992-02-28 | Laminated piezoelectric actuator device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4079040A JPH05243633A (en) | 1992-02-28 | 1992-02-28 | Laminated piezoelectric actuator device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05243633A true JPH05243633A (en) | 1993-09-21 |
Family
ID=13678807
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4079040A Pending JPH05243633A (en) | 1992-02-28 | 1992-02-28 | Laminated piezoelectric actuator device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05243633A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002010655A (en) * | 2000-04-01 | 2002-01-11 | Robert Bosch Gmbh | Device and method for charging piezoelectric element |
| US6724560B2 (en) | 2000-04-20 | 2004-04-20 | Fujitsu Limited | Head assembly employing microactuator in recording medium drive |
-
1992
- 1992-02-28 JP JP4079040A patent/JPH05243633A/en active Pending
Cited By (2)
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